JPH06190581A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
- Publication number
- JPH06190581A JPH06190581A JP43A JP34412492A JPH06190581A JP H06190581 A JPH06190581 A JP H06190581A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 34412492 A JP34412492 A JP 34412492A JP H06190581 A JPH06190581 A JP H06190581A
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- JP
- Japan
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- laser
- laser processing
- work
- optical fiber
- processing head
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- Pending
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- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ発振器３９とレーザ加工ヘッド９とを
光ファイバ４１を介して接続した構成であっても、死角
を生じることなく三次元加工を行なうことのできるレー
ザ加工装置を提供することを目的とする。 【構成】 上記目的を達成するために、レーザ加工すべ
きワークＷを支持するワークテーブル１１を２軸制御に
より傾斜自在かつ回転自在に設け、上記ワークＷのレー
ザ加工を行なうレーザ加工ヘッド９に、レーザ発振器３
９からのレーザ光を導く光ファイバ４１或いは導波管を
接続してなるものである。また、レーザ加工すべきワー
クＷを支持するワークテーブル１１を２軸制御により傾
斜自在かつ回転自在に設け、レーザ発振器３９からのレ
ーザ光をレーザ加工ヘッド９へ導くための光ファイバ４
１或いは導波管を、上記レーザ光を平行光線化するため
のコリメート部４３に接続して設け、このコリメート部
４３において平行光線化したレーザ光を前記レーザ加工
ヘッドへ導く構成としてなるものである。
光ファイバ４１を介して接続した構成であっても、死角
を生じることなく三次元加工を行なうことのできるレー
ザ加工装置を提供することを目的とする。 【構成】 上記目的を達成するために、レーザ加工すべ
きワークＷを支持するワークテーブル１１を２軸制御に
より傾斜自在かつ回転自在に設け、上記ワークＷのレー
ザ加工を行なうレーザ加工ヘッド９に、レーザ発振器３
９からのレーザ光を導く光ファイバ４１或いは導波管を
接続してなるものである。また、レーザ加工すべきワー
クＷを支持するワークテーブル１１を２軸制御により傾
斜自在かつ回転自在に設け、レーザ発振器３９からのレ
ーザ光をレーザ加工ヘッド９へ導くための光ファイバ４
１或いは導波管を、上記レーザ光を平行光線化するため
のコリメート部４３に接続して設け、このコリメート部
４３において平行光線化したレーザ光を前記レーザ加工
ヘッドへ導く構成としてなるものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザ加工装置に係
り、さらに詳細には、レーザ発振器からのレーザ光を光
ファイバ或いは導波管を用いてレーザ加工ヘッドへ導く
構成のレーザ加工装置に関する。
り、さらに詳細には、レーザ発振器からのレーザ光を光
ファイバ或いは導波管を用いてレーザ加工ヘッドへ導く
構成のレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器からのレーザ光をレ
ーザ加工ヘッドへ導く手段として光ファイバを用いた構
成としては、ＹＡＧレーザ加工機が知られている。また
近年においては、ＣＯ2 レーザ用の光ファイバも研究開
発されつつある。
ーザ加工ヘッドへ導く手段として光ファイバを用いた構
成としては、ＹＡＧレーザ加工機が知られている。また
近年においては、ＣＯ2 レーザ用の光ファイバも研究開
発されつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】レーザ発振器からのレ
ーザ光を光ファイバを用いてレーザ加工ヘッドへ導く構
成においては、複数の反射鏡を用いた光学系に比較して
メンテナンスの容易性やフレキシブル性において優れて
いる。
ーザ光を光ファイバを用いてレーザ加工ヘッドへ導く構
成においては、複数の反射鏡を用いた光学系に比較して
メンテナンスの容易性やフレキシブル性において優れて
いる。
【０００４】しかし、上述のごとく光ファイバを用いた
構成においては、光ファイバの曲げに限界があるので、
例えば産業用ロボットのアームにレーザ加工ヘッドを装
着し、このレーザ加工ヘッドを多軸制御して立体形状の
ワークを加工しようとするとき、加工の死角を生じるこ
とがある。
構成においては、光ファイバの曲げに限界があるので、
例えば産業用ロボットのアームにレーザ加工ヘッドを装
着し、このレーザ加工ヘッドを多軸制御して立体形状の
ワークを加工しようとするとき、加工の死角を生じるこ
とがある。
【０００５】そこで、光ファイバの曲げ半径を小さくす
べく光ファイバを小径にすると、伝送可能な加工出力が
低下するので、光ファイバを必要以上に小径にすること
ができないものである。
べく光ファイバを小径にすると、伝送可能な加工出力が
低下するので、光ファイバを必要以上に小径にすること
ができないものである。
【０００６】さらに光ファイバを用いてレーザ光をレー
ザ加工ヘッドに導く構成においては、上記光ファイバ内
を通って来た屈折光を平行光線化することが必要であ
る。上記平行光線化するためのコリメート部をレーザ加
工ヘッド内に設けると、レーザ加工ヘッドが大型化する
という問題がある。
ザ加工ヘッドに導く構成においては、上記光ファイバ内
を通って来た屈折光を平行光線化することが必要であ
る。上記平行光線化するためのコリメート部をレーザ加
工ヘッド内に設けると、レーザ加工ヘッドが大型化する
という問題がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述のごとき従来の問題
に鑑みて、本発明は、レーザ加工すべきワークを支持す
るワークテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自
在に設け、上記ワークのレーザ加工を行なうレーザ加工
ヘッドに、レーザ発振器からのレーザ光を導く光ファイ
バ或いは導波管を接続してなるものである。
に鑑みて、本発明は、レーザ加工すべきワークを支持す
るワークテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自
在に設け、上記ワークのレーザ加工を行なうレーザ加工
ヘッドに、レーザ発振器からのレーザ光を導く光ファイ
バ或いは導波管を接続してなるものである。
【０００８】また、レーザ加工すべきワークを支持する
ワークテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自在
に設け、レーザ発振器からのレーザ光をレーザ加工ヘッ
ドへ導くための光ファイバ或いは導波管を、上記レーザ
光を平行光線化するためのコリメート部に接続して設
け、このコリメート部において平行光線化したレーザ光
を前記レーザ加工ヘッドへ導く構成としてなるものであ
る。
ワークテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自在
に設け、レーザ発振器からのレーザ光をレーザ加工ヘッ
ドへ導くための光ファイバ或いは導波管を、上記レーザ
光を平行光線化するためのコリメート部に接続して設
け、このコリメート部において平行光線化したレーザ光
を前記レーザ加工ヘッドへ導く構成としてなるものであ
る。
【０００９】
【作用】上記構成により、レーザ発振器からのレーザ光
を光ファイバ或いは導波管を介してレーザ加工ヘッドに
導いてワークテーブル上のワークの加工を行なうとき、
上記光ファイバの弯曲に限界があることによってレーザ
加工ヘッドの自由度にある程度の限界が生じる場合であ
っても、ワークテーブルが傾斜すること及び回転するこ
とにより、ワークの加工部分をレーザ加工ヘッドに対応
して位置せしめることができ、加工の死角を生じるよう
なことがないものである。
を光ファイバ或いは導波管を介してレーザ加工ヘッドに
導いてワークテーブル上のワークの加工を行なうとき、
上記光ファイバの弯曲に限界があることによってレーザ
加工ヘッドの自由度にある程度の限界が生じる場合であ
っても、ワークテーブルが傾斜すること及び回転するこ
とにより、ワークの加工部分をレーザ加工ヘッドに対応
して位置せしめることができ、加工の死角を生じるよう
なことがないものである。
【００１０】また前記構成により、例えば光ファイバを
通って来た屈折光としてのレーザ光はコリメート部にお
いて平行光線化され、その後にレーザ加工ヘッドへ導か
れるので、レーザ加工ヘッドにコリメート部を備える必
要がなく、レーザ加工ヘッドの小型化を図ることができ
る。
通って来た屈折光としてのレーザ光はコリメート部にお
いて平行光線化され、その後にレーザ加工ヘッドへ導か
れるので、レーザ加工ヘッドにコリメート部を備える必
要がなく、レーザ加工ヘッドの小型化を図ることができ
る。
【００１１】また、光ファイバ或いは導波管を用いる
と、従来の加工機の様に加工機内をミラーを使って光を
導く必要がないので、ミラーの冷却やミラーホルダのワ
イヤリング光路維持へのメンテナンスが不要になり、光
路中継点が不要なため中継点の光軸調整を省くことがで
きる。
と、従来の加工機の様に加工機内をミラーを使って光を
導く必要がないので、ミラーの冷却やミラーホルダのワ
イヤリング光路維持へのメンテナンスが不要になり、光
路中継点が不要なため中継点の光軸調整を省くことがで
きる。
【００１２】
【実施例】図１を参照するに、レーザ加工装置１はベー
ス３を備えており、このベース３上にはレーザ加工すべ
きワークＷを支持するワークテーブル装置５が装着して
ある。また、上記ベース３上のフレーム７には、前記ワ
ークＷのレーザ加工を行なうレーザ加工ヘッド９が適宜
に装着してある。
ス３を備えており、このベース３上にはレーザ加工すべ
きワークＷを支持するワークテーブル装置５が装着して
ある。また、上記ベース３上のフレーム７には、前記ワ
ークＷのレーザ加工を行なうレーザ加工ヘッド９が適宜
に装着してある。
【００１３】前記ワークテーブル装置５は、前記ワーク
Ｗを支持するワークテーブル１１を傾斜自在かつ回転自
在に備えている。より詳細には、ワークテーブル装置５
は前記ベース３上に取付けた機台１３を備えており、こ
の機台１３には傾斜台１５が軸１５Ｓを介して傾斜自在
に支持されている。この傾斜台１５の傾斜角は、前記機
台１３に装着したサーボモータＭ１を制御することによ
って調節されるものである。
Ｗを支持するワークテーブル１１を傾斜自在かつ回転自
在に備えている。より詳細には、ワークテーブル装置５
は前記ベース３上に取付けた機台１３を備えており、こ
の機台１３には傾斜台１５が軸１５Ｓを介して傾斜自在
に支持されている。この傾斜台１５の傾斜角は、前記機
台１３に装着したサーボモータＭ１を制御することによ
って調節されるものである。
【００１４】前記傾斜台１５には架台１７が一体に取付
けてあり、この架台１７には前記軸１５Ｓと直交する方
向の回転軸１９が回転自在に支承されている。そして、
上記回転軸１９の先端部に前記ワークテーブル１１が一
体に取付けてある。また、回転軸１９にはウォームギア
２１が取付けてあり、このウォームギア２１には、架台
１７に装着したサーボモータＭ２によって制御回転され
るウォーム２３が噛合してある。
けてあり、この架台１７には前記軸１５Ｓと直交する方
向の回転軸１９が回転自在に支承されている。そして、
上記回転軸１９の先端部に前記ワークテーブル１１が一
体に取付けてある。また、回転軸１９にはウォームギア
２１が取付けてあり、このウォームギア２１には、架台
１７に装着したサーボモータＭ２によって制御回転され
るウォーム２３が噛合してある。
【００１５】上記構成により、サーボモータＭ１を適宜
に制御することによりワークテーブル１１を任意に傾斜
することができ、また、サーボモータモータＭ２を適宜
に制御することによりワークテーブル１１を適宜に回転
でき、また所望の位置を所定位置に割出し位置決めする
ことができる。したがって、ワークテーブル１１に取付
けたワークＷを適宜に傾斜しかつ回転することができ、
例えば上記ワークＷに傾斜部がある場合、この傾斜部が
水平状態となるようにワークＷの姿勢を変えることが可
能である。
に制御することによりワークテーブル１１を任意に傾斜
することができ、また、サーボモータモータＭ２を適宜
に制御することによりワークテーブル１１を適宜に回転
でき、また所望の位置を所定位置に割出し位置決めする
ことができる。したがって、ワークテーブル１１に取付
けたワークＷを適宜に傾斜しかつ回転することができ、
例えば上記ワークＷに傾斜部がある場合、この傾斜部が
水平状態となるようにワークＷの姿勢を変えることが可
能である。
【００１６】前記レーザ加工ヘッド９は、前記ワークＷ
をレーザ加工すべくＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動自在に構成
してある。すなわち、前記フレーム７にはＹ軸方向（図
１において紙面に垂直な方向）へ延伸した複数のガイド
部材２５が設けてあり、このガイド部材２５にＹ軸スラ
イダ２７が移動自在に支承されている。上記Ｙ軸スライ
ダ２７を上記ガイド部材２５に沿って移動するために、
本実施例においてはサーボモータＭ３によって駆動され
るボールネジ機構２７が設けられている。
をレーザ加工すべくＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動自在に構成
してある。すなわち、前記フレーム７にはＹ軸方向（図
１において紙面に垂直な方向）へ延伸した複数のガイド
部材２５が設けてあり、このガイド部材２５にＹ軸スラ
イダ２７が移動自在に支承されている。上記Ｙ軸スライ
ダ２７を上記ガイド部材２５に沿って移動するために、
本実施例においてはサーボモータＭ３によって駆動され
るボールネジ機構２７が設けられている。
【００１７】上記Ｙ軸スライダ２７はＸ軸方向に延伸し
ており、このＹ軸スライダ２７に取付けたＸ軸ガイド部
材２９にＸ軸スライダ３１が移動自在に支承されてい
る。そして、上記Ｘ軸スライダ３１をＸ軸方向へ移動す
るために、前記Ｙ軸スライダ２７にはサーボモータＭ４
によって回転駆動されるボールネジ機構３３が設けられ
ている。
ており、このＹ軸スライダ２７に取付けたＸ軸ガイド部
材２９にＸ軸スライダ３１が移動自在に支承されてい
る。そして、上記Ｘ軸スライダ３１をＸ軸方向へ移動す
るために、前記Ｙ軸スライダ２７にはサーボモータＭ４
によって回転駆動されるボールネジ機構３３が設けられ
ている。
【００１８】さらに、前記Ｘ軸スライダ３１には、上下
方向（Ｚ軸方向）のガイド部材３５が設けてあり、この
ガイド部材３５には前記レーザ加工ヘッド９が上下動自
在に案内支承されている。そして、上記Ｘ軸スライダ３
１には、レーザ加工ヘッド９を上下動するために、サー
ボモータＭ５によって駆動されるボールネジ機構３７が
設けられている。
方向（Ｚ軸方向）のガイド部材３５が設けてあり、この
ガイド部材３５には前記レーザ加工ヘッド９が上下動自
在に案内支承されている。そして、上記Ｘ軸スライダ３
１には、レーザ加工ヘッド９を上下動するために、サー
ボモータＭ５によって駆動されるボールネジ機構３７が
設けられている。
【００１９】さらに、前記レーザ加工ヘッド９における
ノズル部９Ｎは、サーボモータＭ６（図示省略）を駆動
することによりＺ軸方向の軸心回りに回転自在（Ａ軸回
転）に構成してあり、かつサーボモータＭ７（図示省
略）を駆動することにより水平軸の軸心回りに回転自在
（Ｂ軸回転）に構成してある。
ノズル部９Ｎは、サーボモータＭ６（図示省略）を駆動
することによりＺ軸方向の軸心回りに回転自在（Ａ軸回
転）に構成してあり、かつサーボモータＭ７（図示省
略）を駆動することにより水平軸の軸心回りに回転自在
（Ｂ軸回転）に構成してある。
【００２０】上記構成より理解されるように、レーザ加
工ヘッド９は、サーボモータＭ３，Ｍ４，Ｍ５をそれぞ
れ適宜に制御駆動することによりＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ適
宜に移動することができ、かつＡ軸回転の制御を行なう
ことによりノズル部９Ｎを水平に回転制御でき、さらに
Ｂ軸回転を制御することにより、ノズル部９Ｎの指向方
向を垂直方向、水平方向、傾斜下方向及び傾斜上方向に
制御することができる。
工ヘッド９は、サーボモータＭ３，Ｍ４，Ｍ５をそれぞ
れ適宜に制御駆動することによりＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ適
宜に移動することができ、かつＡ軸回転の制御を行なう
ことによりノズル部９Ｎを水平に回転制御でき、さらに
Ｂ軸回転を制御することにより、ノズル部９Ｎの指向方
向を垂直方向、水平方向、傾斜下方向及び傾斜上方向に
制御することができる。
【００２１】したがって、前記ワークテーブル装置５に
おけるワークテーブル１１の傾斜、回転の制御と前記レ
ーザ加工ヘッド９のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の移動制御及びＡ
軸、Ｂ軸の回転制御とを適宜に関連制御することによ
り、ワークＷが複雑な形状であっても死角を生じること
なく三次元加工を行なうことができることとなる。
おけるワークテーブル１１の傾斜、回転の制御と前記レ
ーザ加工ヘッド９のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向の移動制御及びＡ
軸、Ｂ軸の回転制御とを適宜に関連制御することによ
り、ワークＷが複雑な形状であっても死角を生じること
なく三次元加工を行なうことができることとなる。
【００２２】本実施例においては、レーザ発振器３９と
してＹＡＧレーザを使用し、このレーザ発振器３９と前
記レーザ加工ヘッド９は光ファイバ４１を介して接続し
てあり、かつレーザ加工ヘッド９内には上記光ファイバ
４１内を通って来た屈折光を平行光線化するためのコリ
メータよりなるコリメート部４３を備えている。
してＹＡＧレーザを使用し、このレーザ発振器３９と前
記レーザ加工ヘッド９は光ファイバ４１を介して接続し
てあり、かつレーザ加工ヘッド９内には上記光ファイバ
４１内を通って来た屈折光を平行光線化するためのコリ
メータよりなるコリメート部４３を備えている。
【００２３】上述のごとく、本実施例においてはレーザ
発振器３９とレーザ加工ヘッド９とを光ファイバ（導波
管でも良い）４１を介して接続した構成であり、上記光
ファイバ４１の弯曲に制限があって、レーザ加工ヘッド
９の自由度がある程度拘束される構成であるが、前述し
たように、ワークテーブル装置５におけるワークテーブ
ル１１の傾斜、回転とレーザ加工ヘッド９の各軸方向へ
の移動およびノズル部９Ｎの各回転とが相俟って、ワー
クＷに死角を生じることなくレーザ加工を行なうことが
できるものである。
発振器３９とレーザ加工ヘッド９とを光ファイバ（導波
管でも良い）４１を介して接続した構成であり、上記光
ファイバ４１の弯曲に制限があって、レーザ加工ヘッド
９の自由度がある程度拘束される構成であるが、前述し
たように、ワークテーブル装置５におけるワークテーブ
ル１１の傾斜、回転とレーザ加工ヘッド９の各軸方向へ
の移動およびノズル部９Ｎの各回転とが相俟って、ワー
クＷに死角を生じることなくレーザ加工を行なうことが
できるものである。
【００２４】図２は第２実施例を概略的に例示したもの
である。この第２実施例においては、コリメータ４３を
Ｙ軸スライダ２７に装着し、レーザ加工ヘッド９の上部
と上記コリメータ４３とを、ジャバラ或いはテレスコピ
ック接続管のごとき伸縮自在の接続具４５を介して接続
してある。そして、レーザ加工ヘッド９を固定した上側
部分９Ｕと上下動自在の下側部分９Ｌとに区画した構成
である。
である。この第２実施例においては、コリメータ４３を
Ｙ軸スライダ２７に装着し、レーザ加工ヘッド９の上部
と上記コリメータ４３とを、ジャバラ或いはテレスコピ
ック接続管のごとき伸縮自在の接続具４５を介して接続
してある。そして、レーザ加工ヘッド９を固定した上側
部分９Ｕと上下動自在の下側部分９Ｌとに区画した構成
である。
【００２５】上記構成においてはコリメータ４３がレー
ザ加工ヘッド９の外部に設けてあるので、レーザ加工ヘ
ッド９の構成をより簡素化でき、かつ小型化できるもの
である。
ザ加工ヘッド９の外部に設けてあるので、レーザ加工ヘ
ッド９の構成をより簡素化でき、かつ小型化できるもの
である。
【００２６】なお、前記実施例においては、レーザ加工
ヘッド９がＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動する構成について説
明したが、ワークテーブル装置５をＸＹテーブルに装着
し、かつ上下動する構成とすることも可能である。すな
わち、レーザ加工ヘッド９をＸＹＺ方向へ移動するか、
ワークテーブル装置５を移動するかは相対的なことであ
る。
ヘッド９がＸ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動する構成について説
明したが、ワークテーブル装置５をＸＹテーブルに装着
し、かつ上下動する構成とすることも可能である。すな
わち、レーザ加工ヘッド９をＸＹＺ方向へ移動するか、
ワークテーブル装置５を移動するかは相対的なことであ
る。
【００２７】また、レーザ発振器としては、ＹＡＧレー
ザに限ることなく、光ファイバ或いは導波管を使用可能
であれば、任意のレーザ発振器とすることができる。
ザに限ることなく、光ファイバ或いは導波管を使用可能
であれば、任意のレーザ発振器とすることができる。
【００２８】図３、図４は第３実施例を示す正面図およ
び右側面図である。この第３実施例においては、ベース
３の凹部３Ｃ内にワークテーブル装置５を配置し、また
フレーム７を門形にしたものである。他の構成は、前記
第１実施例の構成と同様の構成であるので、同一機構を
奏する部分には同一符号を付することとしてより詳細な
説明は省略する。
び右側面図である。この第３実施例においては、ベース
３の凹部３Ｃ内にワークテーブル装置５を配置し、また
フレーム７を門形にしたものである。他の構成は、前記
第１実施例の構成と同様の構成であるので、同一機構を
奏する部分には同一符号を付することとしてより詳細な
説明は省略する。
【００２９】
【発明の効果】以上のごとき実施例の説明より理解され
るように、本発明によれば、レーザ発振器とレーザ加工
ヘッドとを光ファイバ或いは導波管を介して接続した構
成であっても、レーザ加工ヘッドの移動制御とワークテ
ーブルの傾斜，回転制御とが相俟って、複雑な形状のワ
ークであっても死角を生じることなしに三次元加工を行
なうことができるものである。
るように、本発明によれば、レーザ発振器とレーザ加工
ヘッドとを光ファイバ或いは導波管を介して接続した構
成であっても、レーザ加工ヘッドの移動制御とワークテ
ーブルの傾斜，回転制御とが相俟って、複雑な形状のワ
ークであっても死角を生じることなしに三次元加工を行
なうことができるものである。
【００３０】また、負荷軸を除いて三次元５軸同時制御
を用いることにより、より効果的な無死角加工が実現す
る。
を用いることにより、より効果的な無死角加工が実現す
る。
【図１】本発明の第１実施例に係るレーザ加工装置の概
略的な説明図である。
略的な説明図である。
【図２】第１実施例の一部分の変更例を示した第２実施
例の概略的な説明図である。
例の概略的な説明図である。
【図３】第３実施例を示す装置の正面図である。
【図４】同上の右側面図である。
５ ワークテーブル装置 ９ レーザ加工ヘッド １１ ワークテーブル ３９ レーザ発振器 ４１ 光ファイバ
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ加工すべきワークを支持するワー
クテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自在に設
け、上記ワークのレーザ加工を行なうレーザ加工ヘッド
に、レーザ発振器からのレーザ光を導く光ファイバ或い
は導波管を接続してなることを特徴とするレーザ加工装
置。 - 【請求項２】 レーザ加工すべきワークを支持するワー
クテーブルを２軸制御により傾斜自在かつ回転自在に設
け、レーザ発振器からのレーザ光をレーザ加工ヘッドへ
導くための光ファイバ或いは導波管を、上記レーザ光を
平行光線化するためのコリメート部に接続して設け、こ
のコリメート部において平行光線化したレーザ光を前記
レーザ加工ヘッドへ導く構成としてなることを特徴とす
るレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06190581A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP43A JPH06190581A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06190581A true JPH06190581A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18366826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP43A Pending JPH06190581A (ja) | 1992-12-24 | 1992-12-24 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06190581A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100398599B1 (ko) * | 2001-02-15 | 2003-09-19 | 주식회사 이오테크닉스 | 플라즈마 디스플레이 패널의 불량 셀 보수 방법 및 이를위한 레이저 가공 장치 |
| KR100922161B1 (ko) * | 2007-09-28 | 2009-10-21 | 한전원자력연료 주식회사 | 지지격자용 다축 레이저용접 헤드 |
| WO2014065360A1 (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-01 | コマツ産機株式会社 | ファイバレーザ加工機、ファイバ接続方法及びファイバレーザ発振器 |
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