JP7464604B2 - 表示装置、表示モジュール、及び電子機器 - Google Patents
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Description
図2A~図2Eは、受発光デバイスの一例を示す断面図である。
図3A、図3Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図4A、図4Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図5A、図5Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図6A、図6Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図7A、図7Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図8Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図8B、図8Cは、樹脂層の上面レイアウトの一例を示す図である。
図9Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図9B、図9Cは、遮光層の上面レイアウトの一例を示す図である。
図10A、図10Bは、表示装置の一例を示す断面図である。
図11は、表示装置の一例を示す斜視図である。
図12は、表示装置の一例を示す断面図である。
図13は、表示装置の一例を示す断面図である。
図14Aは、表示装置の一例を示す断面図である。図14Bは、トランジスタの一例を示す断面図である。
図15は、画素回路の一例を示す回路図である。
図16A、図16Bは、表示装置の駆動方法の一例を示す図である。
図17A~図17Dは、表示装置の駆動方法の一例を示すタイミングチャートである。
図18A、図18Bは、表示装置の駆動方法の一例を示すタイミングチャートである。
図19は、画素回路の一例を示す回路図である。
図20A~図20Cは、電子機器の機能の一例を示す図である。
図21A、図21Bは、表示装置の駆動方法の一例を示す図である。
図22A、図22Bは、表示装置の駆動方法の一例を示す図である。
図23A~図23Dは、画素の一例を示す上面図である。
図24Aは、IGZOの結晶構造の分類を説明する図である。図24Bは、石英ガラス基板のXRDスペクトルを説明する図である。図24Cは、結晶性IGZO膜のXRDスペクトルを説明する図である。図24Dは、石英ガラス基板の極微電子線回折パターンを説明する図である。図24Eは、結晶性IGZO膜の極微電子線回折パターンを説明する図である。
図25A、図25Bは、電子機器の一例を示す図である。
図26A~図26Dは、電子機器の一例を示す図である。
図27A~図27Fは、電子機器の一例を示す図である。
図28は、受発光デバイスの輝度-電圧特性を示す図である。
図29は、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す図である。
図30は、受発光デバイスの受光感度の波長依存性を示す図である。
図31は、受発光デバイスの受光感度の波長依存性を示す図である。
図32は、受発光デバイスの受光感度の温度依存性を示す図である。
図33は、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す図である。
図34は、順バイアス印加時の受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。
図35は、受発光デバイスの外部量子効率-波長特性を示す図である。
図36は、逆バイアス印加時の受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。
図37は、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す図である。
図38は、順バイアス印加時の受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。
図39は、受発光デバイスの外部量子効率-波長特性を示す図である。
図40は、逆バイアス印加時の受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す図である。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について図1~図14を用いて説明する。
図1E~図1Gに、画素の一例を示す。なお、副画素の配列は図示した順序に限定されない。例えば、副画素(B)と副画素(G)の位置を逆にしても構わない。
図2A~図2Eに、受発光デバイスの積層構造の例を示す。
図3A、図3Bに示す表示装置は、基板151上に、トランジスタを有する層55を介して、青色(B)の光を発する発光デバイス47B、緑色(G)の光を発する発光デバイス47G、赤色(R)の光を発し、かつ、受光機能を有する受発光デバイス47R(PD)を有する。
図4A、図4Bに示すように、発光デバイス47B、発光デバイス47G、及び受発光デバイス47R(PD)は、一対の電極間に、共通の層を有していてもよい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受発光デバイスを内蔵することができる。
図5Aに示す表示装置は、受発光デバイス47R(PD)に、図2Cに示す積層構造を適用した例である。
図5Bに示す表示装置は、受発光デバイス47R(PD)に、図2Dに示す積層構造を適用した例である。
図6A、図6Bに表示装置10Aの断面図を示す。
図7Aに示す表示装置10Bは、発光デバイス190及び受発光デバイス190R(PD)が、それぞれ、バッファ層192及びバッファ層194を有さず、共通層112及び共通層114を有する点で、表示装置10Aと異なる。なお、以降の表示装置の説明において、先に説明した表示装置と同様の構成については、説明を省略することがある。
図7Bに示す表示装置10Cは、基板151及び基板152を有さず、基板153、基板154、接着層155、及び絶縁層212を有する点で、表示装置10Bと異なる。
図8Aに表示装置10Dの断面図を示す。
図9Aに、表示装置10Eの断面図を示す。図9Aは、図9B、図9Cに示す上面図における一点鎖線A1-A2間の断面図に相当する。
図10Aに示す表示装置10Fは、可視光を透過する隔壁216を有さず、可視光を遮る隔壁217を有する点で、表示装置10Dと異なる。
図10Bに示す表示装置10Gは、可視光を透過する隔壁216を有さず、可視光を遮る隔壁217を有する点で、表示装置10Eと主に異なる。
図11に表示装置100Aの斜視図を示し、図12に、表示装置100Aの断面図を示す。
図13に、表示装置100Bの断面図を示す。
図14Aに、表示装置100Cの断面図を示す。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の駆動方法について図15~図20を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の駆動方法について、図21及び図22を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置に用いることができる画素レイアウトについて説明する。なお、副画素の配列は図示した順序に限定されない。例えば、副画素(B)と副画素(G)の位置を逆にしても構わない。
本実施の形態では、上記の実施の形態で説明したOSトランジスタに用いることができる金属酸化物(酸化物半導体ともいう)について説明する。
まず、酸化物半導体における、結晶構造の分類について、図24Aを用いて説明を行う。図24Aは、酸化物半導体、代表的にはIGZO(Inと、Gaと、Znと、を含む金属酸化物)の結晶構造の分類を説明する図である。
なお、酸化物半導体は、結晶構造に着目した場合、図24Aとは異なる分類となる場合がある。例えば、酸化物半導体は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、上述のCAAC-OS、及びnc-OSがある。また、非単結晶酸化物半導体には、多結晶酸化物半導体、擬似非晶質酸化物半導体(a-like OS:amorphous-like oxide semiconductor)、非晶質酸化物半導体、などが含まれる。
CAAC-OSは、複数の結晶領域を有し、当該複数の結晶領域はc軸が特定の方向に配向している酸化物半導体である。なお、特定の方向とは、CAAC-OS膜の厚さ方向、CAAC-OS膜の被形成面の法線方向、またはCAAC-OS膜の表面の法線方向である。また、結晶領域とは、原子配列に周期性を有する領域である。なお、原子配列を格子配列とみなすと、結晶領域とは、格子配列の揃った領域でもある。さらに、CAAC-OSは、a-b面方向において複数の結晶領域が連結する領域を有し、当該領域は歪みを有する場合がある。なお、歪みとは、複数の結晶領域が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。つまり、CAAC-OSは、c軸配向し、a-b面方向には明らかな配向をしていない酸化物半導体である。
nc-OSは、微小な領域(例えば、1nm以上10nm以下の領域、特に1nm以上3nm以下の領域)において原子配列に周期性を有する。別言すると、nc-OSは、微小な結晶を有する。なお、当該微小な結晶の大きさは、例えば、1nm以上10nm以下、特に1nm以上3nm以下であることから、当該微小な結晶をナノ結晶ともいう。また、nc-OSは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。従って、nc-OSは、分析方法によっては、a-like OSや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。例えば、nc-OS膜に対し、XRD装置を用いて構造解析を行うと、θ/2θスキャンを用いたOut-of-plane XRD測定では、結晶性を示すピークが検出されない。また、nc-OS膜に対し、ナノ結晶よりも大きいプローブ径(例えば50nm以上)の電子線を用いる電子線回折(制限視野電子線回折ともいう。)を行うと、ハローパターンのような回折パターンが観測される。一方、nc-OS膜に対し、ナノ結晶の大きさと近いかナノ結晶より小さいプローブ径(例えば1nm以上30nm以下)の電子線を用いる電子線回折(ナノビーム電子線回折ともいう。)を行うと、ダイレクトスポットを中心とするリング状の領域内に複数のスポットが観測される電子線回折パターンが取得される場合がある。
a-like OSは、nc-OSと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する酸化物半導体である。a-like OSは、鬆または低密度領域を有する。即ち、a-like OSは、nc-OS及びCAAC-OSと比べて、結晶性が低い。また、a-like OSは、nc-OS及びCAAC-OSと比べて、膜中の水素濃度が高い。
次に、上述のCAC-OSの詳細について、説明を行う。なお、CAC-OSは材料構成に関する。
CAC-OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、一つまたは複数の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上3nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
続いて、上記酸化物半導体をトランジスタに用いる場合について説明する。
ここで、酸化物半導体中における各不純物の影響について説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について、図25~図27を用いて説明する。
まず、受発光デバイスの発光デバイスとしての特性(順バイアス印加時の特性)を評価した。図28に、受発光デバイスの輝度-電圧特性を示す。図29に、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す。
次に、受発光デバイスの受光デバイスとしての特性(逆バイアス印加時の特性)を評価した。図30に、受発光デバイスの受光感度の波長依存性を示す。測定条件としては、電圧を-6Vとし、光を12.5μW/cm2で照射した。なお、ここで印加した電圧は、通常、ELデバイスに印加するバイアスを正とした場合の値である。つまり、第1の電極180側が高電位で第2の電極189側が低電位である場合が、正である。
本実施例で作製した受発光デバイスの、受光デバイスとしての特性(逆バイアス印加時の特性)を評価した。本実施例の受発光デバイスに、波長375nmから750nmまでの光を25nmおきに、12.5μW/cm2で照射し、外部量子効率の波長依存性を求めた。電圧は、-6Vとした。また、測定温度を、20℃、30℃、40℃、50℃、60℃、70℃、79℃の7条件とし、外部量子効率の温度依存性を求めた。図31に、受発光デバイスの受光感度の波長依存性を示す。図32に、受発光デバイスの受光感度の温度依存性を示す。なお、図31及び図32の縦軸は外部量子効率(EQE)を示す。
まず、受発光デバイスの活性層の膜厚の影響を確認するため、表2に示す5つのデバイス(デバイス3-a、3-b、3-c、3-d、3-e)を作製し、発光デバイスとしての特性と受光デバイスとしての特性の双方を評価した。
まず、受発光デバイスの発光デバイスとしての特性(順バイアス印加時の特性)を評価した。図33に、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す。図34に、受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す。
次に、受発光デバイスの受光デバイスとしての特性(逆バイアス印加時の特性)を評価した。図35に、受発光デバイスの外部量子効率-波長特性を示す。図36に、受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す。
次に、受発光デバイスのバッファ層の膜厚の影響を調査するため、表3に示す5つのデバイス(デバイス3-f、3-g、3-h、3-i、3-j)を作製し、発光デバイスとしての特性と受光デバイスとしての特性の双方を評価した。
まず、受発光デバイスの発光デバイスとしての特性(順バイアス印加時の特性)を評価した。図37に、受発光デバイスの外部量子効率-輝度特性を示す。図38に、受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す。
次に、受発光デバイスの受光デバイスとしての特性(逆バイアス印加時の特性)を評価した。図39に、受発光デバイスの外部量子効率-波長特性を示す。図40に、受発光デバイスの電流密度-電圧特性を示す。
Claims (22)
- 発光デバイスと、受発光デバイスと、を有し、
前記発光デバイスは、第1の画素電極、第1の発光層、及び共通電極を有し、
前記受発光デバイスは、第2の画素電極、第2の発光層、活性層、及び前記共通電極を有し、
前記活性層は、有機化合物を有し、
前記第1の発光層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第2の発光層及び前記活性層は、それぞれ、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記発光デバイスは、第1の色の光を発する機能を有し、
前記受発光デバイスは、第2の色の光を発する機能と、前記第1の色の光を受光する機能と、を有する、表示装置。 - m個(mは2以上の整数)の発光デバイスと、n個(nはmより大きい整数)の受発光デバイスと、を有し、
前記発光デバイスは、第1の画素電極、第1の発光層、及び共通電極を有し、
前記受発光デバイスは、第2の画素電極、第2の発光層、活性層、及び前記共通電極を有し、
前記活性層は、有機化合物を有し、
前記第1の発光層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第2の発光層及び前記活性層は、それぞれ、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記発光デバイスは、第1の色の光を発する機能を有し、
前記受発光デバイスは、第2の色の光を発する機能と、前記第1の色の光を受光する機能と、を有する、表示装置。 - 請求項2において、
前記m及び前記nは、n=2mを満たす、表示装置。 - p個(pは2以上の整数)の第1の発光デバイスと、q個(qは2以上の整数)の第2の発光デバイスと、r個(rはpより大きく、qより大きい整数)の受発光デバイスと、を有し、
前記第1の発光デバイスは、第1の画素電極、第1の発光層、及び共通電極を有し、
前記受発光デバイスは、第2の画素電極、第2の発光層、活性層、及び前記共通電極を有し、
前記第2の発光デバイスは、第3の画素電極、第3の発光層、及び前記共通電極を有し、
前記活性層は、有機化合物を有し、
前記第1の発光層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第2の発光層及び前記活性層は、それぞれ、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第3の発光層は、前記第3の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第1の発光デバイスは、第1の色の光を発する機能を有し、
前記受発光デバイスは、第2の色の光を発する機能と、前記第1の色の光を受光する機能と、を有し、
前記第2の発光デバイスは、第3の色の光を発する機能を有する、表示装置。 - 請求項4において、
前記p及び前記rは、r=2pを満たす、表示装置。 - 請求項4または5において、
前記p、前記q、及び前記rは、r=p+qを満たす、表示装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記活性層は、前記第2の画素電極上に位置し、
前記第2の発光層は、前記活性層上に位置する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一において、
前記第2の発光層は、前記第2の画素電極上に位置し、
前記活性層は、前記第2の発光層上に位置する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか一において、
前記受発光デバイスは、さらに、バッファ層を有し、
前記バッファ層は、前記第2の発光層と前記活性層との間に位置する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記発光デバイス及び前記受発光デバイスは、さらに、共通層を有し、
前記共通層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間、及び、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
さらに、樹脂層、遮光層、及び基板を有し、
前記樹脂層及び前記遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記基板との間に位置し、
前記樹脂層は、前記受発光デバイスと重なる開口を有し、
前記樹脂層は、前記発光デバイスと重なる部分を有し、
前記遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有する、表示装置。 - 請求項11において、
前記遮光層は、前記開口の少なくとも一部、及び、前記開口にて露出している前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う、表示装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
さらに、樹脂層、遮光層、及び基板を有し、
前記樹脂層及び前記遮光層は、それぞれ、前記共通電極と前記基板との間に位置し、
前記樹脂層は、島状に設けられ、かつ、前記発光デバイスと重なる部分を有し、
前記遮光層は、前記共通電極と前記樹脂層との間に位置する部分を有し、
前記基板を通過した光の少なくとも一部は、前記樹脂層を介さずに、前記受発光デバイスに入射する、表示装置。 - 請求項13において、
前記遮光層は、前記樹脂層の側面の少なくとも一部を覆う、表示装置。 - 請求項11乃至請求項14のいずれか一において、
さらに、接着層を有し、
前記接着層は、前記共通電極と前記基板との間に位置し、
前記樹脂層及び前記遮光層は、それぞれ、前記接着層と前記基板との間に位置し、
前記接着層は、前記受発光デバイスと重なる第1の部分と、前記発光デバイスと重なる第2の部分と、を有し、
前記第1の部分は、前記第2の部分に比べて厚い、表示装置。 - 請求項1乃至請求項15のいずれか一において、
前記受発光デバイスを複数有するユニットを複数有し、
前記ユニットごとに撮像を行うモードと、前記受発光デバイスごとに撮像を行うモードと、を有する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項15のいずれか一において、
前記受発光デバイスを複数有し、
全ての前記受発光デバイスを撮像に用いるモードと、一部の前記受発光デバイスを撮像に用いるモードと、を有する、表示装置。 - 第1の発光デバイス、第2の発光デバイス、第1の受発光デバイス、及び第2の受発光デバイスを有する表示装置であり、
前記表示装置は、表示を行う第1のモード、檄像を行う第2のモード、及び、表示と撮像を同時に行う第3のモードを有し、
前記第1の発光デバイス、前記第2の発光デバイス、前記第1の受発光デバイス、及び前記第2の受発光デバイスは、同一面上に位置し、
前記第1のモードでは、前記第1の発光デバイス、前記第2の発光デバイス、前記第1の受発光デバイス、及び前記第2の受発光デバイスがそれぞれ発光することで表示を行い、
前記第2のモードでは、前記第1の発光デバイス及び前記第2の発光デバイスがそれぞれ発光し、
前記第1の受発光デバイス及び前記第2の受発光デバイスがそれぞれ受光することで、撮像を行い、
前記第3のモードでは、前記第1の発光デバイス、前記第2の発光デバイス、及び前記第1の受発光デバイスがそれぞれ発光し、前記第2の受発光デバイスが受光することで、表示と撮像を同時に行う、表示装置。 - 請求項18において、
前記第1の発光デバイスは、第1の画素電極、第1の発光層、及び共通電極を有し、
前記第1の受発光デバイスは、第2の画素電極、第2の発光層、活性層、及び前記共通電極を有し、
前記活性層は、有機化合物を有し、
前記第1の発光層は、前記第1の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第2の発光層及び前記活性層は、それぞれ、前記第2の画素電極と前記共通電極との間に位置し、
前記第1の発光デバイスは、第1の色の光を発する機能を有し、
前記第1の受発光デバイスは、第2の色の光を発する機能と、前記第1の色の光を受光する機能と、を有する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項19のいずれか一において、
前記表示装置は、可撓性を有する、表示装置。 - 請求項1乃至請求項20のいずれか一に記載の表示装置と、コネクタまたは集積回路と、を有する、表示モジュール。
- 請求項21に記載の表示モジュールと、
アンテナ、バッテリ、筐体、カメラ、スピーカ、マイク、及び操作ボタンのうち、少なくとも一つと、を有する、電子機器。
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