JP6905919B2 - 洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法 - Google Patents
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Description
狙い目検査としては、ワークをカラースプレーによって着色したうえでNC洗浄機を作動させて洗浄ノズルから洗浄液を噴射してワークを洗浄し、その洗浄結果(着色した塗料の残り具合)を限度見本と比較して、洗浄機の能力(位置精度、圧力、流量)が低下していないことを確認する。
つまり、吐出圧力に関しては高圧ポンプの元圧管理によるものが一般的であるが、元圧管理では実際の洗浄部品に加わっている圧力はわからない。また使用する洗浄機によっては、高圧ポンプ容量が同一でも使用する洗浄ノズルによって穴径や穴数などの仕様も異なるため詳細の管理は困難である。
(3)前記評価手段は、前記測定波形パターンが前記基準波形パターンを中心に設定される基準波形領域内にあるか否かによって前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価することが好ましい。
(5)前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向にかかるそれぞれの前記所定距離は、前記ノズル移動機構によって前記原点位置から移動可能な前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向のそれぞれの最大移動距離であることが好ましい。
(8)前記所定軸の周りの回転の回転にかかる前記所定角度は、前記回転駆動機構により駆動される最大回転角度であることが好ましい。
また、洗浄空間内の洗浄ノズルの原点位置とノズル移動機構により洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ設置された各受圧板における洗浄ノズルの性能評価の結果から総合的に評価することにより、洗浄ノズルの性能と移動機構の性能とを切り分けて評価することができるようになる。
まず、本実施形態に係る洗浄機を説明する。
本洗浄機には、NC制御(数値制御)を用いて各部を制御されるNC洗浄機が用いられている。図1はNC洗浄機及び洗浄機管理装置の構成を示すブロック図であり、図2はNC洗浄機の基本構成を説明する斜視図である。図1,2に示すように、NC洗浄機10は、図示しない壁部で囲繞される洗浄空間11と、洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズル12と、洗浄空間11内に洗浄対象物14を固定する固定台13と、を備えている。
また、固定台13は、洗浄対象物14を固定する固定面13aを備え、固定面13aが水平で且つC軸周りに所定方向を向いた状態を初期姿勢とし、回転駆動機構30によって、この初期姿勢からA軸周り及びC軸周りに適宜回転駆動される。
NC制御装置50は、CPU,ROM,RAM等からなるコンピュータによって構成されており、洗浄ノズル12の位置を数値制御する位置制御部(位置制御手段)51と、固定台13の回転方向の姿勢を数値制御する回転制御部(回転制御手段)52と、ポンプ40の作動を制御する噴射制御部(噴射制御手段)53とを備えている。
次に、本実施形態に係る洗浄機管理装置を説明する。
本洗浄機管理装置は、NC制御装置50を利用して構成されており、受圧板60と、受圧板60からの出力信号に対応して洗浄ノズル12の位置や固定台13の姿勢を数値制御する位置制御部51及び回転制御部52と、ポンプ40の作動を制御する噴射制御部53と、洗浄ノズル12の噴射特性を評価し、この評価結果に基づいて洗浄ノズル12自体の性能やノズル移動機構20や回転駆動機構30の性能を評価する評価部(評価手段)54とを備えている。なお、本実施形態では、NC制御装置50内に評価部54を備えているが、評価部54はNC制御装置50とは別のハードウェアに装備してもよい。
総合診断位置(診断点)P1に対しては、診断点受圧板61が設置されている。総合診断位置P1は、洗浄ノズル12のノズル開口が、原点位置(原点)P2からX軸方向,Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ所定距離(ここでは、各移動系統21〜23の最大移動距離)だけ移動させると共に、固定台13を初期姿勢からA軸周り及びC軸周りに、それぞれ所定角度(ここでは、各回転系統31,32の最大回転角度)だけ回転させた状態に応じた位置である。
X軸方向診断位置P3に対しては、X軸受圧板63が設置されている。X軸方向診断位置P3は、原点位置P2且つ固定台13の初期姿勢からX軸方向にのみ所定距離(ここでは、移動系統21の最大移動距離)だけ移動させた位置である。
Z軸方向診断位置P5に対しては、Z軸受圧板65が設置されている。Z軸方向診断位置P5は、原点位置P2且つ固定台13の初期姿勢からZ軸方向にのみ所定距離(ここでは、移動系統23の最大移動距離)だけ移動させた位置である。
C軸回転位置P7に対しては、C軸回転対応受圧板67が設置されている。C軸回転位置P7は、原点位置P2且つ固定台13の初期姿勢から固定台13をC軸の周りにのみ所定角度(ここでは、回転系統32の最大回転角度)だけ回転させた位置であり、C軸回転対応受圧板67は固定台13に設置されている。
次に、洗浄機管理装置による洗浄機の管理方法及びこれに用いられる評価部54の処理内容を図5,図6のフローチャート及び表1を参照しながら説明する。
なお、原点受圧板62,診断点受圧板61,X軸受圧板63,Y軸受圧板64,Z軸受圧板65,A軸回転対応受圧板66及びC軸回転対応受圧板67をそれぞれ洗浄空間11内の所定の位置(位置P1〜P7に応じた位置)に所定の姿勢で設置されている。
この第2評価工程の結果に応じて、他の受圧板60の測定データが必要であるか否かを判断し、測定データが必要であれば、再びステップS20に進んで洗浄液を噴射し、所要の受圧板60に対応した位置のデータを取得して各性能を評価する(ステップS30,S40)。
表1に示すパターン1〜パターン8は、洗浄ノズル12の噴射特性の各位置P1〜P7での評価結果の組み合わせを表している。○は洗浄ノズル12の噴射特性が正常であること(OK)を、×は洗浄ノズル12の噴射特性が正常でないこと(NG)を、それぞれ示す。
図6に示すように、まず、洗浄ノズル12を総合診断位置(診断点)P1に移動させて、診断点受圧板61による測定で取得した測定波形パターンを基準波形パターンとパターン照合して判定(第1判定)し、その結果を判断する(ステップA10)。
一方、原点受圧板62の測定によるパターン照合の結果、洗浄ノズル12の噴射特性が正常でないと判定された場合には、噴射系統の性能が正常でないと判定して(ステップA22)、ステップA30に進む。
なお、ステップA12で、噴射系統(洗浄ノズル12の噴射性能)の性能とノズル移動機構20の性能と回転駆動機構30の性能とが、何れも正常であると判定された場合には、評価処理終了後に、洗浄サイクルに移行する。
また、上記の第3判定に係るステップA30,A40,A50,A60,A70についての順序は限定されない。
本実施形態に係る洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法によれば、上記のように、受圧板60の複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、この受圧特性データから測定波形パターンを生成して、この測定波形パターンを、基準波形パターンを基準受圧特性と比較して洗浄ノズル12の性能を評価するので、洗浄ノズル12の性能を適切に評価することができるようになる。
特に、波形パターンを用いて、測定波形パターンを基準波形パターンと比較照合することで洗浄ノズル12の噴射性能を評価するので容易に評価を行うことができる。
特に、診断点受圧板61を設けることによって、異常のない場合に速やかに評価結果を得ることができ、洗浄サイクルへの移行を速やかに実施することができる。
以上本発明の実施形態を説明したが、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲でかかる実施形態を種々変更して実施することができる。
例えば、上記の実施形態では、移動位置P1,P3〜P7として、移動機構20や回転駆動機構30の可動限界まで(最大移動距離,最大回転角度)移動した位置としているが、これに替えて或いは加えて、ノズル移動機構20や回転駆動機構30の可動限界まではいかない移動距離,回転角度を移動位置に設定してもよい。
さらに、修理個所を修理した後に、本装置や方法を適用して、修理によって正常になったかを確認することも好ましく、また、受圧板60による測定で取得した測定波形パターンを、対応する洗浄対象と紐付して記録し、部品の管理や洗浄機10の管理に利用することも好ましい。
11 洗浄空間
12 洗浄ノズル
13 固定台
13a 固定面
14 洗浄対象物
20 ノズル移動機構
21 X方向移動系統
22 Y方向移動系統
23 Z方向移動系統
30 回転駆動機構
31 A軸周り回転系統
32 C軸周り回転系統
31c A軸
32c C軸
40 洗浄液噴射ポンプ(ポンプ)
50 NC制御装置(制御手段)
51 位置制御部(位置制御手段)
52 回転制御部(回転制御手段)
53 噴射制御部(噴射制御手段)
54 評価部(評価手段)
60 受圧板
60F 受圧面
61 診断点受圧板
62 原点受圧板
63 X軸受圧板
64 Y軸受圧板
65 Z軸受圧板
66 A軸回転対応受圧板
67 C軸回転対応受圧板
P1 総合診断位置(診断点)
P2 原点位置(原点)
P3 X軸方向診断位置
P4 Y軸方向診断位置
P5 Z軸方向診断位置
P6 A軸回転位置
P7 C軸回転位置
Claims (10)
- 洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理装置であって、
前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ設置され、複数の圧力測定点を有する受圧板と、
前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させる位置制御手段と、
前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射制御手段と、
前記噴射制御手段によって前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価し、この評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を総合評価する評価手段と、を有する
ことを特徴とする洗浄機管理装置。 - 前記所定位置は前記洗浄ノズルが前記受圧板に対して所定距離だけ離隔した位置であり、前記所定姿勢は前記受圧板に正対する姿勢であって、
前記受圧板の前記複数の圧力測定点は、前記所定位置で且つ前記所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルからの洗浄液の噴射領域のうち少なくとも一直径の全域を含むように配置され、
前記評価手段は、前記受圧特性データを、前記一直径上の各検出点位置と前記各検出点位置に対する測定値とから形成される波形パターンに処理し、この測定値に対応した測定波形パターンを前記基準受圧特性としての基準波形パターンと比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項1に記載された洗浄機管理装置。 - 前記評価手段は、前記測定波形パターンが前記基準波形パターンを中心に設定される基準波形領域内にあるか否かによって前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項2に記載された洗浄機管理装置。 - 前記ノズル移動機構は、前記洗浄ノズルを、原点位置からそれぞれが互いに直交するX軸方向,Y軸方向及びZ軸方向の三方向にそれぞれ移動させるX軸方向移動系統,Y軸方向移動系統及びZ軸方向移動系統を有し、
前記受圧板は、
前記原点位置に設置された原点受圧板と、
前記原点位置から前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、
前記原点位置から前記X軸方向にのみ所定距離だけ移動させたX軸方向診断位置に設置されたX軸受圧板と、
前記原点位置から前記Y軸方向にのみ所定距離だけ移動させたY軸方向診断位置に設置されたY軸受圧板と、
前記原点位置から前記Z軸方向にのみ所定距離だけ移動させたZ軸方向診断位置に設置されたZ軸受圧板と、を備え、
前記原点受圧板,前記診断点受圧板,前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板及び前記Z軸受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、
前記評価手段は、前記原点受圧板,前記診断点受圧板,前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板及び前記Z軸受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性の評価を実施する
ことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載された洗浄機管理装置。 - 前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向にかかるそれぞれの前記所定距離は、前記ノズル移動機構によって前記原点位置から移動可能な前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向のそれぞれの最大移動距離である
ことを特徴とする請求項4に記載された洗浄機管理装置。 - 前記評価手段は、
前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第1判定を実施し、
前記第1判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記X軸方向移動系統,前記Y軸方向移動系統,前記Z軸方向移動系統の各性能が何れも正常であると判断し、
前記第1判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第2判定を実施し、
前記第2判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、
前記第2判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板及び前記Z軸受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第3判定を実施し、
前記第3判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板及び前記Z軸受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記軸方向移動系統の性能が正常でないと判定する
ことを特徴とする請求項4又は5に記載された洗浄機管理装置。 - 前記洗浄機は、前記洗浄空間内に前記洗浄対象物を固定する固定台と、前記固定台を初期姿勢から所定軸の周りに回転させる回転駆動機構と、をさらに備えると共に、前記制御手段は、前記回転駆動機構を含めて数値制御を行い、
前記受圧板は、
前記原点位置に前記固定台の前記初期姿勢に応じて設置された原点受圧板と、
前記原点位置から前記X軸方向,前記Y軸方向及び前記Z軸方向にそれぞれ所定距離だけ移動させると共に、前記固定台を前記初期姿勢から前記所定軸の軸周りに所定角度だけ回転させた状態に応じた総合診断位置に設置された診断点受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記X軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたX軸方向診断位置に設置されたX軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記Y軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたY軸方向診断位置に設置されたY軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台の前記Z軸方向にのみ前記所定距離だけ移動させたZ軸方向診断位置に設置されたZ軸受圧板と、
前記原点位置且つ前記固定台の前記初期姿勢から前記固定台を前記所定軸の周りに前記所定角度だけ回転させた位置に設置された回転対応受圧板と、
前記原点受圧板,前記診断点受圧板,前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板,前記Z軸受圧板及び前記回転対応受圧板は何れも、前記洗浄ノズルを前記所定位置に配置可能な姿勢に設置され、
前記評価手段は、前記原点受圧板,前記診断点受圧板,前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板,前記Z軸受圧板及び前記回転対応受圧板から得られる受圧特性データを前記基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの前記噴射特性を評価する
ことを特徴とする請求項4又は5に記載された洗浄機管理装置。 - 前記所定軸の周りの回転の回転にかかる前記所定角度は、前記回転駆動機構により駆動される最大回転角度である
ことを特徴とする請求項7に記載された洗浄機管理装置。 - 前記評価手段は、
前記診断点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第1判定を実施し、
前記第1判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記洗浄ノズル及び前記ポンプの洗浄液噴射系統の各性能が何れも正常であって、且つ、前記X軸方向移動系統,前記Y軸方向移動系統,前記Z軸方向移動系統,前記回転駆動機構の性能が正常であると判断し、
前記第1判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記原点受圧板から得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第2判定を実施し、
前記第2判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記洗浄液噴射系統が正常でないと判定し、
前記第2判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であると判定した場合には、前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板,前記Z軸受圧板及び前記回転対応受圧板の何れかから得られる前記受圧特性データに基づいて前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常であるか否かを判定する第3判定を実施し、
前記第3判定により前記洗浄ノズルの前記噴射特性が正常でないと判定した場合には、前記X軸受圧板,前記Y軸受圧板,前記Z軸受圧板及び前記回転対応受圧板のうちの該当する受圧板に対応した前記ノズル移動機構又は前記回転駆動機構の性能が正常でないと判定する
ことを特徴とする請求項7又は8に記載された洗浄機管理装置。 - 洗浄対象物がセットされる洗浄空間と、前記洗浄空間内で洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルを移動させるノズル移動機構と、前記洗浄ノズルに洗浄液を加圧供給して噴射させるポンプと、前記ノズル移動機構及び前記ポンプを数値制御する制御手段と、を有する洗浄機を管理する洗浄機管理方法であって、
前記洗浄空間内の前記洗浄ノズルの原点位置と前記ノズル移動機構により前記洗浄ノズルが移動される移動位置とにそれぞれ、複数の圧力測定点を有する受圧板を設置し、
前記ノズル移動機構を作動させて前記洗浄ノズルを前記受圧板に対して所定位置で且つ所定姿勢に配置させるノズル移動工程と、
前記ポンプを作動させて前記所定位置で且つ所定姿勢に配置された前記洗浄ノズルから前記受圧板に向けて洗浄液を噴射させる噴射工程と、
前記洗浄ノズルから前記受圧板に洗浄液が噴射される際の前記受圧板の出力から、前記複数の圧力測定点の測定値からなる受圧特性データを取得し、前記受圧特性データを基準受圧特性と比較して前記洗浄ノズルの噴射特性を評価する噴射特性評価工程と、
前記噴射特性評価工程の評価結果に基づいて前記洗浄ノズルの性能及び前記ノズル移動機構の性能を評価する総合評価工程と、を実施する
ことを特徴とする洗浄機管理方法。
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JP3310840B2 (ja) * | 1995-10-16 | 2002-08-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の洗浄装置 |
JP4839535B2 (ja) * | 2001-07-13 | 2011-12-21 | ソニー株式会社 | 座標補正方法、座標補正装置、および座標補正用基準治具 |
JP4558293B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2010-10-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP5426301B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2014-02-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP5587862B2 (ja) * | 2009-02-27 | 2014-09-10 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 化学分析装置 |
JP5573034B2 (ja) * | 2009-07-17 | 2014-08-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
JP5951320B2 (ja) * | 2012-03-30 | 2016-07-13 | 三菱重工食品包装機械株式会社 | ノズルを備える容器搬送装置、充填設備、およびノズルの異常検出方法 |
US8984958B1 (en) * | 2012-08-02 | 2015-03-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Apparatus and method for determining the adhesive strength of biofilms on underwater protective coatings |
JP6207951B2 (ja) * | 2013-09-26 | 2017-10-04 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
CN203695503U (zh) * | 2014-02-24 | 2014-07-09 | 山东大学 | 工业机械零部件专用高压水射流清洗机 |
JP6251086B2 (ja) * | 2014-03-12 | 2017-12-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2016207838A (ja) * | 2015-04-22 | 2016-12-08 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
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