JP6251086B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 506
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 234
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 388
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 170
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 31
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 18
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 12
- 238000012795 verification Methods 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 57
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 47
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 42
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 13
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 11
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 11
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 6
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Description
9 制御部
10 チャンバー
20 スピンチャック
30,60,65 上面処理液ノズル
33,63,68 ノズル基台
40 処理カップ
70 カメラ
71 照明部
91 判定部
92 記憶部
93 設定部
100 基板処理装置
PA 撮像領域
RP リファレンスパターン
SP 吐出判定領域
TH 閾値
W 基板
Claims (11)
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部の周囲を取り囲むカップと、
処理液を吐出するノズルと、
前記基板保持部に保持された基板の上方の処理位置と前記カップよりも外側の待機位置との間で前記ノズルを移動させる駆動部と、
前記処理位置における前記ノズルの先端を含む撮像領域を撮像する撮像部と、
前記ノズルが前記処理位置に正確に位置しているときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した位置基準画像における前記ノズルの座標を特定して前記ノズルの先端を含む矩形領域をリファレンスパターンとして設定する設定部と、
前記基板保持部が処理対象となる基板を保持して前記ノズルが前記処理位置に移動したときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像における前記リファレンスパターンに対応する一部領域画像と前記位置基準画像における前記リファレンスパターンとを比較して前記ノズルの前記処理位置における位置異常を判定する判定部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置において、
前記設定部は、前記処理位置に正確に位置している前記ノズルが所定方向に所定量移動したときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した参照画像と前記位置基準画像との差分である差分画像から前記ノズルの座標を特定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2記載の基板処理装置において、
前記設定部は、前記差分画像における階調値プロファイルから前記ノズルの幅方向両端および先端の座標を特定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板処理装置において、
前記設定部は、前記ノズルの吐出幅および前記ノズルの先端と前記基板保持部に保持された基板との距離に基づいて前記位置基準画像における前記ノズルの先端から吐出された処理液が前記基板保持部に保持された基板に到達するまでの液柱部分を含む吐出判定領域を設定し、
前記判定部は、前記処理位置に移動した前記ノズルが処理液を吐出する前に前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した吐出基準画像における前記吐出判定領域と、その後に前記撮像領域を撮像して取得した監視対象画像における前記吐出判定領域とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定することを特徴とする基板処理装置。 - 請求項4記載の基板処理装置において、
前記設定部は、前記ノズルから処理液を吐出していないときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像と前記位置基準画像との前記吐出判定領域における差分の最大値と、前記ノズルから処理液を吐出しているときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像と前記位置基準画像との前記吐出判定領域における差分の最小値と、の中間の値を閾値として設定し、
前記判定部は、前記監視対象画像と前記吐出基準画像との前記吐出判定領域における差分と前記閾値とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定することを特徴とする基板処理装置。 - 処理液を吐出するノズルが基板保持部に保持されるべき基板の上方の処理位置に正確に位置しているときに撮像部が当該処理位置におけるノズルの先端を含む撮像領域を撮像して取得した位置基準画像における前記ノズルの座標を特定して前記ノズルの先端を含む矩形領域をリファレンスパターンとして設定するパターン設定工程と、
前記基板保持部が処理対象となる基板を保持して前記ノズルが前記基板保持部の周囲を取り囲むカップよりも外側の待機位置から前記処理位置に移動したときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像における前記リファレンスパターンに対応する一部領域画像と前記位置基準画像における前記リファレンスパターンとを比較して前記ノズルの前記処理位置における位置異常を判定する位置判定工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項6記載の基板処理方法において、
前記パターン設定工程では、前記処理位置に正確に位置している前記ノズルが所定方向に所定量移動したときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した参照画像と前記位置基準画像との差分である差分画像から前記ノズルの座標を特定することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項7記載の基板処理方法において、
前記パターン設定工程では、前記差分画像における階調値プロファイルから前記ノズルの幅方向両端および先端の座標を特定することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項6から請求項8のいずれかに記載の基板処理方法において、
前記ノズルの吐出幅および前記ノズルの先端と前記基板保持部に保持された基板との距離に基づいて前記位置基準画像における前記ノズルの先端から吐出された処理液が前記基板保持部に保持された基板に到達するまでの液柱部分を含む吐出判定領域を設定する領域設定工程と、
前記処理位置に移動した前記ノズルが処理液を吐出する前に前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した吐出基準画像における前記吐出判定領域と、その後に前記撮像領域を撮像して取得した監視対象画像における前記吐出判定領域とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定する吐出判定工程と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項9記載の基板処理方法において、
前記ノズルから処理液を吐出していないときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像と前記位置基準画像との前記吐出判定領域における差分の最大値と、前記ノズルから処理液を吐出しているときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像と前記位置基準画像との前記吐出判定領域における差分の最小値と、の中間の値を閾値として設定する閾値設定工程をさらに備え、
前記吐出判定工程では、前記監視対象画像と前記吐出基準画像との前記吐出判定領域における差分と前記閾値とを比較して前記ノズルからの処理液吐出を判定することを特徴とする基板処理方法。 - 請求項10記載の基板処理方法において、
前記閾値設定工程にて使用された前記ノズルから処理液を吐出していないときおよび処理液を吐出しているときに前記撮像部が前記撮像領域を撮像して取得した画像を保存する保存工程と、
前記保存工程にて保存された画像を用いて前記領域設定工程で設定された前記吐出判定領域および前記閾値設定工程で設定された前記閾値の検証を行う検証工程と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014048807A JP6251086B2 (ja) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 基板処理装置および基板処理方法 |
KR1020150033211A KR102340465B1 (ko) | 2014-03-11 | 2015-03-10 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
US14/642,919 US20150262848A1 (en) | 2014-03-11 | 2015-03-10 | Substrate processing apparatus and substrate processing method for discharge of processing liquid from nozzle |
CN201810083533.9A CN108155130B (zh) | 2014-03-11 | 2015-03-11 | 基板处理装置以及基板处理方法 |
TW106141247A TWI649130B (zh) | 2014-03-11 | 2015-03-11 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
TW104107817A TWI613010B (zh) | 2014-03-11 | 2015-03-11 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
CN201510106366.1A CN104916570B (zh) | 2014-03-11 | 2015-03-11 | 基板处理装置以及基板处理方法 |
US16/039,488 US10665481B2 (en) | 2014-03-11 | 2018-07-19 | Substrate processing apparatus and substrate processing method for discharge of processing liquid from nozzle |
KR1020210176718A KR102522968B1 (ko) | 2014-03-11 | 2021-12-10 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR1020210176716A KR102473026B1 (ko) | 2014-03-11 | 2021-12-10 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR1020210176717A KR102522967B1 (ko) | 2014-03-11 | 2021-12-10 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014048807A JP6251086B2 (ja) | 2014-03-12 | 2014-03-12 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017225756A Division JP6397557B2 (ja) | 2017-11-24 | 2017-11-24 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015173204A JP2015173204A (ja) | 2015-10-01 |
JP6251086B2 true JP6251086B2 (ja) | 2017-12-20 |
Family
ID=54260359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014048807A Active JP6251086B2 (ja) | 2014-03-11 | 2014-03-12 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6251086B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6423672B2 (ja) | 2014-09-26 | 2018-11-14 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP6905919B2 (ja) * | 2017-11-17 | 2021-07-21 | ジヤトコ株式会社 | 洗浄機管理装置及び洗浄機管理方法 |
WO2019159742A1 (ja) * | 2018-02-13 | 2019-08-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 |
JP7072415B2 (ja) | 2018-03-26 | 2022-05-20 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7177628B2 (ja) * | 2018-08-20 | 2022-11-24 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
JP7122192B2 (ja) * | 2018-08-21 | 2022-08-19 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置および基板処理システム |
JP7179568B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2022-11-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7282640B2 (ja) * | 2019-09-12 | 2023-05-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、および、基板処理方法 |
JP2023081763A (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置およびガード判定方法 |
JP2023137510A (ja) * | 2022-03-18 | 2023-09-29 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および監視方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH115056A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-01-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置 |
JP4020489B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2007-12-12 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2003173999A (ja) * | 2001-12-07 | 2003-06-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板洗浄装置、半導体基板洗浄方法および半導体装置の製造方法 |
JP2003273003A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-26 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP5457384B2 (ja) * | 2010-05-21 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置及び液処理方法 |
-
2014
- 2014-03-12 JP JP2014048807A patent/JP6251086B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015173204A (ja) | 2015-10-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161220 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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