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JP6899979B2 - 電動機駆動装置及び電動機駆動システム - Google Patents

電動機駆動装置及び電動機駆動システム Download PDF

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Description

本発明は、電動機を用いて駆動機構を駆動するための電動機駆動装置及び電動機駆動システムに関するものである。
電動機で駆動機構を駆動するために電動機駆動装置が用いられる。駆動機構としては、例えば、ボールねじを駆動して移動させる加工テーブルがあり、生産ラインにおける工作機械で用いられる。電動機駆動装置は、異常診断や特性補償のため、電動機又は駆動機構の摩擦、振動等の特性の推定値を推定している。
従来の電動機駆動システムにおいては、例えば数値制御装置からの生産のための稼働運転とは異なる駆動指令によりテーブルに対して一方向に単位移動量の移動停止動作を複数回遂行させ、逆方向にも単位移動量の移動停止動作を複数回遂行させ、摩擦測定を行って摩擦の値を算出する。そして例えば、摩擦値が許容範囲内にあるか否かを判定して故障診断を行っている(例えば、特許文献1参照)。
また、駆動機構を立ち上げる初期段階でサーボ調整のため、サーボ調整部が指定した試運転動作を行い、負荷特性を測定して、負荷特性補償を行う(例えば、特許文献2参照)。
特開2004−362204号公報 国際公開第2014/156164号
しかしながら、上述の電動機駆動装置及び電動機駆動システムでは、稼働運転において稼働計画による運転パターンの変更、ワークの種類の変更、外乱のある運転の実施等の運転条件の変更が伴うため、これらの変更により摩擦、振動等の特性の推定値が大きく変化し、異常診断や特性補償等が困難となるという課題があった。
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定値を利用することができる電動機駆動装置を提供することを目的とする。
本発明にかかる電動機駆動装置は、電動機により駆動機構を駆動した電動機の位置又は速度に基づく駆動検出値を取得する駆動検出値取得部と、駆動検出値の目標値となる駆動指令信号を取得する駆動指令取得部と、駆動指令信号に駆動検出値が追従するように制御演算を行い電動機へ電流を流して電動機を駆動動作させる駆動制御部と、駆動指令信号による駆動動作の運転条件により電動機又は駆動機構の特性値の推定を行うか否かを指示する特性推定指示信号を外部から取得する特性推定指示取得部と、特性推定指示信号が推定する指示の場合は駆動制御部の制御演算で使用される制御状態値に基づいて特性値の推定を行い特性推定値を出力し、特性推定指示信号が推定しない指示の場合は推定を行わない特性推定部とを備えたものである。本発明にかかる電動機駆動装置は、さらに、特性推定値に基づき電動機又は駆動機構の異常診断を実施して異常判定信号を出力する異常診断部と、駆動指令信号による駆動動作の運転条件により特性推定値を異常診断の異常診断基準の作成に使用する第5指示または使用しない第6指示を指示する異常基準作成指示信号を外部から取得する異常基準作成指示取得部と、異常基準作成指示信号が第5指示の場合は特性推定部から特性推定値を取得し、異常基準作成指示信号が第6指示の場合は特性推定部が出力する特性推定値を取得せず、取得された特性推定値に基づき異常診断の異常診断基準を作成し異常診断部へ出力する異常基準作成部と、を備える。
本発明によれば、運転条件の変更の影響を受けない特性の推定値を出力できる。
本発明の実施の形態1にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図である。 本発明の実施の形態1にかかる電動機駆動システムの動作説明図である。 本発明の実施の形態2にかかる電動機駆動システムの動作説明図である。 本発明の実施の形態3にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図である。 本発明の実施の形態3にかかる電動機駆動システムの動作説明図である。 本発明の実施の形態4にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図である。 本発明の実施の形態4にかかる電動機駆動システムの動作説明図である。
実施の形態1.
図1は、本発明の実施の形態1にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図であり、図1において、電動機駆動システム1は、電動機駆動装置100、上位コントローラ200、駆動部300、検出器400を備える。
駆動部300は電動機301と駆動機構302から構成されており、電動機301と駆動機構302は機械的に接続され、電動機301によって駆動される。駆動機構302は例えば工作機械の内部でボールねじを回転するように駆動してテーブルを直線方向に移動させる加工テーブルである。電動機301は例えばサーボモータであり、電動機301の回転出力軸にボールねじが軸継手によって機械的に接続されて駆動される。図1で電動機301と駆動機構302が二重線で接続されているが、二重線は機械的に接続されていることを示している。
検出器400は、例えば電動機301に設置され、電動機301の駆動された位置を検出し、検出した位置を駆動検出値Xbとして電動機駆動装置100へ出力する。
電動機駆動装置100は、駆動制御部101と、駆動指令取得部102と、駆動検出値取得部103と、電流検出部104と、特性推定部111と、特性推定指示取得部112とを備える。駆動検出値取得部103は、検出器400から電動機301の位置を駆動検出値Xbとして取得する。駆動指令取得部102は、電動機301の位置に対する目標値を駆動指令信号Xrとして上位コントローラ200から取得する。駆動制御部101は、駆動指令信号Xrと駆動検出値Xbをもとに制御演算を行い、電動機301に電圧を印加することで電流Imを流して電動機301に駆動トルクを発生させ、駆動指令信号Xrに駆動検出値Xbを追従させるように電動機301を駆動する。電流検出部104は電動機301へ流れる電流Imを電動機駆動装置100内で検出し、電流検出値Ibとして駆動制御部101へ伝達する。また、駆動制御部101は、駆動指令信号Xrと駆動検出値Xbと電流検出値Ibから電動機301に電流Imを流すために出力する電圧の値を算出するまでの制御演算の途中の計算値、又は駆動部300の特性を推定するために必要な電動機301の電気的もしくは機械的な定数、駆動機構302の機械的な定数等の情報を、制御状態値D1として、特性推定部111へ出力する。制御状態値D1は、例えば電動機301の速度の検出値、電動機301にトルクを発生させる成分の電流の検出値、電流の検出値から電動機301のトルク出力値に変換するトルク定数、電動機301の回転子の慣性モーメント値と駆動機構302の電動機301で駆動される部分の慣性モーメント値を合計した負荷慣性モーメント定数等を含む。
特性推定指示取得部112は、電動機駆動装置100の外部の上位コントローラ200から特性推定指示信号C1を取得する。特性推定部111は、駆動制御部101から制御状態値D1を取得し、外部の上位コントローラ200から取得した特性推定指示信号C1に対応して特性推定値E1を出力する。
ここで特性推定指示信号C1は、駆動指令信号Xrによる駆動動作の運転条件に基づき、電動機301又は駆動機構302の特性値の推定を行うか否かを指示する信号であり、特性推定指示信号C1が推定を行う指示となっている場合、特性推定部111は駆動制御部101から取得した制御状態値D1をもとに、駆動部300の状態を推定し、推定した値を特性推定値E1として出力する。例えば特性推定値E1として、電動機301の摩擦トルクと駆動機構302の摩擦力の合計として電動機301のトルクから出力した摩擦の成分を推定し摩擦推定値を出力する。摩擦は例えば、荷重による垂直抗力で大きさが変わるクーロン摩擦としての動摩擦が支配的であり、速度によって加算される粘性摩擦は小さく無視できる例で説明する。
特性推定部111で、例えば特性推定値E1としての摩擦の推定は次のように行う。特性推定部111は駆動制御部101から制御状態値D1として例えば、速度の検出値、電流の検出値、電流からトルクに変換するトルク定数、負荷慣性モーメント定数を受け取る。次に、電流の検出値にトルク定数を掛けて、発生させている負荷トルクを計算する。また、速度の検出値を時間的に微分した加速度に負荷慣性モーメント定数を掛けて、加速度を発生させる加速度トルクを計算する。計算された負荷トルクから加速度トルクを引くと、加速度以外に駆動動作で必要となったトルクが計算され、外乱のトルクが無いとみなせる場合に、摩擦の瞬時推定値とする。摩擦の瞬時推定値は絶対値をとった後、既定の時定数を持った一次遅れ系などのフィルタを通して平均的な値にして、摩擦の推定値とする。
特性推定指示信号C1が推定しない指示となっている場合、特性推定部111は特性推定値E1の推定を行わない。特性値の推定において、一次遅れ系のフィルタの積分変数のように演算上保持している保持変数がある場合、特性推定指示信号C1が推定しない指示の間は保持変数を更新せずに保持して推定を中断し、再び特性推定指示信号C1が推定する指示となって推定を行う際に保持変数の更新を再開して推定を行う。別の方法として、特性推定指示信号C1が推定しない指示の間は、推定は停止して、保持変数は更新しない又は既定の値に設定し、再び特性推定指示信号C1が推定する指示となって推定を行う際に保持変数を初期値などの既定の値に設定してそこから保持変数を更新して推定を行う方法でもよい。推定を行わないときに出力される特性推定値E1は、例えば、特性推定指示信号C1が推定しない指示に変化する直前の特性推定値E1を保持して出力する。推定を行わないときに出力される特性推定値E1として、既定の値を出力し、電動機駆動装置100の外部の機器もしくは作業者から見て特性推定値E1の推定を行っていないことが判明できるようにしてもよい。
ここで、上位コントローラ200は、電動機301の位置又は速度に基づく駆動検出値Xbの目標値となる駆動指令信号Xrを生成し、電動機駆動装置100に伝達する。
稼働運転においては、例えば、駆動部300を備える生産設備としての工作機械などでは、工作機械に取り付けられた複数の電動機301を適切なタイミングで順番に駆動したり、複数の電動機301を同時に同期して駆動したり、ワークが搬入されたかを検知する遮光センサといった図1に図示しない複数のセンサデバイスからのセンサ入力状態を基に電動機301を駆動したりする必要がある。
このため、稼働運転においては、電動機駆動装置100及び駆動部300を生産設備などで立ち上げる調整時の試運転とは違い、上位コントローラ200に電動機駆動装置100を接続し、上位コントローラ200で稼働計画により電動機301の位置又は速度に基づく検出値の目標値となる駆動指令信号Xrを生成して電動機駆動装置100に伝達し、電動機駆動装置100としては電動機駆動装置100の外部の上位コントローラ200から駆動指令信号Xrを取得して電動機301を駆動動作させる、といったシステム構成をとることが多い。また、上位コントローラ200では、稼働計画としての運転プログラムなどから運転条件が分かることから、運転条件を基に特性推定指示信号C1を生成できることが多い。
電動機駆動装置100での特性推定指示信号C1の取得は、シリアル通信経由であってもパラレルのデジタル信号入力経由であってもよい。上位コントローラ200等からの駆動指令信号Xrが通信により電動機駆動装置100に取得される場合に、駆動指令信号Xrを受信する通信経路と同じ通信経路で特性推定指示信号C1を取得すると、通信回路や通信配線が少なくて済み、駆動指令信号Xrと特性推定指示信号C1の同期もとりやすい。パラレルのデジタル信号入力を経由して特性推定指示信号C1を取得する場合は、通信プロトコル等に縛られず多様な上位コントローラ200等から特性推定指示信号C1を取得することができる。
図2は、電動機駆動システム1の動作を説明する図であり、電動機301により駆動される駆動機構302としてワークを載せてボールねじにより移動される加工テーブルの稼働運転の例において、特性推定値E1として加工テーブルのボールねじの摩擦を推定している状況を時系列で示した例である。比較のため特性推定指示信号C1を設けず摩擦を常時推定した場合を図2の常時摩擦推定値で示す。稼働運転は、駆動部が通常の稼働をしているときの運転であり、例えば駆動部を備える生産設備としての工作機械が通常の生産のために稼働しているときの運転などである。図2において期間511はワークW1に対して稼働運転され、期間512ではワークの種類が変更されてワークW1より荷重の軽いワークW2に変更されて稼働運転され、期間513、514、515は再度ワークの種類が変更されてワークW1に対する稼働運転がされている。運転パターンについては、2種あり、期間511、512、513は運転パターンP1で稼働運転され、期間514は運転パターンP2に変更され、期間515は再度運転パターンP1に戻されて稼働運転される。P2は、例えばあるワークの加工から次のワークの加工までの間隔時間が運転パターンP1よりも長い運転パターンである。
期間512では、ワーク種類がW2に変更されて荷重が軽くなったことから、ワークを載せたテーブルを移動させるボールねじにおける摩擦が小さくなり、常時摩擦推定値が期間511よりも小さい値に変動している。
期間514では、ワークの加工と加工の間隔時間が長くなり、間隔時間におけるボールねじの放熱量が大きくなることで、ボールねじの温度が期間513より低下し、温度が低下したことで摩擦が大きくなって、常時摩擦推定値も期間513より大きな値になっている。
例えば、稼働運転中の電動機301及び駆動機構302の経年変化の指標として摩擦の値を表示出力している場合に、上述のようにワークの種類の変更、運転パターンの変更等の運転条件の変更により、摩擦推定値が大きく変動し表示出力値が変動すると、駆動機構302を監視する作業者が駆動機構302の特性を把握しにくい。
このため、作業者にて、例えば摩擦による経年変化を見るための基準として、ワークW1の加工の稼働運転にて特性推定値E1として摩擦を推定することと決める。基準とするワークの決め方としては、例えば摩擦力が大きな値となることで摩擦推定におけるノイズとのS/N比が良くなる重量の重いワークであったり、生産において多く生産されていて稼働運転で加工する機会が多いこと等から決めることができる。また、運転パターンについても、生産において多く使用され稼働運転される機会の多い運転パターンであることを基準として、運転パターンP1の稼働運転にて特性推定値E1を推定することと決めることができる。
そこで、上位コントローラ200において、特性推定値E1の推定は、ワークの種類はW1の場合に、運転パターンはP1の場合に推定するように、上位コントローラに特性推定指示信号C1を生成する推定判断基準として事前に登録し記憶させておく。上位コントローラは生産計画から稼働運転で加工する運転条件としてワークの種類と運転パターンを決定して稼働運転する。決定されたワークの種類及び運転パターンといった運転条件と記憶している推定判断基準から、稼働運転する運転条件で特性推定値E1の推定を行うか否かを判断して特性推定指示信号C1を推定する指示又は推定しない指示として生成し、電動機駆動装置100へ出力する。図2の特性推定指示信号C1では、推定する指示の場合は「推定」で、推定しない指示の場合は「中断」で図示している。
電動機駆動装置100では、駆動指令信号Xrを受取り、駆動検出値Xbが駆動指令信号Xrに追従するように電動機301に電流を流して駆動トルクを出力し、駆動機構302を駆動する。同時に、取得した特性推定指示信号C1に基づいて、特性推定指示信号C1が推定する指示であれば、特性推定部111において、推定動作を行う。特性推定指示信号C1が推定する指示から推定しない指示に変更となると、変更直前の特性推定値E1の値が保持され、特性推定指示信号C1が推定しない指示である間は保持した値を出力する。
このようにして、ワークの種類が変更されたり、運転パターンが変更されたりして、運転条件が変更になっても、摩擦等の特性推定値E1は図2の下段に示すように出力され、運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定値を利用することができる。
したがって、稼働運転中の電動機301及び駆動機構302の経年変化の指標として特性推定値E1を表示出力している場合は、駆動機構302を監視する作業者が駆動機構302の特性の経年変化を把握しやすくなる。また、稼働運転中の電動機301及び駆動機構302の経年変化による摩擦等の特性の変化に合わせて、摩擦補償等の駆動制御の設定を変更する場合にも、運転条件による特性推定値E1の変動に影響されず、経年変化を把握して設定できる。
すなわち、本実施の形態にかかる電動機駆動装置100においては、電動機301により駆動機構302を駆動した電動機301の位置に基づく駆動検出値Xbを取得する駆動検出値取得部103と、駆動検出値Xbの目標値となる駆動指令信号Xrを取得する駆動指令取得部102と、駆動指令信号Xrに駆動検出値Xbが追従するように制御演算を行い電動機301へ電流を流して電動機301を駆動動作させる駆動制御部101と、駆動指令信号Xrによる駆動動作の運転条件により電動機301又は駆動機構302の特性値の推定を行うか否かを指示する特性推定指示信号C1を外部から取得する特性推定指示取得部112と、特性推定指示信号C1が推定する指示の場合は駆動制御部101の制御演算で使用される制御状態値D1に基づいて特性値の推定を行い特性推定値E1を出力し、特性推定指示信号C1が推定しない指示の場合は推定を行わない特性推定部とを備えたので、運転パターンの変更、ワークの種類の変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定値を出力できる。
また、電動機駆動システム1においては、この電動機駆動装置100と、駆動指令信号Xrと特性推定指示信号C1とを電動機駆動装置100へ出力する上位コントローラ200とを備えたので、運転条件の変更の影響を受けない特性の推定値を利用することができる。
実施の形態2.
本発明の実施の形態2にかかる電動機駆動装置及び電動機駆動システムの構成を図1、図3を用いて説明する。実施の形態1では、電動機301としてサーボモータ、駆動機構302として加工テーブルを用いた例を示したが、実施の形態2では、電動機301を工作機械の加工工具を回転させる主軸の誘導電動機、駆動機構302は工作機械の加工工具とした。
検出器400は電動機301の速度を検出して駆動検出値Xbとして出力し、駆動制御部101は電動機301の速度を制御し、特性推定部111では特性推定値E1として駆動指令信号Xrから駆動検出値Xbを引いた速度偏差の振動振幅を推定し、特性推定指示信号C1は外乱のある運転か否かで指示されるようにした。特性推定値E1としての速度偏差の振動振幅の推定値は、切削加工中の電動機301の回転子にかかる外乱トルクを観測するのではなく、電動機301の回転子が回転しているが切削加工していない時に電動機301の回転子が滑らかに回転しているか否かを振動振幅で判断し、電動機301の回転子を支えるベアリング等の経年変化を監視する。
さらに具体的には、駆動機構302は、例えば工作機械の内部で切削加工を行うエンドミル等の加工工具である。電動機301は例えば誘導電動機であり、電動機301の回転子の回転出力軸に工具チャックを介して加工工具が駆動機構302として機械的に取り付けられて駆動される。
検出器400は、例えば駆動された電動機301の速度を検出できるように配置され、検出した速度を駆動検出値Xbとして電動機駆動装置100へ出力する。
駆動検出値取得部103は、検出器400から電動機301の速度を駆動検出値Xbとして取得する。駆動指令取得部102は、電動機301の速度に対する目標値を駆動指令信号Xrとして上位コントローラ200から取得する。駆動制御部101は、駆動指令信号Xrと駆動検出値Xbをもとに制御演算を行い、電動機301に電圧を印加することで電流Imを流して電動機301に駆動トルクを発生させ、駆動指令信号Xrに駆動検出値Xbを追従させるように電動機301を駆動する。駆動制御部101は、制御状態値D1を特性推定部111へ出力する。制御状態値D1は例えば、駆動制御部101で制御演算のために計算された、電動機301の速度に対する目標値としての駆動指令信号Xrから電動機301の速度の検出値としての駆動検出値Xbを引いた速度偏差等が含まれる。たとえば一定値の速度の目標値に対して、追従するように電動機301が制御され、ベアリング等に問題が無ければ、速度偏差は滑らかである。ここで例えば、電動機301の回転子を支えるベアリングの中の玉に傷が生じると、電動機301の回転に対して周期的な外力が生じ、速度偏差の振動となって現れる。ただし、切削加工の途中では加工工具がワークを削る際の周期的な外乱のトルクにより、速度偏差に振動が生じる。
特性推定部111は、駆動制御部101から制御状態値D1を取得し、上位コントローラ200から取得した特性推定指示信号C1に対応して特性推定値E1を出力する。特性推定指示信号C1は推定動作を行うか否かを指示する信号であり、特性推定指示信号C1が推定する指示となっている場合、特性推定部111は駆動制御部101から取得した制御状態値D1に基づき、駆動部300の特性を推定し、推定した値を特性推定値E1として出力する。特性推定指示信号C1が推定しない指示となっている場合、特性推定部111は特性推定値E1の推定を行わない。制御状態値D1から特性推定値E1を推定する方法としては、例えば制御状態値D1として取得した速度偏差にハイパスフィルタを用いてオフセット等の低周波成分を除去して振動成分を抽出し、振動成分の絶対値を平均化することで振動の振幅を推定した振動振幅推定値とし、振動振幅推定値を特性推定値E1として出力する。
図3は電動機301により駆動機構302としての加工工具を駆動する稼働運転において、特性推定値E1として加工工具を回転させる電動機301の速度偏差の振動振幅推定値を推定する状況を時系列で示した例である。比較として、速度偏差の振動振幅を常時推定した場合を図3の常時振動振幅推定値で示す。図3の期間521、523、525はワークを載せたテーブルの移動命令が位置決め命令G00である。期間522、524は切削移動命令G01である。期間522、524では、運転途中に加工工具がワークを切削する際の切削外力の外乱による振動の影響が発生するため、速度偏差の振動振幅が大きくなる。
稼働運転中の電動機301及び駆動機構302において、例えば加工工具を取り付けた電動機301の回転子を支えて回転させるベアリングの経年変化の指標として速度偏差の常時振動振幅推定値を表示出力すると、上述のように切削加工の外乱が発生する運転の実施等の運転条件の変更により、常時振動振幅推定値の表示出力値が大きく変動する。駆動機構302を監視する作業者が、駆動機構302の経年変化による特性を把握するために、この変動を含む速度偏差の常時振動振幅推定値を参照すると、外乱が発生する運転の実施という運転条件の影響が含まれているため、駆動機構302の特性を把握しにくい。
そこで次のように特性推定値E1を出力させる。上位コントローラ200は、運転プログラムを保有しているので、運転プログラム内の移動命令の記述により、次に動く移動命令が、切削のある切削移動か、切削のない位置決め移動であるかがわかる。このため、例えば、上位コントローラ200にて、運転プログラムの中の加工テーブルの移動命令で、位置決め移動G00である場合は、特性推定指示信号C1を推定する指示とし、切削外力による外乱がある切削移動G01である場合は、特性推定指示信号C1を推定しない指示とする。こうして決定した特性推定指示信号C1を上位コントローラ200から電動機駆動装置100へ出力する。図3の特性推定指示信号C1では、推定する指示の場合は「推定」で、推定しない指示の場合は「中断」で図示している。
電動機駆動装置100では、駆動指令信号Xrを受取り、駆動検出値Xbが駆動指令信号Xrに追従するように電動機301に電流を流して駆動トルクを出力し、駆動機構302を駆動する。並行して、取得した特性推定指示信号C1に基づいて、特性推定指示信号C1が推定する指示であれば、特性推定部111において、推定を行う。特性推定指示信号C1が推定する指示から推定しない指示に変更となると、例えば、変更直前の特性推定値E1の値を保持し、特性推定指示信号C1が推定しない指示である間は保持した値を出力する。
このようにして、外乱のある運転が実施される場合でも、特性推定値E1は大きく変動することなく、図3の特性推定値E1に示されるように出力され、外乱のある運転の実施といった運転条件の変更がある場合でも、運転条件の影響を受けずに特性の推定値を利用することができる。これにより、稼働運転中の電動機301又は駆動機構302の経年変化の指標として特性推定値E1を表示出力している場合に、駆動機構302を監視する作業者は駆動機構302の特性の経年変化を把握しやすくなる。また、稼働運転中の経年変化による電動機301及び駆動機構302の振動振幅の変化に合わせて、振動抑制機能の設定を変更する場合にも、特性推定値E1の変動に影響されず、経年変化を把握して設定できる。
したがって、本実施の形態にかかる電動機駆動装置100及び電動機駆動システム1においては、実施の形態1と同様に、外乱のある運転の実施等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定値を出力でき、これを利用することができる。
実施の形態3.
本発明の実施の形態3にかかる電動機駆動装置及び電動機駆動システムについて説明する。図4は本発明の実施の形態3にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図である。図4において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。実施の形態1とは、電動機駆動装置100に異常診断指示取得部122と異常診断部121とを備え、特性推定指示取得部112を備えておらず、特性推定部111は常時特性推定値E0を出力している点で相違している。
特性推定部111は、駆動制御部101から制御状態値D1を取得し、制御状態値D1に基づき駆動部300の特性値を推定し、運転条件にかかわらず推定した値を常時特性推定値E0として出力する。
異常診断指示取得部122は、電動機駆動装置100の外部の上位コントローラ200から異常診断指示信号C2を取得する。
異常診断部121は、特性推定部111から常時特性推定値E0を取得し、外部の上位コントローラ200から取得した異常診断指示信号C2に対応して異常診断を行い、異常診断の結果として異常判定信号F1を出力する。異常診断指示信号C2が診断を行う指示となっている場合、異常診断部121は特性推定部111から取得した常時特性推定値E0に基づき、駆動部300の異常診断を行う。異常診断の判定処理としては、例えばあらかじめ設定した常時特性推定値E0の許容範囲に常時特性推定値E0が入っているか否かで判定する。許容範囲としては、駆動機構302を立ち上げる初期段階において例えば平均的な常時特性推定値E0に対して一定の許容範囲幅を設けた許容範囲上限と許容範囲下限を設定する。異常診断部121は異常診断指示信号C2が診断を行う指示となっていると異常診断を行い、常時特性推定値E0が許容範囲を超えている場合は異常と判断し、異常判定信号F1を異常として出力する。常時特性推定値E0が許容範囲に入っている場合は異常ではないと判断し、異常判定信号F1を正常として出力する。異常診断指示信号C2が診断しない指示となっていると、異常診断部121は常時特性推定値E0に基づいた異常診断を行わず、異常判定信号F1を正常として出力する。異常判定信号F1は、例えば電動機駆動装置100が有する表示器に出力され、表示器では異常を検出したことを警告として表示し、電動機駆動装置100を監視する作業者が表示器を見て、常時特性推定値E0が異常と判断される状態であることを知ることができる。
図5は電動機301により駆動される駆動機構302としてワークを載せてボールねじにより移動される加工テーブルの稼働運転の例において、常時特性推定値E0として加工テーブルのボールねじの摩擦を推定し、推定した常時特性推定値E0に基づいて異常診断を行っている状況を時系列で示した例である。図5において常時特性推定値E0は摩擦を常時推定した常時摩擦推定値で示している。例えば期間531でワークW1に対して稼働運転され、期間532ではワークの種類が変更されてワークW1より荷重の軽いワークW2に変更されて稼働運転され、期間533、534、535は再度ワークの種類が変更されてワークW1に対する稼働運転がされている。運転パターンについては、期間531、532、533は運転パターンP1で稼働運転され、期間534は運転パターンが変更されて、あるワークの加工から次のワークの加工までの間隔時間が運転パターンP1よりも長い運転パターンP2に変更されて稼働運転されている。期間535は再度運転パターンP1に戻されて稼働運転されている。
期間532では、ワークの種類がW2に変更されて荷重が軽くなったことから、ワークを載せているボールねじにおける摩擦が小さくなり、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が期間531よりも小さい値に変動し、許容範囲下限よりも小さい値となる。
期間534では、ワークの加工と加工の間隔時間が長くなり、間隔時間におけるボールねじの放熱量が大きくなることで、ボールねじの温度が期間533より低下し、この温度の低下により摩擦が大きくなって、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が期間533より大きな値となり、許容範囲上限よりも大きい値となる。
また、期間533から期間535にかけて運転条件とは関係なく、経年変化により摩擦が徐々に増えており、期間535の途中の時点で常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が許容範囲上限を超えていく。
例えば、常時特性推定値E0として常時摩擦推定値に基づいて、常に異常診断をする場合、上述のようにワークの種類の変更、運転パターンの変更等の運転条件の変更により、常時摩擦推定値が大きく変動する期間532又は期間534にて許容範囲から外れ、異常診断にて異常を誤検知する。
そこで、例えば摩擦の経年変化による異常診断をする基準として、ワークの種類W1かつ運転パターンP1の稼働運転にて異常診断を行う。
例えば、ワークの種類はW1、運転パターンはP1の場合に異常診断することを、異常診断実施基準として上位コントローラ200に事前に登録し記憶させておく。上位コントローラ200は、生産計画に基づいて稼働運転する運転条件として決定したワークの種類と運転パターンで、駆動指令信号Xrを電動機駆動装置100へ出力し稼働運転する。また、上位コントローラ200は、稼働運転するワークの種類及び運転パターン等の運転条件と、登録記憶しておいた異常診断実施基準から、異常診断指示信号C2を診断を行う指示又は診断しない指示として生成して、電動機駆動装置100へ出力する。図5の異常診断指示信号C2では、診断を行う指示の場合は「診断」で、診断しない指示の場合は「中断」で図示している。
電動機駆動装置100では、駆動指令信号Xrを受取り、駆動検出値Xbが駆動指令信号Xrに追従するように電動機301に電流を流して駆動トルクを出力し、駆動機構302を駆動する。また、特性推定部111は、駆動制御部101から制御状態値D1を取得し、制御状態値D1に基づき駆動部300の特性を推定し、運転条件にかかわらず推定した値を常時特性推定値E0として出力する。異常診断指示取得部122では外部の上位コントローラ200から異常診断指示信号C2を取得する。
異常診断部121は、異常診断指示取得部122から異常診断指示信号C2を取得し、異常診断指示信号C2が診断を行う指示の場合、特性推定部111から常時特性推定値E0を取得し、常時特性推定値E0に基づいて異常診断を行い、異常を検知した場合は異常判定信号F1を異常判定結果で出力する。異常を検知しなかった場合は異常判定信号F1を正常判定結果で出力する。また、異常診断指示信号C2が診断しない指示の場合、異常診断を中断し、異常判定信号F1を正常判定結果で出力する。図5の異常判定信号F1では異常診断結果の場合は「異常」で、正常判定結果の場合は「正常」で図示している。
図5の期間531では、ワークの種類がW1、運転パターンがP1であることから、異常診断指示信号C2は診断を行う指示とし、異常診断指示信号C2が診断を行う指示であることから異常診断部121で異常診断を行うが、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が許容範囲内に入っているため、異常判定信号F1は正常判定結果で出力する。
期間532では、ワークの種類がW2に変更されて、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が許容範囲下限よりも小さい値となるが、ワークの種類がW2であることから異常診断指示信号C2は診断しない指示とし、異常診断指示信号C2が診断しない指示であることから異常診断部121は異常診断を行わず、異常判定信号F1は正常判定結果で出力する。
期間533は期間531と同様の動作で、異常判定信号F1は正常判定結果で出力する。
期間534では、運転パターンがP2に変更されて、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が許容範囲上限よりも大きい値となるが、運転パターンがP2であることから異常診断指示信号C2は診断しない指示とし、異常診断指示信号C2が診断しない指示であることから異常診断部121は異常診断を行わず、異常判定信号F1は正常判定結果で出力する。
期間535では、ワークの種類がW1、運転パターンがP1であることから、異常診断指示信号C2は診断を行う指示とし、異常診断指示信号C2が診断を行う指示であることから異常診断部121で異常診断を行うが、常時特性推定値E0としての常時摩擦推定値が経年変化で増大し期間535で許容範囲上限よりも大きくなると、異常を検知し異常判定信号F1は異常判定結果を出力する。
このように、ワークの種類の変更、運転パターンの変更等の運転条件の変更があり、摩擦等の常時特性推定値E0が運転条件の変更に伴って変動して出力される場合でも、運転条件により異常診断を行うか否かを指示する異常診断指示信号C2を外部から取得して、異常診断指示信号C2が診断を行う指示の場合は、特性推定部111から常時特性推定値Eを取得し、異常診断を行って異常判定信号F1を出力し、異常診断指示信号C2が診断を行わない指示の場合は異常診断を行わないので、運転条件の変更の影響を受けない特性の推定値から真に異常な場合の診断ができる。したがって、異常診断の誤検出を低減することができ、信頼性の高い異常診断を行うことができる。
すなわち、本実施の形態にかかる電動機駆動装置100及び電動機駆動システム1においては、電動機301により駆動機構302を駆動した電動機301の位置に基づく駆動検出値Xbを取得する駆動検出値取得部103と、駆動検出値Xbの目標値となる駆動指令信号Xrを取得する駆動指令取得部102と、駆動指令信号Xrに駆動検出値Xbが追従するように制御演算を行い電動機301へ電流Imを流して電動機301を駆動動作させる駆動制御部101と、駆動制御部101から制御演算で使用される制御状態値D1を取得し電動機301又は駆動機構302の特性値の推定を行って常時特性推定値E0を出力する特性推定部111と、駆動指令信号Xrによる駆動動作の運転条件により常時特性推定値E0に基づいた異常診断を行うか否かを指示する異常診断指示信号C2を外部から取得する異常診断指示取得部122と、異常診断指示信号C2が診断を行う指示の場合は特性推定部111の常時特性推定値E0に基づき異常診断を行って異常判定信号F1を出力し、異常診断指示信号C2が診断しない指示の場合は異常診断を行わない異常診断部121とを備えたので、運転パターンの変更、ワークの種類の変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定を基にした異常診断をすることができる。
さらに、特性推定部111では運転条件によらず常時特性推定値E0を推定し、常時特性推定値E0を取得する異常診断部121で運転条件の変更の影響を受けないようにしたので、運転条件を変更したことによる変動も含めた常時特性推定値E0を参照利用したい別の機能用途でも常時特性推定値E0を参照し利用できる。また、違う運転条件で異常診断を行う複数の異常診断部121を備える場合に、それぞれの異常診断部121は1つの常時特性推定値E0を参照し取得して異常診断することができるので、特性推定部111の処理を共通にすることができ、少ない処理負荷で実現できて、処理を開発する工数も低減できる。
なお、異常判定信号F1は、異常を検知したことを示す異常判定結果と、異常を検知していないことを示す正常判定結果の2値で説明したが、駆動部300が経年変化により駆動運転できなくなるまでの残りの時間を推定した残り寿命を表す信号であってもよい。そのような信号とした場合も、ワークの種類の変更、運転パターンの変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定値を利用することができ、信頼性の高い異常診断をすることができる。さらに、残り寿命を表す信号を図示しない表示器で出力し、駆動部300を監視する作業者が参照することで、作業者は信頼性の高いメンテナンス時期を予測することができる。
実施の形態4.
図6は、本発明の実施の形態4にかかる電動機駆動システムを示す概略構成図である。図6において、図1と同じ符号を付けたものは、同一または対応する構成を示しており、その説明を省略する。本発明の実施の形態1とは、電動機駆動装置100に異常診断部121と異常基準作成部131と異常基準作成指示取得部132とを備え、異常基準作成指示取得部132は異常基準作成指示信号C3を電動機駆動装置100の外部の上位コントローラから取得する点で相違している。
異常診断部121は、特性推定部111から特性推定値E1を取得し、異常診断を行って、異常診断の結果として異常判定信号F1を出力する。
異常基準作成指示取得部132は、電動機駆動装置100の外部の上位コントローラ200から異常基準作成指示信号C3を取得する。
異常基準作成部131は、特性推定部111から特性推定値E1を取得し、外部の上位コントローラ200から取得した異常基準作成指示信号C3に基づいて、特性推定値E1を異常基準作成処理に使用するか否かを判断し、異常診断基準H1を作成する。作成した異常診断基準H1は異常診断部121へ出力する。
異常基準作成部131で異常診断基準H1を作成する処理としては、例えば次のように行う。どれだけの期間の特性推定値E1をもとに異常診断基準H1を作成するかをあらかじめ決定し、基準作成期間とする。異常基準作成部131は、基準作成期間の特性推定値E1を取得して記憶しておき、記憶した特性推定値E1から平均値及び標準偏差を算出する。さらに、異常診断部121で異常の検出が発生する確率の仕様を発生確率としてあらかじめ決定しておき、その発生確率から標準正規分布により基準係数を算出する。算出した特性推定値E1の平均値、標準偏差および基準係数から、異常診断基準H1として許容範囲の上限及び下限を、例えば平均値±標準偏差×基準係数で作成する。平均値及び標準偏差を算出するために基準作成期間の特性推定値E1を取得して記憶するときに、外部の上位コントローラ200から取得した異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示の場合は特性推定値E1を記憶し、異常基準作成指示信号C3が作成に使用しない指示の場合は記憶しない。特性推定値E1の記憶は、異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示で記憶した回数又は時間の合計が基準作成期間となるまで記憶を行う。特性推定値E1の記憶は、例えば異常基準作成部131が使用できるEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read Only Memory)又はフラッシュメモリといった不揮発性メモリに記憶することで、1日の稼動運転が終わって電動機駆動装置100の電源を切り、次の日にまた電動機駆動装置100の電源を入れて稼働運転を再開するような運転において、電動機駆動装置100の電源を切っている時間をまたいだ数日にわたる基準作成期間での特性推定値E1を使用して異常診断基準H1を作成することができる。
動作について、例えば、駆動機構302としての工作機械の加工テーブルのボールねじの摩擦を特性推定値E1として推定し、経年変化以外にワークの種類の変更による摩擦の変動についても変動が大きければ異常と判断する電動機駆動装置100において、異常診断基準H1を作成する例を図7を用いて説明する。
図7において、ワークの種類は期間543、548、552でそれぞれワークW3、W4、W5に対して稼働運転されるが、それ以外の期間はワークW1に対して稼働運転される。運転パターンは期間545、550で運転パターンP2で稼働運転されるが、それ以外は運転パターンP1で稼働運転される。特性推定指示信号C1はワークの種類の変更があっても変化させず、運転パターンがP1のときは推定する指示、P2のときは推定しない指示とする。図7の特性推定指示信号C1では、推定する指示の場合は「推定」で、推定しない指示の場合は「中断」で図示している。特性推定指示信号C1に基づき、特性推定部111ではワークの種類が変更となっても特性推定値E1として摩擦推定値を推定して出力し、運転パターンがP2に変更になったときは推定を行わず、推定を行わなくなる直前の特性推定値E1としての摩擦特性推定値を保持して出力する。このようにして、異常診断部121では、ワークの種類の変更については特性推定値E1としての摩擦推定値の変動が許容範囲から外れた場合に異常として検知する。運転パターンの変更については、運転パターンの変更による変動を除外して特性推定値E1を出力し、変動による異常の誤検知をしないようにする。
このような稼働運転の途中で例えば、期間541と542の間で駆動機構のメンテナンスにより加工テーブルのボールねじの摺動ゴムブッシュ等の駆動機構部品を交換する場合を想定する。交換された摺動ゴムブッシュの摩擦は個体差があることから、部品交換後に稼働運転をしながら異常診断の基準を作成する。
異常基準作成部131では、異常基準作成指示信号C3の指示に従い特性推定値E1を取得して記憶し、記憶した期間の合計があらかじめ決められた基準作成期間に到達すると、記憶した特性推定値E1から異常診断基準H1を作成する。
ここで、上位コントローラ200では稼働運転で使用するワークの種類及び運転パターンが分かっており、ワークの種類がW1でありかつ運転パターンがP1である場合に異常基準作成指示信号C3を作成に使用する指示とし、それ以外(図7の例ではワークがW3、運転パターンがP2の場合)は作成に使用しない指示とし、記憶した期間の合計が基準作成期間に到達した後(図7の例では期間547以降)は運転条件に関わらず作成に使用しない指示とする。図7の異常基準作成指示信号C3では、作成に使用する指示の場合は「作成」、作成に使用しない指示の場合は「中断」で図示している。
電動機駆動装置100の異常基準作成指示取得部132では、電動機駆動装置100の外部の上位コントローラ200から異常基準作成指示信号C3を取得する。異常基準作成部131では、異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示の場合は特性推定値E1を記憶し、作成に使用しない指示の場合は記憶しない。特性推定値E1の記憶は、異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示であることで記憶した回数又は時間の合計が基準作成期間となるまで記憶を行う。
図7において、期間542、544、546はワークの種類がW1かつ運転パターンがP1であるため、異常基準作成指示信号C3を作成に使用する指示とし、この期間で特性推定値E1が記憶される。期間542、544、546の時間の合計が基準作成期間となるため期間546の終りに記憶は完了し、その後は異常基準作成指示信号C3も作成に使用しない指示に変更する。異常基準作成部131では、記憶した特性推定値E1から平均値及び標準偏差を算出した後、異常診断基準H1として許容範囲の上限及び下限を算出し、異常診断部121へ出力する。つまり、図7において期間547以降は、異常診断基準H1に基づき、異常診断を行って、異常診断の結果を異常判定信号F1として出力する。
このように、ワークの種類の変更、運転パターンの変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定を基にした信頼性の高い異常診断基準H1を作成し、異常診断基準H1に基づいて異常診断をするので、信頼性の高い異常診断をすることができる。
すなわち、実施の形態1〜3の電動機駆動装置100に、駆動指令信号Xrによる駆動動作の運転条件により特性推定値E1を異常診断の異常診断基準H1の作成に使用するか否かを指示する異常基準作成指示信号C3を外部から取得する異常基準作成指示取得部132と、異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示の場合は特性推定部111から特性推定値E1を取得し、異常基準作成指示信号C3が作成に使用しない指示の場合は特性推定部111が出力する特性推定値E1を取得せず、取得した特性推定値E1に基づき異常診断の異常診断基準H1を作成して異常診断部121へ出力する異常基準作成部131とを備えたので、運転パターンの変更、ワークの種類の変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定を基にした信頼性の高い異常診断基準H1を作成し、信頼性の高い異常診断をすることができる。
さらに、異常診断基準H1を異常基準作成部131で作成するため、作業者が測定作業等を行って異常診断基準H1を設定する必要が無く作業者の手間が省ける。また、駆動部300のメンテナンス等での部品交換後に、異常診断基準H1を設定し直すために駆動部300の稼働運転を止めて測定作業等を行う必要が無く、駆動部300の生産性を向上することができる。
なお、異常基準作成部131で特性推定値E1を記憶した後、記憶した特性推定値E1を用いて異常診断基準H1を作成する例で説明したが、異常基準作成指示信号C3が作成に使用する指示である場合に特性推定値E1を記憶することなく特性推定値E1に基づき異常診断基準H1を逐次的に更新計算して作成する方法でもよい。また、特性推定値E1の平均値、標準偏差、異常検出の発生確率、正規分布を用いて異常診断基準H1を作成する例で説明したが、一定期間での特性推定値E1の最大値及び最小値により異常診断基準H1を作成する方法でもよい。
このように異常診断基準H1を作成した場合においても、運転パターンの変更、ワークの種類の変更等の運転条件の変更の影響を受けずに特性の推定を基にした信頼性の高い異常診断基準H1を作成し、異常診断基準H1に基づいて異常診断をするので、信頼性の高い異常診断をすることができる。
なお、実施の形態1〜4において、駆動機構302は、ボールねじでテーブルを直線的に駆動する加工テーブル又は工具チャックで保持された加工工具とする例で説明したが、平歯車等を組み合わせたギア機構を駆動して回転させる回転駆動機構、ベルト及びプーリにより離れた回転軸を駆動するベルト駆動機構等であってもよい。
また、駆動部300は、電動機301と駆動機構302を有している例で説明したが、電動機301のみであってもよい。
電動機301はサーボモータ又は誘導電動機で説明したが、リラクタンスモータ、回転型でない直線型のリニアモータ等であってもよい。
検出器400は、電動機301の位置又は速度を検出する例で説明したが、駆動機構302の位置又は速度を検出してもよい。検出器400を設置する代わりに、電動機301の電流から電動機301の位置又は速度を電動機駆動装置100内で検出してもよい。
特性推定値E1は、摩擦に基づく摩擦特性推定値又は速度偏差に基づく振動振幅特性推定値の例を用いて説明したが、位置、速度、電流のいずれかの振動振幅又は振動周波数の推定値でも良い。電動機301と駆動機構302の慣性モーメント値の推定値等でもよい。すなわち、特性推定値E1は、電動機301のクーロン摩擦、粘性摩擦、慣性モーメント、電動機301の位置の振動振幅、位置の振動周波数、電動機301の速度の振動振幅、速度の振動周波数、電動機301の電流の振動振幅、電流の振動周波数、電動機301のトルクの振動振幅、トルクの振動周波数、及び駆動機構302のクーロン摩擦、粘性摩擦、慣性モーメント、の少なくともいずれかを用いることができる。
また、特性推定指示信号C1、異常診断指示信号C2、又は異常基準作成信号C3を外部の上位コントローラ200から電動機駆動装置100へ出力する例について説明したが、外部のワーク供給装置からワークの種類の変更等の運転条件の変更に基づく信号を取得して、ワーク供給装置から特性推定指示信号C1を電動機駆動装置100へ出力してもよい。また、特性推定指示信号C1、異常診断指示信号C2、又は異常基準作成信号C3を他の装置を経由させてもよい。
外乱のある運転は、工作機械において切削移動の命令により加工における切削力による外乱がある運転で説明したが、搬送駆動機構において搬送物を搬送駆動機構へ載せる命令により搬送物が載せられるときの衝撃力の外乱がある運転、ロボットにおいて把持を指示する命令により重量物を把持している間の把持した重量物の重力による外乱がある運転等であってもよい。
なお、本発明は、発明の範囲内において、各実施の形態を自由に組み合わせることや、各実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。
1 電動機駆動システム、100 電動機駆動装置、101 駆動制御部、102 駆動指令取得部、103 駆動検出値取得部、104 電流検出部、111 特性推定部、112 特性推定指示取得部、121 異常診断部、122 異常診断指示取得部、131 異常基準作成部、132 異常基準作成指示取得部、200 上位コントローラ、300 駆動部、301 電動機、302 駆動機構、400 検出器。

Claims (8)

  1. 電動機により駆動機構を駆動した前記電動機の位置又は速度に基づく駆動検出値を取得する駆動検出値取得部と、
    前記駆動検出値の目標値となる駆動指令信号を取得する駆動指令取得部と、
    前記駆動指令信号に前記駆動検出値が追従するように制御演算を行い前記電動機へ電流を流して前記電動機を駆動動作させる駆動制御部と、
    前記駆動指令信号による前記駆動動作の運転条件により前記電動機又は前記駆動機構の特性値の推定を行う第1指示または推定を行わない第2指示を指示する特性推定指示信号を外部から取得する特性推定指示取得部と、
    前記特性推定指示信号が第1指示の場合は前記駆動制御部の前記制御演算で使用される制御状態値に基づいて前記特性値の前記推定を行い特性推定値を出力し、前記特性推定指示信号が第2指示の場合は前記推定を行わない特性推定部と
    前記特性推定値に基づき前記電動機又は前記駆動機構の異常診断を実施して異常判定信号を出力する異常診断部と、
    前記駆動指令信号による前記駆動動作の運転条件により前記特性推定値を前記異常診断の異常診断基準の作成に使用する第5指示または使用しない第6指示を指示する異常基準作成指示信号を外部から取得する異常基準作成指示取得部と、
    前記異常基準作成指示信号が第5指示の場合は前記特性推定部から前記特性推定値を取得し、前記異常基準作成指示信号が第6指示の場合は前記特性推定部が出力する前記特性推定値を取得せず、取得された前記特性推定値に基づき前記異常診断の前記異常診断基準を作成し前記異常診断部へ出力する異常基準作成部と
    を備えた電動機駆動装置。
  2. 前記特性推定部は、前記特性推定指示信号が第2指示の場合に、前記特性推定値として前記推定をしない指示となる前の前記特性推定値を保持して出力する、又は既定の値を出力することを特徴とする請求項1に記載の電動機駆動装置。
  3. 電動機により駆動機構を駆動した前記電動機の位置又は速度に基づく駆動検出値を取得する駆動検出値取得部と、
    前記駆動検出値の目標値となる駆動指令信号を取得する駆動指令取得部と、
    前記駆動指令信号に前記駆動検出値が追従するように制御演算を行い前記電動機へ電流を流して前記電動機を駆動動作させる駆動制御部と、
    前記駆動制御部から前記制御演算で使用される制御状態値を取得し前記電動機又は前記駆動機構の特性値の推定を行って特性推定値を出力する特性推定部と、
    前記駆動指令信号による前記駆動動作の運転条件により前記特性推定値に基づいた異常診断を行う第3指示または異常診断を行わない第4指示を指示する異常診断指示信号を外部から取得する異常診断指示取得部と、
    前記異常診断指示信号が第3指示の場合は前記特性推定部の前記特性推定値に基づき前記異常診断を行って異常判定信号を出力し、前記異常診断指示信号が第4指示の場合は前記異常診断を行わない異常診断部と
    前記駆動指令信号による前記駆動動作の運転条件により前記特性推定値を前記異常診断の異常診断基準の作成に使用する第5指示または使用しない第6指示を指示する異常基準作成指示信号を外部から取得する異常基準作成指示取得部と、
    前記異常基準作成指示信号が第5指示の場合は前記特性推定部から前記特性推定値を取得し、前記異常基準作成指示信号が第6指示の場合は前記特性推定部が出力する前記特性推定値を取得せず、取得された前記特性推定値に基づき前記異常診断の前記異常診断基準を作成し前記異常診断部へ出力する異常基準作成部と、
    を備えた電動機駆動装置。
  4. 前記特性推定値は、
    前記電動機のクーロン摩擦と粘性摩擦と慣性モーメントと、
    前記電動機の前記位置の振動振幅と前記位置の振動周波数と、
    前記電動機の前記速度の振動振幅と前記速度の振動周波数と、
    前記電動機の前記電流の振動振幅と前記電流の振動周波数と、
    前記電動機のトルクの振動振幅と前記トルクの振動周波数及び前記駆動機構のクーロン摩擦と粘性摩擦と慣性モーメント
    の少なくともいずれかを推定したものであることを特徴とする請求項1から請求項のいずれか1項に記載の電動機駆動装置。
  5. 前記駆動指令信号は稼働運転における前記駆動指令信号であることを特徴とする請求項1から請求項のいずれか1項に記載の電動機駆動装置。
  6. 前記運転条件は、運転パターン、ワークの種類、及び外乱のある運転の少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1から請求項のいずれか1項に記載の電動機駆動装置。
  7. 請求項1に記載の電動機駆動装置と、
    前記駆動指令信号と前記特性推定指示信号とを前記電動機駆動装置へ出力する上位コントローラと
    を有する電動機駆動システム。
  8. 請求項に記載の電動機駆動装置と、
    前記駆動指令信号と前記異常診断指示信号とを前記電動機駆動装置へ出力する上位コントローラと
    を有する電動機駆動システム。
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