JP5993710B2 - 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 - Google Patents
洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 Download PDFInfo
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 36
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 29
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 28
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- -1 multilayer varistor Substances 0.000 description 1
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Description
保持手段2において保持された板状ワークを洗浄する洗浄手段3と、洗浄後の板状ワークが収納されるカセット4と、保持手段2に保持された板状ワークをカセット4に搬送する搬送ロボット5と、カセット4が載置されるカセットステージ6とを備えている。なお、この洗浄装置1は、独立した装置として使用されることもあるが、研削装置等の他の装置に搭載されて使用されることもある。
図4に示すように、ロボットハンド50を、X軸方向に移動させて四角板状ワークWの下方に進入させ、保持テーブル20に保持された四角板状ワークWを受け取り可能な位置である受け取り位置に位置づける。
ロボットハンド位置づけ工程によってロボットハンド50が受け取り位置に移動すると、図5及び図6に示すように、開閉バルブ24を供給源26側に切り替え、保持テーブル20の保持面200における四角板状ワークWの吸引保持を解除する。そして、位置修正手段7を構成する進行方向位置修正部70aの押付け部700をロボットハンド50に近づく方向に移動させて回転部700bを四角板状ワークの第1の側面W1に押し付けるとともに、第1の側面W1に対向する第2の側面W2をロボットハンド50に備えた位置決め部502の回転部502bに接触させることにより、第1の側面W1及び第2の側面W2の向きがY軸方向に一致するように修正し、四角板状ワークWのX軸方向の位置決めを行う。このとき、押付け部700の回転部700b及び位置決め部502の回転部502bが回転し、四角板状ワークWの側面W1及びW2がY軸方向に向くように向きを矯正する。
第1の位置修正工程によって四角板状ワークWのX軸方向の位置決めが行われた後、図7に示すように、位置修正手段7を構成する直交方向位置修正部70bの2つの押付け部700を互いが近づく方向に移動させることにより、ロボットハンド50の進行方向であるX軸方向に対して直交する方向であるY軸方向に対向する四角板状ワークWの第3の側面W3と第4の側面W4とに2つの押付け部700の回転部700bをそれぞれ押し付け、四角板状ワークWのY軸方向の位置を修正する。このようにして、四角板状ワークWの位置及び角度が修正される。
第1の位置修正工程及び第2の位置修正工程によって、X軸方向及びY軸方向の位置及び角度が修正された後、図8に示すように、バルブ54を開いて吸引源55と保持面500とを連通させ、ロボットハンド5の保持面500に吸引力を作用させて四角板状ワークWの下面W5を吸引保持し、四角形状ワークWを受け取る。そして、四角板状ワークWの下面W5を吸引した状態でロボットハンド5を保持テーブル20の上方に上昇させ、アーム部52を旋回させるとともに昇降させることにより、四角板状ワークWを保持テーブル20から搬出する。
次に、図8において二点鎖線で示すように、保持テーブル20から搬出されロボットハンド50に保持された四角板状ワークWをカセット4の開口部40の前方に位置づけ、空いているスロット41の高さに四角板状ワークWの高さを合わせた後、ロボットハンド50をカセット4の内部に進入させる。そして、バルブ54を閉じて吸引を解除してロボットハンド50をカセット4から退避させる。そうすると、四角板状ワークWがカセット4の内部に収納される。
2:保持手段
20:保持テーブル 200:保持面 201:吸引部
21:回転手段
210:回転軸 211:モータ 212:定点停止手段 213:エア流路
24:開閉バルブ 25:吸引源 26:供給源
3:洗浄手段
30:洗浄液ノズル
4:カセット 40:開口部 41:スロット
5:搬送ロボット
50:ロボットハンド 500:保持面 500a:基端部 501:吸引路
502:位置決め部 502a:軸部 502b:回転部
51:装着部 52:アーム部 53:制御部 54:バルブ 55:吸引源
6:カセットステージ
7:位置修正手段
70a:進行方向位置修正部 70b:直交方向位置修正部
700:押付け部 701:進退駆動部
Claims (2)
- 正方形または長方形の四角板状ワークを吸引保持する保持テーブルを有する保持手段と、
該保持テーブルを回転させる回転手段と、
該保持テーブルが保持する四角板状ワークを洗浄する洗浄手段と、
該保持テーブルから四角板状ワークを搬出する搬送ロボットと、
該搬送ロボットによって搬送される四角板状ワークが収納されるカセットと、
該カセットが載置されるカセットステージと、を少なくとも備えた洗浄装置において、
該搬送ロボットは、四角形状ワークを保持する保持面を有するロボットハンドと、該ロボットハンドが装着される装着部とを備え、該保持面には該四角形状ワークを位置決めする少なくとも2つの位置決め部が配設され、該2つの位置決め部を結ぶ直線は該ロボットハンドの進退方向に対して直交し、
該保持テーブルの周囲には、該保持テーブルに保持された四角形状ワークの位置修正を行う位置修正手段が配設され、
該位置修正手段は、該位置決め部に対して該ロボットハンドの進行方向に対向して配置される1つの進行方向位置修正部と、該保持テーブルを挟んで該進行方向に直交する方向に対向する2つの直交方向位置修正部とからなり、
該進行方向位置修正部及び該直交方向位置修正部は、該四角形状ワークの側面に接触する押付け部と、該押付け部を該保持テーブルの中心を基準とする径方向に進退させる進退駆動部と、から構成され、
該ロボットハンドを、該保持テーブルが保持する四角形状ワークを受け取り可能な受け取り位置に位置づけた後、該位置修正手段によって該四角板状ワークの位置及び角度の修正を行い、該位置及び角度が修正された四角板状ワークを該ロボットハンドが受け取り該カセットに収容する洗浄装置。 - 請求項1記載の洗浄装置を用いて、前記保持テーブルが保持する四角板状ワークを前記ロボットハンドが受け取り四角板状ワークを前記カセットに収納する搬送方法であって、
該ロボットハンドを前記受け取り位置に位置づけるロボットハンド位置づけ工程と、
該ロボットハンド位置づけ工程の後、該保持テーブルが四角板状ワークの吸引保持を解除し、前記進行方向位置修正部の押付け部を四角板状ワークの第1の側面に押し付けるとともに対向する四角板状ワークの第2の側面を該ロボットハンドの前記位置決め部に接触させて位置決めする第1の位置修正工程と、
該第1の位置修正工程の後、該ロボットハンドの進行方向に対して直交する方向に対向する四角板状ワークの第3の側面と第4の側面とに、前記直交方向位置修正部を構成する2つの押付け部をそれぞれ押し付けて四角板状ワークの位置を修正する第2の位置修正工程と、
該第1の位置修正工程と該第2の位置修正工程とによって位置及び角度が修正された四角板状ワークを該ロボットハンドの該保持面で保持して該保持テーブルから四角板状ワークを搬出する搬出工程と、
該搬出工程によって搬出され該ロボットハンドが保持する四角板状ワークを該カセットに収納する収納工程と、によって構成され、
該保持テーブルが保持する四角板状ワークを該カセットに収納する該搬送ロボットによる四角板状ワークの搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012236487A JP5993710B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012236487A JP5993710B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014083522A JP2014083522A (ja) | 2014-05-12 |
JP5993710B2 true JP5993710B2 (ja) | 2016-09-14 |
Family
ID=50787123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012236487A Active JP5993710B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5993710B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113753577A (zh) * | 2021-10-18 | 2021-12-07 | 温鑫 | 一种柔性吸盘机械手 |
CN118692965A (zh) * | 2024-08-22 | 2024-09-24 | 深圳市矩阵多元科技有限公司 | 制程工艺平台的方形基片传送系统 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6437045U (ja) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | ||
JP3907745B2 (ja) * | 1996-05-29 | 2007-04-18 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板搬送装置 |
JPH09323783A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-16 | Sugai:Kk | 基板洗浄用カセットおよび基板ウェット処理装置 |
JP2001253536A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-18 | Hirata Corp | 基板移載ロボット装置 |
JP2002184833A (ja) * | 2000-12-15 | 2002-06-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
JP4080401B2 (ja) * | 2003-09-05 | 2008-04-23 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4900949B2 (ja) * | 2007-03-01 | 2012-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
-
2012
- 2012-10-26 JP JP2012236487A patent/JP5993710B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014083522A (ja) | 2014-05-12 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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|
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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