JPS6437045U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6437045U JPS6437045U JP13162987U JP13162987U JPS6437045U JP S6437045 U JPS6437045 U JP S6437045U JP 13162987 U JP13162987 U JP 13162987U JP 13162987 U JP13162987 U JP 13162987U JP S6437045 U JPS6437045 U JP S6437045U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- arm
- rollers
- protrusion
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す半導体ウエハの
搬送アームの斜視図、第２図はその搬送アームへ
の半導体ウエハの把持動作説明図、第３図は従来
の半導体製造装置の概略斜視図、第４図は従来の
半導体製造装置の搬送アームの斜視図、第５図は
本考案のウエハオリフラと位置決め用のローラと
の関係を示す図である。 ２……ウエハキヤリア、３……ウエハ、３ａ…
…ウエハオリフラ、２１……アーム、２１ａ……
突起状段差部、２２，２２′……位置決めアーム
、２２ａ，２２ｂ……ローラー。
搬送アームの斜視図、第２図はその搬送アームへ
の半導体ウエハの把持動作説明図、第３図は従来
の半導体製造装置の概略斜視図、第４図は従来の
半導体製造装置の搬送アームの斜視図、第５図は
本考案のウエハオリフラと位置決め用のローラと
の関係を示す図である。 ２……ウエハキヤリア、３……ウエハ、３ａ…
…ウエハオリフラ、２１……アーム、２１ａ……
突起状段差部、２２，２２′……位置決めアーム
、２２ａ，２２ｂ……ローラー。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (a) アームの先端に設けられる半導体ウエハの
曲率半径状の段差部を有する突起と、 (b) 前記アームの両側部を該アームに沿つて移
動可能な先端にローラを有する一対の半導体ウエ
ハの位置決めアームとを設け、 (c) 半導体ウエハを前記突起とローラ間に把持
するようにしたことを特徴とする半導体ウエハの
搬送アーム機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13162987U JPS6437045U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13162987U JPS6437045U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437045U true JPS6437045U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31387877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13162987U Pending JPS6437045U (ja) | 1987-08-31 | 1987-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6437045U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313953A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-12-19 | Tegal Corp | ウェハー支持用のスパチュラ装置およびウェハーの配置方法 |
| JP2003095435A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Ebara Corp | 四辺形基板搬送ロボット |
| JP2014083522A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 |
-
1987
- 1987-08-31 JP JP13162987U patent/JPS6437045U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01313953A (ja) * | 1988-04-25 | 1989-12-19 | Tegal Corp | ウェハー支持用のスパチュラ装置およびウェハーの配置方法 |
| JP2003095435A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Ebara Corp | 四辺形基板搬送ロボット |
| JP2014083522A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置と四角板状ワークの搬送方法 |