JP5466769B2 - 低温焼結性導電性ペーストおよびそれを用いた導電膜と導電膜の形成方法 - Google Patents
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Description
本発明でナノオーダーの銀粒子を用いる場合には、透過型電子顕微鏡(TEM)写真から算出される平均一次粒子径で200nm以下、好ましくは1〜150nm、一層好ましくは10〜100nmのものを使用する。このような粒子径を有する銀粒子を銀ナノ粒子と呼ぶ。銀ナノ粒子を使用することで、樹脂を使用した導電性ペーストにおいても、熱処理を120℃程度の低温で行っても、高い導電性を有する導電膜を形成することができる。
発明者らは、ある程度粒子径の大きい銀粒子であっても、その表面を有機物で被覆することにより、銀ナノ粒子と同様の効果を示すことを知った。平均粒子径(D50)が0.5〜20μmの、これらの粒子を銀ナノ粒子に対して銀ミクロン粒子と呼ぶ。具体的態様として被覆に用いる有機物は、炭素数2〜6のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物を使用し、粒子表面を被覆することである。被覆に用いる有機物は、次の物質に限定されるものではないが、飽和脂肪酸である、ヘキサン酸(カプロン酸)、ペンタン酸(吉草酸)、ブタン酸(酪酸)、プロパン酸(プロピオン酸)などがあげられる。また、不飽和脂肪酸では、ソルビン酸、マレイン酸等があげられる。
本発明にかかる導電性ペーストは、銀粒子(銀ナノ粒子、もしくは銀ミクロン粒子)を分散媒に分散させる。この時に使用する分散媒は極性溶媒であることが好ましい。
本発明にかかるペーストには分散剤を添加しても良い。こうした分散剤を使用することで、導電性ペースト中では粒子の独立性を確保する。その性質としては、粒子表面と親和性を有するとともに分散媒に対しても親和性を有するものであればよく、市販汎用のものであってもよい。また、単独の種類のみならず、複数種類を併用しても構わない。分散剤の添加量は、銀ナノ粒子および銀ミクロン粒子を含めた総銀質量に対して3.0質量%以下、好ましくは1.0質量%以下、一層好ましくは0.5質量%以下である。
本発明の導電性ペーストに添加されるべき樹脂は、広く知られている熱硬化性もしくは熱可塑型のいずれか一方、もしくは両方の樹脂を採用することが出来る。樹脂の添加量としては、銀ナノ粒子と銀ミクロン粒子を合わせた総銀質量と樹脂の合計質量に対して2〜20質量%、好ましくは2〜15質量%の添加量とするのがよい。添加をする樹脂量が多すぎると、焼成後に樹脂が必要以上に配線中に残ってしまい、導電性を低下させるため好ましくない。一方樹脂の添加量を少なくすると配線と基板との密着性が確保できないため、少なくとも2質量%程度の添加は必要である。
本発明においては、知られている熱可塑性樹脂のいずれも使用することが出来るが、なかでも、アクリル樹脂やポリエステル樹脂やポリウレタン樹脂を添加するのが好ましい。一般的に知られているものとして、次のようなものが知られている。しかし、上述の性質を有する場合には、本欄に記載のもの以外のものの使用を排除するものではない。
本発明においては、知られている熱硬化性樹脂のいずれも使用することが出来る。具体例としては、熱硬化性樹脂としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、イソシアネート化合物、メラミン樹脂、尿素樹脂、シリコーン樹脂などから選択することができる。ここでは、エポキシ樹脂とフェノール樹脂について説明する。
本発明にかかる導電性ペーストには上記の成分に加えて、焼結促進成分としての有機物を添加することが最たる特徴である。具体的にはカルボキシル基を少なくとも二つ有したジカルボン酸を選択するのがよい。こうした構成の物質を選択して添加することにより、有機物で被覆された銀ナノ粒子もしくは銀ミクロン粒子からなる導電性ペーストは、低温での熱処理であっても、銀ナノ粒子もしくは銀ミクロン粒子間の焼結が生じ、高導電性を発現する導電膜となすことが出来るようになる。
本発明に従う導電性ペーストは、上述のように銀ナノ粒子もしくは銀ミクロン粒子の表面が炭素数2〜8の有機物により被覆されたものを用いて製造される。そのような構成の銀ナノ粒子もしくは銀ミクロン粒子の製造方法は何ら制限を受けるものではないが、例えば公知の銀ナノ粒子もしくは銀ミクロン粒子の表面を上述の範囲の炭素数の有機物で置換することなどが例示できる。
(印刷方法)
スクリーン印刷機、あるいはメタルマスクを用いて、作製した導電性ペーストを印刷し、焼成した後、導電膜の評価を実施した。粘度の調整には、レオメーター(HAAKE製のRheoStress 600)、及びφ35mm、角度2°のコーンを用いて粘度の調節を実施した。測定時のギャップは0.105mm、温度は25℃の条件で、せん断速度を1.57、3.13、6.27、15.67、31.34、62.70、156.7[1/s]と変化させながら各せん断速度で20秒後の値の粘度を測定している。この内、せん断速度が15.67[1/s]の時の値を粘度としている。なお、実施例、比較例に用いた導電性ペーストは、かすれなどの印刷不良が起こらぬよう、粘度を30Pa・sとなるように作製しており、その配合量は表1〜表3に記載した通りである。
膜厚34μmのスクリーン版を使用し、導電性ペーストを線幅300μmのパターンでポリエチレンテレフタラートフィルム(東レ製ルミラー75S10)に印刷した。得られた印刷基板を焼成炉(ヤマト科学株式会社製 DKM400)にて、大気中120℃60分間で熱処理したものについて、体積抵抗率の測定を行った。
膜厚30μmのメタルマスクを使用し、導電性ペーストを10mm□のパターンでアルミナ上にベタ印刷した。得られた印刷基板を焼成炉(ヤマト科学株式会社製 DKM400)にて、大気中120℃60分間で熱処理したものについて、体積抵抗率の測定を行った。
(配線)
スクリーン印刷にて基板上に形成した配線の線抵抗を二端子型抵抗率計(日置電機株式会社製3540 ミリオームハイテスタ)で測定し、導電膜の厚みを表面粗度計(東京精密株式会社製のサーフコム1500D型)で測定した。最終的に配線の体積抵抗率は、次の式(1)にて求めた。
体積抵抗率(μΩ・cm)=実測抵抗(Ω)×膜厚(μm)×線幅(μm)÷線長(μm)×102・・・(1)
メタルマスクにて基板上に導電性ペーストを印刷し、形成した10mm□パターンの導電膜の表面抵抗を四端子型抵抗率計(三菱化学株式会社製ロレスタGP MCP−T610型)で測定し、導電膜の厚みを表面粗度計(東京精密株式会社製のサーフコム1500D型)で測定した。最終的に10mm□パターンのベタ膜の体積抵抗率は式(2)にて求めた。
体積抵抗率(μΩ・cm)=表面抵抗(Ω/□)×膜厚(μm)×100・・・(2)
導電性ペーストをガラス基板(EAGLE XG)上に縦2.0〜2.5cm、横1.5〜2.0cmでベタ印刷し、これを大気中120℃60分間焼成して膜を形成させたものについて、表色を測定した。なお、色差測定は、色差測定装置(日本電色工業株式会社製SQ−2000)を使用して行った。測定結果はL*a*b*表色系にて表記した。特に本発明にかかる導電性ペーストは、L*a*b*表色系にて示したときのa*値に特徴があり、ジカルボン酸からなる添加物を添加しないとき、この値が2.0よりも高くなり、添加した場合には2.0以下の値を示す。
導電性ペーストの10mm□パターンを銅ハルセル板上に印刷し、これを大気中で120℃60分間焼成して膜を形成させたものについて、X線回折法によって、結晶子径を測定し結晶の成長度合を確かめた。なお、この時にはX線回折装置(株式会社リガク製RINT−2100)を使用して行った。管球はコバルト管球を使用して、管電圧40kV、管電流30mAで測定した。結晶子の成長度合の算出は、結晶子径の大きさで比較する。特にAg(111)の回折面で行うため、2θ=40〜50°の範囲(スキャンスピード:0.167°/分)で測定した。なお、結晶子径はシェラー法により算出した。
TG測定は、TG/DTA装置(セイコーインスツルメンツ社製、TG/DTA6300型)を用い、粉体もしくは導電性ペースト20mgを昇温速度10℃/minにて常温から700℃まで大気中で昇温して行った。
<実施例1>
(銀ナノ粒子の合成例)
実施例に示す粒子の作製例として、ソルビン酸被覆の銀ナノ粒子を製造する例について示す。500mLビーカーへ硝酸銀(東洋化学株式会社製)13.4gを純水72.1gへ溶解させ、銀溶液を作製した。
得られたソルビン酸被覆銀ナノ粒子凝集体乾燥粉(平均一次粒子径:100nm)70gに、ブチルカルビトールアセテート(和光純薬株式会社製)1.3gと、熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001(荒川化学工業株式会社製)22.3gと、高分子系顔料分散剤アジスパーPA−111(味の素ファインテクノ株式会社製)0.35gと、マロン酸(和光純薬株式会社製)0.14gをそれぞれ添加して混合した。
実施例1において、添加剤であるマロン酸を添加しなかった以外は実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
添加剤であるマロン酸の添加量を表1に示すような配合量に変化させて、実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
実施例1において、導電性ペーストを構成する銀ナノ粒子の種類を表1に示すようにそれぞれ変化させた以外は実施例1の手法を繰り返した。また、ソルビン酸60nm、ヘキサン酸20nm、ブタン酸100nmの被服剤割合は、それぞれ1.22質量%、2.86質量%、0.8質量%である。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
実施例1において、銀ナノ粒子とマロン酸の配合量を表1に示すように変化させた以外は実施例1の手法を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
実施例1において添加する添加剤の種類をそれぞれ変化させた以外は、実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表1にあわせて示す。
添加が粒子径に依存しないことを確認するため、粒子径をさらに大きい粒子のものに適用した場合についても確認した。実施例1の銀ナノ粒子に代えて、ソルビン酸被覆銀フレーク状粉(平均粒径:3μm 被覆剤割合:0.1質量%)を用い、かつ表2に記載の配合量とした以外は実施例1を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2に併せて示す。なお、銀フレーク状粉は銀ミクロン粒子である。
実施例13において、マロン酸添加量を表2に示す量に減少させた以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。やや抵抗が高いものの、導電膜が形成できていることがわかる。
実施例13においてマロン酸を添加しなかった以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。マロン酸を添加しなければ、導電性が全くとれていないことがわかる。
実施例13において、使用する銀フレーク粉をオレイン酸(炭素数18)で被覆したものに置き換えた以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。焼結促進剤であるマロン酸を添加しても、長鎖となっているオレイン酸を使用すると導電性が全くとれないことがわかる。
銀ナノ粒子と銀ミクロン粒子の混合状態でも同様の効果が得られるかどうかを確認するため、実施例13における半分の量のフレーク粉を実施例1で使用していたソルビン酸被覆銀ナノ粒子に置き換えた以外は実施例13を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表2にあわせて示す。実施例13(39μΩ・cm)よりも低抵抗の導電膜(28μΩ・cm)が形成できていることが確認された。
実施例1における樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)量(22.3g)を表3に示す分量(10.6g)に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例6は実施例16において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで体積抵抗率は測定不能(比較例6)であったものが、23μΩ・cm(実施例16)まで低下し、劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
実施例1における樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)を他の樹脂(熱可塑性ポリエステル樹脂バイロン500/東洋紡株式会社製、ポリエステル樹脂固形分100質量%)に変更し、また、分量も表3に示す分量(3.7g)に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例7は実施例17において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで体積抵抗率は測定不能(比較例7)であったものが、26μΩ・cm(実施例17)まで低下し、劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
実施例1における樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)を他の樹脂(熱可塑性アクリル樹脂BR−102/三菱レイヨン株式会社製、アクリル樹脂固形分100質量%)に、溶媒(ブチルカルビトールアセテート)を他の溶媒(ターピネオール 和光純薬株式会社製)に変更し、また、分量も表3に示す分量(3.7g)に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例8は実施例18において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで体積抵抗率は6300μΩ・cm(比較例8)であったものが、18μΩ・cm(実施例18)まで低下し、劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
実施例1における樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001を他の樹脂)に変更し、また、分量も表3に示す分量(6.7g)に変化させた以外は実施例1を繰り返した。また、比較例9は実施例19において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで体積抵抗率は360μΩ・cm(比較例9)であったものが、49μΩ・cm(実施例19)まで低下し、導電性が良くなっていることがわかる。
実施例1の樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)を熱硬化性エポキシ樹脂(828XA/三菱化学株式会社製、エポキシ樹脂固形分100質量%)に、溶媒(ブチルカルビトールアセテート)を他の溶媒(ターピネオール)に変更し、また、分量も表3に示す分量(3.7g)とした以外は実施例1を繰り返した。また、比較例10は実施例20において、マロン酸を添加しなかった場合の結果である。表3に記載したとおり、マロン酸を添加することで体積抵抗率は484μΩ・cm(比較例10)であったものが、23μΩ・cm(実施例20)まで低下し、劇的に導電性が良くなっていることがわかる。
実施例1の樹脂(熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001)22.3gを熱硬化性イソシアネート樹脂(デュラネートSBN−70D/旭化成ケミカルズ株式会社製)2.8gと熱可塑性ポリウレタン樹脂ユリアーノ8001を16.5gに変更した以外は実施例1を繰り返した。
実施例1において導電性ペーストを構成する銀ナノ粒子の種類と添加量、溶媒、分散剤および樹脂の添加量を表3に示すように変化させた以外は、実施例1を繰り返した。溶媒はフェニルグリコール(日本乳化剤株式会社製)に変更した。得られた焼成膜の物性を表3にあわせて示す。
実施例21において導電性ペーストを構成する銀ナノ粒子の種類、マロン酸および、分散剤の添加量を表3に示すように変化させた以外は、実施例21を繰り返した。得られた焼成膜の物性を表3にあわせて示す。
Claims (6)
- 炭素数2〜6のカルボン酸もしくはその誘導体からなる有機物で被覆された銀粒子と、分散媒および樹脂と、炭素数が2〜8であるジカルボン酸を含み、前記樹脂には、熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂の両方を用いる導電性ペースト。
- 前記導電性ペーストに添加される前記ジカルボン酸は前記導電性ペーストの総質量に対して0.01〜2.0質量%である、請求項1に記載の導電性ペースト。
- 前記導電性ペーストは、さらに分散剤を含む、請求項1ないし2のいずれか一項に記載の導電性ペースト。
- 前記導電性ペーストを加熱温度100〜200℃の条件で熱処理して形成される配線は、銀粒子同士が接触もしくは焼結することで導電性を発現させる性質を有する、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の導電性ペースト。
- 前記請求項1ないし4のいずれかに記載のペーストを加熱温度100〜200℃の条件で熱処理して得られた導電膜であって、L*a*b*表色系におけるa*値が2.0以下である導電膜。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の導電性ペーストを基板上に塗布する工程、大気中もしくは不活性雰囲気中で100〜200℃の条件で熱処理する工程からなる導電膜の形成方法。
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