JP5292564B2 - 形状測定装置、その校正方法、及び校正プログラム - Google Patents
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Description
[実施形態に係る形状測定装置の構成]
先ず、図1を参照して、実施形態に係る形状測定装置の構成を説明する。図1は、実施形態に係る形状測定装置(真円度測定装置)の外観斜視図である。
次に、図4に示すフローチャートを参照して実施形態に係る形状測定装置を使用した測定子位置の校正方法について説明する。なお、図4の前半(ステップS101〜S106)は、検出器ホルダ23が水平姿勢のときのY軸校正手順を示し、図4の後半(ステップS107〜S113)は、検出器ホルダ23が垂直姿勢のときのY軸校正手順を示している。操作者は、以下に示す校正に際して、載置台11に被測定物4としての円柱状のオプチカルフラット4aをセットする。先ず、制御部41は、検出器ホルダ23を水平姿勢にセットする(ステップS101)。次に、制御部41は、セットされたオプチカルフラット4aの上面を測定子24にて倣うように走査して、その測定結果に基づき、オプチカルフラット4aの水平出し処理を実行する(ステップS102)。ここで、水平出し処理は、図5の(a)、(b)に示すように、オプチカルフラット4aの上面をX軸及びY軸にて構成されるXY面に水平に配置する処理を意味する。本実施形態の説明においては、図5に示すように、オプチカルフラット4aの中心Cは、必ずしも載置台11の回転中心Oである必要はない。
実施形態に係る形状測定装置は、上記のように、最小検出角φmin1、φmin2に基づき、Y軸を調整する。すなわち、形状測定装置は、人間の感意のみに頼らないので、高精度にY軸方向の調整することができる。また、実施形態に係る形状測定装置は、被測定物4の全体を測定する必要がなく、短時間で心出しを行うことができる。
以上、形状測定装置の実施形態を説明してきたが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、追加、置換等が可能である。
Claims (4)
- 被測定物を載置すると共にZ軸を中心として回転可能なテーブルと、
前記被測定物に接触可能な測定子と、
前記測定子を、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のうち少なくともX軸及びZ軸方向に駆動する測定子駆動手段と
を有する形状測定装置における前記測定子のY軸方向の位置を校正する方法であって、
前記テーブルに載置された被測定物の一部として含むY軸を中心として傾斜した傾斜平面若しくは傾斜円筒側面、又は中心軸がX軸方向にずれた偏心円筒側面を、回転させながら倣い測定して前記テーブルの回転角度毎の測定値を取得する工程と、
前記倣い測定で得られた測定値のうち最小値が得られた前記テーブルの回転角度を最小検出角として求める工程と、
前記最小検出角に基づいて前記測定子のY軸方向の位置を調整する工程と
を有することを特徴とする形状測定装置の校正方法。 - 前記測定子駆動手段は、
前記測定子を支持する検出器と、
この検出器を水平姿勢と垂直姿勢の2つの姿勢を取り得るように支持する検出器ホルダと
を有し、
前記検出器が水平姿勢のときに、前記傾斜平面を倣い測定して、水平姿勢における前記測定子のY軸方向の位置を調整する工程と、
前記検出器が垂直姿勢のときに、前記傾斜円筒側面又は偏心円筒側面を倣い測定して、垂直姿勢における前記測定子のY軸方向の位置を調整する工程と
を含むことを特徴とする請求項1記載の形状測定装置の校正方法。 - 被測定物を載置すると共にZ軸を中心として回転可能なテーブルと、
前記被測定物に接触可能な測定子と、
前記測定子を、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のうち少なくともX軸及びZ軸方向に駆動する測定子駆動手段と、
前記測定子のY軸方向の位置を校正するための制御部と
を有する形状測定装置において、
前記制御部は、
前記テーブルに載置された被測定物の一部として含むY軸を中心として傾斜した傾斜平面若しくは傾斜円筒側面、又は中心軸がX軸方向にずれた偏心円筒側面を、回転させながら倣い測定することにより得られた測定値の最小値が得られた前記テーブルの回転角度を最小検出角として求める手段と、
前記最小検出角に基づいて前記測定子のY軸方向の位置を調整する調整量を算出する手段と
を含む
ことを特徴とする形状測定装置。 - 被測定物を載置すると共にZ軸を中心として回転可能なテーブルと、
前記被測定物に接触可能な測定子と、
前記測定子を、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸のうち少なくともX軸及びZ軸方向に駆動する測定子駆動手段と
を有する形状測定装置における前記測定子のY軸方向の位置を校正するための校正プログラムであって、
前記テーブルに載置された被測定物の一部として含むY軸を中心として傾斜した傾斜平面若しくは傾斜円筒側面、又は中心軸がX軸方向にずれた偏心円筒側面を、回転させながら倣い測定することにより測定値を取得するステップと、
このステップで取得された測定値のうち最小値が得られた前記テーブルの回転角度を最小検出角として求めるステップと、
前記最小検出角に基づいて前記測定子のY軸方向の位置を調整する調整量を算出するステップと
をコンピュータに実行させるように構成された形状測定機の校正プログラム。
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