JP4377918B2

JP4377918B2 - 基板ホルダ

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Publication number: JP4377918B2
Application number: JP2006537731A
Authority: JP
Inventors: 裕幸岡平
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Priority date: 2004-09-27
Filing date: 2005-09-26
Publication date: 2009-12-02
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Description

本発明は、フラットパネルディスプレ（ＦＰＤ）を製造する透明基板を目視検査するマクロ検査装置、及びマクロ検査装置に用いる基板ホルダに関する。
本願は、２００４年９月２７日に出願された特願２００４−２７９９８９号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。

各製造工程で製造される透明基板として、例えばマスターガラス基板（以降、単にガラス基板と呼ぶ）の外観を目視で検査（マクロ検査）をする検査工程があり、この検査工程には、ガラス基板を保持したホルダを所定角度に立ち上げた状態で上方からマクロ照明光を照射してガラス基板上の欠陥を検査するマクロ検査装置が用いられている。
この種のマクロ検査装置は、基板ホルダが矩形状のガラス基板よりも若干小さい開口部を有する矩形枠状のホルダ本体を備え、ホルダ本体の上面でガラス基板裏面の周縁部を吸着保持するように構成されている。ここで、基板が大きい場合には、基板の周縁部のみを保持すると、基板の中央部分が変形しやすいので、開口部に細長い棒状の基板支持部を複数平行に架設し、各基板支持部には、ガラス基板裏面に当接する支持ピンや、吸着部を設け、ガラス基板を多数の点で支持させることによって、基板の変形や、撓みを抑制することが知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。なお、基板支持部は、ガラス基板の反り等を防止する程度の支持強度を有すれば足りるので、ホルダ本体に比べて非常に細く、かつ軽量に製造されている。

しかしながら、この種の基板ホルダでは、基板の重さは主にホルダ本体で支え、且つ所定角度に回動・揺動操作されるために、ホルダ本体は肉厚に製造して強度を高める必要があり、基板の大型化に伴い基板ホルダの非常に重くなってきている。近年では、２０００ｍｍを超える大型化のガラス基板が出現しており、このようにガラス基板が大型化すると、その周縁部を支える基板ホルダは、大型化、重量化せざるを得なかった。このように大型、かつ重たい基板ホルダをマクロ検査のために所定角度に回動させるためには、大掛かりな駆動機構が必要になるので、検査装置全体が大型化してしまうという問題があった。
また、ガラス基板が大型化すると、基板支持部の長さが基板サイズに比例して長くなり、基板ホルダの回動や揺動動作により支持部自体が上下方向に振動しやすくなり、また支持部材自体の自重により撓みが生じやすくなるという問題が新たに発生する。これを防止するために基板支持部の剛性を増すと、基板ホルダの重量がさらに増大することになり、好ましくない。
特開平９−１８９６４１号公報特開２００３−２３２７４２号公報

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、基板ホルダを小型化、軽量化することであり、さらに、マクロ検査装置の大型化を防止することである。

本発明の第１の側面は、搬送用ロボットのフィンガ上に載置されて水平方向に搬送された基板を検査対象として、前記基板をその下側から水平に姿勢保持し、駆動部により、この水平に姿勢保持された位置から回動させて前記基板を起き上がらせ、検査を行う観察者に対して目視観察に適した角度に立ち上げ、前記基板にマクロ照明光を照射して目視で検査するための基板検査装置に用いられる基板ホルダであって、前記駆動部に連結されるベース部と、該ベース部に間隔をもって複数配置され、前記基板に対して水平な上面が形成されるとともに前記間隔が設けられた方向に沿う断面の形状が前記間隔が設けられた方向に沿う幅寸法に対して前記上面から下側に向かう高さ寸法が長い板材からなる複数の支持部と、前記複数の支持部の上端に複数のロッドが立設され、該複数のロッドの上側である先端に前記基板の裏面を吸着保持する吸着パッドが取り付けられて構成された吸着部とを備え、前記基板をその下側から水平に姿勢保持する姿勢において前記ロッドの上下方向の高さは、前記搬送用ロボットのフィンガを、前記支持部の上端と前記基板との間で、水平方向に挿入し、かつ上下移動できる高さに調整されており、前記駆動部により前記支持部を前記基板が水平な状態に保持可能な位置に待機させた状態で、前記搬送用ロボットのフィンガを水平な状態にして、前記吸着パッドの位置よりも上方から下降させて前記基板を前記吸着パッドの上に移載した後、前記搬送用ロボットのフィンガを前記基板と前記支持部の上端とに接触しない位置まで下降させて水平方向に後退させ、前記搬送用ロボットにより前記基板を前記吸着パッド上に移載できるようにしたことを特徴とする基板ホルダである。

本発明の第２の側面は、前記基板ホルダであって、前記基板をその下側から水平に姿勢保持する姿勢において、少なくとも前記複数の支持部の前記上端には、前記支持部の前記上面に交差して下方に向かって開くような傾斜面が形成され、前記基板の裏面を前記吸着部で吸着保持した状態で、該基板の表面から裏面側に向かって照射される前記マクロ照明光を前記傾斜面で反射させることを特徴とする。

本発明の第３の側面は、前記傾斜面は、前記支持部が延ばされた方向に沿って前記支持部の前記上面の両側に形成されることを特徴とする。

本発明によれば、間隔をもって複数配置された支持部の上端に複数のロッドを介して基板の裏面を吸着保持する吸着パッドを設けることで、搬送ロボットと基板ホルダとの間で基板を直接的に受渡しできるので、基板ホルダ側に基板を受け取るためのリフト機構が不要になり、構成を簡略化できるとともに、基板の受渡しの時間を短縮することができる。

図１は、本発明の実施の形態における基板ホルダを備える基板検査装置の概略構成を示す図である。図２は、基板ホルダ及び搬送用ロボットの平面図である。図３は、図２のＩＩＩ‐ＩＩＩ線に沿った断面図である。図４は、基板ホルダの側面図である。図５は、基板ホルダ及び搬送用ロボットの平面図である。図６は、基板ホルダの側面図である。

符号の説明

１基板検査装置
３光源
８検査用多関節アームロボット
６，３０基板ホルダ
７ベース部
１０支持部
１０ａ上面
１０ｂ傾斜面
１０ｃ側面
１０ｄ傾斜面
１１ａ基端部
１１ｂ傾斜面
１２吸着部
１３ロッド
１４吸着パッド
１５ホルダ枠
１６吸着パッド
１７梁
１８支持ピン
２０搬送用ロボット
２１アーム
２２ロボットハンド
２３フィンガ
２４吸着部
３０基板ホルダ
３１吸着部
３２梁
Ｗ基板

以下、図面を参照しつつ、本発明の好適な実施例について説明する。ただし、本発明は以下の各実施例に限定されるものではなく、例えばこれら実施例の構成要素同士を適宜組み合わせてもよい。

発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
図１に基板検査装置の側面図を示す。
マクロ検査装置１は、クリーンルーム内に配置され、上面と下面が開放された側壁に囲まれた装置本体２を有する。この装置本体２の上面には、装置本体内のクリーン度を高めるためのフィルタが取り付けられている。また、装置本体２の上部には、例えば、メタルハライドランプや、ナトリウムランプなどのマクロ照明用の光源３と、この光源３から出射される照明光の光軸上に反射ミラー４が設置されている。反射ミラー４の下方には、光源３からの照明光を収束させて基板Ｗに導くフレネルレンズ５が配置されている。フレネルレンズ５は、光源３からの発散光を収束光にするために用いられる。このフレネルレンズには、さらに光源からの発散光を均一な面光源に変更する散乱機能を有する透過型液晶散乱板が近接して配置されている。マクロ照明光学系は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等の透明基板の全体を一括照明しても良く、また部分的に照明し照明光を一次元方向又は二次元方向に走査しても良い。

基板Ｗは、照明光に対して透明な平行平板からなるフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）用の透明基板で、基板搬送装置により、図１中に仮想線で示すように水平に配置された基板ホルダ６上に搬入されるようになっている。

図２に示すように、基板ホルダ６は、後述する支持部を取付けるために平坦な取付け面７ａを有するベース部７を有し、このベース部７の取付け面７ａと反対側の側面には、少なくともマクロ観察方向に向けて回動する駆動部が連結される。駆動部としては、ベース部７の長手方向に回転軸を有し、この回転軸にモータを連結したものでも良い。本実施の形態では、駆動部として、多方向（図示矢印Ａ，Ｂ，Ｃ）に自由に駆動する検査用多関節アームロボット（以降、単に検査用ロボットと呼ぶ）８が用いられている。ベース部７は、この検査用ロボット８の多関節アームの先端アーム９に連結されている。
ベース部７の取付け面７ａには、その長手方向に沿って複数の支持部１０が十分な間隔をもって配置されており、全体として櫛歯状になっている。各支持部１０は、図３に示すように幅寸法に対して高さ寸法が長い金属製の板材からなり、上端と下端のうち少なくとも上端には、基板Ｗを透過した照明光が支持部１０の上端面で反射して観察の妨げにならないように、観察視野外に向くように反射させる傾斜面１０ｂ、１０ｄが形成されている。
支持部１０の上端には、その長さ方向に沿って、吸着部１２が所定の間隔で配設されている。図３に示すように、吸着部１２は、支持部１０から立設するロッド１３の先端に、基板Ｗ裏面に当接する吸着パッド１４が取り付けられたもので、吸着パッド１４、及びロッド１３には上下に貫通するエアー流通孔（不図示）が形成されており、このエアー流通孔は吸引ポンプに接続されている。
ロッド１３は、後述する搬送用ロボット２０のフィンガ２３が支持部１０の上端と基板Ｗとの間に挿入でき、且つ上下移動するのに十分なスペースを確保できるように図４に示すようにロッド１３の高さが調整される。

ここで、吸着部１２は、支持部１０の上端側頂部の一部を平坦に形成した上面１０ａに取り付けられている。支持部１０の上端には、下方に向かって開くような傾斜面１０ｂが両側に連なっている。傾斜面１０ｂは、マクロ検査時に基板Ｗを透過した照射光が観察者に向かって反射されることを防止する作用を有している。また、傾斜面１０ｂの下端は、上面１０ａに対して垂直な側面１０ｃに連なり、側面１０ｃの下端には、傾斜面１０ｄが下向きに閉じるように形成されている。この傾斜面１０ｄは、基板ホルダ６を反転させて基板Ｗの裏面のマクロ検査を行う際に、照射光が観察者に向かって反射されることを防止する。

図４に示すように、支持部１０の上面１０ａは、基板Ｗに対して水平であるが、支持部１０の下端、つまり下側の傾斜面１０ｄが作る稜線は、ベース部７側を支持部１０の基端部１１ａとした場合に、ここから先端部１１ｂに向かうにつれて支持部１０の上下方向の高さを減ずるように傾斜している。このように支持部１０の高さをベース部７からの距離に応じて変化させることで、支持部１０の支持強度を確保しつつ基板Ｗの重量を抑え、軽量化を図っている。

さらに、図２に示すように、支持部１０の基端部１１ａ側の上面１０ａと、先端部１１ｂ側には、支持部１０と直交するように基板Ｗの上下周縁部を吸着保持する薄い金属製の板材からなる軽量化を図ったホルダ枠１５が固定されている。ホルダ枠１５は、その両端部１５ａが、互いに近接する方向に垂直に屈曲させられている。各ホルダ枠１５の長さ、及び配置間隔は、仮想線で示す基板Ｗの横寸法と縦寸法に合うように設定されており、各ホルダ枠１５の上面には吸着パッド１６が所定の間隔で複数配設されている。吸着パッド１６は、吸引ポンプに接続されており、吸着部１２と共に基板Ｗを吸着保持するものである。
さらに、各支持部１０のうちの最も外側に位置する支持部１０の外側面１０ｃには、基板Ｗの両側縁部を支持する支持ピン１８を支える複数の梁１７が、所定の間隔で配設されている。図３に示すように、梁１７は、支持部１０に対して垂直に延設されており、その先端部上面には、支持ピン１８が立設されている。支持ピン１８の先端部には、テフロン等(テフロンは登録商標）のガラス基板より硬度の小さい耐磨耗性に優れた減摩材からなる球体が設けられている。なお、各支持ピン１８は、基板Ｗの両側縁部を支持するように配設されている。本実施の形態では、梁１７に支持ピン１８を配置したが、これに代えて吸着部１２を配置しても良い。

図１及び図２に示すように、基板ホルダ６のベース部７を取り付けた検査用ロボット８は、不図示の制御装置によって、例えば、図１に仮想線で示すように、水平に姿勢保持される位置から、図１に実線で示すような、所定の傾斜角度で起き上がらせた位置まで基板ホルダ６を矢印Ａ方向に回転又は揺動させたり、基板ホルダ６をアーム９の軸線回りに矢印Ｃ方向に回転させたり、基板ホルダ６を矢印Ｂ方向に上下移動させたり、基板ホルダ６を矢印Ｄ方向に左右移動できるようになっている。この検査用ロボット８を用いることにより、基板ホルダ６をマクロ照明下において観察に適した角度に立ち上げた状態で、基板ホルダ６を上下と左右に移動させることにより、基板Ｗの全面に対してマクロ照明光を走査するができる。マクロ照明光学系をＸＹ方向に移動可能に設けた場合は、検査用ロボットは矢印Ａ方向に回転又は揺動、矢印Ｃ方向に回転、及び矢印Ｂ方向に上下移動できれば良い。
なお、基板ホルダ６を起き上がらせたときに、基板ホルダ６の前側にあたる位置には、装置本体２に開口が形成されており、起き上がらせた状態の基板Ｗの外観を、観察者が目視で観察できるようになっている。

ここで、図２には、基板ホルダ６に基板Ｗを搬入出する際に使用される搬送用ロボット２０が図示されている。このように使用される搬送用ロボット２０は、例えば、複数のアーム２１を連結した多関節アームロボットで、先端にロボットハンド２２が取り付けられている。ロボットハンド２２は、複数のフィンガ２３が櫛歯状に配設されている。基板ホルダ６側の吸着部１２は、図４に示すようにフィンガ２３に干渉しないように配置されている。さらに、図４に示すように、フィンガ２３の厚さは、高さに比べて十分に薄い。このようなフィンガ２３の上部には、吸着部２４が配設されており、図２の仮想線で示す基板Ｗを吸着保持するようになっている。

この実施の形態の作用について説明する。
まず、図１に仮想線で示すように、基板ホルダ６を基板Ｗの搬入出に適した水平位置に待機させる。搬送用ロボット２０は、カセットから基板Ｗを一枚吸着保持して取り出し、基板Ｗを基板ホルダ６の上方に移送する。このとき、図２及び図４に示すように、搬送用ロボット２０のフィンガ２３は、水平な状態で基板ホルダ６の各支持部１０に対して平面視で直交する方向から挿入される。搬送用ロボット２０により基板Ｗを保持したロボットハンド２２を水平な姿勢を維持した状態で下降させると、フィンガ２３が、吸着部１２や、支持ピン１８、梁１５の間を通るようにして図４に仮想線で示す位置まで下降する。この間、基板Ｗの裏面に吸着部１２、支持ピン１８、吸着パッド１６が当接し、基板Ｗがこれらに支持され、搬送用ロボット２０から基板ホルダ６に基板Ｗが移載される。基板Ｗの移載が終了したら、搬送用ロボット２０のアーム２１を後退させ、基板Ｗと基板ホルダ６との間からフィンガ２３を引き抜く。
基板検査装置１は、不図示の整列手段で基板Ｗを基板ホルダ６上の基準位置に整列させたら、その位置で吸着部１２、及び吸着パッド１６によって基板Ｗを吸着保持する。さらに、検査用ロボット８が基板ホルダ６を水平位置から、図１に実線で示すように、基板Ｗを観察者に向かって起き上がらせる。この状態で、光源３からの照明光で基板Ｗを上方から照らしながら、観察者がマクロ検査を行う。この際、検査用ロボット８により、基板ホルダ６を微小角度で上下方向又は左右方向に揺動させ、基板Ｗに対して照明光の入射角度を変化させながらマクロ検査を行なっても良い。また、基板Ｗの裏面のマクロ検査を行なう際には、検査用ロボット８により基板Ｗを反転させ、基板Ｗの裏面を照明方向に向けてマクロ検査を行なっても良い。更に、不図示のバックライト装置を設けて、基板Ｗの裏面側から照らしながら観察を行っても良い。

マクロ検査が終了したら、基板ホルダ６を水平位置まで戻した後、吸着部１２、吸着パッド１６による吸着保持を解除する。基板Ｗの搬出にあたっては、搬送用ロボット２０によりロボットハンド２２を水平に移動させてフィンガ２３を基板Ｗと支持部１０との間に挿入させる。さらに、ロボットハンド２２を上昇させ、基板Ｗを搬送用ロボット２０に移載した後、アーム２１を後退させてカセット向けて搬出する。

この実施の形態によれば、マクロ検査用の基板ホルダ６を櫛歯状のフレーム構成とし、櫛歯に相当する各支持腕部１０に基板Ｗを保持するための強度をもたせたので、従来のように矩形のフレームを有する基板ホルダに比べて、基板ホルダ６の外形を小型化することができ、装置全体を小型化することができる。さらに、基板ホルダ６は、従来に比べて軽量になるので、基板ホルダ６の移動を速やかに行えるようになり、検査時間を短縮することができる。また、基板ホルダ６は、軽量化であり、荷重の分散がないために慣性モーメントを小さくすることができ、検査用ロボット８として使用する多関節アームロボットにかかる負荷を低減できる。したがって、小型化の多関節アームロボットを使用することが可能になる。さらに、バックライトを用いて透過照明検査時に行う際にも、光の遮断を最小限に止めることが可能になる。
また、基板ホルダ６を起き上がらせた際に、支持部１０が縦方向に、つまり基板Ｗの裏面を上側から下側にかけて支持するように配設され、基板Ｗの裏面を吸着保持しているので、マクロ観察時に基板Ｗのたわみや、振動を抑制することができる。ホルダ枠１６を櫛歯状に配置した支持部１０の基端部１１ａと先端部１１ｂに設け、基板Ｗの搬入方向を開放させることにより、搬送用ロボット２０のフィンガ２３が基板ホルダ６に干渉することなく、基板Ｗの搬出入を安全に行なうことができる。また、支持部１０で支えられない基板Ｗの側方は、外側に配置された支持部１０から梁１７を延ばして支持するようにしたので、搬入出側の基板Ｗの周縁部を確実に保持することができるとともに、両側のホルダ枠を省落することにより、更なる軽量化を図ることができる。

次に、本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と同じ構成要素には同一の符号を付してある。また、重複する説明は省略する。
図５及び図６に示すように、基板ホルダ３０は、検査用ロボット（検査用多関節アームロボット）８のアーム９の先端部に取り付けられたベース部７を有し、ベース部７の取り付け面７ａには、複数の支持部１０がベース部７に対して直交するに所定間隔で平行に配設されている。ベース部７は、支持部１０の基端部１１ａの高さ寸法とほぼ同等の厚さ寸法になっており、第１実施の形態のベース部に比べて薄く形成され、軽量化が図られている。支持部１０の上面は、平坦な面に形成され、ベース部７の上面よりも高い位置に配置されている。ベース部７と支持部１０の各上面は、同一平面にしてベース部７により基板Ｗの一側縁部を吸着保持するようにしても良い。また、支持部１０の上面には、開口部が形成され、この各開口部に吸着パッドをはめ込んだ吸着部３１が所定間隔に配置されている。この吸着部３１は、支持部１０に形成された流通孔を介して吸引ポンプに接続されている。最外側の支持部１０の外側面には、梁３２が配設されている。梁３２は、支持部１０から垂直に延設されており、その上面で基板Ｗの裏面を支持するもので、梁３２の上面には、例えば、吸着部３１を取り付けても良い。

この実施の形態に作用について説明する。
まず、基板ホルダ３０を基板Ｗの搬入出に適した水平位置に待機させる。搬送用ロボット２０は、基板Ｗを基板ホルダ６の上方に移送する。このとき、搬送用ロボット２０のフィンガ２３は、基板ホルダ３０の各支持部１０に対して平面視で平行に、隣り合う２つの支持部１０の間にフィンガ２３が配されるよう、つまり基板ホルダ３０の支持部１０と搬送用ロボット２０のフィンガ２３とが噛み合うように挿入される。基板Ｗに対する吸着を解除した後、搬送用ロボット２０により基板Ｗを保持したロボットハンド２２を水平な姿勢に維持した状態で下降させると、フィンガ２３が、支持部１０の間を下降するので、基板Ｗの裏面が支持部１０、梁３２にそれぞれ当接し、搬送用ロボット２０から基板ホルダ３０に基板Ｗが移載される。基板Ｗの移載が終了したら、搬送用ロボット２０のアーム２１を水平に後退させ、フィンガ２３を基板Ｗと基板ホルダとの間から引き抜く。検査用ロボット８により基板ホルダ３０を所定角度に立ち上げて、上下方向又は左右方向に揺動させる際に、この基板ホルダ３０と干渉しない位置であれば、基板Ｗの受け渡し位置、もしくは、この受け渡し位置よりも下方に下降させた退避位置にロボットハンド２２を待機されても良い。
さらに、不図示の整列手段で基板Ｗを基板ホルダ３０上の基準位置に基板Ｗを整列させたら、その位置で吸着部３１により基板Ｗを吸着保持する。さらに、検査用ロボット８が基板ホルダ３０を水平位置から基板Ｗを観察者に向かって起き上がらせ、基板Ｗを上方から照明光を照射してマクロ検査を行う。

マクロ検査が終了したら、基板ホルダ３０を水平位置まで戻した後、吸着部３１による吸着保持を解除する。搬送用ロボット２０のフィンガ２３を基板Ｗと支持部１０との間に挿入してから上昇させ、基板Ｗを搬送用ロボット２０に移載し、基板Ｗをカセットに向けて搬出する。

この実施の形態によれば、基板ホルダ３０を櫛歯状のフレーム構成とし、その先端側を開放させてあるので、搬送用ロボット２０を、各支持部１０の間に噛み合うように平行に挿入させることができる。このように噛み合わせた状態で基板Ｗの受け渡しを行なうことにより、搬送用ロボット２０と基板ホルダ３０との間で基板Ｗを直接的に受け渡しできるので、基板ホルダ３０側に基板Ｗを受け取るためのリフト機構を設ける必要がなくなり、構成を簡略化できるとともに、基板Ｗの受け渡しの時間を短縮することができる。さらに、ホルダ枠を省略することにより、基板ホルダ３０を小型化、軽量化することができる。基板ホルダ３０の小型化、軽量化、及びこれに伴う効果は、第１の実施の形態と同様である。

なお、本発明は、前記の実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、図２に示すような基板ホルダ６において、支持部１０に、基板Ｗの裏面に当接する支持ピン１８を設けても良い。この場合には、支持ピン１８、及び吸着部１２を交互に支持部１０に配列しても良いし、支持部１０毎に支持ピン１８又は吸着部１２を配置しても良い。
また、図５に示すような基板ホルダ３０において、各支持部１０の先端側を板状の長い桟で連結しても良い。この桟は、支持部１０の先端部１１ｂを連結することで、各支持部１０の振動を抑制することができる。搬送用ロボット２０のフィンガ２３が桟と干渉しないように、この桟を支持部１０の下面に設けたり、桟にフィンガの形状に合わせた切欠きを設けると良い。
また、図２に示すように基板ホルダ６において、ホルダ枠１５を矩形状のガラス基板Ｗの形状に合わせて、一方を開放したコ字形に形成し、一方が開放された側から基板Ｗを搬出入させても良い。図２に示すホルダ枠１５を支持部１０の先端側にだけ設け、ベース部７により基板Ｗの一側縁部を吸着保持するようにしても良い。

本発明によれば、基板を支持する支持部を櫛歯状に備えるので、基板の周縁部を矩形状のホルダ本体で支持する場合に比べて、小型化、軽量化することができる。また、これによって、基板ホルダの揺動や回転などを行う多関節ロボットなどの負荷を低減することができ、基板検査装置を小型化することができる。

Claims

搬送用ロボットのフィンガ上に載置されて水平方向に搬送された基板を検査対象として、前記基板をその下側から水平に姿勢保持し、駆動部により、この水平に姿勢保持された位置から回動させて前記基板を起き上がらせ、検査を行う観察者に対して目視観察に適した角度に立ち上げ、前記基板にマクロ照明光を照射して目視で検査するための基板検査装置に用いられる基板ホルダであって、
前記駆動部に連結されるベース部と、
該ベース部に間隔をもって複数配置され、前記基板に対して水平な上面が形成されるとともに前記間隔が設けられた方向に沿う断面の形状が前記間隔が設けられた方向に沿う幅寸法に対して前記上面から下側に向かう高さ寸法が長い板材からなる複数の支持部と、
前記複数の支持部の上端に複数のロッドが立設され、該複数のロッドの上側である先端に前記基板の裏面を吸着保持する吸着パッドが取り付けられて構成された吸着部とを備え、
前記基板をその下側から水平に姿勢保持する姿勢において前記ロッドの上下方向の高さは、前記搬送用ロボットのフィンガを、前記支持部の上端と前記基板との間で、水平方向に挿入し、かつ上下移動できる高さに調整されており、
前記駆動部により前記支持部を前記基板が水平な状態に保持可能な位置に待機させた状態で、前記搬送用ロボットのフィンガを水平な状態にして、前記吸着パッドの位置よりも上方から下降させて前記基板を前記吸着パッドの上に移載した後、前記搬送用ロボットのフィンガを前記基板と前記支持部の上端とに接触しない位置まで下降させて水平方向に後退させ、前記搬送用ロボットにより前記基板を前記吸着パッド上に移載できるようにしたことを特徴とする基板ホルダ。
前記基板をその下側から水平に姿勢保持する姿勢において、少なくとも前記複数の支持部の前記上端には、前記支持部の前記上面に交差して下方に向かって開くような傾斜面が形成され、
前記基板の裏面を前記吸着部で吸着保持した状態で、該基板の表面から裏面側に向かって照射される前記マクロ照明光を前記傾斜面で反射させることを特徴とする請求項１記載の基板ホルダ。
前記傾斜面は、前記支持部が延ばされた方向に沿って前記支持部の前記上面の両側に形成されることを特徴とする請求項２記載の基板ホルダ。