JP2008215976A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板搬送アームと検査ステージとの接触を回避して基板を載置することが出来、検出性能の高い基板検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査基板（ウエハ１０）が載置される透明な載置台（検査ステージ２０）と、前記載置台上の所定位置に前記被検査基板を載置させる載置機構Ａと、前記載置台を介して前記被検査基板の裏面に光を照射して検査する検査部４０（照明光４１、光ファイバ４３、撮像素子４４）とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、例えば、半導体基板（シリコンウエハ）や液晶表示装置の基板などの基板裏面を検査する装置で、特にパターン欠陥を自動検出する自動マクロ検査装置に適用される基板検査装置に関する。

シリコンウエハの裏面に光を照射し、該裏面からの散乱光を利用してウエハ裏面に付着した塵埃やウエハの粉砕片などのパーティクルを検出する装置が知られている。

研削加工された肉厚の薄いウエハや、大口径のウエハなどの裏面マクロ検査において、ウエハの周辺部のみを支持する構造の検査ステージを利用する場合にあっては、ウエハが検査ステージから落下したり、ウエハが自重で重力方向に撓んだり、あるいは反ったりするおそれがある。

このため、透明な検査ステージでウエハの裏面全体を支持して、ウエハの落下、撓み、反りを防止した検査装置が提案されている（特許文献１中図１２参照）。

特開２００４−６９５８０号公報

ウエハの裏面全体を支持する検査ステージを装備した検査装置では、ロボットアームなどの搬送手段からウエハを検査ステージ上に載置する際、ロボットアームとステージとが接触してステージ表面を擦り、傷つけてパーティクルの発生原因となることが指摘されている。

本発明は、基板搬送アームと検査ステージとの接触を回避して基板を載置することが出来、検出性能の高い基板検査装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成する本発明の請求項１に記載の基板検査装置は、被検査基板が載置される透明な載置台と、前記載置台上の所定位置に前記被検査基板を載置させる載置機構と、前記載置台を介して前記被検査基板の載置される面に光を照射して検査する検査部と、を備えてなることを特徴とする（例えば、図１参照）。

本発明の請求項２に記載の基板検査装置は、前記載置機構が、前記載置台を傾斜させて前記被検査基板を所定位置に載置させることを特徴とする（例えば、図２を参照）。

本発明の請求項３に記載の基板検査装置は、前記載置機構が、複数の前記載置台を互いに合体させて前記被検査基板を所定位置に載置させることを特徴とする（例えば、図３又は図４を参照）。

本発明の請求項４に記載の基板検査装置は、前記載置機構が、複数のアーム部材と、該複数のアーム部材を移動させるアーム駆動機構とを有し、前記複数のアーム部材は、重力方向の厚さが前記被検査基板の自重で撓む撓み量よりも小さくなる程度に離間して配置され、前記アーム駆動機構は、前記被検査基板の一部が前記載置台に載った後に前記被検査基板の支持を解除する方向に前記複数のアーム部材を移動させることを特徴とする（例えば、図５を参照）。

本発明の請求項５に記載の基板検査装置は、被検査基板が載置される、所定部位が窪んだ透明な載置台と、前記被検査基板の裏面全体を前記載置台上に接触させる押圧機構と、前記載置台を介して前記被検査基板の裏面に光を照射して検査する検査部と、を備えてなることを特徴とする（例えば、図６を参照）。

本発明の請求項６に記載の基板検査装置は、前記載置台が、異なる材質の複数の透明材から形成されることを特徴とする（例えば、図７を参照）。

本発明の請求項７に記載の基板検査装置は、前記被検査基板の裏面を照明する光を、前記載置台の表面を全反射する角度以上の角度で前記載置台に入射させることを特徴とする（例えば、図８を参照）。

本発明によれば、基板搬送アームと検査ステージとの接触を回避して基板を載置することが出来、検出性能が高い。

以下、本発明の基板検査装置の一実施形態について図１乃至図８を参照して説明する。

図１は本発明の基板検査装置の実施形態を示す全体の概略図、図２（ａ）〜（ｄ）は本発明の基板検査装置の特徴部分である載置機構Ａの第１の実施形態を示す図、図３は載置機構Ａの第２の実施形態を示す平面図、図４（ａ）〜（ｃ）は載置機構Ａの第３の実施形態を示す図、図５は載置機構Ａの第４の実施形態を示す正面図、図６は載置機構Ａの第５の実施形態を示す正面図、図７は検査ステージの別の実施形態を示す側面図、図８は図１の基板検査装置を使用して検査ステージ表面を検査する場合の説明図である。

本実施形態の基板検査装置は、図１に示すように、被検査基板としてのウエハ１０が載置される透明な載置台としての検査ステージ２０と、この検査ステージ２０上の所定位置にウエハ１０を載置する載置機構Ａ（図２ないし図６照）と、検査ステージ２０を介してウエハ１０の裏面に光を照射して検査する検査部４０とを備える。

検査部４０は、不図示の光源からの照明光４１を検査ステージ２０に導く光ファイバ４２と、該光ファイバ４２からの照明光４１を平行光にするコリメートレンズ４３と、ウエハ１０の裏面からの散乱光を検出する撮像素子４４と、ウエハ１０を検査ステージ２０の表面に密着させるための圧縮エア４６を吹き付けるエア噴射装置４５とを備える。

照明光４１は、光ファイバ４２、コリメートレンズ４３を介して検査ステージ２０の一方の側面から該検査ステージ２０内に入射し、検査ステージ２０の表面に載置されたウエハ１０の裏面を照明する。ウエハ１０の裏面にパーティクルや欠けなどがないと、照明光４１はウエハ１０の裏面で反射し、正反射光として検査ステージ２０の入射した側の側面と反対側に位置する側面を通って外部に出射するが、ウエハ１０の裏面にパーティクルの付着や欠けなどの欠陥があると、パーティクルや欠けなどの欠陥部分で散乱光４７が生じて、この散乱光４７の大部分は正反射光とは異なり、検査ステージ２０のウエハ１０が載置される表面と反対側の裏面から出射する。撮像素子４４は、検査ステージ２０の裏面側に配置されていて、散乱光４７を受光し、検出する。

なお、図１中４８は処理／制御装置で、エア噴射装置４５と撮像素子４４を制御し、また撮像素子４４からの撮影画像信号を入力して画像処理を施す。

図２（ａ）ないし（ｄ）は載置機構Ａの第１の実施形態を示しており、検査ステージ２０を傾斜可能に構成し、この検査ステージ２０を傾斜させることにより、ロボットアーム３０から検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａに搬送されたウエハ１０を、ウエハ１０の裏面を検査する検査ステージ２０の検査位置２０ｂまで滑らせように構成してある。

検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側の端部（図２（ａ）の左側）には、ロボットアーム３０との接触を回避するＵ字状の切り欠き２１が形成される。ロボットアーム３０は、この切り欠き２１内に進入した後、不図示の駆動機構により下降してウエハ１０を受け渡し位置２０ａ上に載置する（図２（ａ）、（ｂ）参照）。ロボットアーム３０は、ウエハ１０が受け渡し位置２０ａ上に載った時点で後退して、ウエハ１０から離れ、切り欠き２１から出る。

検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側の端部には、検査ステージ２０の裏面側に検査ステージ２０を持ち上げるシリンダ３１が配置される。また、検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側の表面には、ウエハ１０が検査ステージ２０の表面から落下するのを防止する一対の落下防止ピン３２が設けられる。

検査ステージ２０の検査位置２０ｂ側の両側面は着脱可能な枢着部３３によって回転可能に支持され、シリンダ３１を駆動して検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側を持ち上げると、検査ステージ２０は枢着部３３を支点として回転し、傾斜状態となる。

検査ステージ２０の検査位置２０ｂ側の表面には、ウエハ１０を検査位置２０ｂに位置決めするための一対の位置決めピン３４が設けられる。

なお、図示していないが、検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側の両側面も着脱可能な枢着部によって回転可能に支持される。また、検査ステージ２０の検査位置２０ｂ側の端部の裏面側にも、検査ステージ２０を持ち上げるシリンダが配置される。これは検査終了後、ウエハ１０を検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａに戻すように、検査ステージ２０の検査位置２０ｂ側を持ち上げて、受け渡し位置２０ａ側を支点として、検査ステージ２０を前回とは反対の方向に回転させてウエハ１０を検査位置２０ｂから受け渡し位置２０ａに滑らせて戻すためである。

第１の実施形態の載置機構Ａによれば、図２（ａ）、（ｂ）に示すように、ロボットアーム３０により搬送されたウエハ１０を、検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａに載置する。このとき、ロボットアーム３０は検査ステージ２０の切り欠き２１内に進入する。ウエハ１０を検査ステージ２０に載置したら、ロボットアーム一旦後退させる。そして、同図（ｃ）に示すように、シリンダ３１を駆動して、検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側を持ち上げ、検査ステージ２０を、枢着部３３を支点として回転させると、ウエハ１０は検査ステージ２０の表面との摩擦により適度な速度で検査位置２０ｂ側に滑って移動する。ウエハ１０は、その外周面が検査位置２０ｂで位置決めピン３４に当たり、検査位置２０ｂに位置決めされる。

この後、シリンダ３１を駆動して検査ステージ２０の受け渡し位置２０ａ側を降ろして検査ステージ２０を水平状態に戻し、検査ステージ２０を介して検査位置２０ｂにあるウエハ１０の裏面に照明光４１（図１参照）を照射する。この検査位置２０ｂには切り欠きがなく、切り欠きによって生じたウエハ１０と検査ステージ２０との間の空間によって照明光４１が乱反射を引き起こすことがなく、ウエハ１０の裏面を検査することが出来る。また、ウエハ１０はその裏面全体が検査ステージ２０に支持され、自重により重力方向に撓むことがない。

検査終了後は、検査位置２０ｂ側の枢着部３３を検査ステージ２０から外す一方、受け渡し２０ａ側の枢着部で検査ステージ２０を回転可能に支持する。そして、検査位置２０ｂ側のシリンダにより検査ステージ２０を持ち上げると、検査ステージ２０は受け渡し位置２０ａ側の枢着部を支点として回転し、ウエハ１０は検査位置２０ｂから受け渡し位置２０ａ側に滑って移動する。ウエハ１０が落下防止ピン３２に当たると、ウエハ１０は受け渡し位置２０ａで停止する。そして、検査位置２０ｂ側のシリンダを駆動して検査ステージ２０を水平状態に戻し、受け渡し位置２０ａにあるウエハ１０をロボットアーム３０により取り出し、新たなウエハ１０を再度受け渡し位置２０ａに搬送して上述した操作を繰り返す。

尚、検査終了後にシリンダ３１を同図（ｂ）より更に縮ませて、検査ステージ２０を同図（ｃ）と反対方向に回転させウエハ１０を検査位置２０ｂから受け渡し位置２０ａに移動させる方法でも良い。

図３は載置機構Ａの第２の実施形態を示しており、検査ステージ２０を左右のステージ片２２ａ、２２ｂに分割して構成し、ウエハ１０の受け渡し時にステージ片２２ａ、２２ｂを互いに水平方向に引き離してステージ片２２ａ、２２ｂ間にロボットアーム３０が進入するスペースをつくり、ウエハ１０の載置後、ステージ片２２を互いに接近させて合体させるように構成してある。

各ステージ片２２ａ、２２ｂにはそれぞれ駆動機構３５ａ、３５ｂが装備され、案内軸３６に沿ってステージ片２２ａ、２２ｂを互いに接近、引き離すようにしてある。

第２の実施形態の載置機構Ａによれば、ウエハ１０を検査ステージ２０上に載置して検査する際には、図３に示すように、ロボットアーム３０のためのスペースを確保するために駆動機構３５ａ、３５ｂを駆動し、ステージ片２２ａ、２２ｂを案内軸３６に沿って互いに引き離す。そして、ロボットアーム３０をステージ片２２ａ、２２ｂ間の空いたスペース内に進入させ、ウエハ１０の両側部分がステージ片２２ａ、２２ｂに載るようにする。次いで、ロボットアーム３０をステージ片２２ａ、２２ｂ間から後退させ、駆動機構３５ａ、３５ｂを駆動させてステージ片２２ａ、２２ｂを案内軸３６に沿って互いに接近させて合体させる。

この後、検査ステージ２０を介してウエハ１０の裏面に照明光４１（図１参照）を照射するが、ステージ片２２ａ、２２ｂは合体してステージ片２２ａ、２２ｂ間にスペースが無く、またウエハ１０と検査ステージ２０との間に空間がなく、この空間によって照明光４１が乱反射を引き起こすことなく、ウエハ１０の裏面を検査することが出来る。また、ウエハ１０は、その裏面全体が検査ステージ２０に支持され、自重により重力方向に撓むことがない。なお、照明光４１は、ステージ片２２ａ、２２ｂどうしの接触面に対して平行な方向に照射され、接触面の箇所で反射することがないようにしてある。

検査終了後は、駆動機構３５ａ、３５ｂによりステージ片２２ａ、２２ｂを案内軸３６に沿って互いに引き離し、ステージ片２２ａ、２２ｂ間にロボットアーム３０が進入するスペースを確保し、ロボットアーム３０によりウエハ１０を検査ステージ２０から取り出し、新たなウエハ１０を搬送し、上述した操作を繰り返す。

図４（ａ）ないし（ｃ）は載置機構Ａの第３の実施形態を示しており、検査ステージ２０を左右のステージ片２３ａ、２３ｂに分割して構成し、ウエハ１０の受け渡し時に何れか一方のステージ片２３ａ、２３ｂ（図４（ａ）ないし（ｃ）では左側のステージ片２３ａ）を他のステージ片２３ｂに対して下降させてロボットアーム３０が進入するスペースをつくり、ウエハ１０が他方のステージ片２３ｂ上に載置後、一方のステージ片２３ａを上昇させて合体させるように構成してある。

一方のステージ片２３ａは、リフト機構３７上に配置され、このリフト機構３７により昇降する。

第３の実施形態の載置機構Ａによれば、ウエハ１０を検査ステージ２０上に載置して検査する際には、図４（ａ）に示すように、ロボットアーム３０のためのスペースを確保するためにリフト機構３７を駆動し、一方のステージ片２３ａを他方のステージ片２３ｂに対して下降させてロボットアーム３０のためのスペースをステージ片２３ａ上に確保する。そして、同図（ｂ）に示すように、ロボットアーム３０をステージ片２３ａ上の空いたスペース内に進入させ、ウエハ１０が落下しない程度にウエハ１０の一部分がステージ片２３ｂｂに載るようにする。次いで、ロボットアーム３０をステージ２３ａ上のスペースから後退させ、リフト機構３７を駆動させてステージ片２３ａをステージ片２３ｂと同じ高さ位置となるように上昇させ、ステージ片２３ａ、２３ｂを合体させる。これによりステージ片２３ａ、２３ｂは、その表面間に段差が無く、同じ面位置になる。

この後、検査ステージ２０を介してウエハ１０の裏面に照明光４１（図１参照）を照射するが、ステージ片２３ａ、２３ｂは合体してステージ片２３ａ、２３ｂの表面間に段差がなく、またウエハ１０と検査ステージ２０との間に空間がなく、段差、空間によって照明光４１が乱反射を引き起こすことなく、ウエハ１０の裏面を検査することが出来る。また、ウエハ１０は、その裏面全体が検査ステージ２０に支持され、自重により重力方向に撓むことがない。なお、照明光４１は、ステージ片２３ａ、２３ｂどうしの接触面に対して平行な方向に照射され、接触面の箇所で反射することがないようにしてある。

検査終了後は、リフト機構３７によりステージ片２３ａを下降させ、ステージ片２３ａ上にロボットアーム３０が進入するスペースを確保し、ロボットアーム３０によりウエハ１０を検査ステージ２０から取り出し、新たなウエハ１０を搬送し、上述した操作を繰り返す。

図５は載置機構Ａの第４の実施形態を示しており、ウエハ１０を検査ステージ２０上に搬送するロボットアーム３０の左右一対のアーム部材３８ａ、３８ｂ間の間隔を、これらアーム部材３８ａ、３８ｂの重力方向の厚さよりもアーム部材３８ａ、３８ｂによって支持されるウエハ１０の重力方向の撓み量が大きくなるように設定してある。すなわち、アーム部材３８ａ、３８ｂの間隔を拡げると、ウエハ１０の撓み量が大きくなり、狭めるとウエハ１０の撓み量が小さくなるので、アーム部材３８ａ、３８ｂの間隔を調整してアーム部材３８ａ、３８ｂの肉厚よりもウエハ１０の撓み量が大きくなるようする。

ウエハ１０をアーム部材３８ａ、３８ｂにより支持して検査ステージ２０上に搬送し、下降させたとき、ウエハ１０の最大撓み部分が検査ステージ２０の表面に接触して検査ステージ２０上に載ることになり、この状態でアーム部材３８ａ、３８ｂを不図示のアーム駆動機構によって後退させると、アーム部材３８ａ、３８ｂを検査ステージ２０の表面に全く接触させることなくウエハ１０を載置することが可能となる。

検査ステージ２０上に載置されたウエハ１０は平らな状態に復帰する。必要に応じてエア噴射装置４５により圧縮エア４６（図１参照）を吹き付けてウエハ１０を検査ステージ２０上に密着させるようにしてもよい。

第４の実施形態の載置機構Ａによれば、ウエハ１０を検査ステージ２０上に載置して検査する際には、アーム部材３８ａ、３８ｂでウエハ１０を支持した状態で検査ステージ２０上に搬送して、下降させることにより、図５に示すように、アーム部材３８ａ、３８ｂが検査ステージ２０の表面に全く触れることなくウエハ１０を検査ステージ２０の表面に載せることが出来る。

この後、検査ステージ２０を介してウエハ１０の裏面に照明光４１（図１参照）を照射するが、ウエハ１０と検査ステージ２０との間には空間がなく、この空間によって照明光４１が乱反射を引き起こすことなく、ウエハ１０の裏面を検査することが出来る。また、ウエハ１０は、その裏面全体が検査ステージ２０に支持され、自重により重力方向に撓むことがない。

図６は載置機構Ａの第５の実施形態を示しており、検査ステージ２０の表面２４を湾曲状に窪ませて表面中央部が最も深くなるようにして、ウエハ１０と検査ステージ２０の表面２４との間にロボットアーム３０が入る隙間を形成してある。

第５の実施形態の載置機構Ａによれば、ウエハ１０を検査ステージ２０上に載置して検査する際には、図６に示すように、ウエハ１０をロボットアーム３０と共に検査ステージ２０の表面２４上に下降させると、ウエハ１０の周辺部位が検査ステージ２０の表面２４の外周部分上に載る。このときロボットアーム３０は最も窪んだ検査ステージ２０の表面２４の中央部に位置する。そして、ロボットアーム３０を不図示のアーム駆動機構により後退させると、ロボットアーム３０を検査ステージ２０の表面２４に全く接触させることなく、ウエハ１０を検査ステージ２０の表面２４上に載置することが出来る。次いで、エア噴射装置４５により圧縮エア４６をウエハ１０に吹き付けると、ウエハ１０は検査ステージ２０の表面２４に倣って撓み、ウエハ１０と検査ステージ２０の表面２４との間に空間が生じることなく、ウエハ２０が検査ステージ２０の表面２４に密着する。

この後、検査ステージ２０を介してウエハ１０の裏面に照明光４１（図１参照）を照射するが、ウエハ２０は圧縮エア４６により検査ステージ２０の表面２４に密着し、ウエハ１０と検査ステージ２０との間に空間がなく、この空間によって照明光４１が乱反射を引き起こすことなく、ウエハ１０の裏面を検査することが出来る。また、撮像素子４４の出力に、表面２４の曲率から画像処理によってディストーション補正を施すことにより、ウエハ１０に撓みがあっても正確な検査を行うことが可能となる。

検査終了後は、エア噴射装置４５の駆動を停止することにより、ウエハ１０は元の平らに近い形状に復帰し、ウエハ１０と検査ステージ２０の表面２４との間に空間が生じるので、この空間内にロボットアーム３０を挿入し、ウエハ１０を検査ステージ２０から取り出して新たなウエハ１０を搬送し、上述した操作を繰り返す。

図７は検査ステージ２０の他の実施形態を示しており、ロボットアーム３０が接触する可能性がある、検査ステージ２０の表面部分層２５ａを適度な硬度を有するガラス材料などから構成し、それ以外のベース部分２５ｂを安価なプラスチック材料から構成する。

このように検査ステージ２０を、必要な箇所のみを適度な硬度を有するガラス材料から構成することにより、全体をガラス材料から構成する場合に比してコストダウンを図ることが可能となる。

図８は、ウエハ１０の検査前あるいは検査後に次のウエハ１０の検査のために検査ステージ２０の表面について、パーティクルの付着、傷の有無などを検査する場合を示す。

この場合、照明光４１の検査ステージ２０への入射角度θを全反射角度以上の角度で入射させるようにしている。全反射角度以下の場合、照明光４１は検査ステージ２０の表面を突き抜け、装置周辺の金物類に当たり、反射して反射光（ノイズ）となって撮像素子４４に入射することがあるので、これを回避するためである。

全反射以上の入射角度θでは照明光４１はほぼ検査ステージ２０の表面に沿って進行する。検査ステージ２０の表面にパーティクルＰなどが付着していると、屈折率の相違によりパーティクルＰと検査ステージ２０の表面との接触部分で散乱光４７が生じて、この散乱光の一部が撮像素子４４入射して検出される。

本発明は上記実施形態に示すものに限定されるものではない。載置機構Ａについては図２（ａ）ないし（ｄ）、図３、図４（ａ）ないし（ｃ）、図５、図６などに示すものに限定されるものではなく、要はウエハ１０を検査ステージ２０上に搬送する際、ウエハ１０以外のもの、例えばロボットアームなどが検査ステージ２０の接触しないようにしてあればよい。

本発明の基板検査装置の一実施形態を示す全体の概略図である。 図１の基板検査装置に装備される載置機構Ａの第１の実施形態を示すもので、図１（ａ）は基板を搬送アームから載置台としての検査ステージに載置する直前の平面図、同図（ｂ）は同側面図、同図（ｃ）は検査ステージを傾斜させて基板を搬送アームから検査ステージ上に滑らせた状態を示す側面図、同図（ｄ）は基板を検査ステージ上に載置した状態の平面図である。 図１の基板検査装置に装備される載置機構Ａの第２の実施形態を示す平面図である。 図１の基板検査装置に装備される載置機構Ａの第３の実施形態を示すもので、図３（ａ）は搬送アームにより基板を検査ステージまで搬送した状態を示す側面図、同図（ｂ）は搬送アームにより基板の一部を検査ステージの一部に載置した状態の側面図、同図（ｃ）は基板全体を検査ステージ上に載置した状態の側面図である。 図１の基板検査装置に装備される載置機構Ａの第４の実施形態を示す正面図である。 図１の基板検査装置に装備される載置機構Ａの第５の実施形態を示す正面図である。 検査ステージの他の実施形態を示す側面図である。 図１の基板検査装置を使用して検査ステージの表面を検査する場合の説明図である。

符号の説明

１０ ウエハ（被検査基板）
２０ 検査ステージ（載置台）
２０ａ 受け渡し位置
２０ｂ 検査位置
２２ａ、２２ｂ ステージ片
２３ａ、２３ｂ ステージ片
２４ 表面
３０ ロボットアーム
３１ シリンダ
３２ 落下防止ピン
３３ 枢着部
３４ 位置決めピン
３５ａ、３５ｂ 駆動機構
３６ 案内軸
３７ リフト機構
３８ａ、３８ｂ アーム部材
４０ 検査部
４１ 照明光
４４ 撮像素子
４５ エア噴射装置
４７ 散乱光
Ａ 載置機構

Claims (7)

1. 被検査基板が載置される透明な載置台と、
   前記載置台上の所定位置に前記被検査基板を載置させる載置機構と、
   前記載置台を介して前記被検査基板の載置される面に光を照射して検査する検査部と、
   を備えてなることを特徴とする基板検査装置。
2. 請求項１に記載の基板検査装置において、
   前記載置機構は、前記載置台を傾斜させて前記被検査基板を所定位置に載置させることを特徴とする基板検査装置。
3. 請求項１に記載の基板検査装置において、
   前記載置機構は、複数の前記載置台を互いに合体させて前記被検査基板を所定位置に載置させることを特徴とする基板検査装置。
4. 請求項１に記載の基板検査装置において、
   前記載置機構は、複数のアーム部材と、該複数のアーム部材を移動させるアーム駆動機構とを有し、前記複数のアーム部材は、重力方向の厚さが前記被検査基板の自重で撓む撓み量よりも小さくなる程度に離間して配置され、前記アーム駆動機構は、前記被検査基板の一部が前記載置台に載った後に前記被検査基板の支持を解除する方向に前記複数のアーム部材を移動させることを特徴とする基板検査装置。
5. 被検査基板が載置される、所定部位が窪んだ透明な載置台と、
   前記被検査基板の裏面全体を前記載置台上に接触させる押圧機構と、
   前記載置台を介して前記被検査基板の裏面に光を照射して検査する検査部と、
   を備えてなることを特徴とする基板検査装置。
6. 請求項１ないし５の何れか一項に記載の基板検査装置において、
   前記載置台は、異なる材質の複数の透明材から形成されることを特徴とする基板検査装置。
7. 請求項１ないし６の何れか一項に記載の基板検査装置において、
   前記被検査基板の裏面を照明する光を、前記載置台の表面を全反射する角度以上の角度で前記載置台に入射させることを特徴とする基板検査装置。

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