JP4370341B2

JP4370341B2 - Ａｃｆ貼り付け装置

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Publication number: JP4370341B2
Application number: JP2007086927A
Authority: JP
Inventors: 淳斧城; 秀樹野本; 弘司平迫; 英明峰川
Original assignee: Hitachi High Technologies Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 2007-03-29
Filing date: 2007-03-29
Publication date: 2009-11-25
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Description

本発明は、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ等のフラットディスプレイ装置を構成するディスプレイパネル等からなる基板にドライバ回路等の半導体回路素子を搭載するために、この基板にＡＣＦ(Anisotropic Conductive Film)を貼り付けるためのＡＣＦ貼り付け装置及びこのＡＣＦ貼り付け装置により貼り付けられたＡＣＦを含むフラットディスプレイ装置に関するものである。

例えば、液晶ディスプレイは、液晶封入空間を形成した上下２枚の透明基板からなる液晶パネルに半導体回路素子を介して印刷回路基板を接続する構成としたものである。ここで、半導体回路素子はドライバ回路であって、このドライバ回路はインナ側及びアウタ側の電極を備えており、インナ側の電極は液晶パネルを構成する一方の基板に、またアウタ側の電極は印刷回路基板に、それぞれ電気的に接続される。ドライバ回路の搭載方式の代表的なものとしては、チップ状のＩＣパッケージを、直接液晶パネルを構成する基板に搭載すると共に、印刷回路基板を液晶パネルに接続するＣＯＧ(Chip On Glass)方式と、フィルム状の基板にドライバ回路を搭載したＴＣＰ(Tape Carrier Package)を液晶パネルと印刷回路基板とに接続するＴＡＢ(Tape Automated Bonding)方式とがある。

いずれにしろ、液晶パネルを構成する一方の基板の表面には、少なくとも２辺に配線パターンが形成されており、この配線パターンにおける電極とドライバ回路のインナ電極とが電気的に接続される。従って、液晶パネルには微小ピッチ間隔で配線パターンが形成されているが、それに搭載される半導体回路素子毎に所定数の電極が群として形成される。従って、液晶パネルは、複数の電極群と、相隣接する電極群間の空白領域とを有している。なお、ドライバ回路は印刷回路基板とも接続され、従って印刷回路基板側にも、液晶パネル側と同様、所定数の電極群が複数群形成されている。なお、印刷回路基板側の電極群を構成する配線の数は、通常、液晶パネル側の電極群の配線数より少ない。

半導体回路素子としてのドライバ回路と、液晶パネルなり印刷回路基板なりとを接続するに当っては、微小間隔に配列されている多数の電極間を確実に電気的に接続し、かつドライバ回路を固定しなければならない。このために、ＡＣＦが用いられる。ＡＣＦは粘着性のあるバインダ樹脂に微小な導電粒子を均一に分散させたものであり、このＡＣＦを熱圧着することによって、導電粒子を介して電極間が電気的に接続され、かつ加熱によりバインダ樹脂を硬化させて、ドライバ回路を液晶パネルや印刷回路基板に固定させる。

従って、例えば液晶パネルの一方の基板における配線パターンが設けられている部位にＡＣＦを貼り付けた上でドライバ回路としてのＴＣＰをこの基板にＴＡＢ搭載する。ＡＣＦは粘着物質であるから、台紙テープに剥離層を介して積層されており、これによりＡＣＦテープを構成している。このＡＣＦテープを供給リールに巻回させておき、この供給リールから送り出されて、貼り付けユニットを用いて基板表面に貼り付けられる。このために、貼り付けユニットには、供給リールを装架する部材が設けられ、また供給リールから供給されるＡＣＦテープを所定の経路を沿って引き回すために、適宜の箇所にガイドローラ等からなるガイド部材が配置される。

基板へのＡＣＦの貼り付けは、基板の１辺における全長にわたって連続的に貼り付ける一括貼りと、各々の電極群毎に分割し、空白領域にはＡＣＦを付着しないようにして貼り付ける分割貼りとがある。一括貼りは、不必要な空白領域にもＡＣＦが貼り付けられる関係から、材料に無駄が生じることになり、また空白領域ではＡＣＦを構成する粘着性のある樹脂と導電粒子とが露出したままになるので、半導体回路素子の搭載後の処理や加工にとって不都合が生じることもある。従って、分割貼りの方が望ましい。

例えば、特許文献１に基板の電極群毎にＡＣＦの分割貼りを行う方式が開示されている。この特許文献１においては、１回の貼り付け長さ分のＡＣＦを保持させた保持部を回転体の回転方向に複数配列して、台紙テープを接合させたままのＡＣＦテープを貼り付け長さ毎に切断して、台紙テープを保持部に吸着させるように構成している。そして、この保持部は回転体に設けたシャフトを出没させることにより液晶パネルに接離させるようにしている。

液晶パネルを構成する基板を移動させて各々の電極群を回転体と順次対面するように所定のピッチ間隔毎に位置決めし、保持部に連結したシャフトを伸長させることによって、この保持部に吸着させているＡＣＦと台紙テープとの積層テープを基板に押圧する。そして、保持部により台紙テープを吸着状態に保持して、シャフトを回転体側に引き込むことによって、ＡＣＦを台紙テープから剥離させて基板に貼り付けられる。
特開平９−８３１１４号公報

前述したように、特許文献１においては、回転体を含むＡＣＦの貼り付けユニットを固定的に保持し、液晶パネルの基板を水平方向に移動させるようにしてＡＣＦの貼り付け操作を行うようにしている。このために、ＡＣＦの貼り付けステージとしては、電極群の並び方向のサイズの２倍乃至それ以上のスペースを必要とする。そして、基板のサイズが大きくなれば、その分だけ広いスペースが必要となり、装置が極めて大型化するという問題点がある。

本発明は以上の点に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、ＡＣＦ貼り付けステージの構成を小型化，コンパクト化することにある。

前述した目的を達成するために、本発明は、複数の電極が形成された基板に対して、これら複数の電極をそれぞれ１枚のＡＣＦが貼り付けられる電極群に分割して、複数箇所の貼り付け領域を設定し、これら貼り付け領域毎に個別的にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼り付け装置であって、前記基板は定位置に設けたテーブルに固定的に装着されており、前記基板の電極群の並び方向に移動可能な搬送手段に所定のストロークだけ昇降動する支持部材が装着され、前記支持部材には、台紙テープの剥離層にＡＣＦを積層させたＡＣＦテープを送り出す供給リールがセットされ、前記供給リールから送り出される前記ＡＣＦテープの前記台紙テープには連続性を持たせ、ＡＣＦを前記基板の各々の電極群に貼り付ける長さ分毎に切断するハーフカット手段と、このハーフカット手段により切断されたＡＣＦを前記基板の表面に圧着させる圧着ヘッドとからなる貼り付けユニットを設け、前記搬送手段は、前記貼り付けユニットを、前記圧着ヘッドが前記貼り付け領域毎に位置決めされるようにしてピッチ送りさせ、前記圧着ヘッドは、前記各貼り付け領域に位置決めされる毎に下降させて、ＡＣＦを前記基板に貼り付けるようになし、前記テーブル上の前記基板への前記各貼り付け領域にＡＣＦが貼り付けられているか否かを検出するために、前記搬送手段及び前記貼り付けユニットとは独立したＡＣＦ検出手段を設ける構成としたことをその特徴とするものである。

ここで、基板のサイズとＡＣＦ貼り付け機構のサイズとを比較したときに、貼り付け機構の方が小さい場合に適用される。貼り付け機構のサイズは、ＡＣＦが貼り付けられる電極群からなる貼り付け領域の長さに依存するものであって、それ以下のサイズとすることはできない。ＡＣＦは基板に対して複数個所貼り付けられるので、搬送手段により貼り付け機構を移動させ、基板を固定的に配置して、ＡＣＦの貼り付けを行う構成とすることにより、基板を移動させる場合より、装置構成の小型化及びコンパクト化が図られる。基本的には、基板のサイズではなく、それに貼り付けられるＡＣＦの１単位に依存する。従って、搬送手段はボールねじ等を用いた高精度に位置決め可能な送り手段により搬送させて、圧着ヘッドが各々の貼り付け領域と対面する位置に位置決めしながら移動させて、ＡＣＦの貼り付けを行うことになる。

ＡＣＦテープは供給リールから送り出されて、ハーフカット手段によりＡＣＦを切断するが、台紙テープは連続性を持たせたままにして、圧着ヘッドと対面する部位まで導かれる。そして、圧着ヘッドでＡＣＦテープを基板に押圧させることにより貼り付けられる。その後には、ＡＣＦを基板に固着させて、台紙テープを回収するために、台紙テープをＡＣＦから剥離させる。この台紙テープの剥離を確実に行うために、支持部材に設けられる供給リールからのＡＣＦテープの走行経路において、ＡＣＦの貼り付け始端位置と終端位置とにＡＣＦテープをガイドする鍔付きのガイドローラを配置し、ＡＣＦの貼り付けが終わり、ガイドローラを引き上げる際に、ＡＣＦテープの幅方向に移動させるように制御すると、ＡＣＦと台紙テープとの剥離性が良好になる。

ＡＣＦを基板に貼り付けたことを検出するようになし、ＡＣＦに抜けがあったり、貼り付けが正確に行われていなかったりしたときには、直ちに修復できるようにする。このために、画像認識等によるＡＣＦ検出手段を設けて、基板にＡＣＦが貼り付けられているか否かを検出する。このＡＣＦ検出手段は搬送手段や貼り付けユニットとは独立に設けられる。そして、ＡＣＦ検出手段を駆動する場合には、搬送手段とは独立した駆動手段によって、テーブルに載置した基板の電極群の並び方向に移動可能とする。これによって、ＡＣＦの貼り付けとその検査をより効率的に行うことができることになる。

以上によって、ＡＣＦの貼り付けステージの省スペース化が図られて、その構成が小型化、コンパクト化でき、しかもＡＣＦの貼り付けステージで実際にＡＣＦが所定の位置に貼り付けられているか否かを迅速かつ確実に検出できる。

以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。まず、図１にＡＣＦが貼り付けられる基板の一例として液晶パネルを示し、またＡＣＦを介して搭載される半導体回路素子の一例として、基板にＴＡＢ搭載されるＴＣＰからなるドライバ回路を示す。なお、基板は液晶パネルを構成するものだけでなく、印刷回路基板等であっても良く、またこの基板に搭載されるのはドライバ回路に限らず、ＡＣＦを介して電気的に接続されるものであれば良い。

図１において、１は液晶パネルであって、この液晶パネル１は、共にガラス薄板からなる下基板２と上基板３とで構成され、両基板２，３間には液晶が封入されている。下基板２は、その少なくとも２辺において、上基板３から所定幅分だけ張り出しており、この張り出し部２ａにフィルム基板４ａに集積回路素子４ｂを実装したドライバ回路４が複数枚搭載される。

下基板２の張り出し部２ａには、両基板２，３が重ね合わせられた部位に形成されているＴＦＴ(Thin Film Transistor)にそれぞれ接続した配線に接続した所定数の電極が設けられており、これらの電極は、図中に符号５で示したように、ドライバ回路４の搭載部毎に所定数の電極が群として形成されている。そして、各電極群５の左右両側にはアライメントマーク６が形成されている。従って、相隣接する電極群５，５間には所定幅を有する空白領域が形成されている。一方、ドライバ回路４には、これら電極群５を構成する各電極と電気的に接続される複数の電極が設けられており、電極群５と接続される電極群は符号７で示されている。また、ドライバ回路４にも、電極群７の左右両側にアライメントマーク８が形成されており、ドライバ回路４が液晶パネル１に搭載される際には、これらアライメントマーク６，８を基準として電極群７を構成する各電極と電極群５を構成する各電極とが一致するように位置調整がなされる。

ドライバ回路４はＡＣＦ９を介して液晶パネル１に搭載される。ＡＣＦ９は、周知のように、接着機能を有するバインダ樹脂に微小な導電粒子を多数分散させたものであり、ドライバ回路４と液晶パネル１との間でＡＣＦ９を加熱及び加圧することによって、導電粒子を介して電極群５を構成する各電極と電極群７を構成する各電極とが電気的に導通状態となり、かつバインダ樹脂が熱硬化することによって、ドライバ回路４を液晶パネル１に固着させることになる。ここで、ＡＣＦ９は下基板２の張り出し部２ａに設けた電極群５の位置毎に分割され、長さＬ分毎に貼り付けられる。これによって、ＡＣＦ９を無駄なく使用することができ、しかも貼り付けられたＡＣＦ９はほぼ完全にドライバ回路４により覆われることになる。

図２及び図３に下基板２の張り出し部２ａにＡＣＦ９を貼り付けるための貼り付け機構の概略構成を示す。図中において、１０はＡＣＦ９の液晶パネル１への貼り付けユニットを装着した支持部材であって、この支持部材１０には供給リール１１が着脱可能に装着されている。後述するように、ＡＣＦ９は台紙テープ１２の剥離層上に積層されてＡＣＦテープ１３を構成し、このＡＣＦテープ１３が供給リール１１に巻回されている。ＡＣＦテープ１３は、支持部材１０に装着したローラ１４〜１７からなる走行経路に沿って走行ガイドされるようになっている。さらに、１８は駆動用ローラであり、ＡＣＦ９を液晶パネル１に貼り付けた後の台紙テープ１２を挟持して、排出部１９に送り込むように駆動される。

ローラ１４，１５は、ＡＣＦテープ１３のフィーダ用のガイドローラであり、ガイドローラ１５はスイングアーム２０に装着されており、このスイングアーム２０は回動軸２１を中心として揺動するようになっている。回動軸２１にはモータ等からなる駆動手段（図示せず）が接続されて、スイングアーム２０を矢印Ｆ方向に揺動させることによって、供給リール１１から少なくとも１回の貼り付け分、つまり図１に示した長さＬ分のＡＣＦテープ１３が送り出されて、ローラ１４，１５間に供給される。その結果、ＡＣＦテープ１３を送る際に作用する反力が常に一定となり、供給リール１１の巻回量の差により送り力に対する抵抗が変動することはない。

ローラ１６，１７は、図４及び図５にも示したように、ＡＣＦテープ１３を、その走行経路において、水平方向にガイドし、ＡＣＦ９の液晶パネル１への１回分の貼り付け長さを規定するための水平ガイドローラであり、水平ガイドローラ１７がＡＣＦ９の貼り付け始端位置を、また水平ガイドローラ１６はＡＣＦ９の貼り付け終端位置を規定するものであって、これらによってＡＣＦ９の貼り付け領域が設定される。これら水平ガイドローラ１６，１７は、円筒部１６ａ，１７ａの両側部に鍔部１６ｂ，１７ｂを形成したものであり、この鍔部１６ｂ，１７ｂの円筒部１６ａ，１７ａから突出する部位の高さはＡＣＦテープ１３における台紙テープ１２の厚み分とほぼ同じか、それより僅かに大きい寸法となっている。

従って、水平ガイドローラ１６，１７間でＡＣＦ９が液晶パネル１に貼り付けられ、台紙テープ１２から分離される。また、水平ガイドローラ１７より下流側の位置で、ＡＣＦ９が剥離された後の台紙テープ１２が回収される。そして、水平ガイドローラ１６，１７により区画されているＡＣＦ９の貼り付け領域より下流側の位置に駆動用ローラ１８が設けられており、この駆動用ローラ１８は駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとからなり、台紙テープ１２はこれら駆動ローラ１８ａとピンチローラ１８ｂとの間に挟持されるようになっている。そして、駆動ローラ１８ａを回転駆動することによって、ＡＣＦテープ１２を長さＬ分毎にピッチ送りがなされることになる。

図３から明らかなように、支持部材１０は昇降駆動部２２に装着されており、この昇降駆動部２２は前後動駆動部２３に装着され、さらに前後動駆動部２３は平行動駆動部２４に装着されている。これらの機構により、ＡＣＦテープ１３の引き回し経路における水平ガイドローラ１６−１７間（図２参照）により規定されるＡＣＦ９の貼り付け領域を水平面でＸ軸方向（ＡＣＦ９が貼り付けられる電極群５の並びと直交する方向）とＹ軸方向（電極群５の並び方向）とに移動可能となっている。これに対して、液晶パネル１はテーブル２５上に載置され、真空吸着等の手段で固定的に保持されている。ここで、前後動駆動部２３は、貼り付け領域を液晶パネル１に対して近接・離間する方向に移動させるものであり、平行動駆動部２４は、液晶パネル１において、ＡＣＦ９が貼り付けられる電極群５の並び方向と平行な方向、つまりＸ軸方向に貼り付け領域を移動させるものである。

昇降駆動部２２は、傾斜ブロック３０と、この傾斜ブロック３０を前後方向に移動させるために、シリンダ３１とを有するものである。また、支持部材１０には傾斜ブロック３０の傾斜面に係合するスライド部材３２が連結されており、このスライド部材３２は傾斜ブロック３０と一致する傾斜面を有するものであり、規制杆３３により上下方向以外には変位できない構成となっている。従って、シリンダ３１を駆動することによって、支持部材１０が上下方向に変位することになる。ここで、シリンダ３１に代えてモータを用いることもできる。

次に、前後動駆動部２３は、傾斜ブロック３０を装着した台座３４を前後動させるためのものであって、この台座３４の往復動はシリンダやモータ等からなる駆動手段３５により行われることになる。そして、この台座３４及びその駆動手段３５は、搬送手段３６に装着されている。搬送手段３６はボールねじ送り手段を構成するボールねじ３７をモータ３８（図１３参照）で回転駆動することによって、貼り付け機構全体を液晶パネル１における電極群５の配列方向と平行に移動可能となっている。なお、テーブル２５には、液晶パネル１を前工程と後工程との間で受け渡しを行うため等のＸＹ方向移動機構や、水平回転方向の位置調整部や、傾き方向の調整部等を設けることもできる。

支持部材１０に装着したＡＣＦテープ１２の走行経路において、図６及び図７に示したように、水平ガイドローラ１６の位置より僅かに下流側の位置にハーフカット手段としてのカッタユニット４０が設けられており、このカッタユニット４０は支持部材１０に水平方向に移動可能に装着されている。このカッタユニット４０はカッタ４１とカッタ受け４２とを備え、カッタ４１は、同図に矢印で示したように、軸４３を中心としてカッタ受け４２に近接・離間する方向に回動可能となっている。そして、常時にはカッタ４１に作用するばね４４の付勢力によりカッタ受け４２から離間した状態に保持されており、シリンダ４５に設けた押動ローラ４６によって、ばね４４に抗する方向にカッタ４１を押動して、カッタ受け４２に近接する方向に揺動変位させるようになっている。そして、カッタ４１がカッタ受け４２に最も近接した位置では、その間にＡＣＦテープ１３の台紙テープ１２の厚みと同じか、それより僅かに短い間隔が形成されることになる。これによって、ＡＣＦ９のみをハーフカットすることができるようになる。

さらに、ＡＣＦ９を下基板２における張り出し部２ａに貼り付けるために、ＡＣＦテープ１３は、水平ガイドローラ１６，１７間の位置で、圧着ヘッド４７により上部から所定の加圧力で押圧されるようになっている。圧着ヘッド４７は支持部材１０に、上下動駆動手段４８（図３）により昇降可能に装着されており、この上下動駆動手段４８によってＡＣＦテープ１３を液晶パネル１に対して所定の加圧力を作用させるようになる。また、この圧着ヘッド４７には図示しないヒータが内蔵されている。従って、圧着ヘッド４７はＡＣＦテープ１３を液晶パネル１に熱圧着させることになる。ただし、加熱の度合いはＡＣＦ９のバインダ樹脂が軟化する程度の比較的低いものとする。そして、圧着ヘッド４７は、ＡＣＦテープ１３の幅を十分カバーできる幅寸法を有し、かつ長さ方向の寸法はＡＣＦ９の貼り付け長さＬを有するものである。この圧着ヘッド４７によるＡＣＦテープ１３の液晶パネル１への圧着時に、この液晶パネル１における圧着領域を下方から支承する受け台４９が設けられている。

以上のように、支持部材１０にＡＣＦ貼り付け装置を構成する貼り付けユニット、即ち供給リール１１と、この供給リール１１から供給されるＡＣＦテープ１３の走行経路，ハーフカット手段を構成するカッタユニット４０及び圧着ヘッド４７が装着されている。このＡＣＦ貼り付け装置によって、液晶パネル１の下基板２における張り出し部２ａに所定数形成されている電極群５にドライバ回路４をＴＡＢ搭載するために必要なＡＣＦ９を貼り付ける方法について、図７乃至図１２を参照して説明する。そして、このＡＣＦ９の貼り付け動作の手順は、図３に示した制御装置５０により制御される。

まず、図７に示したようにして、ＡＣＦテープ１３に対してハーフカットを行う。このときには、昇降駆動手段２２によって、支持部材１０を上昇位置に保持し、固定テーブル２５上に設置されている液晶パネル１における電極群５に対して、ハーフカットしたＡＣＦ９を貼り付けるべき位置に配置する。このように、ＡＣＦテープ１３のハーフカットが行われると、このハーフカットされた位置が貼り付け終端位置で、前回ＡＣＦ９を貼り付けた端部が貼り付け始端位置となる。そして、水平ガイドローラ１７は貼り付け始端位置に、また水平ガイドローラ１６は貼り付け終端位置に配置されている。この状態から、昇降駆動部２２を作動させて、図８に示したように支持部材１０を下降させる。この支持部材１０の最下降位置は、水平ガイドローラ１６，１７間に位置するＡＣＦテープ１３のＡＣＦ９の面が液晶パネル１の下基板２における張り出し部２ａには非接触状態で僅かな隙間をもって対面させる。

そこで、図９に示したように、圧着ヘッド４７を下降させて、ＡＣＦテープ１３を下基板２に圧着させる。このときには、圧着ヘッド４７は所定温度に加熱されていることが望ましい。この圧着時には、上下動駆動手段４８により設定した所定の荷重がＡＣＦテープ１３に作用するようになし、しかもＡＣＦテープ１３における貼り付け始端位置から終端位置までの間には均等な加圧力が作用し、ハーフカットされた貼り付け終端位置より基端側には圧着ヘッド４７による加圧力が作用しないようにする。このときには、液晶パネル１の下基板２における張り出し部２ａのうち、少なくともＡＣＦ９が貼り付けられる位置の下面は受け台４９に当接している。

ＡＣＦ９が下基板２に圧着されると、図１０に示したように、圧着ヘッド４７を上昇させて、ＡＣＦテープ１３に対する加圧力を解除する。ＡＣＦ９は下基板２に貼り付けられているが、このＡＣＦ９にはなお台紙テープ１２が積層されている。従って、台紙テープ１２を剥離させる時にＡＣＦ９が浮き上がりを防止するために、圧着が終了して、圧着ヘッド４７をＡＣＦテープ１２から離間させた後には、図１１及び図１２に示したように、昇降駆動部２２を作動させて支持部材１０を上昇させるが、このときに昇降駆動部２２と共に前後動駆動部２３も駆動して、ＡＣＦテープ１２の幅方向において、斜め上方に引き上げるように動作させると、台紙テープ１２はＡＣＦ９から擦り切られるようにして剥離される。

以上によって、下基板２の張り出し部２ａにおける１つの電極群５に対してＡＣＦ９の貼り付けが完了する。支持部材１０を上昇させた位置に保持して、駆動用ローラ１８を作動させて、供給リール１１からＡＣＦテープ１３を引き出して１ピッチ分だけ送る。そして、平行動駆動部２４を作動させて、貼り付け機構全体を１ピッチ分移動させる。この１ピッチは、図１に示したように、前後のＡＣＦ９の貼り付け始端位置間の間隔である。従って、この平行動駆動部２４の作動によって、次の電極群５へのＡＣＦ９の貼り付け作業が行われる。これに対して、液晶パネル１を保持する固定テーブル２５は動かない。そして、前述と同様の動作を繰り返すことによって、順次電極群５に対するＡＣＦ９の貼り付けが行われる。

ところで、図１３において、同図に矢印Ｓで示したように、液晶パネル１を電極群５の並び方向（Ｘ軸方向）に移動させるようにした場合、その全長にわたって各電極群５の部位にＡＣＦ９を貼り付けるためには、液晶パネル１の幅方向の概略サイズの２倍分のスペースが必要となる。とりわけ、近年においては、フラットディスプレイの画面サイズの大型化の要請から、液晶パネル１の寸法が極めて大きくなるこので、そのＹ軸方向の２倍以上のスペースは膨大な空間となる。

ＡＣＦ９の貼り付け機構は、電極群５の全長により多少サイズに差があるものの、液晶パネル１の全長と比較すると、著しく小型のものである。そこで、本発明においては、平行動駆動部２４における搬送手段３６に貼り付けユニットを構成する各部材を装着した支持部材１０を設けており、モータ３８を駆動することによって、ボールねじ３７を回転させて、搬送手段３６を液晶パネル１の電極群５の並び方向、つまりＸ軸方向に搬送させるようになし、しかも貼り付けユニットを装着した支持部材１０を、図１３に矢印Ｐで示したように、ＡＣＦ９の貼り付け部の１ピッチ分毎に位置決めして、ＡＣＦ９の貼り付けを行うようにしている。従って、ＡＣＦ貼り付けステージは、実質的に液晶パネル１を収容するのに必要なスペースを確保しておけば良く、従って液晶パネル１を動かす場合と比較して、このＡＣＦ貼り付けステージを小型化、コンパクト化することができ、無駄なスペースが生じることはない。

前述のようにしてＡＣＦ９が下基板２に順次貼り付けられるが、圧着ヘッド４７を作動させることにより行われるＡＣＦの貼り付け時において、ＡＣＦ９が基板２に完全に密着せず、台紙テープ１２に付着したまま引き上げられて、下基板２側に貼り付けられないことがある。また、下基板２に貼り付けられてはいるものの、貼り付け位置がずれている場合もないとは言えない。そこで、貼り付け機構によりＡＣＦ９を液晶パネル１に貼り付けた後、ＡＣＦ９が正規の位置に貼り付けられているか否かを検出するために、テレビカメラ６０を用いてＡＣＦ９の貼り付けステージの画像を取得して、この画像に基づいてＡＣＦ９の貼り付けの有無及び貼り付け位置を検出するようにしている。

このテレビカメラ６０は貼り付け機構とは独立に移動できるように構成している。このために、平行動駆動部２４の走行方向と平行にガイド部材６１とボールねじ送り手段６２からなるテレビカメラ６０の駆動手段を設けて、貼り付け機構とは独立してガイド部材６１に沿って移動できるようになし、貼り付け機構で貼り付けが終わった電極群５の位置をテレビカメラ６０で撮影して、その映像を制御装置５０に伝送して、画像分析を行うことによって、ＡＣＦ９が適正な位置に貼り付けられているか否かの判定が行われる。この判定の結果、ＡＣＦ９が貼り付けられていない場合には、再度ＡＣＦ９を貼り付けて、以後の工程を続行する。また、ＡＣＦ９の貼り付け位置が適正ではない場合には、系外に液晶パネル１を取り出して、この適正でないＡＣＦ９を剥離して、正しい位置にＡＣＦ９を貼り付けて、以後の工程を続行する。

ＡＣＦが貼り付けられる基板としての液晶セルと、この基板に搭載されるドライバ回路とを示す要部外観図である。ＡＣＦ貼り付け機の概略構成を示す正面図である。図２の左側面図である。水平送りローラの構成説明図である。図４のＡ−Ａ断面図である。カッタユニットの構成説明図である。ハーフカット工程を示す説明図である。ＡＣＦテープ下降状態を示す説明図である。圧着工程を示す説明図である。圧着ブロックの引き上げ状態を示す説明図である。台紙テープのＡＣＦからの剥離を行う動作の説明図である。図１１のＢ−Ｂ断面図である。貼り付けユニットの搬送手段の作動を説明する作動説明図である。

符号の説明

１液晶パネル２下基板
２ａ張り出し部３上基板
４ドライバ回路５電極群
９ＡＣＦ１０支持部材
１１供給リール１２台紙テープ
１３ＡＣＦテープ
１６，１７水平ガイドローラ
１６ａ，１７ａ円筒部
１６ｂ，１７ｂ鍔部
２２昇降駆動部
２３前後動駆動部
２４平行動駆動部
２５固定テーブル
３５駆動手段３６搬送手段
３７ボールねじ３８モータ
４０カッタユニット
４１カッタ４２カッタ受け
４７圧着ヘッド４８上下動駆動手段
６０テレビカメラ６１ガイド部材
６２ボールねじ送り手段

Claims

複数の電極が形成された基板に対して、これら複数の電極をそれぞれ１枚のＡＣＦが貼り付けられる電極群に分割して、複数箇所の貼り付け領域を設定し、これら貼り付け領域毎に個別的にＡＣＦを貼り付けるＡＣＦ貼り付け装置であって、
前記基板は定位置に設けたテーブルに固定的に装着されており、
前記基板の電極群の並び方向に移動可能な搬送手段に所定のストロークだけ昇降動する支持部材が装着され、
前記支持部材には、台紙テープの剥離層にＡＣＦを積層させたＡＣＦテープを送り出す供給リールがセットされ、前記供給リールから送り出される前記ＡＣＦテープの前記台紙テープには連続性を持たせ、ＡＣＦを前記基板の各々の電極群に貼り付ける長さ分毎に切断するハーフカット手段と、このハーフカット手段により切断されたＡＣＦを前記基板の表面に圧着させる圧着ヘッドとからなる貼り付けユニットを設け、
前記搬送手段は、前記貼り付けユニットを、前記圧着ヘッドが前記貼り付け領域毎に位置決めされるようにしてピッチ送りさせ、前記圧着ヘッドは、前記各貼り付け領域に位置決めされる毎に下降させて、ＡＣＦを前記基板に貼り付けるようになし、
前記テーブル上の前記基板への前記各貼り付け領域にＡＣＦが貼り付けられているか否かを検出するために、前記搬送手段及び前記貼り付けユニットとは独立したＡＣＦ検出手段を設ける
構成としたことを特徴とするＡＣＦ貼り付け装置。
前記支持部材には、さらに前記ＡＣＦテープをガイドする鍔付きのガイドローラを前記ＡＣＦの貼り付け始端位置と終端位置とに配置し、前記圧着ヘッドにより前記基板にＡＣＦを貼り付けた後に、前記両ガイドローラを上昇させながら、前記ＡＣＦテープの幅方向に移動させるように動作させる構成としたことを特徴とする請求項１記載のＡＣＦ貼り付け装置。
前記ＡＣＦ検出手段は、前記搬送手段の駆動とは独立した駆動手段によって、前記基板の前記電極群の並び方向に移動可能とする構成としたことを特徴とする請求項１記載のＡＣＦ貼り付け装置。