JP3780496B2

JP3780496B2 - 弾性表面波フィルタ

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Publication number: JP3780496B2
Application number: JP2001133634A
Authority: JP
Inventors: 宏明前原; 祐司水谷
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Filing date: 2001-04-27
Publication date: 2006-05-31
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電基板上に複数の弾性表面波電極をラダー型に構成してなる弾性表面波フィルタに関し、特に、フィルタの通過帯域における低域側の肩特性を改善した弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
移動体通信機器において、高周波用の帯域フィルタとして、複数の弾性表面波電極を圧電基板上に構成してなる弾性表面波フィルタが知られている。例えば、特開平５−１８３３８０号公報には、圧電基板上に複数の弾性表面波電極によりラダー型フィルタ回路を構成した弾性表面波フィルタが開示されている。
【０００３】
図８は、上記先行技術に開示されている弾性表面波フィルタを説明するための模式的な回路図である。
従来の弾性表面波フィルタ５１０は、矩形の圧電基板５２０を用いて構成されている。圧電基板５２０上には、弾性表面波電極（不図示）からなる共振子５３０，５４０，５５０，５６０が配設されている。すなわち、図に示すように、入力端子５７０と出力端子５８０との間に構成される直列腕において共振子５３０，５４０が直列に接続されている（各共振子５３０，５４０を直列共振子と称す。また、共振子５３０，５４０を併せて直列共振子群と称す。以下同じ。）。また、直列腕とグランド電極５９０との間に、共振子５５０，５６０が並列に接続されている（各共振子５５０，５６０を並列共振子と称す。また、共振子５５０，５６０を併せて並列共振子群と称す。以下、同じ。）。なお、直列共振子５３０，５４０と並列共振子５５０，５６０とは入出力間において交互に配置されており、各並列共振子５５０，５６０は夫々インダクタンス５５５，５６５を介してグランド電極５９０に接続されている。
この直列共振子５３０と並列共振子５５０の１組で１段のラダー型フィルタを構成しており、同様に直列共振子５４０と並列共振子５６０の１組で１段のラダー型フィルタを構成している。
【０００４】
従来の弾性表面波フィルタ５１０の動作原理は以下の通りである。図９は直列・並列共振子５３０〜５６０を形成する各弾性表面波電極の構造を説明する図である。図では１ポート型弾性表面波共振子の電極部分のみが模式的に示されている。
【０００５】
図において、７００は弾性表面波電極である。弾性表面波電極７００は中央に配置されたＩＤＴ７１０の両側に反射器７２０，７３０を配置した構造を有する。
ＩＤＴ７１０は、複数の電極指７１１を有する櫛歯状電極７１０ａと、複数の電極指７１２を有する櫛歯状電極７１０ｂとを、互いの電極指７１１，７１２が間挿し合うように交叉して配置した構造を有する。なお、例えば、櫛歯状電極７１０ａは入出力電極に接続され、また櫛歯状電極７１０ｂはグランド電極に接続される。
【０００６】
このような構造の弾性表面波電極７００のＩＤＴ７１０に入力された信号により励振された表面波が、反射器７２０，７３０で反射されて定在波とされ、反射器７２０，７３０間に閉じ込められ高いＱ値を有する共振子として動作する。この弾性表面波電極７００のインピーダンス特性においては、周知のように、共振周波数でインピーダンスが低くなる極が存在し、反共振周波数においてインピーダンスが高くなる極が現れる共振特性を有するようになる。
【０００７】
このような構造の直列・並列共振子５３０〜５６０を有した弾性表面波フィルタ５１０では、弾性表面波電極７００のインピーダンス特性を利用して所望の帯域幅を有する通過帯域を得ている。すなわち、各直列共振子５３０，５４０の共振周波数と、各並列共振子５５０，５６０の反共振周波数とを略一致させることにより、この間の周波数付近において入出力インピーダンスを特性インピーダンスと整合させており、それによって通過帯域を構成している。特にラダー型フィルタ回路では、弾性表面波電極７００は所定のインピーダンス特性を有するため、直列共振子５３０，５４０の反共振周波数付近では非常に高インピーダンスとなり、逆に並列共振子５５０，５６０の共振周波数付近では非常に低インピーダンスとなるため、この特性を利用してラダー型フィルタ回路では、高域側の阻止域から通過帯域を介して低域側の阻止域を形成した幅広のフィルタ特性を得ることになる。
【０００８】
このようなラダー型フィルタ回路において減衰極の減衰量を改善する方法として共振子に弾性表面波電極で形成したＬＣ回路を設けたり（特開平９−２３２９０６）、外部接続時のワイヤ長を変えることでワイヤ自体のもつインダクタンス値を変化させ減衰極の位置を変え減衰量を調整する（特開平１１−５５０６７）技術が開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、近年の移動体通信システムにおいては、電波の有効利用のために規格が決められており、例えば、米国のＰＣＳ規格では受信帯域が１９３０〜１９９０ＭＨｚ、送信帯域が１８５０〜１９１０ＭＨｚ、送受信フィルタの通過帯域同士の間隔は２０ＭＨｚとなり、受信帯域に隣接して送信帯域が形成されているため、受信用フィルタにおいては、広帯域を維持しつつ、充分な減衰量と通過帯域における低挿入損失を確保することが必要となる。従って、隣接する受信帯域の低域側（左肩側）において阻止域から通過帯域の急峻な特性が必要となるが、上述の特開平９−２３２９０６や特開平１１−５５０６７の何れの技術でもってしてもフィルタ特性における広帯域化・左肩側の急峻化の達成は困難であった。
【００１０】
本発明は上述の課題に鑑みて案出されたものであり、その目的は、特別なＬＣ回路等がなくても、広域化を維持しつつ、フィルタの通過帯域における低域側の急峻性を十分取ることができる弾性表面波フィルタを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を解決するために本発明は、圧電基板の表面に、入力端子と出力端子との間に複数の弾性表面波電極が直列接続された直列共振子群と、直列共振子群の各弾性表面波電極の入力端子側あるいは出力端子側とグランドとの間に複数の弾性表面波電極が並列に接続された並列共振子群とを配すると共に、直列共振子群の弾性表面波電極で形成される共振周波数と並列共振子群の弾性表面波電極で形成される反共振周波数を略一致させることでフィルタの通過帯域を形成した弾性表面波フィルタにおいて、
前記並列共振子群の弾性表面波電極のうち、一部の弾性表面波電極は、得られるＱ値を他の弾性表面波電極で得られるＱ値よりも劣化させたＱ値劣化構造とすると共に、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする弾性表面波フィルタを提供する。
【００１２】
本発明の構成によれば、前記一部の弾性表面波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数が、他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたために、フィルタ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまでの間に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る弾性表面波フィルタの構造を示す図であり、図２は本発明の特徴を説明するための並列共振子の拡大図である。
図１において弾性表面波フィルタＡは、圧電基板１の主面に、入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）との間に複数の弾性表面波電極５４，５５，５６が直列に接続された直列共振子群と、弾性表面波電極５７，５８，５９，６０が入出力端子（ＩＮ，ＯＵＴ）とグランド（ＧＮＤ）に対して並列に接続された並列共振子群が形成されている。以下、直列共振子群の弾性表面波電極５４〜５６の夫々を直列共振子と称し、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の夫々を並列共振子と称す。
【００１４】
直列共振子群の弾性表面波電極５４，５５，５６及び並列共振子群の弾性表面波電極５７，５８，５９，６０は、何れも中央に櫛歯状のインターデジタルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）５４ａ〜６０ａを有し、その両側に反射器５４ｂ，５４ｃ，５５ｂ，５５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃを形成した構造を有する。
【００１５】
圧電基板１は所定カット角、所定伝搬方向となるように矩形状に切断処理された水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム等から成る。
また、弾性表面波電極５４，５５，５６及び弾性表面波電極５７，５８，５９，６０は、例えば、アルミニウム薄膜からなり、その厚みは０．1〜０．３μmで所定のパターンに被着形成されている。また、ＩＤＴ５４ａ〜６０ａ及びその両側の反射器５４ｂ，５４ｃ，５５ｂ，５５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃの電極指幅及び電極指間隔は、例えば、弾性表面波の波長λに対して略１／４λとなっている。
【００１６】
ＩＤＴ５４ａ〜６０ａの構造としては、例えば、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０のＩＤＴ５７ａ〜６０ａの構造は図２（ａ）（ｂ）に示すように、電極指Ａ１及びそれに交叉する電極指Ａ２が互いに交叉して配設されており、発生する弾性表面波の伝搬方向に直交して整列しており、例えば、電極指Ａ１及び電極指Ａ２の電極幅Ｐｗと各電極指Ａ１、Ａ２の電極指間隔Ｐｐは略同じ長さに設定されている。なお、本実施例では電極幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さは略同じに設定したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、電極幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さを異ならせたとしても本発明の同様の効果を得ることができる。
【００１７】
６１は入力端子であり、６２は出力端子である。入力端子６１から直列にＩＤＴ５４ａ〜５６ａが接続され出力端子６２につながっている。これらにＩＤＴ５７ａ〜６０ａの一方側が各反射器５７ｂ，５８ｃ，５９ｃ，６０ｂを通じて接続されており、他方側が各反射器５７ｃ，５８ｂ，５９ｂ，６０ｃにより各グランド電極（ＧＮＤ）に接続されている。
【００１８】
ここで、本発明では、図３に示すように、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の内、弾性表面波電極６０は、得られるＱ値を劣化させるＱ値劣化構造となっている。更に、Ｑ値劣化構造に加えて、弾性表面波電極６０の共振周波数Ｆｒが並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも低く、かつ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒよりも高くになるようにした。
【００１９】
ここで、Ｑ値は一般的にＱ＝２πＦＬ／Ｒ（Ｆ：共振周波数Ｌ：インダクタンスＲ：共振抵抗）としてあらわされるが、本発明は、弾性表面波電極６０の共振周波数Ｆｒがフィルタの通過帯域に近く、かつ弾性表面波電極６０で得られるＱ値を低くすることで通過帯域の左肩を急峻なものにすることを見出したものである。
【００２０】
Ｑ値を劣化させる程度としては、弾性表面波電極６０の共振周波数Ｆｒでのインピーダンスが弾性表面波電極５７〜５９の共振特性中で共振周波数Ｆｒと反共振周波数Ｆａで結ばれる軌跡に近づくように共振特性の挿入損失を劣化させると良い。
【００２１】
Ｑ値劣化構造としては、共振抵抗Ｒを高くするように形成すれば良く、高くするためには以下のような具体的構成とすると良い。
具体的に、弾性表面波電極６０の各電極指Ａ１、Ａ２の対数が弾性表面波電極５７〜５９の各電極指Ａ１、Ａ２の対数に比べて少なくすることで共振抵抗Ｒが高くなりＱ値を劣化させることができる。
また、弾性表面波電極６０の各電極指Ａ１、Ａ２同士が交叉した長さＰｘが他の弾性表面波電極５７〜５９の各電極指同士が交叉した長さＰｘに比べて短くすることで共振抵抗Ｒを高くしてＱ値を劣化させることができる。
【００２２】
さらに、図４に示すように、弾性表面波電極６０１は櫛歯状電極から形成されたサブ電極６１、６２から構成され、そのサブ電極６１、６２が互いに直列に接続されている。この櫛歯状電極からなるサブ電極６１は一方が入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）を結ぶ線に接続される電極６１ａと、電極６１ａに対向する電極６１ｂと、電極６１ａに接続するサブ電極６２の一方の電極６２ａと、電極６２ａに対向してグランド側に接続される電極６２ｂとが直列に接続されている。この直列接続のため、共振抵抗Ｒが図１の弾性表面波電極６０に比べて高くなり、Ｑ値を劣化させることができる。
【００２３】
一方、弾性表面波電極６０で形成する共振周波数Ｆｒが他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９で形成する反共振周波数Ｆａよりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９で形成する共振周波数Ｆｒよりも高くする為の手段としては、図２に示すように、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の電極指の幅Ｐｗと各電極指同士の電極指間隔Ｐｐで構成する電極指ピッチを、弾性表面波電極６０よりも他の弾性表面波電極５７〜５９が長くなるように形成するとよい。この場合、電極指ピッチを変えるのは、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを略同じとし、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する方法、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを略同じとし、各電極指の幅Ｐｗを変える方法及び並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを変更し、かつ各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する方法があげられる。
【００２４】
また、弾性表面波電極６０のメタライゼーションレシオ（電極指ピッチに対する電極指幅Ｐｗの比をいう。以下同じ）よりも他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９のメタライゼーションレシオが大きくなるように形成する方法がある。例えば、図２（ａ）に示す弾性表面波電極５７〜５９について、電極指Ａ１、Ａ２の電極指幅をＰｗ＝０．５００μm、電極指間隔Ｐｐ＝０．５００μmとし、図２（ｂ）に示す弾性表面波電極６０について、電極指幅をＰｗ＝０．４００μm、電極指間隔Ｐｐ＝０．６００μmとすることで、得られる共振周波数を異ならせることができる。
【００２５】
また、他の方法としては、弾性表面波電極６０の電極厚みを他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９の電極厚みに比べて薄くしても良い。
【００２６】
なお、上述では並列共振子群の１つの弾性表面波電極６０で並列共振子群の他の弾性表面波電極５７〜５９により形成される減衰極よりも高周波側に極を形成しているが、これに限定されることはなく並列共振子群の２つ以上の弾性表面波電極で形成してもよい。このような構成にしても同様の効果が得られる。
【００２７】
かくして、本発明の弾性表面波フィルタＡによれば、従来、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の減衰極が通過帯域の低域側の減衰極を形成するのに用いていたのに対して、並列共振子群の一つの弾性表面波電極６０をＱ値劣化構造とすると共に、その共振周波数Ｆｒが、他の弾性表面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも低く、かつ他の弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒよりも高くなるようにしたために、フィルタ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまでの間で新たにもう１つの極が形成され、これによりフィルタの通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能となる。しかも、通過帯域減衰特性はほとんど変化しないため、従来の設計方法はそのまま使用できるものである。
【００２８】
また、従来は外部引きまわし電極であるアルミ線ワイヤや金線ワイヤのワイヤ長を変えることでワイヤのもつインダクタンス値を変えて低域側の減衰域の減衰量を確保しており結線状態により極の位置が微妙にずれ、特性検査の歩留まりを落とす原因になっていたが、本発明によれば、そのようなものを利用せずに通過帯域低域側肩特性を急峻にできるため安定した歩留まりも確保できるものである。
【００２９】
【実施例】
次に本発明の作用効果を確認するために本発明の実施例を示す。
（実施例１）
圧電基板１としては４２°Ｙ−Ｘタンタル酸リチウム基板を用い、その表面にＡｌまたはＡｌ合金からなる直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６及び並列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９，６０を図１の配線のように形成した。これにより、中心周波数１．９６ＧＨｚのラダー型ＳＡＷフィルタを製作した。
【００３０】
この場合、直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の交叉幅ＰｘはＰｘ＝１０〜１５λ、並列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の交叉幅Ｐｘは何れもＰｘ＝３０λ、弾性表面波電極６０の交差幅ＰｘはＰｘ＝２０λとした。また、直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の電極対数を９５対、並列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の電極対数を４５対、弾性表面波電極６０の電極対数を１５対としている。
また、弾性表面波電極５７、５８，５９の電極指幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐの双方を、Ｐｐ、Ｐｗ＝０．５０３μｍとし弾性表面波電極６０の電極指幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの双方をＰｗ、Ｐｐ＝０．５００μｍとして弾性表面波電極５７〜５９よりも電極指ピッチを短くした。なお、直列共振子の弾性表面波電極５４、５５、５６の電極指幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの双方をＰｐ、Ｐｗ＝０．４８４５μｍとし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐは同じ長さに設定されている。
【００３１】
このように形成した弾性表面波フィルタＡのフィルタ特性を図５に示す。このとき、図５の縦軸は減衰量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数（中心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨｚ）である。
【００３２】
図５において０．９７近傍に並列共振子の弾性表面波電極５７〜５９による減衰極が形成されている。さらに、１．０４近傍に直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６による減衰極が形成されている。
【００３３】
図５に示すように、通過帯域低域側の極の高周波側に並列共振子の弾性表面波電極６０による減衰極Ｂが形成されることで低域側の通過域肩特性が急峻となり通過域特性が広帯域となっていることがわかる。
これに対し比較例として、直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の交叉幅Ｐｘは何れもＰｘ＝１０〜１５λ、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の交叉幅Ｐｘは何れもＰｘ＝３０λとして同じ長さに形成し、また並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０のＰｗおよびＰｐは何れもＰｗ，Ｐｐ＝０．５０３μｍとした。
また、直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の電極対数を９５対、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の電極対数を４５対とし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐを同じ長さに設定した比較例の弾性表面波フィルタを形成してフィルタ特性を図６に示した。図６の縦軸も減衰量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数（中心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨｚ）とする。
このフィルタ特性によれば、通過帯域の低域側肩特性のスペックを十分満足するものが得られてないことがわかる。
（実施例２）
図1で示す弾性表面波電極６０を図４で示す弾性表面波電極６０１（直列に接続されたサブ電極６１、６２の構造）とする以外は実施例１と同一条件で実験を行った。なお、サブ電極６１、６２の何れもが交叉幅ＰｘはＰｘ＝２０λ、電極指幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐの双方をＰｐ、Ｐｗ＝０．５μｍとした。また、電極対数を４５対としている。
このように実験されたフィルタ特性を図７に示す。この結果でもサブ電極６１，６２で構成される直列共振子の弾性表面波電極６０１が図1で示した弾性表面波電極６０に比べて共振抵抗が増加して弾性表面波電極６０１のＱ値が他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９のＱ値に比べて劣化しており、さらに弾性表面波電極６０の共振周波数を、弾性表面波電極５７〜５９の反共振周波数よりも低く、かつ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数よりも高くしているので、通過帯域の左肩に新たな減衰極が発生し、通過帯域の低域側の急峻度が大きくなっていることが理解できる。
【００３４】
【発明の効果】
本発明の構成によれば、一部の弾性表面波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数を、他の弾性表面波電極の反共振周波数よりも低く、かつ他の弾性表面波電極の共振周波数よりも高くしたために、フィルタ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまでの間に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能となる弾性表面波フィルタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの平面図である。
【図２】（ａ）は弾性表面波電極５７〜５９を示す図、（ｂ）は弾性表面波電極６０の構成を示す図である。
【図３】本発明の弾性表面波電極５７〜５９と弾性表面波電極６０との共振特性を示す図である。
【図４】本発明の他の弾性表面波フィルタを説明する回路図である。
【図５】本発明のフィルタ特性を示す特性図である。
【図６】比較例のフィルタ特性を示す特性図である。
【図７】本発明の他の弾性表面波フィルタにおいてのフィルタ特性を示す特性図である。
【図８】従来の弾性表面波フィルタを説明するための模式的平面図である。
【図９】１ポート型弾性表面波電極を説明するための拡大平面図である。
【符号の説明】
Ａ：弾性表面波フィルタ
１：圧電基板
５４〜５６：直列共振子の弾性表面波電極
５７〜６０：並列共振子の弾性表面波電極
６１：入力端子
６２：出力端子

Claims

圧電基板の表面に、入力端子と出力端子との間に複数の弾性表面波電極が直列接続された直列共振子群と、直列共振子群の各弾性表面波電極の入力端子側あるいは出力端子側とグランドとの間に複数の弾性表面波電極が並列に接続された並列共振子群とを配すると共に、直列共振子群の弾性表面波電極で形成される共振周波数と並列共振子群の弾性表面波電極で形成される反共振周波数を略一致させることでフィルタの通過帯域を形成した弾性表面波フィルタにおいて、
前記並列共振子群の弾性表面波電極のうち、一部の弾性表面波電極は、得られるＱ値を他の弾性表面波電極で得られるＱ値よりも劣化させたＱ値劣化構造とすると共に、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする弾性表面波フィルタ。
弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極で構成しており、前記弾性表面波電極の電極指の幅と電極指同士の電極指間隔とからなる電極指ピッチを、前記一部の弾性表面波電極よりも前記並列共振子群の他の弾性表面波電極が長くなるように形成することで、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極で構成しており、弾性表面波電極の電極指の幅と各電極指同士の電極指間隔とからなる電極指ピッチに対する電極指の幅の比を、前記一部の弾性表面波電極よりも前記並列共振子群の他の弾性表面波電極が大きくなるように形成することで、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
前記弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極で構成すると共に、前記一部の弾性表面波電極の電極厚みを他の並列共振子群の弾性表面波電極の電極厚みに比べて薄く形成することで、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波電極の各電極指の対数を他の並列共振子群の弾性表面波電極の各電極指の対数に比べて少なくしたたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波電極の各電極指同士が交叉した長さを他の並列共振子群の弾性表面波電極の各電極指同士が交叉した長さに比べて短くしてなること特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。
前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波電極が前記櫛歯状電極から形成された複数のサブ電極の直列接続からなることを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。