JPH1079641A - 表面弾性波フィルタ - Google Patents
表面弾性波フィルタInfo
- Publication number
- JPH1079641A JPH1079641A JP23441696A JP23441696A JPH1079641A JP H1079641 A JPH1079641 A JP H1079641A JP 23441696 A JP23441696 A JP 23441696A JP 23441696 A JP23441696 A JP 23441696A JP H1079641 A JPH1079641 A JP H1079641A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave resonator
- resonator
- film thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＳＡＷフィルタを構成する直列腕及び並列腕
の各表面弾性共振子の電極の膜厚を変えて、各表面弾性
波共振子の、より高Ｑ化に基づく、低挿入損失化を図り
得る表面弾性波フィルタを提供する。 【解決手段】 梯子型帯域通過フィルタを構成する各単
位表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせて配置す
る。例えば直列腕表面弾性波共振子ＲS1，ＲS2，ＲS3の
電極の膜厚を、並列腕表面弾性波共振子ＲP1，ＲP2の電
極の膜厚より薄くする。
の各表面弾性共振子の電極の膜厚を変えて、各表面弾性
波共振子の、より高Ｑ化に基づく、低挿入損失化を図り
得る表面弾性波フィルタを提供する。 【解決手段】 梯子型帯域通過フィルタを構成する各単
位表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせて配置す
る。例えば直列腕表面弾性波共振子ＲS1，ＲS2，ＲS3の
電極の膜厚を、並列腕表面弾性波共振子ＲP1，ＲP2の電
極の膜厚より薄くする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車電話及び携
帯電話等の小形移動体通信機器の高周波部（ＲＦ部）に
適用し得る表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フ
ィルタに関するものである。
帯電話等の小形移動体通信機器の高周波部（ＲＦ部）に
適用し得る表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フ
ィルタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば、以下に示すようなものがあった。図９はかかる
従来の表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タの等価回路図である。
例えば、以下に示すようなものがあった。図９はかかる
従来の表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タの等価回路図である。
【０００３】図９において、直列腕（Ｒs1，Ｒs2，
Ｒs3）及び並列腕（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の表面弾性波共
振子は、水晶やＬｉＴａＯ5 などからなる圧電基板上に
櫛歯状の電極が形成されるが、それらの電極は、同じ膜
厚になるように形成されていた。
Ｒs3）及び並列腕（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の表面弾性波共
振子は、水晶やＬｉＴａＯ5 などからなる圧電基板上に
櫛歯状の電極が形成されるが、それらの電極は、同じ膜
厚になるように形成されていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＳＡＷフィ
ルタの一層の低挿入損失化の目的で、直列腕（Ｒs1，Ｒ
s2，Ｒs3）及び並列腕（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の表面弾性
波共振子の電極膜厚を薄くする試みがなされているが、
そのように電極膜厚を薄くすると、電極膜厚を薄くする
ことによるスプリアス（ｓｐｕｒｉｏｕｓ）が、通過帯
域もしくは通過帯域の近傍に存在し、要求規格を満足し
なくなる問題点がある。
ルタの一層の低挿入損失化の目的で、直列腕（Ｒs1，Ｒ
s2，Ｒs3）及び並列腕（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の表面弾性
波共振子の電極膜厚を薄くする試みがなされているが、
そのように電極膜厚を薄くすると、電極膜厚を薄くする
ことによるスプリアス（ｓｐｕｒｉｏｕｓ）が、通過帯
域もしくは通過帯域の近傍に存在し、要求規格を満足し
なくなる問題点がある。
【０００５】また、最近の携帯電話等のＳＡＷフィルタ
の高性能化（特に終端短絡の１／４波長誘電体同軸共振
器を用いた誘電体フィルタと同特性）に伴い、ＳＡＷフ
ィルタの一層の低挿入損失化が要求されている。本発明
は、ＳＡＷフィルタを構成する直列腕及び並列腕の各表
面弾性共振子の電極の膜厚を変えて、各表面弾性波共振
子の、より高Ｑ化に基づく、低挿入損失化を図り得る表
面弾性波フィルタを提供することを目的とする。
の高性能化（特に終端短絡の１／４波長誘電体同軸共振
器を用いた誘電体フィルタと同特性）に伴い、ＳＡＷフ
ィルタの一層の低挿入損失化が要求されている。本発明
は、ＳＡＷフィルタを構成する直列腕及び並列腕の各表
面弾性共振子の電極の膜厚を変えて、各表面弾性波共振
子の、より高Ｑ化に基づく、低挿入損失化を図り得る表
面弾性波フィルタを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 （１）表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タにおいて、梯子型帯域通過フィルタを構成する各単位
表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせて配置するよ
うにしたものである。
成するために、 （１）表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タにおいて、梯子型帯域通過フィルタを構成する各単位
表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせて配置するよ
うにしたものである。
【０００７】（２）上記（１）記載の表面弾性波フィル
タにおいて、直列腕表面弾性波共振子の電極の膜厚を並
列腕表面弾性波共振子の電極の膜厚より薄くするように
したものである。ところで、共振器形ＳＡＷフィルタに
おいては、直列腕は通過帯域の高域側減衰域に減衰極周
波数を持ち、並列腕は通過帯域の低減側減衰域に減衰極
数を持つことが知られている。したがって、挿入損失は
通過帯域の高域側通過域において、直列腕に最も影響さ
れ、通過帯域の低域側通過域においては並列腕に最も影
響される。
タにおいて、直列腕表面弾性波共振子の電極の膜厚を並
列腕表面弾性波共振子の電極の膜厚より薄くするように
したものである。ところで、共振器形ＳＡＷフィルタに
おいては、直列腕は通過帯域の高域側減衰域に減衰極周
波数を持ち、並列腕は通過帯域の低減側減衰域に減衰極
数を持つことが知られている。したがって、挿入損失は
通過帯域の高域側通過域において、直列腕に最も影響さ
れ、通過帯域の低域側通過域においては並列腕に最も影
響される。
【０００８】直列腕表面弾性波共振子においては、Ｑは
直列腕を構成する電極の膜厚に依存し、また並列腕表面
弾性波共振子においては、Ｑは並列腕を構成する電極の
膜厚に依存する量が少ないことが知られている。したが
って、本発明は、Ｑは直列腕表面弾性波共振子の電極の
膜厚に依存すること及びＱは並列腕表面弾性波共振子の
電極の膜厚に依存する量が少ないことに着目して直列腕
表面弾性波共振子の電極の膜厚と並列腕表面弾性波共振
子の電極の膜厚を異ならせ、直列腕表面弾性波共振子の
Ｑを高くし、高性能共振形表面弾性波フィルタを実現す
る。
直列腕を構成する電極の膜厚に依存し、また並列腕表面
弾性波共振子においては、Ｑは並列腕を構成する電極の
膜厚に依存する量が少ないことが知られている。したが
って、本発明は、Ｑは直列腕表面弾性波共振子の電極の
膜厚に依存すること及びＱは並列腕表面弾性波共振子の
電極の膜厚に依存する量が少ないことに着目して直列腕
表面弾性波共振子の電極の膜厚と並列腕表面弾性波共振
子の電極の膜厚を異ならせ、直列腕表面弾性波共振子の
Ｑを高くし、高性能共振形表面弾性波フィルタを実現す
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例について図
面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例を示
す表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィルタの
回路図であり、直列腕表面弾性波共振子が３個、並列腕
表面弾性波共振子が３個により構成される５段の梯子型
帯域通過フィルタを示している。図２はその梯子型帯域
通過フィルタの集中定数等価回路図、図３はその直列腕
表面弾性波共振子の回路図、図４はその直列腕表面弾性
波共振子の集中定数等価回路図、図５はその直列腕表面
弾性波共振子のパターンを示す平面図、図６はその並列
腕表面弾性波共振子の回路図、図７はその並列腕表面弾
性波共振子の集中定数等価回路図、図８はその並列腕表
面弾性波共振子のパターンを示す平面図である。
面を参照しながら説明する。図１は本発明の実施例を示
す表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィルタの
回路図であり、直列腕表面弾性波共振子が３個、並列腕
表面弾性波共振子が３個により構成される５段の梯子型
帯域通過フィルタを示している。図２はその梯子型帯域
通過フィルタの集中定数等価回路図、図３はその直列腕
表面弾性波共振子の回路図、図４はその直列腕表面弾性
波共振子の集中定数等価回路図、図５はその直列腕表面
弾性波共振子のパターンを示す平面図、図６はその並列
腕表面弾性波共振子の回路図、図７はその並列腕表面弾
性波共振子の集中定数等価回路図、図８はその並列腕表
面弾性波共振子のパターンを示す平面図である。
【００１０】図５に示すように、直列腕表面弾性波共振
子１０は水晶やＬｉＴａＯ3 等からなる圧電基板１上
に、第１の櫛歯状電極１１、第２の櫛歯状電極１２を形
成し、これらの櫛歯状電極１１と１２の外側に反射器１
３を配置するようにしている。図８に示すように、並列
腕表面弾性波共振子２０は同じ圧電基板１上に第１の櫛
歯状電極２１、第２の櫛歯状電極２２を形成し、これら
の櫛歯状電極２１と２２の外側に反射器２３を配置する
ようにしている。これらの電極は、例えば、Ａｌ−Ｃｕ
膜により実現されている。
子１０は水晶やＬｉＴａＯ3 等からなる圧電基板１上
に、第１の櫛歯状電極１１、第２の櫛歯状電極１２を形
成し、これらの櫛歯状電極１１と１２の外側に反射器１
３を配置するようにしている。図８に示すように、並列
腕表面弾性波共振子２０は同じ圧電基板１上に第１の櫛
歯状電極２１、第２の櫛歯状電極２２を形成し、これら
の櫛歯状電極２１と２２の外側に反射器２３を配置する
ようにしている。これらの電極は、例えば、Ａｌ−Ｃｕ
膜により実現されている。
【００１１】なお、上記した反射器は、閉じた構造のも
のを示しているが、開いた構造のものであってもよい。
通常、図１に示した梯子型帯域通過フィルタの特性シミ
ュレーションは図２に示す集中定数等価回路に変換して
評価される。最近の携帯電話等のＳＡＷフィルタの高性
能化（特に、終端短絡の１／４波長誘電体同軸共振器を
用いた誘電体フィルタと同特性）に伴い、ＳＡＷフィル
タの一層の低挿入損失化が要求されている。このＳＡＷ
フィルタの低挿入損失化対策としては各表面弾性波共振
子の高Ｑ化及び通過帯域の広域化が考えられる。
のを示しているが、開いた構造のものであってもよい。
通常、図１に示した梯子型帯域通過フィルタの特性シミ
ュレーションは図２に示す集中定数等価回路に変換して
評価される。最近の携帯電話等のＳＡＷフィルタの高性
能化（特に、終端短絡の１／４波長誘電体同軸共振器を
用いた誘電体フィルタと同特性）に伴い、ＳＡＷフィル
タの一層の低挿入損失化が要求されている。このＳＡＷ
フィルタの低挿入損失化対策としては各表面弾性波共振
子の高Ｑ化及び通過帯域の広域化が考えられる。
【００１２】図３〜図５及び図６〜図８の各単体共振子
回路による特性測定から得られたＱの比較を表１に示
す。
回路による特性測定から得られたＱの比較を表１に示
す。
【００１３】
【表１】
【００１４】この表１から明らかなように、直列腕表面
弾性波共振子は膜厚が薄くなれば、Ｑは高くなる。すな
わち、３０００ÅではＱ＝１２２５．３、５０００Åで
はＱ＝５３０となり約２．３倍の違いがある。しかし、
並列腕表面弾性波共振子は４０００ÅがＱ＝６１７．４
と最も高い。更に、３０００ÅではＱ＝５４１．７、５
０００ÅではＱ＝５７９．３と膜厚の差によるＱの差は
少ない。
弾性波共振子は膜厚が薄くなれば、Ｑは高くなる。すな
わち、３０００ÅではＱ＝１２２５．３、５０００Åで
はＱ＝５３０となり約２．３倍の違いがある。しかし、
並列腕表面弾性波共振子は４０００ÅがＱ＝６１７．４
と最も高い。更に、３０００ÅではＱ＝５４１．７、５
０００ÅではＱ＝５７９．３と膜厚の差によるＱの差は
少ない。
【００１５】しかし、表面弾性波共振子は膜厚を薄くし
た場合、スプリアスの存在を無視できなくなることが知
られている。表１の場合と同様に図３〜図５及び図６〜
図８の測定回路によるスプリアス測定の結果を表２に直
列腕表面弾性波共振子及び並列腕表面弾性波共振子（１
２０対１２０μｍ）の膜厚とスプリアスの位置及び大き
さの関係を示す。
た場合、スプリアスの存在を無視できなくなることが知
られている。表１の場合と同様に図３〜図５及び図６〜
図８の測定回路によるスプリアス測定の結果を表２に直
列腕表面弾性波共振子及び並列腕表面弾性波共振子（１
２０対１２０μｍ）の膜厚とスプリアスの位置及び大き
さの関係を示す。
【００１６】
【表２】
【００１７】５０００Å直列腕表面弾性波共振子のスプ
リアスは減衰極の高域側帯域に存在するので、この帯域
が減衰帯域のため無視できる。しかし、並列腕共振子の
スプリアスは減衰極の高域側帯域に存在するが、この帯
域が通過帯域になるため無視できない。本発明は、直列
腕表面弾性波共振子の膜厚を薄くして直列腕表面弾性波
共振子のＱを高くし、並列腕表面弾性波共振子の膜厚を
直列腕表面弾性波共振子の膜厚より厚くし、スプリアス
の影響を少なくして低損失ＳＡＷフィルタを構成するこ
とを特徴とする。
リアスは減衰極の高域側帯域に存在するので、この帯域
が減衰帯域のため無視できる。しかし、並列腕共振子の
スプリアスは減衰極の高域側帯域に存在するが、この帯
域が通過帯域になるため無視できない。本発明は、直列
腕表面弾性波共振子の膜厚を薄くして直列腕表面弾性波
共振子のＱを高くし、並列腕表面弾性波共振子の膜厚を
直列腕表面弾性波共振子の膜厚より厚くし、スプリアス
の影響を少なくして低損失ＳＡＷフィルタを構成するこ
とを特徴とする。
【００１８】図１に示すように、本発明の梯子型帯域通
過ＳＡＷフィルタにおいて、３個の直列腕表面弾性波共
振子（Ｒs1，Ｒs2，Ｒs3）の膜厚を３０００Åに選定し
て、共振器の高Ｑ化を図り、３個の並列腕共振子
（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の膜厚を４０００Åに選定してス
プリアスの大きさを小さくし、低挿入損失を持つＳＡＷ
フィルタを実現した。
過ＳＡＷフィルタにおいて、３個の直列腕表面弾性波共
振子（Ｒs1，Ｒs2，Ｒs3）の膜厚を３０００Åに選定し
て、共振器の高Ｑ化を図り、３個の並列腕共振子
（ＲP1，ＲP2，ＲP3）の膜厚を４０００Åに選定してス
プリアスの大きさを小さくし、低挿入損失を持つＳＡＷ
フィルタを実現した。
【００１９】このように、表面弾性波共振子を用いた梯
子型帯域通過フィルタにおいて、梯子型帯域通過フィル
タを構成する各単位表面弾性波共振子の電極の膜厚を異
ならせることにより、スプリアスの少ない表面弾性波フ
ィルタの低挿入損失化が可能となる。また、本発明は上
記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基
づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲
から排除するものではない。
子型帯域通過フィルタにおいて、梯子型帯域通過フィル
タを構成する各単位表面弾性波共振子の電極の膜厚を異
ならせることにより、スプリアスの少ない表面弾性波フ
ィルタの低挿入損失化が可能となる。また、本発明は上
記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基
づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲
から排除するものではない。
【００２０】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タにおいて、梯子型帯域通過フィルタを構成する各単位
表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせることによ
り、スプリアスの少ない表面弾性波フィルタの低挿入損
失化が可能となる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。 （１）表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通過フィル
タにおいて、梯子型帯域通過フィルタを構成する各単位
表面弾性波共振子の電極の膜厚を異ならせることによ
り、スプリアスの少ない表面弾性波フィルタの低挿入損
失化が可能となる。
【００２１】（２）直列腕表面弾性波共振子の膜厚を並
列腕表面弾性波共振子の膜厚より薄く形成することによ
り、スプリアスの大きさを小さくし、低挿入損失を持つ
ＳＡＷフィルタを実現することができる。
列腕表面弾性波共振子の膜厚より薄く形成することによ
り、スプリアスの大きさを小さくし、低挿入損失を持つ
ＳＡＷフィルタを実現することができる。
【図１】本発明の実施例を示す表面弾性波共振子を用い
た梯子型帯域通過フィルタの回路図である。
た梯子型帯域通過フィルタの回路図である。
【図２】本発明の実施例を示す直列表面弾性波共振子を
用いた梯子型帯域通過フィルタの集中定数等価回路図で
ある。
用いた梯子型帯域通過フィルタの集中定数等価回路図で
ある。
【図３】本発明の実施例を示す直列腕表面弾性波共振子
の回路図である。
の回路図である。
【図４】本発明の実施例を示す直列腕表面弾性波共振子
の集中定数等価回路図である。
の集中定数等価回路図である。
【図５】本発明の実施例を示す直列腕表面弾性波共振子
のパターンを示す平面図である。
のパターンを示す平面図である。
【図６】本発明の実施例を示す並列腕表面弾性波共振子
の回路図である。
の回路図である。
【図７】本発明の実施例を示す並列腕表面弾性波共振子
の集中定数等価回路図である。
の集中定数等価回路図である。
【図８】本発明の実施例を示す並列腕表面弾性波共振子
のパターンを示す平面図である。
のパターンを示す平面図である。
【図９】従来の表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通
過フィルタの等価回路図である。
過フィルタの等価回路図である。
１ 圧電基板 １０ 直列腕表面弾性波共振子（ＲS1，ＲS2，ＲS3） １１，２１ 第１の櫛歯状電極 １２，２２ 第２の櫛歯状電極 １３，２３ 反射器 ２０ 並列腕表面弾性波共振子（ＲP1，ＲP2，ＲP3）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 駒崎 友和 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】 表面弾性波共振子を用いた梯子型帯域通
過フィルタにおいて、 梯子型帯域通過フィルタを構成する各単位表面弾性波共
振子の電極の膜厚を異ならせて配置することを特徴とす
る表面弾性波フィルタ。 - 【請求項２】 請求項１記載の表面弾性波フィルタにお
いて、直列腕表面弾性波共振子の電極の膜厚を並列腕表
面弾性波共振子の電極の膜厚より薄くするようにしたこ
とを特徴とする表面弾性波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23441696A JPH1079641A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 表面弾性波フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23441696A JPH1079641A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 表面弾性波フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1079641A true JPH1079641A (ja) | 1998-03-24 |
Family
ID=16970680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23441696A Withdrawn JPH1079641A (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | 表面弾性波フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1079641A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002232265A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-08-16 | Kyocera Corp | 弾性表面波フィルタ |
| US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
| US10979027B2 (en) * | 2016-09-29 | 2021-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device, radio frequency front-end circuit, and communication device |
-
1996
- 1996-09-04 JP JP23441696A patent/JPH1079641A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002232265A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-08-16 | Kyocera Corp | 弾性表面波フィルタ |
| US7692515B2 (en) * | 2004-08-04 | 2010-04-06 | Epcos Ag | Low-loss electro-acoustic component |
| US10979027B2 (en) * | 2016-09-29 | 2021-04-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Acoustic wave device, radio frequency front-end circuit, and communication device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8242861B2 (en) | Acoustic wave filter device | |
| JP3243976B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| US7327205B2 (en) | Demultiplexer and surface acoustic wave filter | |
| JP4407696B2 (ja) | 弾性表面波装置 | |
| US6034577A (en) | Integrated interdigital electrode saw filter with specified distances between input/output electrodes | |
| US7532090B2 (en) | Acoustic wave filter device and duplexer | |
| KR19990023312A (ko) | 탄성표면파 필터 | |
| JP7047919B2 (ja) | 弾性波フィルタ | |
| US8106725B2 (en) | Acoustic wave filter device | |
| WO2021015187A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
| JP2002111442A (ja) | 弾性表面波共振器及びこれを用いた弾性表面波フィルタ | |
| JP3259459B2 (ja) | 分波器 | |
| WO2022158470A1 (ja) | 弾性波フィルタおよびマルチプレクサ | |
| JP3077052B2 (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ装置 | |
| JPH11163664A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH1079641A (ja) | 表面弾性波フィルタ | |
| JP2001230657A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3402015B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH10303697A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2006129057A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JP3315913B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP4817875B2 (ja) | 分波器及び通信装置 | |
| JP2002217680A (ja) | ラダー型弾性表面波フィルタ | |
| JP3331733B2 (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ | |
| WO2021045031A1 (ja) | 弾性波フィルタ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031104 |