JPH07307640A - 弾性表面波デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、弾性表面波デバイスに関し、スプ
リアスの発生やバルク波放射の増大を極力抑えて、デバ
イスとしての性能を向上させることを目的とする。 【構成】 圧電性単結晶基板１１表面にすだれ状駆動電
極１２を形成し、該すだれ状駆動電極１２の両側に反射
器１３を形成する。該構成において、すだれ状駆動電極
１２のグレーティング周期Ｌ７と反射器１３のグレーテ
ィング周期Ｌ８を等しくし、反射器１３の電極指幅Ｌ６
をすだれ状駆動電極１２の電極指幅Ｌ５よりも広く形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、共振器、狭帯域フィル
タ、共振型フィルタ、または発振子等のデバイスとして
用いられる弾性表面波デバイスに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、携帯電話やコードレス電話等は、
小型、軽量化が進み、急速に普及している。このような
携帯電話には、無線信号を処理するための小型で低損
失、さらに減衰特性の優れた高性能なフィルタが求めら
れ、該フィルタには、弾性表面波デバイス（共振器）が
広く用いられている。弾性表面波（ＳＡＷ：Surface Ac
oustic Wave ）は、圧電性をもつ単結晶やセラミック等
の基板に電界を印加することにより励振される、該基板
の表面から１波長以内の深さに９０パーセント以上のエ
ネルギが集中して伝播する波である。

【０００３】弾性表面波デバイスにより構成したフィル
タは、固体の内部を伝播するバルク波と比較すると、信
号を伝播路上の任意の場所から取り出すこと（タッピン
グ）ができ、また、伝播特性を容易に制御できるといっ
た弾性表面波の利点を利用している。また、ＬＣ回路や
空洞共振器と比較すると、非常に高いＱを持たせること
ができるという利点がある。

【０００４】図１２は、従来の弾性表面波デバイス（弾
性表面波共振器）１の模式的な表面外観図である。図示
の如く、弾性表面波デバイス１は、圧電性単結晶基板２
表面に、すだれ状駆動電極（ＩＤＴ：Inter-Digtal Tra
nsducer ）３と、該すだれ状駆動電極３の両側に配置さ
れた反射器４とにより構成されている。反射器４は、シ
ョートストリップ型反射器である。すだれ状駆動電極３
は、互いに対向して配置された２つの櫛形形状の櫛形駆
動電極３ａ、３ｂとからなり、櫛形駆動電極３ａと櫛形
駆動電極３ｂの各電極指３ｃは、互いに交互に差し挟ま
れた状態で形成されている。

【０００５】上記構成の弾性表面波デバイス１におい
て、すだれ状駆動電極３により励起される弾性表面波の
波長λと電極間距離Ｌ３の間には、 Ｌ３＝λ／２ 但し、一般には、Ｌ３＝λ／２＋ｎλ （ｎ＝０，１，
２・・・・）の関係がある。また、上記弾性表面波の伝
播速度ｖ_s はこの弾性表面波デバイス１の中心周波数を
ｆ₀ とすると、ｖ_s ＝ｆ₀ ・λとなる。また、これによ
り中心周波数ｆ₀ は、 ｆ₀ ＝ｖ_s ／２・Ｌ３ 但し、ｖ_s は弾性表面波の伝播速度と表される。

【０００６】図１３は、弾性表面波デバイス１の共振特
性を示す図であり、図中、Δｆは通過帯域幅である。弾
性表面波デバイス１は、すだれ状駆動電極３の電極間距
離Ｌ３を制御することにより、弾性表面波の波長λ、即
ち中心周波数ｆ₀ を制御できる。また、すだれ状駆動電
極３の電極対数（対となっている電極指３ｃの数）の増
減により、通過帯域幅Δｆを制御できる。尚、通過帯域
幅Δｆは、電極対数が増加するにつれて狭くなる。

【０００７】反射器４の電極間距離Ｌ４は、すだれ状駆
動電極３で励起された波長λの弾性表面波を反射させて
定在波を発生させるために、すだれ状駆動電極３の電極
間距離Ｌ３と等しくなっている。また、櫛形駆動電極３
ａ、３ｂの電極指幅Ｌ１は該電極間距離Ｌ３の１／２、
反射器４の電極指幅Ｌ２は電極間距離Ｌ４の１／２とな
っている。これらの電極間距離Ｌ３、Ｌ４については、
これ以降、現在一般的に用いられているグレーティング
周期という用語で表現する。

【０００８】また、図１２においてグレーティング周期
Ｌ３、Ｌ４は、各々隣合う電極指３ｃ、４ｃの端から端
の距離として示しているが、正確には、グレーティング
周期の定義は隣合う電極指３ｃ、４ｃの中心間の距離で
ある。グレーティング周期を図１２のように示したの
は、このグレーティング周期Ｌ３、Ｌ４と電極指幅Ｌ
１、Ｌ２の関係をより明確にするためである。

【０００９】弾性表面波デバイス１は、すだれ状駆動電
極３で励振される弾性表面波を反射器４により反射さ
せ、弾性表面波デバイス１内に該弾性表面波を閉じ込め
ることにより共振特性を得るような構造となっており、
上述したようにその通過帯域幅Δｆは、電極対数が増加
するにつれて狭くなる。また、弾性表面波を励振するた
めの入力信号が入力される入力端子ａは櫛形駆動電極３
ａに接続され、上記通過帯域幅Δｆ内の周波数の電気信
号を取り出すための出力端子ｂは、他方の櫛形駆動電極
３ｂに接続される。従って、入力端子ａに入力される電
気信号の内、中心周波数ｆ₀ を中心とする通過帯域幅Δ
ｆ内の成分のみが出力端子ｂから出力されることにな
る。

【００１０】前述したように弾性表面波デバイス１は、
すだれ状駆動電極３と反射器４との間での弾性表面波の
周波数差を利用し、すだれ状駆動電極３において弾性表
面波の振幅が大きくなるようにエネルギを封じ込めてい
るが、この周波数差は上記したすだれ状駆動電極３と反
射器４の各部での弾性表面波の伝播速度の差によって生
じている。このように、すだれ状駆動電極３と反射器４
とで弾性表面波の伝播速度が異なる要因としては、以下
のようなものがある。

【００１１】すなわち、反射器４は、弾性表面波のΔＶ
／Ｖ導波路となっている。ΔＶ／Ｖ導波路は、一定間隔
に設けられたストリップからなる導体膜を圧電基板上に
付けたものであり、その表面を電気的に短絡すると、弾
性表面波の伝播速度ＶがΔＶだけ低下する電界短絡効果
を有している。

【００１２】すだれ状駆動電極３は、入力部（櫛形駆動
電極３ａ）と出力部（櫛形駆動電極３ｂ）とに分離され
ており、電気的短絡が反射器４よりも小さくなってい
る。このため、すだれ状駆動電極３における電界短絡効
果が反射器４におけるそれよりも小さくなる。これによ
り、すだれ状駆動電極３と反射器４とで弾性表面波の伝
播速度に差が生じ、すだれ状駆動電極３における弾性表
面波の伝播速度ｖ_d が反射器４における弾性表面波の伝
播速度ｖ_r よりも大きくなると考えられる。圧電性単結
晶基板２の自由表面における弾性表面波の伝播速度は、
すだれ状駆動電極３、反射器４の各部における伝播速度
よりも大きいが、これも上記電界短絡効果を裏付けてい
るものと考えられる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】図１２に示す従来の弾
性表面波デバイス１の問題点について説明する。上述し
たように、弾性表面波デバイス１は、すだれ状駆動電極
３と反射器４との間での弾性表面波の周波数差を利用
し、すだれ状駆動電極３において弾性表面波の振幅が大
きくなるようにエネルギを封じ込めるものである。従っ
て、これら各部を伝播する弾性表面波の間に周波数差が
無い場合や、該周波数差が適切でない場合は、エネルギ
ロスが大きくなり、デバイス（共振器）としての性能が
低下することになる。

【００１４】すだれ状駆動電極３と反射器４の各部にお
ける弾性表面波の周波数は、該弾性表面波の伝播速度を
その波長λで割った値である。上述したようにすだれ状
駆動電極３と反射器４における波長λは、各々グレーテ
ィング周期Ｌ３、Ｌ４で決まる。すだれ状駆動電極３と
反射器４における弾性表面波の伝播速度は上述したよう
に異なるが、この伝播速度の差は、圧電性単結晶基板２
の材質や利用する周波数帯等の各種条件によっても変化
する。このため、すだれ状駆動電極３と反射器４とでの
弾性表面波の間に適切な周波数差をもたせるように制御
することは非常に困難なものとなっている。

【００１５】各部における周波数差を調整する方法とし
て、例えば、すだれ状駆動電極３及び反射器４の各部の
グレーティング周期Ｌ３、Ｌ４に差を持たせる（即ち、
図１２においてＬ３≠Ｌ４とする）方法や、上記各部
３、４の膜厚を変える方法があるが、これらの方法に
は、以下に述べる問題点がある。

【００１６】各部のグレーティング周期Ｌ３、Ｌ４に差
を持たせると、各部間における弾性表面波の伝播上の不
整合をもたらし、これにより、スプリアスの発生が増大
するという問題点や、弾性表面波からバルク波へのモー
ド変換が促進されてバルク波放射の増大を招き、エネル
ギのロスが大きくなり、エネルギ封じ込めの効率が低下
するという問題点がある。スプリアス発生の増大は、エ
ネルギをロスすると共に、帯域幅を狭くする原因にもな
る。

【００１７】弾性表面波の伝播速度は、すだれ状駆動電
極３と反射器４の電極の膜厚ｈによっても変化し、膜厚
ｈが厚くなる程伝播速度が遅くなる関係（質量負荷効
果）がある。これを利用して、各部３、４の膜厚を異な
らせることにより、該各部３、４での弾性表面波の周波
数に差を持たせる方法も試みられている。しかしなが
ら、この方法では、製造上の工程が増加し、作業が煩雑
になり、製造時間も増加するのでコストが高くなるとい
った問題点があった。

【００１８】ところで、弾性表面波デバイス１のスプリ
アスは、反射器４において弾性表面波の一部が表面集中
形ＳＨ波（ＳＳＢＷ：Surface Skimming Bulk Wave）に
変換されるモード変換によっても発生することが知られ
ている。

【００１９】このＳＳＢＷは、自由表面と短絡表面とで
その伝播速度が変化しないという性質がある。また、弾
性表面波とＳＳＢＷの伝播速度の差は小さいため、ＳＳ
ＢＷが共振周波数付近に乗り、共振器としての特性に悪
影響を及ぼすことが知られている。このため、従来にお
いては各部３、４の膜厚ｈを厚くし、弾性表面波の伝播
速度を遅くすることで、ＳＳＢＷと弾性表面波との間の
伝播速度の差を大きくさせてこのモード変換による影響
を低減させていた。しかし、各部３、４の膜厚ｈを厚く
すると、膜の信頼性や製膜安定度が低下するという問題
点や、各部３、４の形成に要する作業時間が長くなる等
の問題が発生する。

【００２０】更に、膜厚ｈが厚くなると、膜厚ｈのバラ
ツキが大きくなり易く、また、エッチングの際に各電極
の形状が均一にならなくなるという製造上の問題も発生
し易くなる。このため、弾性表面波の伝播速度、グレー
ティング周期等にバラツキが生じ、中心周波数ｆ₀ の精
度といった周波数安定度を低下させるという問題点も発
生する。

【００２１】弾性表面波デバイス１においては、弾性表
面波からＳＳＢＷへのモード変換が高くなると、スプリ
アスの発生が増大すると共に、エネルギの封じ込め効率
が低下するので、該モード変換を低減させることが課題
となっていた。

【００２２】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、弾性表面波デバイスにおいて、スプリアスの発生
やバルク波放射の増大を極力抑えつつ、デバイスのエネ
ルギの封じ込めの効率を向上させ、デバイスとしての性
能を向上させることを目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電性単結晶
基板と、圧電性単結晶基板の表面に配設されたすだれ状
駆動電極と、圧電性単結晶基板の表面にすだれ状駆動電
極の両側に対向して配設された反射器とを備えた弾性表
面波デバイスを前提とする。

【００２４】該弾性表面波デバイスにおいて、 Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 と定義した場合、以下のような関係を満たすように、す
だれ状駆動電極と反射器が形成される。

【００２５】先ず、第１の態様の弾性表面波デバイス
は、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ 但し、 α：係数（≠１） の関係を満たしている。

【００２６】なお、上記の第１の態様において、αの値
は、１＜αであることが望ましく、また、α≦１．５で
あることが望ましい。また、より好ましくはαの値は、
１＜α≦１．５であることが望ましい。

【００２７】また、第２の態様の弾性表面波デバイス
は、 Ｌ５／Ｌ７ ＜ Ｌ６／Ｌ８ の関係を満たしている。

【００２８】また、第３の態様の弾性表面波デバイス
は、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ６≠Ｌ８−Ｌ６ の関係を満たしている。

【００２９】また、第４の態様の弾性表面波デバイス
は、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ５≠Ｌ７−Ｌ５ の関係を満たしている。

【００３０】また、第５の態様の弾性表面波デバイス
は、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ６≠Ｌ８−Ｌ６ Ｌ５≠Ｌ７−Ｌ５ の関係を満たしている。

【００３１】なお、上記の第３〜第５の態様の発明にお
いて、αの値は、α＜１であることが望ましく、また、
αの値は、０．２≦αであることが望ましい。また、よ
り好ましくは、αの値は、０．２≦α＜１であることが
望ましい。

【００３２】また、第３〜第５の態様の弾性表面波デバ
イスは、Ｌ６／Ｌ８の値を一定となっていないことが望
ましい。好ましくは、Ｌ６／Ｌ８の値は、すだれ状駆動
電極側からその反対側に向かって順次増加、或いは、す
だれ状駆動電極側からその反対側に向かって順次減少す
ることが望ましい。

【００３３】また、第６の態様の弾性表面波デバイス
は、上記した第１〜第５の態様の弾性表面波デバイスを
同一の圧電性基板上にラダー型に接続して形設されてい
る。

【００３４】

【作用】本発明の弾性表面波デバイスは、すだれ状駆動
電極のグレーティング周期Ｌ７と電極指幅Ｌ５の比率
と、反射器のグレーティング周期Ｌ８と電極指幅Ｌ６の
比率とが異なるように形成される。これにより、すだれ
状駆動電極のグレーティング周期Ｌ７と反射器のグレー
ティング周期Ｌ８を等しくしたままで、すだれ状駆動電
極の電極指幅Ｌ５と反射器の電極指幅Ｌ６を互いに異な
らせることにより、すだれ状駆動電極と反射器での弾性
表面波の周波数差が該弾性表面波のエネルギ封じ込めが
効率良くなるような適切な値に調節することが可能とな
る。また、スプリアスの発生やバルク波放射の増大が抑
止されるので、挿入損失の低減等の効果が得られる。

【００３５】また、本発明の弾性表面波デバイスは、す
だれ状駆動電極のグレーティング周期Ｌ７と反射器のグ
レーティング周期Ｌ８を等しくしたままで、反射器、ま
たは反射器とすだれ状駆動電極の電極指幅を変化させる
ことにより、弾性表面波からＳＳＢＷへのモード変換を
抑止すると共に、反射器におけるＳＳＢＷの反射係数を
減少させることにより、スプリアスの発生を低減させ
る。これにより、弾性表面波のエネルギ封じ込め効率を
向上させることができる。

【００３６】さらに、上記弾性表面波デバイスを圧電性
単結晶基板上にラダー形に接続して形設することによ
り、小型で低損失、高性能なフィルタが得られる。

【００３７】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
して詳細に説明する。図１は、本発明の第１の実施例で
ある弾性表面波デバイス（共振器）１０の模式的な表面
外観図である。

【００３８】図１に示す如く、弾性表面波デバイス１０
は、圧電性単結晶基板１１の表面に、すだれ状駆動電極
１２が形成され、該すだれ状駆動電極１２の両側に反射
器１３とが形成された構成となっている。反射器１３
は、ショートストリップ型反射器である。すだれ状駆動
電極１２は、櫛形の形状をした２つの櫛形駆動電極１２
ａ、１２ｂとからなり、櫛形駆動電極１２ａの電極指と
櫛形駆動電極１２ｂの電極指とが交互に噛み合わされて
形成されている。

【００３９】また、弾性表面波を励振するための入力信
号が入力される入力端子ｃは、一方の櫛形駆動電極（入
力櫛形駆動電極）１２ａに接続され、通過帯域幅Δｆ内
の周波数の電気信号を取り出すための出力端子ｄは、他
方の櫛形駆動電極（出力櫛形駆動電極）１２ｂに接続さ
れている。従って、入力端子ｃに入力される電気信号の
内、中心周波数ｆ₀ を中心とする通過帯域幅Δｆ内の成
分のみが出力端子ｄから出力されることになる。すなわ
ち、この弾性表面波デバイス１０は、共振器として昨日
する。

【００４０】また、図１においてグレーティング周期Ｌ
７、Ｌ８は、図１１と同様に、上記両櫛形駆動電極１２
ａ、１２ｂの互いに隣合う電極指の端から端の距離とし
て示しているが、これはグレーティング周期Ｌ７、Ｌ８
と電極指幅Ｌ５、Ｌ６との関係をより明確にするためで
ある。また、図１において、すだれ状駆動電極１２と反
射器１３の隣合う電極指の中心間の距離は、グレーティ
ング周期Ｌ７、Ｌ８と等しいものである。

【００４１】上記の構成において、本実施例では、グレ
ーティング周期Ｌ７とグレーティング周期Ｌ８を等しく
し、また、すだれ状駆動電極１２と反射器１３の材質並
びに膜厚ｈを等しくしている。このような条件の下で、
電極指幅Ｌ５、Ｌ６を変えてすだれ状駆動電極１２と反
射器１３のそれぞれの部分を伝播している弾性表面波の
周波数を測定する各種の実験を行った。圧電性単結晶基
板１１はＬｉＴａＯ₃（自由表面での弾性表面波の伝播
速度は約４０００ｍ／ｓである）、すだれ状駆動電極１
２、及び反射器１３にはアルミニウムを用いた。また、
各部１２、１３の電極の膜厚ｈは、ｈ／λ（λ：弾性表
面波の波長）が約８パーセントとなるように形成した。

【００４２】先ず、Ｌ７＝Ｌ８＝２．０００μｍ、Ｌ５
＝１．０００μｍとし、且つＬ６＞Ｌ５とした条件下で
Ｌ６のみを変えて実験を重ねたところ、Ｌ６の値が１．
０２６μｍ付近で特に高いエネルギ封じ込めの効率が得
られた。このとき、各部における弾性表面波の周波数ｆ
_d 、ｆ_r は、すだれ状駆動電極１２は９５２．１５ＭＨ
ｚ（＝ｆ_d ）、反射器１３は９４９．１９ＭＨｚ（＝ｆ
_r である。

【００４３】従って、この実験結果により得られたすだ
れ状駆動電極１２と反射器１３との間の弾性表面波の周
波数差Ｄｆ（ＭＨｚ）は、 Ｄｆ＝ｆ_d −ｆ_r ＝９５２．１５−９４９．１９ ＝２．９６ であり、その周波数差の比率Ｄｆｒ（パーセント）は、 Ｄｆｒ＝Ｄｆ・１００／ｆ_d ＝２９６／９５２．１５ ＝０．３１１ となる。一方、反射器１３の電極指幅Ｌ６とすだれ状駆
動電極１２の電極指幅Ｌ５の比率α（＝Ｌ６／Ｌ５）の
値は約１．０２６（＝１．０２６／１．０００）であ
り、また、Ｌ５／Ｌ７（＝０．５）＜Ｌ６／Ｌ８（≒
０．５１３）である。

【００４４】次に、Ｌ７＝Ｌ８＝２．０００μｍ、Ｌ６
＝１．０００μｍとし、且つＬ６＞Ｌ５とする条件下で
Ｌ５のみを変えて実験を重ねたところ、Ｌ５の値が０．
９８１μｍ付近で特に高いエネルギ封じ込めの効率が得
られた。このとき、各部における弾性表面波の周波数
は、すだれ状駆動電極１２は９５４．２８ＭＨｚ（＝ｆ
_d ）、反射器１３は周波数ｆ_r ＝９５２．１５ＭＨｚ
（＝ｆ_r ）である。

【００４５】従って、この実験結果における各部の周波
数差Ｄｆ（ＭＨｚ）は、 Ｄｆ＝ｆ_d −ｆ_r ＝９５４．２８−９５２．１５ ＝２．１３ であり、その周波数差の比率Ｄｆｒ（パーセント）は、 Ｄｆｒ＝Ｄｆ・１００／ｆ_d ＝２１３／９５４．２８ ＝０．２２３ となる。一方、電極指幅Ｌ６と電極指幅Ｌ５の比率αの
値は約１．０１９（＝１．０００／０．９８１）であ
り、また、Ｌ５／Ｌ７（≒０．４９１）＜Ｌ６／Ｌ８＝
（０．５）である。

【００４６】上記した実験結果から、グレーティング周
期であるＬ７とＬ８を等しくさせた条件下において、す
だれ状駆動電極１２の電極指幅Ｌ５と反射器１３の電極
指幅Ｌ６との間に差をもたせることによって、すだれ状
駆動電極部１２部と反射器１３部における弾性表面波の
周波数差Ｄｆ（比率Ｄｆｒ）を制御することができ、そ
の周波数差Ｄｆ（比率Ｄｆｒ）を適正な値に調整できる
ことがわかった。

【００４７】弾性表面波の周波数をｆ、弾性表面波の伝
播速度をｖ、弾性表面波の波長をλとすると、これらの
間にはｖ＝ｆ・λの関係があり、この波長λは、前述し
たようにすだれ状駆動電極１２、反射器１３の各部にお
けるグレーティング周期（Ｌ７、Ｌ８）によって決ま
る。第１の実施例では、これらのグレーティング周期を
等しく（Ｌ７＝Ｌ８）している。従って、本実施例にお
ける各部１２、１３間の弾性表面波の周波数差Ｄｆ（比
率Ｄｆｒ）の調節は、各部１２、１３間での弾性表面波
の伝播速度を調節することによってもたらされている。

【００４８】弾性表面波デバイス１０における弾性表面
波の伝播速度は、前述した質量負荷効果により、膜厚
（すだれ状駆動電極１２、反射器１３）が厚くなるほど
低下する。従来、Ｌ７＝Ｌ８とする条件の下で、すだれ
状駆動電極１２と反射器１３の膜厚を互いに異ならせ、
本実施例と同様に質量負荷効果を利用して各部１２、１
３における弾性表面波の伝播速度を制御することによ
り、すだれ状駆動電極１２と反射器１３の間の弾性表面
波の周波数差Ｄｆ（比率Ｄｆｒ）を適正な値に調節して
いる方法も行われていた。しかし、この方法では、すだ
れ状駆動電極１２と反射器１３のパターン（電極）を形
成するために、２種類のマスクパターンが必要になる。
また、少なくとも二度パターン形成工程が必要となるの
で、作業が煩雑になるとともに、作業時間が長くなり、
製造コストが高くなるという欠点があった。

【００４９】これに対し、本実施例は、各部１２、１３
の電極の膜厚ｈ、及びグレーティング周期Ｌ７、Ｌ８を
等しくしたままで、各部１２、１３の電極指幅Ｌ５、Ｌ
６に差をもたせる（Ｌ５≠Ｌ６）、換言すれば、各部１
２、１３間でグレーティング周期Ｌ７、Ｌ８と電極指幅
Ｌ５、Ｌ６との比率を異ならせることによって（Ｌ５／
Ｌ７≠Ｌ６／Ｌ８）質量付加効果を利用し、各部１２、
１３における弾性表面波の伝播速度を調節するものであ
る。

【００５０】従って、本実施例では上記した従来の方法
とは異なり、各部１２、１３の電極の膜厚ｈを等しくで
きるので、各部１２、１３のパターン形成を一工程で形
成することができる。従って、上述した従来の方法の問
題点を回避しながら、各部１２、１３における弾性表面
波の伝播速度を容易に調節することができる。このた
め、すだれ状駆動電極１２と反射器１３の各部での弾性
表面波に適切な周波数差をもたせることも容易になり、
弾性表面波デバイス１０においてスプリアスの発生と共
に、バルク波放射の増大を低減させることが可能とな
る。この結果として、弾性表面波はエネルギロスを極力
抑えながら効率良く閉じ込められることとなり、共振器
としての性能を向上させることができる。

【００５１】なお、一般に弾性表面波デバイスにおいて
設定可能なｈ／λの値にはデバイスの性能を一定以上に
保つために膜厚ｈが制限されることから限度があり、８
パーセントがほぼ上限に近い値であることが知られてい
る。

【００５２】ここで、本実施例の効果を明確にするた
め、Ｌ７＝Ｌ８、且つＬ５＝Ｌ６となっている従来の弾
性表面波デバイスについて、すだれ状駆動電極１２と反
射器１３の間の周波数差を測定した実験結果を次に説明
する。この実験においても圧電単結晶基板１１としてＬ
ｉＴａＯ₃ 、すだれ状駆動電極１２、及び反射器１３は
アルミニウムを用いている。

【００５３】この従来の弾性表面波デバイスを用いた実
験では、すだれ状駆動電極１２と反射器１３の膜厚ｈと
弾性表面波の波長λの関係としてｈ／λを約８パーセン
トとしたとき、すだれ状駆動電極１２の周波数ｆ_d とし
て９２３．０ＭＨｚ、反射器１３の周波数ｆ_r として９
２０．４ＭＨｚが得られた。従って、この場合の周波数
差Ｄｆは２．６ＭＨｚ、周波数差の比率Ｄｆｒは約０．
２８２パーセントである。ここで、ｈ／λの値を８パー
セントとしたのは、各部１２、１３間の周波数差Ｄｆは
ｈ／λの値と相関関係（これにより調節できる周波数差
は小さい）があることが知られており、ｈ／λの値の増
加に伴って周波数差Ｄｆは広がる傾向があるためであ
る。また、ｈ／λが８パーセントである従来の弾性表面
波デバイスの周波数差の比率Ｄｆｒの上限は、上記実験
結果から約０．３パーセントと推定される。

【００５４】本実施例において、約０．３パーセントの
周波数差の比率Ｄｆｒを得るための条件を実験により求
めたところ、ｈ／λ＝１パーセントのとき、電極指幅Ｌ
６を電極指幅Ｌ５の約１．５（＝α）倍とした場合に、
０．３パーセントの周波数差の比率Ｄｆｒが得られるこ
とが分かった。

【００５５】この本実施例での実験結果と前述した従来
の弾性表面波デバイスの実験結果とを比較すると、本実
施例ではｈ／λが小さな値、即ち膜厚ｈが薄くとも周波
数差の比率Ｄｆｒを大きくできることがわかる（従来の
弾性表面波デバイスではｈ／λを約８パーセントとして
もＤｆｒが約０．２８２パーセントとしかならない）。
このことから明らかなように、本実施例が各部１２、１
３間の周波数差の比率Ｄｆｒ（周波数差Ｄｆ）を調節す
る、即ち各部１２、１３の弾性表面波の伝播速度を調節
する上で優れた効果を有することがわかる。

【００５６】上記実施例では、圧電性単結晶基板１１に
ＬｉＴａＯ₃ 、すだれ状駆動電極１２及び反射器１３に
アルミニウムを用いたが、圧電性単結晶基板１１として
は、上記以外に水晶、各種圧電セラミックを始め、Ｌｉ
ＮｂＯ₃ 、Ｂｉ₁₂ＳｉＯ₂₀、Ｌｉ₂ Ｂ₄ Ｏ₇ 等を用いる
ようにしても良い。また、すだれ状駆動電極１２、反射
器１３の材料としてもアルミニウムの他に、アルミニウ
ムに銅を混入させたものなど他の電極材料を用いても良
い。

【００５７】また、前述した圧電性単結晶基板１１に用
いられる圧電性材料の中には、すだれ状駆動電極１２と
反射器１３で弾性表面波の伝播速度に差がほとんどない
ものがある。従って、このような圧電性材料では、Ｌ７
＝Ｌ８、且つ各部１２、１３の膜厚ｈを等しくさせた従
来の弾性表面波デバイスでは弾性表面波のエネルギの封
じ込め効率が高い効率の良い共振器を得ることができな
いが、本実施例では、このような場合にもＬ６／Ｌ５の
値を調整することによって、すだれ状駆動電極１２と反
射器１３の間で、弾性表面波の伝播速度に適切な差をも
たせることが可能となるので、性能が良い共振器を作成
することができる。

【００５８】即ち本実施例は、圧電性単結晶基板１１に
用いられる材料を特定するものではなく、デバイスの用
途や所要特性に応じて選択される全ての基板材料に適用
可能なものであり、汎用性に優れている。

【００５９】尚、上記実施例では、グレーティング周期
Ｌ７、Ｌ８を共に等しくし、電極指幅Ｌ５またはＬ６の
一方のみを変更するようにしているが、Ｌ５＜Ｌ６を満
足させる条件の下で電極指幅Ｌ５及びＬ６の両方を変更
させるようにしても良い。弾性表面波デバイス１１にお
いては、電極指幅Ｌ５、Ｌ６とグレーティング周期Ｌ
７、Ｌ８の比率Ｌ５／Ｌ７、Ｌ６／Ｌ８が大きな値とな
る程、質量負荷効果が大きくなり、それぞれの部分（す
だれ状駆動電極１２、反射器１３）で弾性表面波の伝播
速度が遅くなる。このため、Ｌ５／Ｌ７＜Ｌ６／Ｌ８の
関係を満たすように電極指幅Ｌ５、Ｌ６等を変更するこ
とにより、反射器１３側での質量付加効果をすだれ状駆
動電極１２側よりも高めて、各部間の弾性表面波の周波
数差Ｄｆ（比率Ｄｆｒ）がより大きくなるように調整す
ることができる。次に、第２の実施例について説明す
る。図２は、第２の実施例による弾性表面波デバイス
（共振器）の模式的な表面外観図である。この第２の実
施例は、図１に示す上述した第１の実施例と基本的に同
様な構成なので、以下の説明では図１で用いた符号をそ
のまま用いることにする。

【００６０】図２において、グレーティング周期Ｌ７と
グレーティング周期Ｌ８は等しく、また、すだれ状駆動
電極１２と反射器１３は材質並びに膜厚ｈが等しくなっ
ている。このような構成の第２の実施例において、電極
指幅Ｌ６を変えてその周波数特性を調べる各種の実験を
行った結果を以下に説明する。この実験では、圧電性単
結晶基板１１にはＬｉＴａＯ₃ を、すだれ状駆動電極１
２と反射器１３には銅を混入したアルミニウムを用い
た。

【００６１】ここで、反射器１３のグレーティング周期
Ｌ８からその電極指幅Ｌ６を引いて得られる、反射器１
３の電極指間の間隔をスペースＳ_r と定義する。そし
て、電極指幅Ｌ６と該スペースＳ_r の比率、即ちＬ６／
（Ｌ８−Ｌ６）を、以降、Ｌ／Ｓ比と記載する。また、
すだれ状駆動電極１２に対しても同様にしてＬ／Ｓ比を
定義する。

【００６２】図３は、反射器１３のＬ／Ｓ比を１とした
ときの周波数特性を示す図であり、同様に、図４は、Ｌ
／Ｓ比を１．３としたときの周波数特性、図５は、Ｌ／
Ｓ比を０．７としたときの周波数特性を示している。従
って、図３は従来の弾性表面波デバイス１に相当し、図
４は上述した第１の実施例に相当し、図５が第２の実施
例に相当する。また、図３〜図５において、縦軸及び横
軸のスケールは等しくなっており、その中心周波数ｆ₀
は約３５０ＭＨｚである。

【００６３】図３と図４を対比すると、図４では通過帯
域の高い周波数領域で周波数特性が特に改善されいるの
が分かる。一方、図３と図５を対比すると、図４のとき
と同様に、図５でも通過帯域の高い周波数領域で周波数
特性が特に改善されいるのが分かる。

【００６４】このように、第２の実施例では、電極指幅
Ｌ６をスペースＳ_r よりも狭く、即ちＬ／Ｓ比を１より
も小さくすることにより、周波数特性を改善することが
できる。これは、質量付加効果等の影響により、反射器
１３において弾性表面波からＳＳＢＷへのモード変換、
即ちスプリアスの発生が抑えられ、また、ＳＳＢＷ自体
の反射が抑えられるためである。

【００６５】これにより、反射器１３におけるＳＳＢＷ
の反射係数を減少させることができ、反射器１３の電極
指の膜厚ｈを厚くすることなくＳＳＢＷの影響を低減
し、スプリアスの発生を抑えることが可能となる。この
ため、従来の弾性表面波デバイス１よりも各部１２、１
３の電極の膜厚ｈを薄くすることができる。このように
各部１２、１３の電極の膜厚ｈを薄くすることが可能と
なる結果、電極膜の膜厚ｈやその形状のバラツキを抑え
ることができ、該電極の膜の信頼性及び安定性を向上さ
せることができる。このため、共振器としての特性に優
れたデバイスを得ることができる。また、デバイス製造
時においては、電極の膜の形成、エッチング等に要する
作業時間を短縮することができるので、製造スループッ
トが向上する。

【００６６】また、さらに、従来の弾性表面波デバイス
１では、弾性表面波とＳＳＢＷの伝播速度に必要な差を
もたせるために、ｈ／λの値として７パーセント程度が
必要となっていた。しかし、このように電極指幅Ｌ６を
狭くすることで、ＳＳＢＷの発生、及びその影響が低減
されることから、デバイスとしての性能を落とすことな
く、ｈ／λの値を３パーセント程度まで小さくすること
が可能となる。例えば、従来、１μｍとしていた電極の
膜厚ｈを０．５μｍとしても良好な性能を得ることが実
験により確認できた。これにより、電極の膜の厚さやそ
の形状のバラツキは小さくなり、該電極の形成に要する
作業時間は従来に比べ約１／３に短縮できた。

【００６７】ここで、上記第２の実施例では、反射器１
３のＬ／Ｓ比を１よりも小さくすることによりＳＳＢ
Ｗ、すなわちスプリアスの発生を抑止しているが、これ
は主に反射器１３で発生する弾性表面波からＳＳＢＷへ
のモード変換を抑圧するようにしているためである。ま
た、反射器１３だけでなく、すだれ状駆動電極１２のＬ
／Ｓ比も変更することにより上記以上の効果を得ること
ができる。すだれ状駆動電極１２の電極指幅Ｌ５と反射
器１３の電極指幅Ｌ６の比αの値としては、０．２≦α
＜１．０とする範囲において特に望ましい実験結果が得
られている。

【００６８】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。この第３の実施例は、１つの圧電性単結晶基板上
に上述した弾性表面波デバイス１０を共振子としてラダ
ー形に接続した弾性表面波フィルタである。

【００６９】図６は、該弾性表面波フィルタの構成を示
す図である。図中、ＳＲは直列共振子、Ｐは並列共振子
であり、１つの直列共振子ＳＲと１つの並列共振子Ｐを
Ｌ字型に組み合わせた基本回路であるセクションＳＣが
カスケード接続されている。入力端子Ｉ１、Ｉ２から入
力された信号は、複数のセクションＳＣを通過して出力
端子Ｏ１、Ｏ２から取り出される。

【００７０】図６に示す、ラダー形に接続された直列共
振子ＳＲ、及び並列共振子Ｐの各々において、その反射
器１３のＬ／Ｓ比を変化させてフィルタの特性を測定し
た実験結果を、以下に説明する。

【００７１】第３の実施例における共通の条件は、直列
共振子ＳＲの容量Ｃ_S と並列共振子Ｐの容量Ｃ_P の比を
０．６（＝Ｃ_P ／Ｃ_S ）、グレーティング周期Ｌ６、Ｌ
８は直列共振子ＳＲが２．７２５μｍ、並列共振子Ｐが
２．８０μｍ、すだれ状駆動電極１２の対数は直列共振
子ＳＲが４０、並列共振子Ｐが８０、開口長は直列共振
子ＳＲが８５μｍ、並列共振子Ｐが５１μｍ、反射器１
３の対数は直列共振子ＳＲと並列共振子Ｐはともに１０
０である。一方、圧電性単結晶基板１１はＬｉＴａ
Ｏ₃ 、すだれ状駆動電極１２と反射器１３は銅を混入し
たアルミニウムであり、また、ｈ／λは７パーセントで
ある。

【００７２】上記の条件の下で、ケース１はすだれ状駆
動電極１２及び反射器１３のＬ／Ｓ比を１に一定とした
ものであり、従来の弾性表面波デバイス１に相当する。
ケース２はケース１をベースとして、反射器１３のＬ／
Ｓ比をすだれ状駆動電極１２側から２０対数毎に０．５
６３、０．５３８、０．５１５、０．４９３、０．４７
１と段階的に変更したものであり、ケース３もケース１
をベースとして、反射器１３のＬ／Ｓ比をすだれ状駆動
電極１２側から２０対数毎に０．４７１、０．４９３、
０．５１５、０．５３８、０．５６３と段階的に変更し
たものである。これらケース１〜３の実験結果は図７〜
図９に各々示す。

【００７３】図１０は、各ケース１〜３のフィルタ（周
波数）特性を示す図であり、角型比、帯域内最大ＶＳＷ
Ｒ（電圧定在波比）値、帯域内における損失（挿入損
失）、１．５ｄＢ帯域幅のフィルタの４つの主要な特性
を対比したものである。

【００７４】ここで、上記の角型比の算出方法について
説明する。図１１は、角型比の算出方法を示す説明図で
ある。図中、ΔＧ１、ΔＧ２は減衰量幅であり、減衰量
幅ΔＧ１はピーク値と通過帯域の最小値との差、減衰量
幅ΔＧ２はピーク値と必要減衰量値との差である。ま
た、ｆ１は低域側阻止域の最大周波数値、ｆ２は通過帯
域の最小周波数値、ｆ３は通過帯域の最大周波数値、ｆ
４は高域側阻止域の最小周波数値である。

【００７５】図１１において、角型比をＨとすると、こ
の角型比Ｈは次のようにして算出される。 Ｈ ＝ （高域側阻止域の最小周波数値−低域側阻止域
の最大周波数値）／（通過帯域の最大周波数値−通過帯
域の最小周波数値） ＝ （ｆ４ − ｆ１）／（ｆ３ − ｆ２） 第３の実施例では、上記のように算出される角型比にお
いて、ΔＧ１を１．５ｄＢ、ΔＧ２を２１．５ｄＢとし
て算出したものである。

【００７６】図１０に示す如く、ケース１と対比する
と、ケース２と３は共に損失と帯域内最大ＶＳＷＲ値は
僅かながら悪化しているが、これは実用上、無視できる
範囲内に納まっている。しかし、１．５ｄＢ帯域幅、及
び角型比は、ケース１よりも大きく改善されている。こ
れらの特性は、フィルタの性能を評価するうえで重要な
ファクタであることから、ケース２及び３のようにＬ／
Ｓ比を変化させることによってフィルタとしての性能が
向上したことがわかる。

【００７７】一方、ケース２とケース３とを対比する
と、１．５ｄＢ帯域幅、及び角型比ともにケース３のほ
うが僅かながら良好な結果となっている。このことか
ら、上記のラダー形フィルタにおいては、ケース３のよ
うに、反射器１３のＬ／Ｓ比をすだれ状駆動電極１２側
からその反対側に向かってしだいに大きくなるように変
化させることが、フィルタ性能の向上に効果的であるこ
とがわかる。

【００７８】弾性表面波デバイスは、中心周波数ｆ₀ を
高くでき、また、帯域幅も広くすることができる等の利
点がある。このため、デジタル方式の移動体通信機器、
ＶＣＯ（電圧制御発振器）等におけるフィルタ、共振子
などに広く使用されるようになっている。従って、本発
明は、これらの機器の性能向上に大きく寄与することが
できる。

【００７９】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
すだれ状駆動電極のグレーティング周期と反射器のグレ
ーティング周期を等しくしたままで、すだれ状駆動電極
の電極指幅と反射器の電極指幅に差をもたせることによ
り、すだれ状駆動電極と反射器での弾性表面波の周波数
差を適切な値に調節するため、すだれ状駆動電極と反射
器の間における弾性表面波の周波数差を容易に適切な値
に調節することができる。

【００８０】また、本発明によれば、すだれ状駆動電極
のグレーティング周期Ｌ７と反射器のグレーティング周
期Ｌ８を等しくしたままで、反射器のみ、または反射器
とすだれ状駆動電極の電極指幅を変化させるため、反射
器において弾性表面波からＳＳＢＷへのモード変換を抑
止することができるとともに、ＳＳＢＷの反射係数等を
減少させることができる。

【００８１】以上の結果、本発明は、スプリアスの発生
やバルク波放射の増大を極力抑えつつ、デバイスのエネ
ルギの封じ込め効率を向上できるので、共振器やフィル
タとしてのデバイス特性を向上させることが可能とな
る。

【００８２】また、スプリアスの発生やバルク波放射の
増大を極力抑えられることから、デバイスの性能を低下
させることなく、すだれ状駆動電極、反射器の各電極の
膜厚を薄くすることができるため、膜の信頼性や安定性
の向上、膜厚や電極の形状のバラツキの低減、電極の形
成に要する作業時間の短縮等の効果が得られる。

【００８３】このような効果を有する弾性表面波デバイ
スを直列共振子及び並列共振子として用いて圧電性単結
晶基板上にフィルタを形成することにより、小型で低損
失、高性能なフィルタを作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例である弾性表面波デバイ
スの外観図である。

【図２】本発明の第２の実施例である弾性表面波デバイ
スの外観図である。

【図３】第２の実施例と対比するための従来の弾性表面
波デバイス（Ｌ／Ｓ比＝１）の周波数特性を示す図であ
る。

【図４】上記第２の実施例においてＬ／Ｓ比を１．３と
したときの周波数特性を示す図である。

【図５】上記第２の実施例においてＬ／Ｓ比を０．７と
したときの周波数特性を示す図である。

【図６】本発明の第３の実施例である上記第２の実施例
を直列及び並列共振子に用いたラダー形フィルタの構成
例を示す回路図である。

【図７】第３の実施例と対比するための従来の弾性表面
波デバイス（ケース１）の周波数特性を示す図である。

【図８】上記第３の実施例におけるケース２の形態の周
波数特性を示す図である。

【図９】上記第３の実施例におけるケース３の形態の周
波数特性を示す図である。

【図１０】上記ケース１〜３におけるフィルタ特性を表
す各種の主要なパラメータ値を示すグラフである。

【図１１】角型比の算出方法の説明図である。

【図１２】従来の弾性表面波デバイスの外観図である。

【図１３】弾性表面波デバイスの共振特性を示す説明図
である。

【符号の説明】

１０ 弾性表面波共振器 １１ 圧電性単結晶基板 １２ すだれ状駆動電極 １２ａ、１２ｂ 櫛形駆動電極 １３ 反射器 Ｌ５ 櫛形駆動電極の電極指幅 Ｌ６ 反射器の電極指幅 Ｌ７ すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８ 反射器のグレーティング周期 ＳＲ 直列共振子 Ｐ 並列共振子

フロントページの続き (72)発明者 伊形 理 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧電性基板と、前記圧電性基板の表面に配
   設されたすだれ状駆動電極と、前記圧電性基板の表面に
   前記すだれ状駆動電極の両側に対向して配設された反射
   器とを備えた弾性表面波デバイスにおいて、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ 但し、 α：係数（≠１） Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
2. 【請求項２】前記αの値は、１＜αであることを特徴と
   する請求項１記載の弾性表面波デバイス。
3. 【請求項３】前記αの値は、α≦１．５であることを特
   徴とする請求項１記載の弾性表面波デバイス。
4. 【請求項４】前記αの値は、１＜α≦１．５であること
   を特徴とする請求項１記載の弾性表面波デバイス。
5. 【請求項５】圧電性基板と、前記圧電性基板の表面に配
   設されたすだれ状駆動電極と、前記圧電性基板の表面に
   前記すだれ状駆動電極の両側に対向して配設された反射
   器とを備えた弾性表面波デバイスにおいて、 Ｌ５／Ｌ７ ＜ Ｌ６／Ｌ８ 但し、 Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
6. 【請求項６】圧電性基板と、前記圧電性基板の表面に配
   設されたすだれ状駆動電極と、前記圧電性基板の表面に
   前記すだれ状駆動電極の両側に対向して配設された反射
   器とを備えた弾性表面波デバイスにおいて、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ６≠Ｌ８−Ｌ６ 但し、 α：係数（≠１） Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
7. 【請求項７】圧電性基板と、前記圧電性基板の表面に配
   設されたすだれ状駆動電極と、前記圧電性基板の表面に
   前記すだれ状駆動電極の両側に対向して配設された反射
   器とを備えた弾性表面波デバイスにおいて、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ５≠Ｌ７−Ｌ５ 但し、 α：係数（≠１） Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
8. 【請求項８】圧電性基板と、前記圧電性基板の表面に配
   設されたすだれ状駆動電極と、前記圧電性基板の表面に
   前記すだれ状駆動電極の両側に対向して配設された反射
   器とを備えた弾性表面波デバイスにおいて、 α・Ｌ５ ＝ Ｌ６ Ｌ７ ＝ Ｌ８ Ｌ６≠Ｌ８−Ｌ６ Ｌ５≠Ｌ７−Ｌ５ 但し、 α：係数（≠１） Ｌ５：すだれ状駆動電極の電極指幅 Ｌ６：反射器の電極指幅 Ｌ７：すだれ状駆動電極のグレーティング周期 Ｌ８：反射器のグレーティング周期 の関係を満たすことを特徴とする弾性表面波デバイス。
9. 【請求項９】前記αの値は、α＜１であることを特徴と
   する請求項６、７、または８記載の弾性表面波デバイ
   ス。
10. 【請求項１０】前記αの値は、０．２≦αであることを
    特徴とする請求項６、７、または８記載の弾性表面波デ
    バイス。
11. 【請求項１１】前記αの値は、０．２≦α＜１であるこ
    とを特徴とする請求項６、７、または８記載の弾性表面
    波デバイス。
12. 【請求項１２】前記反射器の各電極のＬ６／Ｌ８の値
    は、一定となっていないことを特徴とする弾性表面波デ
    バイス。
13. 【請求項１３】前記Ｌ６／Ｌ８の値は、前記すだれ状駆
    動電極側からその反対側に向かって順次増加することを
    特徴とする請求項１２記載の弾性表面波デバイス。
14. 【請求項１４】前記Ｌ６／Ｌ８の値は、前記すだれ状駆
    動電極側からその反対側に向かって順次減少することを
    特徴とする請求項１２記載の弾性表面波デバイス。
15. 【請求項１５】請求項１、５、６、７、または８記載の
    弾性表面波デバイスを同一の圧電性基板上にラダー型に
    接続して形設したことを特徴とする弾性表面波デバイ
    ス。