Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JP3343645B2 - 液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents

液晶表示装置及びその製造方法

Info

Publication number
JP3343645B2
JP3343645B2 JP07102997A JP7102997A JP3343645B2 JP 3343645 B2 JP3343645 B2 JP 3343645B2 JP 07102997 A JP07102997 A JP 07102997A JP 7102997 A JP7102997 A JP 7102997A JP 3343645 B2 JP3343645 B2 JP 3343645B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
color filter
forming
active element
liquid crystal
parting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP07102997A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH10268288A (ja
Inventor
康浩 松島
孝 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP07102997A priority Critical patent/JP3343645B2/ja
Priority to US09/045,385 priority patent/US6798474B2/en
Publication of JPH10268288A publication Critical patent/JPH10268288A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3343645B2 publication Critical patent/JP3343645B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136209Light shielding layers, e.g. black matrix, incorporated in the active matrix substrate, e.g. structurally associated with the switching element
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1345Conductors connecting electrodes to cell terminals
    • G02F1/13454Drivers integrated on the active matrix substrate
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136227Through-hole connection of the pixel electrode to the active element through an insulation layer

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Thin Film Transistor (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、AV(オーディオ
ビジュアル)機器やOA(オフィスオートメーション)
機器等に使用される液晶表示装置およびその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】アクティブマトリクス型液晶表示装置
は、TFTに接続された画素電極がマトリクス状に配列
されたTFT基板と対向電極が形成された対向基板との
間に液晶を封入し、シール材で封止することにより構成
される。通常の液晶表示装置に使用されるTFT基板を
図6に、対向基板を図7に示す。TFT基板には、ガラ
ス基板1上に画素電極6がマトリクス状に配列されて画
像表示領域8が形成され、それぞれの画素電極6はゲー
トバスライン2及びソースバスライン4に接続されてい
る。又、それぞれのバスラインに信号を供給するために
ゲートドライバGDとソースドライバSDが配置されて
いる。対向基板には、少なくともガラス基板20上の画
像表示領域8に、画素電極に対応してカラーフィルタ1
2が形成される。画像表示領域8におけるカラーフィル
タ上部には、透明導電膜によって対向電極(図示せず)
が形成され、画素電極と対向電極との電位差によって液
晶材料のスイッチングが行われる。又、図示はされてい
ないが、対向基板にはTFTに入射する光を遮光する遮
光膜と画素電極の隙間からの漏れ光を遮断する遮光膜が
形成される。
【0003】ここで、通常対向基板における画像表示領
域8の周縁部には見切り部14が形成される。これは、
対向基板側からバックライトの光が照射されるが、この
見切り部14が無いと光の回り込みにより画像表示領域
端部に光が照射され、この光がTFTに当たってオフ特
性が悪くなり、その結果液晶表示装置の表示品位が低下
するためである。
【0004】又、TFT基板と対向基板との貼り合わせ
にはシール樹脂16が用いられ、見切り部14近傍に形
成される。シール樹脂16には、しばしば紫外線硬化型
のものが用いられるが、この紫外線硬化型樹脂を使用し
た場合、貼り合わせ時に紫外線がTFTに当たるとダメ
ージを受けて特性が劣化するので対向基板側から紫外線
が照射される。しかし、この場合、見切り部が大きく形
成されているとシール部に紫外線が当たらなくなるので
見切り部を大きく形成することができない。逆に、見切
り部が小さいとモジュールに組み込むための合わせ精度
が必要であり、この工程が煩雑なものとなってしまう。
【0005】この問題を解決するため、特開平6−17
5157に示されるようにTFT基板側に見切り部を形
成することが考えられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、見切り
部をTFT基板側に形成したとしても、対向基板にはカ
ラー表示をするためのカラーフィルタを形成する必要が
ある。さらに、対向基板側にカラーフィルタが形成され
ると、TFT基板と対向基板との貼り合わせマージンは
3μm程度と厳しく、これを実現するためには大がかり
な貼り合わせ装置が必要となる。
【0007】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであり、対向基板が簡単に作成でき、T
FT基板と対向基板との貼り合わせも容易に行うことが
できる液晶表示装置及びその製造方法に関するものであ
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、アクティブ素
子と、該アクティブ素子に信号を供給する配線と、該ア
クティブ素子に導通された画素電極とを有し、前記画素
電極がマトリクス状に配列されて画像表示領域を構成す
る第1の絶縁性基板と、対向電極を有する第2の絶縁性
基板と、を有し、前記第1及び第2の絶縁性基板が貼り
合わされ、基板間に液晶材料が封入された液晶表示装置
において、前記第1の絶縁性基板上には少なくともカラ
ーフィルタと、前記画像表示領域周辺部に設けられた見
切り部とを有することを特徴とし、それによって上記目
的が達成される。
【0009】前記アクティブ素子上部にはアクティブ素
子に入射する光を遮光する遮光膜が形成されていること
が好ましい。
【0010】前記遮光膜は、見切り部と同一材料で形成
されていることが好ましい。
【0011】前記遮光膜及び見切り部は、電気化学反応
により形成されたものであることが好ましい。
【0012】前記見切り部は、R,G,Bの3色のカラ
ーフィルタが積層されて形成されたものであることが好
ましい。
【0013】前記アクティブ素子を駆動するための駆動
回路が前記アクティブ素子と同一基板上に形成され、前
記見切り部は前記駆動回路上部にも形成されていること
が好ましい。
【0014】本発明は、アクティブ素子と、該アクティ
ブ素子に信号を供給する配線と、該アクティブ素子に導
通された画素電極とを有し、前記画素電極がマトリクス
状に配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基
板と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、第
1及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ、基板間に液晶
材料が封入された液晶表示装置の製造方法において、第
1の絶縁性基板にカラーフィルタを形成する工程と、第
1の絶縁性基板にアクティブ素子に入射する光を遮光す
る遮光膜を形成する工程と、前記画像表示領域周辺部に
見切り部を形成する工程とを含み、それによって上記目
的が達成される。
【0015】前記カラーフィルタを形成する工程と、前
記画像表示領域周辺部に見切り部を形成する工程とは同
一工程であることが好ましい。
【0016】前記遮光膜を形成する工程と、前記画像表
示領域周辺部に見切り部を形成する工程とは同一工程で
あることが好ましい。
【0017】前記遮光膜を形成する工程は、電気化学反
応を利用して遮光膜を形成する工程であることが好まし
い。
【0018】以下、作用について説明する。
【0019】本発明は、アクティブ素子と、該アクティ
ブ素子に信号を供給する配線と、該アクティブ素子に導
通された画素電極とを有し、前記画素電極がマトリクス
状に配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基
板と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、第
1及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ、基板間に液晶
材料が封入された液晶表示装置において、第1の絶縁性
基板上には少なくともカラーフィルタと、画像表示領域
周辺部に設けられた見切り部とを有するので、対向基板
にカラーフィルタと見切り部を形成する必要が無く、対
向基板の作成工程が簡単になる。又、第1の絶縁性基板
側にカラーフィルタが有するので第2の絶縁性基板との
貼り合わせにおいて細かい精度の貼り合わせが要求され
ない。従って、大がかりな貼り合わせ装置を必要としな
い。
【0020】前記アクティブ素子上部にはアクティブ素
子に入射する光を遮光する遮光膜が形成されているの
で、対向基板には対向電極と液晶の配向を行う配向膜と
を形成しておけばよく、対向基板の作成工程が極めて簡
単になる。又、貼り合わせ工程も簡単になる。又、対向
基板に遮光膜を形成した場合には例えば3μmの貼り合
わせマージン分大きく遮光膜を形成しておく必要があり
この分開口率が小さくなるが、本発明の構成では、こう
いったことは起こらない。
【0021】前記遮光膜は、見切り部と同一材料で形成
されるので、遮光膜と見切り部の形成工程が1回で済
み、新たな工程の付加が無い。
【0022】前記遮光膜及び見切り部は、電気化学反応
により形成されるので、簡便に遮光膜を形成でき、この
遮光膜の目視検査を行えば画像表示領域のTFTの検査
も兼ねることができる。
【0023】前記見切り部は、R,G,Bの3色のカラ
ーフィルタが積層されて形成されるので、画素電極上部
に3色のカラーフィルタを順次形成すると同時に見切り
部にも3色のカラーフィルタが順次積層されるので、新
たに見切り部を形成する工程を必要としない。
【0024】前記アクティブ素子を駆動するための駆動
回路が前記アクティブ素子と同一基板上に形成され、前
記遮光膜は前記駆動回路上部にも形成されるので、この
遮光膜により駆動回路に入射する光を遮光できるので入
射光による駆動回路の誤動作の心配が無い。又、遮光膜
を電極上に電気化学反応により形成すれば、この電極が
駆動回路をシールドするので駆動回路からの不要な電界
が発生しない。
【0025】本発明は、アクティブ素子と、前記アクテ
ィブ素子に信号を供給する配線と、前記アクティブ素子
に導通された電極とを有し、前記電極がマトリクス状に
配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基板
と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、第1
及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ、基板間に液晶材
料が封入された液晶表示装置の製造方法において、第1
の絶縁性基板にカラーフィルタを形成する工程と、第1
の絶縁性基板にアクティブ素子に入射する光を遮光する
遮光膜を形成する工程と、画像表示領域周辺部に見切り
部を形成する工程とを含むので、対向基板にカラーフィ
ルタと見切り部を形成する必要が無く、対向基板の作成
工程が簡単になる。又、第1の絶縁性基板側にカラーフ
ィルタが有するので第2の絶縁性基板との貼り合わせに
おいて細かい精度の貼り合わせが要求されない。従っ
て、大がかりな貼り合わせ装置を必要としない。
【0026】前記カラーフィルタを形成する工程と、画
像表示領域周辺部に見切り部を形成する工程とは同一工
程であるので、3色のカラーフィルタの形成と同時に見
切り部が形成されるので新たな工程の付加が無い。
【0027】前記遮光膜を形成する工程と、画像表示領
域周辺部に見切り部を形成する工程とは同一工程である
ので、遮光膜と見切り部の形成工程が1回で済み、新た
な工程の付加が無い。
【0028】前記遮光膜を形成する工程は、電気化学反
応を利用して遮光膜を形成する工程であるので、簡便に
遮光膜を形成でき、この遮光膜の目視検査を行えば画像
表示領域のTFTの検査も兼ねることができる。
【0029】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について以下
に説明する。
【0030】(実施の形態1)本発明の第1の実施形態
の液晶表示装置を図1に示す。絶縁性の例えばガラス基
板100上に画像表示領域108、ゲートドライバG
D、ソースドライバSDが配置されている。ゲートドラ
イバGDはゲートバスライン102を通じて画素106
に走査信号を供給する。ソースドライバSDはソースバ
スライン104を通じて画素106にデータ信号を供給
する。画像表示領域108の周縁部には見切り部110
が形成されている。
【0031】画像表示領域108における画素3個分の
断面図及び見切り部110の断面図(図1のA−A断面
図)を図2に示す。図2を用いて本実施形態の製造方法
を説明する。まず、絶縁性基板100上に活性層112
をa−Siもしくはp−Siを用いて40nmの厚さで
形成した。次に、ゲート絶縁膜114をSiO2 を用
い、100nmの厚さで形成した。次に、ゲート電極1
16をAlもしくはp−Siを用いて300nmの厚さ
で形成した。次に、ゲート電極116をマスクとしてゲ
ート電極上方からリンイオンを導入し、活性層112に
おけるゲート電極の下方領域にノンドープのチャネル領
域113を形成し、その他の領域はイオンがドープされ
た低抵抗領域とした。次に、第1の層間絶縁膜118を
形成し、コンタクトホール119を形成した後、ソース
バスライン120をAlを用いて形成した。次に、第2
の層間絶縁膜122を形成し、コンタクトホール124
を形成した後、画素電極126を透明導電膜を用いて形
成した。
【0032】次に、本実施形態においては、画素電極1
26を利用してR(赤色),G(緑色),B(青色)の
3色のカラーフィルタ128,130,132の形成を
行う。ここでは、以下に示すミセル電解法により、画素
電極126上に3色のカラーフィルタ128,130,
132を形成した。
【0033】まず、化1で表される化合物(FPEG)
の2mM水溶液に、赤色顔料(Lithol Scar
let K3700:BASF製)を1〜2g加えて分
散させ、さらに臭化リチウム(支持塩)0.1Mを加
え、超音波ホモジナイザで30分間分散させ、さらにス
ターラで3日間攪拌して、赤色の着色分散液を調製し
た。同様にして、化1で表される化合物(FPEG)の
2mM水溶液に、緑色顔料(Meliogen Gre
en L9361:BASF製)を1〜2g加えて分散
させ、さらに臭化リチウム(支持塩)0.1Mを加え、
超音波ホモジナイザで30分間分散させ、さらにスター
ラで3日間攪拌して、緑色の着色分散液を調製した。同
様にして、化1で表される化合物(FPEG)の2mM
水溶液に、青色顔料(Meliogen Blue B
7080:BASF製)を1〜2g加えて分散させ、さ
らに臭化リチウム(支持塩)0.1Mを加え、超音波ホ
モジナイザで30分間分散させ、さらにスターラで3日
間攪拌して、青色の着色分散液を調製した。このように
して、赤色、青色、緑色の着色分散液をそれぞれ別々に
作製した。
【0034】
【化1】
【0035】次いで、赤色顔料分散液中に前工程で得ら
れた基板を浸漬し、赤色の着色層用電極線の電極取り出
し窓口帯を用い、赤色の画素に対応する信号ラインを電
気的に選択し、参照電極として飽和甘コウ電極および陰
極としてアルミニウム板を利用し、ミセル電解を0.5
Vの電圧、25℃の温度で30分間の条件にして行っ
た。ミセル電解の処理終了後、純水で洗浄し、180℃
で1時間のベーキング処理を行い、画素電極126上に
赤色のカラーフィルタ128を形成した。一旦ミセル電
解により形成された膜は、ベーキング処理を行うことに
より、導電性を失う。
【0036】さらに、同様にして、緑色顔料分散液中に
前工程で得られた基板を浸漬し、緑色の画素に対応する
信号ラインを電気的に選択し、緑色のカラーフィルタ1
30を形成する。この時、先に形成した赤色のカラーフ
ィルタ128はベーキング処理により導電性を失ってい
るので、緑色のカラーフィルタ130が重なって付着す
ることはない。さらに同様にして、青色のカラーフィル
タ132を対応する画素に形成した。
【0037】ここで、各カラーフィルタの平均膜厚は、
それぞれ赤色のカラーフィルタ128が0.5μm、緑
色のカラーフィルタ130が0.4μmおよび青色のカ
ラーフィルタ132が0.6μmであった。
【0038】又、本実施形態においては、カラーフィル
タ128,130,132をミセル電解法により形成し
たが、電気化学的方法であればいずれでもよく、例えば
電着法により形成してもよい。
【0039】このようにして、R,G,Bのカラーフィ
ルタ128,130,132を画素電極を利用して薄膜
トランジスタと同一基板上に形成した。
【0040】次に、薄膜トランジスタへの入射光及び画
素電極間からの漏れ光を遮光するための遮光膜134を
黒色レジストを用いて形成した。また、この遮光膜13
4の形成と同時に見切り部110に黒色レジスト136
を形成した。
【0041】このように、TFT基板側にカラーフィル
タと遮光膜と見切り部とを有するので、対向基板にそれ
らを形成する必要が無いため、対向基板には対向電極及
び配向膜を形成しておけばよく、対向基板の作成工程が
簡単になる。又、TFT基板側にカラーフィルタを有す
るので対向基板との貼り合わせにおいて細かい精度の貼
り合わせが要求されない。従って、大がかりな貼り合わ
せ装置を必要としないので貼り合わせ工程を容易に行う
ことができる。
【0042】(実施の形態2)図3は、本発明の第2の
実施形態による液晶表示装置の画素3個分の断面図及び
画像表示領域周縁部の断面図である。図3を用いて第2
の実施形態を説明する。ソースバスライン120を形成
し、その上部に第2の層間絶縁膜122を形成するまで
は実施の形態1と同様である。本実施形態においては、
コンタクトホール124及び125を形成して画素電極
126を形成するとともにTFT上部に遮光膜134を
形成するための遮光膜用電極127さらに見切り部11
0に額縁形成用電極140を形成している。
【0043】次に、全てのソースバスライン120に電
圧を印加し、遮光膜用電極127を利用し、電着法によ
って遮光膜134を形成した。ここでソースバスライン
120に断線があると、このソースバスライン120に
接続された遮光膜用電極127には遮光膜が形成されな
い。従って、遮光膜を検査することによりバスラインの
検査を同時に行うことができ、修正用の配線を形成して
おけば断線の修復も行うことができる。ここで、本実施
形態においては、この遮光膜の形成と同時に見切り部形
成用電極140に電圧を印加して見切り部形成用電極1
40上部に遮光膜150を形成しこれを見切り部とし
た。このように、遮光膜と同一工程により見切り部を形
成するので、見切り部を形成するための新たな作成工程
が不要となる。
【0044】次に、画素電極126を利用して実施形態
1同様にR,G,Bのカラーフィルタ128,130,
132を順次形成した。
【0045】このように、本実施形態においてもTFT
基板側にカラーフィルタと遮光膜と見切り部とを有する
ので、対向基板にそれらを形成する必要が無いため、対
向基板には対向電極及び配向膜を形成しておけばよく、
対向基板の作成工程が簡単になる。又、TFT基板側に
カラーフィルタを有するので対向基板との貼り合わせに
おいて細かい精度の貼り合わせが要求されない。従っ
て、大がかりな貼り合わせ装置を必要としないので貼り
合わせ工程を容易に行うことができる。
【0046】(実施の形態3)図4は、本発明の第3の
実施形態による液晶表示装置の画素3個分の断面図及び
見切り部110の断面図である。図4を用いて第3の実
施形態を説明する。ソースバスライン120を形成し、
その上部に第2の層間絶縁膜122を形成し、コンタク
トホール124を形成するまでは実施の形態1と同様で
ある。本実施形態においては、画素電極126を形成す
る工程と同一工程で見切り部110に見切り部形成用電
極140を形成している。
【0047】次に、画素電極126を利用して実施形態
1と同様にR,G,Bのカラーフィルタ128,13
0,132を順次形成するが、Rのカラーフィルタ12
8形成時に見切り部形成用電極140にも電圧を印加し
て見切り部形成用電極140上部にRのカラーフィルタ
142を形成する。同様にして、Gのカラーフィルタ1
30形成時に見切り部形成用電極140にも電圧を印加
して見切り部形成用電極140上部にGのカラーフィル
タ144を形成する。又、Bのカラーフィルタ132形
成時に見切り部形成用電極140にも電圧を印加して見
切り部形成用電極140上部にBのカラーフィルタ14
6を形成する。
【0048】このようにして見切り部形成用電極140
上部は、R,G,Bのカラーフィルタが積層して黒色と
なり見切り部としての機能をもつようになる。
【0049】次に、薄膜トランジスタへの入射光及び画
素電極間からの漏れ光を遮光するための遮光膜134を
黒色レジストを用いて形成した。
【0050】このように、本実施形態においてもTFT
基板側にカラーフィルタと遮光膜と見切り部とを有する
ので、対向基板にそれらを形成する必要が無いため、対
向基板には対向電極及び配向膜を形成しておけばよく、
対向基板の作成工程が簡単になる。また、TFT基板側
にカラーフィルタを有するので対向基板との貼り合わせ
において細かい精度の貼り合わせが要求されない。従っ
て、大がかりな貼り合わせ装置を必要としないので貼り
合わせ工程を容易に行うことができる。
【0051】(実施の形態4)本発明の第4の実施形態
の液晶表示装置を図5に示す。絶縁性の例えばガラス基
板100上に画像表示領域108、ゲートドライバG
D、ソースドライバSDが配置されている。これらのド
ライバはアクティブ素子と同一工程で形成され、同一基
板上に配置される。ゲートドライバSDはゲートバスラ
イン102を通じて画素106に走査信号を供給する。
ソースドライバSDはソースバスライン104を通じて
画素106にデータ信号を供給する。
【0052】画像表示領域108周縁部には見切り部1
10が形成されているが、本実施形態においてはこの見
切り部をTFT基板上に形成するとともにゲートドライ
バGD及びソースドライバSD上部(斜線部)にも形成
している。
【0053】アクティブ素子を駆動するための駆動回路
が前記アクティブ素子と同一基板上に形成され、前記見
切り部は前記駆動回路上部にも形成されるので、この見
切り部により駆動回路に入射する光を遮光できるので入
射光による駆動回路の誤動作の心配が無い。又、実施形
態2及び実施形態3に示されるように見切り部を見切り
部形成用電極を利用して電気化学反応により形成すれ
ば、この電極が駆動回路をシールドするので駆動回路か
らの不要な電界が発生しない。
【0054】
【発明の効果】本発明は、アクティブ素子と、該アクテ
ィブ素子に信号を供給する配線と、該アクティブ素子に
導通された画素電極とを有し、該画素電極がマトリクス
状に配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基
板と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、第
1及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ、基板間に液晶
材料が封入された液晶表示装置において、第1の絶縁性
基板上には少なくともカラーフィルタと、画像表示領域
周辺部に設けられた見切り部とを有するので、対向基板
にカラーフィルタと見切り部を形成する必要が無く、対
向基板の作成工程が簡単になる。又、第1の絶縁性基板
側にカラーフィルタを有するので第2の絶縁性基板との
貼り合わせにおいて細かい精度の貼り合わせが要求され
ない。従って、大がかりな貼り合わせ装置を必要としな
い。
【0055】前記アクティブ素子上部にはアクティブ素
子に入射する光を遮光する遮光膜が形成されているの
で、対向基板には対向電極と液晶の配向を行う配向膜と
を形成しておけばよく、対向基板の作成工程が極めて単
純となる。
【0056】前記遮光膜は、見切り部と同一材料で形成
されているので、遮光膜と見切り部の形成工程が1回で
済み、新たな工程の付加が無い。
【0057】前記遮光膜及び見切り部は、電気化学反応
により形成されたものであるため、簡便に遮光膜を形成
でき、この遮光膜の目視検査を行えば画像表示領域のT
FTの検査も兼ねることができる。
【0058】前記見切り部は、R,G,Bの3色のカラ
ーフィルタが積層されて形成されたものであるため、画
素電極上部に3色のカラーフィルタを順次形成すると同
時に見切り部にも3色のカラーフィルタが順次積層され
るので、新たに見切り部を形成する工程を必要としな
い。
【0059】前記アクティブ素子を駆動するための駆動
回路が前記アクティブ素子と同一基板上に形成され、前
記遮光膜は前記駆動回路上部にも形成されるので、この
遮光膜により駆動回路に入射する光を遮光できるので入
射光による駆動回路の誤動作の心配が無い。又、遮光膜
を電極上に電気化学反応により形成すれば、この電極が
駆動回路をシールドするので駆動回路からの不要な電界
が発生しない。
【0060】本発明は、アクティブ素子と、該アクティ
ブ素子に信号を供給する配線と、該アクティブ素子に導
通された画素電極とを有し、該画素電極がマトリクス状
に配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基板
と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、前記
第1及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ、基板間に液
晶材料が封入された液晶表示装置の製造方法において、
前記第1の絶縁性基板にカラーフィルタを形成する工程
と、前記第1の絶縁性基板にアクティブ素子に入射する
光を遮光する遮光膜を形成する工程と、画像表示領域周
辺部に見切り部を形成する工程とを含むので、対向基板
にカラーフィルタと見切り部を形成する必要が無く、対
向基板の作成工程が簡単になる。又、第1の絶縁性基板
側にカラーフィルタが有するので第2の絶縁性基板との
貼り合わせにおいて細かい精度の貼り合わせが要求され
ない。従って、大がかりな貼り合わせ装置を必要としな
い。
【0061】前記カラーフィルタを形成する工程と、前
記画像表示領域周辺部に見切り部を形成する工程とは同
一工程であるので、3色のカラーフィルタの形成と同時
に見切り部が形成されるので新たな工程の付加が無い。
【0062】前記遮光膜を形成する工程と、前記画像表
示領域周辺部に見切り部を形成する工程とは同一工程で
あるので、遮光膜と見切り部の形成工程が1回で済み、
新たな工程の付加が無い。
【0063】前記遮光膜を形成する工程は、電気化学反
応を利用して遮光膜を形成する工程であるので、簡便に
遮光膜を形成でき、この遮光膜の目視検査を行えば画像
表示領域のTFTの検査も兼ねることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1の液晶表示装置の平面図で
ある。
【図2】図1のA−A断面図である。
【図3】本発明の実施形態2の液晶表示装置の要部断面
図である。
【図4】本発明の実施形態3の液晶表示装置の要部断面
図である。
【図5】本発明の実施形態4の液晶表示装置の平面図で
ある。
【図6】従来の液晶表示装置におけるTFT基板の平面
図である。
【図7】従来の液晶表示装置における対向基板の平面図
である。
【符号の説明】
100 ガラス基板 102 ゲートバスライン 104,120 ソースバスライン 106 画素 108 画像表示領域 110 見切り部 112 活性層 114 ゲート絶縁膜 116 ゲート電極 118 第1の層間絶縁膜 119,124 コンタクトホール 122 第2の層間絶縁膜 126 画素電極 128,130,132 カラーフィルタ 134 遮光膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−146402(JP,A) 特開 平6−281925(JP,A) 特開 平10−68969(JP,A) 特開 平3−6532(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/1335 505 G02F 1/1368 H01L 21/336 H01L 29/786

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アクティブ素子と、該アクティブ素子に
    信号を供給する配線と、該アクティブ素子に導通された
    画素電極とを有し、該画素電極がマトリクス状に配列さ
    れて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基板と、対向
    電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、前記第1及び
    第2の絶縁性基板が貼り合わされ基板間に液晶材料が封
    入された液晶表示装置において、前記第1の絶縁性基板
    上には、該画像表示領域内に形成されたカラーフィルタ
    と、画像表示領域最外部の画素電極に近接して設けられ
    見切り部と、該見切り部と同一材料で形成され、該ア
    クティブ素子上部に入射する光を遮光する遮光膜とを有
    することを特徴とする液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 前記遮光膜及び前記見切り部は電気化学
    反応により形成されたものであることを特徴とする請求
    記載の液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 アクティブ素子と、該アクティブ素子に
    信号を供給する配線と、該アクティブ素子に導通された
    画素電極とを有し、該画素電極がマトリクス状に配列さ
    れて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基板と、対向
    電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、前記第1及び
    第2の絶縁性基板が貼り合わされ基板間に液晶材料が封
    入された液晶表示装置において、前記第1の絶縁性基板
    上には、該画像表示領域内に形成されたカラーフィルタ
    と、画像表示領域最外部の画素電極に近接して設けられ
    た見切り部と、該アクティブ素子上部に入射する光を遮
    光する遮光膜とを有し、 該カラーフィルタは、赤色のカラーフィルタと、緑色の
    カラーフィルタと、青色のカラーフィルタとを含み、該
    見切り部は、該赤色のカラーフィルタと該緑色のカラー
    フィルタと該青色のカラーフィルタとが積層されている
    ことを特徴とする液晶表示装置
  4. 【請求項4】 前記アクティブ素子を駆動するための駆
    動回路が前記アクティブ素子と同一基板上に形成され、
    前記見切り部は前記駆動回路上部にも形成されているこ
    とを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置。
  5. 【請求項5】 アクティブ素子と、前記アクティブ素子
    に信号を供給する配線と、前記アクティブ素子に導通さ
    れた画素電極とを有し、前記画素電極がマトリクス状に
    配列されて画像表示領域を構成する第1の絶縁性基板
    と、対向電極を有する第2の絶縁性基板とを有し、前記
    第1及び第2の絶縁性基板が貼り合わされ基板間に液晶
    材料が封入された液晶表示装置の製造方法において、該第1の絶縁性基板上に、該アクティブ素子、該配線お
    よび該画素電極が形成された後に、該画像表示領域内の
    画素電極上 にカラーフィルタを形成する工程と、該第1の絶縁性基板上の該画像表示領域内において 前記
    アクティブ素子に入射する光を遮光する遮光膜を形成す
    る工程と、該第1の絶縁性基板上の画像表示領域最外部の画素電極
    に近接して 見切り部を形成する工程と含む液晶表示装
    置の製造方法。
  6. 【請求項6】 前記カラーフィルタを形成する工程と、
    前記画像表示領域最外部の画素電極に近接して見切り部
    を形成する工程とは同一工程であることを特徴とする請
    求項記載の液晶表示装置の製造方法。
  7. 【請求項7】 前記遮光膜を形成する工程と、前記画像
    表示領域最外部の画素電極に近接して見切り部を形成す
    る工程とは同一工程であることを特徴とする請求項
    載の液晶表示装置の製造方法。
  8. 【請求項8】 前記遮光膜を形成する工程は、電気化学
    反応を利用して遮光膜を形成する工程であることを特徴
    とする請求項記載の液晶表示装置の製造方法。
  9. 【請求項9】 前記カラーフィルタを形成する工程は、
    赤色のカラーフィルタと、緑色のカラーフィルタと、青
    色のカラーフィルタとを形成する工程であり、前記画像
    表示領域最外部の画素電極に近接して見切り部を形成す
    る工程は、該赤色のカラーフィルタと、該緑色のカラー
    フィルタと、該青色のカラーフィルタを積層した見切り
    部を形成する工程であることを特徴とする請求項6記載
    の液晶表示装置の製造方法
JP07102997A 1997-03-25 1997-03-25 液晶表示装置及びその製造方法 Expired - Fee Related JP3343645B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07102997A JP3343645B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 液晶表示装置及びその製造方法
US09/045,385 US6798474B2 (en) 1997-03-25 1998-03-20 LCD with light shielding on same insulator as pixel and extending beyond sealant inner surface

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07102997A JP3343645B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 液晶表示装置及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH10268288A JPH10268288A (ja) 1998-10-09
JP3343645B2 true JP3343645B2 (ja) 2002-11-11

Family

ID=13448701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07102997A Expired - Fee Related JP3343645B2 (ja) 1997-03-25 1997-03-25 液晶表示装置及びその製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6798474B2 (ja)
JP (1) JP3343645B2 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7821065B2 (en) * 1999-03-02 2010-10-26 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device comprising a thin film transistor comprising a semiconductor thin film and method of manufacturing the same
JP3376376B2 (ja) * 1999-03-19 2003-02-10 富士通ディスプレイテクノロジーズ株式会社 液晶表示装置及びそれを用いた電子機器
JP2001175198A (ja) * 1999-12-14 2001-06-29 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置およびその作製方法
TW494447B (en) 2000-02-01 2002-07-11 Semiconductor Energy Lab Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP3918412B2 (ja) * 2000-08-10 2007-05-23 ソニー株式会社 薄膜半導体装置及び液晶表示装置とこれらの製造方法
JP2002207215A (ja) * 2001-01-05 2002-07-26 Nec Viewtechnology Ltd 投写型液晶表示装置の液晶パネルおよびその製造方法
JP3811644B2 (ja) * 2001-12-12 2006-08-23 株式会社日立製作所 液晶表示装置
JP2003332045A (ja) * 2002-05-09 2003-11-21 Sanyo Electric Co Ltd エレクトロルミネッセンス表示装置及びその製造方法
KR20040077110A (ko) * 2003-02-28 2004-09-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 컬러필터 기판 및 그 제조방법
KR100945354B1 (ko) * 2004-06-29 2010-03-08 엘지디스플레이 주식회사 화소영역외곽부에 블랙매트릭스가 형성된 cot구조액정표시장치
US7884900B2 (en) * 2005-05-26 2011-02-08 Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. Liquid crystal display device with partition walls made of color filter layers as a dam for the light shielding material
JP5043415B2 (ja) * 2006-12-15 2012-10-10 株式会社ジャパンディスプレイイースト 表示装置
US10409102B2 (en) * 2016-09-08 2019-09-10 Japan Display Inc. Display device
CN107807480B (zh) * 2016-09-08 2021-04-20 株式会社日本显示器 显示装置
CN107015410B (zh) * 2017-05-26 2020-04-21 厦门天马微电子有限公司 一种阵列基板、显示面板和显示装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4538884A (en) * 1981-07-10 1985-09-03 Canon Kabushiki Kaisha Electro-optical device and method of operating same
US5365357A (en) * 1988-04-21 1994-11-15 Asahi Glass Company Ltd. Color liquid crystal display having color filters and light blocking layers in the periphery
KR960014823B1 (ko) * 1991-03-15 1996-10-21 가부시기가이샤 히다찌세이사구쇼 액정표시장치
JP3244552B2 (ja) 1992-12-09 2002-01-07 セイコーエプソン株式会社 アクティブ・マトリックス型表示装置及びその製造方法
EP0603866B1 (en) * 1992-12-25 2002-07-24 Sony Corporation Active matrix substrate
JP3258128B2 (ja) 1993-03-26 2002-02-18 出光興産株式会社 液晶表示パネルの製造方法
JP3210791B2 (ja) * 1993-11-30 2001-09-17 京セラ株式会社 カラー液晶表示装置の製造方法
JP3240858B2 (ja) * 1994-10-19 2001-12-25 ソニー株式会社 カラー表示装置
JP3072829B2 (ja) * 1994-12-27 2000-08-07 キヤノン株式会社 カラー液晶パネル
US6057900A (en) * 1995-02-09 2000-05-02 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Color liquid crystal display device and method for producing color filter substrate
US6081305A (en) * 1995-05-30 2000-06-27 Hitachi, Ltd. Liquid crystal light valve and projection type liquid crystal display using such valve
TW477905B (en) * 1995-06-14 2002-03-01 Hitachi Ltd Liquid crystal display device formed of high resistance black matrix with wide view angle
JPH0980416A (ja) * 1995-09-13 1997-03-28 Sharp Corp 液晶表示装置
JP3143592B2 (ja) * 1995-09-14 2001-03-07 キヤノン株式会社 表示装置
JP3143591B2 (ja) * 1995-09-14 2001-03-07 キヤノン株式会社 表示装置
JPH09138390A (ja) * 1995-09-14 1997-05-27 Canon Inc 液晶表示装置
JPH09105953A (ja) * 1995-10-12 1997-04-22 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 液晶表示装置
WO1997020251A1 (fr) * 1995-11-29 1997-06-05 Sanyo Electric Co., Ltd. Afficheur et procede de production de cet afficheur
JP3737176B2 (ja) * 1995-12-21 2006-01-18 株式会社半導体エネルギー研究所 液晶表示装置
KR970062775A (ko) * 1996-02-03 1997-09-12 구자홍 액정표시소자의 블랙매트릭스 및 그 제조방법
KR100209277B1 (ko) * 1996-04-25 1999-07-15 구자홍 박막트랜지스터 어레이 기판 및 그 제조방법
JPH1010516A (ja) * 1996-06-20 1998-01-16 Nec Corp カラー液晶表示装置
US6038006A (en) * 1996-09-02 2000-03-14 Casio Computer Co., Ltd. Liquid crystal display device with light shield and color filter overlapping two edges of pixel electrode
JP3475421B2 (ja) * 1996-09-18 2003-12-08 ソニー株式会社 液晶表示装置
JP3856889B2 (ja) * 1997-02-06 2006-12-13 株式会社半導体エネルギー研究所 反射型表示装置および電子デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US6798474B2 (en) 2004-09-28
JPH10268288A (ja) 1998-10-09
US20030076458A1 (en) 2003-04-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3420675B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JP3343645B2 (ja) 液晶表示装置及びその製造方法
US7872724B2 (en) Color filter substrate and liquid crystal display panel comprising the same
US20020008799A1 (en) Liquid crystal display unit
JPH09105953A (ja) 液晶表示装置
KR19980075921A (ko) 액정 표시 장치 및 그 액정 표시 장치의 제조 방법
JPH1020298A (ja) 液晶表示装置
JP2019152706A (ja) 表示装置及び表示装置の製造方法
JPH11212075A (ja) 液晶表示装置の製造方法
US20010030728A1 (en) Liquid crystal display and inspection method thereof
JP3125411B2 (ja) 液晶表示装置
US7009676B1 (en) Structure of a pad in a liquid crystal display device and a method for manufacturing thereof
US20040125293A1 (en) Integrated color filter and fabricating method thereof
JP2001356367A (ja) 液晶画像表示装置及び画像表示装置用半導体装置の製造方法
JP3323880B2 (ja) 液晶表示装置
JPH11183936A (ja) 液晶表示装置
JP3107777B2 (ja) カラー液晶パネルおよびその製造方法
JP3391304B2 (ja) 液晶画像表示装置と画像表示装置用半導体装置の製造方法
JP4674293B2 (ja) Mosトランジスタの製造方法
JP3152025B2 (ja) 絶縁ゲート型トランジスタおよびその製造方法
JPH06175121A (ja) 液晶表示装置
JP3284182B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
JPH1172801A (ja) 液晶表示装置
KR100469553B1 (ko) Tft 제조 방법
JP2004302382A (ja) 電気光学装置用基板及びその製造方法並びに電気光学装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20020731

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070830

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080830

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090830

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100830

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110830

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110830

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120830

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130830

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees