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JP2819523B2 - 印刷配線板及びその製造方法 - Google Patents

印刷配線板及びその製造方法

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JP2819523B2
JP2819523B2 JP4271303A JP27130392A JP2819523B2 JP 2819523 B2 JP2819523 B2 JP 2819523B2 JP 4271303 A JP4271303 A JP 4271303A JP 27130392 A JP27130392 A JP 27130392A JP 2819523 B2 JP2819523 B2 JP 2819523B2
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aluminum core
core material
copper
plating
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周市 遠藤
基 菅
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インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はアルミニウム等の金属材
料を芯材とする印刷配線板(PWB:Printed
Wiring Board)に関する。
【0002】
【従来の技術】印刷配線板には有機絶縁材料を芯材とす
るもの、セラミック等の無機絶縁材料を芯材とするも
の、及び、金属材料を芯材とする金属芯基板(Meta
l Cored Board)とが知られている。此等
の内、金属材料、特にアルミニウムを芯材とする基板
は、放熱性や機械的強度等に優れており、近年の高密度
実装用の基板に適している。アルミニウムを芯材とする
従来の金属芯基板は、例えば特開昭61−13155
2、同62−132392、及び、同63−98179
に記載されているように、アルミニウム芯材の上に有機
絶縁層が形成され、有機絶縁層の上に配線層が形成され
ている構造が一般的であった。アルミニウム芯材の表面
には酸化アルミニウムが形成されているのが通常である
と思われる。
【0003】ところが、このような従来構造では、アル
ミニウム芯材と有機絶縁層との接着力が十分でなく、高
温多湿な環境下では有機絶縁層がアルミニウム芯材から
剥離する場合があった。また、このような従来構造で
は、アルミニウム芯材に形成したスルーホール用貫通孔
の内周面上に導電路用の銅メッキを形成しようとする
と、銅メッキ工程で使用する強アルカリ液によってアル
ミニウム芯材が侵食されてしまうという問題があった。
また、特開昭62−48089の第2図には、アルミニ
ウム芯材等の金属芯1の上にニッケル等の易半田性金属
のメッキ層2が形成され、その上に接着剤層5を介して
電気絶縁層3が形成された金属芯基板が示されている。
しかし、接着剤層5として示されているのは、有機材系
の接着剤の範囲に限られており、メッキ層2と電気絶縁
層3との間の接着力は必ずしも十分ではなかく、前述の
従来構造と同様に、高温多湿な環境下で有機絶縁層がア
ルミニウム芯材から剥離する場合があった。
【0004】
【解決しようとする問題点】本発明の目的は、アルミニ
ウム芯材と有機絶縁層とが強固に接着されているために
高温多湿下でも有機絶縁層のアルミニウム芯材からの剥
離がなく、また、アルミニウム芯材を、製造で用いられ
る強アルカリ液から保護することができ、さらに、スル
ーホール内の銅メッキを行うことも容易な、アルミニウ
ム芯材の印刷配線板及びその製造方法を提供することで
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本発明は、選択された位置にスルーホール用貫通孔を
有するアルミニウム芯材上に、ニッケル層及び接着強化
用金属酸化物層(例えば、銅黒化処理層)を介して有機
絶縁層を形成する。接着力強化用金属酸化物層を利用す
ることにより、有機樹脂材系の接着剤を利用する場合よ
りも、有機絶縁層のアルミニウム芯材からの剥離を有効
に防止することができる。また、ニッケル層は、アルミ
ニウム芯材の表面の酸化物層を除去した後、水洗及び表
面活性化処理工程を経て、ニッケルメッキのための下地
層なしでアルミニウム芯材上に無電解メッキで形成され
る。ニッケル層は、スルーホール用貫通孔を含むアルミ
ニウム芯材の領域上にメッキ形成され、銅メッキの過程
および接着力強化用金属酸化物層の形成過程で用いられ
る強アルカリ液による侵食からアルミニウム芯材を保護
すると共に、スルーホール内の銅メッキのための良質の
下地を与える。
【0006】
【実施例】図1には本発明に係る印刷配線板の一実施例
が示されている。アルミニウム芯材1を芯材とする印刷
配線板にはスルーホール2が形成されている。アルミニ
ウム芯材1の表面は保護用金属メッキ層としてのニッケ
ル層3により覆われている。ニッケル層3の表面は、接
着力強化用金属酸化物層としての黒化処理された銅層4
により覆われている。アルミニウム芯材1の上には此等
のニッケル層3及び黒化処理銅層4を介して有機絶縁層
としてのエポキシ・プリプレグ層5が積層されている。
【0007】酸化処理の一種である黒化処理を施された
銅層4は針状構造となり、表面積が増大しており、エポ
キシ・プリプレグ層5とアルミニウム芯材1との間の接
着力を強固にする。後に詳述するように、黒化処理され
た銅層4を形成するには、先ず銅メッキを施し、その
後、銅メッキ層に対して黒化処理を施す。銅メッキの際
には強アルカリ液中にアルミニウム芯材1を浸すことに
なるが、強アルカリ液はアルミニウム芯材1を侵食して
しまう。ところが、アルミニウム芯材1はニッケル層3
により保護されており、強アルカリ液によってもアルミ
ニウム芯材1は侵食されない。ニッケル層3のこのよう
な保護作用は、酸化アルミニウム層によっては得られな
い。
【0008】ニッケル層3の働きは、強アルカリ液から
のアルミニウム芯材1の保護に止どまらず、銅メッキ層
を黒化処理する工程からもアルミニウム芯材1を保護す
る。更に、ニッケル層3はアルミニウム芯材1と金属間
結合により強固に結合し、銅メッキ層とも強固に結合す
る。そのため、エポキシ・プリプレグ層5をアルミニウ
ム芯材1に強固に結合させることができる。
【0009】エポキシ・プリプレグ層5の上には配線層
としての銅配線層6が形成され、銅配線層6の上には半
田層7が形成されている。銅配線層6及び半田層7はス
ルーホール2内にも形成されている。エポキシ・プリプ
レグ層5の表面の銅配線層6が形成された領域以外の領
域にはソルダー・レジスト層8が形成されている。
【0010】次に、図2乃至図16をも参照して、本発
明に係る製造方法の一実施例について説明する。図2に
示されるようなアルミニウム芯材1に穴明け加工して、
図3に示されるように、スルーホール用貫通孔12を形
成する。次ぎに、図4に示されるように、スルーホール
用貫通孔12を含むアルミニウム芯材1の表面にニッケ
ル層3を形成する。
【0011】ニッケル層3の形成方法の例を詳述する。
先ず、アルミニウム芯材1を脱脂液に浸して脱脂する。
例えば、奥野製薬のトップアクリン160の濃度40か
ら60g/lで液温度が55から60度Cの溶液中にア
ルミニウム芯材1を6分間浸す。脱脂したアルミニウム
芯材1を水洗し、中和し、更に水洗する。中和処理は、
例えば、アルミニウム芯材1を、濃度350から450
g/lにした硝酸67%溶液中に常温で1分間浸すこと
により行う。次に、アルミニウム芯材1をエッチングし
てアルミニウム芯材1の表面の酸化アルミニウム層を除
去する。このエッチングは、例えば、アルミニウム芯材
1を濃度75から100g/l、液温度55から60度
Cの苛性ソーダ中に30から90秒間浸すことにより行
う。
【0012】酸化アルミニウム層を除去した後、アルミ
ニウム芯材1を水洗し、前述の場合と概ね同様の条件で
中和し、更に水洗する。次に20から30度Cのデスマ
ット(脱スマット)液、例えば、奥野製薬のADD32
0中に20から30秒間アルミニウム芯材1を浸して、
アルミニウム芯材1の表面を活性デスマット処理し、水
洗し、更に、シャワー水洗する。活性デスマット処理
は、スマット(smut)と呼ばれる表面の汚れの除去と表
面の活性化を行う処理であり、奥野製薬のADD320
は、硝酸60重量%、フッ化水素4重量%、硫酸ナトリ
ウム22重量%を含み、残りの成分として、水および微
量の調整剤を含む混合液である。
【0013】次に、アルミニウム芯材1の表面に無電解
メッキによりニッケル層3を形成する。メッキ液は、例
えば、Ni濃度が5.0から5.7g/lでpHが4.
3から4.7で、メッキ時間は8から40分間で、メッ
キ温度は85から92度Cである。メッキ液は、例え
ば、奥野製薬のトップニコロンBLを用いることができ
る。奥野製薬のトップニコロンBLは、ニッケル・イオ
ン源としてのニッケル塩、還元剤としての次亜リン酸
塩、および錯化剤を含む無電解ニッケル・メッキ液であ
る。アルミニウム芯材1にニッケル層3を形成した後、
アルミニウム芯材1を水洗し、湯洗し、純水洗し、80
度C前後で乾燥する。
【0014】次に、図5に示されるように、ニッケル層
3上に銅層14を無電解メッキにより形成する。先ず、
アルミニウム芯材1を脱脂処理する。50から60度C
の処理温度で溶剤中にアルミニウム芯材1を浸漬して予
備脱脂した後、45から55度Cの処理温度でアルミニ
ウム芯材1を脱脂液中に4分間浸漬することにより、蒸
気脱脂する。予備脱脂処理用の溶剤として関東電化のト
ライセンを用いることができる。煮沸脱脂の脱脂液とし
て奥野製薬のエースクリーン5300を用いることがで
きる。水洗後、電解脱脂し、水洗する。電解脱脂は、濃
度45から55g/lの苛性ソーダ中に、処理温度30
から45度Cで、アルミニウム芯材1を2分30秒間浸
漬して行う。苛性ソーダとしては関東電化のトップクリ
ーナーEを用いることができる。
【0015】電解脱脂処理の後、アルミニウム芯材1を
水洗し、塩酸に浸漬し、再び水洗する。塩酸浸漬には3
5%塩酸溶液を用いる。次に、シアン中和処理をする。
シアン中和処理にはシアン中和液として濃度が40から
50g/lの遊離青化ソーダを用いる。次に、アルミニ
ウム芯材1にストライク銅メッキ処理を施す。ストライ
ク銅メッキに用いるメッキ液は、濃度100g/l以下
の炭酸ソーダ、濃度35から45g/lの青化第一銅、
及び濃度8から12g/lの遊離青化ソーダから成る。
処理温度は45から55度C、処理時間は45秒であ
る。
【0016】ストライク銅メッキ処理に続いて、アルミ
ニウム芯材1に銅メッキ処理を施す。この銅メッキに用
いるメッキ液は、濃度100g/l以下の炭酸ソーダ、
濃度60から100g/lの青化第一銅、及び濃度8か
ら10g/lの遊離青化ソーダから成る。処理温度は5
0から60度C、処理時間は8分である。銅メッキ処理
の後、アルミニウム芯材1を水洗する。
【0017】次に、銅層14を黒化処理して、図6に示
されるように、黒化処理された銅層4を形成する。銅層
14の黒化処理は以下のようにして行うことができる。
先ず、銅層14をソフトエッチング処理する。このソフ
トエッチングに用いるエッチング液は塩酸及び塩化第二
銅から成り、処理温度は30度Cで、処理時間は1分3
0秒である。ソフトエッチング処理の後、銅層14の表
面を30度Cの塩酸に2分30秒間浸漬することにより
活性化処理し、純水で水洗する。次に、水酸化ナトリウ
ムと過硫酸カリウムとから成る処理液によってアルミニ
ウム芯材1を60度Cで3分30秒間処理することによ
り、銅層14を黒化処理し、次いで、アルミニウム芯材
1を乾燥させる。
【0018】次に、アルミニウム芯材1の上下にエポキ
シ・プリプレグを重ね、更に、その上から銅箔を重ねた
後、これらを熱圧着して積層化して、図7に示されるよ
うに、エポキシ・プリプレグ層5及び銅箔16を形成す
る。スルーホール用貫通孔12は、エポキシ・プリプレ
グの熱圧着の際にエポキシ・プリプレグから滲み出たエ
ポキシ樹脂分により閉塞される。エポキシ・プリプレグ
から滲み出たエポキシ樹脂分の分量がスルーホール用貫
通孔12を閉塞するのに十分ではない場合は、スルーホ
ール用貫通孔12内に適当量のエポキシ樹脂分を予め詰
めておいてもよい。
【0019】次に、図8に示されるように、ドリリング
加工によりエポキシ・プリプレグ層5にスルーホール用
貫通孔22を穿孔形成する。ドリリングの後処理(バリ
取り処理)として、積層体を日本マクダーミットの提供
するマーキュータイザー9204により38度C下で5
分間処理した後、同社のマーキュータイザー9275及
び9276により75度C下で6分間処理した後、同社
のマーキュータイザー9279により43度C下で1分
間処理してもよい。
【0020】次に、図9に示されるように、スルーホー
ル用貫通孔22を含む積層体表面を無電解メッキして銅
の薄メッキ層26を形成する。この無電解メッキは以下
のようにして行うことができる。例えば、日立化成のC
LC201などの脱脂剤により脱脂処理した後、25度
Cの過硫安により2分間のソフトエッチングを施する。
その後、20度Cの食塩溶液により表面を活性化し、日
立化成のHS−201により感性化処理し(25度C、
6分間)、日立化成のADP301により密着性促進の
ための処理(25度C、6分間)をする。この後、銅の
無電解メッキ液として日立化成のCUST201を用い
て無電解メッキ(22度C、15分間)を施し、エポキ
シ・プリプレグ層5の上に銅の薄メッキ層26を形成す
る。
【0021】次に、銅の電解メッキを施して、図10に
示されるように、銅の厚メッキ層36を形成する。この
電解メッキは以下のようにして行うことができる。先
ず、積層体を希硫酸(10%)により酸洗(25度C、
1分間)した後、一次電解メッキを行う。一次電解メッ
キは、例えば、メッキ液として上村工業のピロブライト
66、67を用いることができる。処理温度は55度
C、処理時間は4分間である。
【0022】次に、二次電解メッキを行う。二次電解メ
ッキは、例えば、メッキ液としてメルテックスのカッパ
ーグリムPCMを用いることができる。処理温度は25
度C、処理時間は30から50分間である。二次電解メ
ッキの前には、脱脂処理、ソフトエッチング、及び、酸
洗を行う。脱脂処理にはメルテックスのPC455を用
いることができ(30度C、4分間)、ソフトエッチン
グには三菱ガス化学のCPE−500を用いることがで
き(25度C、2分間)、酸洗には希硫酸を用いること
ができる(25度C、3分間)。
【0023】次に、銅メッキ層36の上に、感光性のド
ライ・フィルム(フォト・レジスト)を重ね、このドラ
イ・フィルムを配線パターンを通して露光し、現像し
て、図11に示されるように、ドライ・フィルム・マス
キング層37を形成する。ドライ・フィルムとしてはデ
ュポン社のリストン・タイプ1020を用いることがで
きる。次に、図12に示されるように、ドライ・フィル
ム・マスキング層37によりマスクされていない部分に
電解メッキにより半田パターン層38を形成する。半田
パターン層38は、銅の厚メッキ層36を後にエッチン
グして銅の配線パターンを形成する際のレジストとして
使用するためのものである。この半田メッキ処理のメッ
キ液としてメルテックスのプルティンLAを用いること
ができる(25度C、9から12分間)。
【0024】次に、塩化メチレン等のレジスト用溶剤に
より、図13に示されるように、ドライ・フィルム・マ
スキング層37を除去して、銅メッキ層36の上に半田
パターン層38だけを残す。レジスト用溶剤としては、
徳山曹達のAP−205Aを用いることができる。この
後、図14に示されるように、半田パターン層38に覆
われている部分以外の銅メッキ層36をエッチング除去
する。エッチング剤としてはメルテックスのA−プロセ
スを用いることができる。例えば、処理温度は30度
C、処理時間は50から60秒間である。このような半
田パターン層38をエッチング用レジストとした銅メッ
キ層36のエッチングにより半田パターン層38の下に
銅配線層6が残される。
【0025】次に、図15に示されるように、銅配線層
36の上から半田パターン層38を剥離する。半田パタ
ーン層38の剥離は硝酸系のエッチング液により半田を
溶解して行う。そのようなエッチング液としてメックの
S−81を用いることができる。例えば、処理温度は4
0から45度C、処理時間は80から90秒間である。
次に、図16に示されるように、ソルダー・レジスト層
8を、銅配線層36以外のエポキシ・プレプレグ層5の
表面上に形成する。ソルダー・レジスト層8の形成は、
積層体を脱錆処理した後、感光性のソルダー・レジスト
液を印刷法により塗布し、配線パターンを通して露光
し、現像して形成することができる。
【0026】脱錆及び密着処理剤としては日本表面化学
(株)のCB−530を用いることができる。このと
き、例えば、処理温度は27から30度C、処理時間は
10秒前後である。感光性のソルダー・レジスト液とし
てを印刷塗布し、配線パターンを通して露光し、現像
し、加熱硬化処理(例えば、140度Cにて)して形成
することができる。脱錆及び密着処理剤としては日本表
面化学(株)のCB−530を用いることができる。こ
のとき、例えば、処理温度は27から30度C、処理時
間は10秒前後である。感光性のソルダー・レジスト液
としてはエポキシ樹脂を主成分とする太陽インキ(株)
のPSR−4000を用いることができる。ソルダー・
レジスト層8の上にシルク印刷により各種の印を付けて
もよい。
【0027】次に、図1に示されるように、銅配線層6
の上にだけ半田層7を形成する。半田層7は銅配線層6
の酸化を防止するとともに銅配線層6への半田付けを良
くするためのものである。表面処理剤で積層体の表面を
処理した後に、積層体を半田液中に浸漬すると銅配線層
6の上にだけ半田層7が付着形成される。表面処理剤と
してはメック(株)のCA−91を用いることができ
る。例えば、処理温度は30度C、処理時間は10から
20秒間である。半田液としてはソルコート(株)のソ
ルコートH63A(半田)を用いることができる半田層
7の上にフラックス層を形成してもよい。フラックス層
は、例えば、メック(株)のW−139(フラックス)
を利用して形成してもよい。
【0028】このような本実施例によれば、ニッケル層
3により、銅メッキ層14の形成過程で使用する強アル
カリ液からアルミニウム芯材1を保護できるので、エポ
キシ・プリプレグ層5をアルミニウム芯材1上に接着さ
せるために、接着作用の極めて強力な黒化処理された銅
層4を用いることができるようになった。しかも、ニッ
ケル層3は銅配線層6をメッキ形成する際に使用する強
アルカリ液からもアルミニウム芯材1を保護するので、
銅メッキ処理を多数回繰り返すような多層構造の印刷配
線板の形成を行ってもアルミニウム芯材が侵食されない
という効果がある。また、スルーホールに銅メッキを直
接的に形成できるという効果がある。
【0029】尚、前記実施例では、アルミニウムを芯材
としたが、アルミニウム以外の金属、例えば、アルミニ
ウム合金、マグネシウム、マグネシウム合金等を芯材と
する場合にも本発明は適用できる。また、保護用金属メ
ッキ層はニッケル層であったが、他の金属層、例えばク
ロム層、鉄層等であってもよい。また、有機材絶縁層は
エポキシ・プリプレグ層であったが、エポキシ・プリプ
レグ層以外の有機材より成る絶縁層であってもよい。
【発明の効果】本発明によれば、金属芯材と有機絶縁層
とが強固に接着されているために高温多湿下でも有機絶
縁層の金属芯材からの剥離がなく、また、スルーホール
内の銅メッキを行うことも容易な、金属芯材の印刷配線
板及びその製造方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る印刷配線板の一実施例の構造を示
す断面図である。
【図2】前記実施例の金属芯材としてのアルミニウム芯
材の構造を示す断面図である。
【図3】前記実施例のアルミニウム芯材にスルーホール
が形成された構造を示す断面図である。
【図4】前記実施例のアルミニウム芯材に保護用金属メ
ッキ層としてのニッケル層が形成された構造を示す断面
図である。
【図5】前記実施例の前記ニッケル層の上に銅層が形成
された構造を示す断面図である。
【図6】前記実施例の前記銅層が黒化処理された構造を
示す断面図である。
【図7】前記実施例の前記銅層の上に有機材絶縁層とし
てのエポキシ・プリプレグ層及び銅箔層が形成された構
造を示す断面図である。
【図8】前記実施例の前記エポキシ・プリプレグ層及び
銅箔層のスルーホール部分が穿孔されたときの構造を示
す断面図である。
【図9】前記実施例の積層体に銅の薄メッキ層が形成さ
れたときの構造を示す断面図である。
【図10】前記実施例の銅の薄メッキ層の上に銅の厚メ
ッキ層が形成されたときの構造を示す断面図である。
【図11】前記実施例の銅の厚メッキ層の上にドライ・
フィルム・マスキング層が形成されたときの構造を示す
断面図である。
【図12】前記実施例の銅の厚メッキ層の上に半田パタ
ーン層が形成されたときの構造を示す断面図である。
【図13】前記実施例の銅の厚メッキ層の上からドライ
・フィルム・マスキング層が除去されたときの構造を示
す断面図である。
【図14】前記実施例の半田パターン層の下の銅の厚メ
ッキ層を残してエポキシ・プリプレグ層5の上から銅の
厚メッキ層が除去されたときの構造を示す断面図であ
る。
【図15】前記実施例の半田パターン層が除去されたと
きの構造を示す断面図である。
【図16】前記実施例のソルダー・レジスト層が形成さ
れたときの構造を示す断面図である。
【符号の説明】
1 金属芯材としてのアルミニウム芯材 2 スルーホール 3 保護用金属層としてのニッケル層 4 接着強化用金属酸化物層としての黒化処
理された銅層 5 有機材絶縁層としてのエポキシ・プリプ
レグ層 6 配線層としての銅配線層 7 半田層 8 ソルダー・レジスト層 12、22 スルーホール用貫通孔 14 銅メッキ層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 平2−42467(JP,U) 実開 平1−165672(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H05K 1/00

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】アルミニウム芯材の選択された位置にスル
    ーホール用貫通孔を形成し、前記スルーホール用貫通孔
    を含む前記アルミニウム芯材の領域上にニッケル層をメ
    ッキ形成し、前記ニッケル層上に銅層をメッキ形成し、
    前記銅層を黒化処理し、前記黒化処理した銅層上に有機
    材絶縁層を形成し、前記有機材絶縁層上に配線層を形成
    する、印刷配線板の製造方法であって、 前記ニッケル層の形成は、前記アルミニウム芯材の表面
    の酸化物層を除去した後、水洗及び表面活性化処理工程
    を経て、ニッケルメッキのための下地層なしで前記アル
    ミニウム芯材上にニッケル層を無電解メッキすることを
    特徴とする、印刷配線板の製造方法。
  2. 【請求項2】選択された位置にスルーホール用貫通孔を
    有するアルミニウム芯材と、前記アルミ芯材を強アルカ
    リ液から保護するために、前記スルーホール用貫通孔を
    含む前記アルミニウム芯材の領域上に形成されたニッケ
    ルメッキ層と、前記アルミニウム芯材に対する接着性を
    強化するために前記ニッケルメッキ層の上に形成された
    接着力強化用金属酸化物層と、前記接着力強化用金属酸
    化物層の上に形成された有機絶縁層と、前記有機絶縁層
    の上に形成された配線層とを含み、前記ニッケルメッキ
    層は、前記アルミニウム芯材の表面の酸化物層を除去
    後、水洗及び表面活性化処理工程を経て、ニッケルメッ
    キのための下地層なしで前記アルミニウム芯材上に無電
    解メッキにより付着されることを特徴とする、印刷配線
    板。
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US08/132,020 US5374788A (en) 1992-10-09 1993-10-05 Printed wiring board and manufacturing method therefor
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9609737B2 (en) 2013-12-20 2017-03-28 Hyundai Motor Company Heat dissipation printed circuit board and manufacturing method thereof

Families Citing this family (98)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5541567A (en) * 1994-10-17 1996-07-30 International Business Machines Corporation Coaxial vias in an electronic substrate
US6547974B1 (en) * 1995-06-27 2003-04-15 International Business Machines Corporation Method of producing fine-line circuit boards using chemical polishing
US5699613A (en) * 1995-09-25 1997-12-23 International Business Machines Corporation Fine dimension stacked vias for a multiple layer circuit board structure
US5774336A (en) * 1996-02-20 1998-06-30 Heat Technology, Inc. High-terminal conductivity circuit board
KR100209259B1 (ko) * 1996-04-25 1999-07-15 이해규 Ic 카드 및 그 제조방법
US6193789B1 (en) * 1996-06-03 2001-02-27 Hideo Honma Electroless copper plating solution and method for electroless copper plating
US5884397A (en) * 1996-08-06 1999-03-23 International Business Machines Corporation Method for fabricating chip carriers and printed circuit boards
US5981880A (en) * 1996-08-20 1999-11-09 International Business Machines Corporation Electronic device packages having glass free non conductive layers
US6093335A (en) * 1996-08-28 2000-07-25 International Business Machines Corporation Method of surface finishes for eliminating surface irregularities and defects
US5878487A (en) * 1996-09-19 1999-03-09 Ford Motor Company Method of supporting an electrical circuit on an electrically insulative base substrate
US5847327A (en) * 1996-11-08 1998-12-08 W.L. Gore & Associates, Inc. Dimensionally stable core for use in high density chip packages
US6835895B1 (en) * 1996-12-19 2004-12-28 Ibiden Co., Ltd. Printed wiring board and method for manufacturing the same
US5949030A (en) * 1997-11-14 1999-09-07 International Business Machines Corporation Vias and method for making the same in organic board and chip carriers
US6332835B1 (en) * 1997-11-20 2001-12-25 Canon Kabushiki Kaisha Polishing apparatus with transfer arm for moving polished object without drying it
DE19756818A1 (de) * 1997-12-19 1999-06-24 Bosch Gmbh Robert Mehrlagen-Leiterplatte
US6184469B1 (en) * 1998-06-25 2001-02-06 Mario W. Conti Two joined insulated ribbon conductors
US6085415A (en) * 1998-07-27 2000-07-11 Ormet Corporation Methods to produce insulated conductive through-features in core materials for electric packaging
MY139405A (en) * 1998-09-28 2009-09-30 Ibiden Co Ltd Printed circuit board and method for its production
US6068130A (en) * 1999-02-05 2000-05-30 Lucent Technologies Inc. Device and method for protecting electronic component
TW411737B (en) * 1999-03-09 2000-11-11 Unimicron Technology Corp A 2-stage process to form micro via
US6188027B1 (en) * 1999-06-30 2001-02-13 International Business Machines Corporation Protection of a plated through hole from chemical attack
JP2001024297A (ja) * 1999-07-09 2001-01-26 Nippon Mektron Ltd 可撓性多層回路基板のスル−ホ−ル導通構造及びその形成法
JP3485507B2 (ja) * 1999-10-25 2004-01-13 沖電気工業株式会社 半導体装置
AU2461801A (en) * 1999-12-28 2001-07-09 Intel Corporation Interconnect structure and method of fabrication therefor
US6206708B1 (en) * 2000-01-13 2001-03-27 Lucent Technologies, Inc. Through via plate electrical connector and method of manufacture thereof
SE523150C2 (sv) 2000-01-14 2004-03-30 Ericsson Telefon Ab L M Kretsmönsterkort och metod för tillverkning av kretsmönsterkort med tunt kopparskikt
US6441479B1 (en) * 2000-03-02 2002-08-27 Micron Technology, Inc. System-on-a-chip with multi-layered metallized through-hole interconnection
US6759596B1 (en) * 2000-05-12 2004-07-06 Shipley Company Sequential build circuit board
TW525417B (en) * 2000-08-11 2003-03-21 Ind Tech Res Inst Composite through hole structure
JP2002252446A (ja) * 2001-02-23 2002-09-06 Sony Chem Corp フレキシブル配線基板の製造方法
US6617526B2 (en) * 2001-04-23 2003-09-09 Lockheed Martin Corporation UHF ground interconnects
JP2002353588A (ja) * 2001-05-29 2002-12-06 Mitsubishi Electric Corp 配線基板及び配線基板の製造方法
TW569653B (en) * 2001-07-10 2004-01-01 Fujikura Ltd Multilayer wiring board assembly, multilayer wiring board assembly component and method of manufacture thereof
JP2003031719A (ja) * 2001-07-16 2003-01-31 Shinko Electric Ind Co Ltd 半導体パッケージ及びその製造方法並びに半導体装置
WO2003021184A1 (en) * 2001-09-04 2003-03-13 Zygo Corporation Rapid in-situ mastering of an aspheric fizeau
US6459047B1 (en) * 2001-09-05 2002-10-01 International Business Machines Corporation Laminate circuit structure and method of fabricating
US6848177B2 (en) * 2002-03-28 2005-02-01 Intel Corporation Integrated circuit die and an electronic assembly having a three-dimensional interconnection scheme
US20030183943A1 (en) * 2002-03-28 2003-10-02 Swan Johanna M. Integrated circuit die and an electronic assembly having a three-dimensional interconnection scheme
US6908845B2 (en) * 2002-03-28 2005-06-21 Intel Corporation Integrated circuit die and an electronic assembly having a three-dimensional interconnection scheme
JP3956204B2 (ja) * 2002-06-27 2007-08-08 日本特殊陶業株式会社 積層樹脂配線基板及びその製造方法、積層樹脂配線基板用金属板
US7271349B2 (en) * 2002-09-04 2007-09-18 Intel Corporation Via shielding for power/ground layers on printed circuit board
US20040107569A1 (en) * 2002-12-05 2004-06-10 John Guzek Metal core substrate packaging
KR100499004B1 (ko) * 2002-12-18 2005-07-01 삼성전기주식회사 광비아홀을 구비하는 인쇄회로기판 및 가공 공정
JP2004327690A (ja) * 2003-04-24 2004-11-18 Fuji Xerox Co Ltd プリント配線基板
US7071012B2 (en) * 2003-07-05 2006-07-04 Micron Technology, Inc. Methods relating to the reconstruction of semiconductor wafers for wafer-level processing
US7345350B2 (en) * 2003-09-23 2008-03-18 Micron Technology, Inc. Process and integration scheme for fabricating conductive components, through-vias and semiconductor components including conductive through-wafer vias
US7101792B2 (en) * 2003-10-09 2006-09-05 Micron Technology, Inc. Methods of plating via interconnects
US7316063B2 (en) * 2004-01-12 2008-01-08 Micron Technology, Inc. Methods of fabricating substrates including at least one conductive via
CN101887880B (zh) 2004-02-04 2012-11-14 揖斐电株式会社 多层印刷电路板
KR100651414B1 (ko) * 2004-02-13 2006-11-29 삼성전기주식회사 동축 비아홀을 구비한 인쇄회로기판
US7382629B2 (en) * 2004-05-11 2008-06-03 Via Technologies, Inc. Circuit substrate and method of manufacturing plated through slot thereon
TWI249978B (en) * 2004-05-11 2006-02-21 Via Tech Inc Circuit substrate and manufacturing method of plated through slot thereof
US7129567B2 (en) * 2004-08-31 2006-10-31 Micron Technology, Inc. Substrate, semiconductor die, multichip module, and system including a via structure comprising a plurality of conductive elements
SG135065A1 (en) 2006-02-20 2007-09-28 Micron Technology Inc Conductive vias having two or more elements for providing communication between traces in different substrate planes, semiconductor device assemblies including such vias, and accompanying methods
US7307022B2 (en) * 2004-11-19 2007-12-11 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Method of treating conductive layer for use in a circuitized substrate and method of making said substrate having said conductive layer as part thereof
TWI416557B (zh) * 2004-12-07 2013-11-21 Multi Fineline Electronix Inc 微型變壓器、多層印刷線路、線路,以及用於形成鍍通孔以及絕緣的導體通孔的方法
US7436282B2 (en) 2004-12-07 2008-10-14 Multi-Fineline Electronix, Inc. Miniature circuitry and inductive components and methods for manufacturing same
TWI291382B (en) * 2004-12-08 2007-12-21 Ind Tech Res Inst Method of forming a metal thin film with micro holes by ink-jet printing
US20060237227A1 (en) * 2005-04-26 2006-10-26 Shiyou Zhao Circuit board via structure for high speed signaling
US7169313B2 (en) * 2005-05-13 2007-01-30 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Plating method for circuitized substrates
KR100723489B1 (ko) * 2005-06-17 2007-05-31 삼성전자주식회사 신뢰성을 개선할 수 있는 반도체 장치 및 그 제조방법
JP2007027451A (ja) * 2005-07-19 2007-02-01 Shinko Electric Ind Co Ltd 回路基板及びその製造方法
KR100797698B1 (ko) * 2005-09-27 2008-01-23 삼성전기주식회사 고밀도 인쇄회로기판 제조방법
US7834274B2 (en) * 2005-12-30 2010-11-16 Industrial Technology Research Institute Multi-layer printed circuit board and method for fabricating the same
US7910156B2 (en) * 2007-03-30 2011-03-22 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Method of making circuitized substrate with selected conductors having solder thereon
KR100861619B1 (ko) * 2007-05-07 2008-10-07 삼성전기주식회사 방열 인쇄회로기판 및 그 제조방법
CN101340775B (zh) * 2007-07-06 2010-06-09 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 软性电路板及其制造方法
CN101478862A (zh) * 2008-11-29 2009-07-08 鸿源科技(杭州)有限公司 多层高密度互连印制电路板盲孔、埋孔填孔工艺
KR100990546B1 (ko) * 2008-12-08 2010-10-29 삼성전기주식회사 비아 단부에 매립된 도금패턴을 갖는 인쇄회로기판 및 이의제조방법
US8198551B2 (en) * 2010-05-18 2012-06-12 Endicott Interconnect Technologies, Inc. Power core for use in circuitized substrate and method of making same
US9307633B2 (en) * 2011-03-28 2016-04-05 Lg Chem, Ltd. Conductive structure, touch panel, and method for manufacturing same
KR101308485B1 (ko) * 2011-11-23 2013-09-25 이남철 알루미늄 표층을 갖는 동장적층판 제조방법 및 동장적층판을 이용한 인쇄회로기판
CN103260345B (zh) * 2013-04-24 2016-08-03 广东生益科技股份有限公司 一种金属基覆金属箔板及其制作方法
AT515069B1 (de) 2013-11-07 2019-10-15 At & S Austria Tech & Systemtechnik Ag Leiterplattenstruktur
KR20150074421A (ko) * 2013-12-24 2015-07-02 엘지이노텍 주식회사 인쇄회로기판 및 이를 포함하는 발광 장치
US10103447B2 (en) 2014-06-13 2018-10-16 Nxp Usa, Inc. Integrated circuit package with radio frequency coupling structure
US9917372B2 (en) 2014-06-13 2018-03-13 Nxp Usa, Inc. Integrated circuit package with radio frequency coupling arrangement
US10225925B2 (en) * 2014-08-29 2019-03-05 Nxp Usa, Inc. Radio frequency coupling and transition structure
US9887449B2 (en) * 2014-08-29 2018-02-06 Nxp Usa, Inc. Radio frequency coupling structure and a method of manufacturing thereof
KR20160038285A (ko) * 2014-09-30 2016-04-07 삼성전기주식회사 회로기판 및 회로기판 제조방법
US9379298B2 (en) * 2014-10-03 2016-06-28 Henkel IP & Holding GmbH Laminate sub-mounts for LED surface mount package
TWI576026B (zh) 2015-07-17 2017-03-21 財團法人工業技術研究院 電路結構
KR102494336B1 (ko) * 2015-10-07 2023-02-01 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 및 그 제조방법
EP3226290B1 (en) * 2016-04-01 2024-04-17 Nichia Corporation Method of manufacturing a light emitting element mounting base member, and light emitting element mounting base member
US10790426B2 (en) * 2016-04-01 2020-09-29 Nichia Corporation Method of manufacturing light emitting element mounting base member, method of manufacturing light emitting device using the light emitting element mounting base member, light emitting element mounting base member, and light emitting device using the light emitting element mounting base member
US11342256B2 (en) 2019-01-24 2022-05-24 Applied Materials, Inc. Method of fine redistribution interconnect formation for advanced packaging applications
IT201900006740A1 (it) 2019-05-10 2020-11-10 Applied Materials Inc Procedimenti di strutturazione di substrati
IT201900006736A1 (it) 2019-05-10 2020-11-10 Applied Materials Inc Procedimenti di fabbricazione di package
US11931855B2 (en) 2019-06-17 2024-03-19 Applied Materials, Inc. Planarization methods for packaging substrates
US11862546B2 (en) * 2019-11-27 2024-01-02 Applied Materials, Inc. Package core assembly and fabrication methods
US11257790B2 (en) 2020-03-10 2022-02-22 Applied Materials, Inc. High connectivity device stacking
US11454884B2 (en) 2020-04-15 2022-09-27 Applied Materials, Inc. Fluoropolymer stamp fabrication method
US11400545B2 (en) 2020-05-11 2022-08-02 Applied Materials, Inc. Laser ablation for package fabrication
US11232951B1 (en) 2020-07-14 2022-01-25 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for laser drilling blind vias
US11676832B2 (en) 2020-07-24 2023-06-13 Applied Materials, Inc. Laser ablation system for package fabrication
US11521937B2 (en) 2020-11-16 2022-12-06 Applied Materials, Inc. Package structures with built-in EMI shielding
US11404318B2 (en) 2020-11-20 2022-08-02 Applied Materials, Inc. Methods of forming through-silicon vias in substrates for advanced packaging
US11705365B2 (en) 2021-05-18 2023-07-18 Applied Materials, Inc. Methods of micro-via formation for advanced packaging

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3334395A (en) * 1962-11-26 1967-08-08 Northrop Corp Method of making a metal printed circuit board
US3673680A (en) * 1970-12-14 1972-07-04 California Computer Products Method of circuit board with solder coated pattern
US3739468A (en) * 1972-01-28 1973-06-19 Spectrol Electronics Corp Method of making a variable resistor
US3855692A (en) * 1973-06-28 1974-12-24 Gen Dynamics Corp Method of manufacturing circuit board connectors
US3934335A (en) * 1974-10-16 1976-01-27 Texas Instruments Incorporated Multilayer printed circuit board
US4015987A (en) * 1975-08-13 1977-04-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Process for making chip carriers using anodized aluminum
JPS53129863A (en) * 1977-04-19 1978-11-13 Fujitsu Ltd Multilayer printed board
US4303798A (en) * 1979-04-27 1981-12-01 Kollmorgen Technologies Corporation Heat shock resistant printed circuit board assemblies
US4318954A (en) * 1981-02-09 1982-03-09 Boeing Aerospace Company Printed wiring board substrates for ceramic chip carriers
JPS60116191A (ja) * 1983-11-29 1985-06-22 イビデン株式会社 電子部品搭載用基板の製造方法
JPS60149196A (ja) * 1984-01-17 1985-08-06 ソニー株式会社 プリント基板およびその製造方法
JPS61113155A (ja) * 1984-11-07 1986-05-31 Canon Inc 光磁気記録媒体
JPS61131552A (ja) * 1984-11-30 1986-06-19 Toshiba Corp 混成集積回路装置
US4817280A (en) * 1985-06-10 1989-04-04 O. Key Printed Wiring Co., Ltd. Method of manufacturing printed circuit boards
JPH0680876B2 (ja) * 1985-08-27 1994-10-12 三菱電線工業株式会社 金属芯基板及びその製造法
JPS62132392A (ja) * 1985-12-04 1987-06-15 松下電工株式会社 金属ベ−ス配線基板
JPS6398179A (ja) * 1986-10-15 1988-04-28 松下電工株式会社 金属ベ−スプリント配線板
US5139923A (en) * 1987-07-08 1992-08-18 Hitachi, Ltd. Method for improving adhesion of a resist layer to a metallic layer and electrolessly plating a wiring pattern thereon
US5309632A (en) * 1988-03-28 1994-05-10 Hitachi Chemical Co., Ltd. Process for producing printed wiring board
JPH01165672U (ja) * 1988-05-12 1989-11-20
JPH0434859A (ja) * 1990-05-30 1992-02-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 有機電解液電池
US5160579A (en) * 1991-06-05 1992-11-03 Macdermid, Incorporated Process for manufacturing printed circuit employing selective provision of solderable coating
US5153986A (en) * 1991-07-17 1992-10-13 International Business Machines Method for fabricating metal core layers for a multi-layer circuit board
JPH05145221A (ja) * 1991-11-20 1993-06-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd 印刷配線板の製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9609737B2 (en) 2013-12-20 2017-03-28 Hyundai Motor Company Heat dissipation printed circuit board and manufacturing method thereof

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