JP2018049279A5 - - Google Patents

Claims (28)

1. 物体を、光学系を介してエネルギビームで露光する露光装置であって、
   ベースと、
   前記物体上に形成されたマークを検出するマーク検出系と、
   前記光学系を介した前記物体の露光が行われる露光部と前記マーク検出系を用いて前記マークの検出が行われる計測部との間で、前記物体を保持して移動可能な移動体と、
   前記光学系を支持する第１フレーム部材と、
   前記マーク検出系を支持する第２フレーム部材と、
   前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係を調整可能な調整装置と、
   を備える露光装置。
2. 前記調整装置は、前記ベースと前記第１フレーム部材との相対位置を計測する第１センサを有する請求項１に記載の露光装置。
3. 前記調整装置は、前記第１フレーム部材を駆動する第１駆動系を有する請求項１又は２に記載の露光装置。
4. 前記調整装置は、前記ベースと前記第１フレーム部材との相対位置を計測する第１センサを有し、
   前記調整装置は、前記第１センサの計測結果を用いて前記第１駆動系により前記第１フレーム部材を駆動する請求項３に記載の露光装置。
5. 前記調整装置は、前記ベースと前記第２フレーム部材との相対位置を計測する第２センサを有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の露光装置。
6. 前記調整装置は、前記第２フレーム部材を駆動する第２駆動系を有する請求項１〜５のいずれか一項に記載の露光装置。
7. 前記調整装置は、前記ベースと前記第２フレーム部材との相対位置を計測する第２センサを有し、
   前記調整装置は、前記第２センサの計測結果を用いて前記第２駆動系により前記第２フレーム部材を駆動する請求項６に記載の露光装置。
8. 前記調整装置は、前記ベースと前記第１フレーム部材との位置関係を制御する制御系を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の露光装置。
9. 前記ベースと前記第１フレーム部材との位置関係の制御はフィードバック制御を含む請求項８に記載の露光装置。
10. 前記調整装置は、前記ベースと前記第２フレーム部材との位置関係を制御する制御系を含む請求項１〜９のいずれか一項に記載の露光装置。
11. 前記ベースと前記第２フレーム部材との位置関係の制御はフィードバック制御を含む請求項１０に記載の露光装置。
12. 前記制御系による前記ベースと前記第１フレーム部材との位置関係の制御と前記ベースと前記第２フレーム部材との位置関係の制御と、により、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係を調整する請求項８〜１１のいずれか一項に記載の露光装置。
13. 前記調整装置は、前記ベースと前記第１フレーム部材との位置関係を制御する第１の制御系と前記ベースと前記第２フレーム部材との位置関係を制御する第２の制御系とを含む
    請求項１〜１２のいずれか一項に記載の露光装置。
14. 前記第１フレーム部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の位置情報を計測する第１計測系を備える請求項１〜１３のいずれか一項に記載の露光装置。
15. 前記第１計測系は、前記第１フレーム部材又は前記光学系に対する前記移動体の位置情報を計測する請求項１４に記載の露光装置。
16. 前記第１計測系は、前記第１フレーム部材及び前記移動体の一方に格子部が設けられ、前記第１フレーム部材及び前記移動体の他方に前記格子部に計測ビームを照射するヘッドが設けられた第１エンコーダシステムを含む請求項１４又は１５に記載の露光装置。
17. 前記第２フレーム部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の位置情報を計測する第２計測系を備える請求項１〜１６のいずれか一項に記載の露光装置。
18. 前記第２計測系は、前記第２フレーム部材又は前記マーク検出系に対する前記移動体の位置情報を計測する請求項１７に記載の露光装置。
19. 前記第２計測系は、前記第２フレーム部材及び前記移動体の一方に格子部が設けられ、前記第２フレーム部材及び前記移動体の他方に前記格子部に計測ビームを照射するヘッドが設けられた第２エンコーダシステムを含む請求項１７又は１８に記載の露光装置。
20. 前記第１フレーム部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の位置情報を計測する第１計測系と前記第２フレーム部材に少なくとも一部が設けられ、前記移動体の位置情報を計測する第２計測系とを備え、
    前記第１計測系の計測する前記移動体の位置情報及び前記第２計測系の計測する前記移動体の位置情報の少なくともいずれか一方と、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係の情報と、を用いて前記移動体の移動を制御する制御装置をさらに備える請求項１〜１９のいずれか一項に記載の露光装置。
21. 前記制御装置は、前記露光部においては前記第１計測系の計測する前記移動体の位置情報を用いて前記移動体の移動を制御し、前記計測部においては前記第２計測系の計測する前記移動体の位置情報を用いて前記移動体の移動を制御する請求項２０に記載の露光装置。
22. 前記制御装置は、前記移動体の前記露光部と前記計測部との間の移動を制御する請求項２０又は２１に記載の露光装置。
23. 前記制御装置は、前記移動体の前記露光部と前記計測部との間を移動するとき、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係の情報を用いる請求項２２に記載の露光装置。
24. 前記制御装置は、前記移動体の制御に用いる前記移動体の位置情報を、前記第１計測系の計測する前記移動体の位置情報と前記第２計測系の計測する前記移動体の位置情報との一方から他方に切り換えるとき、前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係の情報を用いる請求項２３に記載の露光装置。
25. 前記第１フレーム部材と前記第２フレーム部材との位置関係の情報をオフセットとして用いる請求項２４に記載の露光装置。
26. 前記移動体として、第１及び第２移動体が設けられ、
    前記制御装置は、前記露光部において前記第１及び第２移動体の一方に保持された物体の露光が行なわれるのと並行して、前記計測部において前記第１及び第２移動体の他方に保持された物体上に形成された前記マークの検出が行われるように前記第１及び第２移動体の移動を制御する請求項２０〜２５のいずれか一項に記載の露光装置。
27. 前記マーク検出系は前記光学系から離れて配置される請求項１〜２６のいずれか一項に記載の露光装置。
28. 請求項１〜２７のいずれか一項に記載の露光装置を用いて前記物体を露光することと、
    露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。