JP2014212306A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 基板（６）上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける方法であって、
   接合頭部（２）に組み付けた吸着部材（３）により前記構成要素を受け取ることであって、前記接合頭部（２）は、平面にかかる第１の移動軸及び第２の移動軸により前記基板（６）に対して変位可能であり、前記接合頭部（２）及び／又は前記吸着部材（３）は、前記面に直角に延在する第３の移動軸により変位可能である、受け取ること；
   前記構成要素を前記基板（６）の上の標的位置に位置決めするために、前記接合頭部（２）を前記第１の移動軸及び前記第２の移動軸により変位させること；
   前記構成要素が前記基板（６）に接触するまで前記第３の移動軸により前記吸着部材（３）を下げ、所定接合力を生成することであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材（３）が前記構成要素を前記基板（６）に押し付ける、生成すること；及び
   前記接合力が蓄積される間に生じた前記吸着部材（３）の傾斜位置を補正するために、第１の方向に沿って補正値Ｗ_１だけ、及び／又は第２の方向に沿って補正値Ｗ_２だけ前記接合頭部（２）及び／又は前記基板（６）を変位させること
   を含む方法であり、前記補正値Ｗ_１及びＷ_２は、
   保存較正データによって決定するか、又は
   センサ（１４）によって供給される測定値、及び前記保存較正データから決定するか、又は
   前記センサ（１４）によって供給される測定信号に基づく閉ループ制御により生成される、方法。
2. 基板（６）上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける方法であって、
   接合頭部（２）に組み付けた吸着部材（３）により前記構成要素を受け取ることであって、前記接合頭部（２）は、平面にかかる第１の移動軸及び第２の移動軸により前記基板（６）に対して変位可能であり、前記接合頭部（２）及び／又は前記吸着部材（３）は、前記面に直角に延在する第３の移動軸により変位可能である、受け取ること；
   前記構成要素を前記基板（６）の上の標的位置に位置決めするために前記第１の移動軸及び前記第２の移動軸により前記接合頭部（２）を変位させること；
   前記構成要素が前記基板（６）に接触するまで前記第３の移動軸により前記吸着部材（３）を下げ、所定接合力を生成することであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材（３）が前記構成要素を前記基板（６）に押し付ける、生成すること；及び
   前記接合頭部（２）から前記吸着部材（３）に作用する力の結果として存在する少なくとも１つのせん断力を測定すること；及び
   少なくとも１つのアクチュエータ（１６）を作動させること
   を含み、前記少なくとも１つのアクチュエータ（１６）を用いて前記測定した少なくとも１つのせん断力を補償又は低減するように、前記接合頭部（２）に所定方向で作用する力を生成することができる、方法。
3. 基板（６）上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける装置であって、
   接合頭部（２）に組み付けた吸着部材（３）により前記構成要素を受け取るステップであって、前記接合頭部（２）は、平面にかかる第１の移動軸及び第２の移動軸により前記基板（６）に対して変位可能であり、前記接合頭部（２）及び／又は前記吸着部材（３）は、前記面に直角に延在する第３の移動軸により変位可能である、ステップ；
   前記構成要素を前記基板（６）上の標的位置に位置決めするために、前記第１の移動軸及び前記第２の移動軸により前記接合頭部（２）を変位させるステップ；
   前記構成要素が前記基板（６）に接触するまで前記第３の移動軸により前記吸着部材（３）を下げ、所定接合力を生成するステップであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材（３）が前記構成要素を前記基板（６）に押し付ける、ステップ；及び
   前記接合力が蓄積される間に生じた前記吸着部材（３）の傾斜位置を補正するために、第１の方向に沿って補正値Ｗ_１だけ、及び／又は第２の方向に沿って補正値Ｗ_２だけ前記接合頭部（２）及び／又は前記基板（６）を変位させるステップ
   を実施するように構成し、前記補正値Ｗ_１及びＷ_２は、
   保存較正データによって決定するか、又は
   センサ（１４）によって供給される測定値、及び前記保存較正データから決定するか、又は
   前記センサ（１４）によって供給される測定信号に基づく閉ループ制御により生成される、装置。
4. 基板（６）上に電子構成要素又は光学構成要素を組み付ける装置であって、
   接合頭部（２）に組み付けた吸着部材（３）により前記構成要素を受け取るステップであって、前記接合頭部（２）は、平面にかかる第１の移動軸及び第２の移動軸により前記基板（６）に対して変位可能であり、前記接合頭部（２）及び／又は前記吸着部材（３）は、前記面に直角に延在する第３の移動軸により変位可能である、ステップ；
   前記構成要素を前記基板（６）上の標的位置に位置決めするために、前記第１の移動軸及び前記第２の移動軸により前記接合頭部（２）を変位させるステップ；
   前記構成要素が前記基板（６）に接触するまで前記第３の移動軸により前記吸着部材（３）を下げ、所定接合力を生成するステップであって、前記所定接合力を用いて前記吸着部材（３）が前記構成要素を前記基板（６）に押し付ける、ステップ；及び
   前記接合頭部（２）から前記吸着部材（３）に作用する力の結果として存在する少なくとも１つのせん断力を測定するステップ；及び
   少なくとも１つのアクチュエータ（１６）を作動させるステップ
   を実施するように構成し、前記少なくとも１つのアクチュエータ（１６）を用いて前記測定した少なくとも１つのせん断力を補償又は低減するように、前記接合頭部（２）に所定方向で作用する力を生成することができる、装置。