JP2015212722A5 - - Google Patents

Description

本適用例のアクチュエーター装置は、互いに対向する一対の基板と、前記一対の基板間のギャップ寸法を変化させる複数の静電アクチュエーターと、前記ギャップ寸法を検出するギャップ検出部と、前記静電アクチュエーターの駆動を制御する駆動制御手段と、を備え、前記複数の静電アクチュエーターの各々は、独立して駆動可能であり、前記駆動制御手段は、前記複数の静電アクチュエーターの各々に印加した電圧と、前記ギャップ検出部により検出される前記ギャップ寸法と、に基づいて、前記静電アクチュエーターの各々を駆動させるための駆動パラメーターを導出することを特徴とする。

本適用例の電子機器は、一対の基板、前記一対の基板の一方に設けられた第一反射膜、前記一対の基板の他方に設けられ前記第一反射膜に対向する第二反射膜、前記一対の基板間のギャップ寸法を変化させる複数の静電アクチュエーター、前記一対の基板間のギャップ寸法を検出するギャップ検出部、及び前記静電アクチュエーターの駆動を制御する駆動制御手段を備えたアクチュエーター装置と、前記ギャップ寸法の目標値を指令して前記アクチュエーター装置を制御する制御部と、を具備し、前記複数の静電アクチュエーターの各々は、独立して駆動可能であり、前記駆動制御手段は、前記複数の静電アクチュエーターの各々に印加した電圧と、前記ギャップ検出部により検出される前記ギャップ寸法と、に基づいて、前記複数の静電アクチュエーターの各々を駆動させるための駆動パラメーターを導出することを特徴とする。

本適用例の制御方法は、互いに対向する一対の基板、前記一対の基板間のギャップ寸法を変化させる複数の静電アクチュエーター、前記ギャップ寸法を検出するギャップ検出部を備え、前記複数の静電アクチュエーターの各々が独立して駆動可能であるアクチュエーター装置の制御方法であって、前記静電アクチュエーターを順次切り替えて駆動させ、前記静電アクチュエーターの駆動を切り替える毎に前記ギャップ検出部により検出される前記ギャップ寸法を検出し、駆動させた前記静電アクチュエーターへの印加電圧とその際の前記ギャップ寸法とに基づいて、各静電アクチュエーターを駆動させるための駆動パラメーターを導出することを特徴とする。

Claims (9)

1. 互いに対向する一対の基板と、
   前記一対の基板間のギャップ寸法を変化させる複数の静電アクチュエーターと、
   前記ギャップ寸法を検出するギャップ検出部と、
   前記静電アクチュエーターの駆動を制御する駆動制御手段と、を備え、
   前記複数の静電アクチュエーターの各々は、独立して駆動可能であり、
   前記駆動制御手段は、前記複数の静電アクチュエーターの各々に印加した電圧と、前記ギャップ検出部により検出される前記ギャップ寸法と、に基づいて、前記複数の静電アクチュエーターの各々を駆動させるための駆動パラメーターを導出する
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
2. 請求項１に記載のアクチュエーター装置において、
   前記駆動制御手段は、前記駆動パラメーターとして、前記一対の基板を平行に維持するための平行制御電圧を導出する
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
3. 請求項２に記載のアクチュエーター装置において、
   前記複数の静電アクチュエーターの各々への電圧の印加により、前記一対の基板のうち少なくとも一方を他方に撓ませることで、前記ギャップ寸法を変化させ、
   前記駆動制御手段は、前記駆動パラメーターとして、前記基板のばね定数、及び前記各静電アクチュエーターを構成する電極間の初期ギャップ寸法を導出し、前記ばね定数及び前記初期ギャップ寸法に基づいて前記平行制御電圧を導出する
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
4. 請求項２又は請求項３に記載のアクチュエーター装置において、
   前記複数の静電アクチュエーターの各々は、バイアス電圧が印加されるバイアス用静電アクチュエーターであり、
   前記アクチュエーター装置は、前記バイアス用静電アクチュエーターとは独立して駆動可能な制御用静電アクチュエーターを備え、
   前記駆動制御手段は、前記バイアス用静電アクチュエーターに前記平行制御電圧を前記バイアス電圧として印加し、前記制御用静電アクチュエーターに前記ギャップ検出部により検出された前記ギャップ寸法に応じたフィードバック電圧を印加する
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
5. 請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のアクチュエーター装置において、
   前記複数の静電アクチュエーターは、前記一対の基板の互いに対向する面の法線方向に平行な駆動中心軸に対して非対称に設けられ、
   前記ギャップ検出部は、前記駆動中心軸における前記ギャップ寸法を検出する
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のアクチュエーター装置において、
   前記一対の基板の一方に設けられた第一反射膜と、前記一対の基板の他方に設けられ、前記第一反射膜に対向する第二反射膜とを備えている
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
7. 請求項６に記載のアクチュエーター装置において、
   前記複数の静電アクチュエーターは、前記一対の基板の互いに対向する面の法線方向に平行な駆動中心軸に対して非対称に設けられ、
   前記第一反射膜及び前記第二反射膜は、前記駆動中心軸上に設けられている
   ことを特徴とするアクチュエーター装置。
8. 請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のアクチュエーター装置と、
   前記ギャップ寸法の目標値を指令して前記アクチュエーター装置を制御する制御部と、を具備する
   ことを特徴とする電子機器。
9. 互いに対向する一対の基板、前記一対の基板間のギャップ寸法を変化させる複数の静電アクチュエーター、前記ギャップ寸法を検出するギャップ検出部を備え、前記複数の静電アクチュエーターの各々が独立して駆動可能であるアクチュエーター装置の制御方法であって、
   前記静電アクチュエーターを順次切り替えて駆動させ、
   前記静電アクチュエーターの駆動を切り替える毎に前記ギャップ検出部により検出される前記ギャップ寸法を検出し、
   駆動させた前記静電アクチュエーターへの印加電圧とその際の前記ギャップ寸法とに基づいて、各静電アクチュエーターを駆動させるための駆動パラメーターを導出する
   ことを特徴とする制御方法。