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JP2006258880A - Method for manufacturing antireflection film, and antireflection film - Google Patents

Method for manufacturing antireflection film, and antireflection film Download PDF

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JP2006258880A
JP2006258880A JP2005072699A JP2005072699A JP2006258880A JP 2006258880 A JP2006258880 A JP 2006258880A JP 2005072699 A JP2005072699 A JP 2005072699A JP 2005072699 A JP2005072699 A JP 2005072699A JP 2006258880 A JP2006258880 A JP 2006258880A
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JP
Japan
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film
refractive index
antireflection
index layer
layer
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Application number
JP2005072699A
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Inventor
Tatsu Kondo
達 近藤
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Konica Minolta Opto Inc
Original Assignee
Konica Minolta Opto Inc
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing an antireflection film by a coating system capable of forming a stable multilayer antireflection layer without stopping a production line even for long-term continuous manufacture, and to provide an antireflection film. <P>SOLUTION: The method for manufacturing an antireflection film comprises steps of forming at least one layer of an antireflection layer directly or through another layer on a film base material, then measuring the film thickness of the antireflection layer by a measuring means, comparing the thickness with a preliminarily prepared reference value, calculating, sending the result as a feedback to a coating film thickness control system, and producing the film while controlling the coating conditions of the antireflection layer. The method is characterized in that: the film thickness on starting to apply/dry a coating liquid of the antireflection layer is measured by the measuring means which is preliminarily subjected to calibration; subsequently the measuring means is calibrated (corrected) without stopping the process while the coating liquid for the antireflection layer is continuously applied; the film thickness of the antireflection layer is measured by the calibrated measuring means; and the coating liquid for the antireflection layer is continuously applied/dried. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、反射防止フィルムの製造方法及び反射防止フィルムに関し、更に詳しくは、太陽陽電池、液晶画像表示装置、各種ディスプレイ装置、有機ELディスプレイ、CRT、PDP等に有用な反射防止フィルムの製造方法及びこの製造方法により製造された反射防止フィルムに関する。   The present invention relates to a method for producing an antireflection film and an antireflection film, and more particularly, to a method for producing an antireflection film useful for solar cells, liquid crystal image display devices, various display devices, organic EL displays, CRTs, PDPs and the like. And an antireflection film produced by this production method.

近年、薄型軽量ノートパソコンの開発が進み、それに伴って、液晶表示装置等の表示装置で用いられる偏光板の保護フィルムもますます薄膜化、高性能化への要求が強くなってきている。又、視認性向上のために反射防止層を設けたり、又、写り込みを防いだり、ギラツキの少ない表示性能を得るために表面を凹凸にして反射光を散乱させる防眩層を付与した、コンピュータ、ワープロ等の液晶画像表示装置(液晶ディスプレイ等)が多く使用されるようになってきた。反射防止技術として、反射防止層(光学干渉層ともいう)としてフィルム基体上に積層する層の屈折率と光学膜厚を適度な値にすることによって、積層体と空気界面における光の反射を減少させることが有効であるということが知られている。   In recent years, the development of thin and light notebook personal computers has progressed, and along with this, the demand for thinner and higher performance protective films for polarizing plates used in display devices such as liquid crystal display devices has increased. In addition, a computer provided with an anti-glare layer for improving visibility, providing an anti-glare layer for preventing reflections and scattering the reflected light with a rough surface to obtain display performance with less glare. Liquid crystal image display devices (liquid crystal displays, etc.) such as word processors have come to be used a lot. As an antireflection technology, the reflection of light at the interface between the laminate and the air is reduced by setting the refractive index and optical film thickness of the layer laminated on the film substrate as an antireflection layer (also called an optical interference layer). It is known that it is effective.

一般的にフィルム基体上に設けられた多層の反射防止層は高屈折率層と低屈折率層とを有する2層以上の層より構成されており、高屈折率層の材料としてTiO2、ZrO2、Ta25等、又低屈折率層の材料としてSiO2、MgF2等が含有されている。これらの多層の反射防止層は、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、CVD法等の真空を用いた乾式製膜法、塗布方式によって製作されていることが知られている。 In general, a multilayer antireflection layer provided on a film substrate is composed of two or more layers having a high refractive index layer and a low refractive index layer. TiO 2 , ZrO are used as materials for the high refractive index layer. 2 , Ta 2 O 5 and the like, and SiO 2 , MgF 2 and the like are contained as a material for the low refractive index layer. It is known that these multilayer antireflection layers are produced by a dry film forming method using a vacuum, such as a sputtering method, a vacuum deposition method, an ion plating method, a CVD method, or a coating method.

しかし、このような乾式製膜法は、処理基材の面積が大きくなると、製膜装置が非常に大型化するため、装置が非常に高額になる他、真空にするにも、又は排気するにも莫大な時間が費やされ、生産性が上げられないというデメリットが大きい。一方、塗布方式は生産性が高い点で有用であるが、反射防止層の膜厚の均一性を保つことがやや難しい等の問題が挙げられる。   However, in such a dry film forming method, if the area of the processing substrate is increased, the film forming apparatus becomes very large, so that the apparatus becomes very expensive, and in addition to vacuuming or exhausting. However, there is a demerit that enormous time is spent and productivity cannot be increased. On the other hand, the coating method is useful in terms of high productivity, but there is a problem that it is somewhat difficult to maintain the uniformity of the film thickness of the antireflection layer.

従来、塗布方式による多層の反射防止層の形成は、1層形成する毎に、分光反射率を測定して膜厚を算出し、目標膜厚となるよう条件を設定し直している。又、各層毎に測定を行うため、時間がとられるばかりでなく、同一条件としたつもりでも目標膜厚よりずれてしまうことが起こる。反射防止層の膜厚は各々の層が数10〜数100nmという薄膜であり、特に、塗布による反射防止層形成においては、目標膜厚に対しウェット膜厚が1μm変化しただけで分光反射率が異なってしまうばかりでなく、数nm変化すれば反射率がずれ、表面より反射される反射スペクトルが異なることにより、着色したり、色合いが変化してしまう。又、条件出しにより出来上がりのフィルムの収率も悪化してしまう。例えば、反射が大きくなるとテレビやパソコンのモニター、カーナビ等使用時、周囲の光源や明るいものが画面上に写り、表示内容が見にくくなる。着色したり、色合いが違ってくると、見にくくなるばかりでなく、黒表示部では色が付いて視認されるため、テレビ画面では画像イメージを著しく落とすこととなる。   Conventionally, in the formation of a multilayer antireflection layer by a coating method, each time one layer is formed, the spectral reflectance is measured to calculate the film thickness, and the conditions are reset so that the target film thickness is obtained. Moreover, since measurement is performed for each layer, not only time is taken, but even if the same condition is intended, the film thickness may deviate from the target film thickness. The thickness of each antireflection layer is a thin film of several tens to several hundreds of nanometers. In particular, in the formation of the antireflection layer by coating, the spectral reflectance can be obtained only by changing the wet film thickness by 1 μm with respect to the target film thickness. Not only will it differ, but if it changes by several nanometers, the reflectance will shift, and the reflection spectrum reflected from the surface will differ, resulting in coloration and changes in hue. Further, the yield of the finished film is also deteriorated due to the condition setting. For example, when the reflection becomes large, the surrounding light source or bright objects appear on the screen when using a TV, a personal computer monitor, a car navigation system, etc., and the display content becomes difficult to see. If it is colored or the color is different, it will not only be difficult to see, but will also be visually recognized with a color on the black display part, so that the image on the television screen will be significantly reduced.

これらの対策として、例えば、フィルム基材上に形成された2層以上の屈折率が異なる隣り合う反射防止層に対する可視光波長領域において設定した少なくとも2点の波長の反射率をオンラインの反射率測定器により計測し、予め用意した設定波長の標準の反射率と対比、演算し、その結果を各塗布膜厚制御系にフィードバックし、各反射防止層の各塗布条件を制御することを特徴とする反射防止フィルムの製造方法が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。   As measures against these, for example, on-line reflectance measurement is performed on the reflectance of at least two wavelengths set in the visible light wavelength region for two or more adjacent antireflection layers having different refractive indexes formed on a film substrate. It is characterized in that it is measured by a vessel, compared with a standard reflectance of a set wavelength prepared in advance, calculated, the result is fed back to each coating film thickness control system, and each coating condition of each antireflection layer is controlled. A method for producing an antireflection film is known (see, for example, Patent Document 1).

しかしながら、特許文献1に記載の反射防止フィルムの製造方法の場合はかなりの効果はあるが次の問題点を有している。オンラインの反射率測定器により計測では、長時間の連続測定に置いては、繰り返し測定によるディテクター素子の発熱、光源の光量経時変動等により初期に設定した反射率測定器のベースラインがずれて来る危険があるため、次の対策を必要とする。1)定期的に工程を一時止め、基準反射板を使用しリファレンス測定をし、補正をする。2)予め経時による変化を予測出来る様な検量線データを作成し、測定値に補正演算をする必要がある。1)の場合、工程を止めることによる稼働率の低下が生じ生産性が低下する。2)の場合、機差、周辺環境、使用状況等により検量線データは少なからず異なるため何段階もの補正が必要になり、最終的な信頼性に難があった。   However, the method for producing an antireflection film described in Patent Document 1 has the following problems although it has a considerable effect. When measuring with an on-line reflectance measuring instrument, the baseline of the reflectance measuring instrument that was initially set will be shifted due to heat generation of the detector element due to repeated measurements, temporal variation in the amount of light of the light source, etc. Because of the danger, the following measures are required. 1) Periodically suspend the process periodically, measure the reference using the reference reflector, and make corrections. 2) It is necessary to prepare calibration curve data that can predict a change with time in advance and perform a correction operation on the measured value. In the case of 1), the operation rate is lowered by stopping the process, and the productivity is lowered. In the case of 2), the calibration curve data is not a little different depending on the machine difference, the surrounding environment, the usage situation, etc., so correction in several steps is necessary, and the final reliability is difficult.

これらの状況より、長時間の連続製造でも生産工程を止めることなく、安定した多層の反射防止層の形成が可能な塗布方式による反射防止フィルムの製造方法及び反射防止フィルムの開発が望まれている。
特開2003−329807号公報
Under these circumstances, there is a demand for the development of an antireflection film manufacturing method and an antireflection film by a coating method capable of forming a stable multilayer antireflection layer without stopping the production process even in continuous production for a long time. .
JP 2003-329807 A

本発明は、上記状況に鑑みなされたものであり、その目的は、長時間の連続製造でも生産工程を止めることなく、安定した多層の反射防止層の形成が可能な塗布方式による反射防止フィルムの製造方法及び反射防止フィルムを提供することである。   The present invention has been made in view of the above situation, and the object of the present invention is to provide an antireflection film by a coating method capable of forming a stable multilayer antireflection layer without stopping the production process even in continuous production for a long time. It is to provide a manufacturing method and an antireflection film.

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

(請求項1)
連続して移送するフィルム基材上に直接又は他の層を介して、少なくとも1層の反射防止層用塗布液を塗布・乾燥し反射防止層を形成した後、前記反射防止層の膜厚を測定手段により計測し、予め用意した基準値と対比、演算し、その結果を塗布膜厚制御系にフィードバックし、前記反射防止層の塗布条件を制御しながら製造する反射防止フィルムの製造方法において、
前記反射防止層用塗布液の塗布・乾燥開始時の前記反射防止層の膜厚は予め校正がなされた前記測定手段により測定し、
以降、前記反射防止層用塗布液の塗布継続中に工程を止めることなく、前記測定手段の校正(補正)を行い、
校正した前記測定手段により前記反射防止層の膜厚測定を行い、
前記反射防止層用塗布液の塗布・乾燥を連続的に行うことを特徴とする反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 1)
After coating or drying at least one antireflection layer coating solution directly or via another layer on the film substrate that is continuously transferred, the antireflection layer is formed. In the method of manufacturing an antireflection film, which is measured by a measuring means, compared with a reference value prepared in advance, calculated, and the result is fed back to the coating film thickness control system and manufactured while controlling the coating conditions of the antireflection layer.
The film thickness of the antireflection layer at the start of application / drying of the coating solution for the antireflection layer is measured by the measuring means calibrated in advance,
Thereafter, without stopping the process during the application of the coating solution for the antireflection layer, the measurement means is calibrated (corrected),
Measure the film thickness of the antireflection layer by the calibrated measuring means,
A method for producing an antireflection film, wherein the coating liquid for the antireflection layer is continuously applied and dried.

(請求項2)
前記測定手段が反射率分光方式測定装置であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 2)
The method for producing an antireflection film according to claim 1, wherein the measuring means is a reflectance spectroscopy measurement apparatus.

(請求項3)
前記測定手段がフィルム基材の幅方向に測定箇所に応じて配設されていることを特徴とする請求項1又は2記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 3)
The method for producing an antireflection film according to claim 1 or 2, wherein the measuring means is arranged in the width direction of the film substrate in accordance with the measurement location.

(請求項4)
前記測定手段の校正は、塗布継続中にフィルム基材の繋ぎ目を検出した直後に行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 4)
The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 3, wherein the calibration of the measuring means is performed immediately after the joint of the film base is detected while the coating is continued.

(請求項5)
前記測定手段の校正は、塗布継続中に5〜180分の間に少なくとも1回行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 5)
The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 3, wherein the calibration of the measuring means is performed at least once during 5 to 180 minutes while the coating is continued.

(請求項6)
前記測定手段の校正は、塗布継続中にフィルム基材の繋ぎ目を検出した直後に行い、且つ5〜180分の間に少なくとも1回行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 6)
The calibration of the measuring means is performed immediately after detecting the joint of the film base material during the application, and is performed at least once in 5 to 180 minutes. The manufacturing method of the antireflection film as described in claim | item.

(請求項7)
前記測定手段の校正は、ベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板を固定し、該測定手段を駆動させてベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 7)
7. The calibration of the measuring means includes fixing a baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate, and driving the measuring means to set a baseline. The manufacturing method of the antireflection film of any one of these.

(請求項8)
前記測定手段の校正は、該測定手段を固定し、ベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板を移動させてベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 8)
7. The calibration of the measurement means includes setting the baseline by fixing the measurement means and moving the baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate. The manufacturing method of the antireflection film of any one of these.

(請求項9)
前記測定手段の校正は、ミラーを介してベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板に光を照射し、該ベースライン用基準板と該反射防止層用基準板から反射する光を該ミラーを介して読みとり、ベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 9)
The calibration of the measuring means is performed by irradiating light to the baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate via a mirror, and reflecting from the baseline reference plate and the antireflection layer reference plate. The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 6, wherein light is read through the mirror and a baseline is set.

(請求項10)
前記膜厚測定は反射防止層の幅方向で少なくとも3箇所行うことを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 10)
The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 9, wherein the film thickness is measured at least at three places in the width direction of the antireflection layer.

(請求項11)
前記測定手段が反射防止層の幅手方向に移動する架台上に設置されていることを特徴とする請求項1〜10の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。
(Claim 11)
The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 10, wherein the measuring means is installed on a frame that moves in the width direction of the antireflection layer.

(請求項12)
請求項1〜11の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法で製造されたことを特徴とする反射防止フィルム。
(Claim 12)
An antireflection film produced by the method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 11.

長時間の連続製造でも生産工程を止めることなく、安定した多層の反射防止層の形成が可能な塗布方式による反射防止フィルムの製造方法及び反射防止フィルムを提供することが出来、生産効率の向上と高性能の反射防止フィルムの製造が可能となった。   It is possible to provide an antireflection film manufacturing method and an antireflection film by a coating method capable of forming a stable multilayer antireflection layer without stopping the production process even for a long continuous production, and improving production efficiency. A high-performance antireflection film can be manufactured.

本発明の実施の形態を図1〜図6を参照して説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Although an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6, the present invention is not limited to this.

図1は反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。図1の(a)は、フィルム基体上に、低屈折率層を有する反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。図1の(b)は、フィルム基体上に、高屈折率層、低屈折率層の順序の層構成を有する反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。図1の(c)は、フィルム基体上に、ハードコート層、高屈折率層、低屈折率層の順序の層構成を有する反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。図1の(d)は、フィルム基体上に、ハードコート層、中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の順序の層構成を有する反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。図1の(e)は、フィルム基体上に、中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の順序の層構成を有する反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film. FIG. 1A is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film having a low refractive index layer on a film substrate. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film having a layer structure in the order of a high refractive index layer and a low refractive index layer on a film substrate. FIG. 1C is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film having a layer structure in the order of a hard coat layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer on a film substrate. FIG. 1D is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film having a layer structure in the order of a hard coat layer, a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer on a film substrate. . FIG. 1E is a schematic cross-sectional view showing an example of an antireflection film having a layer structure in the order of a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer on a film substrate.

本発明に係わる反射防止フィルムは、透明支持体上に少なくとも1層の高屈折率層を有し、更にその上に低屈折率層を有するが、必要に応じ、高屈折率層の下層に平滑なハードコート層を設けることが出来る。以下に図1の(a)〜(d)に付き説明する。   The antireflection film according to the present invention has at least one high refractive index layer on a transparent support, and further has a low refractive index layer on the transparent support. A hard coat layer can be provided. A description will be given below with reference to FIGS.

図1の(a)に示される反射防止フィルムに付いて説明する。図中、1aは反射防止フィルムを示す。反射防止フィルム1aは、フィルム基体である透明フィルム基体101と、透明フィルム基体101上に、透明フィルム基体101の屈折率より小さい屈折率を有する低屈折率層102とを有している。   The antireflection film shown in FIG. 1A will be described. In the figure, 1a represents an antireflection film. The antireflection film 1 a includes a transparent film substrate 101 that is a film substrate, and a low refractive index layer 102 having a refractive index smaller than that of the transparent film substrate 101 on the transparent film substrate 101.

図1の(b)に示される反射防止フィルムに付いて説明する。図中、1bは反射防止フィルムを示す。反射防止フィルム1bは、フィルム基体である透明フィルム基体101と、透明フィルム基体101上に順番に高屈折率層103と、透明フィルム基体101の屈折率より小さい屈折率を有する低屈折率層102とを有している。   The antireflection film shown in FIG. 1B will be described. In the figure, 1b represents an antireflection film. The antireflection film 1b includes a transparent film substrate 101 as a film substrate, a high refractive index layer 103 in order on the transparent film substrate 101, and a low refractive index layer 102 having a refractive index smaller than the refractive index of the transparent film substrate 101. have.

図1の(c)に示される反射防止フィルムに付いて説明する。図中、1cは反射防止フィルムを示す。反射防止フィルム1cは、フィルム基体である透明フィルム基体101と、透明フィルム基体101上に順番にハードコート層104と、高屈折率層103と、透明フィルム基体101の屈折率より小さい屈折率を有する低屈折率層102とを有している。   The antireflection film shown in FIG. 1C will be described. In the figure, 1c represents an antireflection film. The antireflection film 1c has a refractive index smaller than the refractive index of the transparent film substrate 101 which is a film substrate, the hard coat layer 104, the high refractive index layer 103, and the transparent film substrate 101 in order on the transparent film substrate 101. And a low refractive index layer 102.

図1の(d)に示される反射防止フィルムに付いて説明する。図中、1dは反射防止フィルムを示す。反射防止フィルム1dは、フィルム基体である透明フィルム基体101と、透明フィルム基体101上に順番にハードコート層104と、高屈折率層103の屈折率より小さい屈折率で、透明フィルム基体101の屈折率より大きい屈折率の中屈折率層105と、高屈折率層103と、透明フィルム基体101の屈折率より小さい屈折率を有する低屈折率層102とを有している。   The antireflection film shown in FIG. 1 (d) will be described. In the figure, 1d indicates an antireflection film. The antireflection film 1d has a refractive index lower than the refractive index of the transparent film substrate 101, which is a film substrate, the hard coat layer 104, and the high refractive index layer 103 in order on the transparent film substrate 101. It has a medium refractive index layer 105 having a refractive index larger than the refractive index, a high refractive index layer 103, and a low refractive index layer 102 having a refractive index smaller than that of the transparent film substrate 101.

図1の(e)に示される反射防止フィルムに付いて説明する。図中、1eは反射防止フィルムを示す。反射防止フィルム1eは、フィルム基体である透明フィルム基体101と、透明フィルム基体101上に順番に高屈折率層103の屈折率より小さい屈折率で、透明フィルム基体101の屈折率より大きい屈折率の中屈折率層105と、高屈折率層103と、透明フィルム基体101の屈折率より小さい屈折率を有する低屈折率層102とを有している。   The antireflection film shown in FIG. 1 (e) will be described. In the figure, 1e represents an antireflection film. The antireflective film 1e has a refractive index smaller than the refractive index of the high refractive index layer 103 on the transparent film substrate 101 in turn and a refractive index larger than the refractive index of the transparent film substrate 101. It has a middle refractive index layer 105, a high refractive index layer 103, and a low refractive index layer 102 having a refractive index smaller than that of the transparent film substrate 101.

本図に示す、これらのハードコート層104、中屈折率層105、高屈折率層103、低屈折率層102は特開2001−343505号公報に記載されている特性を有していることが好ましい。   The hard coat layer 104, the medium refractive index layer 105, the high refractive index layer 103, and the low refractive index layer 102 shown in this figure have characteristics described in JP-A-2001-343505. preferable.

本発明においては図1(a)〜(d)に示される様に、中屈折率層、高屈折率層及び低屈折率層の順に基材フィルムの上に積層するのが好ましいが、それぞれの同じ屈折率の層が2層以上積層されていてもよく、全重層数は、6〜9層を積層してもよい。例えば中屈折率層が2層以上あってもよく、屈折率の異なる層を上記の順にこだわることなく積層してもよい。   In the present invention, as shown in FIGS. 1 (a) to (d), it is preferable to laminate on the base film in the order of the middle refractive index layer, the high refractive index layer and the low refractive index layer. Two or more layers having the same refractive index may be laminated, and the total number of layers may be 6 to 9 layers. For example, there may be two or more medium refractive index layers, and layers having different refractive indexes may be laminated without sticking to the above order.

本発明に係る反射防止層の各層は、それぞれの屈折率を与える物質を含有するか、又は層形成後それぞれの屈折率となる物質を含有する塗布液を基材フィルムの上に塗布・乾燥して得られるものである。   Each layer of the antireflective layer according to the present invention contains a substance that gives the respective refractive index, or a coating solution containing a substance that has the respective refractive index after layer formation is applied on the substrate film and dried. Is obtained.

本発明に係る反射防止層の各層の屈折率の範囲は、各構成方法によって異なるが、一例として本図の(b)に示される構成の場合の好ましい屈折率、膜厚の範囲を以下に示す。中屈折率層では1.55以上、1.75未満が好ましく、更に好ましくは、1.60〜1.73であり、高屈折率層では1.75〜1.95が好ましく、より好ましくは、1.85〜1.95であり、又、低屈折率層では1.30〜1.50が好ましく、より好ましくは1.44〜1.47である。   Although the range of the refractive index of each layer of the antireflection layer according to the present invention varies depending on each configuration method, a preferable range of refractive index and film thickness in the case of the configuration shown in FIG. . In the middle refractive index layer, 1.55 or more and less than 1.75 is preferable, more preferably 1.60 to 1.73, and in the high refractive index layer 1.75 to 1.95 is preferable, and more preferably, 1.85 to 1.95, and 1.30 to 1.50 are preferable for the low refractive index layer, and more preferably 1.44 to 1.47.

各屈折率層の膜厚は、中屈折率層では78±5nm、高屈折率層では66±5nm、又低屈折率層では95±5nmが好ましい。尚、屈折率は大塚電子(株)製FE−3000で測定した値を示す。   The thickness of each refractive index layer is preferably 78 ± 5 nm for the middle refractive index layer, 66 ± 5 nm for the high refractive index layer, and 95 ± 5 nm for the low refractive index layer. In addition, a refractive index shows the value measured with Otsuka Electronics Co., Ltd. FE-3000.

本発明に係る反射防止フィルムの、波長450nm〜650nmにおける反射率が1%以下であることが好ましく、より好ましくは0.5%以下、特に好ましくは0.00〜0.3%である。尚、反射率は大塚電子(株)製FE−3000で測定した値を示す。   The reflectance of the antireflection film according to the present invention at a wavelength of 450 nm to 650 nm is preferably 1% or less, more preferably 0.5% or less, and particularly preferably 0.00 to 0.3%. In addition, a reflectance shows the value measured with Otsuka Electronics Co., Ltd. FE-3000.

本発明は、図1(a)〜(d)に示される反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層)を、塗布を中断することなくフィルム基体上に積層(高屈折率層/低屈折率層、中屈折率層/高屈折率層/低屈折率層)し、安定化した膜厚を有する反射防止フィルムの製造方法と個の製造方法により製造された反射防止フィルムに関するものである。   In the present invention, the antireflection layer (medium refractive index layer, high refractive index layer, low refractive index layer) shown in FIGS. (Refractive index layer / low refractive index layer, medium refractive index layer / high refractive index layer / low refractive index layer) and antireflection film manufactured by individual manufacturing method and antireflection film having stabilized film thickness It relates to film.

図2は反射防止フィルムの製造方法の一例を示す模式図である。   FIG. 2 is a schematic view showing an example of a method for producing an antireflection film.

図中、2は反射防止フィルム製造装置を示す。反射防止フィルム製造装置2は、フィルム基体繰り出し部3と、塗布液供給部4と、塗布部5と、乾燥部6と、制御部7と、巻き取り部8と、フィルム基体の繋ぎ目検出機9とを有している。301は巻き芯に巻かれたロール状フィルム基体を示し、302は繰り出されたフィルム基体を示す。   In the figure, 2 indicates an antireflection film manufacturing apparatus. The antireflection film manufacturing apparatus 2 includes a film substrate feeding unit 3, a coating liquid supply unit 4, a coating unit 5, a drying unit 6, a control unit 7, a winding unit 8, and a film substrate joint detector. 9. Reference numeral 301 denotes a roll-shaped film base wound around a winding core, and 302 denotes a fed-out film base.

塗布部5は、第1塗布部501と、第2塗布部502と、第3塗布部503とを有している。第1塗布部501、第2塗布部502、第3塗布部503は、繰り出されたフィルム基体302上に塗布する塗布液の数に対応して配設されている。本図に示される塗布部5は、図1の(e)に示す層構成(中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の3層)を形成する3種類の塗布液を塗布するため、第1塗布部501〜第3塗布部503の3つの塗布部から構成されている。第1塗布部501は、バックアップロール501bに支持されたフィルム基体301上に中屈折率層形成用塗布液を塗布するコータ501aを有している。第2塗布部502は、バックアップロール502bに支持された中屈折率層形成が形成されたフィルム基体303の中屈折率層上に高屈折率層形成用塗布液を塗布するコータ502aを有している。第3塗布部503は、バックアップロール503bに支持された、中屈折率層と高屈折率層とが形成されたフィルム基体304の高屈折率層上に低屈折率層形成用塗布液を塗布するコータ503aを有している。   The application unit 5 includes a first application unit 501, a second application unit 502, and a third application unit 503. The 1st application part 501, the 2nd application part 502, and the 3rd application part 503 are arrange | positioned corresponding to the number of application | coating liquids apply | coated on the film | membrane base 302 with which it extended | stretched. The coating unit 5 shown in this figure applies three types of coating liquids that form the layer configuration (three layers of a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer) shown in FIG. Therefore, it is comprised from three application parts, the 1st application part 501-the 3rd application part 503. The 1st application part 501 has the coater 501a which apply | coats the coating liquid for medium refractive index layer formation on the film base | substrate 301 supported by the backup roll 501b. The second application unit 502 includes a coater 502a that applies a coating solution for forming a high refractive index layer onto the middle refractive index layer of the film base 303 on which the formation of the intermediate refractive index layer supported by the backup roll 502b is formed. Yes. The third coating unit 503 applies a coating solution for forming a low refractive index layer on the high refractive index layer of the film substrate 304 formed with the medium refractive index layer and the high refractive index layer, which is supported by the backup roll 503b. It has a coater 503a.

第1塗布部501〜第3塗布部503に用いられるコータ501a〜503aは、塗布液の精密な供給量の規制が可能、塗布液の循環使用がなく塗布液物性の変化がなく安定に膜厚を保ち易いこと等から流量規制型であるスライド型コータ、エクストルージョン型コータ、カーテン型コータ等が本発明に係る塗布方法として特に好ましい。   The coaters 501a to 503a used in the first application unit 501 to the third application unit 503 can regulate the precise supply amount of the coating liquid, and the coating film is not circulated and used, and there is no change in physical properties of the coating liquid. In particular, a flow coater type slide coater, extrusion coater, curtain coater and the like are particularly preferable as the coating method according to the present invention.

305はフィルム基体302上に、中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層がこの順番で形成された反射防止フィルムを示し、306は巻き芯に巻かれたロール状反射防止フィルムを示す。   Reference numeral 305 denotes an antireflection film in which a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer are formed in this order on a film substrate 302, and 306 denotes a roll-shaped antireflection film wound around a winding core. .

塗布液供給部4は、フィルム基体302上に塗布する塗布液の数に対応して配設されている調製釜401〜403を有している。401は中屈折率層形成用塗布液を調製する調製釜を示し、402高中屈折率層形成用塗布液を調製する調製釜を示し、403は低屈折率層形成用塗布液を調製する調製釜を示す。調製釜401で調製された中屈折率層形成用塗布液は送液管401aを通り送液ポンプ401bによりコータ501aに塗布量に合わせ供給される様になっている。調製釜402で調製された高屈折率層形成用塗布液は送液管402aを通り送液ポンプ402bによりコータ502aに塗布量に合わせ供給される様になっている。調製釜403で調製された低屈折率層形成用塗布液は送液管403aを通り送液ポンプ403bによりコータ503aに塗布量に合わせ供給される様になっている。401cは送液ポンプ401bの電力供給部を示し、402cは送液ポンプ402bの電力供給部を示し、403cは送液ポンプ403bの電力供給部を示す。使用する送液ポンプは、例えばサーボモータを使用したポンプ、インバーターモータを使用したポンプが挙げられるが、オンタイムでの周波数(流量)可変なインバーターモータを使用したポンプが好ましい。   The coating liquid supply unit 4 includes preparation kettles 401 to 403 arranged corresponding to the number of coating liquids to be coated on the film substrate 302. 401 represents a preparation pot for preparing a coating solution for forming a medium refractive index layer, 402 represents a preparation pot for preparing a coating liquid for forming a high refractive index layer, and 403 represents a preparation pot for preparing a coating solution for forming a low refractive index layer. Indicates. The medium refractive index layer forming coating solution prepared in the preparation kettle 401 is supplied to the coater 501a according to the coating amount by the liquid feeding pump 401b through the liquid feeding tube 401a. The coating liquid for forming a high refractive index layer prepared in the preparation kettle 402 is supplied to the coater 502a by the liquid feeding pump 402b in accordance with the coating amount through the liquid feeding pipe 402a. The coating solution for forming a low refractive index layer prepared in the preparation kettle 403 is supplied to the coater 503a in accordance with the coating amount through a liquid feeding pipe 403a. 401c represents a power supply unit of the liquid feed pump 401b, 402c represents a power supply unit of the liquid feed pump 402b, and 403c represents a power supply unit of the liquid feed pump 403b. Examples of the liquid feed pump to be used include a pump using a servo motor and a pump using an inverter motor, and a pump using an inverter motor with a variable on-time frequency (flow rate) is preferable.

乾燥部6は、第1乾燥部601と、第2乾燥部602と、第3乾燥部603とを有している。第1乾燥部601〜第3乾燥部603は、フィルム基体301上に塗布する塗布液の数に対応して配設されている。本図に示される乾燥部6は、図1の(d)に示す層構成(中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の3層)を形成するために塗布された3種類の塗布液をそれぞれ乾燥するため、第1乾燥部601〜第3乾燥部603の3つの乾燥部から構成されている。601aは第1系列乾燥装置601a1と第2系列乾燥装置601a2との2系列を有する中屈折率層形成用の乾燥装置を示す。602aは第1系列乾燥装置602a1と第2系列乾燥装置602a2との2系列を有する高屈折率層形成用の乾燥装置を示す。603aは第1系列乾燥装置603a1と第2系列乾燥装置603a2との2系列を有する低屈折率層形成用の乾燥装置を示す。各乾燥装置601a〜603aの系列数は使用する塗布液の種類、膜厚、塗布速度、温度、風量等から適宜選定することが可能である。   The drying unit 6 includes a first drying unit 601, a second drying unit 602, and a third drying unit 603. The first drying unit 601 to the third drying unit 603 are arranged corresponding to the number of coating liquids applied on the film substrate 301. The drying unit 6 shown in this figure has three types of coating applied to form the layer configuration (three layers of a medium refractive index layer, a high refractive index layer, and a low refractive index layer) shown in FIG. In order to dry the coating liquid, each of the first drying unit 601 to the third drying unit 603 includes three drying units. Reference numeral 601a denotes a drying apparatus for forming a medium refractive index layer having two series of a first series drying apparatus 601a1 and a second series drying apparatus 601a2. Reference numeral 602a denotes a drying apparatus for forming a high refractive index layer having two series of a first series drying apparatus 602a1 and a second series drying apparatus 602a2. Reference numeral 603a denotes a drying apparatus for forming a low refractive index layer having two series of a first series drying apparatus 603a1 and a second series drying apparatus 603a2. The number of series of each of the drying devices 601a to 603a can be appropriately selected from the type of coating liquid to be used, the film thickness, the coating speed, the temperature, the air volume, and the like.

601bは繰り出されたフィルム基体302上に塗布された中屈折率層形成用塗布液が第1系列乾燥装置601a1を通過し、第2系列乾燥装置601a2に入る際、塗布面が接触しないでターンさせる非接触型のエアーロールを示す。602bはフィルム基体301上に形成された中屈折率層上に塗布された高屈折率層形成用塗布液が第1系列乾燥装置602a1を通過し、第2系列乾燥装置602a2に入る際、塗布面が接触しないでターンさせる非接触型のエアーロールを示す。603bは中屈折率層上に形成された高屈折率層上に塗布された高屈折率層形成用塗布液が第1系列乾燥装置603a1を通過し、第2系列乾燥装置603a2に入る際、塗布面が接触しないでターンさせる非接触型のエアーロールを示す。   Reference numeral 601b indicates that the coating liquid for forming the medium refractive index layer applied on the fed film substrate 302 passes through the first series drying apparatus 601a1 and turns without contacting the coating surface when entering the second series drying apparatus 601a2. A non-contact type air roll is shown. Reference numeral 602b denotes a coating surface when the coating liquid for forming a high refractive index layer applied on the middle refractive index layer formed on the film substrate 301 passes through the first series drying apparatus 602a1 and enters the second series drying apparatus 602a2. Shows a non-contact type air roll that turns without touching. A coating liquid 603b is applied when the coating liquid for forming a high refractive index layer applied on the high refractive index layer formed on the medium refractive index layer passes through the first series drying apparatus 603a1 and enters the second series drying apparatus 603a2. A non-contact type air roll that is turned without contacting the surface is shown.

601cは乾燥装置601aの第2系列乾燥装置601a2の最後に設けられた紫外線照射装置示し、602cは乾燥装置602aの第2系列乾燥装置602a2の最後に設けられた紫外線照射装置示し、603cは乾燥装置603aの第2系列乾燥装置603a2の最後に設けられた紫外線照射装置示し、これらの各紫外線照射装置の設置は塗布液の種類により適宜選択することが可能となっている。   Reference numeral 601c denotes an ultraviolet irradiation device provided at the end of the second series drying apparatus 601a2 of the drying apparatus 601a, reference numeral 602c denotes an ultraviolet irradiation apparatus provided at the end of the second series drying apparatus 602a2 of the drying apparatus 602a, and reference numeral 603c denotes a drying apparatus. An ultraviolet irradiation device provided at the end of the second series drying device 603a2 of 603a is shown, and the installation of each of these ultraviolet irradiation devices can be appropriately selected depending on the type of coating liquid.

601dは乾燥装置601aの第2系列乾燥装置601a2の最後に設けられた冷却装置示し、602dは乾燥装置602aの第2系列乾燥装置602a2の最後に設けられた冷却装置示し、603dは乾燥装置603aの第2系列乾燥装置603a2の最後に設けられた冷却装置示し、これらの冷却装置は次工程の塗布、巻き取りを行うために設置することが好ましい。   Reference numeral 601d denotes a cooling device provided at the end of the second series drying apparatus 601a2 of the drying apparatus 601a, reference numeral 602d denotes a cooling apparatus provided at the end of the second series drying apparatus 602a2 of the drying apparatus 602a, and reference numeral 603d denotes the drying apparatus 603a. The cooling devices provided at the end of the second series drying device 603a2 are shown, and these cooling devices are preferably installed to perform application and winding of the next process.

制御部7は、第1制御部701と、第2制御部702と、第3制御部703とを有している。第1制御部701は測定手段701aと制御部701bとを有している。第2制御部702は測定手段702aと制御部702bとを有している。第3制御部703は測定手段703aと制御部703bとを有している。制御部7に関しては、図3で説明する。   The control unit 7 includes a first control unit 701, a second control unit 702, and a third control unit 703. The first control unit 701 includes a measuring unit 701a and a control unit 701b. The second control unit 702 includes a measuring unit 702a and a control unit 702b. The third control unit 703 includes a measuring unit 703a and a control unit 703b. The control unit 7 will be described with reference to FIG.

各測定手段701a、702a、703aは、乾燥終了後に形成された反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低中屈折率層)を測定可能な位置に配設し、反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低中屈折率層)の幅方向で少なくとも3箇所に配設することが好ましい。各測定手段による各反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低中屈折率層)の反射率の測定は、校正がされた各測定手段により少なくとも0.5〜5秒間隔で中屈折率層用塗布液の塗布開始から、低中屈折率層用塗布液が塗布され、乾燥終了までを連続的に測定することが好ましい。測定手段の校正及び測定手段の校正方法に関しては図4〜図6で説明する。   Each measuring means 701a, 702a, 703a arranges the antireflection layer (medium refractive index layer, high refractive index layer, low medium refractive index layer) formed after the drying at a position where it can be measured. The medium refractive index layer, the high refractive index layer, and the low / medium refractive index layer) are preferably disposed in at least three locations in the width direction. The measurement of the reflectance of each antireflection layer (medium refractive index layer, high refractive index layer, low medium refractive index layer) by each measurement means is performed at intervals of at least 0.5 to 5 seconds by each calibrated measurement means. It is preferable to continuously measure from the start of application of the refractive index layer coating solution to the end of drying after the application of the low and medium refractive index layer coating solution. The calibration of the measurement means and the calibration method of the measurement means will be described with reference to FIGS.

図3は図1に示される反射防止フィルム製造工程を構成している塗布部と制御部との関係を示す概略ブロック図である。   FIG. 3 is a schematic block diagram showing the relationship between the coating unit and the control unit constituting the antireflection film manufacturing process shown in FIG.

本図を使用し、各塗布部と制御部との関係を説明する。第1塗布部でフィルム基体上に塗布され形成された中屈折率層は、中屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所に配設された測定手段701aにより反射率が測定される。測定された中屈折率層の少なくとも3箇所の反射率に関する情報は制御部701bのCPUに入力される。CPUに入力された情報はメモリーに予め入力されている基準値と対比、演算処理を行い、電流供給部401cの電圧調整を行うことにより送液ポンプ401bのモータの回転数を制御し、塗布液の供給量を調整することが可能となっている。   The relationship between each application part and a control part is demonstrated using this figure. The reflectance of the intermediate refractive index layer formed on the film substrate by the first application portion is measured by measuring means 701a disposed at least at three locations in the width direction of the intermediate refractive index layer. Information on the measured reflectance of at least three locations of the medium refractive index layer is input to the CPU of the control unit 701b. The information input to the CPU is compared with a reference value input in advance in the memory, is subjected to arithmetic processing, and the voltage of the current supply unit 401c is adjusted to control the number of rotations of the motor of the liquid feed pump 401b. It is possible to adjust the supply amount.

第2塗布部で中屈折率層上に塗布され形成された高屈折率層は、高屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所に配設された測定手段702aにより反射率が測定される。測定された反射率に関する情報は制御部702bのCPUに入力される。CPUに入力された情報はメモリーに予め入力されている基準値と対比、演算処理を行い、電圧供給部402cの電圧調整を行うことにより、送液ポンプ402bのモータの回転数を制御し、塗布液の供給量を調整することが可能となっている。   The reflectance of the high refractive index layer applied and formed on the middle refractive index layer in the second application part is measured by the measuring means 702a disposed in at least three places in the width direction of the high refractive index layer. Information on the measured reflectance is input to the CPU of the control unit 702b. The information input to the CPU is compared with a reference value input in advance in the memory, performs arithmetic processing, and adjusts the voltage of the voltage supply unit 402c, thereby controlling the number of revolutions of the motor of the liquid feed pump 402b and applying the information. It is possible to adjust the supply amount of the liquid.

第3塗布部で高屈折率層上に塗布され形成された低屈折率層は、低屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所に配設された測定手段703aにより反射率が測定される。測定された反射率に関する情報は制御部703bのCPUに入力される。CPUに入力された情報はメモリーに予め入力されている基準値と対比、演算処理を行い、電流供給部403cの電流調整を行うことにより、送液ポンプ403bのモータの回転数を制御し、塗布液の供給量を調整することが可能となっている。   The reflectance of the low refractive index layer applied and formed on the high refractive index layer in the third application portion is measured by measuring means 703a disposed at least in three positions in the width direction of the low refractive index layer. Information on the measured reflectance is input to the CPU of the control unit 703b. The information input to the CPU is compared with the reference value input in advance in the memory, performs arithmetic processing, and adjusts the current of the current supply unit 403c, thereby controlling the number of revolutions of the motor of the liquid feed pump 403b. It is possible to adjust the supply amount of the liquid.

図4は図2に示す測定手段で、校正時に測定手段が回動し、固定している基準板を測定する方式の模式図である。本図は、図2に示される各測定手段は全て同じ方式であるため、第1制御部701(図2を参照)に配設された測定手段701a(図2を参照)を代表して説明する。   FIG. 4 is a schematic view of the measuring means shown in FIG. 2 in which the measuring means is rotated during calibration and the fixed reference plate is measured. 2 is representative of the measuring means 701a (see FIG. 2) disposed in the first control unit 701 (see FIG. 2) because all the measuring means shown in FIG. To do.

図中、303aはフィルム基体302上に形成された中屈折率層を示す。測定手段701aは、投光部と受光部とを有するセンサー部701a1と、光源701a2と、ディテクター701a3と、センサー部701a1を回転駆動するためのモータ701a4と、校正用の基準板701a5、701a6とを有している。   In the figure, reference numeral 303 a denotes a medium refractive index layer formed on the film substrate 302. The measuring unit 701a includes a sensor unit 701a1 having a light projecting unit and a light receiving unit, a light source 701a2, a detector 701a3, a motor 701a4 for rotationally driving the sensor unit 701a1, and reference plates 701a5 and 701a6 for calibration. Have.

θはセンサー部701a1から中屈折率層303aへの光の照射角度を示す。照射角度θは90±5度が好ましい。±5度を越えた場合は、センサー部からの照射された光が中屈折率層に当たり、反射した光の光量が±5度に比べて著しく落ち、正確な測定が出来なくなってしまう場合がある。   θ represents an irradiation angle of light from the sensor unit 701a1 to the middle refractive index layer 303a. The irradiation angle θ is preferably 90 ± 5 degrees. When the angle exceeds ± 5 degrees, the light irradiated from the sensor part hits the middle refractive index layer, and the amount of reflected light may be significantly lower than ± 5 degrees, making accurate measurement impossible. .

光源701a2には、一般的には可視領域でタングステンハロゲンランプ、短波長側で紫外線ランプが使用される。特に精度よい測定を求められる場合には併用することが好ましい。タングステンハロゲンランプだけであると測定時の反射率値が380〜430nmの範囲でバラツキが発生し、精度よい測定が出来ない場合がある。センサー部701a1の収束レンズ面から中屈折率層303aの表面までの距離の決め方は図5で説明する。   As the light source 701a2, a tungsten halogen lamp is generally used in the visible region, and an ultraviolet lamp is used on the short wavelength side. In particular, it is preferable to use in combination when accurate measurement is required. If only a tungsten halogen lamp is used, there will be variations in the reflectance value during measurement in the range of 380 to 430 nm, and accurate measurement may not be possible. A method of determining the distance from the converging lens surface of the sensor unit 701a1 to the surface of the middle refractive index layer 303a will be described with reference to FIG.

基準板701a5は直角に当てた光が直角に戻るほどの平滑性を有し、径時で大きな表面状態の変化がなければ材質に制限はないが、一般的にはガラス、金属などの板状の物の組成比率を変化させる、又は表面加工方法(蒸着、塗布等)により特性を制御し各種ニーズに対応している。そして、より測定精度を高めるためには測定する被測定物の反射率が近い反射率を有していることがより好ましい。   The reference plate 701a5 has such smoothness that light applied at a right angle returns to a right angle, and the material is not limited as long as there is no significant change in the surface condition at the time of diameter. The composition ratio of the product is changed, or the characteristics are controlled by a surface processing method (evaporation, coating, etc.) to meet various needs. And in order to raise a measurement precision more, it is more preferable that the reflectance of the to-be-measured object to measure has a near reflectance.

本図では、中屈折率層303aを測定するため、中屈折率層の反射率に近い反射率7〜12%を有するサファイア板が好ましい。第2制御部702(図2を参照)に配設された測定手段702a(図2を参照)の場合には、基準板701a5に相当する基準板には、高屈折率層の反射率が近い反射率25〜40%を有するシリコーン板等が好ましい。第3制御部703(図2を参照)に配設された測定手段703a(図2を参照)の場合には、基準板701a5に相当する基準板には、低屈折率層の反射率に近い反射率2〜5%を有するBK7板が好ましい。基準板701a5は、ベースライン用の基準板であるため反射率が0%となるようにミラーに角度を付けて設置する。第2制御部702(図2を参照)に配設された測定手段702a(図2を参照)及び第3制御部703(図2を参照)に配設された測定手段703a(図2を参照)も基準板701a5に相当する基準板を有している。   In this figure, in order to measure the middle refractive index layer 303a, a sapphire plate having a reflectance of 7 to 12% close to the reflectance of the middle refractive index layer is preferable. In the case of the measuring means 702a (see FIG. 2) disposed in the second control unit 702 (see FIG. 2), the reflectance of the high refractive index layer is close to the reference plate corresponding to the reference plate 701a5. A silicone plate or the like having a reflectance of 25 to 40% is preferable. In the case of the measuring means 703a (see FIG. 2) arranged in the third control unit 703 (see FIG. 2), the reference plate corresponding to the reference plate 701a5 is close to the reflectance of the low refractive index layer. A BK7 plate having a reflectivity of 2-5% is preferred. Since the reference plate 701a5 is a baseline reference plate, the mirror is installed at an angle so that the reflectance is 0%. Measuring means 702a (see FIG. 2) disposed in the second controller 702 (see FIG. 2) and measuring means 703a (see FIG. 2) disposed in the third controller 703 (see FIG. 2). ) Also has a reference plate corresponding to the reference plate 701a5.

センサー部701a1による基準板701a5、基準板701a6の測定は、モータ701a4によりセンサー部701a1を基準板701a5、基準板701a6の設置位置まで回転駆動すること行う様になっている。基準板701a5と基準板701a6とを測定することでディテクター701a3により測定手段701aのベースラインの設定(校正)が行われる様になっている。尚、中屈折率層303aの幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、本図に示される測定手段701aが測定箇所に応じて3台固定して配設されており、これらの3台のベースラインの設定(校正)は、本図と全く同じ方法で行われる様になっている。   The measurement of the reference plate 701a5 and the reference plate 701a6 by the sensor unit 701a1 is performed by rotationally driving the sensor unit 701a1 to the installation position of the reference plate 701a5 and the reference plate 701a6 by the motor 701a4. By measuring the reference plate 701a5 and the reference plate 701a6, the detector 701a3 sets (calibrates) the baseline of the measuring means 701a. Incidentally, in order to measure at least three places in the width direction of the middle refractive index layer 303a, three measuring means 701a shown in the figure are fixedly arranged according to the measuring places. Baseline setting (calibration) is performed in exactly the same way as in this figure.

第2制御部702(図2を参照)に配設された、高屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、高屈折率層の幅方向に配設された3台の測定手段702a(図2を参照)及び第3制御部703(図2を参照)に配設された、低屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、低屈折率層の幅方向に配設された3台の測定手段703a(図2を参照)も第1制御部702(図2を参照)の測定手段701aと同じ方法でベースラインの設定(校正)が行われる様になっている。   Three units arranged in the width direction of the high refractive index layer in order to measure at least three places in the width direction of the high refractive index layer arranged in the second control unit 702 (see FIG. 2) In order to measure at least three locations in the width direction of the low refractive index layer disposed in the means 702a (see FIG. 2) and the third controller 703 (see FIG. 2), the width direction of the low refractive index layer The three measuring units 703a (see FIG. 2) arranged in the base line are set (calibrated) by the same method as the measuring unit 701a of the first control unit 702 (see FIG. 2). ing.

図5は図4に示すセンサー部の光学系の概略図である。   FIG. 5 is a schematic diagram of an optical system of the sensor unit shown in FIG.

図中、701a′1はプローブを示し、701a′2は収束レンズを示す。f1は収束レンズ701a′2の直径を示し、L1は収束レンズの中心面からフィルム基体302上に形成された中屈折率層303a迄の距離を示し、L2はプローブの先端から収束レンズの中心迄の距離を示す。センサー部701a1の収束レンズの中心面から中屈折率層303aの表面までの距離L1はセンサー部701a1に使用するレンズの径により決まるため規定することは出来ないが、式1)で示される関係式を有しているため計算で求めることが可能となっている。   In the figure, 701a'1 indicates a probe, and 701a'2 indicates a converging lens. f1 represents the diameter of the converging lens 701a'2, L1 represents the distance from the central surface of the converging lens to the middle refractive index layer 303a formed on the film substrate 302, and L2 from the tip of the probe to the center of the converging lens. Indicates the distance. Although the distance L1 from the center plane of the converging lens of the sensor unit 701a1 to the surface of the middle refractive index layer 303a is determined by the diameter of the lens used for the sensor unit 701a1, it cannot be defined, but the relational expression expressed by equation 1) It is possible to calculate by calculation.

式1) L2=L1×(f1/L1−f1)
図6は図2に示す測定手段で、校正時に測定手段が移動し、回動可能に設置された基準板を測定する方式の模式図である。本図は、図2に示される各測定手段は全て同じ方式であるため、第1制御部701(図2を参照)に配設された測定手段701a(図2を参照)を代表して説明する。
Formula 1) L2 = L1 × (f1 / L1-f1)
FIG. 6 is a schematic view of the measuring means shown in FIG. 2 in which the measuring means moves during calibration and a reference plate that is rotatably installed is measured. 2 is representative of the measuring means 701a (see FIG. 2) disposed in the first control unit 701 (see FIG. 2), since all the measuring means shown in FIG. To do.

図中、701a11〜701a13は中屈折率層303aの幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、中屈折率層303aを有するフィルム基体303の搬送方向に配設された3台の測定手段701aの各センサー部を示す。701b1はセンサー部701a11を取り付ける台座を示し、水平移動用のステージ701c1に沿って移動(図中の矢印方向)が可能となっている。701b2はセンサー部701a12を取り付ける台座を示し、水平移動用のステージ701c2に沿って移動(図中の矢印方向)が可能となっている。701b3はセンサー部701a13を取り付ける台座を示し、水平移動用のステージ701c3に沿って移動(図中の矢印方向)が可能となっている。   In the drawing, reference numerals 701a11 to 701a13 denote three measuring means 701a arranged in the transport direction of the film base 303 having the middle refractive index layer 303a in order to measure at least three places in the width direction of the middle refractive index layer 303a. Each sensor part is shown. Reference numeral 701b1 denotes a pedestal to which the sensor unit 701a11 is attached, which can be moved along the horizontal movement stage 701c1 (in the arrow direction in the figure). Reference numeral 701b2 denotes a pedestal to which the sensor unit 701a12 is attached, which can be moved along the horizontal movement stage 701c2 (in the direction of the arrow in the drawing). Reference numeral 701b3 denotes a pedestal to which the sensor unit 701a13 is attached, and movement (in the direction of the arrow in the drawing) is possible along the stage 701c3 for horizontal movement.

各ステージ701c1〜701c3は、中屈折率層303aを有するフィルム基体303の幅方向に平行に配設されている。701dは校正用の各基準板を取り付け回転可能となっている基準板取り付け板を示す。701d1は図4に示す基準板701a5に相当する基準板を示し、701d2は図4に示す基準板701a6に相当する基準板を示す。各センサー部701a11〜701a13は、図4で示した方法と全く同じ方法でベースラインの設定(校正)が行われる様になっている。但し、各センサー部701a11〜701a13の校正をする場合は同時期に行うことが好ましい。   Each stage 701c1-701c3 is arrange | positioned in parallel with the width direction of the film base | substrate 303 which has the middle refractive index layer 303a. Reference numeral 701d denotes a reference plate mounting plate on which each calibration reference plate can be mounted and rotated. 701d1 represents a reference plate corresponding to the reference plate 701a5 shown in FIG. 4, and 701d2 represents a reference plate corresponding to the reference plate 701a6 shown in FIG. Each sensor unit 701a11 to 701a13 is configured to set (calibrate) a baseline in exactly the same manner as shown in FIG. However, when calibrating each sensor part 701a11-701a13, it is preferable to carry out at the same time.

第2制御部702(図2を参照)に配設された、高屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、高屈折率層を有する基体の搬送方向に配設された3台の測定手段702a(図2を参照)及び第3制御部703(図2を参照)に配設された、低屈折率層の幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、低屈折率層を有する基体の搬送方向に配設された3台の測定手段703a(図2を参照)も本図で示される測定手段701aと同じ方法でベースラインの設定(校正)が行われる様になっている。尚、第2制御部702(図2を参照)及び第3制御部703(図2を参照)に使用される本図に示される方式の測定手段の校正に使用する基準板は図4で示した基準板と同じものが使用可能である。   In order to measure at least three locations in the width direction of the high refractive index layer disposed in the second control unit 702 (see FIG. 2), 3 disposed in the transport direction of the substrate having the high refractive index layer. In order to measure at least three places in the width direction of the low refractive index layer, which are disposed in the measuring means 702a (see FIG. 2) and the third control unit 703 (see FIG. 2), the low refractive index layer The three measuring means 703a (see FIG. 2) arranged in the conveying direction of the substrate having the base are set (calibrated) by the same method as the measuring means 701a shown in the figure. Yes. A reference plate used for calibration of the measuring means of the method shown in this figure used in the second control unit 702 (see FIG. 2) and the third control unit 703 (see FIG. 2) is shown in FIG. The same reference plate can be used.

本図で示される方式の測定手段の校正は、校正する時期に3台の測定手段が順番にステージに沿って移動し、校正が終了した段階で順番にステージに沿って移動し再び測定位置に戻る様になっている。   In the calibration of the measuring means shown in this figure, the three measuring means move sequentially along the stage at the time of calibration, and move along the stage in order when the calibration is completed, and then return to the measurement position. It is supposed to return.

台座の移動方法は特に限定なく、例えば、台座に組み込まれたモータによる回転ロールによる方法、台座を駆動ベルトに取り付ける方法等が挙げられる。   The method for moving the pedestal is not particularly limited, and examples thereof include a method using a rotating roll by a motor incorporated in the pedestal, and a method for attaching the pedestal to the drive belt.

図7は図2に示す測定手段で、校正時に固定された測定手段が、基準板をミラーを介して測定する方式の模式図である。本図は、図2に示される各測定手段は全て同じ方式であるため、第1制御部701(図2を参照)に配設された測定手段701a(図2を参照)を代表して説明する。   FIG. 7 is a schematic diagram of a method in which the measurement means shown in FIG. 2 is fixed at the time of calibration and measures the reference plate through a mirror. 2 is representative of the measuring means 701a (see FIG. 2) disposed in the first control unit 701 (see FIG. 2) because all the measuring means shown in FIG. To do.

図中、701eはミラーを示す。他の符号は図4、図6と同義である。本図で示される方式は、センサー部701a1を固定し、校正時にミラー701eが待機位置(不図示)より移動し、センサー部701a1の光軸を、図6に示す校正用の各基準板を取り付け、回転可能となっている基準板取り付け板701dの各基準板の表面と直角になるように屈折させる位置に設置される。又、基準板取り付け板701dも校正時に待機位置(不図示)より移動し、ミラー701eから反射してくる光の光軸と基準板取り付け板701dの各基準板の表面と直角になるような位置に設置される。センサー部701a1の校正は図4に示す方法と同じ方法で行うことが可能である。尚、中屈折率層303aの幅方向の少なくとも3箇所を測定するために、中屈折率層303aの幅方向に配設された他の2台の測定手段も本図と全く同じ方法でベースラインの設定(校正)が行われる様になっている。   In the figure, reference numeral 701e denotes a mirror. Other symbols are the same as those in FIGS. 4 and 6. In the method shown in this figure, the sensor unit 701a1 is fixed, the mirror 701e is moved from a standby position (not shown) during calibration, the optical axis of the sensor unit 701a1 is attached to each calibration reference plate shown in FIG. The reference plate mounting plate 701d that is rotatable is installed at a position where it is refracted so as to be perpendicular to the surface of each reference plate. Further, the reference plate mounting plate 701d is also moved from a standby position (not shown) at the time of calibration so that the optical axis of the light reflected from the mirror 701e is perpendicular to the surface of each reference plate of the reference plate mounting plate 701d. Installed. Calibration of the sensor unit 701a1 can be performed by the same method as shown in FIG. Incidentally, in order to measure at least three places in the width direction of the middle refractive index layer 303a, the other two measuring means arranged in the width direction of the middle refractive index layer 303a are also baselined in the same manner as this figure. Is set (calibration).

第2制御部702(図2を参照)に配設された測定手段702a(図2を参照)及び、第3制御部703(図2を参照)に配設された測定手段703a(図2を参照)の校正も全く同じ方法で行うことが可能となっている。   Measuring means 702a (see FIG. 2) disposed in the second controller 702 (see FIG. 2) and measuring means 703a (see FIG. 2) disposed in the third controller 703 (see FIG. 2). (See) can be calibrated in exactly the same way.

本発明に係わる測定手段は、各反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層)の反射率を測定し、反射率から各反射防止層の厚さを演算処理する方法であり、使用する測定手段としては、例えば、反射分光膜厚計等が挙げられる。又、反射率から各反射防止層の厚さを演算処理する方法以外にも、測定した反射率から任意の波長の反射率、光学物性(視感反射率など)を測定し,その値を用いて条件に対してフェードバックすることも可能である。   The measuring means according to the present invention is a method for measuring the reflectance of each antireflection layer (medium refractive index layer, high refractive index layer, low refractive index layer) and calculating the thickness of each antireflection layer from the reflectance. As the measuring means to be used, for example, a reflection spectral film thickness meter or the like can be mentioned. In addition to the method of calculating the thickness of each antireflection layer from the reflectance, the reflectance of an arbitrary wavelength and the optical properties (such as luminous reflectance) are measured from the measured reflectance, and the values are used. It is also possible to fade back to the conditions.

図4〜図7に示される第1制御部〜第3制御部の各測定手段による各反射防止層(中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層)の反射率の測定は、各測定手段の校正を行っている間を除き、0.5〜5秒に少なくとも1回行うことが好ましく、第1制御部〜第3制御部の各測定手段の校正は、工程を止めることなく、次のタイミングで行うことが好ましい。
1)フィルム基材302(図2を参照)の繋ぎ目を繋ぎ目検出機9(図2を参照)により検出した直後に行う。
2)5〜20分の間に少なくとも1回行う。
3)フィルム基材302(図2を参照)の繋ぎ目を繋ぎ目検出機9(図2を参照)により検出した直後と、5〜20分の間に少なくとも1回行う。
The measurement of the reflectance of each antireflection layer (medium refractive index layer, high refractive index layer, low refractive index layer) by each measuring means of the first control unit to the third control unit shown in FIGS. Except during the calibration of the measuring means, it is preferable to perform at least once every 0.5 to 5 seconds. The calibration of each measuring means of the first control unit to the third control unit is performed without stopping the process. It is preferable to carry out at the following timing.
1) Performed immediately after the joint of the film substrate 302 (see FIG. 2) is detected by the joint detector 9 (see FIG. 2).
2) Perform at least once in 5-20 minutes.
3) At least once between 5 to 20 minutes immediately after detection by the joint detector 9 (see FIG. 2) of the joint of the film substrate 302 (see FIG. 2).

上記タイミングで各測定手段の校正を行うことにより次の効果が得られる。
1)常に校正された測定機により反射防止層の測定が行われ、測定情報に基づき塗布液の供給量の調整が行われるため安定した膜厚の反射防止層を有する反射防止フィルムの製造が可能になった。
2)工程を止めることなく校正を行うことにより稼働率の低下の一因を防止することが可能となり、生産性の向上が可能となった。
3)予め経時による変化を予測出来る様な検量線データを作成し測定値に補正演算をする煩雑な作業がなくなり、信頼性が高い校正が可能となり工程管理が容易になった。
The following effects can be obtained by calibrating each measuring means at the above timing.
1) The antireflection layer is always measured by a calibrated measuring machine, and the supply amount of the coating liquid is adjusted based on the measurement information, so that an antireflection film having a stable antireflection layer can be manufactured. Became.
2) By performing calibration without stopping the process, it was possible to prevent one cause of the decrease in operating rate, and it became possible to improve productivity.
3) A calibration curve data that can predict a change with time in advance is prepared, and the complicated work of correcting the measurement value is eliminated, so that highly reliable calibration is possible and process management is facilitated.

本発明に係る反射防止層を形成する組成物について説明する。本発明に係る反射防止層は、基材フィルム/高屈折率層/低屈折率層又は基材フィルム/中屈折率層/高屈折率層/低屈折率層で構成されている。そして、中屈折率層の屈折率を決める主な物質は、酸化チタンと樹脂や酸化珪素の混合物であり、高屈折率層の屈折率を決める主な物質は酸化チタンであり、低屈折率層の屈折率を決める主な物質は酸化珪素又は酸化珪素とフッ素化合物の混合物である。   The composition for forming the antireflection layer according to the present invention will be described. The antireflection layer according to the present invention is composed of base film / high refractive index layer / low refractive index layer or base film / medium refractive index layer / high refractive index layer / low refractive index layer. The main substance that determines the refractive index of the medium refractive index layer is a mixture of titanium oxide and resin or silicon oxide, and the main substance that determines the refractive index of the high refractive index layer is titanium oxide. The main substance that determines the refractive index of silicon oxide is silicon oxide or a mixture of silicon oxide and a fluorine compound.

酸化チタン又は酸化珪素を形成する前駆体は主として、有機チタン化合物あるいは有機珪素化合物のモノマー、オリゴマー又はそれらの加水分解物である。又、有機金属化合物を使用せずに、酸化チタン、酸化珪素、酸化チタンと酸化珪素の混合物又は酸化珪素とフッ素化合物を微粒子状として用いてもよい。以下に、本発明に有用な有機金属化合物について説明する。尚、有機金属化合物に一部ハロゲン化金属化合物を含めることがあることを断っておく。   The precursor for forming titanium oxide or silicon oxide is mainly an organic titanium compound or a monomer, oligomer or hydrolyzate thereof. Further, titanium oxide, silicon oxide, a mixture of titanium oxide and silicon oxide, or silicon oxide and fluorine compound may be used as fine particles without using an organometallic compound. The organometallic compound useful in the present invention is described below. It should be noted that some metal halide compounds may be included in the organometallic compound.

本発明に係わる高屈折率層用又は中屈折率層用の前駆体としての有機チタン化合物は下記式(I)又は(II)で表される。   The organic titanium compound as a precursor for a high refractive index layer or a medium refractive index layer according to the present invention is represented by the following formula (I) or (II).

(I) Ti(R63
(II) Ti(R74
式中、R6はOR9又はXであり、及びR7はR8、OR9、OR10又はXであり、R8及びOR9のR9は炭素原子数1〜8の脂肪族炭化水素基、好ましくは炭素原子数1〜4の脂肪族炭化水素基、OR10はβ−ケトン錯体基、β−ケト酸錯体基、β−ケト酸エステル錯体基、又はケト酸錯体で、又Xはハロゲンである。OR9又はXは上記式の(I)又は(II)のTiに少なくとも3個が結合していることが必須である。上記式(I)又は(II)の有機チタン化合物は、塗布組成物として塗布液中には、モノマー、オリゴマー、又はそれらの加水分解物として存在している。この加水分解物は−Ti−O−Ti−のように反応して架橋構造をしていると考えられ、これにより硬化した層が形成される。
(I) Ti (R 6 ) 3
(II) Ti (R 7 ) 4
In the formula, R 6 is OR 9 or X, and R 7 is R 8 , OR 9 , OR 10 or X, and R 9 in R 8 and OR 9 is an aliphatic hydrocarbon having 1 to 8 carbon atoms. A group, preferably an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 4 carbon atoms, OR 10 is a β-ketone complex group, a β-keto acid complex group, a β-keto acid ester complex group, or a keto acid complex, and X is Halogen. It is essential that at least three of OR 9 or X are bonded to Ti in the above formula (I) or (II). The organic titanium compound of the above formula (I) or (II) is present as a monomer, an oligomer, or a hydrolyzate thereof in the coating liquid as a coating composition. This hydrolyzate is considered to have a crosslinked structure by reacting like -Ti-O-Ti-, whereby a cured layer is formed.

本発明に係わる有用な有機チタン化合物のモノマー、オリゴマーとしては、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラプロポキシチタン、テトラブトキシチタン、メチルトリメトキシチタン、エチルトリエトキシチタン、エチルトリプロポキシチタン、メチルトリプロポキシチタン、エチルトリブトキシチタン、トリエトキシチタンアセトアセトナート、ジプロポキシチタンジアセトアセトナート、クロロトリプロポキシチタン、クロロトリエトキシチタン、トリメトキシチタン、トリエトキシチタン、トリプロポキシチタン、ジエトキシチタンアセトアセトナート等及びこれらのオリゴマーの2〜10量体を挙げることが出来、これらに限定されない。尚、プロポキシ基についてはn−又はi−、又ブトキシ基については、n−、i−、s−又はtの何れであってもよく、上記において、これらについては省略してある。本発明において、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラプロポキシチタン、テトラブトキシチタン及びこれらの2〜10量体を好ましく用いることが出来る。中でもテトラプロポキシチタン、テトラブトキシチタン、及びこれらの2〜10量体が特に好ましい。又、有機チタンを2種以上組合せて用いてもよい。   Examples of useful organic titanium compound monomers and oligomers according to the present invention include tetramethoxy titanium, tetraethoxy titanium, tetrapropoxy titanium, tetrabutoxy titanium, methyl trimethoxy titanium, ethyl triethoxy titanium, ethyl tripropoxy titanium, methyl tripropoxy. Titanium, ethyl tributoxy titanium, triethoxy titanium acetoacetonate, dipropoxy titanium diacetoacetonate, chlorotripropoxy titanium, chlorotriethoxy titanium, trimethoxy titanium, triethoxy titanium, tripropoxy titanium, diethoxy titanium acetoacetonate Etc. and di- to 10-mers of these oligomers can be mentioned, but are not limited thereto. The propoxy group may be n- or i-, and the butoxy group may be any of n-, i-, s-, or t. In the above, these are omitted. In the present invention, tetramethoxytitanium, tetraethoxytitanium, tetrapropoxytitanium, tetrabutoxytitanium, and dimer to dimer thereof can be preferably used. Of these, tetrapropoxytitanium, tetrabutoxytitanium, and dimers to dimers thereof are particularly preferable. Further, two or more kinds of organic titanium may be used in combination.

本発明に用いられる有機チタン化合物のモノマー、オリゴマー又はそれらの加水分解物は、高屈折率層塗布液又は中屈折率層塗布液に含まれる固形分中の50.0質量%〜98.0質量%を占めていることが好ましい。固形分比率は50質量%〜90質量%がより好ましく、55質量%〜90質量%が更に好ましい。この他、塗布組成物には有機チタン化合物のポリマー(予め有機チタン化合物の加水分解を行って架橋したもの)を添加することも好ましい。   The monomer, oligomer or hydrolyzate of the organic titanium compound used in the present invention is 50.0% by mass to 98.0% by mass in the solid content contained in the high refractive index layer coating solution or the medium refractive index layer coating solution. % Is preferable. The solid content ratio is more preferably 50% by mass to 90% by mass, and further preferably 55% by mass to 90% by mass. In addition, it is also preferable to add a polymer of an organic titanium compound (a product obtained by previously hydrolyzing an organic titanium compound to be crosslinked) to the coating composition.

又、有機チタン化合物は、高屈折率層塗布液又は中屈折率層塗布液中において上記モノマー、オリゴマー又はこれらの部分又は完全加水分解物として含まれているが、これらの有機チタン化合物は、徐々に自己縮合し架橋して網状結合が形成される。その反応を促進するために触媒や硬化剤を使用してもよく、これらの触媒や硬化剤には金属キレート化合物、有機カルボン酸塩等の有機金属化合物や、アミノ基を有する有機珪素化合物、光による酸発生剤(光酸発生剤)等を挙げることが出来、これらのうち特に好ましいものはアルミキレート化合物と光酸発生剤である。アルミキレート化合物の例としては、エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムトリスエチルアセトアセテート、アルキルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムモノアセチルアセトネートビスエチルアセトアセテート、アルミニウムトリスアセチルアセトネート等であり、光酸発生剤の例としては、ベンジルトリフェニルホスホニウムヘキサフルオロホスフェート、その他のホスホニウム塩やトリフェニルホスホニウムヘキサフルオロホスフェートの塩等を挙げることが出来る。   The organic titanium compound is contained in the high refractive index layer coating solution or medium refractive index layer coating solution as the monomer, oligomer, or a partial hydrolyzate thereof, but these organic titanium compounds are gradually added. Self-condensed and crosslinked to form a network bond. Catalysts and curing agents may be used to promote the reaction. These catalysts and curing agents include metal chelate compounds, organometallic compounds such as organic carboxylates, organosilicon compounds having amino groups, and light. And acid generators (photoacid generators), and the like. Among these, aluminum chelate compounds and photoacid generators are particularly preferable. Examples of aluminum chelate compounds are ethyl acetoacetate aluminum diisopropylate, aluminum trisethyl acetoacetate, alkyl acetoacetate aluminum diisopropylate, aluminum monoacetylacetonate bisethylacetoacetate, aluminum trisacetylacetonate, etc. Examples of the acid generator include benzyltriphenylphosphonium hexafluorophosphate, other phosphonium salts, and triphenylphosphonium hexafluorophosphate salts.

本発明に係わる有用な低屈折率層用及び中屈折率層用の酸化珪素の前駆体としての有機珪素化合物は、下記式(III)で表される。   An organosilicon compound as a precursor of silicon oxide useful for a low refractive index layer and a medium refractive index layer according to the present invention is represented by the following formula (III).

(III) Si(R114
式中、R11はR12、OR13、OR14又はXであり、R12及びOR13のR13は炭素原子数1〜8の炭素原子数の脂肪族炭化水素基、好ましくは1〜4の脂肪族炭化水素基、OR14はβ−ケトン錯体基、β−ケト酸錯体基、又はそのエステル錯体基で、又Xはハロゲンである。Xはハロゲン原子を表す。上記式(III)の有機珪素化合物は、塗布組成物として塗布液中には、モノマー、オリゴマー、又はそれらの加水分解物として存在している。この加水分解物は−Si−O−Si−のように反応して架橋構造をしていると考えられており、これにより硬化した層が形成される。
(III) Si (R 11 ) 4
In the formula, R 11 is R 12 , OR 13 , OR 14 or X, and R 13 in R 12 and OR 13 is an aliphatic hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, preferably 1 to 4 An aliphatic hydrocarbon group, OR 14 is a β-ketone complex group, a β-keto acid complex group, or an ester complex group thereof, and X is a halogen. X represents a halogen atom. The organosilicon compound of the above formula (III) is present as a monomer, an oligomer, or a hydrolyzate thereof in the coating liquid as a coating composition. This hydrolyzate is considered to have a crosslinked structure by reacting like -Si-O-Si-, whereby a hardened layer is formed.

テトラメトキシ珪素、テトラエトキシ珪素、テトラプロポキシ珪素、テトラブトキシ珪素、メチルトリメトキシ珪素、エチルトリエトキシ珪素、エチルトリプロポキシ珪素、メチルトリプロポキシ珪素、エチルトリブトキシ珪素、トリエトキシ珪素アセトアセトナート、ジプロポキシ珪素アセトアセトナート、クロロトリプロポキシ珪素、クロロトリエトキシ珪素等及びこれらのオリゴマーの2〜10量体を挙げることが出来、これらに限定されない。尚、プロポキシ基についてはn−又はi−、又ブトキシ基については、n−、i−又はs−の何れであってもよく、上記において、これらについては省略してある。これらを加水分解することによりオリゴマーが得られる。加水分解反応は、公知の方法により行うことが出来、例えば、上記テトラアルコキシシランに所定量の水を加えて、酸触媒の存在下に、副生するアルコールを留去しながら、通常、室温〜100℃で反応させる。この反応によりアルコキシシランは加水分解し、続いて縮合反応が起こり、ヒドロキシル基を2個以上有する液状のオリゴマー(通常、平均重合度は2〜8、好ましくは3〜6)を加水分解物として得ることが出来る。加水分解の程度は、使用する水の量により適宜調節することが出来るが、本発明においては40〜90%、好ましくは60〜80%である。ここで、加水分解の程度は、加水分解可能な基、即ちテトラアルコキシシランにおいては、アルコキシ基を全て加水分解するために必要な理論水量、即ちエトキシ基の数(mol)の1/2の水を添加した時を加水分解率100%とし、
加水分解率(mol%)=(実際の添加水mol/加水分解理論水mol%)×100として求められる。
Tetramethoxy silicon, tetraethoxy silicon, tetrapropoxy silicon, tetrabutoxy silicon, methyl trimethoxy silicon, ethyl triethoxy silicon, ethyl tripropoxy silicon, methyl tripropoxy silicon, ethyl tributoxy silicon, triethoxy silicon acetoacetonate, dipropoxy silicon aceto Examples include, but are not limited to, acetonate, chlorotripropoxysilicon, chlorotriethoxysilicon, and the like, and di- to 10-mers of these oligomers. The propoxy group may be n- or i-, and the butoxy group may be n-, i-, or s-, and these are omitted in the above. An oligomer is obtained by hydrolyzing these. The hydrolysis reaction can be carried out by a known method. For example, a predetermined amount of water is added to the tetraalkoxysilane, and the by-product alcohol is distilled off in the presence of an acid catalyst. React at 100 ° C. By this reaction, the alkoxysilane is hydrolyzed, followed by a condensation reaction, and a liquid oligomer having 2 or more hydroxyl groups (usually an average degree of polymerization of 2 to 8, preferably 3 to 6) is obtained as a hydrolyzate. I can do it. The degree of hydrolysis can be appropriately adjusted depending on the amount of water used, but in the present invention it is 40 to 90%, preferably 60 to 80%. Here, the degree of hydrolysis is such that in the case of hydrolyzable groups, that is, tetraalkoxysilane, the theoretical amount of water necessary to hydrolyze all alkoxy groups, that is, half the number of ethoxy groups (mol). When the addition of is 100% hydrolysis rate,
Hydrolysis rate (mol%) = (actual added water mol / hydrolysis theoretical water mol%) × 100.

こうして得られたオリゴマーにはモノマーが通常2〜10質量%程度含まれている。本発明においてはモノマー状態で用いてもオリゴマー状態で用いても、又はモノマーとオリゴマーを混合して用いても差し支えないが、モノマーが含まれていると貯蔵安定性に欠け、保存中に増粘し、膜形成が困難となることがあるので、モノマー含有量が全体の有機珪素化合物の1質量%以下、好ましくは0.3質量%以下になるように、このモノマーをフラッシュ蒸溜や真空蒸溜等で除去するのが好ましい。   The oligomer thus obtained usually contains about 2 to 10% by mass of monomers. In the present invention, it may be used in a monomer state or an oligomer state, or a mixture of a monomer and an oligomer may be used. However, since film formation may be difficult, the monomer is flash distilled or vacuum distilled so that the monomer content is 1% by mass or less, preferably 0.3% by mass or less of the total organosilicon compound. Is preferably removed.

本発明には、上記の如くテトラアルコキシシランに触媒や水を添加して得られる部分加水分解物が用いられるが、部分加水分解物より完全加水分解物を用いるのが好ましい。加水分解物に溶媒を配合し、次いで下記硬化触媒と水を添加する等の方法により硬化した加水分解物が得られる。このような溶媒としては、メタノール、エタノール、(n、i−)プロパノール、(n、i、s−)ブタノール、オクタノール等を1種又は2種以上併用して使用するのが好ましい。溶媒量は部分加水分解物100質量部に対して50〜400質量部、好ましくは100〜250質量部である。   In the present invention, a partial hydrolyzate obtained by adding a catalyst or water to tetraalkoxysilane as described above is used, but a complete hydrolyzate is preferably used rather than a partial hydrolyzate. A hydrolyzate cured by a method such as adding a solvent to the hydrolyzate and then adding the following curing catalyst and water is obtained. As such a solvent, it is preferable to use methanol, ethanol, (n, i-) propanol, (n, i, s-) butanol, octanol or the like in combination of one or more. The amount of the solvent is 50 to 400 parts by mass, preferably 100 to 250 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the partial hydrolyzate.

硬化触媒としては、酸、アルカリ、有機金属、金属アルコキシド等を挙げることが出来るが、本発明においては酸、特にスルホニル基又はカルボキシル基を有する有機酸が好ましく用いられる。例えば、酢酸、ポリアクリル酸、ベンゼンスルホン酸、パラトルエンスルホン酸、メチルスルホン酸等が用いられる。又、有機酸は水溶性の酸であることが好ましく、例えば、クエン酸、酒石酸、レブリン酸、ギ酸、プロピオン酸、リンゴ酸、コハク酸、メチルコハク酸、フマル酸、オキサロ酢酸、ピルビン酸、2−オキソグルタル酸、グリコール酸、D−グリセリン酸、D−グルコン酸、マロン酸、マレイン酸、シュウ酸、イソクエン酸、乳酸等が好ましく用いられる。又、安息香酸、ヒドロキシ安息香酸、アトロバ酸等も適宜用いることが出来る。更に、これらの有機酸のうち、1分子内に水酸基とカルボキシル基を有する化合物であれば一層好ましく、例えば、クエン酸又は酒石酸等のようなヒドロキシジカルボン酸は好ましく用いられる。有機酸を用いることにより、硫酸、塩酸、硝酸、次亜塩素酸、ホウ酸等の無機酸の使用した場合の生産時の配管腐蝕や安全性への懸念が解消出来るばかりでなく、加水分解時のゲル化を起こすこともなく、安定した加水分解物を得ることが出来る。有機酸の添加量は、部分加水分解物100質量部に対して0.1〜10質量部、好ましくは0.2〜5質量部がよい。又、水の添加量については部分加水分解物が理論上100mol%加水分解し得る量以上であればよく、100〜300mol%相当量、好ましくは100〜200mol%相当量を添加するのがよい。このようにして得られた低屈折率層用又は中屈折率層用の塗布組成物は極めて安定となる。   Examples of the curing catalyst include acids, alkalis, organic metals, metal alkoxides and the like. In the present invention, acids, particularly organic acids having a sulfonyl group or a carboxyl group are preferably used. For example, acetic acid, polyacrylic acid, benzenesulfonic acid, p-toluenesulfonic acid, methylsulfonic acid and the like are used. The organic acid is preferably a water-soluble acid. For example, citric acid, tartaric acid, levulinic acid, formic acid, propionic acid, malic acid, succinic acid, methyl succinic acid, fumaric acid, oxaloacetic acid, pyruvic acid, 2- Oxoglutaric acid, glycolic acid, D-glyceric acid, D-gluconic acid, malonic acid, maleic acid, oxalic acid, isocitric acid, lactic acid and the like are preferably used. Also, benzoic acid, hydroxybenzoic acid, atorvaic acid and the like can be used as appropriate. Further, among these organic acids, a compound having a hydroxyl group and a carboxyl group in one molecule is more preferable. For example, hydroxydicarboxylic acid such as citric acid or tartaric acid is preferably used. The use of organic acids not only eliminates pipe corrosion and safety concerns during production when inorganic acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, hypochlorous acid, and boric acid are used, but also during hydrolysis. A stable hydrolyzate can be obtained without causing gelation. The addition amount of the organic acid is 0.1 to 10 parts by mass, preferably 0.2 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the partial hydrolyzate. Further, the amount of water added may be more than the amount that the partial hydrolyzate can theoretically hydrolyze to 100 mol%, and the amount corresponding to 100 to 300 mol%, preferably 100 to 200 mol%, should be added. The coating composition for the low refractive index layer or the medium refractive index layer thus obtained is extremely stable.

本発明では更に、加水分解した有機珪素化合物を熟成をすることにより、加水分解の促進、縮合、そして架橋の形成へと進み酸化珪素が形成され、このようにして皮膜となった低屈折率層又は中屈折率層の特性が優れたものとなる。熟成は、オリゴマー液を放置すればよく、放置する時間は上述の架橋が所望の膜特性を得るのに充分な程度進行する時間である。具体的には、用いる触媒の種類にもよるが、塩酸では室温で1時間以上、マレイン酸では数時間以上、8時間〜1週間程度で充分であり、通常3日前後である。熟成温度は熟成速度に影響を与え、極寒地では20℃付近まで加熱する手段をとった方がよいこともある。一般に高温では熟成が早く進むが、100℃以上に加熱するとゲル化が起こるので、せいぜい50〜60℃までの加熱が適切である。又、本発明で用いるオリゴマーについては、上記の他に、例えばエポキシ基、アミノ基、イソシアネート基、カルボキシル基等の官能基を有する有機珪素化合物のモノマー、オリゴマーあるいはポリマーにより変性したものであってもよく上記オリゴマーと併用してもよい。低屈折率層又は中屈折率層に形成される酸化珪素はほとんどがSiOx(ここで、xは2以下である)のようになっており、限りなくSiO2であることが好ましい。 In the present invention, further, the hydrolyzed organosilicon compound is aged to promote hydrolysis, condensation, and formation of a crosslink to form silicon oxide, thus forming a low refractive index layer that is a film. Alternatively, the properties of the medium refractive index layer are excellent. In the aging, the oligomer liquid may be allowed to stand, and the standing time is a time for which the above-described crosslinking proceeds sufficiently to obtain desired film characteristics. Specifically, although depending on the type of catalyst used, 1 hour or more at room temperature for hydrochloric acid, several hours or more for maleic acid, 8 hours to 1 week is sufficient, and usually about 3 days. The ripening temperature affects the ripening speed, and it may be better to take a means of heating to around 20 ° C. in extremely cold regions. In general, ripening progresses quickly at high temperatures, but when heated to 100 ° C. or higher, gelation occurs. Therefore, heating to 50 to 60 ° C. at best is appropriate. In addition to the above, the oligomer used in the present invention may be modified with a monomer, oligomer or polymer of an organosilicon compound having a functional group such as an epoxy group, amino group, isocyanate group or carboxyl group. You may use together with the said oligomer well. Most of the silicon oxide formed in the low refractive index layer or the middle refractive index layer is SiO x (where x is 2 or less), and is preferably infinitely SiO 2 .

〈バインダー〉
本発明に係わる各屈折率層を形成する塗布液には塗布性や塗布後の安定性等からバインダーを含有することが好ましいが、有機金属化合物との相溶性もあって特定の有機金属化合物においてはバインダーを使用しない場合もある。従って、塗布液組成中のバインダーの固形分比率は20質量%以下が好ましい。
<binder>
The coating liquid for forming each refractive index layer according to the present invention preferably contains a binder from the viewpoints of coating properties and stability after coating, etc. May not use a binder. Therefore, the solid content ratio of the binder in the coating liquid composition is preferably 20% by mass or less.

特に、有機チタン化合物を含む中屈折率層又は高屈折率層には、バインダーとしてアルコール溶解性アクリル樹脂との相溶性の点から好ましく用いられる。これによって、膜厚ムラや凝集物のない中屈折率層又は高屈折率層を得ることが出来る。低屈折率層においては、特にバインダーを使用しなくともよいが、使用する場合には、上記アルコール可溶性のバインダーを使用することが好ましい。又、各屈折率層の屈折率を目標とする値にするために、バインダーを全く使用しない方がよかったり、又目標の屈折率に調節するために、バインダーの含有量を加減することもある。   In particular, a medium refractive index layer or a high refractive index layer containing an organic titanium compound is preferably used from the viewpoint of compatibility with an alcohol-soluble acrylic resin as a binder. Thereby, it is possible to obtain a middle refractive index layer or a high refractive index layer free from film thickness unevenness and aggregates. In the low refractive index layer, it is not particularly necessary to use a binder. However, when used, it is preferable to use the above alcohol-soluble binder. In order to set the refractive index of each refractive index layer to a target value, it is better not to use a binder at all, or to adjust the refractive index to the target refractive index, the content of the binder may be adjusted. .

有用なアルコール可溶性のバインダーとしては、アルキル(メタ)アクリレート重合体又はアルキル(メタ)アクリレート共重合体が好ましく、例えば、メチルアクリレート、エチルアクリレート、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレート、n−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、s−ブチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、n−プロピルメタクリレート、イソプロピルメタクリレート、n−ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリレート、s−ブチルメタクリレート等の単独重合体又は共重合体が好ましく用いられるが、共重合成分としてはこれらに限定されるものではない。これらのアルコール可溶性アルキル(メタ)アクリレート単独重合体又は共重合体の市販品としては、ダイヤナール(以下、ダイヤナールを略す)BR−50、BR−51、BR−52、BR−60、BR−64、BR−65、BR−70、BR−73、BR−75、BR−76、BR−77、BR−79、BR−80、BR−82、BR−83、BR−85、BR−87、BR−88、BR−89、BR−90、BR−93、BR−95、BR−96、BR−100、BR−101、BR−102、BR−105、BR−107、BR−108、BR−112、BR−113、BR−115、BR−116、BR−117、BR−118(以上、三菱レーヨン(株)製)等が使用出来る。これらのモノマー成分も中屈折率又は高屈折率層用バインダーとして好ましく添加することが出来る。バインダーの添加比率を変更することによって屈折率を調整することが出来る。   Useful alcohol-soluble binders are preferably alkyl (meth) acrylate polymers or alkyl (meth) acrylate copolymers, such as methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl. Homopolymers or copolymers such as acrylate, s-butyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, s-butyl methacrylate are preferably used. The components are not limited to these. Commercially available products of these alcohol-soluble alkyl (meth) acrylate homopolymers or copolymers include dialnal (hereinafter abbreviated as dialnal) BR-50, BR-51, BR-52, BR-60, BR- 64, BR-65, BR-70, BR-73, BR-75, BR-76, BR-77, BR-79, BR-80, BR-82, BR-83, BR-85, BR-87, BR-88, BR-89, BR-90, BR-93, BR-95, BR-96, BR-100, BR-101, BR-102, BR-105, BR-107, BR-108, BR- 112, BR-113, BR-115, BR-116, BR-117, BR-118 (above, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) and the like can be used. These monomer components can also be preferably added as a binder for a medium refractive index or high refractive index layer. The refractive index can be adjusted by changing the addition ratio of the binder.

又、上記の他に、以下のバインダーも使用出来る。係るバインダーとしては、重合可能なビニル基、アリル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、イソプロペニル基、エポキシ基、オキセタン環等の重合性基を2つ以上有し、活性エネルギー線照射により架橋構造又は網目構造を形成するアクリル又はメタクリル系活性エネルギー線反応性化合物、エポキシ系活性エネルギー線反応性化合物又はオキセタン系活性エネルギー線反応性化合物が好ましい。これらの化合物はモノマー、オリゴマー、ポリマーを含む。重合速度、反応性の点から、これらの活性基のうちアクリロイル基、メタクリロイル基又はエポキシ基が好ましく、多官能モノマー又はオリゴマーがより好ましい。又、アルコール溶解性アクリル樹脂も好ましく用いられる。   In addition to the above, the following binders can also be used. Such a binder has two or more polymerizable groups such as a polymerizable vinyl group, allyl group, acryloyl group, methacryloyl group, isopropenyl group, epoxy group, and oxetane ring, and has a crosslinked structure or network by irradiation with active energy rays. An acrylic or methacrylic active energy ray reactive compound, an epoxy active energy ray reactive compound or an oxetane active energy ray reactive compound that forms a structure is preferred. These compounds include monomers, oligomers and polymers. Of these active groups, an acryloyl group, a methacryloyl group or an epoxy group is preferable from the viewpoint of polymerization rate and reactivity, and a polyfunctional monomer or oligomer is more preferable. An alcohol-soluble acrylic resin is also preferably used.

アクリル又はメタクリル系活性エネルギー線反応性化合物としては、紫外線硬化型アクリルウレタン系樹脂、紫外線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂、紫外線硬化型エポキシアクリレート系樹脂、紫外線硬化型ポリオールアクリレート系樹脂等を挙げることが出来る。   Examples of the acrylic or methacrylic active energy ray reactive compound include an ultraviolet curable acrylic urethane resin, an ultraviolet curable polyester acrylate resin, an ultraviolet curable epoxy acrylate resin, and an ultraviolet curable polyol acrylate resin. .

紫外線硬化型アクリルウレタン系樹脂は、一般にポリエステルポリオールにイソシアネートモノマー、又はプレポリマーを反応させて得られた生成物に更に2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート(以下アクリレートにはメタクリレートを包含するものとしてアクリレートのみを表示する)、2−ヒドロキシプロピルアクリレート等の水酸基を有するアクリレート系のモノマーを反応させることによって容易に得ることが出来る(例えば特開昭59−151110号)。   UV curable acrylic urethane resins generally include 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxyethyl methacrylate (hereinafter referred to as acrylate) in products obtained by reacting polyester polyols with isocyanate monomers or prepolymers. It can be easily obtained by reacting an acrylate monomer having a hydroxyl group such as 2-hydroxypropyl acrylate (for example, JP-A-59-151110).

紫外線硬化型ポリエステルアクリレート系樹脂は、一般にポリエステル末端の水酸基やカルボキシル基に2−ヒドロキシエチルアクリレート、グリシジルアクリレート、アクリル酸のようなのモノマーを反応させることによって容易に得ることが出来る(例えば、特開昭59−151112号)。   An ultraviolet curable polyester acrylate resin can be easily obtained by reacting a monomer such as 2-hydroxyethyl acrylate, glycidyl acrylate, or acrylic acid with a hydroxyl group or carboxyl group at the end of the polyester (see, for example, JP-A No. 59-151112).

紫外線硬化型エポキシアクリレート系樹脂は、エポキシ樹脂の末端の水酸基にアクリル酸、アクリル酸クロライド、グリシジルアクリレートのようなモノマーを反応させて得られる。   The ultraviolet curable epoxy acrylate resin is obtained by reacting a terminal hydroxyl group of an epoxy resin with a monomer such as acrylic acid, acrylic acid chloride, or glycidyl acrylate.

紫外線硬化型ポリオールアクリレート系樹脂としては、エチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタアクリレート等を挙げることが出来る。   Examples of the ultraviolet curable polyol acrylate resin include ethylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, glycerin tri (meth) acrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, and dipenta. Examples include erythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, and alkyl-modified dipentaerythritol pentaacrylate.

紫外線硬化性樹脂について多くの市販品があり、例えば、アデカオプトマーKR・BYシリーズ:KR−400、KR−410、KR−550、KR−566、KR−567、BY−320B(以上、旭電化工業株式会社製);コーエイハード(以下、コーエイハードを略す)A−101−KK、A−101−WS、C−302、C−401−N、C−501、M−101、M−102、T−102、D−102、NS−101、FT−102Q8、MAG−1−P20、AG−106、M−101−C(以上、広栄化学工業株式会社製);セイカビーム(以下、セイカビーを略す)PHC2210(S)、PHC X−9(K−3)、PHC2213、DP−10、DP−20、DP−30、P1000、P1100、P1200、P1300、P1400、P1500、P1600、SCR900(以上、大日精化工業株式会社製);KRM7033、KRM7039、KRM7130、KRM7131、UVECRYL29201、UVECRYL29202(以上、ダイセル・ユーシービー株式会社);RC−5015、RC−5016、RC−5020、RC−5031、RC−5100、RC−5102、RC−5120、RC−5122、RC−5152、RC−5171、RC−5180、RC−5181(以上、大日本インキ化学工業株式会社製);オーレックスNo.340クリヤ(中国塗料株式会社製);サンラッドH−601(三洋化成工業株式会社製);SP−1509、SP−1507(昭和高分子株式会社製);RCC−15C(グレース・ジャパン株式会社製);アロニックスM−6100、M−8030、M−8060(以上、東亞合成株式会社製)等を挙げることが出来る。   There are many commercially available UV curable resins such as ADEKA OPTMER KR / BY series: KR-400, KR-410, KR-550, KR-566, KR-567, BY-320B (above, Asahi Denka) Manufactured by Kogyo Co., Ltd.); Koei Hard (hereinafter abbreviated as Koei Hard) A-101-KK, A-101-WS, C-302, C-401-N, C-501, M-101, M-102, T-102, D-102, NS-101, FT-102Q8, MAG-1-P20, AG-106, M-101-C (above, manufactured by Guangei Chemical Industry Co., Ltd.); Seika Beam (hereinafter abbreviated as Seika Bee) PHC2210 (S), PHC X-9 (K-3), PHC2213, DP-10, DP-20, DP-30, P1000, P1100, P1200, P13 0, P1400, P1500, P1600, SCR900 (above, manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.); RC-5020, RC-5031, RC-5100, RC-5102, RC-5120, RC-5122, RC-5152, RC-5171, RC-5180, RC-5181 (Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) Manufactured by Aurex; 340 clear (manufactured by China Paint Co., Ltd.); Sun Rad H-601 (manufactured by Sanyo Chemical Industries); SP-1509, SP-1507 (manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.); RCC-15C (manufactured by Grace Japan Co., Ltd.) Aronix M-6100, M-8030, M-8060 (above, manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and the like.

本発明に係る反射防止層の各層には、屈折率の調整あるいは膜質の改善のために、更に官能性シラン化合物を添加することが好ましい。この官能性シラン化合物を屈折率層に含有させることにより、各層の接着性を強め効果があり、又該層に活性エネルギー線を照射することによって、金属アルコキシド及びその加水分解物の加水分解、更に縮合反応が促進し、金属酸化物を生成させるのに効果的である。特に金属有機アルコキシドがチタンアルコキシド化合物の場合に縮合反応の促進が加速される。屈折率層中にバインダーがない場合には、該層の硬化作用があり、安定した屈折率層を得ることが出来る。   In order to adjust the refractive index or improve the film quality, it is preferable to add a functional silane compound to each layer of the antireflection layer according to the present invention. By containing this functional silane compound in the refractive index layer, there is an effect of enhancing the adhesion of each layer, and by irradiating the layer with active energy rays, hydrolysis of the metal alkoxide and its hydrolyzate, The condensation reaction is accelerated, and it is effective to form a metal oxide. In particular, when the metal organic alkoxide is a titanium alkoxide compound, acceleration of the condensation reaction is accelerated. When there is no binder in the refractive index layer, the layer has a curing action, and a stable refractive index layer can be obtained.

有用な官能性シラン化合物としては、例えば、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、n−プロピルトリエトキシシラン、i−プロピルトリメトキシシラン、i−プロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、3,4−エポキシシクロヘキシルエチルトリメトキシシラン、3,4−エポキシシクロヘキシルエチルトリエトキシシラン、3,3,3−トリフルオロプロピルトリメトキシシラン、4,4,4,3,3−ペンタフルオロブチルトリメトキシシラン、3−(パーフルオロエトキシ)プロピルトリメトキシシラン、3−(パーフルオロプロポキシ)プロピルトリエトキシシラン、3−(2,2,2,3,3,3−ヘキサフルオロプロポキシ)プロピルトリエトキシシラン、3−(2,2,3,3,4,4,4−ヘプタフルオロペントキシ)プロピルトリメトキシシラン、3−(2,2,3,3,4,4−ブトキシ)プロピルトリメトキシシラン、3−(パーフルオロシクロヘキシルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジ−n−プロピルジメトキシシラン、ジ−n−プロピルジエトキシシラン、ジ−i−プロピルジメトキシシラン、ジ−i−プロピルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジビニルジエトキシシラン、ジ−3,3−テトラフルオロプロピルジメトキシシラン、ジ(3−(パーフルオロプロポキシ)プロピル)ジメトキシシラン、ジ(3−(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6−ドデカフルオロヘプトキシ)プロピル)ジメトキシシラン、ジ−3,3,4,4,4−ペンタフルオロブチルジメトキシシラン、メチルトリフェノキシシラン、メチルトリベンジルオキシシラン、メチルトリフェネチルオキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、αーグリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリフェノキシシラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリメトキシシラン、(3,4−エポキシシクロヘキシル)メチルトリエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリプロポキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリブトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリフェノキシシラン、γ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリメトキシシラン、γ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピルトリエトキシシラン、δ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)ブチルトリメトキシシラン、δ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)ブチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシエチルエチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジフェノキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、フェニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−クロロプロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリアセトキシシラン、3、3、3−トリフロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、β−シアノエチルトリエトキシシラン、クロロメチルトリメトキシシラン、クロロメチルトリエトキシシラン、N−(β−アミノエチル)γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(β−アミノエチル)γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(β−アミノエチル)γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、フェニルメチルジエトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−クロロプロピルメチルジエトキシシラン、ジメチルジアセトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリルオキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトメチルジエトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン、グリシドキシメチルトリメトキシシラン、グリシドキシメチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリメトキシシラン、β−グリシドキシエチルトリエトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリフェノキシシラン、α−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、α−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、β−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリメトキシシラン、δ−グリシドキシブチルトリエトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジメトキシシラン、グリシドキシメチルメチルジエトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシエチルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシエチルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシエチルエチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、α−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、β−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジプロポキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジブトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジフェノキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルエチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルビニルジエトキシシラン等を挙げることが出来る。何れもこれらの化合物を含有する層に活性エネルギー線を照射することによって、金属アルコキシド化合物の加水分解物の縮合が促進され、架橋構造が出来、層を強化することが出来る共に接着性も強固にすることが出来る。この効果はチタンアルコキシドにおいて、最も効果的である。これらの化合物を2種以上組合せて使用してもよい。更にこれら以外にもシランカップリンク剤を添加することも出来る。   Examples of useful functional silane compounds include methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, ethyltrimethoxysilane, ethyltriethoxysilane, n-propyltrimethoxysilane, n-propyltriethoxysilane, i-propyltrimethoxy. Silane, i-propyltriethoxysilane, γ-chloropropyltrimethoxysilane, γ-chloropropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-methacryloyloxypropyl Trimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, 3,4-epoxycyclohexylethyltrimethoxysilane, 3,4-epoxycyclohexyl Ethyltriethoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane, 4,4,4,3,3-pentafluorobutyltrimethoxysilane, 3- (perfluoroethoxy) propyltrimethoxysilane, 3- ( Perfluoropropoxy) propyltriethoxysilane, 3- (2,2,2,3,3,3-hexafluoropropoxy) propyltriethoxysilane, 3- (2,2,3,3,4,4,4- Heptafluoropentoxy) propyltrimethoxysilane, 3- (2,2,3,3,4,4-butoxy) propyltrimethoxysilane, 3- (perfluorocyclohexyloxy) propyltrimethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyl Diethoxysilane, methylphenyldimethoxysilane, diethyldimethoxysilane Diethyldiethoxysilane, di-n-propyldimethoxysilane, di-n-propyldiethoxysilane, di-i-propyldimethoxysilane, di-i-propyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, divinyldiethoxysilane, Di-3,3-tetrafluoropropyldimethoxysilane, di (3- (perfluoropropoxy) propyl) dimethoxysilane, di (3- (2,2,3,3,4,4,5,5,6,6) -Dodecafluoroheptoxy) propyl) dimethoxysilane, di-3,3,4,4,4-pentafluorobutyldimethoxysilane, methyltriphenoxysilane, methyltribenzyloxysilane, methyltriphenethyloxysilane, glycidoxymethyl Trimethoxysilane, glycidoxymethyltriethoxysila , Α-glycidoxyethyltrimethoxysilane, α-glycidoxyethyltriethoxysilane, β-glycidoxyethyltrimethoxysilane, β-glycidoxyethyltriethoxysilane, α-glycidoxypropyltrimethoxy Silane, α-glycidoxypropyltriethoxysilane, β-glycidoxypropyltrimethoxysilane, β-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxy Silane, γ-glycidoxypropyltripropoxysilane, γ-glycidoxypropyltributoxysilane, γ-glycidoxypropyltriphenoxysilane, α-glycidoxybutyltrimethoxysilane, α-glycidoxybutyltriethoxy Silane, β-glycidoxybuty Triethoxysilane, γ-glycidoxybutyltrimethoxysilane, γ-glycidoxybutyltriethoxysilane, δ-glycidoxybutyltrimethoxysilane, δ-glycidoxybutyltriethoxysilane, (3,4-epoxy Cyclohexyl) methyltrimethoxysilane, (3,4-epoxycyclohexyl) methyltriethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltripropoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltributoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltriphenoxysilane, γ- (3 4-epoxycyclohexyl) Pyrtrimethoxysilane, γ- (3,4-epoxycyclohexyl) propyltriethoxysilane, δ- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltrimethoxysilane, δ- (3,4-epoxycyclohexyl) butyltriethoxysilane, Glycidoxymethylmethyldimethoxysilane, glycidoxymethylmethyldiethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyldimethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyldiethoxysilane, β-glycidoxyethylmethyldimethoxysilane, β- Glycidoxyethylethyldimethoxysilane, α-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, α-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, β-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, β-glycidoxypropylethyldimethoxysilane Γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldipropoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldibutoxysilane, γ-glycidoxy Propylmethyldiphenoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldiethoxysilane, γ-glycidoxypropylvinyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylvinyldiethoxysilane, ethyltri Methoxysilane, ethyltriethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, phenyltriacetoxysilane, γ-chloropro Pyrtrimethoxysilane, γ-chloropropyltriethoxysilane, γ-chloropropyltriacetoxysilane, 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane , Γ-mercaptopropyltriethoxysilane, β-cyanoethyltriethoxysilane, chloromethyltrimethoxysilane, chloromethyltriethoxysilane, N- (β-aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane, N- (β-amino Ethyl) γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (β-aminoethyl) γ-aminopropyltriethoxysilane, N- (β-aminoethyl) γ-aminopropylmethyldiethoxysilane , Dimethyldimethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, phenylmethyldiethoxysilane, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, γ-chloropropylmethyldiethoxysilane, dimethyldiacetoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyl Dimethoxysilane, γ-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptomethyldiethoxysilane, methylvinyldimethoxysilane, methylvinyldiethoxysilane, glycidoxymethyltrimethoxysilane, glycid Xymethyltriethoxysilane, α-glycidoxyethyltrimethoxysilane, α-glycidoxyethyltriethoxysilane, β-glycidoxyethyltrimeth Sisilane, β-glycidoxyethyltriethoxysilane, α-glycidoxypropyltrimethoxysilane, α-glycidoxypropyltriethoxysilane, β-glycidoxypropyltrimethoxysilane, β-glycidoxypropyltriethoxy Silane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, γ-glycidoxypropyltripropoxysilane, γ-glycidoxypropyltributoxysilane , Γ-glycidoxypropyltriphenoxysilane, α-glycidoxybutyltrimethoxysilane, α-glycidoxybutyltriethoxysilane, β-glycidoxybutyltriethoxysilane, γ-glycidoxybutyltrimethoxysilane , Γ-glycy Xybutyltriethoxysilane, δ-glycidoxybutyltrimethoxysilane, δ-glycidoxybutyltriethoxysilane, glycidoxymethylmethyldimethoxysilane, glycidoxymethylmethyldiethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyl Dimethoxysilane, α-glycidoxyethylmethyldiethoxysilane, β-glycidoxyethylmethyldimethoxysilane, β-glycidoxyethylethyldimethoxysilane, α-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, α-glycidoxypropyl Methyldiethoxysilane, β-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, β-glycidoxypropylethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, γ- Glycidoxypropylmethyldipropoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldibutoxysilane, γ-glycidoxypropylmethyldiphenoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldimethoxysilane, γ-glycidoxypropylethyldiethoxy Examples thereof include silane, γ-glycidoxypropylvinyldimethoxysilane, and γ-glycidoxypropylvinyldiethoxysilane. In any case, by irradiating active energy rays to the layer containing these compounds, the condensation of the hydrolyzate of the metal alkoxide compound is promoted, a crosslinked structure can be formed, the layer can be strengthened, and the adhesiveness is also strong. I can do it. This effect is most effective in titanium alkoxide. Two or more of these compounds may be used in combination. In addition to these, a silane coupling agent can also be added.

本発明の反射防止フィルムの製造方法に使用する活性エネルギー線は、紫外線、電子線、γ線等で、化合物を活性させるエネルギー源であれば制限なく使用出来るが、紫外線、電子線が好ましく、特に取り扱いが簡便で高エネルギーが容易に得られるという点で紫外線が好ましい。上述の官能性シラン化合物に照射する紫外線の光源、又は紫外線反応性化合物を光重合させる紫外線の光源としては、紫外線を発生する光源であれば何れも使用出来る。例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、カーボンアーク灯、メタルハライドランプ、キセノンランプ等を用いることが出来る。又、ArFエキシマレーザ、KrFエキシマレーザ、エキシマランプ又はシンクロトロン放射光等も用いることが出来る。照射条件はそれぞれのランプによって異なるが、照射光量は20〜10,000mJ/cm2が好ましく、更に好ましくは、100〜2,000mJ/cm2であり、特に好ましくは、120〜2,000mJ/cm2である。 The active energy ray used in the production method of the antireflection film of the present invention can be used without limitation as long as it is an energy source that activates a compound such as ultraviolet ray, electron beam, and γ ray, but ultraviolet ray and electron beam are preferable, Ultraviolet rays are preferred because they are easy to handle and high energy can be easily obtained. As the ultraviolet light source for irradiating the above-mentioned functional silane compound or the ultraviolet light source for photopolymerizing the ultraviolet reactive compound, any light source that generates ultraviolet light can be used. For example, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a carbon arc lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, or the like can be used. An ArF excimer laser, a KrF excimer laser, an excimer lamp, synchrotron radiation, or the like can also be used. Irradiation conditions vary depending on each lamp, but the irradiation light amount is preferably 20 to 10,000 mJ / cm 2 , more preferably 100 to 2,000 mJ / cm 2 , and particularly preferably 120 to 2,000 mJ / cm 2. 2 .

紫外線を用いる場合、多層の反射防止層を1層ずつ照射してもよいし、積層後照射してもよいが、生産性の点からは多層を積層後に紫外線を照射することが好ましい。   When ultraviolet rays are used, the multilayer antireflection layer may be irradiated one by one or after lamination, but from the viewpoint of productivity, it is preferable to irradiate the ultraviolet rays after lamination.

又、電子線も同様に使用出来る。電子線としては、コックロフトワルトン型、バンデグラフ型、共振変圧型、絶縁コア変圧器型、直線型、ダイナミトロン型、高周波型等の各種電子線加速器から放出される50〜1000keV、好ましくは100〜300keVのエネルギーを有する電子線を挙げることが出来る。   Moreover, an electron beam can be used similarly. As an electron beam, 50 to 1000 keV, preferably 100 to 100, emitted from various electron beam accelerators such as a cockroft Walton type, a bandegraph type, a resonance transformation type, an insulated core transformer type, a linear type, a dynamitron type, and a high frequency type. An electron beam having an energy of 300 keV can be given.

本発明に係る各屈折率層を塗布する際の塗布液に使用する溶媒は、例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、ブタノール等のアルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ヘキシレングリコール等のグリコール類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類、N−メチルピロリドン、ジメチルフォルムアミド、酢酸メチル、乳酸メチル、乳酸エチル、水等を挙げることが出来る。特に、金属アルコキシドと相溶性のあるアルコール類、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール又はブタノールは好ましく用いられる。又、101kPa(1気圧)における沸点が120〜180℃で、且つ20℃における蒸気圧が2.3kPa以下の溶媒を塗布液中に少なくとも1種用いることで、硬化速度を適度に遅らせ、塗布後の白濁を防ぐことが出来、塗布ムラの解消や、塗布液のポットライフ向上等も出来るので好ましく、これらうち分子内にエーテル結合を有する溶媒、特にグリコールエーテル類が好ましい。グリコールエーテル類としては、プロピレングリコールモノ(炭素原子数1〜4の)アルキルエーテル、又はプロピレングリコール(炭素原子数1〜4)アルキルエーテルエステルであり、具体的にはプロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ(n−)プロピルエーテル、プロピレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテートである。下記にこれらの好ましいグリコールエーテル類の101kPaにおける沸点(℃)と20℃における蒸気圧(kPa)の例を示すが、これらに限定されない。尚、下記の表示は、溶剤名と、括弧内は、1気圧における沸点及び20℃における蒸気圧kPaを示す。具体的に、プロピレングリコールモノメチルエーテル(121、0.106)、プロピレングリコールモノエチルエーテル(132.8、0.53以上)、プロピレングリコールモノブチルエーテル(171.1、0.13)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(162、0.40)、エチレングリコールモノメチルエーテル(124.4、0.78)、エチレングリコールメチルエーテルアセテート(145、0.27)、エチレングリコールモノブチルエーテル(171.2、0.09)、エチレングリコールモノエチルエーテル(135.6、0.51)エチレングリコールエチルエーテルアセテート(156.3、0.16)、エチレングリコールジエチルエーテル(121、1.25)である。これらの溶媒は、塗布液中に全有機溶媒の1〜90質量%含有することが好ましい。   Examples of the solvent used in the coating solution when applying each refractive index layer according to the present invention include alcohols such as methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, and butanol, and ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and cyclohexanone. , Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, glycols such as ethylene glycol, propylene glycol, hexylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol Glycols such as monobutyl ether, ethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether Ether such, N- methylpyrrolidone, dimethylformamide, methyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, water, etc. can be mentioned. In particular, alcohols compatible with metal alkoxides such as methanol, ethanol, propanol or butanol are preferably used. Also, by using at least one solvent having a boiling point at 101 kPa (1 atm) of 120 to 180 ° C. and a vapor pressure at 20 ° C. of 2.3 kPa or less in the coating solution, the curing rate is moderately delayed, and after coating This is preferable because it can prevent white turbidity, and can eliminate coating unevenness and improve the pot life of the coating solution. Among these, solvents having an ether bond in the molecule, particularly glycol ethers are preferable. Examples of the glycol ethers include propylene glycol mono (C1 to C4) alkyl ether or propylene glycol (C1 to C4) alkyl ether ester, specifically, propylene glycol monomethyl ether (PGME), Propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono (n-) propyl ether, propylene glycol monoisopropyl ether, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate. Although the example of the boiling point (degreeC) in 101 kPa and the vapor pressure (kPa) in 20 degreeC of these preferable glycol ethers is shown below, it is not limited to these. In addition, the following display shows a solvent name, and the inside of a parenthesis shows the boiling point in 1 atmosphere, and the vapor pressure kPa in 20 degreeC. Specifically, propylene glycol monomethyl ether (121, 0.106), propylene glycol monoethyl ether (132.8, 0.53 or more), propylene glycol monobutyl ether (171.1, 0.13), diethylene glycol dimethyl ether (162 0.40), ethylene glycol monomethyl ether (124.4, 0.78), ethylene glycol methyl ether acetate (145, 0.27), ethylene glycol monobutyl ether (171.2, 0.09), ethylene glycol mono Ethyl ether (135.6, 0.51) ethylene glycol ethyl ether acetate (156.3, 0.16), ethylene glycol diethyl ether (121, 1.25). These solvents are preferably contained in the coating solution in an amount of 1 to 90% by mass of the total organic solvent.

本発明に係る反射防止フィルムの最外層には耐傷性を与えるために、滑り剤を含有させ滑り性を付与することが好ましい。滑り剤としては、シリコーンオイルやワックス状物質が好ましく用いられる。ワックス状物質としては、例えば、下記式(IV)で表される化合物が好ましい。   In order to give scratch resistance to the outermost layer of the antireflection film according to the present invention, it is preferable to add a slipping agent to impart slipperiness. As the slip agent, silicone oil or a wax-like substance is preferably used. As the wax-like substance, for example, a compound represented by the following formula (IV) is preferable.

(IV) R1COR2
式中、R1は炭素原子数が12以上のアルキル基又はアルケニル基が好ましく、更に、炭素原子数が16以上のアルキル基又はアルケニル基が好ましい。R2は−OM1基(M1はNa、K等のアルカリ金属又はアンモニウム基を表す)、−OH基、−NH2基、又は−OR3基(R3は炭素原子数が12以上のアルキル基又はアルケニル基を表す)を表し、R2としては−OH基、−NH2基又は−OR3基が好ましい。具体的には、ベヘン酸、ステアリン酸アミド、ペンタコ酸等の高級脂肪酸又はその誘導体、天然物としてこれらの成分を多く含んでいるカルナバワックス、蜜蝋、モンタンワックスも好ましく使用出来る。又、米国特許第4,275,146号明細書に開示されているような高級脂肪酸アミド、特公昭58−33541号公報、英国特許第927,446号明細書又は特開昭55−126238号及び同58−90633号公報に開示されているような高級脂肪酸エステル(炭素原子数が10〜24の脂肪酸と炭素原子数が10〜24のアルコールのエステル)、そして米国特許第3,933,516号明細書に開示されているような高級脂肪酸金属塩、特開昭51−37217号公報に開示されているような炭素原子数10までのジカルボン酸と脂肪族又は環式脂肪族ジオールからなるポリエステル化合物、特開平7−13292号公報に開示されているジカルボン酸とジオールからのオリゴポリエステル等も使用することが出来る。シリコーンオイル的なものとしては、特公昭53−292号公報に開示されているようなポリオルガノシロキサンが好ましく用いられる。低屈折率層に使用される滑り剤の層中の含有量は、0.01〜10mg/m2が好ましい。又、必要に応じて中屈折率層や高屈折率層に添加してもよい。
(IV) R 1 COR 2
In the formula, R 1 is preferably an alkyl group or alkenyl group having 12 or more carbon atoms, and more preferably an alkyl group or alkenyl group having 16 or more carbon atoms. R 2 represents —OM 1 group (M 1 represents an alkali metal such as Na or K or ammonium group), —OH group, —NH 2 group, or —OR 3 group (R 3 has 12 or more carbon atoms) Represents an alkyl group or an alkenyl group, and R 2 is preferably an —OH group, —NH 2 group or —OR 3 group. Specifically, higher fatty acids such as behenic acid, stearamide, and pentacoic acid, or derivatives thereof, and carnauba wax, beeswax, and montan wax containing many of these components as natural products can be preferably used. Further, higher fatty acid amides as disclosed in US Pat. No. 4,275,146, Japanese Patent Publication No. 58-33541, British Patent No. 927,446 or Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-126238, and Higher fatty acid esters (esters of fatty acids having 10 to 24 carbon atoms and alcohols having 10 to 24 carbon atoms) as disclosed in JP-A-58-90633, and US Pat. No. 3,933,516 Higher fatty acid metal salts as disclosed in the specification, polyester compounds comprising a dicarboxylic acid having up to 10 carbon atoms and an aliphatic or cycloaliphatic diol as disclosed in JP-A-51-37217 Also, oligopolyesters from dicarboxylic acids and diols disclosed in JP-A-7-13292 can be used. As the silicone oil-like material, polyorganosiloxane as disclosed in JP-B-53-292 is preferably used. As for content in the layer of the slip agent used for a low-refractive-index layer, 0.01-10 mg / m < 2 > is preferable. Moreover, you may add to a middle refractive index layer and a high refractive index layer as needed.

本発明に係わる反射防止層に、界面活性剤あるいは界面活性剤のような働きのあるものを添加してもよい。界面活性剤のような働きのあるものとは、柔軟剤や分散剤等を添加してもよく、これによって耐擦り傷性が向上する。中でもアニオン系又は非イオン系の界面活性剤が好ましく、例えば、ジアルキルスルホコハク酸ナトリウム塩、多価アルコール脂肪酸エステルの非イオン界面活性剤(乳化物)等を好ましく挙げることが出来る。これらの市販品としては、例えば、リポオイルNT−6、NT12、NT−33、TC−1、TC−68、TC−78、CW−6、TCF−208、TCF−608、NKオイルCS−11、AW−9、AW−10、AW−20、ポリソフターN−606、塗料用添加剤PC−700(日華化学株式会社製)等を挙げることが出来る。又、塗布液には界面活性剤のような働きをするものとして、レベリング剤やシリコーンオイル等の低表面張力物質を添加することが好ましい。例えば、東レダウコーング社製や信越化学社製のSH−3749、BY−16−869、KF−101等、特開2003−121620の表2に記載されているシリコーンオイルを好ましく用いることが出来る。   You may add what has a function like surfactant or surfactant to the antireflection layer concerning this invention. For those having a function such as a surfactant, a softening agent, a dispersing agent or the like may be added, which improves the scratch resistance. Among these, anionic or nonionic surfactants are preferable, and examples thereof include dialkylsulfosuccinic acid sodium salt and polyionic alcohol fatty acid ester nonionic surfactant (emulsion). Examples of these commercially available products include Lipooil NT-6, NT12, NT-33, TC-1, TC-68, TC-78, CW-6, TCF-208, TCF-608, NK Oil CS-11, AW-9, AW-10, AW-20, polysofter N-606, paint additive PC-700 (manufactured by Nikka Chemical Co., Ltd.) and the like can be mentioned. In addition, it is preferable to add a low surface tension substance such as a leveling agent or silicone oil to the coating solution as a surfactant. For example, silicone oils described in Table 2 of JP-A No. 2003-121620 such as SH-3749, BY-16-869, KF-101 manufactured by Toray Dow Corning or Shin-Etsu Chemical can be preferably used.

上記界面活性剤等は反射防止層のうち、低屈折率層に添加するのが効果的であり好ましい。添加量は、塗布液に含まれる固形分当たり0.01〜3質量%程度が好ましく、より好ましくは0.03〜1質量%である。   It is effective and preferable to add the surfactant and the like to the low refractive index layer in the antireflection layer. The addition amount is preferably about 0.01 to 3% by mass, more preferably 0.03 to 1% by mass, based on the solid content contained in the coating solution.

本発明に係わる反射防止フィルムを重ね合わせた時の他の面とのくっつきをなくすために、低屈折率層に酸化珪素微粒子を含有させることが好ましい。酸化珪素微粒子の粒径は0.1μm以下のものが好ましい。例えば、アエロジル200V(日本アエロジル(株)製)等を添加することが出来る。特に表面がアルキル基で修飾された酸化珪素微粒子が好ましく用いられ、例えば、アエロジルR972やR972V(日本アエロジル(株)製)として市販されている表面がメチル基で修飾された酸化珪素微粒子を好ましく添加することが出来る。この他、特開2001−002799に記載されている表面がアルキル基で置換された酸化珪素微粒子も好ましく用いることが出来、これらは、前述のアルコキシ珪素オリゴマーの加水分解後にアルキルシランカップリング剤により処理することによって、表面がアルキル基で置換された酸化珪素微粒子を容易に得ることが出来る。この酸化珪素微粒子については、後述のセルロースエステルフィルムのところでも記述するので、詳細は後に譲る。酸化珪素微粒子の添加量は、低屈折率層中の固形分比率で0.1〜40質量%の範囲が好ましい。   In order to eliminate sticking with the other surface when the antireflection film according to the present invention is overlaid, it is preferable to contain silicon oxide fine particles in the low refractive index layer. The particle diameter of the silicon oxide fine particles is preferably 0.1 μm or less. For example, Aerosil 200V (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) or the like can be added. In particular, silicon oxide fine particles whose surface is modified with an alkyl group are preferably used. For example, silicon oxide fine particles whose surface is modified with a methyl group which is commercially available as Aerosil R972 or R972V (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) are preferably added. I can do it. In addition, silicon oxide fine particles having a surface substituted with an alkyl group described in JP-A-2001-002799 can also be preferably used, and these are treated with an alkylsilane coupling agent after hydrolysis of the alkoxysilicon oligomer described above. By doing so, the silicon oxide fine particle by which the surface was substituted by the alkyl group can be obtained easily. The silicon oxide fine particles will be described later in the cellulose ester film, and details will be given later. The addition amount of the silicon oxide fine particles is preferably in the range of 0.1 to 40% by mass in terms of the solid content ratio in the low refractive index layer.

本発明に係わる反射防止フィルムに使用するフィルム基材は、特に限定はないが、例えば、セルロースエステル系フィルム、ポリエステル系フィルム、ポリカーボネート系フィルム、ポリアリレート系フィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンも含む)系フィルム、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、セロファン、セルロースジアセテートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、ポリ塩化ビニリデンフィルム、ポリビニルアルコールフィルム、エチレンビニルアルコールフィルム、シンジオタクティックポリスチレン系フィルム,ポリカーボネートフィルム、ノルボルネン樹脂系フィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリエーテルケトンフィルム、ポリエーテルケトンイミドフィルム、ポリアミドフィルム、フッ素樹脂フィルム、ナイロンフィルム、ポリメチルメタクリレートフィルム又はアクリルフィルム等を挙げることが出来る。中でも、セルローストリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリスルホン(ポリエーテルスルホンを含む)が好ましく、本発明においては、特にセルロースエステルフィルムとして、セルローストリアセテートフィルム(例えば、コニカタック、製品名KC8UX2MW、KC4UX2MW(コニカ(株)製))、又はセルロースアセテートプロピオネートフィルムが、製造上、コスト面、透明性、等方性、接着性等の観点から好ましく用いられる。フィルム基材の光学特性としては、膜厚方向のリターデーションRtが0〜300nm、面内方向のリターデーションR0が0〜1000nmのフィルム基材が好ましく用いられる。 The film substrate used for the antireflection film according to the present invention is not particularly limited. For example, a cellulose ester film, a polyester film, a polycarbonate film, a polyarylate film, a polysulfone (including polyethersulfone) system is used. Film, Polyester film such as polyethylene terephthalate, Polyethylene naphthalate, Polyethylene film, Polypropylene film, Cellophane, Cellulose diacetate film, Cellulose acetate butyrate film, Polyvinylidene chloride film, Polyvinyl alcohol film, Ethylene vinyl alcohol film, Syndiotactic polystyrene Film, polycarbonate film, norbornene resin film, polymethylpentene fill , Polyether ketone film, polyether ketone imide film, a polyamide film, a fluororesin film, a nylon film, polymethyl methacrylate film or an acrylic film or the like can be mentioned. Among them, cellulose triacetate film, polycarbonate film, and polysulfone (including polyethersulfone) are preferable, and in the present invention, cellulose triacetate film (for example, Konicattak, product names KC8UX2MW, KC4UX2MW (Konica Corp.) Manufactured)), or a cellulose acetate propionate film is preferably used from the viewpoint of production, cost, transparency, isotropic properties, adhesiveness, and the like. The optical properties of the film substrate, the thickness direction retardation R t is from 0 to 300 nm, retardation R 0 in the plane direction film substrate 0~1000nm is preferably used.

以下、特に好ましいフィルム基材としてセルロースエステルフィルムについて述べる。セルロースエステルフィルムとしては、セルロースアセテートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、セルロースアセテートプロピオネートフィルムが好ましく、中でもセルロースアセテートフィルム、セルロースアセテートブチレートフィルム、セルロースアセテートプロピオネートフィルムが好ましい。   Hereinafter, a cellulose ester film will be described as a particularly preferable film substrate. As the cellulose ester film, a cellulose acetate film, a cellulose acetate butyrate film, and a cellulose acetate propionate film are preferable, and among them, a cellulose acetate film, a cellulose acetate butyrate film, and a cellulose acetate propionate film are preferable.

セルロースエステルフィルムの原料として、セルロースエステルのアシル基の置換度が、アセチル基の置換度をX、プロピオニル基又はブチリル基の置換度をYとした時、XとYが下記の範囲にあるセルロースエステルが好ましい。   As a raw material for cellulose ester film, the substitution degree of the acyl group of the cellulose ester is X, the substitution degree of the acetyl group is Y, and the substitution degree of the propionyl group or butyryl group is Y. Is preferred.

2.3≦X+Y≦2.98
1.4≦X≦2.98
セルロースエステルフィルムの原料のセルロースエステルとしては、特に限定はないが、綿花リンター、木材パルプ(針葉樹由来、広葉樹由来)、ケナフ等を挙げることが出来る。又それらから得られたセルロースエステルはそれぞれ任意の割合で混合使用することが出来る。これらのセルロースエステルは、アシル化剤が酸無水物(無水酢酸、無水プロピオン酸、無水酪酸)である場合には、酢酸のような有機酸やメチレンクロライド等の有機溶媒を用い、硫酸のようなプロトン性触媒を用いてセルロース原料と反応させて得ることが出来る。
2.3 ≦ X + Y ≦ 2.98
1.4 ≦ X ≦ 2.98
The cellulose ester as a raw material for the cellulose ester film is not particularly limited, and examples thereof include cotton linters, wood pulp (derived from conifers and hardwoods), kenaf and the like. Moreover, the cellulose ester obtained from them can be mixed and used in arbitrary ratios, respectively. When the acylating agent is an acid anhydride (acetic anhydride, propionic anhydride, butyric anhydride), these cellulose esters use an organic solvent such as acetic acid or an organic solvent such as methylene chloride, and It can be obtained by reacting with a cellulose raw material using a protic catalyst.

アシル化剤が酸クロライド(CH3COCl、C25COCl、C37COCl)の場合には、触媒としてアミンのような塩基性化合物を用いて反応が行われる。具体的には、特開平10−45804号に記載の方法等を参考にして合成することが出来る。又、本発明に用いられるセルロースエステルは各置換度に合わせて上記アシル化剤量を混合して反応させたものであり、セルロースエステルはこれらアシル化剤がセルロース分子の水酸基に反応する。セルロース分子はグルコースユニットが多数連結したものからなっており、グルコースユニットに3個の水酸基がある。この3個の水酸基にアシル基が誘導された数を置換度(モル%)という。例えば、セルローストリアセテートはグルコースユニットの3個の水酸基全てにアセチル基が結合している(実際には2.6〜2.98)。尚、セルロースエステルのセルロースアセテートブチレートを形成するブチリル基としては、直鎖状でも分岐していてもよい。 When the acylating agent is acid chloride (CH 3 COCl, C 2 H 5 COCl, C 3 H 7 COCl), the reaction is carried out using a basic compound such as an amine as a catalyst. Specifically, it can be synthesized with reference to the method described in JP-A-10-45804. In addition, the cellulose ester used in the present invention is obtained by mixing and reacting the amount of the acylating agent in accordance with the degree of substitution. In the cellulose ester, these acylating agents react with hydroxyl groups of cellulose molecules. Cellulose molecules are composed of many glucose units linked together, and the glucose unit has three hydroxyl groups. The number of acyl groups derived from these three hydroxyl groups is called the degree of substitution (mol%). For example, cellulose triacetate has an acetyl group bonded to all three hydroxyl groups of the glucose unit (actually 2.6 to 2.98). The butyryl group forming the cellulose acetate butyrate of the cellulose ester may be linear or branched.

プロピオネート基を置換基として含むセルロースアセテートプロピオネートは耐水性に優れ、液晶画像表示装置用のフィルムとして有用である。アシル基の置換度の測定方法はASTM−D817−96の規定に準じて測定することが出来る。   Cellulose acetate propionate containing a propionate group as a substituent has excellent water resistance and is useful as a film for liquid crystal image display devices. The measuring method of the substitution degree of an acyl group can be measured according to the provisions of ASTM-D817-96.

セルロースエステルの数平均分子量は、70,000〜250,000が、成型した場合の機械的強度が強く、且つ、適度なドープ粘度となり好ましく、更に好ましくは、80,000〜150,000である。   The number average molecular weight of the cellulose ester is preferably 70,000 to 250,000 because the mechanical strength when molded is high and the dope viscosity is moderate, and more preferably 80,000 to 150,000.

上記セルロースエステル溶液を溶解し調製する有機溶媒としては、溶解性が良好であることと、且つ、適度な沸点であることが好ましく、例えば、メチレンクロライド、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸アミル、アセトン、テトラヒドロフラン、1,3−ジオキソラン、1,4−ジオキサン、シクロヘキサノン、ギ酸エチル、2,2,2−トリフルオロエタノール、2,2,3,3−テトラフルオロ−1−プロパノール、1,3−ジフルオロ−2−プロパノール、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−メチル−2−プロパノール、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−プロパノール、2,2,3,3,3−ペンタフルオロ−1−プロパノール、ニトロエタン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等を挙げることが出来るが、メチレンクロライド等の有機ハロゲン化合物、ジオキソラン誘導体、酢酸メチル、酢酸エチル、アセトン等が好ましい有機溶媒(即ち、良溶媒)として挙げられる。   The organic solvent for dissolving and preparing the cellulose ester solution preferably has good solubility and an appropriate boiling point, such as methylene chloride, methyl acetate, ethyl acetate, amyl acetate, acetone, Tetrahydrofuran, 1,3-dioxolane, 1,4-dioxane, cyclohexanone, ethyl formate, 2,2,2-trifluoroethanol, 2,2,3,3-tetrafluoro-1-propanol, 1,3-difluoro- 2-propanol, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-methyl-2-propanol, 1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-propanol, 2,2, Examples include 3,3,3-pentafluoro-1-propanol, nitroethane, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone. That is, organic halogen compounds such as methylene chloride, dioxolane derivatives, methyl acetate, ethyl acetate, as a preferred organic solvent is acetone (i.e., good solvent).

又、後述の溶液流延製膜方法による製膜工程に示すように、無限移行する無端の金属支持体上に形成されたウェブ(ドープを流延した後の膜)から溶媒を乾燥させる時に、ウェブ中の発泡を防止する観点から、用いられる有機溶媒の沸点としては、30〜80℃が好ましく、例えば、上記記載の良溶媒の沸点は、メチレンクロライド(沸点40.4℃)、酢酸メチル(沸点56.32℃)、アセトン(沸点56.3℃)、酢酸エチル(沸点76.82℃)等である。   In addition, as shown in the film forming step by the solution casting film forming method described later, when drying the solvent from the web (film after casting the dope) formed on an endless metal support that moves infinitely, From the viewpoint of preventing foaming in the web, the boiling point of the organic solvent used is preferably 30 to 80 ° C. For example, the good solvent described above has a boiling point of methylene chloride (boiling point 40.4 ° C.), methyl acetate ( Boiling point 56.32 ° C), acetone (boiling point 56.3 ° C), ethyl acetate (boiling point 76.82 ° C), and the like.

上記記載の良溶媒の中でも溶解性に優れるメチレンクロライド及び酢酸メチルが好ましく用いられ、特にメチレンクロライドが全有機溶媒に対して50質量%以上含まれていることが好ましい。   Among the good solvents described above, methylene chloride and methyl acetate, which are excellent in solubility, are preferably used, and it is particularly preferable that methylene chloride is contained in an amount of 50% by mass or more based on the total organic solvent.

又、ドープ中には、上記有機溶媒の他に、0.1〜30質量%の炭素原子数1〜4のアルコールを含有させることが好ましい。特に好ましくは5〜30質量%で前記アルコールを含有させることが好ましい。これらは上記記載のドープを金属支持体に流延後、溶媒の蒸発が始まると、ドープ中のアルコールの比率が多くなり、ウェブがゲル化し、ウェブが丈夫になり、金属支持体からウェブを剥離することを容易になる。ゲル化溶媒として用いられたり、これらの割合が少ない時は非塩素系有機溶媒のセルロースエステルの溶解を促進する役割もある。   In addition to the organic solvent, the dope preferably contains 0.1 to 30% by mass of an alcohol having 1 to 4 carbon atoms. It is particularly preferable to contain the alcohol at 5 to 30% by mass. After casting the dope described above on a metal support, when the evaporation of the solvent begins, the proportion of alcohol in the dope increases, the web gels, the web becomes strong, and the web is peeled off from the metal support. To be easy to do. When used as a gelling solvent or when the proportion of these is small, there is also a role of promoting dissolution of the cellulose ester of a non-chlorine organic solvent.

炭素原子数1〜4のアルコールとしては、メタノール、エタノール、n−プロパノール、i−プロパノール、n−ブタノール、s−ブタノール、t−ブタノール等を挙げることが出来る。   Examples of the alcohol having 1 to 4 carbon atoms include methanol, ethanol, n-propanol, i-propanol, n-butanol, s-butanol, and t-butanol.

これらの溶媒のうち、ドープの安定性がよく、沸点も比較的低く、乾燥性もよく、且つ毒性がないこと等からエタノールが好ましい。好ましくは、メチレンクロライド70〜95質量%に対してエタノール5〜30質量%を含む溶媒を用いることが好ましい。メチレンクロライドの代わりに酢酸メチルを用いることも出来る。   Of these solvents, ethanol is preferred because it has good dope stability, relatively low boiling point, good drying properties, and no toxicity. It is preferable to use a solvent containing 5 to 30% by mass of ethanol with respect to 70 to 95% by mass of methylene chloride. Methyl acetate can be used in place of methylene chloride.

セルロースエステルフィルムには、下記のような可塑剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤あるいは微粒子が含有されているのが好ましい。何れもドープ調製過程で添加混合される。   The cellulose ester film preferably contains the following plasticizer, ultraviolet absorber, antioxidant or fine particles. Both are added and mixed in the dope preparation process.

可塑剤としては、例えば、リン酸エステル系可塑剤、フタル酸エステル系可塑剤、トリメリット酸エステル系可塑剤、ピロメリット酸系可塑剤、グリコレート系可塑剤、クエン酸エステル系可塑剤、ポリエステル系可塑剤等を好ましく用いることが出来る。リン酸エステル系可塑剤としては、トリフェニルホスフェート、ジフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、オクチルジフェニルホスフェート、ジフェニルビフェニルホスフェート、トリオクチルホスフェート、トリブチルホスフェート等、フタル酸エステル系可塑剤としては、ジエチルフタレート、ジメトキシエチルフタレート、ジメチルフタレート、ジオクチルフタレート、ジブチルフタレート、ジ−2−エチルヘキシルフタレート、ブチルベンジルフタレート、ジフェニルフタレート、ジシクロヘキシルフタレート等、トリメリット酸系可塑剤としては、トリブチルトリメリテート、トリフェニルトリメリテート、トリエチルトリメリテート等、ピロメリット酸エステル系可塑剤としては、テトラブチルピロメリテート、テトラフェニルピロメリテート、テトラエチルピロメリテート等、グリコレート系可塑剤としては、トリアセチン、トリブチリン、エチルフタリルエチルグリコレート、メチルフタリルエチルグリコレート、ブチルフタリルブチルグリコレート等、クエン酸エステル系可塑剤としては、トリエチルシトレート、トリ−n−ブチルシトレート、アセチルトリエチルシトレート、アセチルトリ−n−ブチルシトレート、アセチルトリ−n−(2−エチルヘキシル)シトレート等を好ましく用いることが出来る。その他のカルボン酸エステルの例には、オレイン酸ブチル、リシノール酸メチルアセチル、セバシン酸ジブチル、種々のトリメリット酸エステルが含まれる。   Examples of plasticizers include phosphate ester plasticizers, phthalate ester plasticizers, trimellitic acid ester plasticizers, pyromellitic acid plasticizers, glycolate plasticizers, citrate ester plasticizers, and polyesters. A plasticizer or the like can be preferably used. As phosphate ester plasticizers, triphenyl phosphate, diphenyl phosphate, tricresyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, octyl diphenyl phosphate, diphenyl biphenyl phosphate, trioctyl phosphate, tributyl phosphate, etc., as phthalate ester plasticizer , Diethyl phthalate, dimethoxyethyl phthalate, dimethyl phthalate, dioctyl phthalate, dibutyl phthalate, di-2-ethylhexyl phthalate, butyl benzyl phthalate, diphenyl phthalate, dicyclohexyl phthalate, etc. As pyromellitic acid ester plasticizers such as phenyl trimellitate and triethyl trimellitate Tetrabutyl pyromellitate, tetraphenyl pyromellitate, tetraethyl pyromellitate, etc., glycolate plasticizers include triacetin, tributyrin, ethyl phthalyl ethyl glycolate, methyl phthalyl ethyl glycolate, butyl phthalyl butyl glycolate As the citrate plasticizer, triethyl citrate, tri-n-butyl citrate, acetyl triethyl citrate, acetyl tri-n-butyl citrate, acetyl tri-n- (2-ethylhexyl) citrate, etc. It can be preferably used. Examples of other carboxylic acid esters include butyl oleate, methylacetyl ricinoleate, dibutyl sebacate, and various trimellitic acid esters.

ポリエステル系可塑剤として脂肪族二塩基酸、脂環式二塩基酸、芳香族二塩基酸等の二塩基酸とグリコールの共重合ポリマーを用いることが出来る。脂肪族二塩基酸としては特に限定されないが、アジピン酸、セバシン酸、フタル酸、テレフタル酸、1,4−シクロヘキシルジカルボン酸等を用いることが出来る。グリコールとしては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、1,3−プロピレングリコール、1,2−プロピレングリコール、1,4−ブチレングリコール、1,3−ブチレングリコール、1,2−ブチレングリコール等を用いることが出来る。これらの二塩基酸及びグリコールはそれぞれ単独で用いてもよいし、2種以上混合して用いてもよい。   As the polyester plasticizer, a copolymer of a dibasic acid such as an aliphatic dibasic acid, an alicyclic dibasic acid, or an aromatic dibasic acid and a glycol can be used. The aliphatic dibasic acid is not particularly limited, and adipic acid, sebacic acid, phthalic acid, terephthalic acid, 1,4-cyclohexyl dicarboxylic acid and the like can be used. As the glycol, ethylene glycol, diethylene glycol, 1,3-propylene glycol, 1,2-propylene glycol, 1,4-butylene glycol, 1,3-butylene glycol, 1,2-butylene glycol and the like can be used. These dibasic acids and glycols may be used alone or in combination of two or more.

又、特願2000−338883記載のエポキシ系化合物、ロジン系化合物、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ケトン樹脂、トルエンスルホンアミド樹脂等の化合物もセルロースエステルの可塑剤として好ましく用いることが出来る。   In addition, compounds such as epoxy compounds, rosin compounds, phenol novolac type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, ketone resins, and toluenesulfonamide resins described in Japanese Patent Application No. 2000-338883 are preferably used as plasticizers for cellulose esters. I can do it.

上記化合物のうち市販品として、荒川化学工業(株)からKE−604及びKE−610(酸価237及び170)、KE−100及びKE−356(アビエチン酸、デヒドロアビエチン酸及びパラストリン酸3者の混合物のエステル化物、酸価は8及び0)が市販されている。又、播磨化成(株)からは、G−7及びハートールR−X(アビエチン酸、デヒドロアビエチン酸及びパラストリン酸3者の混合物、酸価167及び168)が市販されている。   Among the above compounds, commercially available products from Arakawa Chemical Co., Ltd. KE-604 and KE-610 (acid numbers 237 and 170), KE-100 and KE-356 (abietic acid, dehydroabietic acid and parastolic acid) Esterified products of the mixture, acid numbers 8 and 0) are commercially available. Moreover, G-7 and Hartle RX (mixture of abietic acid, dehydroabietic acid and parastrinic acid, acid values 167 and 168) are commercially available from Harima Kasei Co., Ltd.

その他、可塑剤として、エポキシ樹脂(例えば、アラルダイドEPN1179、アラルダイドAER260(旭チバ(株)製))、ケトン樹脂(例えば、ハイラック110、はハイラック110H(日立化成(株)製))、パラトルエンスルホンアミド樹脂(例えばトップラー(フジアミドケミカル(株)製))も好ましく用いることが出来る。これらの可塑剤は2種以上併用してもよいし、上記他の可塑剤と組合せてもよい。セルロースエステルに対する可塑剤の使用量は、フィルム性能、加工性等の点で、1〜20質量%が好ましく、特に好ましくは、3〜13質量%である。   In addition, as a plasticizer, epoxy resin (for example, Araldide EPN1179, Araldide AER260 (manufactured by Asahi Ciba)), ketone resin (for example, Hilac 110, Hilac 110H (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.)), para Toluenesulfonamide resins (for example, Topler (Fujiamide Chemical Co., Ltd.)) can also be preferably used. Two or more of these plasticizers may be used in combination, or may be combined with the other plasticizers. The amount of the plasticizer used relative to the cellulose ester is preferably 1 to 20% by mass, particularly preferably 3 to 13% by mass in terms of film performance, processability, and the like.

紫外線吸収剤としては、波長370nm以下の紫外線の吸収能に優れ、且つ良好な液晶表示性の観点から、波長400nm以上の可視光の吸収が少ないものが好ましい。好ましく用いられる紫外線吸収剤は、例えばオキシベンゾフェノン系化合物、ベンゾトリアゾール系化合物、サリチル酸エステル系化合物、ベンゾフェノン系化合物、シアノアクリレート系化合物、ニッケル錯塩系化合物等を挙げることが出来るが、これらに限定されない。ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤としては、例えば、2−(2′−ヒドロキシ−5′−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′,5′−ジ−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′−tert−ブチル−5′−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′,5′−ジ−tert−ブチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2′−ヒドロキシ−3′−(3″,4″,5″,6″−テトラヒドロフタルイミドメチル)−5′−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2,2−メチレンビス(4−(1,1,3,3−テトラメチルブチル)−6−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェノール)、2−(2′−ヒドロキシ−3′−tert−ブチル−5′−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、2−(2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)−6−(直鎖及び側鎖ドデシル)−4−メチルフェノール(チヌビン171)、オクチル−3−〔3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル〕プロピオネートと2−エチルヘキシル−3−〔3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−(5−クロロ−2H−ベンゾトリアゾール−2−イル)フェニル〕プロピオネートの混合物(チヌビン109)、この他チヌビン326等を挙げることが出来、何れも好ましく用いることが出来る。尚、上記チヌビンはチバ・スペッシャリティー・ケミカルズ社製である。   As the ultraviolet absorber, those which are excellent in the ability to absorb ultraviolet rays having a wavelength of 370 nm or less and have little absorption of visible light having a wavelength of 400 nm or more are preferable from the viewpoint of good liquid crystal display properties. Examples of preferably used ultraviolet absorbers include, but are not limited to, oxybenzophenone compounds, benzotriazole compounds, salicylic acid ester compounds, benzophenone compounds, cyanoacrylate compounds, nickel complex compounds, and the like. Examples of the benzotriazole ultraviolet absorber include 2- (2′-hydroxy-5′-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2′-hydroxy-3 ′, 5′-di-tert-butylphenyl) benzo Triazole, 2- (2'-hydroxy-3'-tert-butyl-5'-methylphenyl) benzotriazole, 2- (2'-hydroxy-3 ', 5'-di-tert-butylphenyl) -5 Chlorobenzotriazole, 2- (2′-hydroxy-3 ′-(3 ″, 4 ″, 5 ″, 6 ″ -tetrahydrophthalimidomethyl) -5′-methylphenyl) benzotriazole, 2,2-methylenebis (4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) -6- (2H-benzotriazol-2-yl) phenol), 2- (2'-hydroxy 3'-tert-butyl-5'-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -6- (linear and side chain dodecyl) -4-methylphenol (tinuvin) 171), octyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (chloro-2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate and 2-ethylhexyl-3- [3-tert-butyl-4 A mixture of -hydroxy-5- (5-chloro-2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate (tinuvin 109), tinuvin 326, and the like can be mentioned, and any of these can be preferably used. The above chinuvin is manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

又、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤としては、2,4−ジヒドロキシベンゾフェノン、2,2′−ジヒドロキシ−4−メトキシベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−4−メトキシ−5−スルホベンゾフェノン、ビス(2−メトキシ−4−ヒドロキシ−5−ベンゾイルフェニルメタン)等を挙げることが出来何れも好ましく用いることが出来る。   Examples of the benzophenone-based ultraviolet absorber include 2,4-dihydroxybenzophenone, 2,2'-dihydroxy-4-methoxybenzophenone, 2-hydroxy-4-methoxy-5-sulfobenzophenone, and bis (2-methoxy-4- Hydroxy-5-benzoylphenylmethane) and the like, and any of them can be preferably used.

本発明に係る基材フィルムに好ましく用いられる紫外線吸収剤としては、透明性が高く、偏光板や液晶の劣化を防ぐ効果に優れたベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤やベンゾフェノン系紫外線吸収剤が好ましく、不要な着色がより少ないベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤が特に好ましく用いられる。   As the UV absorber preferably used for the base film according to the present invention, a benzotriazole UV absorber and a benzophenone UV absorber that are highly transparent and excellent in preventing the deterioration of the polarizing plate and the liquid crystal are preferable and unnecessary. Particularly preferred is a benzotriazole-based ultraviolet absorber with less coloring.

又、特開2001−187825に記載されている分配係数が9.2以上の紫外線吸収剤は、フィルム基材の面品質を向上させ、塗布性にも優れている。特に分配係数が10.1以上の紫外線吸収剤を用いることが好ましい。紫外線吸収剤の使用量は化合物の種類、使用条件などにより一様ではないが、通常はセルロースエステルフィルム1m2当たり、0.2〜2.0gが好ましく、0.4〜1.5gが更に好ましく、0.6〜1.0gが特に好ましい。 Moreover, the ultraviolet absorber whose distribution coefficient described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-187825 is 9.2 or more improves the surface quality of a film base material, and is excellent also in applicability | paintability. In particular, it is preferable to use an ultraviolet absorber having a distribution coefficient of 10.1 or more. The amount of the UV absorber used is not uniform depending on the type of compound and the use conditions, but is usually preferably 0.2 to 2.0 g, more preferably 0.4 to 1.5 g per 1 m 2 of the cellulose ester film. 0.6 to 1.0 g is particularly preferable.

セルロースエステルフィルムには滑り性を付与するために微粒子を添加することが出来る。微粒子としては、無機化合物の微粒子又は有機化合物の微粒子を挙げることが出来る。無機化合物としては、珪素を含む化合物、酸化珪素、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、炭酸カルシウム、タルク、クレイ、焼成カオリン、焼成珪酸カルシウム、水和珪酸カルシウム、珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム及びリン酸カルシウム等が好ましく、更に好ましくは、珪素を含む無機化合物や酸化ジルコニウムであるが、セルロースエステル積層フィルムの濁度を低減出来るので、酸化珪素が特に好ましく用いられる。酸化珪素微粒子としては、前記の例えば、アエロジルR972、R972V、R974、R812、200、200V、300、R202、OX50、TT600(アエロジルは日本アエロジル(株)製微粒子の商標である)等の市販品が使用出来る。酸化ジルコニウムの微粒子としては、例えば、アエロジルR976及びR811等の市販品が使用出来る。有機化合物としては、例えば、シリコーン樹脂、フッ素樹脂及びアクリル樹脂等のポリマーが好ましく、中でも、シリコーン樹脂が好ましく用いられる。   Fine particles can be added to the cellulose ester film in order to impart slipperiness. Examples of the fine particles include inorganic compound fine particles and organic compound fine particles. As the inorganic compound, a compound containing silicon, silicon oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, calcium carbonate, talc, clay, calcined kaolin, calcined calcium silicate, hydrated calcium silicate, aluminum silicate, magnesium silicate, calcium phosphate, and the like are preferable. Preferably, it is an inorganic compound containing silicon or zirconium oxide, but silicon oxide is particularly preferably used because the turbidity of the cellulose ester laminated film can be reduced. Examples of the silicon oxide fine particles include commercially available products such as Aerosil R972, R972V, R974, R812, 200, 200V, 300, R202, OX50, and TT600 (Aerosil is a trademark of Nippon Aerosil Co., Ltd.). Can be used. As fine particles of zirconium oxide, for example, commercially available products such as Aerosil R976 and R811 can be used. As an organic compound, polymers, such as a silicone resin, a fluororesin, and an acrylic resin, are preferable, for example, Among these, a silicone resin is preferably used.

上記記載のシリコーン樹脂の中でも、特に三次元の網状構造を有するものが好ましく、例えば、トスパール103、同105、同108、同120、同145、同3120及び同240(以上東芝シリコーン(株)製)等の商品名を有する市販品が使用出来る。   Among the above-described silicone resins, those having a three-dimensional network structure are particularly preferable. For example, Tospearl 103, 105, 108, 120, 145, 3120 and 240 (above Toshiba Silicone Co., Ltd.) ) Etc. can be used.

本発明に用いられるセルロースエステルフィルムに添加される微粒子の1次平均粒子径としては、ヘイズを低く抑えるという観点から、20nm以下が好ましく、更に好ましくは、5〜16nmであり、特に好ましくは、5〜12nmである。これらの微粒子は0.1〜5μmの粒径の2次粒子を形成してセルロースエステルフィルムに含まれることが好ましく、好ましい平均粒径は0.1〜2μmであり、更に好ましくは0.2〜0.6μmである。これにより、フィルム表面に高さ0.1〜1.0μm程度の凹凸を形成し、これによってフィルム表面に適切な滑り性を与えることが出来る。   The primary average particle diameter of the fine particles added to the cellulose ester film used in the present invention is preferably 20 nm or less, more preferably 5 to 16 nm, and particularly preferably 5 nm from the viewpoint of suppressing haze. ~ 12 nm. These fine particles preferably form secondary particles having a particle diameter of 0.1 to 5 μm and are contained in the cellulose ester film, and the preferable average particle diameter is 0.1 to 2 μm, more preferably 0.2 to 0.6 μm. Thereby, the unevenness | corrugation about 0.1-1.0 micrometer high can be formed in the film surface, and, thereby, appropriate slipperiness can be given to the film surface.

本発明に用いられる微粒子の1次平均粒子径の測定は、透過型電子顕微鏡(倍率50万〜200万倍)で粒子の観察を行い、粒子100個を観察し、その平均値をもって、1次平均粒子径とした。微粒子の見掛比重としては、70g/L以上が好ましく、更に好ましくは、90〜200g/Lであり、特に好ましくは、100〜200g/Lである。見掛比重が大きい程、高濃度の分散液を作ることが可能になり、ヘイズが高くならずしかも凝集物が出来にくいため好ましく、又、本発明のように固形分濃度の高いドープを調製する際には、特に好ましく用いられる。1次粒子の平均径が20nm以下、見掛比重が70g/L以上の酸化珪素微粒子は、例えば、気化させた四塩化珪素と水素を混合させたものを1000〜1200℃にて空気中で燃焼させることで得ることが出来る。又例えばアエロジル200V、アエロジルR972Vの商品名で市販されており、それらを使用することが出来る。   The primary average particle diameter of the fine particles used in the present invention is measured by observing particles with a transmission electron microscope (magnification 500,000 to 2,000,000 times), observing 100 particles, and using the average value, the primary value is measured. The average particle size was taken. The apparent specific gravity of the fine particles is preferably 70 g / L or more, more preferably 90 to 200 g / L, and particularly preferably 100 to 200 g / L. A larger apparent specific gravity makes it possible to produce a high-concentration dispersion, which is preferable because haze does not increase and it is difficult to form aggregates, and a dope having a high solid content concentration is prepared as in the present invention. In particular, it is particularly preferably used. Silicon oxide fine particles having an average primary particle diameter of 20 nm or less and an apparent specific gravity of 70 g / L or more are, for example, a mixture of vaporized silicon tetrachloride and hydrogen burned in air at 1000 to 1200 ° C. Can be obtained by Further, for example, they are commercially available under the trade names of Aerosil 200V and Aerosil R972V, and these can be used.

上記記載の見掛比重は酸化珪素微粒子を一定量メスシリンダーにとり、この時の重さを測定し、下記式で算出したものである。   The apparent specific gravity described above is calculated by the following equation by measuring a weight of a predetermined amount of silicon oxide fine particles in a graduated cylinder and measuring the weight.

見掛比重(g/L)=酸化珪素質量(g)÷酸化珪素の容積(L)
微粒子の分散液を調製する方法としては、例えば以下に示すような3種類を挙げることが出来る。
Apparent specific gravity (g / L) = silicon oxide mass (g) / silicon oxide volume (L)
Examples of the method for preparing a fine particle dispersion include the following three types.

(調製方法A)
溶剤と微粒子を撹拌混合した後、分散機で分散を行う。これを微粒子分散液とする。微粒子分散液をドープ液に加えて撹拌する。
(Preparation method A)
After stirring and mixing the solvent and the fine particles, dispersion is performed with a disperser. This is a fine particle dispersion. The fine particle dispersion is added to the dope solution and stirred.

(調製方法B)
溶剤と微粒子を撹拌混合した後、分散機で分散を行う。これを微粒子分散液とする。別に溶剤に少量のセルローストリアセテートを加え、撹拌溶解する。これに前記微粒子分散液を加えて撹拌する。これを微粒子添加液とする。微粒子添加液をオンラインミキサーでドープ液と充分混合する。
(Preparation method B)
After stirring and mixing the solvent and the fine particles, dispersion is performed with a disperser. This is a fine particle dispersion. Separately, a small amount of cellulose triacetate is added to the solvent and dissolved by stirring. The fine particle dispersion is added to this and stirred. This is a fine particle addition solution. The fine particle additive solution is thoroughly mixed with the dope solution using an online mixer.

(調製方法C)
溶剤に少量のセルローストリアセテートを加え、撹拌溶解する。これに微粒子を加えて分散機で分散を行う。これを微粒子添加液とする。微粒子添加液をオンラインミキサーでドープ液と充分混合する。
(Preparation method C)
Add a small amount of cellulose triacetate to the solvent and dissolve with stirring. Fine particles are added to this and dispersed by a disperser. This is a fine particle addition solution. The fine particle additive solution is thoroughly mixed with the dope solution using an online mixer.

調製方法Aは酸化珪素微粒子の分散性に優れ、調製方法Cは酸化珪素微粒子が再凝集しにくい点で優れている。中でも、上記記載の調製方法Bは酸化珪素微粒子の分散性と、酸化珪素微粒子が再凝集しにくい等、両方に優れている好ましい調製方法である。   Preparation method A is excellent in dispersibility of silicon oxide fine particles, and preparation method C is excellent in that the silicon oxide fine particles are difficult to re-aggregate. Among them, the preparation method B described above is a preferable preparation method that is excellent in both dispersibility of the silicon oxide fine particles and difficulty in reaggregation of the silicon oxide fine particles.

(分散方法)
酸化珪素微粒子を溶剤などと混合して分散する時の酸化珪素の濃度は5〜30質量%が好ましく、10〜25質量%が更に好ましく、15〜20質量%が最も好ましい。分散濃度は高い方が、添加量に対する液濁度は低くなる傾向があり、ヘイズが小さく、凝集物もなく好ましい。
(Distribution method)
The concentration of silicon oxide when the silicon oxide fine particles are mixed with a solvent and dispersed is preferably 5 to 30% by mass, more preferably 10 to 25% by mass, and most preferably 15 to 20% by mass. The higher the dispersion concentration, the lower the turbidity with respect to the added amount, which is preferable because the haze is small and there is no aggregate.

使用する溶剤は、低級アルコール類が好ましく、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール等を挙げることが出来る。低級アルコール以外の溶媒としては特に限定されないが、セルロースエステルの製膜時に用いられる溶剤を用いることが好ましい。   The solvent used is preferably a lower alcohol, and examples thereof include methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, and butyl alcohol. Although it does not specifically limit as solvents other than a lower alcohol, It is preferable to use the solvent used at the time of film forming of a cellulose ester.

セルロースエステルに対する酸化珪素微粒子の添加量はセルロースエステル100質量部に対して、酸化珪素微粒子は0.01〜0.3質量部が好ましく、0.05〜0.2質量部が更に好ましく、0.08〜0.12質量部が最も好ましい。添加量は多い方が、動摩擦係数が小さく、添加量の少ない方がヘイズが低く、凝集物も少ない点が優れている。   The amount of silicon oxide fine particles added to the cellulose ester is preferably 0.01 to 0.3 parts by mass, more preferably 0.05 to 0.2 parts by mass, and more preferably 0.0 to 0.2 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the cellulose ester. Most preferred is 08 to 0.12 parts by mass. The larger the added amount, the smaller the dynamic friction coefficient, and the smaller the added amount, the lower the haze and the fewer the aggregates.

上記分散機としては、通常の分散機を使用し得る。一般に分散機は大きく分けて、メディア分散機とメディアレス分散機に分けられる。酸化珪素微粒子の分散にはメディアレス分散機がヘイズが低く好ましい。   A normal disperser can be used as the disperser. In general, dispersers are broadly divided into media dispersers and medialess dispersers. For dispersion of silicon oxide fine particles, a medialess disperser is preferred because of low haze.

メディア分散機としてはボールミル、サンドミル、ダイノミルなどを挙げることが出来る。メディアレス分散機としては、超音波型、遠心型、高圧型等があるが、本発明においては高圧分散装置が好ましい。高圧分散装置は、微粒子と溶媒を混合した組成物を、細管中に高速通過させることで、高剪断や高圧状態など特殊な条件を作りだす装置である。高圧分散装置で処理する場合、例えば、管径1〜2000μmの細管中で装置内部の最大圧力条件が9.807MPa以上であることが好ましく、更に好ましくは19.613MPa以上である。又その際、最高到達速度が100m/秒以上に達するもの、伝熱速度が420kJ/時間以上に達するものが好ましい。   Examples of the media disperser include a ball mill, a sand mill, and a dyno mill. Examples of the medialess disperser include an ultrasonic type, a centrifugal type, and a high pressure type. In the present invention, a high pressure disperser is preferable. The high pressure dispersion device is a device that creates special conditions such as high shear and high pressure by passing a composition in which fine particles and a solvent are mixed at high speed through a narrow tube. When processing with a high-pressure dispersion apparatus, for example, the maximum pressure condition inside the apparatus is preferably 9.807 MPa or more, more preferably 19.613 MPa or more in a thin tube having a tube diameter of 1 to 2000 μm. Further, at that time, those having a maximum reaching speed of 100 m / second or more and those having a heat transfer speed of 420 kJ / hour or more are preferable.

上記のような高圧分散装置にはMicrofluidics Corporation社製の超高圧ホモジナイザのマイクロフルイダイザ(商品名)あるいはナノマイザ社製のナノマイザ(商品名)があり、他にもマントンゴーリン型高圧分散装置、例えばイズミフードマシナリ製ホモジナイザ、三和機械(株)社製UHN−01等を挙げることが出来る。   The high-pressure dispersion apparatus as described above includes a microfluidizer (trade name) of an ultra-high pressure homogenizer manufactured by Microfluidics Corporation, or a nanomizer (trade name) manufactured by Nanomizer, and a Manton Gorin type high-pressure dispersion apparatus, for example, A homogenizer manufactured by Izumi Food Machinery, UHN-01 manufactured by Sanwa Machinery Co., Ltd., and the like can be mentioned.

酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系の化合物が好ましく用いられ、2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ペンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、トリエチレングリコール−ビス〔3−(3−t−ブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、1,6−ヘキサンジオール−ビス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、2,4−ビス−(n−オクチルチオ)−6−(4−ヒドロキシ−3,5−ジ−t−ブチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、2,2−チオ−ジエチレンビス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、オクタデシル−3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート、N,N′−ヘキサメチレンビス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシ−ヒドロシンナマミド)、1,3,5−トリメチル−2,4,6−トリス(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)ベンゼン、トリス−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−イソシアヌレイト等を挙げることが出来る。特に2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ペンタエリスリチル−テトラキス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕、トリエチレングリコール−ビス〔3−(3−t−ブチル−5−メチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート〕が好ましい。又例えば、N,N′−ビス〔3−(3,5−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオニル〕ヒドラジン等のヒドラジン系の金属不活性剤やトリス(2,4−ジ−t−ブチルフェニル)フォスファイト等のリン系加工安定剤を併用してもよい。これらの化合物の添加量は、セルロースエステルに対して質量割合で1ppm〜1.0%が好ましく、10〜1000ppmが更に好ましい。   As the antioxidant, a hindered phenol compound is preferably used, and 2,6-di-t-butyl-p-cresol, pentaerythrityl-tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl- 4-hydroxyphenyl) propionate], triethylene glycol-bis [3- (3-tert-butyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 1,6-hexanediol-bis [3- (3,5 -Di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2,4-bis- (n-octylthio) -6- (4-hydroxy-3,5-di-t-butylanilino) -1,3,5 -Triazine, 2,2-thio-diethylenebis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], octadecyl-3- (3 -Di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate, N, N'-hexamethylenebis (3,5-di-t-butyl-4-hydroxy-hydrocinnamamide), 1,3,5-trimethyl -2,4,6-tris (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) benzene, tris- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxybenzyl) -isocyanurate, etc. I can list them. In particular, 2,6-di-t-butyl-p-cresol, pentaerythrityl-tetrakis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], triethylene glycol-bis [3- (3-t-butyl-5-methyl-4-hydroxyphenyl) propionate] is preferred. Further, for example, hydrazine-based metal deactivators such as N, N′-bis [3- (3,5-di-t-butyl-4-hydroxyphenyl) propionyl] hydrazine and tris (2,4-di-t A phosphorus processing stabilizer such as (butylphenyl) phosphite may be used in combination. The amount of these compounds added is preferably 1 ppm to 1.0%, more preferably 10 to 1000 ppm in terms of mass ratio with respect to the cellulose ester.

本発明に係わるフィルム基材として使用するセルロースエステルフィルムの溶液流延製膜法に付き説明する。溶液流延製膜法によるセルロースエステルフィルムの作製は、ドープ調製工程、ドープ流延工程、溶媒蒸発工程、剥離工程、乾燥及び延伸工程を経て行われる。   A description will be given of a solution casting film forming method of a cellulose ester film used as a film substrate according to the present invention. Production of the cellulose ester film by the solution casting film forming method is performed through a dope preparation step, a dope casting step, a solvent evaporation step, a peeling step, a drying step and a stretching step.

1)ドープ調製工程:セルロースエステル(フレーク状の)に対する良溶媒を主とする有機溶媒に溶解釜中で該セルロースエステルや添加剤を攪拌しながら溶解し、ドープを形成する工程である。溶解には、常圧で行う方法、主溶媒の沸点以下で行う方法、主溶媒の沸点以上で加圧して行う方法、冷却溶解法で行う方法、高圧で行う方法等種々の溶解方法がある。溶解後ドープを濾材で濾過し、脱泡してポンプで次工程に送る。セルロースエステル溶液と、上述の添加剤をセルロースエステル溶液に同時に溶解させてドープとしてもよいし、又別々に調製した添加剤液をセルロースエステル溶液と混合して、ドープを形成してもよい。セルロースエステル溶液と添加剤溶液を混合するには、特に制限はないが、本発明においては、オンラインミキサーにより混合する方法が好ましく、例えば東レエンジニアリング(株)製のHi−Mixer(静止型管内混合器)を用いることによって均一なドープを得ることが出来、好ましい。   1) Dope preparation step: a step of forming a dope by dissolving the cellulose ester and additives in an organic solvent mainly composed of a good solvent for cellulose ester (in the form of flakes) in a dissolution vessel while stirring. There are various dissolution methods such as a method performed at normal pressure, a method performed below the boiling point of the main solvent, a method performed under pressure above the boiling point of the main solvent, a method performed using a cooling dissolution method, and a method performed at high pressure. After dissolution, the dope is filtered with a filter medium, defoamed, and sent to the next process with a pump. The cellulose ester solution and the above-mentioned additive may be simultaneously dissolved in the cellulose ester solution to form a dope, or a separately prepared additive solution may be mixed with the cellulose ester solution to form a dope. Although there is no restriction | limiting in particular in mixing a cellulose-ester solution and an additive solution, In this invention, the method of mixing with an on-line mixer is preferable, for example, Hi-Mixer (static type in-tube mixer by Toray Engineering Co., Ltd.). ) Is preferable because a uniform dope can be obtained.

2)ドープ流延工程:ドープを加圧型定量ギヤポンプを通して加圧ダイに送液し、無限に移送する無端の金属ベルト、例えばステンレスベルト、あるいは回転する金属ドラム等の金属支持体上の流延位置に、加圧ダイからドープを流延する工程である。金属支持体の表面は鏡面となっている。その他の流延する方法は流延されたドープ膜をブレードで膜厚を調節するドクターブレード法、あるいは逆回転するロールで調節するリバースロールコータによる方法等があるが、口金部分のスリット形状を調整出来、膜厚を均一にし易い加圧ダイが好ましい。加圧ダイには、コートハンガーダイやTダイ等があるが、何れも好ましく用いられる。製膜速度を上げるために加圧ダイを金属支持体上に2基以上設け、ドープ量を分割して重層してもよい。   2) Dope casting step: The dope is fed to a pressure die through a pressurized metering gear pump, and the endless metal belt for infinite transfer, for example, a stainless steel belt or a casting position on a metal support such as a rotating metal drum And a step of casting a dope from a pressure die. The surface of the metal support is a mirror surface. Other casting methods include a doctor blade method in which the film thickness of the cast dope film is adjusted with a blade, or a reverse roll coater method in which the film is adjusted with a reverse rotating roll, but the slit shape of the die part is adjusted. A pressure die that is easy to make uniform in film thickness is preferable. Examples of the pressure die include a coat hanger die and a T die, and any of them is preferably used. In order to increase the film forming speed, two or more pressure dies may be provided on the metal support, and the dope amount may be divided and stacked.

3)溶媒蒸発工程:ウェブを金属支持体上で加熱し金属支持体からウェブが剥離可能になるまで溶媒を蒸発させる工程である。溶媒を蒸発させるには、ウェブ側から風を吹かせる方法及び/又は金属支持体の裏面から液体により伝熱させる方法、輻射熱により表裏から伝熱する方法等があるが、裏面液体伝熱の方法が乾燥効率がよく好ましい。又それらを組合せる方法も好ましい。裏面液体伝熱の場合は、ドープ使用有機溶媒の主溶媒又は最も低い沸点を有する有機溶媒の沸点以下で加熱するのが好ましい。   3) Solvent evaporation step: The step of evaporating the solvent by heating the web on the metal support until the web becomes peelable from the metal support. In order to evaporate the solvent, there are a method of blowing air from the web side and / or a method of transferring heat from the back side of the metal support by a liquid, a method of transferring heat from the front and back by radiant heat, and the like. However, the drying efficiency is preferable. A method of combining them is also preferable. In the case of backside liquid heat transfer, it is preferable to heat at or below the boiling point of the organic solvent having the lowest boiling point or the organic solvent having the lowest boiling point.

4)剥離工程:金属支持体上で溶媒が蒸発したウェブを、剥離位置で剥離する工程である。剥離されたウェブは次工程に送られる。剥離する時点でのウェブの残留溶媒量(下記式)があまり大き過ぎると剥離し難かったり、逆に金属支持体上で充分に乾燥させてから剥離すると、途中でウェブの一部が剥がれたりする。   4) Peeling step: This is a step of peeling the web in which the solvent has evaporated on the metal support at the peeling position. The peeled web is sent to the next process. If the residual solvent amount of the web at the time of peeling (the following formula) is too large, peeling will be difficult, or conversely, if it is peeled off after sufficiently drying on the metal support, part of the web will be peeled off in the middle .

製膜速度を上げる方法(残留溶媒量が出来るだけ多いうちに剥離するため製膜速度を上げることが出来る)としてゲル流延法(ゲルキャスティング)がある。それは、ドープ中にセルロースエステルに対する貧溶媒を加えて、ドープ流延後、ゲル化する方法、金属支持体の温度を低めてゲル化する方法等がある。金属支持体上でゲル化させ剥離時の膜の強度を上げておくことによって、剥離を早め製膜速度を上げることが出来るのである。金属支持体上でのウェブの乾燥が条件の強弱、金属支持体の長さ等により5〜150質量%の範囲で剥離することが出来るが、残留溶媒量がより多い時点で剥離する場合、ウェブが柔らか過ぎると剥離時平面性を損なったり、剥離張力によるツレや縦スジが発生し易く、経済速度と品質との兼ね合いで剥離残留溶媒量を決められる。従って、本発明においては、該金属支持体上の剥離位置における温度を10〜40℃、好ましくは15〜30℃とし、且つ該剥離位置におけるウェブの残留溶媒量を10〜120質量%とすることが好ましい。剥離残留溶媒量は下記の式で表すことが出来る。   There is a gel casting method (gel casting) as a method for increasing the film forming speed (the film forming speed can be increased because the film is peeled off while the residual solvent amount is as large as possible). For example, a poor solvent for the cellulose ester is added to the dope, and the dope is cast and then gelled, and the temperature of the metal support is lowered to gel. By gelling on a metal support and increasing the strength of the film at the time of peeling, peeling can be accelerated and the film forming speed can be increased. The web can be peeled in the range of 5 to 150% by mass depending on the strength of the web on the metal support, the length of the metal support, etc. If it is too soft, the flatness at the time of peeling will be impaired, and slippage and vertical stripes due to peeling tension will easily occur, and the amount of residual solvent will be determined by the balance between economic speed and quality. Therefore, in the present invention, the temperature at the peeling position on the metal support is 10 to 40 ° C., preferably 15 to 30 ° C., and the residual solvent amount of the web at the peeling position is 10 to 120% by mass. Is preferred. The amount of residual solvent after peeling can be expressed by the following formula.

残留溶媒量(質量%)={(M−N)/N}×100
ここで、Mはウェブの任意時点での質量、NはMのものを110℃で3時間乾燥させた時の質量である。
Residual solvent amount (% by mass) = {(MN) / N} × 100
Here, M is the mass of the web at an arbitrary point, and N is the mass when M is dried at 110 ° C. for 3 hours.

5)乾燥及び延伸工程:剥離後、一般には、ウェブを上下に複数配置したロールに交互に通して搬送する乾燥装置及び/又はクリップでウェブの両端をクリップして搬送するテンター装置を用いてウェブを乾燥する。乾燥の手段はウェブの両面に熱風を吹かせるのが一般的であるが、風の代わりにマイクロウエーブを当てて加熱する手段もある。あまり急激な乾燥は出来上がりのフィルムの平面性を損ね易い。全体を通して、通常乾燥温度は40〜250℃の範囲で行われる。使用する溶媒によって、乾燥温度、乾燥風量及び乾燥時間が異なり、使用溶媒の種類、組合せに応じて乾燥条件を適宜選べばよい。   5) Drying and stretching step: After peeling, the web is generally used by using a drying device that conveys the web alternately through a plurality of vertically arranged rolls and / or a tenter device that clips and conveys both ends of the web with clips. To dry. As a drying means, hot air is generally blown on both sides of the web, but there is also a means for heating by applying a microwave instead of the wind. Too much drying tends to impair the flatness of the finished film. Throughout, the drying temperature is usually in the range of 40 to 250 ° C. The drying temperature, the amount of drying air, and the drying time differ depending on the solvent used, and the drying conditions may be appropriately selected according to the type and combination of the solvents used.

本発明において、ウェブをテンター乾燥機を用いて少なくとも幅手方向に延伸するのが好ましく、特に剥離後の残留溶媒量が3〜40質量%の時に幅手方向に1.01倍〜2.5倍に延伸することが好ましい。より好ましくは幅手方向と長手方向に2軸延伸することであり、各々1.01倍〜2.5倍に延伸することが望ましい。更に、巻き取る前に、ナーリング加工をすることによって、反射防止フィルムをロール状で保管中に巻き形状の劣化を避けることが出来る。本発明では、長尺フィルムの幅方向の両端に凹凸を付与して端部を嵩高くするいわゆるナーリング加工を施することが好ましい。ここで、ナーリング高さとは、下記のように定義される。   In the present invention, it is preferable to stretch the web at least in the width direction using a tenter dryer. Particularly, when the amount of residual solvent after peeling is 3 to 40% by mass, 1.01 to 2.5 in the width direction. It is preferable to stretch it twice. More preferably, it is biaxially stretched in the width direction and the longitudinal direction, and it is desirable to stretch each by 1.01 times to 2.5 times. Furthermore, by knurling before winding, deterioration of the winding shape can be avoided during storage of the antireflection film in roll form. In this invention, it is preferable to give what is called a knurling process which gives an unevenness | corrugation to the both ends of the width direction of a elongate film, and makes an edge part bulky. Here, the knurling height is defined as follows.

ナーリング高さ(a:μm)のフィルム膜厚(d:μm)に対する比率X(%)=(a/d)×100
本発明においては、X=1〜25%の範囲であることが好ましく、5〜20%が更に好ましく、10〜15%が特に好ましい。
Ratio X (%) = (a / d) × 100 of the film thickness (d: μm) of the knurling height (a: μm)
In the present invention, X is preferably in the range of 1 to 25%, more preferably 5 to 20%, and particularly preferably 10 to 15%.

本発明に係わる反射防止フィルムは、前述の反射防止層を塗設する前に、反射防止層を塗設する側の反対側にバックコート層を、又反射防止層側にクリアハードコート層や防眩層を予め塗設することが好ましい。   The antireflection film according to the present invention has a backcoat layer on the side opposite to the side on which the antireflection layer is coated and a clear hard coat layer or antireflection film on the side of the antireflection layer before coating the above-mentioned antireflection layer. It is preferable to apply a glare layer in advance.

バックコート層は、反射防止フィルムの滑り易さ、巻き状態での表面裏面のブロッキング防止、カールコントロールあるいは静電気防止等の機能を付与するために塗設されている。滑り易さやブロッキング防止には、予め前述のようにフィルム中に微粒子を添加する方法や微粒子を含有する塗布液を塗設してバックコート層を設ける方法がある。バックコート層には、バインダー用樹脂と微粒子を含んでいることが好ましく、微粒子としては、有機化合物でも無機化合物でもよく、例えば酸化珪素、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、炭酸カルシウム、カオリン、タルク、焼成珪酸カルシウム、水和珪酸カルシウム、珪酸アルミニウム、珪酸マグネシウム、リン酸カルシウム等の無機微粒子を挙げることが出来、又有機微粒子としては、ポリメタアクリル酸メチルアクリレート樹脂粉末、アクリルスチレン系樹脂粉末、ポリメチルメタクリレート樹脂粉末、シリコーン系樹脂粉末、ポリスチレン系樹脂粉末、ポリカーボネート樹脂粉末、ベンゾグアナミン系樹脂粉末、メラミン系樹脂粉末、ポリオレフィン系樹脂粉末、ポリエステル系樹脂粉末、ポリアミド系樹脂粉末、ポリイミド系樹脂粉末、あるいはポリ弗化エチレン系樹脂粉末、架橋高分子微粒子等を挙げることが出来、これらを紫外線硬化性組成物に加えることが出来る。これらの微粒子粉末の平均粒径は、0.005〜1μmが好ましく、特に0.01〜0.1μmのものが好ましい。紫外線硬化性樹脂と微粒子粉末との割合は、樹脂100質量部に対して、微粒子粉末を0.1〜10質量部となるように配合することが望ましい。このようにして形成された紫外線硬化性被覆層の表面粗さは、目的や種類に応じて異なるが、中心線平均表面粗さRa(前出)として、Raが後述のクリアハードコート層なら1〜50nm、後述の防眩層なら0.1〜1μm程度が好ましい。   The back coat layer is coated to impart functions such as slipperiness of the antireflection film, prevention of blocking of the front and back surfaces in a rolled state, curl control, and prevention of static electricity. In order to prevent slipping and to prevent blocking, there are a method in which fine particles are added to the film in advance as described above, and a method in which a back coating layer is provided by applying a coating solution containing fine particles. The back coat layer preferably contains a binder resin and fine particles. The fine particles may be organic or inorganic compounds, such as silicon oxide, titanium oxide, aluminum oxide, zirconium oxide, calcium carbonate, kaolin, talc. Inorganic fine particles such as calcined calcium silicate, hydrated calcium silicate, aluminum silicate, magnesium silicate, calcium phosphate, and the like, and as organic fine particles, polymethacrylic acid methyl acrylate resin powder, acrylic styrene resin powder, polymethyl Methacrylate resin powder, silicone resin powder, polystyrene resin powder, polycarbonate resin powder, benzoguanamine resin powder, melamine resin powder, polyolefin resin powder, polyester resin powder, polyamide resin powder Polyimide resin powder or polyfluoroethylene resin powder, can be mentioned cross-linked polymer fine particles, these can be added to UV curable compositions. The average particle size of these fine particle powders is preferably 0.005 to 1 μm, particularly preferably 0.01 to 0.1 μm. The ratio of the ultraviolet curable resin and the fine particle powder is desirably blended so that the fine particle powder is 0.1 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin. The surface roughness of the ultraviolet curable coating layer formed in this manner varies depending on the purpose and type, but the center line average surface roughness Ra (supra) is 1 if Ra is a clear hard coat layer described later. If it is about-50 nm and the below-mentioned anti-glare layer, about 0.1-1 micrometer is preferable.

中でも酸化珪素がフィルムのヘイズを高くすることなく使用出来るので好ましい。その含有量は基材フィルム素材に対して0.04〜0.3質量%が好ましい。酸化珪素のような微粒子に有機物で表面処理したものが、ヘイズを低下することが出来るため好ましい。表面処理で好ましい金属有機物としては、ハロシラン類、アルコキシシラン類(特にメチル基を有するアルコキシシラン類)、シラザン、シロキサン等を挙げることが出来る。微粒子の平均粒径は大きい方がマット効果が大きく、反対に平均粒径の小さい方は透明性に優れるため、好ましい微粒子の1次粒子の平均粒径は5〜50nmで、より好ましくは7〜16nmである。酸化珪素の微粒子としては前述と同様に、アエロジル(株)製のアエロジル200、200V、300、R972、R972V、R974、R202、R812,OX50、TT600等を挙げることが出来、好ましくはアエロジル200V、R972、R972V、R974、R202、R812である。これらの微粒子は2種以上併用してもよい。2種以上併用する場合、任意の割合で混合して使用することが出来る。この場合、平均粒径や材質の異なる微粒子、例えばAEROSIL(アエロジル)200VとR972Vを質量比で0.1:99.9〜99.9:0.1の範囲で使用出来る。   Of these, silicon oxide is preferable because it can be used without increasing the haze of the film. The content is preferably 0.04 to 0.3% by mass relative to the base film material. It is preferable to use fine particles such as silicon oxide that are surface-treated with an organic substance because haze can be reduced. Preferred metal organics for the surface treatment include halosilanes, alkoxysilanes (especially alkoxysilanes having a methyl group), silazane, and siloxane. The larger the average particle size of the fine particles, the greater the mat effect, whereas the smaller the average particle size, the better the transparency. Therefore, the average particle size of the primary particles of the preferable fine particles is 5 to 50 nm, more preferably 7 to 16 nm. Examples of the fine particles of silicon oxide include Aerosil 200, 200V, 300, R972, R972V, R974, R202, R812, OX50, TT600, etc., preferably Aerosil 200V, R972, as described above. , R972V, R974, R202, R812. Two or more kinds of these fine particles may be used in combination. When using 2 or more types together, it can mix and use in arbitrary ratios. In this case, fine particles having different average particle sizes and materials, for example, AEROSIL (Aerosil) 200V and R972V can be used in a mass ratio of 0.1: 99.9 to 99.9: 0.1.

バックコート層塗布組成物に使用するバインダー樹脂としては、例えば、塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル樹脂、酢酸ビニル/ビニルアルコール共重合体、部分加水分解した塩化ビニル/酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル/塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル/アクリロニトリル共重合体、エチレン/ビニルアルコール共重合体、塩素化ポリ塩化ビニル、エチレン/塩化ビニル共重合体、エチレン/酢酸ビニル共重合体等のビニル系重合体又は共重合体、ニトロセルロース、セルロースアセテートプロピオネート、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート樹脂等のセルロースエステル系樹脂、マレイン酸及び/又はアクリル酸の共重合体、アクリル酸エステル共重合体、アクリロニトリル/スチレン共重合体、塩素化ポリエチレン、アクリロニトリル/塩素化ポリエチレン/スチレン共重合体、メチルメタクリレート/ブタジエン/スチレン共重合体、アクリル樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリエステルポリウレタン樹脂、ポリエーテルポリウレタン樹脂、ポリカーボネートポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、アミノ樹脂、スチレン/ブタジエン樹脂、ブタジエン/アクリロニトリル樹脂等のゴム系樹脂、シリコーン系樹脂、フッ素系樹脂等を挙げることが出来るが、これらに限定されるものではない。アクリル樹脂としては、アクリペットMD、VH、MF、V(以上、三菱レーヨン(株)製)、ハイパールM−4003、M−4005、M−4006、M−4202、M−5000、M−5001、M−4501(以上、根上工業(株)製)、前述のダイヤナールBR−102等(三菱レーヨン(株)製)等を挙げることが出来る。特に好ましくはジアセチルセルロース、セルロースアセテートプロピオネートのようなセルロースエステル樹脂が用いられる。   Examples of the binder resin used in the backcoat layer coating composition include vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, vinyl chloride resin, vinyl acetate resin, vinyl acetate / vinyl alcohol copolymer, partially hydrolyzed vinyl chloride / acetic acid. Vinyl copolymer, vinyl chloride / vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride / acrylonitrile copolymer, ethylene / vinyl alcohol copolymer, chlorinated polyvinyl chloride, ethylene / vinyl chloride copolymer, ethylene / vinyl acetate copolymer Vinyl polymers or copolymers such as coalescence, cellulose ester resins such as nitrocellulose, cellulose acetate propionate, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate resin, maleic acid and / or Or Copolymer of acrylic acid, acrylate copolymer, acrylonitrile / styrene copolymer, chlorinated polyethylene, acrylonitrile / chlorinated polyethylene / styrene copolymer, methyl methacrylate / butadiene / styrene copolymer, acrylic resin, polyvinyl Acetal resin, polyvinyl butyral resin, polyester polyurethane resin, polyether polyurethane resin, polycarbonate polyurethane resin, polyester resin, polyether resin, polyamide resin, amino resin, styrene / butadiene resin, rubber resin such as butadiene / acrylonitrile resin, silicone type Resins, fluorine resins and the like can be mentioned, but are not limited thereto. As acrylic resins, Acrypet MD, VH, MF, V (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), Hyperl M4003, M-4005, M-4006, M-4202, M-5000, M-5001, M-4501 (manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd.), the above-mentioned Dianar BR-102 (manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.), and the like. Particularly preferably, cellulose ester resins such as diacetyl cellulose and cellulose acetate propionate are used.

上記のようなバインダー樹脂及び微粒子の混合組成物としてのバックコート層塗布組成物に使用する有機溶媒としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ジオキサン、アセトン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、酢酸メチル、酢酸エチル、トリクロロエチレン、メチレンクロライド、エチレンクロライド、テトラクロロエタン、トリクロロエタン、クロロホルム等がある。溶解させない溶媒としては、例えば、メタノール、エタノール、n−プロピルアルコール、i−プロピルアルコール、n−ブタノール等を挙げることが出来る。   Examples of the organic solvent used in the back coat layer coating composition as a mixed composition of the binder resin and the fine particles as described above include benzene, toluene, xylene, dioxane, acetone, methyl ethyl ketone, N, N-dimethylformamide, and acetic acid. Examples include methyl, ethyl acetate, trichloroethylene, methylene chloride, ethylene chloride, tetrachloroethane, trichloroethane, and chloroform. Examples of the solvent that is not dissolved include methanol, ethanol, n-propyl alcohol, i-propyl alcohol, and n-butanol.

バックコート層にアンチカール機能を付与するには、基材フィルムの素材を溶解又は膨潤させるような有機溶媒を含有するバックコート層塗布組成物を基材フィルムに塗設することによって行われる。   The anti-curl function is imparted to the back coat layer by coating the base film with a back coat layer coating composition containing an organic solvent that dissolves or swells the base film material.

本発明に係わる反射防止フィルムには、反射防止層を塗設する前に予めハードコート層又は防眩層を塗設してもよい。又、反射防止層形成後にその上に防汚層を塗設してもよい。クリアハードコート層や防眩層は、不飽和エチレン性モノマーを1種以上含む成分を重合させて形成した層で、活性エネルギー線硬化性の組成物又は熱硬化性の組成物を用いるのが好ましく、特に活性エネルギー線硬化性組成物を用いるのが好ましい。ここで、活性エネルギー線硬化組成物とは、不飽和エチレン性モノマーを主として含有する組成物、又は不飽和エチレン性基を有する比較的分子量の大きい化合物(通常、樹脂と称する)を含有する組成物で、紫外線や電子線のような活性エネルギー線照射により架橋反応などにより硬化層を形成する組成物をいう。活性エネルギー線硬化性組成物としては、紫外線硬化性組成物や電子線硬化性組成物などが代表的なものとして挙げることが出来、紫外線や電子線以外の活性エネルギー線照射によって硬化する組成物でもよい。活性エネルギー線硬化組成物としては前述の反射防止層のところで記述したものと同様であるので省略する。   The antireflection film according to the present invention may be provided with a hard coat layer or an antiglare layer in advance before the antireflection layer is applied. Further, an antifouling layer may be applied thereon after forming the antireflection layer. The clear hard coat layer or the antiglare layer is a layer formed by polymerizing a component containing at least one unsaturated ethylenic monomer, and it is preferable to use an active energy ray-curable composition or a thermosetting composition. In particular, it is preferable to use an active energy ray-curable composition. Here, the active energy ray-curable composition is a composition mainly containing an unsaturated ethylenic monomer, or a composition containing a compound having an unsaturated ethylenic group and a relatively large molecular weight (usually referred to as a resin). In the composition, a hardened layer is formed by a crosslinking reaction or the like by irradiation with active energy rays such as ultraviolet rays or electron beams. As the active energy ray-curable composition, an ultraviolet curable composition, an electron beam curable composition, and the like can be cited as representative examples, and even a composition that is cured by irradiation with an active energy ray other than ultraviolet rays or electron beams. Good. The active energy ray curable composition is the same as that described in the above-mentioned antireflection layer, and therefore will be omitted.

これらのうち、紫外線硬化性組成物には、光重合開始剤あるいは増感剤を含有し、紫外線により硬化させることが出来る。光重合開始剤としては、アセトフェノン、ベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、α−アミロキシムエステル、チオキサントン等及びこれらの誘導体を挙げることが出来る。又、エポキシアクリレート系の光重合開始剤を使用する際、n−ブチルアミン、トリエチルアミン、トリ−n−ブチルホスフィン等の増感剤を用いることが出来る。近紫外線領域から可視光線領域にかけて光源に対しては、それらの領域に吸収極大を有する増感剤を組成物に含有させることによって使用を可能にすることが出来る。   Among these, the ultraviolet curable composition contains a photopolymerization initiator or a sensitizer and can be cured by ultraviolet rays. Examples of the photopolymerization initiator include acetophenone, benzophenone, hydroxybenzophenone, Michler's ketone, α-amyloxime ester, thioxanthone, and derivatives thereof. Further, when using an epoxy acrylate photopolymerization initiator, a sensitizer such as n-butylamine, triethylamine, tri-n-butylphosphine can be used. For light sources from the near ultraviolet region to the visible light region, use can be made possible by incorporating a sensitizer having an absorption maximum in those regions into the composition.

紫外線硬化性組成物塗布液に使用する有機溶媒としては、例えば、シクロヘキサン等の炭化水素類、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール、イソアミルアルコール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類;酢酸メチル、酢酸エチル等のエステル類;エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノイソプロピルエーテル、プロピレングリコールモノイソブチルエーテル等のグリコールエーテル類等を挙げることが出来、適宜選択し、あるいはこれらを混合して使用出来るが、上記のプロピレングリコールモノアルキルエーテル又はプロピレングリコールモノアルキルエーテルエステルを5質量%以上含有させることが好ましく、これらを5〜80質量%含有する混合有機溶媒を用いることがより好ましい。   Examples of the organic solvent used in the ultraviolet curable composition coating solution include hydrocarbons such as cyclohexane, alcohols such as methanol, ethanol, isopropyl alcohol, and isoamyl alcohol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl isobutyl ketone; Esters such as methyl acetate and ethyl acetate; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monoisopropyl ether, propylene glycol monoisobutyl ether, etc. The propylene glycol monoalkyl ether described above can be selected as appropriate or used in combination. Is preferably contains a propylene glycol monoalkyl ether esters least 5 wt%, it is preferable to use a mixed organic solvent containing these 5-80 wt%.

紫外線硬化性組成物塗布液を塗布し、乾燥した後、もしくは生乾きの状態で、紫外線光源を上記のエネルギー値程度に照射し硬化反応を行わせる。この時の照射時間は、基材の移送速度、塗布液の組成、塗布厚さ等によって異なるが、概して0.5秒〜5分程度で照射及び硬化が完結することが好ましく、3秒〜2分がより好ましい。   After the UV curable composition coating liquid is applied and dried, or in a freshly dried state, the UV light source is irradiated to the above energy value to cause a curing reaction. The irradiation time at this time varies depending on the transfer speed of the substrate, the composition of the coating solution, the coating thickness, etc., but it is generally preferable that irradiation and curing be completed in about 0.5 seconds to 5 minutes, and 3 seconds to 2 Minutes are more preferred.

クリアハードコート層や防眩層、又はバックコート層を基材フィルムに塗布する方法としては、グラビアコータ、スピナーコータ、ワイヤーバーコータ、ロールコータ、リバースコータ、押出しコータ、エアードクターコータ等公知の方法を用いることが出来る。塗布の際の液膜厚(ウェット膜厚ともいう)で1〜100μm程度で、0.1〜30μmが好ましく、より好ましくは、0.5〜15μmである。   As a method of applying a clear hard coat layer, an antiglare layer, or a back coat layer to a base film, known methods such as a gravure coater, spinner coater, wire bar coater, roll coater, reverse coater, extrusion coater, air doctor coater, etc. Can be used. The liquid film thickness (also referred to as wet film thickness) at the time of application is about 1 to 100 μm, preferably 0.1 to 30 μm, and more preferably 0.5 to 15 μm.

以下に、本発明の効果を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   Examples The effects of the present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

実施例1
以下に示す方法により反射防止フィルムを作製した。
Example 1
An antireflection film was produced by the method described below.

〔セルロースエステルフィルムの作製〕
下記のように各種添加液、セルロースエステル溶液を調製し混合し、ドープを調製して、溶液流延製膜方法によりセルロースエステルフィルムを作製した。
[Production of cellulose ester film]
Various additive solutions and cellulose ester solutions were prepared and mixed as described below to prepare a dope, and a cellulose ester film was prepared by a solution casting film forming method.

《酸化珪素分散液Aの調製》
アエロジルR972V 1kg
エタノール 9kg
以上をディゾルバで30分間撹拌混合した後、マントンゴーリン型高圧分散装置を用いて分散を行い、酸化珪素分散液Aを調製した。
<< Preparation of silicon oxide dispersion A >>
Aerosil R972V 1kg
Ethanol 9kg
The above was stirred and mixed with a dissolver for 30 minutes, and then dispersed using a Manton Gorin type high-pressure dispersion device to prepare a silicon oxide dispersion A.

《添加液Aの調製》
セルローストリアセテート(アセチル基の置換度2.88) 6kg
メチレンクロライド 140kg
以上を加圧型密閉容器に投入し、加熱、撹拌しながら完全に溶解し、濾過した。これに10kgの上記酸化珪素分散液Aを撹拌しながら加えて、更に30分間撹拌した後、濾過し、添加液Aを調製した。
<< Preparation of Additive Liquid A >>
Cellulose triacetate (acetyl group substitution degree 2.88) 6kg
Methylene chloride 140kg
The above was put into a pressure-type airtight container, completely dissolved with heating and stirring, and filtered. To this, 10 kg of the above silicon oxide dispersion A was added with stirring, and the mixture was further stirred for 30 minutes, followed by filtration to prepare additive liquid A.

《セルロースエステル溶液Aの調製》
メチレンクロライド 440kg
エタノール 35kg
セルローストリアセテート(アセチル基の置換度2.88) 100kg
トリフェニルホスフェート 9kg
エチルフタリルエチルグリコレート 2kg
チヌビン326(チバスペシャルティケミカルズ社製) 0.3kg
チヌビン109(チバスペシャルティケミカルズ社製) 0.5kg
チヌビン171(チバスペシャルティケミカルズ社製) 0.5kg
上記の溶剤を密閉容器に投入し、攪拌しながら残りの素材を投入し、加熱、撹拌しながら完全に溶解し、セルロースエステル溶液Aを得た。流延する温度まで下げて一晩静置し、脱泡操作を施した後、溶液を安積濾紙(株)製の安積濾紙No.244を使用して濾過した。
<< Preparation of Cellulose Ester Solution A >>
440 kg of methylene chloride
Ethanol 35kg
Cellulose triacetate (acetyl group substitution degree 2.88) 100 kg
9 kg of triphenyl phosphate
Ethyl phthalyl ethyl glycolate 2kg
Tinuvin 326 (Ciba Specialty Chemicals) 0.3kg
Tinuvin 109 (Ciba Specialty Chemicals) 0.5kg
Tinuvin 171 (Ciba Specialty Chemicals) 0.5kg
The above-mentioned solvent was put into a closed container, the remaining materials were added while stirring, and completely dissolved while heating and stirring to obtain a cellulose ester solution A. After the temperature was lowered to the casting temperature and allowed to stand overnight, a defoaming operation was performed, and then the solution was added to Azumi filter paper No. 1 manufactured by Azumi Filter Paper Co., Ltd. Filtered using 244.

《ドープAの調製》
このセルロースエステル溶液Aと添加液Aの3kgを混合し、オンラインミキサー(東レ(株)製静止型管内混合機Hi−Mixer、SWJ)で10分間混合し、濾過し、ドープAを調製した。
<< Preparation of Dope A >>
3 kg of this cellulose ester solution A and additive solution A were mixed, mixed for 10 minutes with an on-line mixer (Toray Co., Ltd., static type in-tube mixer Hi-Mixer, SWJ), and filtered to prepare Dope A.

ドープAを濾過した後、精密定量ポンプで流延ダイに35℃のドープAを送り、溶液流延製膜装置の無限移行する無端のステンレススティールベルトの上に均一に流延した。尚、ステンレススティールベルトの温度を35℃とした。ステンレススティールベルトの裏側から39℃の温水で加熱してウェブを乾燥し、更にその後、ステンレススティールベルトの裏面から40℃の熱風を多数のスリットから吹かせて加熱し、更にステンレススティールベルトを15℃に冷却しウェブをステンレススティールベルトから剥離した。ステンレススティールベルトの上のウェブ側には45〜55℃の温風を当てた。剥離時には15℃の風に変えた。ウェブの残留溶媒量は80質量%であった。ステンレススティールベルトから剥離した後、80℃に維持された乾燥ゾーンで1分間乾燥させた後、残留溶媒量3〜10質量%になった時点でウェブの両端を把持し、延伸テンターを用いて、100℃で加熱しながら幅方向に1.15倍に延伸し、両端の把持を解放して、多数のロールで搬送させながら125℃の乾燥ゾーンで乾燥を終了させ、フィルム両端に幅10mm、高さ10μmのナーリング加工を施して、膜厚80μmのセルロースエステルフィルムを作製した。フィルム幅は1300mm、巻き取り長は500m毎にアルミニウム蒸着テープによる繋ぎを入れ3000mとした。   After the dope A was filtered, the dope A at 35 ° C. was sent to the casting die with a precision metering pump, and uniformly cast on an endless stainless steel belt that moved infinitely in the solution casting film forming apparatus. The temperature of the stainless steel belt was 35 ° C. The web is dried by heating with 39 ° C hot water from the back side of the stainless steel belt, and then heated by blowing 40 ° C hot air from many slits from the back side of the stainless steel belt. And the web was peeled from the stainless steel belt. Hot air of 45 to 55 ° C. was applied to the web side on the stainless steel belt. At the time of peeling, the wind was changed to 15 ° C. The residual solvent amount of the web was 80% by mass. After peeling from the stainless steel belt, after drying for 1 minute in a drying zone maintained at 80 ° C., when the residual solvent amount becomes 3 to 10% by mass, the both ends of the web are gripped, using a stretching tenter, While heating at 100 ° C, the film was stretched 1.15 times in the width direction, the gripping at both ends was released, and drying was completed in a 125 ° C drying zone while being transported by many rolls. A 10 μm knurling process was performed to produce a cellulose ester film having a thickness of 80 μm. The film width was 1300 mm, and the take-up length was 3000 m with a joining with an aluminum vapor-deposited tape every 500 m.

〔バックコート層を有するセルロースエステルフィルムの作製〕
上記で作製したセルロースエステルフィルムのA面(ステンレススティールベルトでのウェブ乾燥中のウェブの空気側の面)に、下記で調製したバックコート層塗布組成物Aをウェット膜厚14μmとなるように押出しコータで塗布し、85℃にて乾燥し巻き取り、バックコート層を有するセルロースエステルフィルムを作製した。
[Production of cellulose ester film having a back coat layer]
The back coat layer coating composition A prepared below was extruded to the A side of the cellulose ester film prepared above (the side on the air side of the web during the web drying with a stainless steel belt) so as to have a wet film thickness of 14 μm. It was coated with a coater, dried at 85 ° C. and wound up to produce a cellulose ester film having a back coat layer.

〈バックコート層塗布組成物Aの調製〉
アセトン 30質量部
酢酸エチル 45質量部
イソプロピルアルコール 10質量部
ジアセチルセルロース 0.6質量部
アエロジル200Vの2%アセトン分散液 0.2質量部
〔クリアハードコート層を有するセルロースエステルフィルムの作製〕
上記で作製したバックコート層を有するセルロースエステルフィルムのB面(ステンレススティールベルト上で乾燥中のウェブのベルト側の面)上にワイヤーバーコータを用いて下記のクリアハードコート層組成物Aを液膜厚が13μmとなるように押出しコータで塗布し、次いで80℃に設定された乾燥部で乾燥した後、120mJ/cm2で紫外線照射し、乾燥膜厚で3μmの中心線平均表面粗さ(Ra)13nmのクリアハードコート層を有するセルロースエステルフィルムを作製し、巻き取った。
<Preparation of Backcoat Layer Coating Composition A>
Acetone 30 parts by weight Ethyl acetate 45 parts by weight Isopropyl alcohol 10 parts by weight Diacetylcellulose 0.6 part by weight 2% acetone dispersion of Aerosil 200V 0.2 part by weight [Preparation of cellulose ester film having clear hard coat layer]
Using the wire bar coater on the B side (the belt side surface of the web being dried on the stainless steel belt) of the cellulose ester film having the back coat layer produced above, the following clear hard coat layer composition A is liquid After coating with an extrusion coater to a film thickness of 13 μm, and then drying in a drying section set at 80 ° C., the film was irradiated with ultraviolet rays at 120 mJ / cm 2 and a center line average surface roughness of 3 μm in dry film thickness ( Ra) A cellulose ester film having a 13 nm clear hard coat layer was prepared and wound.

〈クリアハードコート層組成物A〉
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート単量体 60質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート2量体 20質量部
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート3量体以上の成分
20質量部
ジメトキシベンゾフェノン 4質量部
酢酸エチル 45質量部
メチルエチルケトン 45質量部
イソプロピルアルコール 60質量部。
<Clear hard coat layer composition A>
Dipentaerythritol hexaacrylate monomer 60 parts by mass Dipentaerythritol hexaacrylate dimer 20 parts by mass Components of dipentaerythritol hexaacrylate trimer or more
20 parts by mass Dimethoxybenzophenone 4 parts by mass Ethyl acetate 45 parts by mass Methyl ethyl ketone 45 parts by mass Isopropyl alcohol 60 parts by mass

〔反射防止フィルムの作製〕
(反射防止フィルム製造装置の準備)
図2に示す反射防止フィルム製造装置を使用した。
[Preparation of antireflection film]
(Preparation of antireflection film production equipment)
The antireflection film manufacturing apparatus shown in FIG. 2 was used.

(測定手段の準備)
測定手段として、光源としてハロゲンランプを使用し、レンズ径25.4mmの投光部と受光部とを有するセンサー、ディテクターを有する反射率分光スペクトル測定型(大塚電子(株)製CPD7000型)を使用し、各反射防止層との光軸の交わる角度を90°になる様にし、反射防止層の幅方向に3箇所、反射防止フィルム製造装置のフレームに配設した。
(Preparation of measurement means)
As a measuring means, a halogen lamp is used as a light source, a sensor having a light projecting portion and a light receiving portion having a lens diameter of 25.4 mm, and a reflectance spectrum measuring type having a detector (CPD7000 type manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.) are used. Then, the angle at which the optical axes intersect with each antireflection layer was set to 90 °, and the antireflection layer was arranged in three places in the width direction of the antireflection layer on the frame of the antireflection film manufacturing apparatus.

(塗布開始前の測定手段の校正)
図2に示す反射防止フィルム製造装置の第1塗布部〜第3塗布部に設けられた各制御部の測定手段の校正を塗布開始前に図4に示す方式でベースラインの校正を行った。中屈折率層測定用の測定手段の校正は、中屈折率層の反射率に近い基準板として、反射率12%のサファイア板を使用し、ベースライン用の基準板としては反射率が0%になるように設置したミラーに照射し、校正を行った。
(Calibration of measuring means before starting application)
The calibration of the measuring means of each control unit provided in the first coating unit to the third coating unit of the antireflection film manufacturing apparatus shown in FIG. 2 was calibrated by the method shown in FIG. 4 before starting the coating. Calibration of the measuring means for measuring the middle refractive index layer uses a sapphire plate with a reflectance of 12% as a reference plate close to the reflectance of the middle refractive index layer, and a reflectance of 0% as a reference plate for the baseline. The calibration was performed by irradiating the mirror installed so that

高屈折率層測定用の測定手段の校正は、高屈折率層の反射率に近い基準板として、反射率35%のシリコーン蒸着板を使用し、ベースライン用として投光の反射が0になるように設置したミラーに照射し、校正を行った。   The calibration of the measuring means for measuring the high refractive index layer uses a silicon vapor deposition plate with a reflectance of 35% as a reference plate close to the reflectance of the high refractive index layer, and the reflection of the light projection becomes 0 for the baseline. As shown in FIG.

低屈折率層測定用の測定手段の校正は、低屈折率層の反射率に近い基準板として、反射率4%のBK7を使用し、ベースライン用として投光の反射が0になるように設置したミラーに照射し、校正を行った。   The calibration of the measuring means for measuring the low refractive index layer uses BK7 having a reflectance of 4% as a reference plate close to the reflectance of the low refractive index layer so that the reflected light of the base line is zero. Irradiation to the installed mirror was performed for calibration.

(塗布中の測定手段の校正)
図2に示す反射防止フィルム製造装置の第1塗布部〜第3塗布部に設けられた各制御部の測定手段の校正を塗布が行われている途中で表1に示す様に校正条件で図4に示す方式でベースラインの校正を行った。尚、校正に使用した基準板は塗布前の測定手段の校正に使用したものと同じものを使用した。
(Calibration of measuring means during application)
The calibration of the measuring means of each control unit provided in the first coating unit to the third coating unit of the antireflection film manufacturing apparatus shown in FIG. 2 is performed under calibration conditions as shown in Table 1 while coating is being performed. The baseline was calibrated by the method shown in FIG. The reference plate used for calibration was the same as that used for calibration of the measuring means before coating.

Figure 2006258880
Figure 2006258880

(各反射防止層の塗布)
準備した反射防止フィルム製造装置を使用し、作製したバックコート層及びクリアハードコート層を有するセルロースエステルフィルムのクリアハードコート層の上に、クリアハードコート層の上に形成される中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層の反射率を、表1に示す校正条件で校正した測定手段を使用し測定した結果を、各制御部の制御手段にフィードバックし、以下に示す塗布条件で中屈折率層用塗布液、高屈折率層用塗布液、低屈折率層用塗布液の供給量を制御しながら塗布し、クリアハードコート層の上に中屈折率層、高屈折率層、低屈折率層をこの順に有する反射防止フィルムを作製し試料No.101〜105とした。
(Applying each antireflection layer)
Medium refractive index layer formed on the clear hard coat layer on the clear hard coat layer of the cellulose ester film having the prepared back coat layer and clear hard coat layer using the prepared antireflection film production apparatus, The measurement results obtained by measuring the reflectivity of the high refractive index layer and the low refractive index layer using the calibration means calibrated under the calibration conditions shown in Table 1 are fed back to the control means of each control unit. Apply while controlling the supply amount of the coating liquid for the refractive index layer, the coating liquid for the high refractive index layer, and the coating liquid for the low refractive index layer, and the medium refractive index layer, high refractive index layer, low An antireflection film having a refractive index layer in this order was prepared, and sample No. 101-105.

〈中屈折率層〉
上記で得られたクリアハードコート層を有するセルロースエステルフィルムのクリアハードコート層の上に、第1塗布部で押出コータにより、乾燥膜厚が100nmになるように下記中屈折率層組成物を塗布し、第1乾燥部で80℃で乾燥させた後、更に120℃で乾燥し、乾燥終了後冷却部で冷却して、高圧水銀ランプ(80W)の紫外線照射装置を用いて、紫外線を175mJ/cm2で照射し、中屈折率層を形成した。中屈折率層を有するセルロースエステルフィルムを中屈折率層側から準備した測定手段で反射率を測定し、各測定値を制御手段に入力し、予め入力してある設定値との差を演算して、その結果に従ってを中屈折率層用塗布液の押出しコータへの供給量を送液ポンプの回転数を制御することで供給量を制御して塗布量を修正し塗布をた。尚、測定手段による中屈折率層の測定は1秒に1回行った。塗布速度は20m/分で行った。
<Medium refractive index layer>
On the clear hard coat layer of the cellulose ester film having the clear hard coat layer obtained above, the following medium refractive index layer composition is applied by an extrusion coater at the first application part so that the dry film thickness becomes 100 nm. Then, after drying at 80 ° C. in the first drying section, drying is further performed at 120 ° C., cooling is performed in the cooling section after the drying, and ultraviolet rays are 175 mJ / hour using an ultraviolet irradiation device of a high-pressure mercury lamp (80 W). Irradiation at cm 2 formed a medium refractive index layer. Measure the reflectance with a measuring means prepared from the middle refractive index layer side of a cellulose ester film having a middle refractive index layer, input each measured value to the control means, and calculate the difference from the preset setting value. Then, according to the result, the supply amount of the medium refractive index layer coating solution to the extrusion coater was controlled by controlling the number of revolutions of the liquid feed pump, and the coating amount was corrected to perform coating. The measurement of the medium refractive index layer by the measuring means was performed once per second. The coating speed was 20 m / min.

《中屈折率層組成物》
イソプロピルアルコール 510質量部
水 2質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 227質量部
メチルエチルケトン 84質量部
テトラ(n)ブトキシチタン 39質量部
KBM503(γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学(株)製) 6質量部
ダイヤナールBR102(アクリル樹脂、三菱レーヨン(株)製)5%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液 31質量部
KF−96−1000CS(シリコーンオイル、信越化学工業(株)製)
10%メチルエチルケトン溶液 1.5質量部。
<< Medium Refractive Index Layer Composition >>
Isopropyl alcohol 510 parts by weight Water 2 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 227 parts by weight Methyl ethyl ketone 84 parts by weight Tetra (n) butoxytitanium 39 parts by weight KBM503 (γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 6 parts by weight Dianal BR102 (acrylic resin, manufactured by Mitsubishi Rayon Co., Ltd.) 5% propylene glycol monomethyl ether solution 31 parts by mass KF-96-1000CS (silicone oil, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
1.5% by weight of 10% methyl ethyl ketone solution.

〈高屈折率層〉
続いて、セルロースエステルフィルム上に形成された中屈折率層の上に、第2塗布部で押出コータにより、乾燥膜厚が60nmになるように下記高屈折率層組成物を塗布し、第2乾燥部で80℃で乾燥させた後、更に120℃で乾燥し、乾燥終了後冷却して、高圧水銀ランプ(80W)の紫外線照射装置を用いて、紫外線を175mJ/cm2で照射し、高屈折率層を形成した。中屈折率層/高屈折率層を有するセルロースエステルフィルムを高屈折率層側から準備した測定手段で反射率を測定し、各測定値を制御手段に入力し、予め入力してある設定値との差を演算して、その結果に従ってを高屈折率層用塗布液の押出しコータへの供給量を送液ポンプの回転数を制御することで供給量を制御して塗布量を修正し塗布をた。尚、測定手段による高屈折率層の測定は1秒に1回行った。塗布速度は20m/分で行った。
<High refractive index layer>
Subsequently, the following high refractive index layer composition was applied onto the middle refractive index layer formed on the cellulose ester film by an extrusion coater at the second application part so that the dry film thickness was 60 nm. After drying at 80 ° C. in the drying section, further drying at 120 ° C., cooling after completion of drying, irradiating with ultraviolet light at 175 mJ / cm 2 using an ultraviolet irradiation device of a high-pressure mercury lamp (80 W), A refractive index layer was formed. The reflectance is measured with a measurement means prepared from the high refractive index layer side of a cellulose ester film having a medium refractive index layer / high refractive index layer, and each measurement value is input to the control means, and the preset set value and According to the result, the supply amount to the extrusion coater of the coating solution for the high refractive index layer is controlled by controlling the number of revolutions of the liquid feed pump, and the coating amount is corrected to apply the coating. It was. The measurement of the high refractive index layer by the measuring means was performed once per second. The coating speed was 20 m / min.

《高屈折率層組成物》
イソプロピルアルコール 445質量部
水 1.5質量部
プロピレングリコールモノメチルエーテル 223質量部
メチルエチルケトン 73質量部
テトラ(n)ブトキシチタン 545質量部
KBM503 0.8質量部
KF−96−1,000CS10%メチルエチルケトン溶液
1.4質量部。
〈低屈折率層〉
更に続いて、中屈折率層/高屈折率層積層を有するセルロースエステルフィルムの高屈折率層の上に、第3塗布部で押出コータにより、乾燥膜厚が120nmになるように下記低屈折率層組成物を塗布し、第3乾燥部で80℃で乾燥させた後、更に120℃で乾燥し、乾燥終了後冷却して、高圧水銀ランプ(80W)の紫外線照射装置を用いて、紫外線を175mJ/cm2で照射し、低屈折率層を形成した。中屈折率層/高屈折率層/低屈折率層を有するセルロースエステルフィルムの低屈折率層側から準備した測定手段で反射率を測定し、各測定値を制御手段に入力し、予め入力してある設定値との差を演算して、その結果に従ってを高屈折率層用塗布液の押出しコータへの供給量を送液ポンプの回転数を制御することで供給量を制御して塗布量を修正し塗布をた。尚、測定手段による高屈折率層の測定は1秒に1回行った。塗布速度は20m/分で行った。
<< High refractive index layer composition >>
Isopropyl alcohol 445 parts by weight Water 1.5 parts by weight Propylene glycol monomethyl ether 223 parts by weight Methyl ethyl ketone 73 parts by weight Tetra (n) butoxytitanium 545 parts by weight KBM503 0.8 parts by weight KF-96-1000CS 10% methyl ethyl ketone solution
1.4 parts by mass.
<Low refractive index layer>
Subsequently, on the high refractive index layer of the cellulose ester film having the middle refractive index layer / high refractive index layer laminate, the following low refractive index is set so that the dry film thickness becomes 120 nm by an extrusion coater in the third coating part. The layer composition was applied, dried at 80 ° C. in the third drying section, further dried at 120 ° C., cooled after completion of drying, and irradiated with ultraviolet rays using an ultraviolet irradiation device of a high-pressure mercury lamp (80 W). Irradiation was performed at 175 mJ / cm 2 to form a low refractive index layer. The reflectance is measured by the measuring means prepared from the low refractive index layer side of the cellulose ester film having the middle refractive index layer / high refractive index layer / low refractive index layer, and each measured value is input to the control means and input in advance. Calculate the difference from the set value, and control the supply amount by controlling the number of revolutions of the feed pump by controlling the supply amount of the coating liquid for the high refractive index layer to the extrusion coater according to the result. Corrected and applied. The measurement of the high refractive index layer by the measuring means was performed once per second. The coating speed was 20 m / min.

《低屈折率層組成物》
プロピレングリコールモノメチルエーテル 303質量部
イソプロピルアルコール 305質量部
テトラエトキシシラン加水分解物A 139質量部
KBM503 1.6質量部
FZ−2207(日本ユニカー社製)10%プロピレングリコールモノメチルエーテル溶液 1.3質量部。
<< Low refractive index layer composition >>
Propylene glycol monomethyl ether 303 parts by mass Isopropyl alcohol 305 parts by mass Tetraethoxysilane hydrolyzate A 139 parts by mass KBM503 1.6 parts by mass FZ-2207 (Nihon Unicar Company Limited) 10% propylene glycol monomethyl ether solution 1.3 parts by mass.

《テトラエトキシシラン加水分解物Aの調製》
テトラエトキシシラン580gとエタノール1144gを混合し、これにクエン酸水溶液(クエン酸1水和物5.4gを水272gに溶解したもの)を添加した後に、室温(25℃)にて1時間攪拌することでテトラエトキシシラン加水分解物Aを調製した。
<< Preparation of Tetraethoxysilane Hydrolyzate A >>
580 g of tetraethoxysilane and 1144 g of ethanol are mixed, and after adding an aqueous citric acid solution (5.4 g of citric acid monohydrate dissolved in 272 g of water), the mixture is stirred at room temperature (25 ° C.) for 1 hour. Thus, tetraethoxysilane hydrolyzate A was prepared.

(評価)
得られた各試料No.101〜105に付き、膜厚安定性を評価した結果を表2に示す。膜厚安定性は、次の方法で測定し、以下に示す評価ランクに従って評価した。
(Evaluation)
Each obtained sample No. Table 2 shows the results of evaluation of film thickness stability on 101 to 105. Film thickness stability was measured by the following method and evaluated according to the following evaluation rank.

膜厚安定性
塗布開始から10m毎に膜厚測定を実施し、500m毎にばらつき幅(R)と、偏差(D)を算出した。膜厚測定は、大塚電子(株)製 RE3000型を使用した。
Film thickness stability The film thickness was measured every 10 m from the start of application, and the variation width (R) and deviation (D) were calculated every 500 m. For the film thickness measurement, RE3000 type manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd. was used.

評価ランク
◎:ばらつき幅(R)が1nm未満、偏差(D)が0.2nm以下
○:ばらつき幅(R)が1nm以上〜2nm未満、偏差(D)が0.2nm以上〜0.5nm未満
△:ばらつき幅(R)が2nm以上〜5nm未満、偏差(D)が0.5nm以上〜1.0nm未満
×:ばらつき幅(R)が5nm以上〜10nm未満、偏差(D)が1.0nm以上〜3.0nm未満
Evaluation Rank A: Variation width (R) is less than 1 nm, Deviation (D) is 0.2 nm or less ○: Variation width (R) is 1 nm or more to less than 2 nm, Deviation (D) is 0.2 nm or more to less than 0.5 nm Δ: Variation width (R) is 2 nm to less than 5 nm, Deviation (D) is 0.5 nm to less than 1.0 nm X: Variation width (R) is 5 nm to less than 10 nm, Deviation (D) is 1.0 nm Above-less than 3.0nm

Figure 2006258880
Figure 2006258880

試料No.105は500〜1000m迄の膜厚が安定していたが、1000m以降は膜厚が不安定となり製品化は難しいレベルとなった。試料No.101〜104は何れも塗布開始から塗布終了まで膜厚が安定することが確認され、本発明の有効性が確認された。   Sample No. No. 105 had a stable film thickness of 500 to 1000 m, but after 1000 m, the film thickness became unstable and it was difficult to produce a product. Sample No. In any of 101 to 104, it was confirmed that the film thickness was stable from the start of application to the end of application, and the effectiveness of the present invention was confirmed.

反射防止フィルムの一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of an antireflection film. 反射防止フィルムの製造方法の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing method of an antireflection film. 図1に示される反射防止フィルム製造工程を構成している塗布部と制御部との関係を示す概略ブロック図である。It is a schematic block diagram which shows the relationship between the application part which comprises the antireflection film manufacturing process shown by FIG. 1, and a control part. 図2に示す測定手段で、校正時に測定手段が回動し、固定している基準板を測定する方式の模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a method of measuring a reference plate that is fixed by rotating the measurement means during calibration in the measurement means shown in FIG. 2. 図4に示すセンサー部の光学系の概略図である。It is the schematic of the optical system of the sensor part shown in FIG. 図2に示す測定手段で、校正時に測定手段が移動し、回動可能に設置された基準板を測定する方式の模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a method of measuring a reference plate installed so as to be rotatable by the measurement unit shown in FIG. 2 when the calibration unit moves during calibration. 図2に示す測定手段で、校正時に固定された測定手段が、基準板をミラーを介して測定する方式の模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram of a method in which the measuring means shown in FIG. 2 fixed during calibration measures the reference plate through a mirror.

符号の説明Explanation of symbols

1a〜1d 反射防止フィルム
101 透明フィルム基体
102 高屈折率層
103 低屈折率層
104 ハードコート層
105 中屈折率層
2 反射防止フィルム製造装置
3 フィルム基体繰り出し部
4 塗布液供給部
5 塗布部
501 第1塗布部
502 第2塗布部
503 第3塗布部
501a、502a、503a コータ
6 乾燥部
601 第1乾燥部
602 第2乾燥部
603 第3乾燥部
7 制御部
701 第1制御部
701a、702a、703a 測定手段
701a1、701a11〜701a13 センサー部
701a2 光源
701a3 ディテクター
701a5、701a6、701d1、701d2 基準板
701d 基準板取り付け板
701b、702b、703b 制御部
701e ミラー
702 第2制御部
703 第3制御部
8 巻き取り部
9 繋ぎ目検出機
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a-1d Antireflection film 101 Transparent film base | substrate 102 High refractive index layer 103 Low refractive index layer 104 Hard coat layer 105 Medium refractive index layer 2 Antireflection film manufacturing apparatus 3 Film base supply part 4 Coating liquid supply part 5 Coating part 501 1st 1 coating unit 502 second coating unit 503 third coating unit 501a, 502a, 503a coater 6 drying unit 601 first drying unit 602 second drying unit 603 third drying unit 7 control unit 701 first control unit 701a, 702a, 703a Measuring unit 701a1, 701a11 to 701a13 Sensor unit 701a2 Light source 701a3 Detector 701a5, 701a6, 701d1, 701d2 Reference plate 701d Reference plate mounting plate 701b, 702b, 703b Control unit 701e Mirror 702 Second control unit 703 Take-up unit 9 joint detection machine

Claims (12)

連続して移送するフィルム基材上に直接又は他の層を介して、少なくとも1層の反射防止層用塗布液を塗布・乾燥し反射防止層を形成した後、前記反射防止層の膜厚を測定手段により計測し、予め用意した基準値と対比、演算し、その結果を塗布膜厚制御系にフィードバックし、前記反射防止層の塗布条件を制御しながら製造する反射防止フィルムの製造方法において、
前記反射防止層用塗布液の塗布・乾燥開始時の前記反射防止層の膜厚は予め校正がなされた前記測定手段により測定し、
以降、前記反射防止層用塗布液の塗布継続中に工程を止めることなく、前記測定手段の校正(補正)を行い、
校正した前記測定手段により前記反射防止層の膜厚測定を行い、
前記反射防止層用塗布液の塗布・乾燥を連続的に行うことを特徴とする反射防止フィルムの製造方法。
After coating or drying at least one antireflection layer coating solution directly or via another layer on the film substrate that is continuously transferred, the antireflection layer is formed. In the method of manufacturing an antireflection film, which is measured by a measuring means, compared with a reference value prepared in advance, calculated, and the result is fed back to the coating film thickness control system and manufactured while controlling the coating conditions of the antireflection layer.
The film thickness of the antireflection layer at the start of application / drying of the coating solution for the antireflection layer is measured by the measuring means calibrated in advance,
Thereafter, without stopping the process during the application of the coating solution for the antireflection layer, the measurement means is calibrated (corrected),
Measure the film thickness of the antireflection layer by the calibrated measuring means,
A method for producing an antireflection film, wherein the coating liquid for the antireflection layer is continuously applied and dried.
前記測定手段が反射率分光方式測定装置であることを特徴とする請求項1に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to claim 1, wherein the measuring means is a reflectance spectroscopy measurement apparatus. 前記測定手段がフィルム基材の幅方向に測定箇所に応じて配設されていることを特徴とする請求項1又は2記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to claim 1 or 2, wherein the measuring means is arranged in the width direction of the film substrate in accordance with the measurement location. 前記測定手段の校正は、塗布継続中にフィルム基材の繋ぎ目を検出した直後に行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 3, wherein the calibration of the measuring means is performed immediately after the joint of the film base is detected while the coating is continued. 前記測定手段の校正は、塗布継続中に5〜180分の間に少なくとも1回行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for manufacturing an antireflection film according to any one of claims 1 to 3, wherein the calibration of the measuring means is performed at least once during 5 to 180 minutes while the coating is continued. 前記測定手段の校正は、塗布継続中にフィルム基材の繋ぎ目を検出した直後に行い、且つ5〜180分の間に少なくとも1回行うことを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The calibration of the measuring means is performed immediately after detecting the joint of the film base material during continuation of the coating, and is performed at least once in 5 to 180 minutes. The manufacturing method of the antireflection film as described in claim | item. 前記測定手段の校正は、ベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板を固定し、該測定手段を駆動させてベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 7. The calibration of the measurement means includes fixing a baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate, and driving the measurement means to set a baseline. The manufacturing method of the antireflection film of any one of these. 前記測定手段の校正は、該測定手段を固定し、ベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板を移動させてベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 7. The calibration of the measurement means includes setting the baseline by fixing the measurement means and moving the baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate. The manufacturing method of the antireflection film of any one of these. 前記測定手段の校正は、ミラーを介してベースライン用基準板と少なくとも1枚の反射防止層用基準板に光を照射し、該ベースライン用基準板と該反射防止層用基準板から反射する光を該ミラーを介して読みとり、ベースラインの設定を行うことを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The calibration of the measuring means is performed by irradiating light to the baseline reference plate and at least one antireflection layer reference plate via a mirror, and reflecting from the baseline reference plate and the antireflection layer reference plate. The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 6, wherein light is read through the mirror and a baseline is set. 前記膜厚測定は反射防止層の幅方向で少なくとも3箇所行うことを特徴とする請求項1〜9の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 9, wherein the film thickness measurement is performed at least at three places in the width direction of the antireflection layer. 前記測定手段が反射防止層の幅手方向に移動する架台上に設置されていることを特徴とする請求項1〜10の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法。 The method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 10, wherein the measuring means is installed on a frame that moves in the width direction of the antireflection layer. 請求項1〜11の何れか1項に記載の反射防止フィルムの製造方法で製造されたことを特徴とする反射防止フィルム。 An antireflection film produced by the method for producing an antireflection film according to any one of claims 1 to 11.
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