JP2005064431A - 基板搬送装置及び基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 小さな設置スペースで基板を搬入出及び搬送すること。
【解決手段】 上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板Ａを水平に載置する基板支持部２と、側部に設けられ基板Ａを水平方向に搬入出させる搬入出口３とを有する収納容器１０と、基板Ａを処理する基板処理装置との間で基板Ａを搬送する基板搬送装置１であって、収納容器１０に対して基板Ａを搬入出する移載機構４０と、搬入出口３との相対位置を調整する昇降機構４９とを備える基板載置台４１と、基板Ａを載置して移動可能なアーム４２、４３を備え、該アーム４２、４３により基板載置台４１と基板処理装置との間で該基板Ａを受け渡す受渡機構４４と、該受渡機構４４及び基板載置台４１を搭載し、収納容器１０と基板処理装置との間に設けられた移動レール４５上を移動可能な移動台４６とを備えている基板搬送装置１を提供する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、半導体基板、液晶基板等の板状の基板を収納容器から処理装置等に搬送する
基板搬送装置及び基板搬送方法に関する。

従来、半導体等の基板の製造工程において、該基板は、収納容器内に収納された状態から基板搬入出装置により収納容器から搬出されると共に基板搬送装置に受け渡され、該基板搬送装置により基板処理装置に搬送されて所定処理がなされている。また、所定処理が終了した基板は、基板処理装置から再度基板搬送装置により搬送されて基板搬入出装置に受け渡され、該基板搬入出装置により収納容器内に搬入されている。このような基板を製造する各装置は、様々なものが知られているが、通常、基板を塵埃等の影響を受けないようにクリーンルーム内に設けられている。また、例えば、複数の収納容器と基板処理装置との間で、効率的に基板を搬送できるように、収納容器と基板処理装置との間に設けられた移動レール上を移動可能な基板搬送装置等も知られている。

また、上述した基板搬送装置等の基板を搬送する装置として、搬入ハンドと搬出ハンドで基板を搬入位置から搬出位置に移送することができる基板移載装置（例えば、特許文献１参照）や、搬送された基板を効率良く正確に位置決めして所定位置に載置することができるクリーンルーム用移載装置（例えば、特許文献２参照）等も知られている。
特開平１１−２２７９４３号公報（段落番号００１３−００３０、第１−４図） 特開平７−１０２６７号公報（段落番号００１０−００３０、第１−６図）

ところで、上述した基板搬送装置では、収納容器内に収納されている基板を搬送する際、基板を収納容器に対して搬入出させる基板搬入出装置との間で、該基板の受け渡しを行なう必要があるので、収納容器と基板搬送装置との間に基板搬入出装置を設置するための設置スペースが必要であった。そのため、各装置を収容するクリーンルームが大型化するといった不都合があった。特に、移動レール上を移動する基板搬送装置においては、複数の収納容器に対して基板搬入出装置が配されているので、基板搬入出装置が占有する設置スペースが多く、クリーンルーム等の大型化が顕著なものであった。

この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、その目的は、小さな設置スペースで基板を搬入出及び搬送することができる基板搬送装置及び基板搬送方法を提供することである。

上記の目的を達成するために、この発明は以下の手段を提供している。
請求項１に係る発明は、上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に載置する複数の基板支持部と、側部に設けられ前記基板を水平方向に搬入出させる搬入出口とを有する収納容器と、前記基板を処理する基板処理装置との間で前記基板を搬送する基板搬送装置であって、前記収納容器に対して前記基板を搬入出する移載機構と、前記搬入出口との相対位置を調整する昇降機構とを備える基板載置台と、前記基板を載置して移動可能なアームを備え、該アームにより前記基板載置台と前記基板処理装置との間で該基板を受け渡す受渡機構と、該受渡機構及び前記基板載置台を搭載し、前記収納容器と前記基板処理装置との間に設けられた移動レール上を移動可能な移動台とを備えている基板搬送装置を提供する。

この発明に係る基板搬送装置においては、昇降機構により搬入出口との相対位置を調整後、該搬入出口を介して移載機構により収納容器内から基板載置台に基板の搬入出が行なえる。該基板載置台に載置された基板は、移動台を介して移動レール上を移動して基板処理装置に搬送される。そして、受渡機構のアームによって基板載置台から基板処理装置に受け渡されて所定処理される。また、上述した逆の動作を行なうことで、基板を基板処理装置から搬送すると共に、収納容器への搬入が行なえる。

上述した際、移動台には、収納容器から基板を搬入出する基板載置台と、基板を基板処理装置に受け渡す受渡機構とが搭載されているので、多機能的に使用することができ、従来の基板搬入出装置等の搬入出を専用に行なう装置を別個に設ける必要がない。従って、余分な設置スペースが不要となり小さなスペースを有効に利用して、基板の搬入出及び搬送を行なうことができる。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記移載機構が、前記搬入出方向に直交する方向に沿って延びる回転軸回りに回転可能に支持された駆動ローラである基板搬送装置を提供する。
この発明に係る基板搬送装置においては、収納容器から基板を基板載置台に搬入出させる際、駆動ローラを回転させると、基板が駆動ローラの上面を搬入出方向に向けて移動する。つまり、基板の下面とローラの上面との間に摩擦力が働いて基板が移動する。従って、より確実且つ円滑に基板の搬入出を行なうことができる。

請求項３に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記移載機構が、前記搬入出方向に向けて回転可能な無端ベルトを有する駆動コンベアである基板搬送装置を提供する。
この発明に係る基板搬送装置においては、収納容器から基板を基板載置台に搬入出させる際、無端ベルトを回転させると、基板が無端ベルトの上に載置された状態で搬入出方向に向けて移動する。この際、基板は、全面が無端ベルトに載置されているので確実且つ安定状態で基板の搬入出を行なうことができる。

請求項４に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記移載機構が、前記基板を前記搬入出方向に移動自在に支持する支持部材と、該基板を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有する基板搬送装置を提供する。
この発明に係る基板搬送装置においては、収納容器から基板を基板載置台に搬入出させる際、移動部材により基板の端部等を把持した状態で搬入出方向に移動させることで、基板の搬入出が行なえる。このように、移動部材の移動だけで、基板の搬入出を容易に行なうことができ、構成の容易化を図ることができる。また、移動部材の移動速度に応じて基板の搬入出速度を調整できるので、迅速な基板の搬入出が行なえる。また、このことからも構成の容易化を図ることができる。また、基板の搬入出の際、基板は支持部材によって移動可能に支持されているので、搬入出の安定化、円滑化を図ることができる。

請求項５に係る発明は、請求項１に記載の基板搬送装置において、前記移載機構が、前記基板を浮上させる浮上機構と、該浮上機構により浮上した基板を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有する基板搬送装置を提供する。
この発明に係る基板搬送装置においては、収納容器から基板を基板載置台に搬入出させる際、浮上機構によって基板を浮上させ、移動部材により該基板の端部等を把持して搬入出方向に移動させることで、基板の搬入出が行なえる。このように、基板を浮上させた状態で移動させるので、基板載置台の上面等との接触を防止でき、基板に与える衝撃等の負荷を低減することができる。また、基板へのゴミ等の付着を防止することができる。

請求項６に係る発明は、上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に収納する収納容器と、該基板を処理する基板処理装置との間で前記基板を搬送する基板搬送方法であって、前記収納容器と、該収納容器の外部で前記搬入出口に隣接配置された基板載置台との間で前記基板を搬入出する搬入出工程と、前記基板載置台と、前記基板を載置すると共に移動可能なアームを有する受渡機構との間で基板を移替える移替工程と、前記基板を前記収納容器と前記基板処理装置との間で移動させる移動工程と、前記基板を前記受渡機構と前記基板処理装置との間で受け渡す受渡工程とを有する基板搬送方法を提供する。

この発明に係る基板搬送方法においては、搬入出工程により、収納容器から基板載置台に基板の搬出が行なえる。基板載置台に搬出された基板は、移替工程によりアームによって受渡機構に移し替えられ、移動工程により基板処理装置に移送される。そして、受渡工程により、受渡機構から基板処理装置に受け渡される。また、上述した逆の動作を行なうことで、基板処理装置から基板を受取ると共に、収納容器内への収納が行なえる。
このように、収納容器への基板の搬入出、受渡機構への受け渡し、収納容器と基板処理装置との間での基板の移動、基板処理装置への基板の受け渡しを多機能的に行なうことができる。従って、小スペースを有効に利用して、基板の搬入出及び搬送を効率良く行なうことができる。

請求項７に係る発明は、請求項６に記載の基板搬送装置において、前記移替工程と前記移動工程とが、同時に行なわれる基板搬送方法を提供する。
この発明に係る基板搬送方法においては、基板載置台と基板受渡機構との間で基板の受け渡しを行なう間に、収納容器と基板処理装置との間の移動を行なうので、より効率的に搬送ができ、搬送時間の短縮を図ることができる。

請求項８に係る発明は、請求項７に記載の基板搬送装置において、前記搬入出工程の際、前記基板載置台を前記搬入出口に対して相対的に昇降させ、複数の前記基板を搬入出する基板搬送方法を提供する。
この発明に係る基板搬送方法においては、搬入出工程の際、基板支持台を搬入出口に対して相対的に昇降させて、複数の基板の搬入出を行なえる。従って、基板を更に効率良く搬送することができ、更なる時間の短縮を図ることができる。

この発明に係る基板搬送装置及び基板搬送方法によれば、移動台に、収納容器から基板を搬入出する基板載置台と、該基板を基板処理装置に受け渡す受渡機構とが搭載されているので、搬入出工程、移替工程、移動工程及び受渡工程という複数の工程を多機能的に行なうことができる。従って、従来の基板搬入出装置等の搬入出を専用に行なう装置を別個に設ける必要がないので、余分な設置スペースが不要となり、小さなスペースを有効に利用して基板の搬入出及び搬送を行なうことができる。

以下、本発明に係る基板搬送装置の第１実施形態について、図１から図１４を参照して説明する。
本実施形態の基板搬送装置１は、図１に示すように、上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ薄板状の基板Ａを水平に載置する複数の基板支持部２と、側部に設けられ基板Ａを水平方向に搬入出させる搬入出口３と、下部に設けられた下部開口４とを有するワイヤケージ（収納容器）１０と、基板Ａを処理する基板処理装置２０との間で基板Ａを搬送するものである。

上記ワイヤケージ１０は、図２から図５に示すように、アルミ等の金属のフレーム５で箱状に形成されており、上記搬入出口３以外の側部には、縦フレーム５ａが設けられ、上面及び下面には、搬入出口３の面に直交する方向に向けて配されたフレーム５ｂと、該フレーム５ｂに直交する方向に配された２本のフレーム５ｃとが設けられている。このフレーム５ｂとフレーム５ｃとに囲まれた開口が、上記下部開口４を構成している。即ち、本実施形態においては、６箇所の下部開口４が設けられている。
また、対向する縦フレーム５ａ間には、上記基板支持部２が設けられている。これにより、基板Ａが基板支持部２上で水平に載置できるようになっている。なお、基板支持部２は、例えば、径の細いワイヤ等の索状体であり、基板Ａを高さ方向に密接して収納できるようになっている。

上記ワイヤケージ１０は、図２に示すように、昇降機構３０に保持されると共に、保持された状態で昇降されるようになっている。また、ワイヤケージ１０の下方には、昇降機構３０によって下降させられたときに、下部開口４からワイヤケージ１０内に挿入されて最下位の基板Ａを押し上げ、ワイヤケージ１０内において基板支持部２から基板Ａを乖離させる基板支持台３５が設けられている。
上記昇降機構３０は、ワイヤケージ１０の図示しない係止部に嵌合することにより、該ワイヤケージ１０を保持できるようになっている。また、図示しない制御部に制御されてワイヤケージ１０を昇降するようになっている。

上記基板支持台３５は、基礎台３６上に前後左右方向に所定間隔をあけた状態で隣接配置されている。つまり、基板支持台３５は、上記各下部開口４からワイヤケージ１０内に挿入されるように６つに分かれており、上記所定間隔は、上記フレーム５ｂ、５ｃに干渉しない間隔とされている。
また、基板支持台３５の上部には、基板Ａの搬入出方向に該基板Ａを移動自在に支持する駆動ローラ３７が設けられている。該駆動ローラ３７は、基板Ａの搬入出方向に直交する方向に沿って延びる回転軸Ｂ回りに回転自在に支持されており、図示しないモータによって駆動されるようになっている。

また、本実施形態の基板搬送装置１は、基板支持台３５に隣接配置された状態でワイヤケージ１０に対して基板Ａを搬入出する駆動ローラ（移載機構）４０と搬入出口３との相対位置を調整する昇降部（昇降機構）４９とを備える基板載置台４１と、基板Ａを載置して移動可能な第１のアーム（アーム）４２、第２のアーム（アーム）４３を備え、該両アーム４２、４３により上記基板載置台４１と基板処理装置２０との間で基板Ａを受け渡す受渡機構４４と、該受渡機構４４及び基板載置台４１を搭載し、基板支持台３５と基板処置装置２０との間に設けられた移動レール４５上を移動可能な移動台４６とを備えている。

上記移動レール４５は、一対の移動レール４５であり、該一対の移動レール４５上に板状の上記移動台４６が載置され、モータ４７によって移動レール４５に沿って移動するようになっている。また、移動台４６上には、基礎台４８が設けられている。また、該基礎台４８の上部には、該基礎台４８に対して昇降可能な上記昇降部４９が設けられている。また、昇降部４９の上部には、鉛直軸に対して３６０°回転可能な回転部５０が設けられ、該回転部５０上に上記基板載置台４１及び上記受渡機構４４が取り付けられている。即ち、基板載置台４１及び受渡機構４４は、共に昇降部４９によって昇降すると共に、回転部５０によって３６０°回転可能とされている。

上記基板載置台４１は、図２、図６及び図７に示すように、下部載置台５５及び上部載置台５６を有している。下部載置台５５は、一端側の両角が斜めにカットされた先端部５５ａを有する板状に形成されており、上記回転部５０上に取り付けられている。また、上部載置台５６も、先端部５６ａを有し下部載置台５５と同一外形となるように形成されおり、四隅に取り付けられた上下スライダ５７を介して下部載置台５５と連結されている。これにより、上部載置台５６は、下部載置台５５に対して昇降可能とされている。更に、上部載置台５６の中央には、先端部５６ａから該先端部５６ａに対向する側に向けて長方形状の開口部５８が形成されている。
また、この開口部５８の中央には、中央載置台５６ｂが図示しない昇降機構を介して下部載置台５５上に配設されている。なお、中央載置台５６ｂは、上部載置台５６と同一高さとなるよう設定されており、上部載置台５６と同期して昇降するようになっている。

また、上部載置台５６及び中央載置台５６ｂには、該開口部５８の長手方向に沿って上記駆動ローラ４０が所定間隔をあけて設けられている。該駆動ローラ４０は、搬入出方向（開口部５８の長手方向）に直交する方向に沿って延びる回転軸Ｂ回りに回転可能に支持されており、図示しないモータにより回転駆動されるようになっている。
また、下部載置台５５には、中央載置台５６ｂを挟んで、多関節アームである上記第１のアーム４２の一端が回転自在に取り付けられている。また、該第１のアーム４２の他端には、開口部５８の幅より若干長さの短い第１の接続部材６０が連結され、該第１の接続部材には第１の棒状部材６１の一端が取り付けられている。この第１の棒状部材６１は、長さが開口部５８の長手方向の長さと略同一であり、開口部５８の長手方向に直交する方向に所定間隔をあけて上記第１の接続部材６０に取り付けられている。つまり、上記第１の接続部材６０及び第１の棒状部材６１は、第１のアーム４２によって開口部５８内を該開口部５８の長手方向、即ち、搬入出方向に移動できるようになっている。

更に、下部載置台５５には、多関節アームである上記第２のアーム４３の一端が回転自在に取り付けられ、該第２のアーム４３の他端に、上記と同様に第２の接続部材６２及び第２の棒状部材６３が取り付けられている。また、この際、第２の棒状部材６３が、第１の棒状部材６１の真上に位置するようになっている。
上述したように、上部載置台５６及び中央載置台５６ｂを上下スライダ５７により上下方向に移動させることで、駆動ローラ４０を有する上部載置台５６及び中央載置台５６ｂの上面が、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３に対して昇降するようになっている。また、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３は、第１のアーム４２及び第２のアーム４３によって搬出方向に移動できるようになっている。

即ち、上記第１のアーム４２、第１の接続部材６０、第１の棒状部材６１、第２のアーム４３、第２の接続部材６２及び第２の棒状部材６３は、上記受渡機構４４を構成している。
なお、本実施形態においては、図８に示すように、初期設定として第１の棒状部材６１と第２の棒状部材６３との間に挟まれて上部載置台５６が位置するように設定されている。また、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３が移動する際、中央載置台５６ｂは、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３に干渉しないように昇降するようになっている。

このように構成された基板搬送装置１により、基板Ａをワイヤケージ１０から基板処理装置２０に搬送する場合について以下に説明する。
まず、図２に示すように、昇降機構３０によりワイヤケージ１０を保持する。この際、ワイヤケージ１０内には、複数の基板Ａが高さ方向に間隔をあけて水平に収納されている。即ち、基板Ａは、ワイヤケージ１０内の基板支持部２上に載置されている。ワイヤケージ１０を保持した後、制御部により昇降機構３０を作動させてワイヤケージ１０を下降させる。つまり、基板支持台３５に向けて下降させる。この際、基板支持台３５は、ワイヤケージ１０の底面に配されているフレーム５ｂ、５ｃに干渉しないように配置されているので、基板支持台３５がワイヤケージ１０の各下部開口４より該ワイヤケージ１０内に挿入される。

基板支持台３５が、ワイヤケージ１０内に挿入されると、基板支持台３５の上面に配された各駆動ローラ３７が、相対的に上昇することになる。そして、ワイヤケージ１０を更に下降させると、駆動ローラ３７の上部が、ワイヤケージ１０の最下位に位置している基板Ａの下面に当接して基板Ａを持ち上げ、基板支持部２から乖離させる。基板Ａが乖離されると、制御部が昇降機構３０を制御して下降を一旦停止させる。つまり、図８に示すように、駆動ローラ３７上に基板Ａが載置されている状態となっている。

また、上述したように基板Ａを乖離させる間に、図１に示すように、モータ４７により移動台４６を移動させて基板支持台３５に隣接させると共に、先端部５５ａ、５６ａが搬入出口３に対向するように回転部５０により位置決めしておく。
そして、基板Ａの乖離がされた後、図９に示すように、上下スライダ５７により上部載置台５６及び中央載置台５６ｂを上昇させ、駆動ローラ４０の上部が第２の棒状部材６３の上部より突出するように位置させる。そして、基板載置台３５の駆動ローラ３７及び上部載置台５６、中央載置台５６ｂの駆動ローラ４０をワイヤケージ１０内から外部に向かう方向（搬入出方向）に回転させる。この際、両駆動ローラ３７、４０は、同一方向且つ同一速度となるように回転駆動されている。これにより、基板Ａは、両駆動ローラ３７、４０との接触部分における摩擦力により両駆動ローラ３７、４０の回転方向に移動する。即ち、基板Ａは、ワイヤケージ１０内から搬入出口３を通って搬入出方向に移動し、上部載置台５６及び中央載置台５６ｂの駆動ローラ４０上に載置される。

上記搬入出工程により、基板Ａが上部載置台５６及び中央載置台５６ｂに載置されると、該上部載置台５６及び中央載置台５６ｂは、上下スライダ５７により元の位置に下降する。上部載置台５６及び中央載置台５６ｂが下降すると、相対的に開口部５８から第２の棒状部材６３が上昇することになるので、図１０に示すように、第２の棒状部材６３の上面に基板Ａが移し替えられる。また、この際、制御部は、昇降機構３０を作動させてワイヤケージ１０を再度下降させる。これにより、次の基板Ａが基板支持台３５に載置される。

第２の棒状部材６３上に基板Ａが載置されると、昇降部４９が上昇して第２の棒状部材６３、第１の棒状部材６１及び上部載置台５６等の全体を上昇させる。そして、図１１に示すように、基板支持台３５の駆動ローラ３７の上面と、上部載置台５６及び中央載置台５６ｂの駆動ローラ４０の上面の高さが同一になった時点で昇降部４９による上昇を停止させ、両駆動ローラ３７、４０を回転させて、次の基板Ａを搬出する。即ち、上部載置台５６及び中央載置台５６ｂ上に載置させる。
このように、搬入出工程の際、昇降部４９により基板載置台４１を搬入出口３に対して相対的に昇降させることによって、複数の基板Ａを搬出することが可能である。

また、次の基板Ａが上部載置台５６及び中央載置台５６ｂに載置されると、該上部載置台５６及び中央載置台５６ｂは、上下スライダ５７により初期位置よりさらに下降する。上部載置台５６及び中央載置台５６ｂが下降すると、相対的に開口部５８から第１の棒状部材６１が上昇することになるので、図１２に示すように、第１の棒状部材６１の上面に基板Ａが移し替えられる。

上記移替工程により、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３上に基板Ａを載置した後、モータ４７を作動させて移動台４６を移動レール４５に沿って基板処理装置２０まで移動させる。この移動工程後、回転部５０を１８０°回転させて先端部５５ａ、５６ａを基板処理装置２０に向けて受渡工程を行なう。即ち、図２、図６及び図７に示す第２のアーム４３を動かして第２の接続部材６２を開口部５３の長手方向沿って押し出す。これにより、図１３に示すように、第２の棒状部材６３が前方に押し出されるので、第２の棒状部材６３上に載置されている基板Ａが基板処理装置２０内に差し出される。差し出された基板Ａは、基板処理装置２０の内の例えば、昇降ピンにより受け取られて所定処理される。
また、第２の棒状部材６３を元の位置に戻した後、昇降部４９により全体を上昇させると共に、第１のアーム４２により第１の接続部材６０を押し出すことで、図１４に示すように、第１の接続部材６０上に載置された基板Ａも基板処理装置２０に差し出すことができる。

更に、基板処理装置２０で所定処理された基板Ａは、上述した受渡時とは逆の動作により、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３上に載置されると共に上部載置台５６及び中央載置台５６ｂ上に順に載せかえられ、所定処理終了後の基板Ａを収納する図示しない収納容器内に収納される。

なお、本実施形態において、基板搬送装置１は、ワイヤケージ１０から基板Ａを搬出させたが、ワイヤケージ１０を基板処理装置２０により所定処理された基板Ａを収納する容器として使用し、所定処理終了後の基板Ａをワイヤケージ１０内に搬入させるようにしても構わない。この場合には、搬出の逆の動作を行なうことで、基板Ａの搬入が行なえる。
また、ワイヤケージ１０から基板Ａを基板処置装置２０に搬送する際、２枚の基板Ａを搬出すると共に、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３上に載せかえて基板処置装置２０に受け渡したが、これに限られるものではない。例えば、第１の棒状部材６１を基板処置装置２０に基板Ａを渡すための受渡専用として使用し、第２の棒状部材６３を基板処置装置２０から所定処理終了後の基板Ａを受取るための受取専用として使用しても構わない。このように、受渡機構４４は、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３を適時目的に合わせて使用すれば良い。

上述したように、この基板搬送装置１及び基板搬送方法によれば、基板支持台３５の駆動ローラ３７及び上部載置台５６、中央載置台５６ｂの駆動ローラ４０により、基板Ａをワイヤケージ１０から上部載置台５６に搬出することができる。また、上記搬入出工程後、第１のアーム４２に接続された第１の棒状部材６１及び第２のアーム４３に接続された第２の棒状部材６３による移替工程によって、両棒状部材６１、６３上に載置されると共に、移動工程によって基板処理装置２０まで搬送され、その後、受渡工程により基板処理装置２０に受け渡される。
このように、移動台４６上に基板Ａを搬出する基板載置台４１と、基板Ａを基板処理装置２０に受け渡す受渡機構４４とが搭載されているので、多機能的に使用することができ、従来の基板搬入出装置等の搬入出を専用に行なう装置を別個に設ける必要がない。従って、余分な設置スペースが不要となり小さなスペースを有効に利用して、基板Ａの搬入出及び搬送を行なうことができる。

また、昇降部４９により基板載置台４１を搬入出口３に対して相対的に昇降させて複数の基板Ａを搬出できるので、効率性が向上し、時間の短縮を図ることができる。
また、ワイヤケージ１０から基板Ａを基板載置台４１に搬出させる際、駆動ローラ４０を利用しているので、確実且つ円滑に基板Ａの搬出を行なうことができる。更に、本実施形態の基板搬送装置１によれば、ワイヤケージ１０内から基板Ａが１枚毎駆動ローラ４０により円滑に搬出できるので、基板Ａが薄板状であってワイヤケージ１０内に密接して収納されていたとしても、確実に搬出することができる。
なお、上述したように、本実施形態では、基板Ａをワイヤケージ１０から搬出した場合について説明したが、基板Ａを搬入させる場合でも上記効果は同様である。

次に、本発明に係る基板搬送装置の第２実施形態について、図１５及び図１６を参照して説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。
第２実施形態と第１実施形態との異なる点は、第１実施形態では、基板載置台４１に受渡機構４４が設けられて一体構造となっていたのに対し、第２実施形態の基板搬送装置７０では、移動台４６上に基板載置台７１及び受渡機構７２が隣接するように配設されている点である。

即ち、上記基板載置台７１は、図１５に示すように、第１実施形態の基板載置台４１から受渡機構４４を取り外した構成とされている。また、移動台４６上には、上記基板載置台７１の基礎台４８に隣接して、該基礎台４８と同様の大きさの基礎台７３が設けられている。また、基礎台７３の上部には、基板載置台７１と同様に、基礎台７３に対して昇降可能な昇降部（昇降機構）７４が設けられ、該昇降部７４部の上部には鉛直軸に対して３６０°回転可能な回転部７５が設けられ、該回転部７５の上部に上記受渡機構７２が取り付けられている。即ち、第１のアーム４２及び第２のアーム４３の一端が回転可能に取り付けられている。これにより、両アーム４２、４３は、共に昇降部７４によって昇降すると共に、回転部７５によって回転可能とされている。

このように構成された基板搬送装置７０により基板Ａを基板処置装置２０に搬送する場合について説明する。昇降機構３０によるワイヤケージ１０の下降によって基板支持台３５の駆動ローラ３７上に基板Ａを載置した後、両駆動ローラを同方向、同一速度で回転させ、ワイヤケージ１０内から上部載置台５６及び中央載置台５６ｂの駆動ローラ４０上に基板Ａを搬出する。この搬入出工程後、図１６に示すように、モータ４７により移動台４６を移動させると共に、両回転部７４及び５０により上部載置台５６の先端部５６ａと、第１の棒状部材６１及び第２の棒状部材６３の先端とが対向するようにそれぞれ９０°回転させる。回転後、第２のアーム４３により第２の棒状部材６３を前方に突出させて、開口部５８に挿入する。挿入後、昇降部７４を上昇させて基板Ａを下方から持ち上げて第２の棒状部材６３上に載置して移し替える。この移替工程後、移動工程により移動台４６を基板処理装置２０に移動させ、その後、回転部７５、昇降部７４、第２のアーム４３を総合的に動作させての受渡工程により、基板Ａを基板処理装置２０内に受け渡すことができる。

なお、上述した基板Ａの受け渡しに限られるものではなく、例えば、上部載置台５６から第１の棒状部材６１上に基板Ａを載置して、基板処理装置２０に受け渡しても構わない。また、基板処置装置２０から基板Ａを受取る際、第１の棒状部材６１、第２の棒状部材６３のどちらで受取っても構わない。

なお、本発明の技術範囲は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、基板支持台及び基板載置台の両駆動ローラによって基板を搬出させたが、これに限られず、基板を搬入出させる移載機構であれば構わない。例えば、搬入出方向に向けて回転可能な無端ベルトを有する駆動コンベアを利用して基板を搬入出させても良い。この場合には、基板の全面が面接触して無端ベルト上に載置された状態で搬入出されるので、確実且つ安定状態で基板の搬入出を行なうことができる。

また、図１７に示すように、基板を搬入出方向に移動自在に支持するローラ（支持部材）と、基板の端部を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有する移載機構でも構わない。この場合においては、移動部材の移動だけで、基板の搬入出を行なうことができ、構成の容易化を図ることができる。また、移動部材の移動速度に応じて基板の搬入出速度を調整できるので、迅速な基板の搬入出が行なうことができる。また、基板はローラによって移動可能に支持されているので、搬入出の安定化、円滑化を図ることができる。

更に、図１８に示すように、基板の下面に空気を吐出させることにより、基板を浮上させる浮上機構と、該浮上機構により浮上した基板の端部を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有する移載機構でも構わない。
この場合においては、基板を浮上させた状態で移動部材により搬入出が行なえるので、基板載置台の上面等との接触を防止でき、基板に与える衝撃等の負荷を低減することができる。また、基板へのゴミ等の付着を防止することができる。
従って、基板の品質をより向上させることができる。

また、上記各実施形態において、移替工程後に移動工程を行なったが、これに限られず、移替工程と移動工程とを同時に行なっても構わない。この場合には、より効率的に基板Ａの搬送が行なえ、搬送時間の短縮を行なうことができる。

本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置を利用して基板を製造するための装置全体を示した斜視図である。 図１に示す基板搬送装置の斜視図である。 図２に示すワイヤケージの正面図である。 図２に示すワイヤケージの側面図である。 図２に示すワイヤケージの上面図である。 図２に示す基板搬送装置の構成品である基板載置台の上面図である。 図２に示す基板搬送装置の構成品である基板載置台の後面図である。 基板支持台から基板載置台に基板を搬出して基板処理装置に受け渡す説明をするための図であって、基板支持台上に基板が載置され、該基板支持台に基板載置台が隣接配置されている状態を示す側面である、 図８の状態から、上部載置台を第２の棒状部材の上方に移動させると共に、該上部載置台に基板を搬出した状態を示す側面図である。 図９の状態から、上部載置台を下降させて第２の棒状部材上に基板を載せかえた状態を示す側面図である。 図１０の状態から、基板載置台全体を上昇させて、基板支持台の高さと上部載置台の高さを同一にすると共に、該上部載置台に基板を搬出した状態を示す側面図である。 図１１の状態から、上部載置台を下降させて第１の棒状部材上に基板を載せかえた状態を示す側面図である。 図１２の状態から、基板載置台を基板処理装置まで移動させた後に、第２の棒状部材を前方に押し出して基板処置装置に基板を受け渡した状態を示す側面図である。 図１３の状態から、第１の棒状部材を前方に押し出して基板処置装置に基板を受け渡した状態を示す側面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置を利用して基板を製造するための装置全体を示した斜視図である。 図１５に示す基板搬送装置において、受渡機構により基板支持台から基板を受取る状態を示す斜視図である。 移載機構の別の例を示す側面図である。 移載機構の更に別の例を示す側面図である。

符号の説明

Ａ 基板
Ｂ 回転軸
１、７０ 基板搬送装置
２ 基板支持部
３ 搬入出口
１０ ワイヤケージ（収納容器）
２０ 基板処置装置
４０ 駆動ローラ（移載機構）
４１ 基板載置台
４２ 第１のアーム（アーム）
４３ 第２のアーム（アーム）
４４、７２ 受渡機構
４５ 移動レール
４６ 移動台

Claims (8)

1. 上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に載置する複数の基板支持部と、側部に設けられ前記基板を水平方向に搬入出させる搬入出口とを有する収納容器と、前記基板を処理する基板処理装置との間で前記基板を搬送する基板搬送装置であって、
   前記収納容器に対して前記基板を搬入出する移載機構と、前記搬入出口との相対位置を調整する昇降機構とを備える基板載置台と、
   前記基板を載置して移動可能なアームを備え、該アームにより前記基板載置台と前記基板処理装置との間で該基板を受け渡す受渡機構と、
   該受渡機構及び前記基板載置台を搭載し、前記収納容器と前記基板処理装置との間に設けられた移動レール上を移動可能な移動台とを備えていることを特徴とする基板搬送装置。
2. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記移載機構が、前記搬入出方向に直交する方向に沿って延びる回転軸回りに回転可能に支持された駆動ローラであることを特徴とする基板搬送装置。
3. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記移載機構が、前記搬入出方向に向けて回転可能な無端ベルトを有する駆動コンベアであることを特徴とする基板搬送装置。
4. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記移載機構が、前記基板を前記搬入出方向に移動自在に支持する支持部材と、該基板を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有することを特徴とする基板搬送装置。
5. 請求項１に記載の基板搬送装置において、
   前記移載機構が、前記基板を浮上させる浮上機構と、該浮上機構により浮上した基板を把持すると共に搬入出方向に移動可能な移動部材とを有することを特徴とする基板搬送装置。
6. 上下方向に間隔をあけて設けられそれぞれ基板を水平に収納する収納容器と、該基板を処理する基板処理装置との間で前記基板を搬送する基板搬送方法であって、
   前記収納容器と、該収納容器の外部で前記搬入出口に隣接配置された基板載置台との間で前記基板を搬入出する搬入出工程と、
   前記基板載置台と、前記基板を載置すると共に移動可能なアームを有する受渡機構との間で基板を移替える移替工程と、
   前記基板を前記収納容器と前記基板処理装置との間で移動させる移動工程と、
   前記基板を前記受渡機構と前記基板処理装置との間で受け渡す受渡工程とを有することを特徴とする基板搬送方法。
7. 請求項６に記載の基板搬送装置において、
   前記移替工程と前記移動工程とが、同時に行なわれることを特徴とする基板搬送方法。
8. 請求項７に記載の基板搬送装置において、
   前記搬入出工程の際、前記基板載置台を前記搬入出口に対して相対的に昇降させ、複数の前記基板を搬入出することを特徴とする基板搬送方法。
   

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