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JP2003232830A - Washing method of burn-in board and washing tool of burn-in board - Google Patents

Washing method of burn-in board and washing tool of burn-in board

Info

Publication number
JP2003232830A
JP2003232830A JP2002030379A JP2002030379A JP2003232830A JP 2003232830 A JP2003232830 A JP 2003232830A JP 2002030379 A JP2002030379 A JP 2002030379A JP 2002030379 A JP2002030379 A JP 2002030379A JP 2003232830 A JP2003232830 A JP 2003232830A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
board
cleaning
socket
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2002030379A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norimasa Kurahara
憲政 藏原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Semiconductors Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Semiconductors Kyushu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Semiconductors Kyushu Ltd filed Critical NEC Semiconductors Kyushu Ltd
Priority to JP2002030379A priority Critical patent/JP2003232830A/en
Publication of JP2003232830A publication Critical patent/JP2003232830A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To surely remove refuse or the like from a socket loaded on a burn-in board. <P>SOLUTION: This washing tool has a body part 1 and a cover part 2 where many openings 1a, 2a are formed. When washing the burn-in board where the socket 33 is loaded, the socket is turned upward and the burn-in board is mounted on the body part 1 [(a)]. In this case, the contact part of a contact pin 33b of the socket 33 is in contact with the upper face of a base 33a of the socket 33 by an elastic force of the contact pin. When the cover part 2 is closed, a lid body 33d of the socket 33 is pressed and pushed down by the cover part 2. Hereby, the contact pin 33b is pressed and widened, and the contact pin 33b is separated from the base 33d [(b)]. The washing tool is dipped into a cleaning fluid and washed together with the burn-in board. <P>COPYRIGHT: (C)2003,JPO

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージングさ
れた半導体装置に対しバーンインを行う際に用いる、半
導体装置を搭載するためのソケットが実装されたバーン
インボードの洗浄方法と洗浄用治具に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cleaning method and a cleaning jig for a burn-in board mounted with a socket for mounting a semiconductor device, which is used when performing a burn-in to a packaged semiconductor device. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体装置に対しては出荷前にバーンイ
ンが行われる。これは、メーカ側で半導体装置をストレ
ス印加状態で一定時間動作させ潜在故障を顕在化させる
スクリーニング工程である。図6(a)は、バーンイン
を行うために用いられるバーンインボードの斜視図であ
る。同図に示されるように、支持板31に支持されたプ
リント基板32上には、半導体装置が装着されるソケッ
ト33が複数個搭載されている。このソケットはオープ
ントップソケットと呼ばれるもので、上方から半導体装
置を落とし込んで装着を行う。そのソケットの定常状態
の断面図を図6(b)に示す。ソケット33は、絶縁性
材料からなるベース33aと、一端がベース33aに埋
め込まれた弾性金属材料からなるコンタクトピン33b
と、回転自在にケースに支持された絶縁性材料からなる
レバー33cと、上下動可能な蓋体33dと、ベース3
3aの上面に設けられた、パッケージの底面が当接する
IC受け33eを有する。コンタクトピン33bは、そ
の弾性力により、上部先端部の一端がベースの上面を押
圧すると共に、上部先端部の他端がレバー33cに回転
力を付与しており、これにより蓋体33dを上方に押し
上げている。
2. Description of the Related Art Burn-in is performed on a semiconductor device before shipment. This is a screening process in which the semiconductor device is operated by the manufacturer for a certain period of time in a stressed state to reveal a latent failure. FIG. 6A is a perspective view of a burn-in board used for performing burn-in. As shown in the figure, a plurality of sockets 33 for mounting semiconductor devices are mounted on a printed circuit board 32 supported by a support plate 31. This socket is called an open top socket, and the semiconductor device is dropped from above and mounted. A sectional view of the socket in a steady state is shown in FIG. The socket 33 includes a base 33a made of an insulating material and a contact pin 33b made of an elastic metal material having one end embedded in the base 33a.
A lever 33c which is rotatably supported by the case and is made of an insulating material; a lid 33d that can move up and down; and a base 3
It has an IC receiver 33e provided on the upper surface of 3a, with which the bottom surface of the package abuts. Due to the elastic force of the contact pin 33b, one end of the upper tip portion presses the upper surface of the base and the other end of the upper tip portion imparts a rotational force to the lever 33c, which causes the lid 33d to move upward. Pushing up.

【0003】ソケット33に半導体装置を装着する際に
は、図6(c)に示すように、蓋体33dを押し下げ
る。これにより、レバー33cが回動しコンタクトピン
33bを押し広げる。この状態で、QFP(quad flat
package)型の半導体装置(製品)をベース33a上に
載置すると、パッケージの底面がIC受け33eに当接
し、外部端子がベース33aに接触する。蓋体33dに
対する押圧力を解除すると、コンタクトピン33bがそ
の弾性力により内側に向かって回動し、レバー33cを
回転させて蓋体33a押し上げると共に、製品の外部端
子に接触する。そして、バーンイン炉内に入れてプリン
ト基板32の接栓端子部32aを炉内のコネクタに接続
してバーンインを行う。すなわち、所定の時間、電圧/
温度等のストレスを印加することにより製品の初期不良
を顕在化させる。電圧等の電気的ストレスは、炉のコネ
クタからバーンインボードの配線を経由し、ソケットの
コンタクトピンから製品の外部端子に印加される。スト
レス印加完了後、炉からバーンインボードを取り出し、
製品をバーンインボードから抜去(挿入と逆の手順)し
た後、製品の電気的特性試験を行い初期不良品を除去す
る。
When mounting the semiconductor device in the socket 33, the lid 33d is pushed down as shown in FIG. 6 (c). As a result, the lever 33c rotates to push the contact pin 33b apart. In this state, QFP (quad flat
When a (package) type semiconductor device (product) is placed on the base 33a, the bottom surface of the package contacts the IC receiver 33e, and the external terminals contact the base 33a. When the pressing force on the lid 33d is released, the contact pin 33b is rotated inward by its elastic force to rotate the lever 33c to push up the lid 33a and contact the external terminal of the product. Then, it is put in a burn-in furnace and the plug terminal 32a of the printed board 32 is connected to a connector in the furnace for burn-in. That is, voltage / voltage
By applying stress such as temperature, the initial failure of the product is revealed. Electrical stress such as voltage is applied from the connector of the furnace to the wiring of the burn-in board and from the contact pin of the socket to the external terminal of the product. After applying stress, remove the burn-in board from the furnace,
After removing the product from the burn-in board (the procedure reverse to the insertion), the electrical characteristics of the product are tested to remove the initial defective product.

【0004】バーンインボードは、複数回使用すると、
ごみ、汚れが付着し、接触不良を起こす可能性が高くな
るため、定期的に洗浄することが必要となる。従来の洗
浄方法は、ソケットから半導体装置を取り外した状態
〔図6(b)に示す状態〕でバーンインボードを洗浄液
に浸漬し、超音波振動を印加して洗浄を行うものであっ
た。
When the burn-in board is used multiple times,
Since there is a high possibility that dust and dirt will adhere and contact failure will occur, it is necessary to clean regularly. In the conventional cleaning method, the burn-in board is immersed in the cleaning liquid in a state where the semiconductor device is removed from the socket [the state shown in FIG. 6 (b)], and ultrasonic vibration is applied to perform cleaning.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の洗浄方
法では、コンタクトピンの端子コンタクト部がベースに
接触した状態で洗浄が行われるため、コンタクトピンの
コンタクト面に付着している汚れやはんだクズ等のご
み、あるいはコンタクトピンで挟み込んでいる繊維クズ
等のごみが除去できないことがあった。その結果、ソケ
ットが接触不良を起こしバーンインが適切に行われなか
ったり誤判定を招くなどしてバーンインの信頼性が損な
われていた。本発明の課題は、上述した従来技術の問題
点を解決することであって、その目的は、バーンインボ
ードの洗浄の際に汚れやごみが確実に除去できるように
してソケットの接触不良を防止しバーンインの信頼性を
高めることである。
In the above-mentioned conventional cleaning method, since the cleaning is performed in the state where the terminal contact portion of the contact pin is in contact with the base, dirt and solder scraps adhering to the contact surface of the contact pin are In some cases, dust such as fiber dust and the like sandwiched between contact pins could not be removed. As a result, the socket has a poor contact, the burn-in is not properly performed, and an erroneous determination is caused, so that the reliability of the burn-in is impaired. An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to reliably remove dirt and dust when cleaning a burn-in board to prevent contact failure of the socket. To increase the reliability of burn-in.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明によれば、半導体集積回路の外部端子と接触
するコンタクトピンの接触部が定常状態で閉じているソ
ケットを実装したバーンインボードの洗浄方法におい
て、コンタクトピンの前記接触部を開いた状態で洗浄す
ることを特徴とするバーンインボードの洗浄方法、が提
供される。そして、好ましくは、前記ソケットを実装し
たバーンインボードを洗浄液内に浸漬し超音波振動を印
加しつつ洗浄を行う。
In order to achieve the above object, according to the present invention, a burn-in board mounted with a socket in which a contact portion of a contact pin contacting an external terminal of a semiconductor integrated circuit is closed in a steady state. The method for cleaning a burn-in board, comprising: cleaning the contact portion of the contact pin in an open state. Then, preferably, the burn-in board on which the socket is mounted is dipped in a cleaning liquid to perform cleaning while applying ultrasonic vibration.

【0007】また、上記の目的を達成するため、本発明
によれば、半導体集積回路の外部端子と接触する、半導
体集積回路を搭載していない定常状態には閉じているコ
ンタクトピンを有するソケットを実装した洗浄用治具に
おいて、前記コンタクトピンを開いた状態で洗浄できる
ようにしたことを特徴とするバーンインボードの洗浄用
治具、が提供される。そして、好ましくは、本体部と、
本体部に対して開閉可能なカバー部とを備え、本体部と
カバー部とが閉成された状態において前記バーンインボ
ードに搭載されたソケットの蓋体を押圧して前記コンタ
クトピンの接触部を開いた状態にする。
In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a socket having a contact pin which is in contact with an external terminal of a semiconductor integrated circuit and which is closed in a steady state without mounting the semiconductor integrated circuit. A cleaning jig for a burn-in board, wherein the mounted cleaning jig can be cleaned with the contact pin open. And, preferably, the main body,
A cover part that can be opened and closed with respect to the main body, and opens the contact part of the contact pin by pressing the lid of the socket mounted on the burn-in board when the main body and the cover are closed. Turn it on.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、実施例に即して図面を参照して詳細に説明する。 [第1の実施例]図1(a)は、本発明の洗浄用治具の
第1の実施例の開いた状態を示す斜視図であり、図1
(b)はその閉じた状態を示す側面図である。本実施例
の洗浄用治具は、底面と側面とに多数の開口1aが開設
された箱形の本体部1と、多数の開口2aが開設された
板状のカバー部2と、本体部1とカバー部2とを開閉自
在に連結する蝶板3と、本体部1の底面に固定された、
弾性材料からなる概略"U"字形状の弾性固定具4と、に
よって構成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings according to an embodiment. [First Embodiment] FIG. 1A is a perspective view showing an opened state of a first embodiment of a cleaning jig of the present invention.
(B) is a side view showing the closed state. The cleaning jig of the present embodiment has a box-shaped main body 1 having a large number of openings 1a on its bottom and side surfaces, a plate-shaped cover 2 having a large number of openings 2a, and a main body 1. A butterfly plate 3 for connecting the cover part 2 and the cover part 2 in an openable and closable manner, and fixed to the bottom surface of the main body part 1,
The elastic fixture 4 is made of an elastic material and has a substantially "U" shape.

【0009】ソケットが実装されたバーンインボード
(図6参照)を洗浄する際には、ソケットを上向きにし
てバーンインボードを洗浄用治具の本体部1内に装着す
る。この状態での部分断面図を図2(a)に示す。この
とき、ソケット33のコンタクトピン33bのコンタク
ト部はコンタクトピンの弾性力によりベース33aの上
面に接触しており、また蓋体33dはコンタクトピンの
弾性力によりレバー33cを介して上方に持ち上げられ
ている。バーンインボードを洗浄用治具の本体部1内に
装着した後、カバー部2を閉める。図1(a)に示した
状態からカバー部2を閉めるには、弾性固定具4を手前
側に引き寄せておきカバー部2を本体部1に合わせた
後、弾性固定具4の引き寄せを解除してカバー部2を本
体部1に固定する。この状態での部分断面図を図2
(b)に示す。このとき、ソケット33の蓋体33dが
洗浄用治具のカバー部2に押圧されて押し下げられる。
これにより、レバー33cが回動され、コンタクトピン
33bを押し広げる。そのため、コンタクトピン33b
はベース33dから乖離される。
When cleaning the burn-in board (see FIG. 6) on which the socket is mounted, the burn-in board is mounted in the main body 1 of the cleaning jig with the socket facing upward. A partial cross-sectional view in this state is shown in FIG. At this time, the contact portion of the contact pin 33b of the socket 33 is in contact with the upper surface of the base 33a by the elastic force of the contact pin, and the lid 33d is lifted upward by the elastic force of the contact pin via the lever 33c. There is. After mounting the burn-in board in the main body 1 of the cleaning jig, the cover 2 is closed. In order to close the cover 2 from the state shown in FIG. 1A, the elastic fixing tool 4 is pulled toward the front side, the cover 2 is aligned with the main body 1, and the pulling of the elastic fixing tool 4 is released. The cover part 2 is fixed to the main body part 1. A partial cross-sectional view in this state is shown in FIG.
It shows in (b). At this time, the lid 33d of the socket 33 is pressed down by the cover portion 2 of the cleaning jig.
As a result, the lever 33c is rotated to push the contact pin 33b apart. Therefore, the contact pin 33b
Is separated from the base 33d.

【0010】次に、ソケット付きバーンインボードが収
容された洗浄用治具を洗浄液内に浸漬し、超音波振動を
印加して洗浄を行う。このときソケット33のコンタク
トピンのコンタクト部は開いた状態にあるため、コンタ
クト面への付着物や汚染は有効に除去される。また、コ
ンタクトピン33bのコンタクト部とベース33dとの
間にごみを挟み込んだ状態で洗浄が終わることがなくな
る。洗浄は、超音波洗浄法に代え、スプレー法やQDR
(quick dumping rinse)法等により洗浄液にソケットを
曝すようにして行ってもよい。あるいは、単に乾燥空気
などの気体を噴射することにより洗浄を行うようにして
もよい。さらに、これらの洗浄方法のいくつかを組み合
わせて洗浄を行うこともできる。
Next, the cleaning jig in which the socket-equipped burn-in board is housed is immersed in the cleaning liquid, and ultrasonic vibration is applied to perform cleaning. At this time, since the contact portion of the contact pin of the socket 33 is in the open state, the attached matter and the contamination on the contact surface are effectively removed. In addition, the cleaning will not end in the state where dust is sandwiched between the contact portion of the contact pin 33b and the base 33d. For cleaning, instead of ultrasonic cleaning, spraying or QDR
The socket may be exposed to the cleaning solution by a (quick dumping rinse) method or the like. Alternatively, the cleaning may be performed by simply injecting a gas such as dry air. Furthermore, cleaning can be performed by combining some of these cleaning methods.

【0011】[第2の実施例]図3(a)は、本発明の
洗浄用治具の第2の実施例の閉じた状態を示す平面図で
あり、図3(b)は、その正面図である。また、図4
(a)は、本発明の洗浄用治具の第2の実施例の閉じた
状態を示す底面図であり、図4(b)は、その側面図で
ある。底板11とカバー板12とには、それぞれ複数の
開口11a、12aが開設されている。そして、カバー
板12と底板11とには、それぞれその上辺〔図3
(a)、図4(a)に図示された状態で図の上側を上辺
とする〕に沿って3個の上部軸受13と下部軸受14と
が固着されており、これらの軸受を貫通してシャフト1
5が挿通されている〔図4(b)参照〕。上部軸受13
と下部軸受14とは、シャフト15に対し回転自在であ
り、底板11とカバー板12とはシャフト15を回転中
心として開閉できるようになされている。
[Second Embodiment] FIG. 3 (a) is a plan view showing a second embodiment of the cleaning jig of the present invention in a closed state, and FIG. 3 (b) is a front view thereof. It is a figure. Also, FIG.
FIG. 4A is a bottom view showing a closed state of the second embodiment of the cleaning jig of the present invention, and FIG. 4B is a side view thereof. A plurality of openings 11a and 12a are formed in the bottom plate 11 and the cover plate 12, respectively. Then, the cover plate 12 and the bottom plate 11 have upper sides [see FIG.
(A), the upper side of the figure is the upper side in the state shown in FIG. 4 (a)], the three upper bearings 13 and the lower bearings 14 are fixed, and these bearings are penetrated. Shaft 1
5 is inserted (see FIG. 4B). Upper bearing 13
The lower bearing 14 is rotatable with respect to the shaft 15, and the bottom plate 11 and the cover plate 12 can be opened and closed with the shaft 15 as the center of rotation.

【0012】カバー板12の下辺の左右には、シャフト
部材取付部12bとなる突出部が形成されている。シャ
フト部材取付部12bの底板11側には、シャフト部材
20が固着されている。シャフト部材20の左右端はシ
ャフト部20aとして円柱状に加工されており、そのシ
ャフト部20aには対をなす、"L"字状のL金具16が
回転自在に取り付けられている。対をなすL金具16の
折り曲がり部の外側には、連結部材19を介して、対をな
す概略"凹"字状の係止棒支持体17が、回転自在に取り
付けられている。係止棒支持体17の連結部材19との
係合部と反対側の端部には係止棒18が取り付けられて
いる。また、L金具16のシャフト部20aとの係合部
と反対側の端部には把手21が取り付けられている。
On the left and right sides of the lower side of the cover plate 12, there are formed protrusions which serve as shaft member mounting portions 12b. The shaft member 20 is fixed to the bottom plate 11 side of the shaft member mounting portion 12b. The left and right ends of the shaft member 20 are processed into a cylindrical shape as a shaft portion 20a, and a pair of "L" -shaped L metal fittings 16 are rotatably attached to the shaft portion 20a. On the outer side of the bent portion of the pair of L fittings 16, a pair of locking rod supports 17 having a substantially "concave" shape is rotatably attached via a connecting member 19. A locking rod 18 is attached to the end of the locking rod support 17 on the side opposite to the engaging portion with the connecting member 19. Further, a handle 21 is attached to the end of the L metal fitting 16 on the side opposite to the engaging portion with the shaft portion 20a.

【0013】底板11の下辺の両端部には係止折曲部1
1bとなる突出部が形成されており、この係止折曲部1
1bは、カバー板12から離れる方向に約15°の角度
をもって折り曲げられている〔図4(b)参照〕。底板
11の下辺の係止折曲部11bの内側2個所には底板1
1から垂直に延びるスタンド11cが形成されている。
このスタンド11cは、カバー板12を閉じる際のスト
ッパとして機能する。
Locking bent portions 1 are provided at both ends of the bottom side of the bottom plate 11.
The protrusion 1b is formed, and the engaging bent portion 1 is formed.
1b is bent at an angle of about 15 ° in the direction away from the cover plate 12 (see FIG. 4 (b)). The bottom plate 1 is provided at two places inside the locking bent portion 11b on the lower side of the bottom plate 11.
A stand 11c extending vertically from 1 is formed.
The stand 11c functions as a stopper when closing the cover plate 12.

【0014】次に、図5を参照して本実施例の洗浄用治
具の使用方法について説明する。図3、図4に示す閉じ
た状態の洗浄用治具を開くには、図4(b)に示す状態
から、把手21を持ち上げることにより、L金具16を
反時計方向に回転させた後、係止棒支持体17を時計方
向に回転させて、底板11の係止折曲部11bに対する
係止棒18の係合を解き、カバー板12を開く〔図5
(a)〕。次に、ソケットが実装されたバーンインボー
ド(図示省略)を底板11上に搭載し、その上にカバー
板12を被せる。そして、係止棒支持体17を回転させ
て、係止棒18を底板11の係止折曲部11bに引っか
ける〔図5(b)〕。次いで、把手21により、L金具
16を時計方向に回転させてカバー板12を閉じる。こ
のとき、図示省略されたソケットの蓋体がカバー板12
に押圧されることにより、ソケットのコンタクトピンの
ベースへの接触が解除される。次に、バーンインボード
に対する洗浄が行われるのであるが、その洗浄方法は第
1の実施例の場合と同様である。すなわち、超音波洗
浄、洗浄液または気体の噴射などの方法を用いることが
できる。
Next, a method of using the cleaning jig of this embodiment will be described with reference to FIG. To open the cleaning jig in the closed state shown in FIGS. 3 and 4, the handle 21 is lifted from the state shown in FIG. 4B to rotate the L fitting 16 in the counterclockwise direction. The locking rod support 17 is rotated clockwise to release the engagement of the locking rod 18 with the locking bent portion 11b of the bottom plate 11, and the cover plate 12 is opened [Fig.
(A)]. Next, a burn-in board (not shown) having sockets mounted thereon is mounted on the bottom plate 11, and the cover plate 12 is placed thereon. Then, the locking rod support 17 is rotated to hook the locking rod 18 on the locking bent portion 11b of the bottom plate 11 [FIG. 5 (b)]. Next, the handle 21 is used to rotate the L fitting 16 clockwise to close the cover plate 12. At this time, the lid body of the socket, not shown, covers the cover plate 12.
The contact pin of the socket with the base is released by being pressed by. Next, the burn-in board is cleaned, and the cleaning method is the same as in the case of the first embodiment. That is, a method such as ultrasonic cleaning, injection of cleaning liquid or gas can be used.

【0015】以上、好ましい実施例について説明した
が、本発明はこれら実施例に限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜の変更が
可能なものである。例えば、本体部(底板)とカバー部
(カバー板)との係合方法は実施例に記載されたものに
限られず、公知の任意の手段を採用し得る。
Although the preferred embodiments have been described above, the present invention is not limited to these embodiments.
Appropriate changes can be made without departing from the scope of the present invention. For example, the method of engaging the main body portion (bottom plate) and the cover portion (cover plate) is not limited to that described in the embodiments, and any known means can be adopted.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の洗浄用治
具を用いることにより、コンタクトピンが開いた状態で
洗浄を行うことが可能となり、コンタクトピンのコンタ
クト面まで洗浄液が流れ込むようになるため、コンタク
トピンで挟み込んでいたごみやコンタクト面に付着して
いたごみ、汚れも除去することが可能になる。したがっ
て、本発明によれば、バーンインボードのソケットの接
触不良を防止して信頼性の高いバーンインテストを実施
することが可能になる。
As described above, by using the cleaning jig of the present invention, it is possible to perform cleaning with the contact pin open, and the cleaning liquid flows into the contact surface of the contact pin. Therefore, it becomes possible to remove dust that has been pinched by the contact pins, dust that has adhered to the contact surface, and dirt. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent a contact failure of the socket of the burn-in board and perform a highly reliable burn-in test.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示す斜視図と側面図。FIG. 1 is a perspective view and a side view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施例の動作を説明するための
断面図。
FIG. 2 is a sectional view for explaining the operation of the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第2の実施例を示す平面図と正面図。3A and 3B are a plan view and a front view showing a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施例を示す底面図と側面図。FIG. 4 is a bottom view and a side view showing a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第2の実施例の動作説明図。FIG. 5 is an operation explanatory diagram of the second embodiment of the present invention.

【図6】洗浄の対象であるバーンインボードの斜視図と
バーンインボードに搭載されたソケットの動作を説明す
るための断面図。
FIG. 6 is a perspective view of a burn-in board to be cleaned and a cross-sectional view for explaining the operation of a socket mounted on the burn-in board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 本体部 1a、2a、11a、12a 開口 2 カバー部 3 蝶番 4 弾性固定具 11 底板 11b 係止折曲部 11c スタンド 12 カバー板 12b シャフト部材取付部 13 上部軸受 14 下部軸受 15 シャフト 16 L金具 17 係止棒支持体 18 係止棒 19 連結部材 20 シャフト部材 20a シャフト部 21 把手 31 支持板 32 プリント基板 32a 接栓端子部 33 ソケット 33a ベース 33b コンタクトピン 33c レバー 33d 蓋体 33e IC受け 1 body 1a, 2a, 11a, 12a openings 2 cover 3 hinges 4 Elastic fixture 11 bottom plate 11b Locking bent part 11c stand 12 cover plates 12b Shaft member mounting part 13 Upper bearing 14 Lower bearing 15 shaft 16 L metal fittings 17 Locking rod support 18 Locking rod 19 Connection member 20 Shaft member 20a shaft part 21 Handle 31 Support plate 32 printed circuit board 32a Plug terminal part 33 socket 33a base 33b contact pin 33c lever 33d lid 33e IC receiver

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体集積回路の外部端子と接触するコ
ンタクトピンの接触部が定常状態で閉じているソケット
を実装したバーンインボードの洗浄方法において、コン
タクトピンの前記接触部を開いた状態で洗浄することを
特徴とするバーンインボードの洗浄方法。
1. A method for cleaning a burn-in board in which a socket, in which a contact portion of a contact pin that contacts an external terminal of a semiconductor integrated circuit is closed in a steady state is mounted, is cleaned with the contact portion of the contact pin open. A method for cleaning a burn-in board, which is characterized in that
【請求項2】 定常状態では、前記コンタクトピンの接
触部が前記ソケットのベースと接触していることを特徴
とする請求項1に記載のバーンインボードの洗浄方法。
2. The method for cleaning a burn-in board according to claim 1, wherein the contact portion of the contact pin is in contact with the base of the socket in a steady state.
【請求項3】 前記ソケットを実装したバーンインボー
ドを洗浄液内に浸漬し超音波振動を印加しつつ洗浄を行
うことを特徴とする請求項1または2に記載のバーンイ
ンボードの洗浄方法。
3. The method for cleaning a burn-in board according to claim 1, wherein the burn-in board having the socket mounted thereon is immersed in a cleaning liquid to perform cleaning while applying ultrasonic vibration.
【請求項4】 前記ソケットを実装したバーンインボー
ドに流体を噴射して洗浄を行うことを特徴とする請求項
1または2に記載のバーンインボードの洗浄方法。
4. The burn-in board cleaning method according to claim 1, wherein the burn-in board mounted with the socket is cleaned by injecting a fluid.
【請求項5】 前記流体が洗浄液であることを特徴とす
る請求項4に記載のバーンインボードの洗浄方法。
5. The burn-in board cleaning method according to claim 4, wherein the fluid is a cleaning liquid.
【請求項6】 半導体集積回路の外部端子と接触する、
半導体集積回路を搭載していない定常状態には閉じてい
るコンタクトピンを有するソケットを実装した洗浄用治
具において、前記コンタクトピンを開いた状態で洗浄で
きるようにしたことを特徴とするバーンインボードの洗
浄用治具。
6. A contact with an external terminal of a semiconductor integrated circuit,
A burn-in jig equipped with a socket having a contact pin that is not mounted with a semiconductor integrated circuit and is closed in a steady state, wherein the contact pin can be washed in an open state. Cleaning jig.
【請求項7】 本体部と、本体部に対して開閉可能なカ
バー部とを備え、本体部とカバー部とが閉成された状態
において前記バーンインボードに搭載されたソケットの
蓋体を押圧して前記コンタクトピンの接触部を開いた状
態になすことを特徴とする請求項6に記載のバーンイン
ボードの洗浄用治具。
7. A main body portion and a cover portion that can be opened and closed with respect to the main body portion, and presses a lid of a socket mounted on the burn-in board in a state where the main body portion and the cover portion are closed. The jig for cleaning a burn-in board according to claim 6, wherein the contact portion of the contact pin is opened.
【請求項8】 前記本体部と前記カバー部とは、蝶番機
構を介して連結されていることを特徴とする請求項7に
記載のバーンインボードの洗浄用治具。
8. The jig for cleaning a burn-in board according to claim 7, wherein the main body portion and the cover portion are connected via a hinge mechanism.
【請求項9】 前記カバー部を前記本体部に対して閉じ
た際に前記カバー部を閉じた状態に保持するロック機構
が備えられていることを特徴とする請求項7または8に
記載のバーンインボードの洗浄用治具。
9. The burn-in according to claim 7, further comprising a lock mechanism for holding the cover portion in a closed state when the cover portion is closed with respect to the main body portion. A jig for cleaning the board.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102234166B1 (en) * 2021-02-18 2021-03-31 주식회사 포스텔 Burn-in board cleaning device with improved cleaning efficiency

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