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JP2000021772A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents

半導体装置およびその製造方法

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JP2000021772A
JP2000021772A JP18093098A JP18093098A JP2000021772A JP 2000021772 A JP2000021772 A JP 2000021772A JP 18093098 A JP18093098 A JP 18093098A JP 18093098 A JP18093098 A JP 18093098A JP 2000021772 A JP2000021772 A JP 2000021772A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 サファイア基板上に成長させる窒化物系ＩＩ
Ｉ−Ｖ族化合物半導体層の結晶性の向上を図る。 【解決手段】 サファイア基板１の一主面に複数の凹部
１ａを形成し、その上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半
導体層を成長させる。凹部１ａの内面の少なくとも一部
はサファイア基板１の一主面に対して１０度以上の角度
をなす。凹部１ａの内部は、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合
物半導体層よりもＡｌ組成比が高い窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
族化合物半導体結晶、例えばＡｌ組成比ｘが０．２以上
のＡｌxＧａ1-x Ｎ結晶１６で埋め込まれる。凹部１ａ
は深さを２５ｎｍ以上、幅を３０ｎｍ以上とする。凹部
１ａはサファイア基板１のサーマルクリーニング時に形
成してもよいし、リソグラフィーおよびエッチング、サ
ーマルエッチングなどを用いて形成してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置およ
びその製造方法に関し、特に、ＧａＮなどの窒化物系Ｉ
ＩＩ−Ｖ族化合物半導体を用いた半導体レーザや発光ダ
イオードあるいは電子走行素子に適用して好適なもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】緑色あるいは青色から紫外線領域におよ
ぶ発光材料として、Ａｌ、Ｇａ、ＩｎなどのＩＩＩ族元
素とＮを含むＶ族元素とからなる、ＧａＮに代表される
窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体を用いた半導体レー
ザや発光ダイオードが開発されている。このうち、発光
ダイオードについてはすでに実用化されている。一方、
半導体レーザにおいては、室温連続発振が実現されては
いるものの、長寿命化のためには窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体のさらなる結晶性の改善が必要とされてい
る。そのために、ＥＬＯＧ−ＧａＮ（Epitaxially late
rally overgrownＧａＮ）などのＧａＮの結晶性を向上
させる技術も応用されて効果を発揮している。しかし、
その基本となる、結晶基板上に成長させた窒化物系ＩＩ
Ｉ−Ｖ族化合物半導体層自体の結晶性のさらなる向上も
望まれている。
【０００３】一般的には基板結晶としてはサファイアま
たはＳｉＣが用いられ、十分に平坦化および鏡面化加工
された結晶基板表面の清浄化が成長装置の中で行われた
後、その上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の成
長が行われる。この場合、目的とする半導体装置を製造
するには、原子レベルで平坦な表面または界面構造を有
する各種積層構造を形成することが必要であるため、基
板表面も平坦さが維持または平坦化されるような表面清
浄化方法および成長方法が用いられている。
【０００４】結晶基板面を微傾斜させてその上の成長様
式をステップフロー（Step Flow)モードにすることによ
って窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の結晶性を向
上させる方法も提案されている（特開平７−２０１７４
５号公報）。
【０００５】ＧａＡｓ基板やＩｎＰ基板を用いた場合に
おいては、導波路中の導波光を反射する目的で、（００
１）基板表面に（１１１）Ｂ面からなる回折格子を形成
した基板上にバッファ層を成長させてから、窒化物系Ｉ
ＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を成長させることが行われて
いる（特開平８−２６４９０１号公報）。
【０００６】また、サファイア基板とその上の窒化物系
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層との間に、ＡｌＮバッファ
層をはさんだり（特開平２−２２９４７６号公報）、Ｇ
ａＮまたはＡｌＧａＮバッファ層をはさんだり（特開平
４−２９７０２３号公報、特開平７−３１２３５０号公
報）することによって結晶性の向上を図る手法や、サフ
ァイア基板表面を窒化することによって結晶性を向上さ
せる手法（特開平５−４１５４１号公報）などが知られ
ている。また、格子定数の異なる複数のバッファ層を連
続して積層し、基板とバッファ層、バッファ層とその上
のエピタキシャル層との格子定数差を小さくすることに
よって格子不整による欠陥を低く抑える方法が知られて
いる（特開平９−６３９６２号公報）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】一般に、サファイア基
板やＳｉＣ基板上に成長させた窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化
合物半導体結晶には、結晶方位の「ふらつき」があると
されている。つまり、この窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物
半導体結晶は「モザイク結晶」である。この結晶方位の
ふらつきは、大きく分けて、基板表面に垂直な軸の周り
に回転するような方向にふらつく「ツイスト（Twist)」
モザイク成分と、軸方位が垂直方向からずれる方向にふ
らつく「チルト（Tilt）」モザイク成分とに分けること
ができる。これらのふらつきの大きさは通常、０．０１
〜０．５°程度あるとされている。この結晶方位のふら
つきの原因は、使用する基板とその上に成長させる窒化
物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層との結晶構造が異なる
こと、および、それらの格子定数が互いに大きく異なる
ためであると考えられている。また、安定なサファイア
結晶と窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶との原子
間結合がそれらの結晶内部に比べて相対的に弱いため
に、成長時にサファイア結晶からの結晶方位の引き継ぎ
が正確に行われにくいことも要因と考えられる。
【０００８】以上のようなモザイク結晶性のために、窒
化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を用いた半導体発光
素子においては、発光効率の低下など、素子特性の向上
が妨げられたり、寿命が短いなど、素子としての信頼性
に問題が生じている。
【０００９】したがって、この発明の目的は、サファイ
ア基板上に成長させる窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
体層の結晶性の向上を図ることができる半導体装置およ
びその製造方法を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者は、従来技術が
有する上述の課題を解決すべく、鋭意検討を行った。以
下にその概要について説明する。
【００１１】本発明者は、サファイア基板上に成長させ
る窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体の結晶性の向上を
図るためには、サファイア基板の表面がどのような状態
にあるのが最適であるかについて検討した。このサファ
イア基板の表面については、これまでは、より平坦であ
ることが望ましいと考えられ、平坦化に努力が払われて
いたと言える。例えば、特開平８−８３８０２号公報に
は、常圧雰囲気で９００℃以上の温度に加熱してサファ
イア基板を熱処理する際に、面方位に対応して加熱時間
および加熱温度を選択することによりサファイア基板表
面の原子ステップ高さおよびテラス幅を制御すること
で、超平坦で、実質的に同一結晶方位を持つテラス面の
みからなり、しかも直線状の規則的なステップサイトを
持つ基板表面を得る技術が提案されている。
【００１２】しかしながら、本発明者の検討によれば、
サファイア基板上に成長させる窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化
合物半導体の結晶性の向上を図るためには、上記の平坦
化とは全く逆に、サファイア基板の表面に積極的に凹部
を形成しておく方がよい。これは次のような理由によ
る。
【００１３】平坦なサファイア基板表面での結晶成長
（気相成長および固相成長を含む）過程では、成長する
窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の結晶方位は、
基板表面に平行なただ一つの界面をはさむ窒化物系ＩＩ
Ｉ−Ｖ族化合物半導体原子とサファイア結晶原子との相
互作用のみで決定されるため、この界面での相互作用力
が大きくないと、すでに述べた結晶方位のふらつきが大
きくなる。特に、面内方向の結晶方位のふらつき（ツイ
スト成分）の制御が弱くなる。これに対して、凹みを有
する界面においては、基板に平行ではない斜め方向の結
晶面を介して横方向の束縛力で結晶方位が限定されるこ
とによって、結晶方位を制限することが可能である。こ
のため、サファイア基板とその上に成長する窒化物系Ｉ
ＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶との結晶方位関係をより正
確に一致させることが可能となる。
【００１４】ここで、均一な結晶方位のステップ状の微
傾斜基板を用いる方法においては、結晶方位の束縛は１
方向なのに対して、サファイア基板表面に凹部を設けた
場合には、このサファイア基板上の窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
族化合物半導体の成長は複数の結晶方向および結晶面に
よって制限されるため、サファイア基板とその上に成長
する窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層との結晶方位
関係の一致に関してより大きな効果を得ることができ
る。
【００１５】この発明は、本発明者による以上のような
検討に基づいて案出されたものである。すなわち、上記
目的を達成するために、この発明の第１の発明は、サフ
ァイア基板上に成長させた窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物
半導体層を用いた半導体装置において、サファイア基板
と窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層との界面におけ
るサファイア基板に凹部が設けられていることを特徴と
するものである。
【００１６】この発明の第２の発明は、サファイア基板
上に成長させた窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を
用いた半導体装置の製造方法において、サファイア基板
の一主面に凹部を形成した後、サファイア基板の一主面
上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を成長させる
ようにしたことを特徴とするものである。
【００１７】この発明において、サファイア基板の凹部
は、種々の断面形状および平面形状とすることができ、
点状であっても、線状であっても、点状のものと線状の
ものとを組み合わせたものであってもよい。また、これ
らの凹部は、種々の方法によって形成することができ、
例えば、サファイア基板の表面をサーマルクリーニング
する際の条件の制御や、リソグラフィー技術およびエッ
チング技術の利用や、サーマルエッチングなどにより形
成してもよい。
【００１８】この発明において、サファイア基板上に窒
化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を成長させる際に、
複数の結晶方向および結晶面によって成長を制限し、サ
ファイア基板とその上に成長させる窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
族化合物半導体層との結晶方位関係のより正確な一致を
図る観点から、好適には、サファイア基板の凹部の内面
の少なくとも一部がサファイア基板の一主面に対して１
０度以上の角度をなすようにする。また、凹部の大きさ
については、同様な観点から、好適には、深さを２５ｎ
ｍ以上、幅を３０ｎｍ以上とする。あるいは、後述のよ
うにサファイア基板からのＡｌの拡散を容易にする観点
からは、凹部の深さを１０ｎｍ以上、幅を３０ｎｍ以上
とする。また、これらの凹部の幅は、好適には５μｍ以
下、典型的には２μｍ以下である。
【００１９】この発明において、典型的には、サファイ
ア基板の一主面がサファイア結晶の（０００１）面（い
わゆるｃ面）または（０００１）面から微小角度傾斜し
た面からなる。ここで、微小角度とは、１０度以内の角
度を意味する。サファイア基板の一主面がこれらの面で
ある場合、凹部の内面には種々の結晶面が現れ得る。具
体的には、例えば、サファイア結晶の｛１１−２６｝
面、｛１１−２９｝面などが現れる。実際に形成された
凹部の内面の結晶面の角度の測定によると、凹部によっ
て角度が異なるが、これらの二つの結晶面またはその間
の角度になっている。
【００２０】この発明において、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体層が形成された状態のサファイア基板の凹
部の内部は、結晶方位のそろった窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体結晶で埋め込まれている。ただし、必ずし
も複数の凹部の全てが窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
体結晶で埋め込まれている必要はない。この凹部に埋め
込まれた、結晶方位のそろった窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化
合物半導体は、例えば、一主面に凹部が形成されたサフ
ァイア基板上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体のバ
ッファ層を低温で成長させた後、より高温で熱処理する
ことにより形成することができる。この方法は、サファ
イア基板上にまず低温で窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半
導体のバッファ層を成長させてから、基板温度を昇温さ
せてこのバッファ層上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半
導体層を成長させるプロセスを用いる場合に適合するも
のであるが、バッファ層の成長からその上の窒化物系Ｉ
ＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の成長を基板温度を低温から
高温に連続的に昇温させながら行うことによって、成長
中断による異常界面形成のない積層構造を実現すること
ができる。さらに、別の方法として、バッファ層を成長
させずに、サファイア基板上に、基板温度を低温から高
温に昇温させながら、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
体層を直接成長させ、サファイア基板の凹部に窒化物系
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶を埋め込んでもよい。具
体的には、例えば、基板温度５００〜５２０℃から窒化
物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の成長を開始して１０
００〜１１００℃まで基板温度を昇温させながら成長を
続ける。そして、基板温度が１０００〜１１００℃まで
上昇したら、基板温度をその温度に保持して成長を続け
る。ただし、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層中に
ＧａＩｎＮ層などのＩｎを含む層が含まれる場合、その
層の成長は７００〜８００℃の基板温度で行う。
【００２１】ここで、サファイア基板の凹部の中に結晶
方位のそろった窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶
が形成されていることは、透過電子顕微鏡を用いたモア
レ縞形成の有無によって判断することができる。例え
ば、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の（０００
２）反射とサファイア結晶の（０００６）反射とを少な
くとも励起した透過電子顕微鏡像において、サファイア
基板の凹部の内部に現れるこれらの格子面によるモアレ
縞を観察することによって、結晶方位のそろった窒化物
系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の成長を確かめること
ができる。このモアレ縞は、成長させた窒化物系ＩＩＩ
−Ｖ族化合物半導体の成分および組成に依存する間隔を
有する。
【００２２】この発明において、典型的には、サファイ
ア基板とその上の窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層
との界面に、Ａｌ2 Ｏ3 からなるサファイア基板を起源
とするＡｌが拡散した高Ａｌ組成比窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
族化合物半導体結晶からなるバッファ層が、サファイア
基板の凹部を埋め込むように形成される。この高Ａｌ組
成比窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶は、サファ
イア基板の凹部の内部にのみ埋め込まれることもある。
ここで、このバッファ層との界面におけるサファイア基
板に凹部が設けられているため、サファイア基板とバッ
ファ層との接触面積は凹部の内面の面積分だけ増加して
いるため、サファイア基板からバッファ層へのＡｌの拡
散は容易に行われる。例えば、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化
合物半導体層がＡｌx1Ｇａ1-x1-y1 Ｉｎy1Ｎ（０≦ｘ１
≦１、０≦ｙ１≦１、０≦ｘ１＋ｙ１≦１）からなり、
窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶がＡｌx2Ｇａ
1-x2-y2 Ｉｎy2Ｎ（０≦ｘ２≦１、０≦ｙ２≦１、０≦
ｘ２＋ｙ２≦１）からなる場合、好適には、ｘ２−ｘ１
≧０．１となるようにする。この高Ａｌ組成比窒化物系
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶が形成されることにより
次のような効果が得られる。すなわち、例えば、窒化物
系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層がＧａＮ層である場合、
高Ａｌ組成比窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶は
ＡｌＧａＮ結晶となるが、このＡｌＧａＮ結晶によりサ
ファイア基板とＧａＮ層とをＡｌを介して連続的に接続
することができるとともに、このＡｌＧａＮ結晶はＧａ
Ｎ層に比べてよりサファイア基板に近い格子定数を有す
ることによりサファイア基板とＧａＮ層との格子定数差
を緩和することができ、また、格子定数差によって生じ
る不一致転位を減少させることができる。この高Ａｌ組
成比窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の形成は、
低温でバッファ層を成長させた後の基板温度の昇温時の
熱処理により行うことができる。あるいは、バッファ層
を成長させることなく、サファイア基板上に、基板温度
を低温から高温に上昇させながら、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
族化合物半導体層を直接成長させる場合には、基板温度
の昇温の過程で行うことができる。さらにまた、サファ
イア基板からのＡｌの拡散を有効に行わせる観点から
は、好適には、成長前にサファイア基板の一主面を窒素
を含むガスにさらして窒化することによりＡｌとＮとか
らなる層を形成しておく。これらの場合、サファイア基
板に凹部が形成されていることにより、サファイア基板
とその上に成長される層との界面の接触面積が増大し、
Ａｌの拡散反応が促進される。
【００２３】ここで、サファイア基板と窒化物系ＩＩＩ
−Ｖ族化合物半導体層との界面に高Ａｌ組成比窒化物系
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶が形成されていること
は、透過電子顕微鏡を用いたモアレ縞を観察することに
よって確認することができる。より具体的には、窒化物
系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の（０００２）反射と
サファイア結晶の（０００６）反射とを少なくとも励起
した透過電子顕微鏡像において界面領域に間隔が０．８
〜１．７ｎｍのモアレ縞が観察されること、あるいは、
窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の（０１−１
０）反射とサファイア結晶の（１１−２０）反射とを少
なくとも励起した透過電子顕微鏡像において界面領域に
間隔が１〜２．１ｎｍの間隔のモアレ縞が観察されるこ
と、あるいは、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶
の（０−２２０）反射とサファイア結晶の（０３−３
０）反射とを少なくとも励起した透過電子顕微鏡像にお
いて０．６〜１．２ｎｍの間隔のモアレ縞が観察される
ことによって判断することができる。
【００２４】この発明において、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体は、Ｇａ、Ａｌ、ＩｎおよびＢからなる群
より選ばれた少なくとも一種のＩＩＩ族元素と、少なく
ともＮを含み、場合によってさらにＡｓまたはＰを含む
Ｖ族元素とからなり、具体例を挙げると、ＧａＮ、Ｉｎ
Ｎ、ＡｌＮ、ＡｌＧａＮ、ＧａＩｎＮ、ＡｌＧａＩｎＮ
などである。
【００２５】この発明において、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体層の成長には、有機金属化学気相成長（Ｍ
ＯＣＶＤ）法や、分子線エピタキシー（ＭＢＥ）法など
を用いることができる。
【００２６】この発明において、半導体装置は、基本的
にはどのようなものであってもよいが、具体的には、半
導体レーザや発光ダイオードなどの発光素子あるいはＧ
ａＮ系ＦＥＴなどの電子走行素子である。
【００２７】上述のように構成されたこの発明によれ
ば、サファイア基板の一主面に凹部が設けられているこ
とにより、このサファイア基板上における窒化物系ＩＩ
Ｉ−Ｖ族化合物半導体層の成長を複数の結晶方向および
結晶面によって制限することができ、それによって、サ
ファイア基板とその上に成長する窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族
化合物半導体との結晶方位関係をより正確に一致させる
ことができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態につい
て図面を参照しながら説明する。なお、実施形態の全図
において、同一または対応する部分には同一の符号を付
す。
【００２９】図１はこの発明の第１の実施形態によるＧ
ａＮ系半導体レーザを示し、図２はこのＧａＮ系半導体
レーザの基板表面付近の一部を拡大して示す。このＧａ
Ｎ系半導体レーザはＳＣＨ（Separate Confinement Het
erostructure) 構造を有するものである。
【００３０】図１および図２に示すように、この第１の
実施形態によるＧａＮ系半導体レーザにおいては、ｃ面
サファイア基板１上に、ＧａＮバッファ層２を介して、
アンドープＧａＮ層３、ｎ型ＧａＮコンタクト層４、ｎ
型ＡｌＧａＮクラッド層５、ｎ型ＧａＮ光導波層６、Ｇ
ａ1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉｎy Ｎ多重量子井戸構造の
活性層７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８、ｐ型ＧａＮ光
導波層９、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０およびｐ型Ｇ
ａＮコンタクト層１１が順次積層されている。ここで、
ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８は、ｐ型ＧａＮ光導波層
９、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０およびｐ型ＧａＮコ
ンタクト層１１を１０００℃程度の温度で成長させる際
にＧａ1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉｎy Ｎ多重量子井戸構
造の活性層７からＩｎＮが分解するのを防止するととも
に、活性層７からの電子のオーバーフローを防止するた
めのものである。
【００３１】ＧａＮバッファ層２は厚さが例えば３０ｎ
ｍであり、アンドープＧａＮ層３は厚さが例えば１μｍ
である。ｎ型ＧａＮコンタクト層４は厚さが例えば４μ
ｍであり、ｎ型不純物として例えばＳｉがドープされて
いる。ｎ型ＡｌＧａＮクラッド層５は厚さが例えば０．
５μｍであり、ｎ型不純物として例えばＳｉがドープさ
れている。ｎ型ＧａＮ光導波層６は厚さが例えば０．１
μｍであり、ｎ型不純物として例えばＳｉがドープされ
ている。ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８は厚さが例えば２
０ｎｍであり、ｐ型不純物として例えばＭｇがドープさ
れている。ｐ型ＧａＮ光導波層９は厚さが例えば０．１
μｍであり、ｐ型不純物として例えばＭｇがドープされ
ている。ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０は厚さが例えば
０．５μｍであり、ｐ型不純物として例えばＭｇがドー
プされている。また、ｎ型ＡｌＧａＮクラッド層５およ
びｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０のＡｌ組成比は例えば
０．０７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８のＡｌ組成比は
例えば０．１６である。Ｇａ1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉ
ｎy Ｎ多重量子井戸構造の活性層７については、例えば
ｘ＝０．１１、ｙ＝０．０１、Ｇａ1-x Ｉｎx Ｎ層およ
びＧａ1-y Ｉｎy Ｎ層の厚さは例えばそれぞれ３ｎｍお
よび６ｎｍ、井戸数は４である。ｎ型ＡｌＧａＮクラッ
ド層５およびｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０のＡｌ組成
比は例えば０．０７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８のＡ
ｌ組成比は例えば０．１６である。
【００３２】ｎ型ＧａＮコンタクト層４の上層部、ｎ型
ＡｌＧａＮクラッド層５、ｎ型ＧａＮ光導波層６、Ｇａ
1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉｎy Ｎ多重量子井戸構造の活
性層７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８、ｐ型ＧａＮ光導
波層９、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０およびｐ型Ｇａ
Ｎコンタクト層１１は所定幅のメサ形状を有する。ま
た、このメサ部におけるｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０
の上層部およびｐ型ＧａＮコンタクト層１１には一方向
に延在する所定幅のリッジ部１２が形成されている。メ
サ部の表面およびメサ部以外の部分のｎ型ＧａＮコンタ
クト層４の表面には例えばＳｉＯ2 膜のような絶縁膜１
３が設けられている。この絶縁膜１３には、リッジ部１
２の上の部分に開口１３ａが、メサ部に隣接する部分の
ｎ型ＧａＮコンタクト層４の上の部分に開口１３ｂが設
けられている。そして、リッジ部１２をまたぐようにｐ
側電極１４が設けられており、絶縁膜１３の開口１３ａ
を通じてリッジ部１２のｐ型ＧａＮコンタクト層１１と
オーミックコンタクトしている。このｐ側電極１４は、
例えばＮｉ膜、Ｐｔ膜およびＡｕ膜を順次積層したＮｉ
／Ｐｔ／Ａｕ構造を有する。また、絶縁膜１３の開口１
３ｂを通じてｎ型ＧａＮコンタクト層４上にｎ側電極１
５がオーミックコンタクトして設けられている。このｎ
側電極１５は、例えばＴｉ膜、Ａｌ膜、Ｐｔ膜およびＡ
ｕ膜を順次積層したＴｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ構造を有す
る。
【００３３】図２に示すように、この第１の実施形態に
おいては、従来のＧａＮ系半導体レーザと異なり、ｃ面
サファイア基板１とその上の窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合
物半導体層、具体的にはＧａＮバッファ層２との界面に
おけるｃ面サファイア基板１に凹部１ａが多数、例えば
１０9ｃｍ-2程度の面密度で形成されている。これらの
凹部１ａの断面形状は三角形、台形など種々のものであ
ってよく、それらの平面形状も図３に例示するような六
角形、三角形、円形、これらが二つ以上組み合わさった
ものなど種々のものであってよい。これらの凹部１ａの
大きさは、例えば、深さが２５ｎｍ以上、幅が３０ｎｍ
以上である。また、これらの凹部１ａの内部は、結晶方
位のそろったＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６で埋め込まれて
いる。ここで、このＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６のＡｌ組
成比ｘは０．２以上である。また、サファイア結晶の
（０００６）反射とＧａＮ結晶の（０００２）反射とを
励起した電子顕微鏡像において、このＡｌx Ｇａ1-x Ｎ
結晶１６の部分で観察されるモアレ縞の間隔は、１．３
７〜１．６７ｎｍである。
【００３４】次に、上述のように構成されたこの第１の
実施形態によるＧａＮ系半導体レーザの製造方法につい
て説明する。
【００３５】このＧａＮ系半導体レーザを製造するに
は、まず、図４に示すように、表面が平坦化および鏡面
化加工されたｃ面サファイア基板１を用意し、このｃ面
サファイア基板１を図示省略したＭＯＣＶＤ装置の反応
管内に入れる。
【００３６】次に、この反応管内で、水素ガス、アルゴ
ンガスなどの不活性ガス、窒素ガスなどの雰囲気、好適
には水素ガスのような還元性雰囲気において、基板温度
を例えば１０００〜１３００℃に設定して１〜６０分間
熱処理することにより、ｃ面サファイア基板１の表面の
サーマルクリーニングを行うとともに、図５に示すよう
に、表面に凹部１ａを形成する。このとき、目的とする
凹部１ａの大きさや形状に応じて、基板温度および時間
を調節する。
【００３７】次に、基板温度を例えば５２０℃に下降さ
せた後、図２に示すように、ｃ面サファイア基板１の凹
部１ａが形成された表面上にＭＯＣＶＤ法によりＧａＮ
バッファ層２を成長させる。次に、基板温度を例えば１
０００℃まで上昇させ、ＭＯＣＶＤ法により、ＧａＮバ
ッファ層２上にアンドープＧａＮ層３、ｎ型ＧａＮコン
タクト層４、ｎ型ＡｌＧａＮクラッド層５、ｎ型ＧａＮ
光導波層６、Ｇａ1-xＩｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉｎy Ｎ多重
量子井戸構造の活性層７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層
８、ｐ型ＧａＮ光導波層９、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層
１０およびｐ型ＧａＮコンタクト層１１を順次成長させ
る。ただし、Ｉｎを含む層であるＧａ1-xＩｎx Ｎ／Ｇ
ａ1-y Ｉｎy Ｎ多重量子井戸構造の活性層７の成長は基
板温度を７００〜８００℃として行う。これらのＧａＮ
系半導体層の成長原料は、例えば、ＩＩＩ族元素である
Ｇａの原料としてはトリメチルガリウム（ＴＭＧ）を、
ＩＩＩ族元素であるＡｌの原料としてはトリメチルアル
ミニウム（ＴＭＡ）を、ＩＩＩ族元素であるＩｎの原料
としてはトリメチルインジウム（ＴＭＩ）を、Ｖ族元素
であるＮの原料としてはアンモニア（ＮＨ3 ）を用い
る。また、キャリアガスとしては、例えば、水素
（Ｈ2 ）と窒素（Ｎ2 ）との混合ガスを用いる。ドーパ
ントについては、ｎ型ドーパントとしては例えばモノシ
ラン（ＳｉＨ4 ）を、ｐ型ドーパントとしては例えばメ
チルシクロペンタジエニルマグネシウム（（ＭＣｐ）2
Ｍｇ）を用いる。
【００３８】上述のサーマルクリーニングから窒化物系
ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の成長までの基板温度シー
ケンスの一例を図６に示す。
【００３９】ＧａＮバッファ層２の成長後の基板温度上
昇中の熱処理により、ｃ面サファイア基板１の凹部１ａ
の内部に埋め込まれたＧａＮバッファ層２が固相エピタ
キシャル成長により結晶化するとともに、この結晶にｃ
面サファイア基板１からＡｌが拡散する。これによっ
て、この凹部１ａの内部に、結晶方位のそろったＡｌx
Ｇａ1-x Ｎ結晶１６が形成される。透過電子顕微鏡によ
るモアレ縞の間隔の測定によれば、この方法により、Ａ
ｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６のＡｌ組成比ｘを最大で０．９
５にもすることができることが可能である。また、この
結晶化およびＡｌ拡散の過程で、ｃ面サファイア基板１
とＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６とがＡｌを共有して強固に
結合する。また、このＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６はｃ面
サファイア基板１との格子定数差がＧａＮに比べて小さ
いことにより、ｃ面サファイア基板１とＧａＮバッファ
層２との格子定数差が緩和される。さらに、Ａｌx Ｇａ
1-xＮ結晶１６およびその上のＧａＮバッファ層２の全
体で見ると、Ａｌ組成比が下から上にむかって徐々に減
少する構造となっているため、ｃ面サファイア基板１と
の格子不整が徐々に緩和されている。そして、Ａｌx Ｇ
ａ1-x Ｎ結晶１６を核としてＧａＮバッファ層２の結晶
化が進行し、最終的に優れた結晶性のＧａＮバッファ層
２が得られる。このため、この結晶性に優れたＧａＮバ
ッファ層２上に成長されるアンドープＧａＮ層３、ｎ型
ＧａＮコンタクト層４、ｎ型ＡｌＧａＮクラッド層５、
ｎ型ＧａＮ光導波層６、Ｇａ1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉ
ｎy Ｎ多重量子井戸構造の活性層７、ｐ型ＡｌＧａＮキ
ャップ層８、ｐ型ＧａＮ光導波層９、ｐ型ＡｌＧａＮク
ラッド層１０およびｐ型ＧａＮコンタクト層１１の結晶
性も優れたものとなる。
【００４０】次に、ｐ型ＧａＮコンタクト層１１の全面
に例えばＣＶＤ法、真空蒸着法、スパッタリング法など
により例えば厚さが０．４μｍのＳｉＯ2 膜を形成した
後、このＳｉＯ2 膜上にリソグラフィーにより所定形状
のレジストパターン（図示せず）を形成し、このレジス
トパターンをマスクとして例えばフッ酸系のエッチング
液を用いたウエットエッチングによりＳｉＯ2 膜をエッ
チングする。これによって、ｐ型ＧａＮコンタクト層１
１上にＳｉＯ2 膜からなるマスク（図示せず）が形成さ
れる。
【００４１】次に、このマスクを用いて例えば反応性イ
オンエッチング（ＲＩＥ）法によりｎ型ＧａＮコンタク
ト層４に達するまでエッチングを行う。このとき、例え
ば、ｎ型ＧａＮコンタクト層４が０．５μｍエッチング
されるようにする。このＲＩＥのエッチングガスとして
は例えば塩素系ガスを用いる。
【００４２】次に、マスクをエッチング除去した後、再
び基板全面に例えばＣＶＤ法、真空蒸着法、スパッタリ
ング法などにより例えば厚さが０．２μｍのＳｉＯ2 膜
を形成した後、このＳｉＯ2 膜上にリソグラフィーによ
り所定形状のレジストパターン（図示せず）を形成し、
このレジストパターンをマスクとして例えばフッ酸系の
エッチング液を用いたウエットエッチングによりＳｉＯ
2 膜をエッチングする。これによって、メサ部を含む基
板表面にＳｉＯ2 膜からなるマスク（図示せず）が形成
される。
【００４３】次に、このマスクを用いて例えばＲＩＥ法
によりｐ型ＧａＮコンタクト層１１の厚さ方向の所定の
深さまでエッチングを行うことにより溝を形成し、リッ
ジ部１２を形成する。このＲＩＥのエッチングガスとし
ては例えば塩素系ガスを用いる。
【００４４】次に、リソグラフィーによりｎ側電極形成
領域を除いた領域の表面を覆うレジストパターン（図示
せず）を形成する。
【００４５】次に、このレジストパターンをマスクとし
て絶縁膜１３をエッチングすることにより、開口１３ｂ
を形成する。
【００４６】次に、レジストパターンを残したままの状
態で基板全面に例えば真空蒸着法によりＴｉ膜、Ａｌ
膜、Ｐｔ膜およびＡｕ膜を順次形成した後、レジストパ
ターンをその上に形成されたＴｉ膜、Ａｌ膜、Ｐｔ膜お
よびＡｕ膜とともに除去する（リフトオフ）。これによ
って、絶縁膜１３の開口１３ｂの部分におけるｎ型Ｇａ
Ｎコンタクト層４上にＴｉ／Ａｌ／Ｐｔ／Ａｕ構造のｎ
側電極１５が形成される。
【００４７】次に、例えば、窒素ガス雰囲気中において
８００℃で１０分熱処理を行うことにより、ｐ型ＡｌＧ
ａＮキャップ層８、ｐ型ＧａＮ光導波層９、ｐ型ＡｌＧ
ａＮクラッド層１０およびｐ型ＧａＮコンタクト層１１
にドープされたｐ型不純物の電気的活性化を行うととも
に、ｎ側電極１５のアロイ処理を行う。
【００４８】次に、リソグラフィーによりリッジ部１２
の領域を除いた領域の表面を覆うレジストパターン（図
示せず）を形成する。
【００４９】次に、レジストパターンをマスクとして絶
縁膜１３をエッチングすることにより開口１３ａを形成
し、リッジ部１２の上面を露出させる。
【００５０】次に、リソグラフィーによりｐ側電極形成
領域を除いた領域の表面を覆うレジストパターン（図示
せず）を形成する。
【００５１】次に、基板全面に例えば真空蒸着法により
Ｎｉ膜、Ｐｔ膜およびＡｕ膜を順次形成した後、レジス
トパターン２２をその上に形成されたＮｉ膜、Ｐｔ膜お
よびＡｕ膜とともに除去する。これによって、図１に示
すように、リッジ部１２にまたがって、Ｎｉ／Ｐｔ／Ａ
ｕ構造のｐ側電極１４が形成される。次に、例えば、窒
素ガス雰囲気中において６００℃で２０分熱処理を行う
ことにより、ｐ側電極１４のアロイ処理を行う。
【００５２】この後、上述のようにしてレーザ構造が形
成されたｃ面サファイア基板１をバー状に加工して両共
振器端面を形成し、さらに端面コーティングを施した
後、このバーをチップ化する。これによって、目的とす
るリッジ構造およびＳＣＨ構造のＧａＮ系半導体レーザ
が製造される。
【００５３】以上のように、この第１の実施形態によれ
ば、ｃ面サファイア基板１の一主面に凹部１ａを設け、
この一主面上に基板温度５２０℃でＧａＮバッファ層２
を成長させた後、基板温度を１０００℃に上昇させ、そ
の過程で、凹部１ａに埋め込まれたＧａＮバッファ層２
を固相成長により結晶化させるとともに、Ａｌを拡散さ
せてＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６とし、さらにこのＡｌx
Ｇａ1-x Ｎ結晶１６を核としてＧａＮバッファ層２全体
を結晶化させることによりＧａＮバッファ層２全体を結
晶化していることにより、このＧａＮバッファ層２上に
成長させるアンドープＧａＮ層３、ｎ型ＧａＮコンタク
ト層４、ｎ型ＡｌＧａＮクラッド層５、ｎ型ＧａＮ光導
波層６、Ｇａ1-x Ｉｎx Ｎ／Ｇａ1-y Ｉｎy Ｎ多重量子
井戸構造の活性層７、ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層８、ｐ
型ＧａＮ光導波層９、ｐ型ＡｌＧａＮクラッド層１０お
よびｐ型ＧａＮコンタクト層１１の結晶性も優れたもの
とすることができる。これによって、高性能、長寿命、
高信頼性のＧａＮ系半導体レーザを実現することができ
る。
【００５４】次に、この発明の第２の実施形態について
説明する。
【００５５】この第２の実施形態においては、第１の実
施形態と同様にして、ｃ面サファイア基板１の表面に凹
部１ａを形成した後、このｃ面サファイア基板１の表面
を高温、例えば１０００℃程度の温度で窒素を含む原料
ガス、例えばアンモニアガスにさらして窒化し、Ａｌと
Ｎとを含む窒化層を形成する。この後、第１の実施形態
と同様にして、ＧａＮバッファ層２の成長以降の工程を
進め、目的とするＧａＮ系半導体レーザを製造する。
【００５６】この第２の実施形態によれば、第１の実施
形態と同様な利点に加えて、次のような利点を得ること
ができる。すなわち、ｃ面サファイア基板１の表面に凹
部１ａを形成し、さらにこの表面に窒化層を形成してか
らＧａＮバッファ層２を成長させていることにより、こ
の窒化層と凹部１ａに埋め込まれたＧａＮバッファ層２
との間でのＡｌの拡散反応によってＧａＮバッファ層２
にＡｌが拡散し、逆に窒化層にＧａが拡散する。そし
て、この結果、Ａｌの拡散を大幅に促進することがで
き、Ａｌ組成比ｘの高いＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６を形
成する場合に有利となる。
【００５７】次に、この発明の第３の実施形態について
説明する。
【００５８】図７に示すように、この第３の実施形態に
よるＧａＮ系半導体レーザにおいては、ｃ面サファイア
基板１とＧａＮバッファ層２との界面全体に、結晶方位
のそろったＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６が凹部１ａを埋め
込むように形成されている。その他のことは第１の実施
形態によるＧａＮ系半導体レーザと同様である。
【００５９】この第３の実施形態によれば、第１の実施
形態と同様な利点を得ることができる。
【００６０】次に、この発明の第４の実施形態について
説明する。
【００６１】この第４の実施形態においては、第１の実
施形態と同様にしてｃ面サファイア基板１の表面に凹部
１ａを形成した後、基板温度を５２０℃に降下させ、基
板温度をこの温度から１０００℃まで上昇させながら、
ｃ面サファイア基板１上に直接アンドープＧａＮ層２を
成長させ、引き続いてその上に第１の実施形態と同様に
してｎ型ＧａＮコンタクト層３以降の層を成長させる。
このときのサーマルクリーニングから窒化物系ＩＩＩ−
Ｖ族化合物半導体層の成長までの基板温度シーケンスの
一例を図８に示す。
【００６２】この第４の実施形態によれば、ｃ面サファ
イア基板１の凹部１ａからアンドープＧａＮ層２の結晶
化が起きることにより、アンドープＧａＮ層２全体の結
晶性を優れたものとすることができ、これによってその
上に成長させる窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の
結晶性も優れたものとすることができる。
【００６３】次に、この発明の第５の実施形態について
説明する。
【００６４】図９および図１０に示すように、この第５
の実施形態によるＧａＮ系半導体レーザにおいては、ｃ
面サファイア基板１の表面に、一方向（例えば、〈１１
−２０〉方向）に互いに平行に延びる複数の直線状の凹
部１ａが設けられ、この凹部１ａの内部にＡｌx Ｇａ
1-x Ｎ結晶１６が埋め込まれている。その他のことは、
第１の実施形態と同様である。
【００６５】この第５の実施形態によるＧａＮ系半導体
レーザの製造方法は、ｃ面サファイア基板１の凹部１ａ
の形成方法が異なることを除いて、第１の実施形態によ
るＧａＮ系半導体レーザの製造方法と同様である。この
第５の実施形態においては、凹部１ａは、表面が平坦化
および鏡面化加工されたｃ面サファイア基板１上にリソ
グラフィーにより所定のストライプ形状のレジストパタ
ーン（図示せず）を形成した後、このレジストパターン
をマスクとしてｃ面サファイア基板１をドライエッチン
グにより所定深さまでエッチングすることにより形成す
る。
【００６６】この第５の実施形態によれば、第１の実施
形態と同様な利点を得ることができる。
【００６７】次に、この発明の第６の実施形態について
説明する。
【００６８】図１１および図１２に示すように、この第
６の実施形態によるＧａＮ系半導体レーザにおいては、
ｃ面サファイア基板１の表面に、六角形の平面形状の凹
部１ａが二次元アレイ状に設けられ、この凹部１ａの内
部にＡｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶１６が埋め込まれている。そ
の他のことは、第１の実施形態と同様である。
【００６９】この第５の実施形態によるＧａＮ系半導体
レーザの製造方法は、ｃ面サファイア基板１の凹部１ａ
の形成方法が異なることを除いて、第１の実施形態によ
るＧａＮ系半導体レーザの製造方法と同様である。すな
わち、この第５の実施形態においては、凹部１ａは、表
面が平坦化および鏡面化加工されたｃ面サファイア基板
１上にリソグラフィーにより所定の六角形状のレジスト
パターン（図示せず）を形成した後、このレジストパタ
ーンをマスクとしてｃ面サファイア基板１をドライエッ
チングにより所定深さまでエッチングすることにより形
成する。
【００７０】この第６の実施形態によれば、第１の実施
形態と同様な利点を得ることができる。
【００７１】以上、この発明の実施形態について具体的
に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定され
るものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の
変形が可能である。
【００７２】例えば、上述の第１〜第６の実施形態にお
いて挙げた数値、構造、原料、プロセスなどはあくまで
も例に過ぎず、必要に応じて、これらと異なる数値、構
造、原料、プロセスなどを用いてもよい。
【００７３】また、上述の第１〜第４の実施形態におい
ては、ＭＯＣＶＤ装置の反応管内でｃ面サファイア基板
１の表面をサーマルクリーニングすることにより凹部１
ａを形成しているが、別の装置でｃ面サファイア基板１
の表面にサーマルクリーニングにより凹部１ａを形成し
た後、このｃ面サファイア基板１をＭＯＣＶＤ装置の反
応管内に移してから再度サーマルクリーニングを行い、
その後成長を行うようにしてもよい。
【００７４】また、第１〜第３、第５および第６の実施
形態においては、バッファ層としてＧａＮバッファ層２
を成長させているが、バッファ層としては一般的にはＡ
ｌxＧａ1-x-y Ｉｎy Ｎ（０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０
≦ｘ＋ｙ≦１）層を用いることができる。
【００７５】さらに、上述の第１〜第６の実施形態にお
いては、この発明をＳＣＨ構造のＧａＮ系半導体レーザ
に適用した場合について説明したが、この発明は、ＤＨ
（Double Heterostructure）構造のＧａＮ系半導体レー
ザに適用することもできる。また、活性層７として単一
量子井戸構造のものを用いてもよい。また、レーザ構造
としては、利得導波型または屈折率導波型半導体レーザ
を実現するリッジ導波路型、内部電流狭窄型、構造基板
型、縦モード制御型（分布帰還（ＤＦＢ）型または分布
ブラッグ反射（ＤＢＲ）型半導体レーザ）などの各種の
ものを用いることができる。また、この発明は、ＧａＮ
系発光ダイオードに適用することもでき、さらには、Ｇ
ａＮ系ＦＥＴなどの電子走行素子に適用することもでき
る。
【００７６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、サファイア基板の一主面に複数の凹部が設けられて
いることにより、このサファイア基板上における窒化物
系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層の成長を複数の結晶方向
および結晶面によって制限することができる。このた
め、サファイア基板とその上に成長する窒化物系ＩＩＩ
−Ｖ族化合物半導体との結晶方位関係をより正確に一致
させることができ、窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体
層の結晶性を優れたものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの共振器長方向に垂直な断面図である。
【図２】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの一部を拡大して示す断面図である。
【図３】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザにおいてｃ面サファイア基板の表面に形成する
凹部の平面形状の例を示す平面図である。
【図４】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図５】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図６】この発明の第１の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの製造方法における基板温度シーケンスの一例
を示す略線図である。
【図７】この発明の第３の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの製造方法を説明するための断面図である。
【図８】この発明の第４の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの製造方法における基板温度シーケンスの一例
を示す略線図である。
【図９】この発明の第５の実施形態によるＧａＮ系半導
体レーザの一部を拡大して示す断面図である。
【図１０】この発明の第５の実施形態によるＧａＮ系半
導体レーザの製造方法を説明するための平面図である。
【図１１】この発明の第６の実施形態によるＧａＮ系半
導体レーザの一部を拡大して示す断面図である。
【図１２】この発明の第６の実施形態によるＧａＮ系半
導体レーザの製造方法を説明するための平面図である。
【符号の説明】
１・・・ｃ面サファイア基板、１ａ・・・凹部、２・・
・ＧａＮバッファ層、３・・・アンドープＧａＮ層、４
・・・ｎ型ＧａＮコンタクト層、５・・・ｎ型ＡｌＧａ
Ｎクラッド層、６・・・ｎ型ＧａＮ光導波層、７・・・
活性層、８・・・ｐ型ＡｌＧａＮキャップ層、９・・・
ｐ型ＧａＮ光導波層、１０・・・ｐ型ＡｌＧａＮクラッ
ド層、１１・・・ｐ型ＧａＮコンタクト層、１２・・・
リッジ部、１３・・・絶縁膜、１４・・・ｐ側電極、１
５・・・ｎ側電極、１６・・・Ａｌx Ｇａ1-x Ｎ結晶

Claims (31)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 サファイア基板上に成長させた窒化物系
    ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を用いた半導体装置におい
    て、 上記サファイア基板と上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物
    半導体層との界面における上記サファイア基板に凹部が
    設けられていることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項２】 上記凹部の内面の少なくとも一部が上記
    サファイア基板の上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体層側の一主面に対して１０度以上の角度をなすことを
    特徴とする請求項１記載の半導体装置。
  3. 【請求項３】 上記サファイア基板の上記窒化物系ＩＩ
    Ｉ−Ｖ族化合物半導体層側の一主面がサファイア結晶の
    （０００１）面または（０００１）面から微小角度傾斜
    した面からなることを特徴とする請求項１記載の半導体
    装置。
  4. 【請求項４】 上記凹部は深さが２５ｎｍ以上、幅が３
    ０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項１記載の半導体
    装置。
  5. 【請求項５】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体
    層よりもＡｌ組成比が大きい窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合
    物半導体結晶が上記凹部の内部に埋め込まれていること
    を特徴とする請求項１記載の半導体装置。
  6. 【請求項６】 上記凹部は深さが１０ｎｍ以上、幅が３
    ０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項５記載の半導体
    装置。
  7. 【請求項７】 上記サファイア基板と上記窒化物系ＩＩ
    Ｉ−Ｖ族化合物半導体層との界面に上記窒化物系ＩＩＩ
    −Ｖ族化合物半導体層よりもＡｌ組成比が大きい窒化物
    系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶が上記凹部の内部を埋
    め込むように設けられていることを特徴とする請求項１
    記載の半導体装置。
  8. 【請求項８】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体
    層がＡｌx1Ｇａ1-x1-y1 Ｉｎy1Ｎ（０≦ｘ１≦１、０≦
    ｙ１≦１、０≦ｘ１＋ｙ１≦１）からなり、上記窒化物
    系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶がＡｌx2Ｇａ1-x2-y2
    Ｉｎy2Ｎ（０≦ｘ２≦１、０≦ｙ２≦１、０≦ｘ２＋ｙ
    ２≦１）からなるとき、ｘ２−ｘ１≧０．１であること
    を特徴とする請求項６記載の半導体装置。
  9. 【請求項９】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体
    層がＡｌx1Ｇａ1-x1-y1 Ｉｎy1Ｎ（０≦ｘ１≦１、０≦
    ｙ１≦１、０≦ｘ１＋ｙ１≦１）からなり、上記窒化物
    系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶がＡｌx2Ｇａ1-x2-y2
    Ｉｎy2Ｎ（０≦ｘ２≦１、０≦ｙ２≦１、０≦ｘ２＋ｙ
    ２≦１）からなるとき、ｘ２−ｘ１≧０．１であること
    を特徴とする請求項７記載の半導体装置。
  10. 【請求項１０】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体層がＧａＮ層である場合において、上記窒化物系ＩＩ
    Ｉ−Ｖ族化合物半導体結晶が０．２≦ｘ≦１のＡｌx Ｇ
    ａ1-x Ｎからなることを特徴とする請求項５記載の半導
    体装置。
  11. 【請求項１１】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体結晶が０．２≦ｘ≦１のＡｌx Ｇａ1-x Ｎからなるこ
    とを特徴とする請求項７記載の半導体装置。
  12. 【請求項１２】 上記凹部の内部に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
    族化合物半導体結晶が埋め込まれており、上記窒化物系
    ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の部分の透過電子顕微鏡
    像においてモアレ縞が観察されることを特徴とする請求
    項１記載の半導体装置。
  13. 【請求項１３】 上記凹部の内部に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ
    族化合物半導体結晶が埋め込まれており、上記窒化物系
    ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶の（０００２）反射とサ
    ファイア結晶の（０００６）反射とを少なくとも励起し
    た透過電子顕微鏡像において、上記凹部の部分に間隔が
    １．３７〜１．６７ｎｍのモアレ縞が観察されることを
    特徴とする請求項１記載の半導体装置。
  14. 【請求項１４】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体結晶の（０００２）反射とサファイア結晶の（０００
    ６）反射とを少なくとも励起した透過電子顕微鏡像にお
    いて、上記凹部の部分に間隔が１．３７〜１．６７ｎｍ
    のモアレ縞が観察されることを特徴とする請求項１０記
    載の半導体装置。
  15. 【請求項１５】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体結晶の（０００２）反射とサファイア結晶の（０００
    ６）反射とを少なくとも励起した透過電子顕微鏡像にお
    いて、上記凹部の部分に間隔が１．３７〜１．６７ｎｍ
    のモアレ縞が観察されることを特徴とする請求項１１記
    載の半導体装置。
  16. 【請求項１６】 サファイア基板上に成長させた窒化物
    系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を用いた半導体装置の製
    造方法において、 サファイア基板の一主面に凹部を形成した後、上記サフ
    ァイア基板の上記一主面上に窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合
    物半導体層を成長させるようにしたことを特徴とする半
    導体装置の製造方法。
  17. 【請求項１７】 上記凹部の内面の少なくとも一部が上
    記サファイア基板の上記一主面に対して１０度以上の角
    度をなすことを特徴とする請求項１６記載の半導体装置
    の製造方法。
  18. 【請求項１８】 上記サファイア基板の上記一主面がサ
    ファイア結晶の（０００１）面または（０００１）面か
    ら微小角度傾斜した面からなることを特徴とする請求項
    １６記載の半導体装置の製造方法。
  19. 【請求項１９】 上記凹部は深さが２５ｎｍ以上、幅が
    ３０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項１６記載の半
    導体装置の製造方法。
  20. 【請求項２０】 上記サファイア基板の上記一主面上に
    第１の温度の基板温度で窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半
    導体からなるバッファ層を成長させ、次いで基板温度を
    上記第１の温度から上記第１の温度よりも高い第２の温
    度に昇温した後、上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体層を成長させるようにしたことを特徴とする請求項１
    ６記載の半導体装置の製造方法。
  21. 【請求項２１】 上記サファイア基板上に基板温度を第
    ３の温度からこの第３の温度よりも高い第４の温度に昇
    温しながら窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体からなる
    バッファ層を成長させるようにしたことを特徴とする請
    求項１６記載の半導体装置の製造方法。
  22. 【請求項２２】 上記サファイア基板上に基板温度を第
    ５の温度からこの第５の温度よりも高い第６の温度に昇
    温しながら窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を直接
    成長させるようにしたことを特徴とする請求項１６記載
    の半導体装置の製造方法。
  23. 【請求項２３】 上記基板温度の昇温時の熱処理によ
    り、上記サファイア基板の上記凹部の内部に埋め込まれ
    た上記バッファ層を結晶化または結晶性を向上させると
    ともに、上記サファイア基板のＡｌを上記バッファ層に
    拡散させることにより、少なくとも上記サファイア基板
    の上記凹部の内部に埋め込まれた、上記窒化物系ＩＩＩ
    −Ｖ族化合物半導体層よりもＡｌ組成比が高い窒化物系
    ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶を形成するようにしたこ
    とを特徴とする請求項２１記載の半導体装置の製造方
    法。
  24. 【請求項２４】 上記基板温度の昇温時の熱処理によ
    り、上記サファイア基板の上記凹部の内部に埋め込まれ
    た上記バッファ層を結晶化または結晶性を向上させると
    ともに、上記サファイア基板のＡｌを上記バッファ層に
    拡散させることにより、少なくとも上記サファイア基板
    の上記凹部の内部に埋め込まれた、上記窒化物系ＩＩＩ
    −Ｖ族化合物半導体層よりもＡｌ組成比が高い窒化物系
    ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶を形成するようにしたこ
    とを特徴とする請求項２２記載の半導体装置の製造方
    法。
  25. 【請求項２５】 上記基板温度の昇温時の熱処理によ
    り、上記サファイア基板の上記凹部の内部に埋め込まれ
    た上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層を結晶化ま
    たは結晶性を向上させるとともに、上記サファイア基板
    のＡｌを上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導体層に拡
    散させることにより、少なくとも上記サファイア基板の
    上記凹部の内部に埋め込まれた、上記窒化物系ＩＩＩ−
    Ｖ族化合物半導体層よりもＡｌ組成比が高い窒化物系Ｉ
    ＩＩ−Ｖ族化合物半導体結晶を形成するようにしたこと
    を特徴とする請求項２３記載の半導体装置の製造方法。
  26. 【請求項２６】 上記凹部は深さが１０ｎｍ以上、幅が
    ３０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項２３記載の半
    導体装置の製造方法。
  27. 【請求項２７】 上記凹部は深さが１０ｎｍ以上、幅が
    ３０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項２４記載の半
    導体装置の製造方法。
  28. 【請求項２８】 上記凹部は深さが１０ｎｍ以上、幅が
    ３０ｎｍ以上あることを特徴とする請求項２５記載の半
    導体装置の製造方法。
  29. 【請求項２９】 上記バッファ層を成長させる前に上記
    サファイア基板の上記一主面を窒化しておくようにした
    ことを特徴とする請求項２０記載の半導体装置の製造方
    法。
  30. 【請求項３０】 上記バッファ層を成長させる前に上記
    サファイア基板の上記一主面を窒化しておくようにした
    ことを特徴とする請求項２１記載の半導体装置の製造方
    法。
  31. 【請求項３１】 上記窒化物系ＩＩＩ−Ｖ族化合物半導
    体層を成長させる前に上記サファイア基板の上記一主面
    を窒化しておくようにしたことを特徴とする請求項２２
    記載の半導体装置の製造方法。
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