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DE602006019688D1 - Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler - Google Patents

Durchflusssensor mit durchflussanpassbarem Analog-Digital-Wandler

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Publication number
DE602006019688D1
DE602006019688D1 DE602006019688T DE602006019688T DE602006019688D1 DE 602006019688 D1 DE602006019688 D1 DE 602006019688D1 DE 602006019688 T DE602006019688 T DE 602006019688T DE 602006019688 T DE602006019688 T DE 602006019688T DE 602006019688 D1 DE602006019688 D1 DE 602006019688D1
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DE
Germany
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flow
digital converter
flow sensor
adaptable
analog
Prior art date
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Active
Application number
DE602006019688T
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English (en)
Inventor
Felix Mayer
Moritz Lechner
Mark Hornung
Waldkirch Marc Von
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Sensirion Holding AG
Original Assignee
Sensirion Holding AG
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Publication date
Application filed by Sensirion Holding AG filed Critical Sensirion Holding AG
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    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • G01F1/6845—Micromachined devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
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    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
    • G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
    • G01F1/699—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters by control of a separate heating or cooling element

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