CN210776186U - 一种电子元件生产的光刻装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体、支撑底座，所述光刻机本体的下方设置有支撑底座，支撑底座的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的上端与光刻机本体固定连接，支撑底座的为圆形，支撑底座的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座内侧设置有若干个卡托件、托板一，托板一位于卡托件的下方，支撑底座的内底部设置有圆台，所述光刻机本体的一侧设置有控制件，控制件上设置有显示面板和操作面板，本实用新型多种卡接结构，对不同型号的晶圆进行卡接固定，且卡托件采用螺纹固定，便于取下。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种光刻装置，具体是一种电子元件生产的光刻装置。
背景技术
光刻机/紫外曝光机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
但是，现有的光刻装置不能对不同大小的晶圆进行固定，且支撑选用卡接的方式固定。因此，本领域技术人员提供了一种电子元件生产的光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种电子元件生产的光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体、支撑底座，所述光刻机本体的下方设置有支撑底座，支撑底座的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆，电动伸缩杆的上端与光刻机本体固定连接，支撑底座的为圆形，支撑底座的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座内侧设置有若干个卡托件、托板一，托板一位于卡托件的下方，支撑底座的内底部设置有圆台。
作为本实用新型再进一步的方案：所述光刻机本体的一侧设置有控制件，控制件上设置有显示面板和操作面板。
作为本实用新型再进一步的方案：所述卡托件包括套管、托板二、滑杆、螺纹杆，套管的左端固定有螺纹杆，套管内环的设置有滑杆，滑杆的左侧设置有弹簧二，弹簧二的左端固定有连接板，连接板与套管固定，滑杆的右端固定有托板二和缓冲垫，缓冲垫位于托板二的上方。
作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑底座的内侧开设有若干个滑槽，滑槽内滑动设置有滑板，滑板的一侧固定有弹簧一，弹簧一与滑槽内壁固定。
作为本实用新型再进一步的方案：所述圆台的上端设置有保护垫，圆台的下端固定有圆柱，圆柱与支撑底座螺纹连接，保护垫8上端开设有圆槽，放置晶圆，对晶圆进行限位，防止偏移。
作为本实用新型再进一步的方案：所述支撑底座的上端固定有若干个支撑足。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型多种卡接结构，对不同型号的晶圆进行卡接固定，且卡托件采用螺纹固定，便于取下。
2、本实用新型可以对晶圆进行卡接固定和圆台支撑，便于进行不同的操作。
附图说明
图1为一种电子元件生产的光刻装置的结构示意图。
图2为一种电子元件生产的光刻装置中卡托件结构示意图。
图3为一种电子元件生产的光刻装置中托板二的俯视结构示意图。
图中：1、光刻机本体；2、支撑底座；3、电动伸缩杆；4、支撑足；5、滑槽；6、弹簧一；7、圆台；8、保护垫；9、圆柱；10、托板一；11、滑板；12、卡托件；13、套管；14、托板二；15、缓冲垫；16、滑杆；17、弹簧二；18、连接板；19、螺纹杆；20、控制件；21、显示面板；22、操作面板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～3，本实用新型实施例中，一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体1、支撑底座2，所述光刻机本体1的下方设置有支撑底座2，支撑底座2的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆3，电动伸缩杆3的上端与光刻机本体1固定连接，支撑底座2的为圆形，支撑底座2的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座2内侧设置有若干个卡托件12、托板一10，托板一10位于卡托件12的下方，支撑底座2的内底部设置有圆台7。
进一步的，所述光刻机本体1的一侧设置有控制件20，控制件20上设置有显示面板21和操作面板22。
进一步的，所述卡托件12包括套管13、托板二14、滑杆16、螺纹杆19，套管13的左端固定有螺纹杆19，套管13内环的设置有滑杆16，滑杆16的左侧设置有弹簧二17，弹簧二17的左端固定有连接板18，连接板18与套管13固定，滑杆16的右端固定有托板二14和缓冲垫15，缓冲垫15位于托板二14的上方。
进一步的，所述支撑底座2的内侧开设有若干个滑槽5，滑槽5内滑动设置有滑板11，滑板11的一侧固定有弹簧一6，弹簧一6与滑槽5内壁固定，所述圆台7的上端设置有保护垫8，圆台7的下端固定有圆柱9，圆柱9与支撑底座2螺纹连接，所述支撑底座2的上端固定有若干个支撑足4。
具体的，本实用新型在使用时，根据实际的晶圆大小选用卡托件12或者托板一10、圆台7对晶圆进行固定，可以适应不同的晶圆体的大小，且卡托件12通过套管13和滑杆16可以进行卡接，托板一10通过滑板11在滑槽5内滑动卡接，圆台7可以对晶圆起到支撑作用，且卡托件12可以通过螺纹杆19旋转下来便于收纳，避免影响托板一10的使用，电动伸缩杆3起到支撑作用，同时调节高度，便于光刻机本体1工作。
本实用新型的工作原理是：
本实用新型在使用时，根据实际的晶圆大小选用卡托件12或者托板一10、圆台7对晶圆进行固定，可以适应不同的晶圆体的大小，且卡托件12通过套管13和滑杆16可以进行卡接，托板一10通过滑板11在滑槽5内滑动卡接，圆台7可以对晶圆起到支撑作用，且卡托件12可以通过螺纹杆19旋转下来便于收纳，避免影响托板一10的使用，电动伸缩杆3起到支撑作用，同时调节高度，便于光刻机本体1工作。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种电子元件生产的光刻装置，包括光刻机本体（1）、支撑底座（2），其特征在于，所述光刻机本体（1）的下方设置有支撑底座（2），支撑底座（2）的上端开设有若干个槽，槽内设置有电动伸缩杆（3），电动伸缩杆（3）的上端与光刻机本体（1）固定连接，支撑底座（2）的为圆形，支撑底座（2）的上端中部开设有阶梯状的槽，支撑底座（2）内侧设置有若干个卡托件（12）、托板一（10），托板一（10）位于卡托件（12）的下方，支撑底座（2）的内底部设置有圆台（7）。
2.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述光刻机本体（1）的一侧设置有控制件（20），控制件（20）上设置有显示面板（21）和操作面板（22）。
3.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述卡托件（12）包括套管（13）、托板二（14）、滑杆（16）、螺纹杆（19），套管（13）的左端固定有螺纹杆（19），套管（13）内环的设置有滑杆（16），滑杆（16）的左侧设置有弹簧二（17），弹簧二（17）的左端固定有连接板（18），连接板（18）与套管（13）固定，滑杆（16）的右端固定有托板二（14）和缓冲垫（15），缓冲垫（15）位于托板二（14）的上方。
4.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支撑底座（2）的内侧开设有若干个滑槽（5），滑槽（5）内滑动设置有滑板（11），滑板（11）的一侧固定有弹簧一（6），弹簧一（6）与滑槽（5）内壁固定。
5.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述圆台（7）的上端设置有保护垫（8），圆台（7）的下端固定有圆柱（9），圆柱（9）与支撑底座（2）螺纹连接，保护垫（8）上端开设有圆槽。
6.根据权利要求1所述的一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支撑底座（2）的上端固定有若干个支撑足（4）。
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