CN108663912A - 一种电子元件生产的光刻装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种电子元件生产的光刻装置，包括底座；底座安装有侧板，侧板的顶部安装有顶板，顶板底部的左右两侧对称固定安装有第一机架和第二机架，第一机架和第二机架的内侧转动安装有第二螺杆和第三螺杆，第二螺杆和第三螺杆上均螺纹连接有第二螺套和第三螺套，第二螺套和第三螺套均与顶板滑动连接，第三螺套的内侧固定安装有电机罩，电机罩的内部固定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有第一螺杆，第一螺杆上螺纹连接有第一螺套，第一螺套的下侧固定安装有伸缩装置，伸缩装置的伸缩端固定连接有光刻机；所述底座上的中间位置固定安装有固定装置。本发明能够精确地改变光刻机的位置，提高光刻作业的便捷性，操作简单，使用方便。

Description

一种电子元件生产的光刻装置

技术领域

本发明涉及一种光刻装置，具体是一种电子元件生产的光刻装置。

背景技术

光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。在晶圆的制造过程中，晶体三极管、二极管、电容、电阻和金属层的各种物理部件在晶圆表面或表层内构成。这些部件是每次在一个掩膜层上生成的，并且结合生成薄膜及去除特定部分，通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留特征图形的部分。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。

光刻是所有四个基本工艺中最关键的。光刻确定了器件的关键尺寸。光刻过程中的错误可造成图形歪曲或套准不好，最终可转化为对器件的电特性产生影响。图形的错位也会导致类似的不良结果。光刻工艺中的另一个问题是缺陷。光刻是高科技版本的照相术，只不过是在难以置信的微小尺寸下完成。在制程中的污染物会造成缺陷。事实上由于光刻在晶圆生产过程中要完成5层至20层或更多，所以污染问题将会放大。

光刻机/紫外曝光机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。光刻意思是用光来制作一个图形(工艺)；在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界上已有7000万美金的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花，其制造难度之大，全世界只有少数几家公司能够制造。

现有的光刻装置在使用时难以对不同直径的晶圆进行固定，从而影响光刻装置的使用，同时现有的光刻装置在对光刻机的位置进行调节时并不十分精确，从而影响光刻机的使用，进一步影响光刻效果，增加了电子元件生产时残次品的概率，降低了企业的经济效益。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子元件生产的光刻装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种电子元件生产的光刻装置，包括底座，所述底座的左右两侧对称固定安装有两块侧板，侧板的顶部固定安装有顶板；所述顶板底部的左右两侧对称固定安装有第一机架和第二机架，第一机架和第二机架的内侧转动安装有第二螺杆和第三螺杆,第二螺杆和第三螺杆的下端通过皮带传动连接；所述第二螺杆和第三螺杆上均螺纹连接有第二螺套和第三螺套，第二螺套和第三螺套均与顶板滑动连接；所述第三螺套的内侧固定安装有电机罩，电机罩的内部固定安装有第一电机，第一电机的输出端固定安装有第一螺杆，第一螺杆的另一端与第二螺套转动连接；所述第一螺杆上螺纹连接有第一螺套，第一螺套的上端与顶板滑动连接；所述第一螺套的下侧固定安装有伸缩装置，伸缩装置的伸缩端固定连接有光刻机；所述底座上的中间位置固定安装有固定装置，固定装置为中间开有圆槽的块状结构；所述固定装置位于圆槽的周围均匀开设有若干滑槽，滑槽的内部滑动安装有滑块，滑块的一端通过伸缩弹簧与滑槽固定连接，滑块的另一端固定安装有卡块。

作为本发明进一步的方案：所述顶板的底部还固定安装有第二电机。

作为本发明再进一步的方案：所述第二电机的输出端通过锥齿轮组与第三螺杆传动连接。

作为本发明再进一步的方案：所述卡块为弧形结构。

作为本发明再进一步的方案：所述底座的四角处均固定安装有支架。

作为本发明再进一步的方案：所述支架的下端滑动安装有支腿。

作为本发明再进一步的方案：所述支腿的一端通过减震弹簧与支架固定连接。

作为本发明再进一步的方案：所述支腿的另一端固定安装有防滑脚垫。

作为本发明再进一步的方案：所述第一电机和第二电机均为步进电机结构，第一电机和第二电机的型号为35BYG250B-0081。

作为本发明再进一步的方案：所述侧板的外侧还固定安装有显示屏，显示屏与光刻机电性连接。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过第一螺杆和第一螺套之间的配合带动光刻机横向移动，通过第二螺杆、第三螺杆和第二螺套以及第三螺套之间的配合带动光刻机竖向移动，从而能够精确地改变光刻机的位置，提高光刻作业的便捷性，同时利用固定装置对晶圆进行固定，固定装置能够根据晶圆大小进行调整，操作简单，使用方便。

附图说明

图1为电子元件生产的光刻装置的结构示意图。

图2为电子元件生产的光刻装置中顶板的仰视图。

图3为电子元件生产的光刻装置中固定装置的结构示意图。

图中：1-底座、2-侧板、3-顶板、4-第一机架、5-第一螺杆、6-第一螺套、7-第二机架、8-伸缩装置、9-光刻机、10-固定装置、11-显示屏、12-支架、13-减震弹簧、14-支腿、15-防滑脚垫、16-第二螺杆、17-第二螺套、18-皮带、19-第三螺杆、20-第三螺套、21-电机罩、22-第一电机、23-锥齿轮组、24-第二电机、25-滑槽、26-伸缩弹簧、27-滑块、28-卡块。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1～3，本发明实施例中，一种电子元件生产的光刻装置，包括底座1，所述底座1的左右两侧对称固定安装有两块侧板2，侧板2的顶部固定安装有顶板3；所述顶板3底部的左右两侧对称固定安装有第一机架4和第二机架7，第一机架4和第二机架7的内侧转动安装有第二螺杆16和第三螺杆19,第二螺杆16和第三螺杆19的下端通过皮带18传动连接，顶板3的底部还固定安装有第二电机24，第二电机24的输出端通过锥齿轮组23与第三螺杆19传动连接，以便带动第三螺杆19转动，进而通过皮带18带动第二螺杆16同时转动；所述第二螺杆16和第三螺杆19上均螺纹连接有第二螺套17和第三螺套20，第二螺套17和第三螺套20均与顶板3滑动连接，当第二螺杆16和第三螺杆19同时转动时带动第二螺套17和第三螺套20同时向前滑动或向后滑动；所述第三螺套20的内侧固定安装有电机罩21，电机罩21的内部固定安装有第一电机22，第一电机22的输出端固定安装有第一螺杆5，第一螺杆5的另一端与第二螺套17转动连接；所述第一螺杆5上螺纹连接有第一螺套6，第一螺套6的上端与顶板3滑动连接，第一螺杆5转动时带动第一螺套6向左或者向右滑动；所述第一螺套6的下侧固定安装有伸缩装置8，伸缩装置8的伸缩端固定连接有光刻机9，以便对晶圆进行光刻作业；所述底座1上的中间位置固定安装有固定装置10，固定装置10为中间开有圆槽的块状结构，以便晶圆的放置；所述固定装置10位于圆槽的周围均匀开设有若干滑槽25，滑槽25的内部滑动安装有滑块27，滑块27的一端通过伸缩弹簧26与滑槽25固定连接，滑块27的另一端固定安装有卡块28，卡块28为弧形结构，以便对晶圆进行固定；所述底座1的四角处均固定安装有支架12，支架12的下端滑动安装有支腿14，支腿14的一端通过减震弹簧13与支架12固定连接，支腿14的另一端固定安装有防滑脚垫15，以便保持装置的稳定性；所述第一电机22和第二电机24均为步进电机结构，第一电机22和第二电机24的型号为35BYG250B-0081；所述侧板2的外侧还固定安装有显示屏11，显示屏11与光刻机9电性连接，以便实时显示光刻机9的工作状态。

本发明的工作原理是：所述电子元件生产的光刻装置，将待刻录的晶圆放入固定装置10的内部，拨动滑块27，通过卡块28对晶圆进行固定，启动第一电机22和第二电机24，调节光刻机9的位置，伸长伸缩装置8，使光刻机9贴近晶圆，以便进行光刻作业，在光刻过程中，通过显示屏11观察光刻机9的位置，以便对光刻机9的位置进行实时调整。

本发明通过第一螺杆和第一螺套之间的配合带动光刻机横向移动，通过第二螺杆、第三螺杆和第二螺套以及第三螺套之间的配合带动光刻机竖向移动，从而能够精确地改变光刻机的位置，提高光刻作业的便捷性，同时利用固定装置对晶圆进行固定，固定装置能够根据晶圆大小进行调整，操作简单，使用方便。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种电子元件生产的光刻装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)的左右两侧对称固定安装有两块侧板(2)，侧板(2)的顶部固定安装有顶板(3)；所述顶板(3)底部的左右两侧对称固定安装有第一机架(4)和第二机架(7)，第一机架(4)和第二机架(7)的内侧转动安装有第二螺杆(16)和第三螺杆(19),第二螺杆(16)和第三螺杆(19)的下端通过皮带(18)传动连接；所述第二螺杆(16)和第三螺杆(19)上均螺纹连接有第二螺套(17)和第三螺套(20)，第二螺套(17)和第三螺套(20)均与顶板(3)滑动连接；所述第三螺套(20)的内侧固定安装有电机罩(21)，电机罩(21)的内部固定安装有第一电机(22)，第一电机(22)的输出端固定安装有第一螺杆(5)，第一螺杆(5)的另一端与第二螺套(17)转动连接；所述第一螺杆(5)上螺纹连接有第一螺套(6)，第一螺套(6)的上端与顶板(3)滑动连接；所述第一螺套(6)的下侧固定安装有伸缩装置(8)，伸缩装置(8)的伸缩端固定连接有光刻机(9)；所述底座(1)上的中间位置固定安装有固定装置(10)，固定装置(10)为中间开有圆槽的块状结构；所述固定装置(10)位于圆槽的周围均匀开设有若干滑槽(25)，滑槽(25)的内部滑动安装有滑块(27)，滑块(27)的一端通过伸缩弹簧(26)与滑槽(25)固定连接，滑块(27)的另一端固定安装有卡块(28)。

2.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述顶板(3)的底部还固定安装有第二电机(24)。

3.根据权利要求2所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述第二电机(24)的输出端通过锥齿轮组(23)与第三螺杆(19)传动连接。

4.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述卡块(28)为弧形结构。

5.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述底座(1)的四角处均固定安装有支架(12)。

6.根据权利要求5所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支架(12)的下端滑动安装有支腿(14)。

7.根据权利要求6所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支腿(14)的一端通过减震弹簧(13)与支架(12)固定连接。

8.根据权利要求7所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述支腿(14)的另一端固定安装有防滑脚垫(15)。

9.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述第一电机(22)和第二电机(24)均为步进电机结构，第一电机(22)和第二电机(24)的型号为35BYG250B-0081。

10.根据权利要求1所述的电子元件生产的光刻装置，其特征在于，所述侧板(2)的外侧还固定安装有显示屏(11)，显示屏(11)与光刻机(9)电性连接。