CN210270511U - 一种多功能的半导体光罩用支撑装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种多功能的半导体光罩用支撑装置，包括底板，所述底板的顶面靠近前侧边缘处紧密粘接有支柱，所述支柱的顶端紧密粘接有横梁，所述横梁的下方从上至下依次设有光罩固定装置和聚光装置；该多功能的半导体光罩用支撑装置通过设有的底板、支柱以及光罩固定装置等，即紫外灯进行灯光投射，从而透过凸透镜在晶圆上形成微影成像，同时使用人员可以根据设有的螺纹杆、滑套、滑块以及条形槽等，便于对光罩固定装置和聚光装置的高度进行调节，进而调节了成像的大小，该设计简单易操作，便于光罩进行曝光，解决了现有的光罩缺少相应的支撑架的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种多功能的半导体光罩用支撑装置。
背景技术
在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，光罩又称光掩模版、掩膜版，其由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为：曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻；
现有的光罩在进行曝光时，缺少相应的支撑架用于固定光罩，且光罩在进行曝光时，难以对光罩与晶圆之间的距离进行调节，鉴于此，我们提出一种多功能的半导体光罩用支撑装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种多功能的半导体光罩用支撑装置，以解决上述背景技术中提出的现有的光罩缺少相应的支撑架的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种多功能的半导体光罩用支撑装置，包括底板，所述底板的顶面靠近前侧边缘处紧密粘接有支柱，所述支柱的顶端紧密粘接有横梁，所述横梁的下方从上至下依次设有光罩固定装置和聚光装置；所述底板的顶面开设有圆槽，所述圆槽内嵌设有第一玻璃板，所述第一玻璃板上设有晶圆板；所述支柱的后侧面上开设有条形槽，所述条形槽内通过轴承转动连接的设有螺纹杆，所述螺纹杆的顶端穿过所述支柱的顶面，且所述螺纹杆的顶端同轴紧密粘接有调节螺旋；所述聚光装置包括矩形板，所述矩形板上开设有聚光孔，所述聚光孔内嵌设有凸透镜，所述矩形板的前侧面紧密粘接有滑套，所述滑套与所述支柱滑动连接；所述光罩固定装置包括固定板和固定板上方的活动板，所述固定板的顶面开设有通孔，所述通孔上嵌设有第二玻璃板，所述固定板的顶面上对称紧密粘接有凸耳，所述活动板上开设有凹槽，所述凹槽内嵌设有第三玻璃板，所述活动板左右侧面靠近前端处对称紧密粘接有转轴，且所述转轴与所述凸耳转动连接；所述固定板的前侧面上紧密粘接有滑块，所述滑块上开设有螺纹孔，所述螺纹孔与所述螺纹杆螺纹连接。
优选的，所述横梁的底面设有紫外灯，且所述紫外灯通过灯座与横梁固定连接。
优选的，所述凹槽、所述通孔、所述聚光孔和所述圆槽均位于同一竖直面上。
优选的，所述滑套上螺纹连接卡紧螺丝。
优选的，所述紫外灯位于所述凹槽的正上方。
优选的，所述调节螺旋通过轴承与所述支柱的顶面转动连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：该多功能的半导体光罩用支撑装置通过设有的底板、支柱以及光罩固定装置等，即紫外灯进行灯光投射，从而透过凸透镜在晶圆上形成微影成像，同时使用人员可以根据设有的螺纹杆、滑套、滑块以及条形槽等，便于对光罩固定装置和聚光装置的高度进行调节，进而调节了成像的大小，该设计简单易操作，便于光罩进行曝光，解决了现有的光罩缺少相应的支撑架的问题。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型中的部分结构示意图；
图3为本实用新型中的部分爆炸结构示意图；
图4为本实用新型中聚光装置的结构示意图；
图5为本实用新型中光罩固定装置的结构示意图；
图6为本实用新型中光罩固定装置的爆炸结构示意图。
图中：1、底板；11、圆槽；12、晶圆板；13、第一玻璃板；2、支柱；21、条形槽；22、螺纹杆；23、调节螺旋；3、横梁；4、聚光装置；41、矩形板；411、聚光孔；412、凸透镜；42、滑套；43、卡紧螺丝；5、光罩固定装置；51、固定板；511、凸耳；512、通孔；5121、第二玻璃板；52、活动板；521、凹槽；5211、第三玻璃板；522、转轴；53、滑块；531、螺纹孔；6、紫外灯。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
实施例1
一种多功能的半导体光罩用支撑装置，如图1至图6所示，包括底板1，底板1的顶面靠近前侧边缘处紧密粘接有支柱2，支柱2的顶端紧密粘接有横梁3，横梁3的下方从上至下依次设有光罩固定装置5和聚光装置4；底板1的顶面开设有圆槽11，圆槽11内嵌设有第一玻璃板13，第一玻璃板13上设有晶圆板12；支柱2的后侧面上开设有条形槽21，条形槽21内通过轴承转动连接的设有螺纹杆22，螺纹杆22的顶端穿过支柱2的顶面，且螺纹杆22的顶端同轴紧密粘接有调节螺旋23；聚光装置4包括矩形板41，矩形板41上开设有聚光孔411，聚光孔411内嵌设有凸透镜412，矩形板41的前侧面紧密粘接有滑套42，滑套42与支柱2滑动连接；光罩固定装置5包括固定板51和固定板51上方的活动板52，固定板51的顶面开设有通孔512，通孔512上嵌设有第二玻璃板5121，固定板51的顶面上对称紧密粘接有凸耳511，活动板52上开设有凹槽521，凹槽521内嵌设有第三玻璃板5211，活动板52左右侧面靠近前端处对称紧密粘接有转轴522，且转轴522与凸耳511转动连接；固定板51的前侧面上紧密粘接有滑块53，滑块53上开设有螺纹孔531，螺纹孔531与螺纹杆22螺纹连接。
具体的，横梁3的底面设有紫外灯6，且紫外灯6通过灯座与横梁3固定连接，紫外灯6用于给曝光提供光源。
具体的，凹槽521、通孔512、聚光孔411和圆槽11均位于同一竖直面上，其保证了光罩能够在晶圆板12上形成正投影。
具体的，滑套42上螺纹连接卡紧螺丝43，通过卡紧螺丝43便于固定柱滑套42，同时也便于调节聚光装置4。
进一步的，紫外灯6位于凹槽521的正上方，其便于紫外灯6能够透过光罩在晶圆板12上形成正投影。
除此之外，调节螺旋23通过轴承与支柱2的顶面转动连接，轴承一方面给调节螺旋23提供了支撑的作用，另一方面，支持了调节螺旋23的转动。
本实施例的多功能的半导体光罩用支撑装置在使用前，使用人员首先转动调节螺旋23，同时螺纹杆22转动，在螺纹孔531的作用下，滑块53在条形槽21内沿螺纹杆22运动，此时滑块53带动光罩固定装置5在竖直方向上运动，同时使用人员向上掀起活动板52，同时转轴522沿凸耳511转动，随后使用人员将光罩放置在通孔512内的第二玻璃板5121上，同时使用人盖上活动板52，接下来使用人员拧松卡紧螺丝43，并移动滑套42，从而调节了聚光装置4的高度，此时拧紧卡紧螺丝43，即可固定聚光装置4，最后使用人员在晶圆板12上涂抹光阻溶液，并件晶圆板12放置在圆槽11内的第一玻璃板13上；
本实施例的多功能的半导体光罩用支撑装置在使用时，使用人员接通紫外灯6的电源，此时光源依次穿过凹槽521内的第三玻璃板5211、通孔512内的第二玻璃板5121和凸透镜412并在晶圆板12上成像。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种多功能的半导体光罩用支撑装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶面靠近前侧边缘处紧密粘接有支柱(2)，所述支柱(2)的顶端紧密粘接有横梁(3)，所述横梁(3)的下方从上至下依次设有光罩固定装置(5)和聚光装置(4)；所述底板(1)的顶面开设有圆槽(11)，所述圆槽(11)内嵌设有第一玻璃板(13)，所述第一玻璃板(13)上设有晶圆板(12)；所述支柱(2)的后侧面上开设有条形槽(21)，所述条形槽(21)内通过轴承转动连接的设有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)的顶端穿过所述支柱(2)的顶面，且所述螺纹杆(22)的顶端同轴紧密粘接有调节螺旋(23)；所述聚光装置(4)包括矩形板(41)，所述矩形板(41)上开设有聚光孔(411)，所述聚光孔(411)内嵌设有凸透镜(412)，所述矩形板(41)的前侧面紧密粘接有滑套(42)，所述滑套(42)与所述支柱(2)滑动连接；所述光罩固定装置(5)包括固定板(51)和固定板(51)上方的活动板(52)，所述固定板(51)的顶面开设有通孔(512)，所述通孔(512)上嵌设有第二玻璃板(5121)，所述固定板(51)的顶面上对称紧密粘接有凸耳(511)，所述活动板(52)上开设有凹槽(521)，所述凹槽(521)内嵌设有第三玻璃板(5211)，所述活动板(52)左右侧面靠近前端处对称紧密粘接有转轴(522)，且所述转轴(522)与所述凸耳(511)转动连接；所述固定板(51)的前侧面上紧密粘接有滑块(53)，所述滑块(53)上开设有螺纹孔(531)，所述螺纹孔(531)与所述螺纹杆(22)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的多功能的半导体光罩用支撑装置，其特征在于：所述横梁(3)的底面设有紫外灯(6)，且所述紫外灯(6)通过灯座与横梁(3)固定连接。
3.根据权利要求1所述的多功能的半导体光罩用支撑装置，其特征在于：所述凹槽(521)、所述通孔(512)、所述聚光孔(411)和所述圆槽(11)均位于同一竖直面上。
4.根据权利要求1所述的多功能的半导体光罩用支撑装置，其特征在于：所述滑套(42)上螺纹连接卡紧螺丝(43)。
5.根据权利要求2所述的多功能的半导体光罩用支撑装置，其特征在于：所述紫外灯(6)位于所述凹槽(521)的正上方。
6.根据权利要求1所述的多功能的半导体光罩用支撑装置，其特征在于：所述调节螺旋(23)通过轴承与所述支柱(2)的顶面转动连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921280946.2U CN210270511U (zh) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | 一种多功能的半导体光罩用支撑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921280946.2U CN210270511U (zh) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | 一种多功能的半导体光罩用支撑装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210270511U true CN210270511U (zh) | 2020-04-07 |
Family
ID=70016561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921280946.2U Active CN210270511U (zh) | 2019-08-08 | 2019-08-08 | 一种多功能的半导体光罩用支撑装置 |
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| CN (1) | CN210270511U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112799282A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-14 | 六安优云通信技术有限公司 | 一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺 |
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2019
- 2019-08-08 CN CN201921280946.2U patent/CN210270511U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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