CN217641259U - 基板运输模组及固晶机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及固晶设备技术领域，提供一种基板运输模组及固晶机，基板运输模组包括机架、基板供给机构、上料夹持传送机构、载移机构、下料夹持传送机构、回收接驳机构以及基板收纳机构，上料夹持传送机构用于夹持固定基板，并将基板从上料夹持传送机构的一侧移送至上料夹持传送机构的另一侧；载移机构用于将基板移送至固晶工位；下料夹持传送机构用于夹持固定基板并移送基板；回收接驳机构用于将基板从回收接驳机构的一侧移送至回收接驳机构的另一侧；固晶机包括基板运输模组。本申请提供的基板运输模组及固晶机，基板不易抖动和晃动，运送稳定性较高，大幅度缩短基板的运送路径长度，缩短移送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

Description

基板运输模组及固晶机

技术领域

本申请属于固晶设备技术领域，更具体地说，是涉及一种基板运输模组及固晶机。

背景技术

固晶一般是通过固晶摆臂将晶圆上的晶片从供晶位吸取，再移动至基板上的固晶位，以将晶片精准安装在基板上，以实现固晶。晶圆一般安装在晶环中，通过晶环支撑晶圆。晶圆上晶片被取出后，形成空晶环。为便于描述，将存储有晶圆的晶环称为满晶环。晶片具有正面与背面，晶片的背面一般设有电极，以与基板相连，而晶圆上晶片的正面贴于蓝膜上，基板一般为PCB板。

一篇申请号为202110522689.4的中国发明专利公开了一种固晶设备，包括机架、支架供料组件、支架移载组件，支架供料组件可将支架移送至支架移载组件上，支架移载组件可将支架移送至固晶位，还包括用于接收支架移载组件移送来的并固晶完毕后的支架，并将该支架移送至下一工位的下料组件，下料组件安装于机架上并与支架移载组件接驳。其中支架供料组件中，上料电机通过驱动相应主动轮转动，进而可带动两个传送带同步转动，从而可将支架移送至支架移载组件上；其中下料组件中，由支架移载组件移送来的支架置于两个皮带上，通过下料电机驱动多个转动轮转动，可带动两个皮带同步转动，从而可将支架移送至下一工位，支架即基板。

针对上述中的相关技术，存在以下缺陷：

基板在移送至支架移载组件的过程中以及支架移载组件上基板被移送出的过程中，基板被移送的距离比较远，而且基板主要为皮带通过摩擦力方式的进行传送，在皮带较长且本身就是柔性结构前提下，基板在长距离移送时难免发生抖动或者晃动，稳定性不高，故而有待改进。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种基板运输模组及固晶机，以解决以下技术问题：常见固晶设备在运行过程中，基板在长距离移送时难免发生抖动或者晃动，稳定性不高。

为实现上述目的，第一方面，本申请采用的技术方案是：

提供一种基板运输模组，包括：

基板供给机构，所述基板供给机构设置有基板输出口；

上料夹持传送机构，位于所述基板供给机构靠近所述基板输出口的一侧，用于夹持固定并传送基板；

载移机构，位于所述上料夹持传送机构远离所述基板供给机构的一侧，用于将基板移送至固晶工位；

下料夹持传送机构，位于所述载移机构远离所述上料夹持传送机构的一侧，用于夹持固定基板并移送基板；

回收接驳机构，位于所述下料夹持传送机构的一侧，用于将基板从所述回收接驳机构的一侧移送至所述回收接驳机构的另一侧；以及，

基板收纳机构，所述基板收纳机构靠近所述回收接驳机构的侧部设置有基板输入口。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述基板供给机构包括：

供给支撑座；

供给平台，竖向滑动装配于所述供给支撑座上；

第一供给驱动单元，安装于所述供给支撑座上且连接于所述供给平台，用于驱使所述供给平台间歇式升降；

供给储料盒，所述供给储料盒内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，所述插槽沿第一方向布置，所述供给储料盒沿第二方向滑动装配于所述供给平台上，所述第二方向垂直于所述第一方向；

第二供给驱动单元，安装于所述供给平台上且连接于所述供给储料盒，用于驱使所述供给储料盒沿第二方向来回滑动；以及，

供给推料单元，安装于所述供给平台远离基板输出口的侧部，用于从所述供给储料盒内沿第一方向将基板逐块推出。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述上料夹持传送机构包括：

上料传送基座，所述上料传送基座的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；

上料夹持装置，沿第一方向滑动装配于所述上料传送基座上，用于夹持固定基板；

上料驱动装置，安装于所述上料传送基座上且连接于所述上料夹持装置，用于驱使所述上料夹持装置沿第一方向来回滑动；

两组隔挡装置，沿第一方向安装于所述上料传送基座上，所述隔挡装置沿第一方向布置，两组所述隔挡装置位于所述上料夹持装置的两侧布置；以及，

辅助传送装置，安装于所述隔挡装置上，用于接触所述上料夹持装置夹持基板的侧部，并沿第一方向辅助输送基板。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述上料夹持装置包括：

上料滑动基座，滑动装配于所述上料传送基座上；

上料夹持单元，沿竖直方向滑动装配于上料滑动基座上，用于夹持固定基板；以及，

上料升降驱动单元，安装于所述上料滑动基座上且连接于所述上料夹持单元，用于驱使所述上料夹持单元升降。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述载移机构包括：

载移支撑座；

载移平台，沿第一方向滑动装配于所述载移支撑座上；

第一载移驱动单元，安装于所述载移支撑座上且连接于所述载移平台，用于驱使所述载移平台沿第一方向来回滑动；

载移夹持座，沿第二方向滑动装配于所述载移平台上，用于夹持固定基板；以及，

第二载移驱动单元，安装于所述载移平台上且连接于所述载移夹持座，用于驱使所述载移夹持座沿第二方向来回滑动。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述载移夹持座包括：

夹持底板；

固定挡板，固定安装于所述夹持底板的一侧部；

活动挡板，滑动装配于所述夹持底板的另一侧部，所述活动挡板和所述固定挡板平行布置，所述活动挡板靠近所述固定挡板的一侧设置有柔性板；

载移夹持驱动单元，安装于所述夹持底板且连接于所述活动挡板，用于驱使所述活动挡板靠近或远离所述固定挡板；

载移托板，安装于所述夹持底板上，用于承载基板。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述下料夹持传送机构包括：

下料支撑座；

下料滑动座，沿第一方向滑动装配于所述下料支撑座上；

下料驱动装置，安装于所述下料支撑座上且连接于所述下料滑动座，用于驱使所述下料滑动座沿第一方向来回滑动；

下料升降驱动单元，安装于所述下料滑动座上；以及，

下料夹持单元，沿竖直方向滑动装配于下料滑动座上，用于夹持固定基板，所述下料升降驱动单元驱使所述下料夹持单元升降。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述回收接驳机构包括：

接驳支撑座；

固定安装架，固定安装于所述接驳支撑座的一侧部；

活动安装架，滑动装配于所述接驳支撑座的另一侧部，所述活动安装架和所述固定安装架平行布置；

接驳驱动单元，安装于所述接驳支撑座上且连接于所述活动安装架，用于驱使所述活动安装架靠近或远离所述固定安装架；

两组接驳皮带输送单元，两组所述接驳皮带输送单元分别安装于所述固定安装架和所述活动安装架上，基板的两侧部支撑于两组所述接驳皮带输送单元上，用于移送基板。

在本申请的一种可实现的技术方案中，所述基板收纳机构包括：

收纳支撑座；

收纳平台，竖向滑动装配于所述收纳支撑座上；

第一收纳驱动单元，安装于所述收纳支撑座上且连接于所述收纳平台，用于驱使所述收纳平台间歇式升降；

收纳储料盒，所述收纳储料盒内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，所述插槽沿第一方向布置，所述收纳储料盒沿第二方向滑动装配于所述收纳平台上，所述第二方向垂直于所述第一方向；以及，

第二收纳驱动单元，安装于所述收纳平台上且连接于所述收纳储料盒，用于驱使所述收纳储料盒沿第二方向来回滑动。

为实现上述目的，第二方面，本申请采用的技术方案是：

提供一种固晶机，包括如上述的基板运输模组。

综上所述，本申请至少包括以下有益的技术效果：

基板供给机构将基板从基板输出口移送出之后，上料夹持传送机构将基板夹持固定并移动至载移机构，载移机构再将基板移送至固晶工位，基板经过固晶操作后成为基板，载移机构再将基板输送至下料夹持传送机构，下料夹持传送机构将基板夹持固定并移动至回收接驳机构，回收接驳机构再将基板移送至基板收纳机构内；

上述设计的基板运输模组增加了上料夹持传送机构和下料夹持传送机构，主要通过夹持基板的方式移送基板，相较于皮带移送基板而言，结构简单，基板移送过程中基板不易抖动和晃动，提高了运送稳定性，同时整个基板运输模组为直线式结构，大幅度缩短了基板的运送路径长度，缩短了移送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的基板运输模组的结构示意图。

图2为本申请实施例提供中基板供给机构的结构示意图。

图3为本申请实施例提供中上料夹持传送机构的结构示意图。

图4为本申请实施例提供中上料夹持装置的结构示意图

图5为本申请实施例提供中载移机构的结构示意图。

图6为本申请实施例提供中载移夹持座的结构示意图。

图7为本申请实施例提供中下料夹持传送机构的结构示意图。

图8为本申请实施例提供中回收接驳机构的结构示意图。

图9为本申请实施例提供中基板收纳机构的结构示意图。

图10为本申请实施例提供的固晶机的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

101、机架；

102、基板供给机构；21、供给支撑座；22、供给平台；23、第一供给驱动单元；24、供给储料盒；25、第二供给驱动单元；26、供给推料单元；

103、上料夹持传送机构；31、上料传送基座；32、上料夹持装置；321、上料滑动基座；322、上料夹持单元；3221、上料夹持基座；3222、上料固定夹；3223、上料活动夹；3224、上料伸缩动力件；323、上料升降驱动单元；3231、升降丝杆；3232、第一动力件；324、第一导轨；325、第一滑块；33、上料驱动装置；331、第一从动带轮；332、第一主动带轮；333、第一同步带；334、第二动力件；34、隔挡装置；341、固定底板；342、可调挡板；35、辅助传送装置；351、第二主动带轮；352、第二从动带轮；353、第二同步带；354、第三动力件；36、第二导轨；37、第二滑块；

104、载移机构；41、载移支撑座；42、载移平台；43、第一载移驱动单元；44、载移夹持座；441、夹持底板；442、固定挡板；443、活动挡板；4431、柔性板；444、载移夹持驱动单元；445、载移托板；45、第二载移驱动单元；

105、下料夹持传送机构；51、下料支撑座；52、下料滑动座；53、下料驱动装置；54、下料升降驱动单元；55、下料夹持单元；551、下料夹持基座；552、下料固定夹；553、下料活动夹；554、下料伸缩动力件；

106、回收接驳机构；61、接驳支撑座；62、固定安装架；63、活动安装架；64、接驳驱动单元；65、接驳皮带输送单元；

107、基板收纳机构；71、收纳支撑座；72、收纳平台；73、第一收纳驱动单元；74、收纳储料盒；75、第二收纳驱动单元。

具体实施方式

为了使本申请所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1-图10，现对本申请实施例提供的基板运输模组及固晶机进行说明。

本申请实施例提供一种基板运输模组，请参阅图1，包括：基板供给机构102、上料夹持传送机构103、载移机构104、下料夹持传送机构105、回收接驳机构106和基板收纳机构107。

基板供给机构102的一侧设置有基板输出口。

上料夹持传送机构103位于基板供给机构102靠近基板输出口的一侧，上料夹持传送机构103用于夹持固定基板，并将基板从上料夹持传送机构103的一侧移送至上料夹持传送机构103的另一侧。

载移机构104位于上料夹持传送机构103远离基板供给机构102的一侧，载移机构104用于将基板移送至固晶工位。

下料夹持传送机构105位于载移机构104远离上料夹持传送机构103的一侧，下料夹持传送机构105用于夹持固定基板并移送基板。

回收接驳机构106位于下料夹持传送机构105的一侧，回收接驳机构106用于将基板从回收接驳机构106的一侧移送至回收接驳机构106的另一侧。

基板收纳机构107靠近回收接驳机构106的一侧设置有基板输入口。

请参阅图1和图2，基板供给机构102包括：供给支撑座21、供给平台22、第一供给驱动单元23、供给储料盒24、第二供给驱动单元25和供给推料单元26。

供给支撑座21为长方体结构且竖向布置；供给平台22通过竖直滑块竖向滑动装配于供给支撑座21上；第一供给驱动单元23安装于供给支撑座21上且连接于供给平台22，第一供给驱动单元23用于驱使供给平台22间歇式升降。

供给储料盒24供给储料盒24内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，插槽沿第一方向布置，供给储料盒24沿第二方向滑动装配于供给平台22上，第二方向垂直于第一方向。

第二供给驱动单元25安装于供给平台22上且连接于供给储料盒24，第二供给驱动单元25用于驱使供给储料盒24沿第二方向来回滑动；供给推料单元26安装于供给平台22远离基板输出口的侧部，供给推料单元26用于从供给储料盒24内沿第一方向将基板逐块推出。

在本实施例中，第一供给驱动单元23和第二供给驱动单元25均为伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组，供给推料单元26为气缸，在其他实施例中，第一供给驱动单元23和第二供给驱动单元25还可以为其他结构形式，例如：伺服电机驱动的带轮传动结构、齿轮齿条传动结构，或者气缸传动结构等等，供给推料单元26还可以为其他结构形式，例如：伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组、带轮传动结构、齿轮齿条传动结构等等。

请参阅图1和图3，上料夹持传送机构103包括：上料传送基座31、上料夹持装置32、上料驱动装置33、两组隔挡装置34和辅助传送装置35。

上料传送基座31的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；上料夹持装置32沿第一方向滑动装配于上料传送基座31上，用于夹持固定基板；上料驱动装置33安装于上料传送基座31上且连接于上料夹持装置32，上料驱动装置33用于驱使上料夹持装置32沿第一方向来回滑动；两组隔挡装置34沿第一方向安装于上料传送基座31上，隔挡装置34沿第一方向布置，两组隔挡装置34位于上料夹持装置32的两侧布置；辅助传送装置35安装于隔挡装置34上，辅助传送装置35用于接触上料夹持装置32夹持基板的侧部，并沿第一方向辅助输送基板。

基板被输送至上料传送基座31的接驳入口后，上料夹持装置32可以夹持固定基板的一端，隔挡装置34对基板的侧边具有一定隔挡限位作用，辅助传送装置35也可以接触基板的侧部，在上料驱动装置33和辅助传送装置35的共同带动下，基板可以稳定的从接驳入口被输送至接驳出口，整个上料夹持传送机构103结构简单，重量轻，震动小，输送稳定性高，而且大幅度缩短输送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

上料驱动装置33包括：第一从动带轮331、第一主动带轮332、第一同步带333和第二动力件334。

第一从动带轮331转动安装于上料传送基座31上；第一主动带轮332转动安装于上料传送基座31上；第一同步带333连接于第一从动带轮331和第一主动带轮332之间，部分第一同步带333和上料夹持装置32固定连接；第二动力件334安装于上料传送基座31上，第二动力件334的输出端连接于第一主动带轮332，第二动力件334用于驱使第一主动带轮332正、反转。

在本实施例中，第二动力件334为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第二动力件334工作时，可以通过第一主动轮带动第一同步带333转动，第一同步带333再带动上料夹持装置32往复运动，上述设计的上料驱动装置33，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低，而且可以驱使上料夹持装置32精准移动至预设的位置。

隔挡装置34包括：固定底板341、可调挡板342和多个锁紧件，固定底板341水平安装于上料传送基座31上；可调挡板342滑动装配于固定底板341上，固定底板341和可调挡板342垂直布置，可调挡板342的滑动方向垂直于上料夹持装置32的滑动方向，例如本实施例中，上料夹持装置32的滑动方向为Y轴方向，即可调挡板342的滑动方向为X轴方向；锁紧件用于将可调挡板342锁紧固定于固定底板341上，附图中未具体标示出锁紧件，锁紧件可以为螺钉或者插销等配件。

辅助传送装置35包括：第二主动带轮351、多个第二从动带轮352、第二同步带353和第三动力件354。第二主动带轮351转动装配于可调挡板342靠近基板的一侧部；第二从动带轮352转动装配于可调挡板342靠近基板的一侧部；第二同步带353连接于多个第二从动带轮352和第二主动带轮351之间，第二同步带353支撑输送上料夹持装置32上所夹持的基板的侧面；第三动力件354安装于可调挡板342远离基板的一侧部，第三动力件354的输出端连接于第二主动带轮351，第三动力件354用于驱使第二主动带轮351正、反转。

在本实施例中，第三动力件354为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第三动力件354工作时，可以通过第二主动带轮351带动第二同步带353转动，第二同步带353再通过摩擦力辅助基板运动，上述设计的辅助传送装置35，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低。

上料传送基座31上设置有第二导轨36，上料夹持装置32上设置有第二滑块37，第二滑块37和第二导轨36滑动装配。通过第二滑块37和第二导轨36配合作用，上料夹持装置32在滑动过程中，更加稳定。

请参阅图1和图4，上料夹持装置32包括：上料滑动基座321、上料夹持单元322和上料升降驱动单元323。

上料滑动基座321滑动装配于上料传送基座31上；上料夹持单元322沿竖直方向滑动装配于上料滑动基座321上，上料夹持单元322用于夹持固定基板；上料升降驱动单元323安装于上料滑动基座321上且连接于上料夹持单元322，上料升降驱动单元323用于驱使上料夹持单元322升降。

上料升降驱动单元323工作时，可以带动上料夹持单元322沿着上料滑动基座321升降，进而有利于上料夹持单元322快速对准基板所在位置，有利于基板顺利且高效的被夹取，提升了输送效率。

上料夹持单元322包括：上料夹持基座3221、上料固定夹3222、上料活动夹3223和上料伸缩动力件3224，上料固定夹3222固定安装于上料夹持基座3221上；上料活动夹3223用于配合上料固定夹3222以夹持固定基板；上料伸缩动力件3224安装于上料夹持基座3221上，上料活动夹3223连接于上料伸缩动力件3224的输出端，上料伸缩动力件3224用于驱使上料活动夹3223靠近或者远离上料固定夹3222。

上料伸缩动力件3224工作时，可以带动上料活动夹3223运动，上料活动夹3223再配合上料固定夹3222，一起牢固夹紧或者松开基板，实现夹取基板和放下基板的目的，结构设计相对比较简单，操控维修比较方便，夹持操作相对也比较稳定，有利于基板稳定被输送。在本实施例中，上料伸缩动力件3224为气缸，且气缸的输出端朝上布置，在其他实施例中，上料伸缩动力件3224还可以为油缸或者电动推杆。

上料滑动基座321的侧部设置有竖向布置的第一导轨324，上料夹持基座3221的侧部设置有第一滑块325，第一滑块325和第一导轨324滑动装配。通过第一滑块325和第一导轨324配合作用，上料夹持单元322在升降过程中，更加稳定。

上料升降驱动单元323包括：升降丝杆3231和第一动力件3232，升降丝杆3231转动装配于上料滑动基座321的侧部，升降丝杆3231的转动轴线竖向布置，升降丝杆3231贯穿上料夹持基座3221且与上料夹持基座3221螺纹传动装配；第一动力件3232，安装于上料滑动基座321的侧部，第一动力件3232的输出端连接于升降丝杆3231的一端，第一动力件3232用于驱使升降丝杆3231正、反转。

在本实施例中，第一动力件3232为可通过PLC程序精准控制的伺服电机，第一动力件3232工作时，可以驱使升降丝杆3231转动，进而带动上料夹持基座3221稳定升降，上述设计的上料升降驱动单元323，结构简单，操控方便，制作、维修成本比较低。

上料活动夹3223和上料固定夹3222均为长条形板状，上料活动夹3223和上料固定夹3222相互靠近的侧面设置有防滑结构。长条形板状的上料活动夹3223和上料固定夹3222，可以和基板的端部具有更大的接触面积，而且防滑结构具有较大的摩擦系数，有效防止基板在被输送过程中晃动。

请参阅图1和图5，载移机构104包括：载移支撑座41、载移平台42、第一载移驱动单元43、载移夹持座44和第二载移驱动单元45。

载移平台42沿第一方向滑动装配于载移支撑座41上；第一载移驱动单元43安装于载移支撑座41上且连接于载移平台42，第一载移驱动单元43用于驱使载移平台42沿第一方向来回滑动；载移夹持座44沿第二方向滑动装配于载移平台42上，载移夹持座44用于夹持固定基板；第二载移驱动单元45安装于载移平台42上且连接于载移夹持座44，第二载移驱动单元45用于驱使载移夹持座44沿第二方向来回滑动。

在本实施例中，第一载移驱动单元43为第一平板式直线电机，第一平板式直线电机的动子部分安装于载移平台42上，第一平板式直线电机的定子部分安装于载移支撑座41上；第二载移驱动单元45为第二平板式直线电机，第二平板式直线电机的动子部分安装于载移夹持座44上，第二平板式直线电机的定子部分安装于载移平台42上。

请参阅图1和图6，载移夹持座44包括：夹持底板441、固定挡板442、活动挡板443、载移夹持驱动单元444和载移托板445。

固定挡板442固定安装于夹持底板441的一侧部；活动挡板443滑动装配于夹持底板441的另一侧部，活动挡板443和固定挡板442平行布置，活动挡板443靠近固定挡板442的一侧设置有柔性板4431，柔性板4431具有可变形的特性，进而在夹持基板时，可以保护基板不被夹坏。

载移夹持驱动单元444安装于夹持底板441且连接于活动挡板443，载移夹持驱动单元444用于驱使活动挡板443靠近或远离固定挡板442；载移托板445安装于夹持底板441上，载移托板445用于承载基板。

在本实施例中，载移夹持驱动单元444为多组同步工作的气缸，在其他实施例中，载移夹持驱动单元444还可以为油缸或者电动推杆或者伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组。

请参阅图1和图7，下料夹持传送机构105包括：下料支撑座51、下料滑动座52、下料驱动装置53、下料升降驱动单元54和下料夹持单元55。

下料滑动座52沿第一方向滑动装配于下料支撑座51上；下料驱动装置53安装于下料支撑座51上且连接于下料滑动座52，下料驱动装置53用于驱使下料滑动座52沿第一方向来回滑动；下料升降驱动单元54安装于下料滑动座52上；下料夹持单元55沿竖直方向滑动装配于下料滑动座52上，下料夹持单元55用于夹持固定基板，下料升降驱动单元54驱使下料夹持单元55升降。

在本实施例中，下料驱动装置53为伺服电机驱动的同步轮同步带传动结构，在其他实施例中，下料驱动装置53还可以为伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组。

在本实施例中，下料升降驱动单元54为气缸，在其他实施例中，下料升降驱动单元54还可以为油缸或者电动推杆或者伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组。

下料夹持单元55包括：下料夹持基座551、下料固定夹552、下料活动夹553和下料伸缩动力件554，下料固定夹552固定安装于下料夹持基座551上；下料活动夹553用于配合下料固定夹552以夹持固定基板；下料伸缩动力件554安装于下料夹持基座551上，下料活动夹553连接于下料伸缩动力件554的输出端，下料伸缩动力件554用于驱使下料活动夹553靠近或者远离下料固定夹552。

下料伸缩动力件554工作时，可以带动下料活动夹553运动，下料活动夹553再配合下料固定夹552，一起牢固夹紧或者松开基板，实现夹取基板和放下基板的目的，结构设计相对比较简单，操控维修比较方便，夹持操作相对也比较稳定，有利于基板稳定被输送。在本实施例中，下料伸缩动力件554为气缸，且气缸的输出端朝上布置，在其他实施例中，下料伸缩动力件554还可以为油缸或者电动推杆。

下料活动夹553和下料固定夹552均为长条形板状，下料活动夹553和下料固定夹552相互靠近的侧面设置有防滑结构。长条形板状的下料活动夹553和下料固定夹552，可以和基板的端部具有更大的接触面积，而且防滑结构具有较大的摩擦系数，有效防止基板在被输送过程中晃动。

请参阅图1和图8，回收接驳机构106包括：接驳支撑座61、固定安装架62、活动安装架63、接驳驱动单元64和接驳皮带输送单元65。

固定安装架62固定安装于接驳支撑座61的一侧部；活动安装架63滑动装配于接驳支撑座61的另一侧部，活动安装架63和固定安装架62平行布置；接驳驱动单元64安装于接驳支撑座61上且连接于活动安装架63，接驳驱动单元64用于驱使活动安装架63靠近或远离固定安装架62；两组接驳皮带输送单元65分别安装于固定安装架62和活动安装架63上，基板的两侧部支撑于两组接驳皮带输送单元65上，接驳皮带输送单元65用于移送基板。

在本实施例中，接驳驱动单元64为手动驱动的直线丝杆滑台模组，接驳皮带输送单元65为伺服电机驱动的同步轮同步带传动结构，在其他实施例中，接驳驱动单元64和接驳皮带输送单元65也可以为伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组。

上述设计的回收接驳机构106可以稳定的移送基板，直至基板都从基板输入口插入基板收纳机构107中。

请参阅图1和图9，基板收纳机构107包括：收纳支撑座71、收纳平台72、第一收纳驱动单元73、收纳储料盒74和第二收纳驱动单元75。

收纳平台72竖向滑动装配于收纳支撑座71上；第一收纳驱动单元73安装于收纳支撑座71上且连接于收纳平台72，第一收纳驱动单元73用于驱使收纳平台72间歇式升降。

收纳储料盒74内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，插槽沿第一方向布置，收纳储料盒74沿第二方向滑动装配于收纳平台72上，第二方向垂直于第一方向。

第二收纳驱动单元75安装于收纳平台72上且连接于收纳储料盒74，第二收纳驱动单元75用于驱使收纳储料盒74沿第二方向来回滑动。

在本实施例中，第一供收纳驱动单元和第二收纳驱动单元75均为伺服电机驱动的直线丝杆滑台模组，在其他实施例中，第一收纳驱动单元73和第二收纳驱动单元75还可以为其他结构形式，例如：伺服电机驱动的带轮传动结构、齿轮齿条传动结构，或者气缸传动结构等等。

综上描述，本申请提供的基板运输模组的工作过程大致如下：

基板供给机构102将基板从基板输出口移送出之后，上料夹持传送机构103将基板夹持固定并移动至载移机构104，载移机构104再将基板移送至固晶工位，基板经过固晶操作后成为基板，载移机构104再将基板输送至下料夹持传送机构105，下料夹持传送机构105将基板夹持固定并移动至回收接驳机构106，回收接驳机构106再将基板移送至基板收纳机构107内。

本申请提供的基板运输模组的有益技术效果大致如下：

增加了上料夹持传送机构103和下料夹持传送机构105，主要通过夹持基板的方式移送基板，相较于皮带移送基板而言，结构简单，基板移送过程中基板不易抖动和晃动，提高了运送稳定性，同时整个基板运输模组为直线式结构，大幅度缩短了基板的运送路径长度，缩短了移送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

本申请实施例还提供一种固晶机，包括机架101和如上述的基板运输模组以及常规设计的固晶模组，固晶模组包括供晶机构、晶环平台、顶针机构、相机单元和固晶机构。上述设计的固晶机，大幅度缩短了基板的运送路径长度，缩短了移送基板的时间，运行速度较快，提高了固晶效率和精度。

以上所述仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基板运输模组，其特征在于，包括：

基板供给机构(102)，所述基板供给机构(102)设置有基板输出口；

上料夹持传送机构(103)，位于所述基板供给机构(102)靠近所述基板输出口的一侧，用于夹持固定并传送基板；

载移机构(104)，位于所述上料夹持传送机构(103)远离所述基板供给机构(102)的一侧，用于将基板移送至固晶工位；

下料夹持传送机构(105)，位于所述载移机构(104)远离所述上料夹持传送机构(103)的一侧，用于夹持固定基板并移送基板；

回收接驳机构(106)，位于所述下料夹持传送机构(105)的一侧，用于将基板从所述回收接驳机构(106)的一侧移送至所述回收接驳机构(106)的另一侧；以及，

基板收纳机构(107)，所述基板收纳机构(107)靠近所述回收接驳机构(106)的侧部设置有基板输入口。

2.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述基板供给机构(102)包括：

供给支撑座(21)；

供给平台(22)，竖向滑动装配于所述供给支撑座(21)上；

第一供给驱动单元(23)，安装于所述供给支撑座(21)上且连接于所述供给平台(22)，用于驱使所述供给平台(22)间歇式升降；

供给储料盒(24)，所述供给储料盒(24)内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，所述插槽沿第一方向布置，所述供给储料盒(24)沿第二方向滑动装配于所述供给平台(22)上，所述第二方向垂直于所述第一方向；

第二供给驱动单元(25)，安装于所述供给平台(22)上且连接于所述供给储料盒(24)，用于驱使所述供给储料盒(24)沿第二方向来回滑动；以及，

供给推料单元(26)，安装于所述供给平台(22)远离基板输出口的侧部，用于从所述供给储料盒(24)内沿第一方向将基板逐块推出。

3.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述上料夹持传送机构(103)包括：

上料传送基座(31)，所述上料传送基座(31)的两端部分别设置有接驳入口和接驳出口；

上料夹持装置(32)，沿第一方向滑动装配于所述上料传送基座(31)上，用于夹持固定基板；

上料驱动装置(33)，安装于所述上料传送基座(31)上且连接于所述上料夹持装置(32)，用于驱使所述上料夹持装置(32)沿第一方向来回滑动；

两组隔挡装置(34)，沿第一方向安装于所述上料传送基座(31)上，所述隔挡装置(34)沿第一方向布置，两组所述隔挡装置(34)位于所述上料夹持装置(32)的两侧布置；以及，

辅助传送装置(35)，安装于所述隔挡装置(34)上，用于接触所述上料夹持装置(32)夹持基板的侧部，并沿第一方向辅助输送基板。

4.如权利要求3所述的基板运输模组，其特征在于，所述上料夹持装置(32)包括：

上料滑动基座(321)，滑动装配于所述上料传送基座(31)上；

上料夹持单元(322)，沿竖直方向滑动装配于上料滑动基座(321)上，用于夹持固定基板；以及，

上料升降驱动单元(323)，安装于所述上料滑动基座(321)上且连接于所述上料夹持单元(322)，用于驱使所述上料夹持单元(322)升降。

5.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述载移机构(104)包括：

载移支撑座(41)；

载移平台(42)，沿第一方向滑动装配于所述载移支撑座(41)上；

第一载移驱动单元(43)，安装于所述载移支撑座(41)上且连接于所述载移平台(42)，用于驱使所述载移平台(42)沿第一方向来回滑动；

载移夹持座(44)，沿第二方向滑动装配于所述载移平台(42)上，用于夹持固定基板；以及，

第二载移驱动单元(45)，安装于所述载移平台(42)上且连接于所述载移夹持座(44)，用于驱使所述载移夹持座(44)沿第二方向来回滑动。

6.如权利要求5所述的基板运输模组，其特征在于，所述载移夹持座(44)包括：

夹持底板(441)；

固定挡板(442)，固定安装于所述夹持底板(441)的一侧部；

活动挡板(443)，滑动装配于所述夹持底板(441)的另一侧部，所述活动挡板(443)和所述固定挡板(442)平行布置，所述活动挡板(443)靠近所述固定挡板(442)的一侧设置有柔性板(4431)；

载移夹持驱动单元(444)，安装于所述夹持底板(441)且连接于所述活动挡板(443)，用于驱使所述活动挡板(443)靠近或远离所述固定挡板(442)；

载移托板(445)，安装于所述夹持底板(441)上，用于承载基板。

7.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述下料夹持传送机构(105)包括：

下料支撑座(51)；

下料滑动座(52)，沿第一方向滑动装配于所述下料支撑座(51)上；

下料驱动装置(53)，安装于所述下料支撑座(51)上且连接于所述下料滑动座(52)，用于驱使所述下料滑动座(52)沿第一方向来回滑动；

下料升降驱动单元(54)，安装于所述下料滑动座(52)上；以及，

下料夹持单元(55)，沿竖直方向滑动装配于下料滑动座(52)上，用于夹持固定基板，所述下料升降驱动单元(54)驱使所述下料夹持单元(55)升降。

8.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述回收接驳机构(106)包括：

接驳支撑座(61)；

固定安装架(62)，固定安装于所述接驳支撑座(61)的一侧部；

活动安装架(63)，滑动装配于所述接驳支撑座(61)的另一侧部，所述活动安装架(63)和所述固定安装架(62)平行布置；

接驳驱动单元(64)，安装于所述接驳支撑座(61)上且连接于所述活动安装架(63)，用于驱使所述活动安装架(63)靠近或远离所述固定安装架(62)；

两组接驳皮带输送单元(65)，两组所述接驳皮带输送单元(65)分别安装于所述固定安装架(62)和所述活动安装架(63)上，基板的两侧部支撑于两组所述接驳皮带输送单元(65)上，用于移送基板。

9.如权利要求1所述的基板运输模组，其特征在于，所述基板收纳机构(107)包括：

收纳支撑座(71)；

收纳平台(72)，竖向滑动装配于所述收纳支撑座(71)上；

第一收纳驱动单元(73)，安装于所述收纳支撑座(71)上且连接于所述收纳平台(72)，用于驱使所述收纳平台(72)间歇式升降；

收纳储料盒(74)，所述收纳储料盒(74)内设置有多组上下间隔布置且供基板两侧插接的插槽，所述插槽沿第一方向布置，所述收纳储料盒(74)沿第二方向滑动装配于所述收纳平台(72)上，所述第二方向垂直于所述第一方向；以及，

第二收纳驱动单元(75)，安装于所述收纳平台(72)上且连接于所述收纳储料盒(74)，用于驱使所述收纳储料盒(74)沿第二方向来回滑动。

10.一种固晶机，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的基板运输模组。

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