CN201702135U - 超声循环硅片清洗机 - Google Patents
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Abstract
一种超声循环硅片清洗机，解决了在单晶硅生产过程中硅片冲洗不彻底，硅片表面有砂浆残留物和金属杂质，从而导致硅片降低等级的问题。该超声循环硅片清洗机包括超声槽，在超声槽一侧设有排水阀门，在超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，在超声槽内设有收集网，其特殊之处是：在超声槽上还设有循环水管路，循环水管路通过过滤装置和抽水泵连接有条形喷头。优点是：水可以循环利用，节约成本；通过条形喷头产生的可流动水流解决了仅靠超声不能使硅片间隙残留物及金属杂质溢出的问题，使硅片冲洗得更彻底、更干净，提高了产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅生产过程中使用的超声循环硅片清洗机。
背景技术
在单晶硅生产过程中需使用超声波清洗机对硅片进行超声，清洗掉存在于硅片间隙的残留物及金属杂质等。由于硅片的间隙很小，很难使残留物和金属杂质溢出，导致大量油污片、花片等不合格品的出现，影响产品质量。此外，槽中的水不能流动，需要频繁的换水，浪费水资源，增加了生产成本。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可使硅片间隙的残留物和金属杂质溢出，使硅片冲洗得更彻底、更干净，提高产品质量，水可以循环使用，节约成本的超声循环硅片清洗机。
本实用新型涉及的超声循环硅片清洗机，包括超声槽，在超声槽一侧设有排水阀门，在超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，在超声槽内设有收集网，其特殊之处是：在超声槽上还设有循环水管路，循环水管路通过过滤装置和抽水泵连接有条形喷头。
上述的超声循环硅片清洗机，所述支架通过连接杆与收集网连接在一起。
本实用新型与现有技术相比有如下优点：
水可以循环利用，通过过滤装置保证了循环水的清洁，节约生产成本；在超声的同时使水产生流动效应，硅片间隙的残留物和金属杂质随水波由抽水泵抽走，以此产生循环冲洗效果。通过条形喷头产生的可流动水流解决了仅靠超声不能使硅片间隙残留物及金属杂质溢出的问题，使硅片冲洗得更彻底、更干净，提高了产品质量。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中：注水阀门1，支架2，收集网3，连接杆4，排水阀门5，条形喷头6，抽水泵7，过滤装置8，循环水管路9，超声槽10。
具体实施方式
如图所示，该超声循环硅片清洗机有一个超声槽10，在超声槽10一侧设有排水阀门5和循环水管路9，循环水管路9通过过滤装置8和抽水泵7连接有条形喷头6。在超声槽10的槽口处搭接有用于放置硅片的支架2，在超声槽10内设有收集网3，用来接收超声时可能脱落的硅片。收集网3与支架2通过连接杆4连接在一起。水位不足时，开启注水阀门1，水位过高则开启排水阀门5。当槽内的水逐渐清澈时，开启抽水泵7，使清水经过滤装置8后通过人工操作条形喷头6控制水流的位置和方向，将清水重新打入超声槽10中以便控制水流的位置和方向，在超声的同时使水产生流动效应，硅片间隙的残留物和金属杂质随水波由抽水泵7抽走，以此产生循环冲洗效果。
Claims (2)
1.一种超声循环硅片清洗机，包括超声槽，在超声槽一侧设有排水阀门，在超声槽的槽口处搭接有用于放置硅片的支架，在超声槽内设有收集网，其特征是：在超声槽上还设有循环水管路，循环水管路通过过滤装置和抽水泵连接有条形喷头。
2.根据权利要求1所述的超声循环硅片清洗机，其特征是：所述支架通过连接杆与收集网连接在一起。
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Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102218413A (zh) * | 2011-05-18 | 2011-10-19 | 益阳晶益电子有限公司 | 石英晶片的清洗方法及清洗装置 |
| CN102363146A (zh) * | 2011-08-09 | 2012-02-29 | 太仓协鑫光伏科技有限公司 | 一种可循环利用水的冲洗装置 |
| CN103008281A (zh) * | 2011-09-20 | 2013-04-03 | 宜兴市环洲微电子有限公司 | 一种用于清洗半导体硅片的清洗槽 |
| CN103522169A (zh) * | 2012-07-05 | 2014-01-22 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 一种用于化学研磨机台的水箱系统 |
| CN104525518A (zh) * | 2014-12-13 | 2015-04-22 | 苏州汇诚智造工业设计有限公司 | 建筑工程安全网快速清洗设备及其制造方法 |
| CN104690034A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-06-10 | 黄浩 | 一种用于清洗金属手表带的超声波清洗装置 |
| CN104841664A (zh) * | 2015-04-18 | 2015-08-19 | 成都菲斯普科技有限公司 | 一种医用超声波清洗装置 |
| CN105149286A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-12-16 | 无锡市博阳超声电器有限公司 | 一种超声波过滤清洗槽 |
| CN107164109A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-09-15 | 吴江创源新材料科技有限公司 | 一种蓝宝石晶片退火前清洗液及其制备方法和清洗工艺 |
| CN108176670A (zh) * | 2015-11-20 | 2018-06-19 | 苏州赛森电子科技有限公司 | Dmos圆片加工过程中的超声波处理设备 |
| CN113600554A (zh) * | 2021-10-09 | 2021-11-05 | 南通欧能达超声设备有限公司 | 一种超声波芯片清洗设备 |
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102218413A (zh) * | 2011-05-18 | 2011-10-19 | 益阳晶益电子有限公司 | 石英晶片的清洗方法及清洗装置 |
| CN102363146A (zh) * | 2011-08-09 | 2012-02-29 | 太仓协鑫光伏科技有限公司 | 一种可循环利用水的冲洗装置 |
| CN103008281A (zh) * | 2011-09-20 | 2013-04-03 | 宜兴市环洲微电子有限公司 | 一种用于清洗半导体硅片的清洗槽 |
| CN103522169A (zh) * | 2012-07-05 | 2014-01-22 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 一种用于化学研磨机台的水箱系统 |
| CN104525518B (zh) * | 2014-12-13 | 2017-04-12 | 江苏泰建建设集团有限公司 | 建筑工程安全网快速清洗设备及其制造方法 |
| CN104525518A (zh) * | 2014-12-13 | 2015-04-22 | 苏州汇诚智造工业设计有限公司 | 建筑工程安全网快速清洗设备及其制造方法 |
| CN104690034A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-06-10 | 黄浩 | 一种用于清洗金属手表带的超声波清洗装置 |
| CN104841664A (zh) * | 2015-04-18 | 2015-08-19 | 成都菲斯普科技有限公司 | 一种医用超声波清洗装置 |
| CN105149286A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-12-16 | 无锡市博阳超声电器有限公司 | 一种超声波过滤清洗槽 |
| CN108176670A (zh) * | 2015-11-20 | 2018-06-19 | 苏州赛森电子科技有限公司 | Dmos圆片加工过程中的超声波处理设备 |
| CN107164109A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-09-15 | 吴江创源新材料科技有限公司 | 一种蓝宝石晶片退火前清洗液及其制备方法和清洗工艺 |
| CN113600554A (zh) * | 2021-10-09 | 2021-11-05 | 南通欧能达超声设备有限公司 | 一种超声波芯片清洗设备 |
| CN113600554B (zh) * | 2021-10-09 | 2021-12-07 | 南通欧能达超声设备有限公司 | 一种超声波芯片清洗设备 |
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