WO2020162226A1

WO2020162226A1 - 振動子支持構造、振動モータおよび電子機器

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Publication number: WO2020162226A1
Application number: PCT/JP2020/002522
Authority: WO
Inventors: 和英高田
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2019-02-05
Filing date: 2020-01-24
Publication date: 2020-08-13
Also published as: US20210359582A1; CN113396532B; JP7156411B2; CN113396532A; JPWO2020162226A1; US11876425B2

Abstract

互いに異なる２つの方向に振動する振動子を筺体内に支持する支持部材と筺体との接続部に対する負荷を抑制することができる振動子支持構造、またその振動子支持構造を用いた振動モータ、さらにその振動モータを用いた電子機器を提供する。振動子支持構造は、第１の筺体１と、第１の方向Ｄ１および第１の方向Ｄ１と交差する第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、第１の筺体１内に振動子２を支持する第１の支持部材Ｓ１ａとを備える。第１の支持部材Ｓ１ａは、振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して弾性変形する第１の変形部Ｓ１１ａ、および振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように振動子２と係合する第１の係合部Ｓ１２ａを有する。

Description

振動子支持構造、振動モータおよび電子機器

　この開示は、振動子支持構造、その振動子支持構造を用いた振動モータ、およびその振動モータを用いた電子機器に関する。

　振動モータの一例として、特開２０１７－９４３１７号公報（特許文献１）に記載された振動モータが挙げられる。図２５は、特許文献１に記載された振動モータの内部を示す平面図である。振動モータ２００は、筺体２０１と、振動子２０２と、第１のコイル２０３と、第２のコイル２０４と、支持部材Ｓ２０１ないしＳ２０４とを備えている。

　振動子２０２は、不図示の第１の磁石および第２の磁石を含んでいる。第１のコイル２０３は、第１の磁石と対向するように筺体２０１に固定されている。第２のコイル２０４は、第２の磁石と対向するように筺体２０１に固定されている。支持部材Ｓ２０１ないしＳ２０４は、屈曲した板状のばね部材であり、筺体２０１内に振動子２０２を支持している。

　第１のコイル２０３と第１の磁石とにより生成された駆動力は、振動子２０２を第１の方向Ｄ１に沿って振動させる。また、第２のコイル２０４と第２の磁石とにより生成された駆動力は、振動子２０２を第２の方向Ｄ２に沿って振動させる。

　支持部材Ｓ２０１の一端と支持部材Ｓ２０２の一端、および支持部材Ｓ２０３の一端と支持部材Ｓ２０４の一端とは、それぞれ第２の方向Ｄ２において対向した状態で、筺体２０１に固定されている。また、支持部材Ｓ２０１の他端と支持部材Ｓ２０２の他端、および支持部材Ｓ２０３の他端と支持部材Ｓ２０４の他端とは、それぞれ第２の方向Ｄ２において対向した状態で、振動子２０２に固定されている。振動子２０２の振動は、支持部材Ｓ２０１ないしＳ２０４を介して筺体２０１に伝わり、振動モータ２００の振動として感知される。

特開２０１７－９４３１７号公報

　振動モータ２００では、振動子２０２が第１の方向Ｄ１に振動する際、支持部材Ｓ２０１ないしＳ２０４の一端と筺体２０１との間にせん断応力が発生する。そのため、第１の方向Ｄ１の振動が繰り返されると、支持部材Ｓ２０１ないしＳ２０４の一端と筺体２０１との接続部が破断する虞がある。

　この開示の目的は、互いに異なる２つの方向に振動する振動子を筺体内に支持する支持部材と筺体との接続部に対する負荷を抑制することができる振動子支持構造を提供することである。また、その振動子支持構造を用いた振動モータ、さらにその振動モータを用いた電子機器を提供することである。

　この開示に従う振動子支持構造は、第１の筺体と、第１の方向および第１の方向と交差する第２の方向に沿って振動可能な振動子と、少なくとも１つの第１の支持部材とを備える。第１の支持部材は、振動子の第１の方向の振動に対して弾性変形する第１の変形部、および振動子の第２の方向の振動に対して振動子が摺動可能となるように振動子と係合する第１の係合部を有する。

　また、この開示に従う振動モータは、第１の筺体と、それぞれ少なくとも１つの第１の磁石および第２の磁石を含む振動子と、第１の筺体に固定され、振動子を第１の方向に沿って振動させる駆動力を第１の磁石に与える第１のコイルと、第１の筺体に固定され、振動子を第１の方向と交差する第２の方向に沿って振動させる駆動力を第２の磁石に与える第２のコイルと、第１の方向に沿って第１の筺体と振動子との間に反発力を与え、かつ第２の方向に沿って振動子が可動である第１の反発機構と、第２の方向に沿って第１の筺体と振動子との間に反発力を与え、かつ第１の方向に沿って振動子が可動である第２の反発機構とを備える。

　そして、第１の反発機構は、第１の筺体内で振動子を支持する第１の支持部材を含む。第１の支持部材は、振動子の第１の方向の振動に対して弾性変形する第１の変形部、および振動子の第２の方向の振動に対して振動子が摺動可能となるように振動子と係合する第１の係合部を有する。

　さらに、この開示に従う電子機器は、この開示に従う振動モータと、第２の筺体とを備える。振動モータは、第２の筺体内に収容される。

　この開示に従う振動子支持構造は、互いに異なる２つの方向に振動する振動子を筺体内に支持する支持部材と筺体との接続部に対する負荷を抑制することができる。また、この開示に従う振動モータは、振動子を筺体内に支持する支持部材と筺体との接続部の信頼性が高く、互いに異なる２つの方向に安定した振動を発生させることができる。さらに、この開示に従う電子機器は、皮膚感覚フィードバックのため、またはキー操作および着信などを確認するための振動の減少を抑制することができる。

図１（Ａ）は、この開示に従う振動子支持構造を含む振動モータの模式的な形態を示す振動モータ１００の、筺体１の第１の部分１ａ（図２参照）を除いて上面視したときの平面図である。図１（Ｂ）は、振動モータ１００の、筺体１の第２の部分１ｂ（図２参照）を除いて下面視したときの平面図である。図２（Ａ）は、図１（Ａ）に示されたＡ－Ａ線を含む面で切断された振動モータ１００の矢視断面図である。図２（Ｂ）は、図１（Ａ）に示されたＢ－Ｂ線を含む面で切断された振動モータ１００の矢視断面図である。図３（Ａ）ないし（Ｃ）は、振動モータ１００が備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａと、その第１および第２の変形例を示した斜視図である。図４（Ａ）ないし（Ｃ）は、支持部材Ｓ１ａの第３ないし第５の変形例を示した斜視図である。図５（Ａ）は、振動モータ１００の第１の変形例である振動モータ１００Ａの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図５（Ｂ）は、振動モータ１００Ａの、図１（Ｂ）に相当する平面図である。図６（Ａ）は、振動モータ１００Ａの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図６（Ｂ）は、振動モータ１００Ａの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。図７（Ａ）ないし（Ｃ）は、第１の方向Ｄ１における振動モータ１００Ａの一連の動作を説明する、それぞれ図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図８（Ａ）ないし（Ｃ）は、第２の方向Ｄ２における振動モータ１００Ａの一連の動作を説明する、それぞれ図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。図９（Ａ）は、振動モータ１００の第２の変形例である振動モータ１００Ｂの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図９（Ｂ）は、振動モータ１００Ｂの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１０は、振動モータ１００の第３の変形例である振動モータ１００Ｃの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１１（Ａ）は、振動モータ１００Ｃの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１１（Ｂ）は、振動モータ１００Ｃの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。図１２は、振動モータ１００の第４の変形例である振動モータ１００Ｄの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１３（Ａ）は、振動モータ１００Ｄの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１３（Ｂ）は、振動モータ１００Ｄの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。図１４（Ａ）は、振動モータ１００の第５の変形例である振動モータ１００Ｅの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１４（Ｂ）は、振動モータ１００Ｅの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１５（Ａ）は、振動モータ１００の第６の変形例である振動モータ１００Ｆの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１５（Ｂ）は、振動モータ１００Ｆの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１６（Ａ）は、振動モータ１００Ｆが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の例を示した斜視図である。図１６（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2の例を示した斜視図である。図１７は、振動モータ１００の第７の変形例である振動モータ１００Ｇの　　、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１８（Ａ）は、振動モータ１００Ｇの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１８（Ｂ）は、振動モータ１００Ｇの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。図１９（Ａ）は、振動モータ１００Ｇが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の例を示した斜視図である。図１９（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2の例を示した斜視図である。図２０（Ａ）は、振動モータ１００の第８の変形例である振動モータ１００Ｈの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図２０（Ｂ）は、振動モータ１００Ｈの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図２１（Ａ）は、この開示に従う振動子支持構造を含む振動モータの実施形態を示す振動モータ２００の、筺体１の第１の部分１ａ（図２参照）を除いて上面視したときの平面図である。図２１（Ｂ）は、振動モータ２００の、筺体１の第２の部分１ｂ（図２参照）を除いて下面視したときの平面図である。図２２（Ａ）は、図２１（Ａ）に示されたＡ－Ａ線を含む面で切断された振動モータ２００の矢視断面図である。図２２（Ｂ）は、図２１（Ａ）に示されたＢ－Ｂ線を含む面で切断された振動モータ２００の矢視断面図である。この開示に従う電子機器の模式的な形態である携帯型情報端末１０００の透過斜視図である。携帯型情報端末１０００の要部の断面図である。背景技術の振動モータ２００の断面図である。

　この開示の特徴とするところを、図面を参照しながら説明する。なお、以下に示す振動モータの模式的な形態および実施形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さないことがある。

　－振動モータの模式的な形態－
　この開示に従う振動子支持構造を含む振動モータの模式的な形態を示す振動モータ１００について、図１および図２を用いて説明する。

　図１（Ａ）は、振動モータ１００の、筺体１の第１の部分１ａ（図２参照）を除いて上面視したときの平面図である。図１（Ｂ）は、振動モータ１００の、筺体１の第２の部分１ｂ（図２参照）の、第１の部分１ａと対向する部分を除いて下面視したときの平面図である。図２（Ａ）は、図１（Ａ）に示されたＡ－Ａ線を含む面で切断された振動モータ１００の矢視断面図である。図２（Ｂ）は、図１（Ａ）に示されたＢ－Ｂ線を含む面で切断された振動モータ１００の矢視断面図である。ここで、上面視とは、後述する筺体１の内壁Ｗ５側から内壁Ｗ６側を見ることを指す。下面視とは、内壁Ｗ６側から内壁Ｗ５側を見ることを指す。

　振動モータ１００は、図１および図２に示されるように、筺体１（第１の筺体）と、２つの磁石Ｍ１（第１の磁石）および２つの磁石Ｍ２（第２の磁石）を含む振動子２と、コイル３（第１のコイル）と、コイル４（第２のコイル）と、第１の反発機構Ｓ１と、第２の反発機構Ｓ２とを備えている。また、振動モータ１００の異なる２つの振動方向を、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２とする。

　筺体１は、第１の部分１ａと第２の部分１ｂとを含み、内壁Ｗ１ないしＷ６を有する直方体状である。振動モータ１００において、第１の部分１ａは平板状の蓋部であり、第２の部分１ｂは、第１の部分１ａと対向する平板状の平板部分と、この平板部分から第１の部分１ａ方向に向かって延びる４つの平板状の側壁部分とを有する容器部となっている。すなわち、筺体１は、外形が直方体状の密閉構造となっているが、形状はこれに限られない。例えば、筺体１は、筒状であってもよく、部分的に開口を備えていてもよい。なお、第２の部分１ｂは、後述するように、容器部本体１ｂ1と固定部１ｂ2とを含んでいるが、固定部１ｂ2の図示は省略されている（以下同様）。

　内壁Ｗ１ないしＷ４は、図１（Ａ）、（Ｂ）に示された筺体１の側壁面に相当し、内壁Ｗ１と内壁Ｗ２、および内壁Ｗ３と内壁Ｗ４とがそれぞれ対向している。また、内壁Ｗ５は、図２（Ａ）、（Ｂ）に示された筺体１の内部の天面に相当し、内壁Ｗ６は、内壁Ｗ５と対向する筺体１の内部の底面に相当する。

　振動子２は、筺体１の第２の部分１ｂ内に収容されている。振動子２は、上記の定義における上面視で矩形状の基板２ａを含んでいる。基板２ａは、一方主面と、他方主面と、第２の方向Ｄ２に平行な２つの側面（第１の側面）と、第１の方向Ｄ１に平行な２つの側面（第２の側面）とを有している。２つの磁石Ｍ１は、それぞれ後述するコイル３の巻線部と対向するように、第１の方向Ｄ１に沿って基板２ａの一方主面側に間隔をおいて固定されている。また、２つの磁石Ｍ１は、磁極の配列方向がコイル３の巻回軸線とそれぞれ平行、かつ互いに逆向きとなるように配置されている。

　具体的には、２つの磁石Ｍ１の一方（図２（Ａ）における左側の磁石Ｍ１）の磁極は、コイル３に対向する側（コイル３に近い側）がＳ極であり、基板２ａに対向する側（基板２ａに近い側）がＮ極である。また、２つの磁石Ｍ１の他方（図２（Ａ）における右側の磁石Ｍ１）の磁極は、コイル３に対向する側（コイル３に近い側）がＮ極であり、基板２ａに対向する側（基板２ａに近い側）がＳ極である。

　振動モータ１００において、２つの磁石Ｍ１は、同じ形状となっている。すなわち、２つの磁石Ｍ１は、第１の方向Ｄ１から見たとき、互いに重なって見える。ただし、磁石Ｍ１の形状は、これに限られない。また、磁石Ｍ１は１つだけでもよい。振動モータ１００では、２つの磁石Ｍ１が上記のように配置されているため、後述するコイル３に加わるローレンツ力を大きくすることができる。

　なお、２つの磁石Ｍ１の間に別の磁石を入れて、２つの磁石Ｍ１およびこの別の磁石が構成する磁石の配列の磁界が、コイル３に対向する側に集中するようにしてもよい。この場合、この別の磁石の磁極は、２つの磁石Ｍ１の一方に対向する側（２つの磁石Ｍ１の一方に近い側）がＳ極であり、他方に対向する側（他方に近い側）がＮ極である。

　コイル３は、通電されることにより、振動子２が第１の方向Ｄ１に沿って振動可能となるように磁石Ｍ１に駆動力を与える。図１および図２において、コイル３の巻線およびコイル３への通電経路（配線経路）などの図示は省略されている。振動モータ１００において、コイル３は、巻回軸線が筺体１の内壁Ｗ５の法線方向と平行となる、すなわち巻回軸線が第１の方向Ｄ１と直交するように、筺体１の内壁Ｗ５に固定されている。コイル３の巻回軸線方向から見たときの形状は、矩形状である。ただし、巻回の都合上、コイル３の矩形の角に相当する部分においては一定の曲面を有することもある。

　コイル３に電流が流れると、コイル３には、磁石Ｍ１の磁界により、磁界の向きおよび電流の流れる向きのそれぞれと直交する向きのローレンツ力が加わる。一方、コイル３は、筺体１に固定されているので、磁石Ｍ１にローレンツ力の反力が加わる。したがって、コイル３は、通電により磁石Ｍ１に、延いては振動子２に第１の方向Ｄ１に沿った駆動力を与えることになる。

　前述したように、コイル３の巻回軸線方向から見たときの形状が矩形状である場合、コイル３が円環状である場合よりも、前述のローレンツ力の方向が第１の方向Ｄ１に揃いやすい。そのため、振動子２に与えられる第１の方向Ｄ１に沿った駆動力が大きくなり好ましい。

　２つの磁石Ｍ２は、それぞれ後述するコイル４の巻線部と対向するように、第１の方向Ｄ１と交差する第２の方向Ｄ２に沿って基板２ａの他方主面側に間隔をおいて固定されている。また、２つの磁石Ｍ２は、磁極の配列方向がコイル４の巻回軸線とそれぞれ平行、かつ互いに逆向きとなるように配置されている。

　具体的には、２つの磁石Ｍ２の一方（図２（Ｂ）における左側の磁石Ｍ２）の磁極は、コイル４に対向する側（コイル４に近い側）がＮ極であり、基板２ａに対向する側（基板２ａに近い側）がＳ極である。また、２つの磁石Ｍ２の他方（図２（Ｂ）における右側の磁石Ｍ２）の磁極は、コイル４に対向する側（コイル４に近い側）がＳ極であり、基板２ａに対向する側（基板２ａに近い側）がＮ極である。

　振動モータ１００では、第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２とは直交している。なお、第１の方向Ｄ１と第２の方向Ｄ２との直交とは、製造上のばらつきなどによる厳密な直交からのずれを含んだ概念である。

　振動モータ１００において、２つの磁石Ｍ２は、同じ形状となっている。すなわち、２つの磁石Ｍ２は、第２の方向Ｄ２から見たとき、互いに重なって見える。ただし、磁石Ｍ２の形状は、これに限られない。また、磁石Ｍ２は１つだけでもよい。振動モータ１００では、２つの磁石Ｍ２が上記のように配置されているため、後述するコイル４に加わるローレンツ力を大きくすることができる。

　なお、２つの磁石Ｍ２の間にさらに別の磁石を入れて、２つの磁石Ｍ２およびこの別の磁石が構成する磁石の配列の磁界が、コイル４に対向する側に集中するようにしてもよい。この場合、この別の磁石の磁極は、２つの磁石Ｍ２の一方に対向する側（２つの磁石Ｍ２の一方に近い側）がＮ極であり、他方に対向する側（他方に近い側）がＳ極である。

　コイル４は、通電されることにより、振動子２が第２の方向Ｄ２に沿って振動可能となるように磁石Ｍ２に駆動力を与える。図１および図２において、コイル４の巻線およびコイル４への通電経路（配線経路）などの図示は省略されている。振動モータ１００において、コイル４は、巻回軸線が筺体１の内壁Ｗ６の法線方向と平行となる、すなわち巻回軸線が第２の方向Ｄ２と直交するように、筺体１の内壁Ｗ６に固定されている。コイル４の巻回軸線方向から見たときの形状は、矩形状である。ただし、巻回の都合上、コイル４の矩形の角に相当する部分においては一定の曲面を有することもある。

　コイル４に電流が流れると、コイル４には、磁石Ｍ２の磁界により、磁界の向きおよび電流の流れる向きのそれぞれと直交する向きのローレンツ力が加わる。一方、コイル４は、筺体１に固定されているので、磁石Ｍ２にローレンツ力の反力が加わる。したがって、コイル４は、通電により磁石Ｍ２に、延いては振動子２に第２の方向Ｄ２に沿った駆動力を与えることになる。

　前述したように、コイル４の巻回軸線方向から見たときの形状が矩形状である場合、コイル４が円環状である場合よりも、前述のローレンツ力の方向が第２の方向Ｄ２に揃いやすい。そのため、振動子２に与えられる第２の方向Ｄ２に沿った駆動力が大きくなり好ましい。

　第１の反発機構Ｓ１は、第１の方向Ｄ１に沿って筺体１と振動子２との間に反発力を与える。振動子２は、第２の方向Ｄ２に沿って可動である。第１の反発機構Ｓ１は、筺体１内で振動子２を支持する支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ（第１の支持部材）を含んでいる。

　支持部材Ｓ１ａは、変形部Ｓ１１ａと、係合部Ｓ１２ａとを有している。変形部Ｓ１１ａは、上面視で内壁Ｗ３側に開口するＵ字状であり、振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して弾性変形する。係合部Ｓ１２ａは、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように振動子２と係合している。

　ここで、係合部Ｓ１２ａと振動子２とが係合しているとは、係合部Ｓ１２ａおよび振動子２の一方が、他方に入り込んだ形態で互いに接触していることを指す。また、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能とは、係合部Ｓ１２ａと振動子２とが上記のように互いに接触した状態を維持したまま、振動子２が第２の方向に沿って可動であることを指す。これらの状態が実現される立体的な構造の例については、後述される。

　支持部材Ｓ１ｂは、変形部Ｓ１１ｂと、係合部Ｓ１２ｂとを有している。変形部Ｓ１１ｂは、上面視で内壁Ｗ４側に開口するＵ字状であり、振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して弾性変形する。係合部Ｓ１２ｂは、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように振動子２と係合している。係合部Ｓ１２ｂと振動子２とが係合していること、および振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して振動子２が摺動可能であることは、上記と同様に定義される。

　支持部材Ｓ１ａは、変形部Ｓ１１ａから延びる平板状の固定部Ｓ１３ａと内壁Ｗ１とが接続されることにより、筺体１に固定されている。支持部材Ｓ１ｂは、変形部Ｓ１１ｂから延びる平板状の固定部Ｓ１３ｂと内壁Ｗ２とが接続されることにより、筺体１に固定されている。振動子２は、支持部材Ｓ１ａの係合部Ｓ１２ａと、支持部材Ｓ１ｂの係合部Ｓ１２ｂとの間に、第２の方向Ｄ２に沿って可動であり、かつ筺体１内に支持されるように挟まれている。

　なお、支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａは、内壁Ｗ１から内壁Ｗ２に向かう向きに、支持部材Ｓ１ｂの変形部Ｓ１１ｂは、内壁Ｗ２から内壁Ｗ１に向かう向きにそれぞれ振動子２を付勢するように予め変形されていることが好ましい。

　その場合、振動子２の第１の方向Ｄ１における振幅の最大値においても、支持部材Ｓ１ａの係合部Ｓ１２ａと、支持部材Ｓ１ｂの係合部Ｓ１２ｂとが、それぞれ振動子２に係合した状態が維持されるように変形されていることが好ましい。

　また、支持部材Ｓ１ａの固定部Ｓ１３ａおよび支持部材Ｓ１ｂの固定部Ｓ１３ｂは、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸上で筺体１に接続されることが好ましい。この場合、振動子２が第１の方向Ｄ１に振動するときに、振動のぶれを効果的に抑制することができる。

　第２の反発機構Ｓ２は、第２の方向Ｄ２に沿って筺体１と振動子２との間に反発力を与える。振動子２は、第１の方向Ｄ１に沿って可動である。第２の反発機構Ｓ２は、筺体１内で振動子２を支持する支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂ（第２の支持部材）を含んでいる。

　支持部材Ｓ２ａは、変形部Ｓ２１ａと、係合部Ｓ２２ａとを有している。変形部Ｓ２１ａは、上面視で内壁Ｗ２側に開口するＵ字状であり、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して弾性変形する。係合部Ｓ２２ａは、振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して振動子２が摺動可能となるように振動子２と係合している。係合部Ｓ２２ａと振動子２とが係合していること、および振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して振動子２が摺動可能であることは、前述と同様に定義される。

　支持部材Ｓ２ｂは、変形部Ｓ２１ｂと、係合部Ｓ２２ｂとを有している。変形部Ｓ２１ｂは、上面視で内壁Ｗ１側に開口するＵ字状であり、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して弾性変形する。係合部Ｓ２２ｂは、振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して振動子２が摺動可能となるように振動子２と係合している。係合部Ｓ２２ｂと振動子２とが係合していること、および振動子２の第１の方向Ｄ１の振動に対して振動子２が摺動可能であることも、上記と同様に定義される。

　支持部材Ｓ２ａは、変形部Ｓ２１ａから延びる平板状の固定部Ｓ２３ａと内壁Ｗ３とが接続されることにより、筺体１に固定されている。支持部材Ｓ２ｂは、変形部Ｓ２１ｂから延びる平板状の固定部Ｓ２３ｂと内壁Ｗ４とが接続されることにより、筺体１に固定されている。振動子２は、支持部材Ｓ２ａの係合部Ｓ２２ａと、支持部材Ｓ２ｂの係合部Ｓ２２ｂとの間に、第１の方向Ｄ１に沿って可動であり、かつ筺体１内に支持されるように挟まれている。

　なお、支持部材Ｓ２ａの変形部Ｓ２１ａは、内壁Ｗ３から内壁Ｗ４に向かう向きに、支持部材Ｓ２ｂの変形部Ｓ２１ｂは、内壁Ｗ４から内壁Ｗ３に向かう向きにそれぞれ振動子２を付勢するように予め変形されていることが好ましい。

　その場合、振動子２の第２の方向Ｄ２における振幅の最大値においても、支持部材Ｓ２ａの係合部Ｓ２２ａと、支持部材Ｓ２ｂの係合部Ｓ２２ｂとが、それぞれ振動子２に係合した状態が維持されるように変形されることが好ましい。

　また、支持部材Ｓ２ａの固定部Ｓ２３ａおよび支持部材Ｓ２ｂの固定部Ｓ２３ｂは、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第２の方向Ｄ２に平行な対称軸上で筺体１に接続されることが好ましい。この場合、振動子２が第２の方向Ｄ２に振動するときに、振動のぶれを効果的に抑制することができる。

　振動モータ１００が備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａについて、図３および図４を用いてさらに説明する。

　図３（Ａ）は、支持部材Ｓ１ａを示し、図３（Ｂ）および（Ｃ）は、それぞれ支持部材Ｓ１ａの第１および第２の変形例を示した斜視図である。なお、支持部材Ｓ１ｂも、同様の構造および機能を有しているので、詳細な説明は省略される。

　図３（Ａ）は、前述の振動モータ１００が備える支持部材Ｓ１ａを示す。支持部材Ｓ１ａは、前述したように、変形部Ｓ１１ａと、係合部Ｓ１２ａと、固定部Ｓ１３ａとを有している。

　変形部Ｓ１１ａは、上面視でＵ字状に加工された、帯状の弾性部材である。すなわち、支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００に組み込まれたときには、第１の方向Ｄ１に弾性変形可能となっている。変形部Ｓ１１ａの材質としては、例えばリボン鋼、ベイナイト鋼、ステンレス鋼、リン青銅またはベリリウム銅などが用いられる。なお、変形部Ｓ１１ａである帯状の弾性部材の幅は、基板２ａの厚みと同じとなっている。

　係合部Ｓ１２ａは、凹部Ｃを有している。図３（Ａ）に示された支持部材Ｓ１ａにおいては、係合部Ｓ１２ａは、Ｕ字状の変形部Ｓ１１ａから延びた平板部分に、断面が角張ったＣ字状となるように２つの板状部材が接続されることにより形成されている。支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００に組み込まれたときには、この凹部Ｃの内部と、基板２ａの第１の側面の一方とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、係合部Ｓ１２ａと振動子２とが係合する。

　変形部Ｓ１１ａと係合部Ｓ１２ａとは、上記のように１つの部材であってもよく、それぞれ別部材であってもよい。なお、図３（Ａ）においては、係合部Ｓ１２ａにおける変形部Ｓ１１ａから平板状に延びた部分と、固定部Ｓ１３ａとは、平行となっている。ただし、これに限られない。

　前述したように、変形部Ｓ１１ａは、振動子２の第１の方向Ｄ１における振幅の最大値においても、係合部Ｓ１２ａが振動子２に係合した状態が維持されるように変形されていることが好ましい。特に、係合部Ｓ１２ａにおける変形部Ｓ１１ａから平板状に延びた部分と、基板２ａの第１の側面の一方とが接触した状態が維持されるように変形されていることが好ましい。

　固定部Ｓ１３ａは、変形部Ｓ１１ａから平板状に延びた部分であり、支持部材Ｓ１ａの筺体１への固定のし易さおよび強度を考慮して設けられている。変形部Ｓ１１ａの形状によっては、固定部Ｓ１３ａを特に設けることなく、変形部Ｓ１１ａを直接筺体１に接続するようにしてもよい。

　図３（Ａ）に示された支持部材Ｓ１ａでは、支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００に組み込まれ、振動子２が第１の方向Ｄ１に振動したとき、固定部Ｓ１３ａには、筺体１に対して押し付けられる力が加わる。すなわち、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続信頼性の向上の点で好ましい。

　図３（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの第１の変形例を示す。支持部材Ｓ１ａも、変形部Ｓ１１ａと、係合部Ｓ１２ａと、固定部Ｓ１３ａとを有している。第１の変形例では、変形部Ｓ１１ａは、上面視で直線状の、帯状の弾性部材である。係合部Ｓ１２ａと固定部Ｓ１３ａとは、図３（Ａ）に示された例と同様であるため、詳細な説明は省略される。

　図３（Ｂ）に示された支持部材Ｓ１ａの第１の変形例では、支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００に組み込まれ、振動子２が第１の方向Ｄ１に振動したとき、変形部Ｓ１１ａの変形量を多くすることができる。すなわち、振動子２の振動量の向上の点で好ましい。

　図３（Ｃ）は、支持部材Ｓ１ａの第２の変形例を示す。支持部材Ｓ１ａも、変形部Ｓ１１ａと、係合部Ｓ１２ａと、固定部Ｓ１３ａとを有している。第２の変形例では、変形部Ｓ１１ａは、直方体状の弾性部材である。変形部Ｓ１１ａの材質としては、例えばスチレン・ブタジエンゴム、エポキシゴムまたはシリコーンゴムなどが用いられる。また、第２の変形例では、係合部Ｓ１２ａは、断面が角張ったＣ字状である帯状部材であり、変形部Ｓ１１ａの一方端に接続されている。固定部Ｓ１３ａは、変形部Ｓ１１ａの他方端である。

　図３（Ｃ）に示された支持部材Ｓ１ａの第２の変形例では、支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００に組み込まれ、振動子２が第１の方向Ｄ１に振動したとき、固定部Ｓ１３ａには、筺体１に対して押し付けられる力が加わる。すなわち、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続信頼性の向上の点で好ましい。

　図４（Ａ）ないし（Ｃ）は、支持部材Ｓ１ａの第３ないし第５の変形例を示した斜視図である。図４（Ａ）は、支持部材Ｓ１ａの第３の変形例を示す。第３の変形例では、係合部Ｓ１２ａの凹部Ｃを構成する２つの板状部材の一方に滑り材ＳＢａが貼付されており、他方に滑り材ＳＢｂが貼付されている。これにより、基板２ａと凹部Ｃとの摩擦を低減することができる。滑り材ＳＢａ、ＳＢｂの材質としては、例えばフッ素樹脂、ポリアセタール、ポリフェニレンサルファイドまたはポリオレフィン系樹脂などが用いられる。なお、滑り材ＳＢａ、ＳＢｂは、基板２ａの一方主面および他方主面に貼付されていてもよい。

　図４（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの第４の変形例を示す。第４の変形例では、係合部Ｓ１２ａの凹部Ｃを構成する変形部Ｓ１１ａから延びた平板部分に衝撃吸収材ＳＡが貼付されている。これにより、凹部Ｃの内部で、変形部Ｓ１１ａから延びた平板部分と、基板２ａの第１の側面の一方との衝突による破損を抑制することができる。

　図４（Ｃ）は、支持部材Ｓ１ａの第５の変形例を示す。第５の変形例では、第３および第４の変形例の形態に倣って、係合部Ｓ１２ａの凹部Ｃに前述の滑り材ＳＢａ、ＳＢｂおよび衝撃吸収材ＳＡが貼付されている。これにより、第３および第４の変形例の効果を共に得ることができる。

　以上説明したように、振動モータ１００における振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ（第１の支持部材）と、支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂ（第２の支持部材）とを備えている。

　支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂは、振動子２が第１の方向Ｄ１に沿って振動するときには、ばね機構として筺体１と振動子２との間に反発力を与える。一方、振動子２が第２の方向Ｄ２に沿って振動するときには、振動子２を摺動させることにより、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂと筺体１との接続部に対する負荷を抑制することができる。

　同様に、支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂは、振動子２が第２の方向Ｄ２に沿って振動するときには、ばね機構として筺体１と振動子２との間に反発力を与える。一方、振動子２が第１の方向Ｄ１に沿って振動するときには、振動子２を摺動させることにより、支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂと筺体１との接続部に対する負荷を抑制することができる。

　したがって、振動モータ１００においては、振動子２を筺体１内に支持する支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂおよび支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂと、筺体１との接続部の信頼性が高く、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　なお、振動モータ１００においては、筺体１の内壁Ｗ１ないしＷ４と矩形状の基板２ａとの間の隙間がそれぞれ等しくなっている。そのため、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂおよび支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂは、同一の形状を有している。ただし、これに限らず、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂと支持部材Ｓ２ａ、Ｓ２ｂとが異なる形状であってもよい。

　また、振動モータ１００においては、支持部材Ｓ１ａと支持部材Ｓ１ｂとでは内壁に向かって開口する向きが逆であり、支持部材Ｓ２ａと支持部材Ｓ２ｂとでは内壁に向かって開口する向きが逆である。ただし、これに限らず、支持部材Ｓ１ａと支持部材Ｓ１ｂとで内壁に向かって開口する向きが同じであり、支持部材Ｓ２ａと支持部材Ｓ２ｂとで内壁に向かって開口する向きが同じであってもよい。言い換えれば、支持部材Ｓ１ａと支持部材Ｓ１ｂとで同じ内壁に向かって開口していてもよいし、支持部材Ｓ２ａと支持部材Ｓ２ｂとで同じ内壁に向かって開口していてもよい。

　－振動モータの模式的な形態の第１の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第１の変形例である振動モータ１００Ａについて、図５および図６を用いて説明する。

　図５（Ａ）および（Ｂ）は、振動モータ１００Ａの、図１（Ａ）および（Ｂ）に相当する平面図である。図６（Ａ）および（Ｂ）は、振動モータ１００Ａの、図２（Ａ）および（Ｂ）に相当する平面図である。振動モータ１００Ａは、第２の反発機構Ｓ２の形態が振動モータ１００と異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００と同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ａでは、第２の反発機構Ｓ２は、磁石ユニットＭＵ１ａ（第１の磁石ユニット）と、磁石ユニットＭＵ１ｂ（第１の磁石ユニット）とを備えている。磁石ユニットＭＵ１ａは、磁石Ｍ３ａ（第３の磁石）および磁石Ｍ４ａ（第４の磁石）を含んでいる。また、磁石ユニットＭＵ１ｂは、磁石Ｍ３ｂ（第３の磁石）および磁石Ｍ４ｂ（第４の磁石）を含んでいる。後述するように、磁石ユニットＭＵ１ａ、ＭＵ１ｂは、それぞれ磁気ばね機構として機能する。

　磁石Ｍ３ａは、磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行となるように、筺体１の内壁Ｗ３に固定されている（筺体１の各内壁については図１および図２参照。以下同様）。磁石Ｍ４ａは、磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行、かつ第２の方向Ｄ２に沿って磁石Ｍ３ａと互いに反発する配置で、基板２ａの第２の側面の一方に固定されている。

　ここで、磁石Ｍ４ａは、振動子２と筺体１との衝突を避けるため、振動前の磁石Ｍ３ａと磁石Ｍ４ａとの間隔が、基板２ａの端面と筺体１との間隔以下となるように、基板２ａに固定される。この場合、磁気ばね機構が効果的に作用する。小型化の観点からすれば、振動前の磁石Ｍ３ａと磁石Ｍ４ａとの間隔が、基板２ａの端面と内壁Ｗ３との間隔と同一であることが好ましい。

　磁石Ｍ３ｂは、磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行となるように、筺体１の内壁Ｗ４に固定されている。磁石Ｍ４ｂは、磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行、かつ第２の方向Ｄ２に沿って磁石Ｍ３ｂと互いに反発する配置で、基板２ａの第２の側面の他方に固定されている。

　ここで、磁石Ｍ４ｂも、磁石Ｍ４ａと同様に、振動前の磁石Ｍ３ｂと磁石Ｍ４ｂとの間隔が、基板２ａの端面と筺体１との間隔以下となるように、好ましくは同一の間隔で基板２ａに固定される。すなわち、振動モータ１００Ａにおいては、振動子２は、図５に示されているように、基板２ａと、２つの磁石Ｍ１（第１の磁石）と、２つの磁石Ｍ２（第２の磁石）と、磁石Ｍ３ａ、Ｍ３ｂ（第３の磁石）と、磁石Ｍ４ａ、Ｍ４ｂ（第４の磁石）とを含んでいる。

　図５（Ａ）に示されているように、振動モータ１００Ａでは、磁石Ｍ３ａと、磁石Ｍ４ａと、磁石Ｍ３ｂと、磁石Ｍ４ｂとは、平面視で第２の方向Ｄ２に沿った同一の軸線上に配置されている。また、図６（Ｂ）に示されているように、磁石Ｍ３ａのＮ極と磁石Ｍ４ａのＮ極とが互いに対向し、磁石Ｍ３ｂのＳ極と磁石Ｍ４ｂのＳ極とが互いに対向している。これにより、磁石Ｍ３ａと磁石Ｍ４ａとが、振動子２の第２の方向Ｄ２に沿った振動に対する磁気ばね機構の一方を構成し、磁石Ｍ３ｂと磁石Ｍ４ｂとが、磁気ばね機構の他方を構成している。

　すなわち、振動モータ１００Ａにおける第２の反発機構Ｓ２は、振動子２を支持する支持部材を有していない。したがって、振動子２は、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂにより筺体１に支持されている。前述したように、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。その結果、振動モータ１００Ａは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　ここで、振動モータ１００Ａの動作について、図７および図８を用いて説明する。図７（Ａ）ないし（Ｃ）は、第１の方向Ｄ１における振動モータ１００Ａの一連の動作を説明する、それぞれ図２（Ａ）に相当する断面図である。

　図７（Ａ）は、振動子２が振動しておらず、コイル３に通電が開始された状態を示している。ここで、コイル３の左側の断面に付されている記号は、図上で奥側から手前側に向かって電流が流れていることを表している。同様に、コイル３の右側の断面に付されている記号は、図上で手前側から奥側に向かって電流が流れていることを表している。また、Ｎ極から出る上向きの矢印、あるいはＳ極に入る下向きの矢印は、磁石Ｍ１の磁界の向きを表している。

　コイル３に上記の向きで電流が流れると、コイル３には、磁石Ｍ１の磁界により、磁界の向きおよび電流の流れる向きのそれぞれと直交する向きのローレンツ力（図上の右向きの矢印）が加わる。一方、コイル３は筺体１に固定されているので、磁石Ｍ１にローレンツ力の反力（図上の左向きの矢印）が加わる。したがって、振動子２には、第１の方向Ｄ１に沿って図上の左側に動くような駆動力が与えられる。

　図７（Ｂ）は、振動子２が図上の左側に動いた後、コイル３に流れる電流の向きを反転させた状態を示している。振動子２が左側に動くと、振動子２と筺体１の内壁Ｗ１との間にある支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａが圧縮される方向に弾性変形することにより、振動子２と内壁Ｗ１との間に反発力が働く。その結果、振動子２には、図上の右側に動くような力（図上の右向きの矢印）が加わる。

　なお、振動子２と筺体１の内壁Ｗ２との間にある支持部材Ｓ１ｂの変形部Ｓ１１ｂは、伸ばされる方向に弾性変形する。ただし、前述したように、変形部Ｓ１１ｂは、内壁Ｗ２から内壁Ｗ１に向かう向きにそれぞれ振動子２を付勢するように予め変形されている。すなわち、図７（Ｂ）の状態は、変形部Ｓ１１ｂに予め加えられていた変形が開放された状態であるため、変形部Ｓ１１ｂから振動子２を図上の右側に動かす力は発生しない。

　一方、内壁Ｗ１には、振動子２に加わる力の反力が加わる。そして、その反力は支持部材Ｓ１ａが固定されている筺体１の第２の部分１ｂを変形させる。なお、図７（Ｂ）では、変形の図示は省略されている（以下同様）。

　また、コイル３に流れる電流の向きを反転させると、コイル３には、図７（Ａ）に示された向きと逆向きのローレンツ力が加わる。ただし、コイル３の巻回軸線方向から見たときの、コイル３の巻線部と磁石Ｍ１とが重なる面積が、図３（Ａ）に示された状態より小さくなっているので、生じるローレンツ力の大きさは小さくなっている（図上の左向きの小さな矢印）。そして、このローレンツ力の反力が、磁石Ｍ１に加わる（図上の右向きの小さな矢印）。

　したがって、前述の支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａの弾性変形により振動子２に加わる力とローレンツ力の反力とにより、振動子２には、第１の方向Ｄ１に沿って図上の右側に動くような駆動力が与えられる。

　図７（Ｃ）は、振動子２が図上の右側に動いた後、コイル３に流れる電流の向きを反転させた状態を示している。振動子２が右側に動くと、振動子２と筺体１の内壁Ｗ２との間にある支持部材Ｓ１ｂの変形部Ｓ１１ｂが圧縮される方向に弾性変形することにより、振動子２と内壁Ｗ２との間に反発力が働く。その結果、振動子２には、図上の左側に動くような力（図上の左向きの矢印）が加わる。

　なお、振動子２と筺体１の内壁Ｗ１との間にある支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａは、伸ばされる方向に弾性変形する。ただし、図７（Ｂ）の状態と同様に、図７（Ｃ）の状態は、変形部Ｓ１１ａに予め加えられていた変形が開放された状態であるため、変形部Ｓ１１ａから振動子２を図上の左側に動かす力は発生しない。

　一方、内壁Ｗ２には、振動子２に加わる力の反力が加わる。そして、その反力は支持部材Ｓ１ｂが固定されている筺体１の第２の部分１ｂを変形させる。

　また、コイル３に流れる電流の向きを反転させると、コイル３には、図７（Ｂに示された向きと逆向きのローレンツ力が加わる。ただし、コイル３の巻回軸線方向から見たときの、コイル３の巻線部と磁石Ｍ１とが重なる面積が、図３（Ａ）に示された状態より小さくなっているので、生じるローレンツ力の大きさは小さくなっている（図上の右向きの小さな矢印）。そして、このローレンツ力の反力が、磁石Ｍ１に加わる（図上の左向きの小さな矢印）。

　したがって、前述の支持部材Ｓ１ｂの変形部Ｓ１１ｂの弾性変形により振動子２に加わる力とローレンツ力の反力とにより、振動子２には、第１の方向Ｄ１に沿って図上の左側に動くような駆動力が与えられる。以上で説明した振動子２の動きが繰り返されることにより、振動子２は第１の方向Ｄ１に沿って振動する。そして、振動子２の振動は、筺体１を繰り返し変形させ、振動モータ１００Ａの振動となる。

　なお、振動モータ１００Ａでは、第２の反発機構Ｓ２は、磁石ユニットＭＵ１ａ、ＭＵ１ｂを備えており、振動子２を筺体１内に支持する支持部材を有していない。したがって、筺体１と支持部材との接続部も存在しない。そのため、第１の方向Ｄ１における振動子２の振動が、第２の反発機構Ｓ２の信頼性に影響を与えることはない。

　図８（Ａ）ないし（Ｃ）は、第２の方向Ｄ２における振動モータ１００Ａの一連の動作を説明する、それぞれ図２（Ｂ）に相当する断面図である。

　図８（Ａ）は、振動子２が振動しておらず、コイル４に通電が開始された状態を示している。ここで、コイル４の左側の断面に付されている記号は、図上で奥側から手前側に向かって電流が流れていることを表している。同様に、コイル４の右側の断面に付されている記号は、図上で手前側から奥側に向かって電流が流れていることを表している。また、Ｎ極から出る上向きの矢印、あるいはＳ極に入る下向きの矢印は、磁石Ｍ２の磁界の向きを表している。

　コイル４に上記の向きで電流が流れると、コイル４には、磁石Ｍ２の磁界により、磁界の向きおよび電流の流れる向きのそれぞれと直交する向きのローレンツ力（図上の左向きの矢印）が加わる。一方、コイル４は筺体１に固定されているので、磁石Ｍ２にローレンツ力の反力（図上の右向きの矢印）が加わる。したがって、振動子２には、第２の方向Ｄ２に沿って図上の右側に動くような駆動力が与えられる。

　図８（Ｂ）は、振動子２が図上の右側に動いた後、コイル４に流れる電流の向きを反転させた状態を示している。振動子２が右側に動くと、筺体１の第２の部分１ｂ（内壁Ｗ４）に固定された磁石Ｍ３ｂと振動子２の磁石Ｍ４ｂとの間の反発力が大きくなる。その結果、磁石Ｍ４ｂには、図上の左側に動くような力（図上の左向きの矢印）が加わる。一方、磁石Ｍ３ｂには、磁石Ｍ４ｂに加わる力の反力が加わる。そして、その反力は磁石Ｍ３ｂが固定されている筺体１の第２の部分１ｂを変形させる。

　そして、コイル４に流れる電流の向きを反転させると、コイル４には、図８（Ａ）に示された向きと逆向きのローレンツ力が加わる。ただし、コイル４の巻回軸線方向から見たときの、コイル４の巻線部と磁石Ｍ２とが重なる面積が、図８（Ａ）に示された状態より小さくなっているので、生じるローレンツ力の大きさは小さくなっている（図上の右向きの小さな矢印）。そして、このローレンツ力の反力が、磁石Ｍ２に加わる（図上の左向きの小さな矢印）。

　したがって、前述の磁石Ｍ４ｂに加わる力とローレンツ力の反力とにより、振動子２には、第２の方向Ｄ２に沿って図上の左側に動くような駆動力が与えられる。

　図８（Ｃ）は、振動子２が図上の左側に動いた後、コイル４に流れる電流の向きを反転させた状態を示している。振動子２が左側に動くと、筺体１の第２の部分１ｂ（内壁Ｗ３）に固定された磁石Ｍ３ａと振動子２の磁石Ｍ４ａとの間の反発力が大きくなる。その結果、磁石Ｍ４ａには、図上の右側に動くような力（図上の右向きの矢印）が加わる。一方、磁石Ｍ３ａには、磁石Ｍ４ａに加わる力の反力が加わる。そして、その反力は磁石Ｍ３ａが固定されている筺体１の第２の部分１ｂを、図８（Ｂ）の場合と逆方向に変形させる。

　そして、コイル４に流れる電流の向きを反転させると、コイル４には、図８（Ｂ）に示された向きと逆向きのローレンツ力が加わる。図８（Ｂ）に示された状態と同様に、生じるローレンツ力の大きさは小さくなっている（図上の左向きの小さな矢印）。そして、このローレンツ力の反力が、磁石Ｍ２に加わる（図上の右向きの小さな矢印）。

　したがって、前述の磁石Ｍ４ａに加わる力とローレンツ力の反力とにより、振動子２には、第２の方向Ｄ２に沿って図上の右側に動くような駆動力が与えられる。以上で説明した振動子２の動きが繰り返されることにより、振動子２は第２の方向Ｄ２に沿って振動する。そして、振動子２の振動は、筺体１を繰り返し変形させ、振動モータ１００Ａの振動となる。

　振動モータ１００Ａでは、第１の反発機構Ｓ１は、前述の支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂを備えており、第２の反発機構Ｓ２は、振動子２を筺体１内に支持する支持部材を有していない。すなわち、振動モータ１００Ａにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂとを備えている。

　したがって、振動モータ１００Ａでは、振動子２が第２の方向Ｄ２に振動した場合に、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂと筺体１との接続部に対する負荷を抑制することができる。その結果、振動モータ１００Ａにおいても、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　－振動モータの模式的な形態の第２の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第２の変形例である振動モータ１００Ｂについて、図９を用いて説明する。

　図９（Ａ）は、振動モータ１００Ｂの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図９（Ｂ）は、振動モータ１００Ｂの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｂは、第１の反発機構Ｓ１の形態が振動モータ１００Ａと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ａと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｂでは、第１の反発機構Ｓ１は、前述の支持部材Ｓ１ａと、第１の方向Ｄ１に沿って筺体１と振動子２との間に反発力を与える、磁石ユニットＭＵ２（第２の磁石ユニット）とを含んでいる。磁石ユニットＭＵ２は、磁石Ｍ８（第８の磁石）および磁石Ｍ９（第９の磁石）を含んでいる。後述するように、磁石ユニットＭＵ２は、磁気ばね機構として機能する。

　磁石Ｍ８は、磁極の配列方向が第１の方向Ｄ１と平行となるように、筺体１の内壁Ｗ２に固定されている。磁石Ｍ９は、磁極の配列方向が第１の方向Ｄ１と平行、かつ第１の方向Ｄ１に沿って磁石Ｍ８と互いに反発する配置で、基板２ａの第１の側面の一方に固定されている。

　ここで、磁石Ｍ９は、振動子２と筺体１との衝突を避けるため、振動前の磁石Ｍ８と磁石Ｍ９との間隔が、基板２ａの端面と筺体１との間隔以下となるように、基板２ａに固定される。この場合、磁気ばね機構が効果的に作用する。小型化の観点からすれば、振動前の磁石Ｍ８と磁石Ｍ９との間隔が、基板２ａの端面と内壁Ｗ２との間隔と同一であることが好ましい。

　振動モータ１００Ｂにおける第１の反発機構Ｓ１および第２の反発機構Ｓ２において、振動子２は、支持部材Ｓ１ａのみにより支持されている。すなわち、振動モータ１００Ｂにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、支持部材Ｓ１ａとを備えている。前述したように、支持部材Ｓ１ａは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。その結果、振動モータ１００Ｂは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　－振動モータの模式的な形態の第３の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第３の変形例である振動モータ１００Ｃについて、図１０および図１１を用いて説明する。

　図１０は、振動モータ１００Ｃの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１１（Ａ）は、振動モータ１００Ｃの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１１（Ｂ）は、振動モータ１００Ｃの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｃは、振動子２の形態とコイル４の配置が振動モータ１００Ａと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ａと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｃでは、２つの磁石Ｍ１および２つの磁石Ｍ２は、いずれも基板２ａの一方主面側に固定されている。また、コイル３およびコイル４は、いずれも巻回軸線が筺体１の内壁Ｗ５の法線方向と平行となる、すなわち巻回軸線が第１の方向Ｄ１と直交するように、筺体１の内壁Ｗ５に固定されている。

　すなわち、２つの磁石Ｍ１は、コイル３の巻線部と対向するように、第１の方向Ｄ１に沿って基板２ａの一方主面側に間隔をおいて固定されている。また、２つの磁石Ｍ１は、磁極の配列方向がコイル３の巻回軸線とそれぞれ平行、かつ互いに逆向きとなるように配置されている。そして、２つの磁石Ｍ２は、コイル４の巻線部と対向するように、第２の方向Ｄ２に沿って基板２ａの一方主面側に間隔をおいて固定されている。また、２つの磁石Ｍ２は、磁極の配列方向がコイル４の巻回軸線とそれぞれ平行、かつ互いに逆向きとなるように配置されている。

　振動モータ１００Ｃの振動子支持構造は、振動モータ１００Ａの振動子支持構造と同様である。そのため、振動モータ１００Ｃにおいても、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　また、振動モータ１００Ｃでは、２つの磁石Ｍ１および２つの磁石Ｍ２、ならびにコイル３およびコイル４が、いずれも基板２ａの一方主面側に配置されている。そのため、振動モータ１００Ｃの低背化を図ることができる。

　－振動モータの模式的な形態の第４の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第４の変形例である振動モータ１００Ｄについて、図１２および図１３を用いて説明する。

　図１２は、振動モータ１００Ｄの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１３（Ａ）は、振動モータ１００Ｄの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１３（Ｂ）は、振動モータ１００Ｄの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｄは、第２の反発機構Ｓ２の形態が振動モータ１００Ｃと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ｃと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｄでは、第２の反発機構Ｓ２は、磁石ユニットＭＵ１ａ（第１の磁石ユニット）と、磁石ユニットＭＵ１ｂ（第１の磁石ユニット）とを備えている。磁石ユニットＭＵ１ａは、磁石Ｍ５（第５の磁石）および磁石Ｍ６（第６の磁石）を含んでいる。また、磁石ユニットＭＵ１ｂは、磁石Ｍ５および磁石Ｍ７（第７の磁石）を含んでいる。すなわち、磁石ユニットＭＵ１ａと磁石ユニットＭＵ１ｂとは、磁石Ｍ５を共用している。磁石ユニットＭＵ１ａ、ＭＵ１ｂは、それぞれ磁気ばね機構として機能する。

　磁石Ｍ５は、磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行となるように、筺体１の内壁Ｗ６に固定されている。磁石Ｍ６および磁石Ｍ７は、それぞれ磁極の配列方向が第２の方向Ｄ２と平行、かつ第２の方向Ｄ２に沿って磁石Ｍ５と互いに反発する配置で、基板２ａの他方主面側に固定されている。その際、磁石Ｍ６および磁石Ｍ７は、第２の方向に沿って磁石Ｍ５を挟むように配置されている。すなわち、振動モータ１００Ｄでは、磁石Ｍ５が、上面視で基板２ａの中心部と重なるように配置されている。

　振動モータ１００Ｄの振動子支持構造は、振動モータ１００Ａの振動子支持構造と同様である。そのため、振動モータ１００Ｃにおいても、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　また、振動モータ１００Ｄでは、磁石ユニットＭＵ１ａと磁石ユニットＭＵ１ｂとが磁石Ｍ５を共用している。そのため、振動モータ１００Ｄの構成部品点数を低減することができ、また製造工程の簡略化を図ることができる。さらに、磁石ユニットＭＵ１ａと磁石ユニットＭＵ１ｂとが占める面積を低減することができ、振動モータ１００Ｄの小型化を図ることができる。

　そして、振動モータ１００Ｄでは、磁気ばね機構を構成する磁石Ｍ５ないしＭ７は、それぞれの一部が重なっている。そして、第２の方向Ｄ２から見たときに、磁石Ｍ５ないしＭ７が互いに重なった領域の重心を通り、第２の方向Ｄ２に平行な軸線は、振動子２の駆動磁石である２つの磁石Ｍ２の互いに重なった領域の重心を通り、第２の方向Ｄ２に平行な軸線に比べてコイル４から離れた位置にある。

　また、上記の磁石Ｍ５ないしＭ７を通る軸線は、第１の方向Ｄ１から見たときに、振動子２の駆動磁石である２つの磁石Ｍ１の互いに重なった領域の重心を通り、第１の方向Ｄ１に平行な軸線に比べてコイル３から離れた位置にある。すなわち、磁石Ｍ６の磁界のコイル４に加わるローレンツ力への影響および磁石Ｍ７の磁界のコイル３に加わるローレンツ力への影響が抑制されている。

　－振動モータの模式的な形態の第５の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第５の変形例である振動モータ１００Ｅについて、図１４を用いて説明する。

　図１４（Ａ）は、振動モータ１００Ｅの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１４（Ｂ）は、振動モータ１００Ｅの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｅは、第１の反発機構Ｓ１の形態が振動モータ１００Ｃと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ｃと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｅの第１の反発機構Ｓ１においては、支持部材Ｓ１ａが、一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2の２つを含み、支持部材Ｓ１ｂが、一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2の２つを含んでいる。支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2ならびに支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2は、前述の支持部材Ｓ１ａと同様の構造および機能を有している。

　振動モータ１００Ｅでは、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の固定部および他方Ｓ１ａ2の固定部は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ１に接続されている（図１０参照）。また、一方Ｓ１ａ1の変形部と他方Ｓ１ａ2の変形部とでは、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ａ1の変形部は内壁Ｗ４側に開口し、他方Ｓ１ａ2の変形部は内壁Ｗ３側に開口している。

　同様に、支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1の固定部および他方Ｓ１ｂａ2の固定部は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ２に接続されている。また、一方Ｓ１ｂ1の変形部と他方Ｓ１ｂ2の変形部とでは、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ｂ1の変形部は内壁Ｗ４側に開口し、他方Ｓ１ｂ2の変形部は内壁Ｗ３側に開口している。

　振動モータ１００Ｅにおいて、振動子２は、上記の各支持部材により支持されている。すなわち、振動モータ１００Ｅにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、上記の各支持部材とを備えている。

　前述したように、支持部材Ｓ１ａは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。そのため、上記の各支持部材も同様の効果を奏することができる。その結果、振動モータ１００Ｅは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　また、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂがそれぞれ一方および他方の２つを含んでいるため、振動子２が第１の方向Ｄ１への振動するときに、振動のぶれを効果的に抑制することができる。

　－振動モータの模式的な形態の第６の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第６の変形例である振動モータ１００Ｆについて、図１５を用いて説明する。

　図１５（Ａ）は、振動モータ１００Ｆの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１５（Ｂ）は、振動モータ１００Ｆの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｆは、基板２ａの厚みと第１の反発機構Ｓ１の形態とが振動モータ１００Ｅと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ｅと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｆの振動子２において、基板２ａの厚みは、後述する帯状の弾性部材である変形部Ｓ１１ａ1の幅の２倍となっている。また、振動モータ１００Ｆの第１の反発機構Ｓ１において、支持部材Ｓ１ａは、一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2の２つを含み、支持部材Ｓ１ｂが、一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2の２つを含んでいる。ただし、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2ならびに支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2の構造は、機能は同様であるが、前述の支持部材Ｓ１ａの構造と異なっている。

　振動モータ１００Ｆが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2について、図１６を用いてさらに説明する。

　図１６（Ａ）は、振動モータ１００Ｆが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の例を示した斜視図である。図１６（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2の例を示した斜視図である。なお、支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2も、同様の構造および機能を有しているので、詳細な説明は省略される。

　支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1は、変形部Ｓ１１ａ1と、係合部Ｓ１２ａ1と、固定部Ｓ１３ａ1とを有している。変形部Ｓ１１ａ1は、支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａと同様であり、固定部Ｓ１３ａ1は、支持部材Ｓ１ａの固定部Ｓ１３ａと同様である。係合部Ｓ１２ａ1は、凹部Ｃを有しており、Ｕ字状の変形部Ｓ１１ａ1から延びた平板部分に、断面が角張ったＣ字状となるように２つの板状部材が接続されることは支持部材Ｓ１ａの係合部Ｓ１２ａと同様であるが、平板部分の幅が広くなっている。

　すなわち、平板部分は、変形部Ｓ１１ａ1の幅より図上の下側（筺体１の内壁Ｗ６側）に張り出しており、平板部分の幅は、変形部Ｓ１１ａ1の幅の２倍となっている。そして、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1が振動モータ１００Ｆに組み込まれたときには、凹部Ｃの内部と、基板２ａの第１の側面の一方とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、係合部Ｓ１２ａ1と振動子２とが係合する。

　支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2も、同様に変形部Ｓ１１ａ2と、係合部Ｓ１２ａ2と、固定部Ｓ１３ａ2とを有している。係合部Ｓ１２ａ2は、凹部Ｃを有しており、Ｕ字状の変形部Ｓ１１ａ2から延びた平板部分に、断面が角張ったＣ字状となるように２つの板状部材が接続されている。

　ただし、平板部分は、変形部Ｓ１１ａ2の幅より図上の上側（筺体１の内壁Ｗ５側）に張り出しており、平板部分の幅は、変形部Ｓ１１ａ2の幅の２倍となっている。そして、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2が振動モータ１００Ｆに組み込まれたときには、凹部Ｃの内部と、基板２ａの第１の側面の他方とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、係合部Ｓ１２ａ2と振動子２とが係合する。

　支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の変形部Ｓ１１ａ1と他方Ｓ１ａ2の変形部Ｓ１１ａ2とは、上面視で変形部Ｓ１１ａ1が他方の変形部Ｓ１１ａ2の上に（内壁Ｗ５に近い方に）なるように重なっている。支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2も同様の位置関係にある。

　支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の変形部Ｓ１１ａ1と他方Ｓ１ａ2の変形部Ｓ１１ａ2とでは、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ａ1の変形部Ｓ１１ａ1は内壁Ｗ３側に開口し、他方Ｓ１ａ2の変形部Ｓ１１ａ2は内壁Ｗ４側に開口している。なお、一方Ｓ１ａ1の固定部Ｓ１３ａ1とおよび他方Ｓ１ａ2の固定部Ｓ１３ａ2は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ１に接続されている。

　支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1の変形部および他方Ｓ１ｂ2の変形部も、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ｂ1の変形部は内壁Ｗ４側に開口し、他方Ｓ１ｂ2の変形部は内壁Ｗ３側に開口している。なお、一方Ｓ１ｂ1の固定部とおよび他方Ｓ１ｂ2の固定部は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ２に接続されている。

　振動モータ１００Ｆにおいて、振動子２は、上記の各支持部材により支持されている。すなわち、振動モータ１００Ｆにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、上記の各支持部材とを備えている。

　前述したように、支持部材Ｓ１ａは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。そのため、構造は異なるが同様の機能を有する上記の各支持部材も、同様の効果を奏することができる。その結果、振動モータ１００Ｆは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　－振動モータの模式的な形態の第７の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第７の変形例である振動モータ１００Ｇについて、図１７および図１８を用いて説明する。

　図１７は、振動モータ１００Ｇの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図１８（Ａ）は、振動モータ１００Ｇの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。図１８（Ｂ）は、振動モータ１００Ｇの、図２（Ｂ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｇは、基板２ａの構造と第１の反発機構Ｓ１の形態とが振動モータ１００Ｆと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ｆと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｇの振動子２において、基板２ａの厚みは、後述する帯状の弾性部材である変形部Ｓ１１ａ1の幅の２倍以上となっている。そして、２つの磁石Ｍ１および２つの磁石Ｍ２は、基板２ａの一方主面側に埋め込まれている。また、磁石Ｍ４ａは、基板２ａの第２の側面の一方に埋め込まれており、磁石Ｍ４ｂは、基板２ａの第２の側面の他方に埋め込まれている。

　基板２ａは、第２の方向Ｄ２と平行な第１の側面に、第２の方向Ｄ２と平行に形成された溝を有している。振動モータ１００Ｇでは、第１の側面の一方に、第２の方向Ｄ２と平行に２本の溝が形成されており、第１の側面の他方に、第２の方向Ｄ２と平行に２本の溝が形成されている。

　上記の４本の溝の第１の側面における開口部は、溝の最大幅よりも狭くなっており、後述する支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂのそれぞれが有する係合部（平板部）が溝から外れないようになっている。

　振動モータ１００Ｇの第１の反発機構Ｓ１において、支持部材Ｓ１ａは、一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2の２つを含み、支持部材Ｓ１ｂが、一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2の２つを含んでいる。ただし、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2ならびに支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2の構造は、機能は同様であるが、前述の支持部材Ｓ１ａの構造と異なっている。

　振動モータ１００Ｇが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および他方Ｓ１ａ2について、図１９を用いてさらに説明する。

　図１９（Ａ）は、振動モータ１００Ｆが備える第１の反発機構Ｓ１に含まれる支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の例を示した斜視図である。図１９（Ｂ）は、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2の例を示した斜視図である。なお、支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1および他方Ｓ１ｂ2も、同様の構造および機能を有しているので、詳細な説明は省略される。

　支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1は、変形部Ｓ１１ａ1と、係合部Ｓ１２ａ1と、固定部Ｓ１３ａ1とを有している。変形部Ｓ１１ａ1は、支持部材Ｓ１ａの変形部Ｓ１１ａと同様であり、固定部Ｓ１３ａ1は、支持部材Ｓ１ａの固定部Ｓ１３ａと同様である。係合部Ｓ１２ａ1は、Ｕ字状の変形部Ｓ１１ａ1から延び、変形部Ｓ１１ａ1より幅が広くなっている平板部である。

　すなわち、平板部は、変形部Ｓ１１ａ1の幅より図上の上下側に張り出している。そして、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1が振動モータ１００Ｇに組み込まれたときには、前述の基板２ａの第１の側面の一方に形成された２本の溝のうち、上側の溝の内部と、係合部Ｓ１２ａ1である平板部とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、係合部Ｓ１２ａ1と振動子２とが係合する。

　支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2も、変形部Ｓ１１ａ2と、係合部Ｓ１２ａ2と、固定部Ｓ１３ａ2とを有している。係合部Ｓ１２ａ2は、Ｕ字状の変形部Ｓ１１ａ2から延び、変形部Ｓ１１ａ2の幅より図上の上下側に張り出している平板部である。

　そして、支持部材Ｓ１ａの他方Ｓ１ａ2が振動モータ１００Ｇに組み込まれたときには、前述の基板２ａの第１の側面の一方に形成された２本の溝のうち、下側の溝の内部と、係合部Ｓ１２ａ2である平板部とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、係合部Ｓ１２ａ2と振動子２とが係合する。

　支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1の変形部Ｓ１１ａ1と他方Ｓ１ａ2の変形部Ｓ１１ａ2とでは、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ａ1の変形部Ｓ１１ａ1は内壁Ｗ３側に開口し、他方Ｓ１ａ2の変形部Ｓ１１ａ2は内壁Ｗ４側に開口している。なお、一方Ｓ１ａ1の固定部Ｓ１３ａ1および他方Ｓ１ａ2の固定部Ｓ１３ａ2は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ１に接続されている。

　支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1の変形部Ｓ１１ｂ1と他方Ｓ１ｂ2の変形部Ｓ１１ｂ2とでは、Ｕ字の開口する向きが逆であり、一方Ｓ１ｂ1の変形部は内壁Ｗ４側に開口し、他方Ｓ１ｂ2の変形部は内壁Ｗ３側に開口している。なお、一方Ｓ１ｂ1の固定部とおよび他方Ｓ１ｂ2の固定部は、振動子２が各方向に振動する前の状態における基板２ａの、第１の方向Ｄ１に平行な対称軸に対して対称となる位置で、筺体１の内壁Ｗ２に接続されている。

　振動モータ１００Ｇにおいて、振動子２は、上記の各支持部材により支持されている。すなわち、振動モータ１００Ｇにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、上記の各支持部材とを備えている。

　前述したように、支持部材Ｓ１ａは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。そのため、構造は異なるが同様の機能を有する上記の各支持部材も、同様の効果を奏することができる。その結果、振動モータ１００Ｇは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　－振動モータの模式的な形態の第８の変形例－
　この開示に従う振動モータの模式的な形態である振動モータ１００の第８の変形例である振動モータ１００Ｈについて、図２０を用いて説明する。

　図２０（Ａ）は、振動モータ１００Ｈの、図１（Ａ）に相当する平面図である。図２０（Ｂ）は、振動モータ１００Ｈの、図２（Ａ）に相当する矢視断面図である。振動モータ１００Ｇは、基板２ａの構造と第１の反発機構Ｓ１の形態とが振動モータ１００Ｇと異なっている。それ以外の構成は、振動モータ１００Ｇと同様であるため、詳細な説明は省略される。

　振動モータ１００Ｈの振動子２において、基板２ａの厚みは、後述する帯状の弾性部材である変形部Ｓ１１ａ1の幅以上となっている。そして、２つの磁石Ｍ１および２つの磁石Ｍ２は、基板２ａの一方主面側に埋め込まれている。また、磁石Ｍ４ａは、基板２ａの第２の側面の一方に埋め込まれており、磁石Ｍ４ｂは、基板２ａの第２の側面の他方に埋め込まれている。

　基板２ａは、第２の方向Ｄ２と平行な第１の側面に、第２の方向Ｄ２と平行に形成された溝を有している。振動モータ１００Ｈでは、第１の側面の一方に、第２の方向Ｄ２と平行に１本の溝が形成されており、第１の側面の他方に、第２の方向Ｄ２と平行に１本の溝が形成されている。

　振動モータ１００Ｈの第１の反発機構Ｓ１は、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂを含んでいる。支持部材Ｓ１ａは、振動モータ１００Ｇにおける支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1と同様の構造を有している。また、支持部材Ｓ１ｂは、支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1と同様の構造を有している。それぞれの支持部材の機能は、支持部材Ｓ１ａの一方Ｓ１ａ1および支持部材Ｓ１ｂの一方Ｓ１ｂ1と同様、すなわち振動モータ１００の支持部材Ｓ１ａと同様である。

　上記の２本の溝の第１の側面における開口部は、溝の最大幅よりも狭くなっており、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂのそれぞれが有する係合部が溝から外れないようになっている。

　支持部材Ｓ１ａが振動モータ１００Ｈに組み込まれたときには、前述の基板２ａの第１の側面の一方に形成された溝の内部と、係合部である平板部とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、支持部材Ｓ１ａの係合部と振動子２とが係合する。

　支持部材Ｓ１ｂが振動モータ１００Ｈに組み込まれたときには、前述の基板２ａの第１の側面の他方に形成された溝の内部と、係合部である平板部とが接触する。それにより、振動子２の第２の方向Ｄ２の振動に対して振動子２が摺動可能となるように、支持部材Ｓ１ｂの係合部と振動子２とが係合する。

　振動モータ１００Ｈにおいて、振動子２は、上記の各支持部材により支持されている。すなわち、振動モータ１００Ｇにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、上記の各支持部材とを備えている。

　前述したように、支持部材Ｓ１ａは、筺体１との接続部にかかる負荷を抑制することができ、支持部材Ｓ１ａと筺体１との接続部の信頼性を高くすることができる。そのため、構造は異なるが同様の機能を有する上記の各支持部材も、同様の効果を奏することができる。その結果、振動モータ１００Ｈは、互いに異なる第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２のそれぞれにおいて、安定した振動を発生させることができる。

　－振動モータの実施形態－
　この開示に従う振動子支持構造を含む振動モータの実施形態を示す振動モータ２００について、図２１および図２２を用いて説明する。

　図２１（Ａ）は、振動モータ２００の、筺体１の第１の部分１ａ（図２参照）を除いて上面視したときの平面図である。図２１（Ｂ）は、振動モータ２００の、筺体１の第２の部分１ｂ（図２参照）の、第１の部分１ａと対向する部分を除いて下面視したときの平面図である。図２２（Ａ）は、図２１（Ａ）に示されたＡ－Ａ線を含む面で切断された振動モータ２００の矢視断面図である。図２２（Ｂ）は、図２１（Ａ）に示されたＢ－Ｂ線を含む面で切断された振動モータ２００の矢視断面図である。

　振動モータ２００は、図２１および図２２に示されるように、筺体１（第１の筺体）と、２つの磁石Ｍ１（第１の磁石）と２つの磁石Ｍ２（第２の磁石）と基板２ａと錘部２ｂ、２ｃとを含む振動子２と、コイル３（第１のコイル）と、コイル４（第２のコイル）と、第１の反発機構Ｓ１と、第２の反発機構Ｓ２とを備えている。

　第１の反発機構Ｓ１は、筺体１内で振動子２を支持する、振動モータ１００の説明で述べた支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ（第１の支持部材）を含んでいる。また、第２の反発機構Ｓ２は、振動モータ１００Ａの説明で述べた磁石ユニットＭＵ１ａ（第１の磁石ユニット）と、磁石ユニットＭＵ１ｂ（第１の磁石ユニット）とを備えている。磁石ユニットＭＵ１ａは、磁石Ｍ３ａ（第３の磁石）および磁石Ｍ４ａ（第４の磁石）を含んでいる。また、磁石ユニットＭＵ１ｂは、磁石Ｍ３ｂ（第３の磁石）および磁石Ｍ４ｂ（第４の磁石）を含んでいる。

　すなわち、振動モータ２００の基本構造は、振動モータ１００Ａと同じであり、振動子２に錘部２ｂ、２ｃがさらに追加されている。基板２ａも、錘部として機能している。一方、錘部２ｂ、２ｃも、基板として機能している。錘部２ｂは、基板２ａの一方主面側（内壁Ｗ５側）に配置され、錘部２ｃは、基板２ａの他方主面側（内壁Ｗ６側）に配置される。

　筺体１は、第１の部分１ａと第２の部分１ｂとを含んでいる。振動モータ２００において、第１の部分１ａは平板状の蓋部であり、第２の部分１ｂは容器部となっている。筺体１の材質としては、例えばＳＵＳ３０４などのステンレス鋼などが用いられる。なお、第１の部分１ａと第２の部分１ｂとが異なる材質であってもよい。

　振動モータ１００Ａと同様に、磁石Ｍ１および磁石Ｍ２は駆動磁石であり、磁石Ｍ３ａ、Ｍ３ｂおよび磁石Ｍ４ａ、Ｍ４ｂは、磁気ばね機構を構成する磁石である。各磁石の材質としては、例えばＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系またはＳｍ－Ｃｏ系などの希土類磁石が用いられる。

　磁石Ｍ１および磁石Ｍ２には、強力な磁力を有し、振動子２の駆動力を大きくすることができるＮｄ－Ｆｅ－Ｂ系の希土類磁石を用いることが好ましい。また、磁気ばね機構を構成する各磁石には、磁力の温度変化率が小さく、安定して磁気ばね効果を発揮できるＳｍ－Ｃｏ系の希土類磁石が用いられることが好ましい。各磁石の磁極の配置は、振動モータ１００Ａと同様であり、説明は割愛する。

　基板２ａおよび錘部２ｂ、２ｃの材質としては、例えばＷ、ＳＵＳ３０４などのステンレス鋼およびＡｌなどが用いられる。振動子２の質量を大きくし、磁気ばね機構を介して筺体１に大きな振動を伝えるためには、基板２ａおよび錘部２ｂ、２ｃの材質としてＷなどの比重の大きな材質を用いることが好ましい。

　錘部２ｂには、２つの磁石Ｍ１が埋め込まれるスロットである貫通孔が設けられている。また、錘部２ｂには、支持部材Ｓ１ａの係合部Ｓ１２ａおよび支持部材Ｓ１ｂの係合部Ｓ１２ｂが基板２ａと摺動可能に係合できるように、基板２ａを露出させる凹部が設けられている（図２２（Ａ）参照）。

　錘部２ｃには、２つの磁石Ｍ２が埋め込まれるスロットである貫通孔が設けられている。また、錘部２ｃにも、支持部材Ｓ１ａの係合部Ｓ１２ａおよび支持部材Ｓ１ｂの係合部Ｓ１２ｂが基板２ａと摺動可能に係合できるように、基板２ａを露出させる凹部が設けられている（図２２（Ａ）参照）。

　基板２ａおよび錘部２ｂ、２ｃには、それらが組み合わされたときに磁石Ｍ４ａ、Ｍ４ｂが埋め込まれるスロットとなる凹部が設けられている。なお、磁石Ｍ１および磁石Ｍ２が埋め込まれるスロットは、各錘部を貫通していなくてもよい。

　各スロットは、磁石Ｍ１とコイル３、磁石Ｍ２とコイル４、磁石Ｍ３ａと磁石Ｍ４ａ、および磁石Ｍ３ｂと磁石Ｍ４ｂの、それぞれの位置関係が振動モータ１００Ａで説明された位置関係を満たすように配置されている。各磁石は、各スロットの中に挿入され、例えばエポキシ系の接着剤により固定される。

　各スロットに各磁石を挿入することにより、それぞれの磁石の基板２ａおよび錘部２ｂ、２ｃへの固定が行ないやすくなり、また各磁石を基板２ａおよび錘部２ｂ、２ｃに精度良く固定することができる。

　振動子２は、錘部２ｂのスロットに２つの磁石Ｍ１が、錘部２ｃのスロットに２つの磁石Ｍ２が固定された後、基板２ａと錘部２ｂと錘部２ｃとが貼り合わされ、貼り合わせ後に形成されたスロットに磁石Ｍ４ａ、Ｍ４ｂが固定されることにより形成される。なお、基板２ａと錘部２ｂと錘部２ｃとが一体となったものに各磁石が固定されることにより、振動子２が形成されるようにしてもよい。

　コイル３には、例えば直径０．０６ｍｍの被覆Ｃｕ線を、約１００ターン巻回したものが用いられる。ターン数は、必要とされる駆動力に合わせて調整される。コイル３は、フレキシブル基板などの引き出し配線部材により、パワーアンプを介して安定化電源に接続される（引き出し配線部材および各装置は不図示）。コイル３は、振動子２が第１の方向Ｄ１に沿って振動可能となるように磁石Ｍ１に駆動力を与える。コイル３の配置および形状は、振動モータ１００Ａと同様であり、詳細な説明は省略される。

　コイル４には、例えば直径０．０６ｍｍの被覆Ｃｕ線を、約８０ターン巻回したものが用いられる。ターン数は、必要とされる駆動力に合わせて調整される。コイル４は、フレキシブル基板などの引き出し配線部材により、パワーアンプを介して安定化電源に接続される（引き出し配線部材および各装置は不図示）。コイル４は、振動子２が第２の方向Ｄ２に沿って振動可能となるように磁石Ｍ２に駆動力を与える。コイル４の配置および形状は、振動モータ１００Ａと同様であり、詳細な説明は省略される。

　振動モータ２００では、第１の反発機構Ｓ１は、前述の支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂを備えており、第２の反発機構Ｓ２は、振動子２を筺体１内に支持する支持部材を有していない。すなわち、振動モータ１００Ａにおける振動子支持構造は、筺体１と、第１の方向Ｄ１および第２の方向Ｄ２に沿って振動可能な振動子２と、支持部材Ｓ１ａ、Ｓ１ｂとを備えている。

　なお、振動モータの実施形態は、上記に限られない。例えば前述の振動モータの模式的な形態のいずれであっても、振動モータの実施形態として応用することができる。

　－電子機器の模式的な形態－
　この開示に従う振動モータが用いられた電子機器の模式的な形態を示す携帯型情報端末１０００について、図２３および図２４を用いて説明する。

　図２３は、携帯型情報端末１０００の透過斜視図である。また、図２４は、携帯型情報端末１０００の要部の断面図である。

　携帯型情報端末１０００は、筺体１００１（第２の筺体）と、この開示に係る振動モータ１００と、送受信および情報処理に関する電子回路（不図示）とを備えている。筺体１００１は、第１の部分１００１ａと第２の部分１００１ｂとを含んでいる。第１の部分１００１ａは、ディスプレイであり、第２の部分１００１ｂは、フレームである。振動モータ１００は、筺体１００１内に収容されている。

　携帯型情報端末１０００には、皮膚感覚フィードバックのため、およびキー操作や着信などを振動で確認するための振動発生装置として、この開示に従う振動モータ１００が用いられている。なお、携帯型情報端末１０００に用いられる振動モータは、振動モータ１００に限られず、この開示に係る振動モータであればよい。

　この開示に従う振動モータは、前述したように、振動子を筺体内に支持する支持部材と筺体との接続部の信頼性が高く、互いに異なる２つの方向に安定した振動を発生させることができる。したがって、携帯型情報端末１０００では、皮膚感覚フィードバックのため、またはキー操作および着信などを確認するための振動の減少を抑制することができる。

　なお、図２４に示されているように、振動モータ１００の筺体１の第２の部分１ｂは、容器部本体１ｂ1と固定部１ｂ2とを含んでいる。固定部１ｂ2は、容器部本体１ｂ1の底部より張り出した部位である。携帯型情報端末１０００では、固定部１ｂ2が筺体１００１の第２の部分１００１ｂにねじＢにより固定されている。

　振動モータ１００において、各支持部材は、容器部本体１ｂ1の側壁の内側である、筺体１の内壁Ｗ１ないしＷ４に固定されている（図１参照）。振動モータ１００の振動子２の振動は、前述のように各支持部材を介して筺体１を振動させ、筺体１の振動が筺体１００１を振動させる。その結果、携帯型情報端末１０００の操作者が、皮膚感覚フィードバックおよびキー操作や着信などを感知することができる。

　なお、振動モータ１００は、固定部１ｂ2が筺体１００１の第１の部分１００１ａ、すなわちディスプレイに固定されるようにしてもよい。

　なお、この開示に従う振動モータが用いられた電子機器の模式的な形態の一例として、ディスプレイを備えた携帯型情報端末を示したが、これに限定されるものではない。この開示に従う電子機器は、ディスプレイを備えていなくてもよい。

　例えばこの開示に従う電子機器として、携帯電話（いわゆるフィーチャーフォン）、スマートフォン、ポータブルビデオゲーム機、ビデオゲーム機用コントローラ、ＶＲ（Ｖｉｒｔｕａｌ　Ｒｅａｌｉｔｙ）装置用コントローラ、スマートウォッチ、タブレット型パソコン、ノート型パソコン、テレビ等の操作に使用するリモートコントローラ、現金自動預け払い機などのタッチパネル型ディスプレイ、各種玩具などの電子機器を挙げることができる。

　この明細書に開示された実施形態は、例示的なものであって、この開示に係る発明は、上記の実施形態および変形例に限定されるものではない。すなわち、この開示に係る発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。また、上記の範囲内において、種々の応用、変形を加えることができる。

　この開示に係る発明は、例えば電子機器における皮膚感覚フィードバックのため、またはキー操作や着信などを振動で確認するための振動発生装置として用いられる振動モータに適用される。皮膚感覚フィードバックとしては、例えばビデオゲーム内での動作（例えばドアの開閉や自動車のハンドル操作など）に対応する触感イメージをコントローラの振動で表現することが挙げられる。ただし、これ以外の皮膚感覚フィードバックであってもよい。

　また、これに限られず、ロボットのアクチュエータとして用いられるリニア振動モータなどにも適用が可能である。

１００　　振動モータ
１　　筺体（第１の筺体）
２　　振動子
３　　コイル（第１のコイル）
４　　コイル（第２のコイル）
Ｍ１　　磁石（第１の磁石）
Ｍ２　　磁石（第２の磁石）
Ｓ１　　第１の反発機構
Ｓ１ａ、Ｓ１ｂ　　支持部材（第１の支持部材）
Ｓ１１ａ、Ｓ１１ｂ　　変形部
Ｓ１２ａ、Ｓ１２ｂ　　係合部
Ｓ２　　第２の反発機構
Ｓ２ａ、Ｓ２ｂ　　支持部材（第２の支持部材）
Ｓ２１ａ、Ｓ２１ｂ　　変形部
Ｓ２２ａ、Ｓ２２ｂ　　係合部
Ｄ１　　第１の方向
Ｄ２　　第２の方向__

Claims

　第１の筺体と、
　第１の方向および前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って振動可能な振動子と、
　前記第１の筺体内に前記振動子を支持する、少なくとも１つの第１の支持部材とを備え、
　前記第１の支持部材は、前記振動子の前記第１の方向の振動に対して弾性変形する第１の変形部、および前記振動子の前記第２の方向の振動に対して前記振動子が摺動可能となるように前記振動子と係合する第１の係合部を有する、振動子支持構造。
　前記振動子は、前記第２の方向と平行な第１の側面を含む基板を有し、
　前記第１の係合部は、凹部を有し、
　前記第１の側面は、前記第１の係合部の凹部の内部と接触している、請求項１に記載の振動子支持構造。
　前記振動子は、前記第２の方向と平行な第１の側面と、前記第１の側面に前記第２の方向と平行に形成された溝とを含む基板を有し、
　前記第１の係合部は、平板部を有し、
　前記平板部は、前記溝の内部と接触している、請求項１に記載の振動子支持構造。
　前記第１の筺体内に前記振動子を支持する、少なくとも１つの第２の支持部材をさらに備え、
　前記第２の支持部材は、前記振動子の前記第２の方向の振動に対して弾性変形する第２の変形部、および前記振動子の前記第１の方向の振動に対して前記振動子が摺動可能なように前記振動子と係合する第２の係合部を有する、請求項１ないし３のいずれか１項
に記載の振動子支持構造。
　前記基板は、前記第１の方向と平行な第２の側面をさらに含み、
　前記第２の係合部は、凹部を有し、
　前記第２の側面は、前記第２の係合部の凹部の内部と接触している、請求項４に記載の振動子支持構造。
　第１の筺体と、
　それぞれ少なくとも１つの第１の磁石および第２の磁石を含む振動子と、
　前記第１の筺体に固定され、前記振動子を第１の方向に沿って振動させる駆動力を前記第１の磁石に与える第１のコイルと、
　前記第１の筺体に固定され、前記振動子を前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って振動させる駆動力を前記第２の磁石に与える第２のコイルと、
　前記第１の方向に沿って前記第１の筺体と前記振動子との間に反発力を与え、かつ前記第２の方向に沿って前記振動子が可動である第１の反発機構と、
　前記第２の方向に沿って前記第１の筺体と前記振動子との間に反発力を与え、かつ前記第１の方向に沿って前記振動子が可動である第２の反発機構とを備え、
　前記第１の反発機構は、前記第１の筺体内で前記振動子を支持する第１の支持部材を含み、
　前記第１の支持部材は、前記振動子の前記第１の方向の振動に対して弾性変形する第１の変形部、および前記振動子の前記第２の方向の振動に対して前記振動子が摺動可能となるように前記振動子と係合する第１の係合部を有する、振動モータ。
　前記第２の反発機構は、前記第１の筺体内で前記振動子を支持する第２の支持部材を含み、
　前記第２の支持部材は、前記振動子の前記第２の方向の振動に対して弾性変形する第２の変形部、および前記振動子の前記第１の方向の振動に対して前記振動子が摺動可能となるように前記振動子と係合する第２の係合部を有する、請求項６に記載の振動モータ。
　前記第２の反発機構は、前記第２の方向に沿って前記第１の筺体と前記振動子との間に反発力を与える、少なくとも１つの第１の磁石ユニットを含む、請求項６に記載の振動モータ。
　前記第１の磁石ユニットは、前記第１の筺体に固定された第３の磁石と、前記第２の方向に沿って前記第３の磁石と互いに反発する配置で前記振動子に含まれる第４の磁石とを含む、請求項８に記載の振動モータ。
　前記第１の磁石ユニットは、前記第１の筺体に固定された第５の磁石と、前記第２の方向に沿って前記第５の磁石を挟むように、かつ前記第５の磁石と互いに反発する配置で前記振動子に含まれる第６および第７の磁石とを含む、請求項８に記載の振動モータ。
　前記第１の反発機構は、前記第１の方向に沿って前記第１の筺体と前記振動子との間に反発力を与える、少なくとも１つの第２の磁石ユニットをさらに含む、請求項６ないし１０のいずれか１項に記載の振動モータ。
　前記第２の磁石ユニットは、前記第１の筺体に固定された第８の磁石と、前記第１の方向に沿って前記第８の磁石と互いに反発する配置で前記振動子に含まれる第９の磁石とを含む、請求項１１に記載の振動モータ。
　請求項１ないし１２のいずれか１項に記載の振動モータと、第２の筺体とを備え、
　前記振動モータは、前記第２の筺体内に収容される、電子機器。