WO2017086078A1

WO2017086078A1 - 塗布装置、製造装置および測定方法

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Publication number: WO2017086078A1
Application number: PCT/JP2016/080949
Authority: WO
Inventors: 高木　善則; 克哉竹上
Original assignee: 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス
Priority date: 2015-11-16
Filing date: 2016-10-19
Publication date: 2017-05-26
Also published as: JP2017087186A; CN108348946A; JP6527813B2

Abstract

この塗布装置は、基材を保持しつつ回転するバックアップローラ（２０）と、バックアップローラ（２０）に保持された基材に向けて材料を吐出するノズル（３１）と、ギャップ（Ｇ）の変化量を測定する測定部（３７）とを有する。バックアップローラ（２０）の周囲には、基材を吸着する円筒状の吸着面（２１）と、吸着面（２１）とともに回転する円筒状の被測定面（８１）とが設けられている。吸着面（２１）および被測定面（８１）のうち、吸着面（２１）のみに、複数の吸着孔が設けられている。測定部（３７）は、被測定面（８１）に測定子（３７４）を接触させることにより、ギャップ（Ｇ）の測定を行う。このため、バックアップローラ（２０）の吸着面（２１）を損傷させることなく、ギャップ（Ｇ）の変化量を測定できる。

Description

塗布装置、製造装置および測定方法

　本発明は、長尺帯状の基材の表面に材料を塗布する塗布装置、当該塗布装置を備えた膜・触媒層接合体の製造装置、および当該塗布装置において、吐出口から吸着面までの距離の変化量を測定する測定方法に関する。

　近年、自動車や携帯電話などの駆動電源として、燃料電池が注目されている。燃料電池は、燃料に含まれる水素（Ｈ_２）と空気中の酸素（Ｏ_２）との電気化学反応によって電力を作り出す発電システムである。燃料電池は、他の電池と比べて、発電効率が高く環境への負荷が小さいという特長を有する。

　燃料電池には、使用する電解質によって幾つかの種類が存在する。そのうちの１つが、電解質としてイオン交換膜（電解質膜）を用いた固体高分子形燃料電池（ＰＥＦＣ：Polymer electrolyte fuel cell）である。固体高分子形燃料電池は、常温での動作および小型軽量化が可能であるため、自動車や携帯機器への適用が期待されている。

　固体高分子形燃料電池は、一般的には複数のセルが積層された構造を有する。１つのセルは、膜・電極接合体（ＭＥＡ：Membrane-Electrode-Assembly）の両側を一対のセパレータで挟み込むことにより構成される。膜・電極接合体は、電解質の薄膜（高分子電解質膜）の両面に触媒層を形成した膜・触媒層接合体（ＣＣＭ：Catalyst-coated membrane）の両側に、さらにガス拡散層を配置したものである。高分子電解質膜を挟んで両側に配置された触媒層とガス拡散層とで、一対の電極層が構成される。一対の電極層の一方はアノード電極であり、他方がカソード電極である。アノード電極に水素を含む燃料ガスが接触するとともに、カソード電極に空気が接触すると、電気化学反応によって電力が作り出される。

　上記の膜・触媒層接合体は、典型的には、電解質膜の表面に、白金（Ｐｔ）を含む触媒粒子をアルコールなどの溶媒中に分散させた触媒インク（電極ペースト）を塗布し、その触媒インクを乾燥させることによって作成される。従来の膜・触媒層接合体の製造技術については、例えば、特許文献１に記載されている。

特開２０１３－１６１５５７号公報

　膜・触媒層接合体の製造装置では、複数の吸着孔を有するローラの外周面（吸着面）に電解質膜を保持しつつ、ノズルから触媒インクを吐出することによって、電解質膜の表面に触媒インクを塗布する。このとき、温度変化によるローラの膨張・収縮や、外部振動などで、ノズルの吐出口から吸着面までの距離（ギャップ）が変化すると、触媒インクの塗布状態も変化する。このため、電解質膜の表面に触媒インクを均一に塗布するためは、ギャップを常時測定し、ギャップが一定となるように、ノズルの位置をフィードバック制御することが好ましい。

　ただし、ローラの吸着面は湾曲しており、かつ、多数の吸着孔を有する。このため、レーザ変位計のような反射型のセンサでは、吸着面に照射されたレーザ光を正確に反射させることが難しく、測定誤差が生じやすい。一方、吸着面に測定子を接触させてギャップの変化を測定しようとすると、吸着面と測定子とが摺動することによって、吸着面が損傷する虞がある。吸着面が損傷すると、電解質膜の保持力が低下したり、ギャップの測定結果に誤差が生じたりする可能性がある。

　本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、長尺帯状の基材の表面に材料を塗布する塗布装置において、バックアップローラの吸着面を損傷させることなく、吐出口から吸着面までの距離の変化量を測定できる技術を提供することを目的とする。

　上記課題を解決するため、本願の第１発明は、長尺帯状の基材の表面に材料を塗布する塗布装置であって、円筒状の吸着面に直接または他のシートを介して基材を保持するバックアップローラと、前記バックアップローラをその軸心周りに回転させる回転駆動部と、前記バックアップローラに保持された基材に向けて材料を吐出する吐出口を有するノズルと、前記吐出口を、材料の吐出の向きと平行な第１方向に進退させる進退機構と、前記吐出口から前記吸着面までの前記第１方向の距離の変化量を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて、前記進退機構を制御する制御部と、前記吸着面とともに回転する円筒状の被測定面と、を備え、前記吸着面および前記被測定面のうち、前記吸着面のみに、複数の吸着孔が設けられ、前記測定部は、前記被測定面に接触する測定子を有する。

　本願の第２発明は、第１発明の塗布装置であって、前記吸着面の一部分に巻き付けられた保護フィルムをさらに有し、前記保護フィルムの表面が、前記被測定面となっている。

　本願の第３発明は、第２発明の塗布装置であって、前記保護フィルムの厚みと、基材の厚みとが、略同一である。

　本願の第４発明は、第１発明から第３発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記吸着面は、基材を保持する保持領域を有し、前記被測定面は、前記軸心と平行な第２方向において、前記保持領域とは異なる位置に設けられる。

　本願の第５発明は、第４発明の塗布装置であって、前記保持領域の前記第２方向の両側に、一対の前記被測定面が設けられ、前記測定部は、一対の前記被測定面に接触する一対の前記測定子を有する。

　本願の第６発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記測定部は、前記ノズルに対して相対的に静止した測定部本体を有し、前記測定子は、前記測定部本体に対して進退する。

　本願の第７発明は、第６発明の塗布装置であって、前記測定子は、前記測定部本体に対して前記第１方向に進退する。

　本願の第８発明は、第１発明から第５発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記測定部は、前記ノズルとともに移動しない位置に固定された測定部本体を有し、前記測定子は、前記測定部本体に対して進退する。

　本願の第９発明は、第１発明から第８発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記測定子は、前記バックアップローラの前記軸心に向けられている。

　本願の第１０発明は、第１発明から第９発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記測定子は、前記バックアップローラの前記軸心と平行な軸周りに回転可能な測定ローラを有し、前記測定ローラが、前記被測定面に接触する。

　本願の第１１発明は、第１発明から第１０発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記測定部は、前記被測定面に前記測定子を押圧するエアシリンダを有する。

　本願の第１２発明は、第１発明から第９発明までのいずれか１発明の塗布装置であって、前記バックアップローラに保持された基材を加熱する加熱部をさらに備える。

　本願の第１３発明は、電解質膜の表面に触媒層が形成された膜・触媒層接合体の製造装置であって、第１発明から第１２発明までのいずれか１発明の塗布装置と、前記塗布装置に、電解質膜の層を含む基材を導入する導入部と、前記塗布装置から基材を回収する回収部と、を備え、前記ノズルは、前記バックアップローラに保持された基材に向けて、触媒材料を吐出する。

　本願の第１４発明は、回転するバックアップローラの円筒状の吸着面に直接または他のシートを介して基材を保持しつつ、吐出口から材料を吐出することによって、基材の表面に材料を塗布する装置において、前記吐出口から前記吸着面までの距離の変化量を測定する測定方法であって、ａ）前記吸着面とともに回転する円筒状の被測定面に、測定子を接触させる工程と、ｂ）前記測定子の変位に基づいて、前記吐出口から前記吸着面までの距離の変化量を算出する工程と、を有し、前記吸着面および前記被測定面のうち、前記吸着面のみに、複数の吸着孔が設けられている。

　本願の第１発明～第１４発明によれば、バックアップローラの吸着面を損傷させることなく、吐出口から吸着面までの距離の変化量を測定できる。

　特に、本願の第７発明によれば、進退機構によるノズルの進退方向と、測定部における測定子の進退方向とが、互いに平行となる。このため、ノズルの進退によって、測定子の移動軸がずれるという問題は生じない。したがって、測定子を用いて、吐出口から吸着面までの距離の変化量を、より正確に測定できる。

　特に、本願の第９発明によれば、バックアップローラが軸心を中心として膨張または収縮する場合に、吸着面の変位を、より正確に測定できる。

　特に、本願の第１０発明によれば、被測定面に対して測定子が摺動することを抑制できる。これにより、被測定面および測定子の損傷を抑制できる。

　特に、本願の第１１発明によれば、被測定面に対する測定子の接触状態を、良好に保つことができる。

　特に、本願の第１２発明によれば、加熱部によって、基材とともにバックアップローラも加熱される。このため、バックアップローラの熱膨張または収縮によるギャップの変化を抑えることが、特に重要となる。

膜・触媒層接合体の製造装置の構成を示した図である。剥離ローラの付近の拡大図である。ラミネートローラの付近の拡大図である。制御部と各部との接続を示したブロック図である。バックアップローラおよび塗布部を、バックアップローラの軸心方向の一方側から見た図である。バックアップローラおよび塗布部を、ノズルの背面側から見た図である。測定子の付近の拡大図である。製造装置において、ギャップを一定に維持しながら、電解質膜の表面に触媒インクを塗布するときの動作の流れを示したフローチャートである。変形例に係るバックアップローラおよび塗布部を、バックアップローラの軸心方向の一方側から見た図である。

　以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

　＜１．製造装置の構成＞
　図１は、本発明の一実施形態に係る膜・触媒層接合体の製造装置１の構成を示した図である。この製造装置１は、長尺帯状の基材である電解質膜の表面に、電極となる触媒層を形成して、固体高分子形燃料電池用の膜・触媒層接合体を製造する装置である。図１に示すように、本実施形態の膜・触媒層接合体の製造装置１は、導入剥離部１０、バックアップローラ２０、塗布部３０、乾燥炉４０、回収部５０、表面冷却部６０および制御部７０を備えている。

　なお、本実施形態では、膜・触媒層接合体の製造装置１のうち、バックアップローラ２０、塗布部３０および乾燥炉４０により構成される部分が、本発明における「塗布装置」の一例となる。

　導入剥離部１０は、支持フィルム９１および電解質膜９２の２層で構成される積層基材９０を、バックアップローラ２０の外周面に導入するとともに、電解質膜９２から支持フィルム９１を剥離する部位である。

　電解質膜９２には、例えば、フッ素系または炭化水素系の高分子電解質膜が用いられる。電解質膜９２の具体例としては、パーフルオロカーボンスルホン酸を含む高分子電解質膜（例えば、米国DuPont社製のNafion（登録商標）、旭硝子（株）製のFlemion（登録商標）、旭化成（株）製のAciplex（登録商標）、ゴア(Gore)社製のGoreselect（登録商標））を挙げることができる。電解質膜９２の膜厚は、例えば、５μｍ～３０μｍとされる。電解質膜９２は、大気中の湿気によって膨潤する一方、湿度が低くなると収縮する。すなわち、電解質膜９２は、大気中の湿度に応じて変形しやすい性質を有する。

　支持フィルム９１は、電解質膜９２の変形を抑制するためのフィルムである。支持フィルム９１の材料には、電解質膜９２よりも機械的強度が高く、形状保持機能に優れた樹脂が用いられる。支持フィルム９１の具体例としては、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）やＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）のフィルムを挙げることができる。支持フィルム９１の膜厚は、例えば２５μｍ～１００μｍとされる。

　図１に示すように、導入剥離部１０は、剥離ローラ１１、導入部１２および排出部１３を有する。

　剥離ローラ１１は、水平に延びる軸心周りに回転するローラである。剥離ローラ１１は、弾性体により形成された円筒状の外周面を有する。剥離ローラ１１の外周面と、後述するバックアップローラ２０の外周面とは、積層基材９０が通過する隙間を空けて、互いに対向する。また、剥離ローラ１１は、図示を省略したエアシリンダによって、バックアップローラ２０側へ加圧されている。

　導入部１２は、基材巻出ローラ１２１および第１検知ローラ１２２を有する。基材巻出ローラ１２１および第１検知ローラ１２２は、いずれも、剥離ローラ１１と平行に配置される。供給前の積層基材９０は、基材巻出ローラ１２１に巻き付けられている。基材巻出ローラ１２１は、図示を省略したモータの動力により回転する。基材巻出ローラ１２１が回転すると、積層基材９０は、基材巻出ローラ１２１から繰り出される。

　基材巻出ローラ１２１から繰り出された積層基材９０は、第１検知ローラ１２２の外周面に接触することにより向きを変えて、剥離ローラ１１側へ搬送される。第１検知ローラ１２２は、積層基材９０から受ける荷重をロードセルで測定することにより、導入部１２において積層基材９０にかかる張力を検知する。後述する制御部７０は、第１検知ローラ１２２により検知される積層基材９０の張力が、予め設定された値となるように、基材巻出ローラ１２１の回転数を制御する。

　図２は、剥離ローラ１１の付近の拡大図である。図２に示すように、第１検知ローラ１２２を通過した積層基材９０は、剥離ローラ１１とバックアップローラ２０との間の隙間へ導入される。このとき、支持フィルム９１は剥離ローラ１１の外周面に接触し、電解質膜９２はバックアップローラ２０の外周面に接触する。また、積層基材９０は、剥離ローラ１１から受ける圧力で、バックアップローラ２０の外周面に押し付けられる。電解質膜９２は、バックアップローラ２０の後述する吸着孔に生じる負圧によって、バックアップローラ２０の外周面に吸着される。

　なお、本実施形態では、基材巻出ローラ１２１から繰り出される電解質膜９２の一方の面に、予め触媒材料９ａの層が形成されている。このため、バックアップローラ２０の外周面には、当該触媒材料９ａの層とともに、電解質膜９２が吸着される。触媒材料９ａの層は、製造装置１とは別の装置において、支持フィルム９１および電解質膜９２の２層で構成される積層基材９０を、そのままロール・ツー・ロール方式で搬送しつつ、電解質膜９２の表面に触媒インクを間欠塗布し、塗布された触媒インクを乾燥させることによって形成される。

　排出部１３は、フィルム巻取ローラ１３１および第２検知ローラ１３２を有する。フィルム巻取ローラ１３１および第２検知ローラ１３２は、いずれも、剥離ローラ１１と平行に配置される。剥離ローラ１１とバックアップローラ２０との間を通過した支持フィルム９１は、バックアップローラ２０から離れて、第２検知ローラ１３２の方向へ搬送される。これにより、電解質膜９２から支持フィルム９１が剥離される。剥離された支持フィルム９１は、第２検知ローラ１３２の外周面に接触することにより向きを変えて、フィルム巻取ローラ１３１側へ搬送される。

　フィルム巻取ローラ１３１は、図示を省略したモータの動力により回転する。これにより、フィルム巻取ローラ１３１に支持フィルム９１が巻き取られる。第２検知ローラ１３２は、支持フィルム９１から受ける荷重をロードセルで測定することにより、排出部１３において支持フィルム９１にかかる張力を検知する。後述する制御部７０は、第２検知ローラ１３２により検知される支持フィルム９１の張力が、予め設定された値となるように、フィルム巻取ローラ１３１の回転数を制御する。

　バックアップローラ２０は、電解質膜９２を吸着保持しつつ回転するローラである。バックアップローラ２０は、剥離ローラ１１よりも径の大きい円筒状の外周面を有する。当該外周面は、複数の吸着孔を有する吸着面２１となっている。バックアップローラ２０の直径は、例えば、４００ｍｍ～１６００ｍｍとされる。図１中に破線で示したように、バックアップローラ２０には、モータ等の駆動源を有する回転駆動部２２が接続されている。回転駆動部２２を動作させると、バックアップローラ２０は、水平（すなわち、剥離ローラ１１と平行）に延びる軸心周りに回転する。バックアップローラ２０の回転方向と、剥離ローラ１１の回転方向とは、互いに反対方向となる。

　バックアップローラ２０の材料には、例えば、多孔質カーボンや多孔質セラミックス等の多孔質材料が用いられる。多孔質セラミックスの具体例としては、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）または炭化ケイ素（ＳｉＣ）の焼結体を挙げることができる。多孔質のバックアップローラ２０における気孔径は、例えば５μｍ以下とされ、気孔率は、例えば１５％～５０％とされる。

　バックアップローラ２０の端面には、吸引口２３が設けられている。吸引口２３は、図外の吸引機構（例えば、排気ポンプ）に接続される。吸引機構を動作させると、バックアップローラ２０の吸引口２３に負圧が生じる。そして、バックアップローラ２０内の気孔を介して、バックアップローラ２０の吸着面２１に設けられた複数の吸着孔にも、負圧が生じる。電解質膜９２は、当該負圧によって、バックアップローラ２０の吸着面２１に吸着保持されつつ、バックアップローラ２０の回転によって円弧状に搬送される。

　また、図１中に破線で示すように、バックアップローラ２０の内部には、複数の水冷管２４が設けられている。水冷管２４には、図外の給水機構から、所定温度に温調された冷却水が供給される。製造装置１の動作時には、バックアップローラ２０の熱が、熱媒体である冷却水に吸収される。これにより、バックアップローラ２０が冷却される。熱を吸収した冷却水は、図外の排液機構へ排出される。

　塗布部３０は、バックアップローラ２０により搬送される電解質膜９２の表面に、材料である触媒インクを塗布するための機構である。触媒インクには、触媒材料（例えば、白金（Ｐｔ））を含む粒子をアルコールなどの溶媒中に分散させた電極ペーストが用いられる。図１に示すように、塗布部３０はノズル３１を有する。ノズル３１は、バックアップローラ２０による電解質膜９２の搬送方向において、剥離ローラ１１よりも下流側に設けられている。ノズル３１は、バックアップローラ２０の吸着面２１に対向する吐出口３１１を有する。吐出口３１１は、バックアップローラ２０の吸着面２１に沿って、水平に延びるスリット状の開口である。

　ノズル３１は、供給配管３２を介して、触媒インク供給源３３と流路接続されている。また、供給配管３２の経路上には、開閉弁３４が設けられている。この開閉弁３４が開放されると、触媒インク供給源３３から、供給配管３２を通ってノズル３１に、触媒インクが供給される。そして、ノズル３１の吐出口３１１から電解質膜９２へ向けて、触媒インクが吐出される。その結果、バックアップローラ２０に保持された電解質膜９２の外側の面に、触媒インクが塗布される。

　本実施形態では、開閉弁３４を一定の周期で開閉することによって、ノズル３１の吐出口３１１から、触媒インクを断続的に吐出する。これにより、電解質膜９２の表面に、触媒インクを搬送方向に一定の間隔で間欠塗布する。ただし、開閉弁３４を連続的に開放して、電解質膜９２の表面に、搬送方向に切れ目無く触媒インクを塗布してもよい。

　なお、触媒インク中の触媒材料には、高分子形燃料電池のアノードまたはカソードにおいて燃料電池反応を起こす材料が用いられる。具体的には、白金（Ｐｔ）、白金合金、白金化合物等を、触媒材料として用いることができる。白金合金の例としては、例えば、ルテニウム（Ｒｕ）、パラジウム（Ｐｄ）、ニッケル（Ｎｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、イリジウム（Ｉｒ）、鉄（Ｆｅ）等からなる群から選択された少なくとも１種の金属と白金との合金を挙げることができる。一般的には、カソード用の触媒材料には白金が用いられ、アノード用の触媒材料には白金合金が用いられる。ノズル３１から吐出される触媒インクは、カソード用であってもアノード用であってもよい。ただし、電解質膜９２の表裏に形成される触媒材料９ａと触媒材料９ｂ（後述の図３参照）とは、互いに逆極性の触媒材料とする。

　乾燥炉４０は、電解質膜９２の表面に塗布された触媒インクを乾燥させる部位である。本実施形態の乾燥炉４０は、バックアップローラ２０による電解質膜９２の搬送方向において、塗布部３０よりも下流側に配置されている。また、乾燥炉４０は、バックアップローラ２０の吸着面２１に沿って、円弧状に設けられている。乾燥炉４０は、バックアップローラ２０に保持される電解質膜９２に向けて、加熱された気体（熱風）を吹き付ける。そうすると、電解質膜９２と、その表面に塗布された触媒インクとが加熱され、触媒インク中の溶剤が気化する。これにより、触媒インクが乾燥して、電解質膜９２の表面に触媒材料９ｂの層が形成される。

　回収部５０は、触媒材料９ｂの層が形成された電解質膜９２の表面に、帯状のカバーフィルム９３を貼り付けて、得られた膜・触媒層接合体９４を回収する部位である。回収部５０は、バックアップローラ２０による電解質膜９２の搬送方向において、乾燥炉４０よりも下流側に配置されている。図１に示すように、回収部５０は、ラミネートローラ５１、フィルム供給部５２および接合体巻取部５３を有する。

　図３は、ラミネートローラ５１の付近の拡大図である。ラミネートローラ５１は、水平に延びる軸心周りに回転するローラである。ラミネートローラ５１は、バックアップローラ２０よりも径の小さい円筒状の外周面を有する。ラミネートローラ５１の外周面と、バックアップローラ２０の外周面とは、電解質膜９２およびカバーフィルム９３が通過する隙間を空けて、互いに対向する。また、ラミネートローラ５１は、図示を省略したエアシリンダによって、バックアップローラ２０側へ加圧されている。

　ラミネートローラ５１の材料には、例えば、熱伝導率の高い金属が用いられる。また、ラミネートローラ５１の内部には、通電により発熱するヒータ５１１が設けられている。ヒータ５１１には、例えば、シーズヒータを用いることができる。ヒータ５１１に通電すると、ヒータ５１１から生じる熱によって、ラミネートローラ５１の外周面が、環境温度よりも高い所定の温度に温調される。なお、ラミネートローラ５１の外周面の温度を放射温度計等の温度センサを用いて測定し、その測定結果に基づいて、ラミネートローラ５１の外周面が一定の温度となるように、ヒータ５１１の出力を制御してもよい。

　図１に戻る。フィルム供給部５２は、フィルム巻出ローラ５２１および第３検知ローラ５２２を有する。フィルム巻出ローラ５２１および第３検知ローラ５２２は、いずれも、ラミネートローラ５１と平行に配置される。供給前のカバーフィルム９３は、フィルム巻出ローラ５２１に巻き付けられている。フィルム巻出ローラ５２１は、図示を省略したモータの動力により回転する。フィルム巻出ローラ５２１が回転すると、カバーフィルム９３は、フィルム巻出ローラ５２１から繰り出される。

　カバーフィルム９３の材料には、電解質膜９２よりも機械的強度が高く、形状保持機能に優れた樹脂が用いられる。カバーフィルム９３の具体例としては、ＰＥＮ（ポリエチレンナフタレート）やＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）のフィルムを挙げることができる。カバーフィルム９３は、支持フィルム９１と同じものであってもよい。また、フィルム巻取ローラ１３１によって巻き取った支持フィルム９１を、カバーフィルム９３としてフィルム巻出ローラ５２１から繰り出すようにしてもよい。

　繰り出されたカバーフィルム９３は、第３検知ローラ５２２の外周面に接触することにより向きを変えて、ラミネートローラ５１側へ搬送される。第３検知ローラ５２２は、カバーフィルム９３から受ける荷重をロードセルで測定することにより、フィルム供給部５２においてカバーフィルム９３にかかる張力を検知する。後述する制御部７０は、第３検知ローラ５２２により検知されるカバーフィルム９３の張力が、予め設定された値となるように、フィルム巻出ローラ５２１の回転数を制御する。

　第３検知ローラ５２２を通過したカバーフィルム９３は、バックアップローラ２０の外周面に吸着保持された電解質膜９２と、ラミネートローラ５１との間へ導入される。このとき、カバーフィルム９３は、ラミネートローラ５１からの圧力により電解質膜９２に押し付けられるとともに、ラミネートローラ５１の熱により加熱される。その結果、電解質膜９２の外側の面に、カバーフィルム９３が貼り付けられる。電解質膜９２の表面に形成された触媒材料９ｂは、電解質膜９２とカバーフィルム９３との間に挟まれる。これにより、電解質膜９２、触媒材料９ａ，９ｂおよびカバーフィルム９３で構成される膜・触媒層接合体９４が形成される。

　接合体巻取部５３は、接合体巻取ローラ５３１および第４検知ローラ５３２を有する。接合体巻取ローラ５３１および第４検知ローラ５３２は、いずれも、ラミネートローラ５１と平行に配置される。バックアップローラ２０とラミネートローラ５１との間を通過した膜・触媒層接合体９４は、バックアップローラ２０から離れて、第４検知ローラ５３２の方向へ搬送される。そして、膜・触媒層接合体９４は、第４検知ローラ５３２の外周面に接触することにより向きを変えて、接合体巻取ローラ５３１側へ搬送される。

　接合体巻取ローラ５３１は、図示を省略したモータの動力により回転する。これにより、接合体巻取ローラ５３１に膜・触媒層接合体９４が巻き取られる。第４検知ローラ５３２は、膜・触媒層接合体９４から受ける荷重をロードセルで測定することにより、接合体巻取部５３において膜・触媒層接合体９４にかかる張力を検知する。後述する制御部７０は、第４検知ローラ５３２により検知される膜・触媒層接合体９４の張力が、予め設定された値となるように、接合体巻取ローラ５３１の回転数を制御する。

　表面冷却部６０は、バックアップローラ２０の外周面を冷却するための機構である。表面冷却部６０は、バックアップローラ２０の外周面のうち、回収部５０と導入剥離部１０との間の電解質膜９２を保持しない領域に対向する位置に配置される。表面冷却部６０は、例えば、バックアップローラ２０の外周面に、環境温度よりも低温（例えば５℃程度）のクリーンドライエアを吹き付ける。乾燥炉４０およびラミネートローラ５１により加熱されたバックアップローラ２０は、当該クリーンドライエアを受けることによって冷却される。

　このように、本実施形態の製造装置１では、基材巻出ローラ１２１からの積層基材９０の繰り出し、電解質膜９２からの支持フィルム９１の剥離、電解質膜９２への触媒インクの塗布、乾燥炉４０による乾燥、電解質膜９２へのカバーフィルム９３の貼り付けの各工程が、順次に実行される。これにより、固体高分子形燃料電池の電極に用いられる膜・触媒層接合体９４が製造される。電解質膜９２は、支持フィルム９１、バックアップローラ２０またはカバーフィルム９３に、常に保持されている。これにより、製造装置１における電解質膜９２の膨潤・収縮等の変形が抑制される。

　制御部７０は、製造装置１内の各部を動作制御するための手段である。図４は、制御部７０と、製造装置１内の各部との接続を示したブロック図である。図４中に概念的に示したように、制御部７０は、ＣＰＵ等の演算処理部７１、ＲＡＭ等のメモリ７２およびハードディスクドライブ等の記憶部７３を有するコンピュータにより構成される。記憶部７３内には、膜・触媒層接合体の製造処理を実行するためのコンピュータプログラムＰが、インストールされている。

　また、図４に示すように、制御部７０は、上述した基材巻出ローラ１２１のモータ、第１検知ローラ１２２のロードセル、フィルム巻取ローラ１３１のモータ、第２検知ローラ１３２のロードセル、バックアップローラ２０の回転駆動部２２、バックアップローラ２０の吸引機構、バックアップローラ２０の給水機構、開閉弁３４、乾燥炉４０、ヒータ５１１、フィルム巻出ローラ５２１のモータ、第３検知ローラ５２２のロードセル、接合体巻取ローラ５３１のモータ、第４検知ローラ５３２のロードセルおよび表面冷却部６０と、それぞれ通信可能に接続されている。また、制御部７０は、後述するサーボモータ３６１、測定部３７の空気圧源および変位センサ３７５とも、通信可能に接続されている。

　制御部７０は、記憶部７３に記憶されたコンピュータプログラムＰやデータをメモリ７２に一時的に読み出し、当該コンピュータプログラムＰに基づいて、演算処理部７１が演算処理を行うことにより、上記の各部を動作制御する。これにより、製造装置１における膜・触媒層接合体の製造処理が進行する。

　＜２．進退機構および測定部について＞
　この製造装置１は、ノズル３１の吐出口３１１からバックアップローラ２０の吸着面２１までの距離を略一定に保つための機構を有する。以下では、当該機構について説明する。図５は、バックアップローラ２０および塗布部３０を、バックアップローラ２０の軸心方向の一方側から見た図である。図６は、バックアップローラ２０および塗布部３０を、ノズル３１の背面側から見た図である。

　この製造装置１の塗布部３０は、ノズル３１を支持する移動テーブル３５を有する。ノズル３１は、水平に配置された移動テーブル３５の上面に固定される。ノズル３１の吐出口３１１は、バックアップローラ２０の円筒状の吸着面２１に対して、垂直に対向する。以下では、ノズル３１からの触媒インクの吐出の向きと平行な方向を「第１方向」と称する。また、バックアップローラ２０の軸心と平行な方向を「第２方向」と称する。

　図５および図６に示すように、本実施形態の塗布部３０は、一対の進退機構３６と、一対の測定部３７とを有する。

　進退機構３６は、移動テーブル３５とともにノズル３１を第１方向に進退させるための機構である。一対の進退機構３６は、移動テーブル３５の下面の第２方向の両端部付近に配置されている。図５に示すように、一対の進退機構３６は、それぞれ、駆動源であるサーボモータ３６１と、ガイドレール３６２と、ボールねじ３６３とを有する。ガイドレール３６２は、工場の床面に対して固定設置されたベース部３６０の上面に設けられ、第１方向に延びる。移動テーブル３５は、ガイドレール３６２に沿って第１方向に進退可能に設置される。ボールねじ３６３は、ガイドレール３６２の上方に配置されている。ボールねじ３６３は、ガイドレール３６２と平行に、第１方向に延びる。ボールねじ３６３には、移動テーブル３５の下面に設けられたナットが、組み付けられている。

　制御部７０からの駆動信号によって、サーボモータ３６１を駆動させると、ボールねじ３６３が回転する。これにより、移動テーブル３５およびノズル３１が、ガイドレール３６２に沿って第１方向に移動する。また、ノズル３１が第１方向に移動すると、バックアップローラ２０の吸着面２１に対して、ノズル３１の吐出口３１１が、第１方向に接近または離間する。すなわち、吐出口３１１から吸着面２１までの第１方向の距離（以下、「ギャップＧ」と称する）が変化する。

　なお、本実施形態では、一対の進退機構３６のサーボモータ３６１を、互いに独立して駆動させることができる。このため、ノズル３１の第２方向の両端部付近において、個別にギャップＧを調整することができる。ただし、一対の進退機構３６は、常に同時に動作するようになっていてもよい。また、進退機構３６の数は、１つであってもよく、３つ以上であってもよい。

　測定部３７は、ギャップＧの変化量を測定するための機構である。一対の測定部３７は、移動テーブル３５の上面の第２方向の両端部付近に配置されている。図５に示すように、一対の測定部３７は、それぞれ、支持部材３７１、測定部本体３７２、ロッド３７３、測定子３７４および変位センサ３７５を有する。支持部材３７１は、移動テーブル３５の上面から上方へ向けて延びている。測定部本体３７２は、支持部材３７１の上端部付近に固定されている。したがって、測定部本体３７２は、ノズル３１に対して相対的に静止した位置に配置される。

　ロッド３７３は、測定部本体３７２からバックアップローラ２０側へ向けて、第１方向に延びる柱状の部材である。測定子３７４は、ロッド３７３の先端に設けられている。本実施形態では、測定部本体３７２およびロッド３７３に、エアシリンダが用いられる。ロッド３７３および測定子３７４は、図外の空気圧源から測定部本体３７２に供給される空気圧に応じて、第１方向に進退する。

　変位センサ３７５は、ロッド３７３および測定子３７４の変位量を検出する測定器である。ロッド３７３および測定子３７４の第１方向の位置が変化すると、変位センサ３７５は、その変位量を測定し、測定結果を示す信号を、制御部７０へ出力する。

　図６に示すように、バックアップローラ２０の吸着面２１は、電解質膜９２を保持する保持領域２１１と、保持領域２１１の第２方向の両側に設けられた一対の測定領域２１２とを有する。一対の測定領域２１２には、それぞれ、全周に亘って保護フィルム８０が巻き付けられる。保護フィルム８０には、例えば、多孔質でないポリイミド等の樹脂フィルムが用いられる。保護フィルム８０の厚みは、電解質膜９２の厚みと、略同一の厚みであることが好ましい。例えば、保護フィルム８０の厚みは、電解質膜９２の厚みの１／２倍以上かつ２倍以下であることが好ましい。

　ギャップＧの測定時には、保護フィルム８０の表面に、測定子３７４が接触する。すなわち、本実施形態では、保護フィルム８０の表面が、円筒状の被測定面８１となる。図６中の拡大図に示したように、バックアップローラ２０の吸着面２１には、複数の吸着孔２５が設けられているが、被測定面８１には吸着孔が設けられていない。

　図７は、測定子３７４の付近の拡大図である。図７に示すように、本実施形態の測定子３７４は、第２方向に延びる軸を中心として回転可能な測定ローラ３７６を有する。ギャップＧの測定時には、測定ローラ３７６が、被測定面８１に接触しつつ、バックアップローラ２０の回転に応じて従動回転する。これにより、被測定面８１に対する測定子３７４の摺動が抑制される。したがって、測定子３７４および被測定面８１の損傷を抑制しつつ、ギャップＧの測定を行うことができる。

　＜３．ギャップ測定時の動作について＞
　続いて、この製造装置１において、ギャップＧを一定に維持しながら、電解質膜９２の表面に触媒インクを塗布するときの動作について、図８のフローチャートを参照しつつ説明する。なお、図８のステップＳ１～Ｓ９の各動作のうち、少なくともステップＳ２以降の動作は、制御部７０が、コンピュータプログラムＰに基づいて製造装置１内の各部を動作させることによって、実現される。

　この製造装置１において、膜・触媒層接合体を製造するときには、まず、バックアップローラ２０の吸着面２１のうち、測定領域２１２に、保護フィルム８０を巻き付ける（ステップＳ１）。保護フィルム８０の巻き付け作業は、制御部７０からの指令に基づいて製造装置１が自動的に実施してもよく、あるいは、作業者が実施してもよい。また、保護フィルム８０の巻き付け作業は、膜・触媒層接合体の製造を開始する前に、予め実施されていてもよい。

　次に、制御部７０は、バックアップローラ２０の吸引機構を動作させる（ステップＳ２）。これにより、バックアップローラ２０の吸着面２１に設けられた複数の吸着孔２５に負圧が生じる。このとき、吸着面２１のうち、測定領域２１２に設けられた複数の吸着孔２５は、保護フィルム８０に塞がれている。このため、保持領域２１１の複数の吸着孔２５に生じる負圧は、保護フィルム８０が無い場合よりも高くなる。

　次に、制御部７０は、進退機構３６を動作させて、ノズル３１を予め設定された位置に配置する（ステップＳ３）。これにより、ノズル３１の吐出口３１１とバックアップローラ２０の吸着面２１とが、ギャップＧを介して第１方向に対向する。続いて、制御部７０は、測定部本体３７２に空気圧を供給することによって、ロッド３７３をバックアップローラ２０側へ突出させる。そうすると、保護フィルム８０の被測定面８１に、測定子３７４が接触する（ステップＳ４）。以後、測定子３７４は、空気圧によって被測定面８１に継続的に押し付けられる。これにより、被測定面８１に対する測定子３７４の接触状態が、良好に保たれる。

　続いて、制御部７０は、製造装置１内の各ローラの回転を開始させる。そうすると、バックアップローラ２０の表面に、電解質膜９２が導入される（ステップＳ５）。導入された電解質膜９２は、吸着面２１の保持領域２１１に、複数の吸着孔２５の負圧によって保持されつつ、吸着面２１とともに回転する。また、保護フィルム８０の被測定面８１も、吸着面２１とともに回転する。

　その後、制御部７０は、開閉弁３４を開放する。そうすると、ノズル３１の吐出口３１１から電解質膜９２の表面に向けて、触媒インクが吐出される。これにより、電解質膜９２への触媒インクの塗布処理が開始される（ステップＳ６）。

　バックアップローラ２０の温度変化による膨張・収縮や、外部振動などで、吐出口３１１と吸着面２１との間のギャップＧが変化すると、測定部本体３７２に対する測定子３７４の第１方向の位置が変化する。そうすると、変位センサ３７５が、その変位量を測定して、測定結果を示す信号を、制御部７０へ出力する（ステップＳ７）。制御部７０は、得られた測定結果に基づいて、ギャップＧの変化量を算出する（ステップＳ８）。

　そして、制御部７０は、算出されたギャップＧの変化量を低減させるように、進退機構３６のサーボモータ３６１をフィードバック制御する（ステップＳ９）。これにより、ノズル３１の第１方向の位置を調整する。例えば、ギャップＧが減少したときには、ノズル３１を、バックアップローラ２０から遠ざかる向きに移動させる。また、ギャップＧが増加したときには、ノズル３１を、バックアップローラ２０に接近する向きに移動させる。

　これにより、ギャップＧの変化が抑えられる。すなわち、吐出口３１１から電解質膜９２の表面までの第１方向の距離が、略一定に保たれる。その結果、電解質膜９２の表面における触媒インクの塗布状態を一定に維持できる。すなわち、電解質膜９２の表面に、触媒材料９ｂの層を、一定の膜厚で形成できる。

　このように、本実施形態の製造装置１では、バックアップローラ２０の吸着面２１に保護フィルム８０を巻き付け、保護フィルム８０の表面に測定子３７４を接触させる。これにより、バックアップローラ２０の吸着面２１を損傷させることなく、ギャップＧの変化量を測定できる。したがって、吸着面２１の損傷による吸着力の低下や、ギャップＧの測定誤差が発生することを抑制できる。

　特に、本実施形態の構造では、ノズル３１と測定部本体３７２とが、共通の移動テーブル３５上に固定されている。このため、ノズル３１の位置が変化したときには、ノズル３１とともに、測定部本体３７２の位置も変位する。したがって、ノズル３１の変位量と、吸着面２１の変位量とを、別個に測定することなく、これらの変位量の差分に相当するギャップＧの変化量を、１つの測定部３７で測定できる。

　また、本実施形態の構造では、進退機構３６によるノズル３１の進退方向と、測定部３７における測定子３７４の進退方向とが、いずれも第１方向となっている。すなわち、ノズル３１と測定子３７４とは、互いに平行に移動する。このようにすれば、ノズル３１の位置によって、測定子３７４の移動軸がずれるという問題は生じない。したがって、測定子３７４を用いて、ギャップＧの変化量を、より正確に測定できる。

　また、本実施形態の構造では、バックアップローラ２０の外周面に沿って、加熱部となる乾燥炉４０が設けられている。乾燥炉４０は、バックアップローラ２０に保持された電解質膜９２を加熱するとともに、バックアップローラ２０も加熱する。このため、上記のように、バックアップローラ２０の熱膨張または収縮によるギャップＧの変化を抑えることは、本実施形態の構造において特に重要となる。

　＜４．変形例＞
　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。

　図９は、一変形例に係るバックアップローラ２０および塗布部３０を、バックアップローラ２０の軸心方向の一方側から見た図である。図９の例では、測定部３７が、吸着面２１の変位量を測定する第１測定部３７Ａと、ノズル３１の変位量を測定する第２測定部３７Ｂと、を含んでいる。第１測定部３７Ａの測定部本体３７２Ａと、第２測定部３７Ｂの測定部本体３７２Ｂとは、いずれも、図示を省略した支持部材によって、工場の床面に対して静止した位置に固定されている。したがって、ノズル３１が移動するときにも、２つの測定部本体３７２Ａ，３７２Ｂの位置は変化しない。

　第１測定部３７Ａの測定子３７４Ａは、バックアップローラ２０に巻かれた保護フィルム８０の被測定面８１に接触する。バックアップローラ２０が温度変化によって膨張または収縮すると、被測定面８１の変位に応じて、測定子３７４Ａの位置が変化する。第１測定部３７Ａの変位センサ３７５Ａは、当該変位量を測定して、測定結果を示す信号を制御部７０へ出力する。

　一方、第２測定部３７Ｂの測定子３７４Ｂは、ノズル３１の第１方向の後端面に接触する。ノズル３１の第１方向の位置が変化すると、それに応じて、測定子３７４Ｂの位置が変化する。第２測定部３７Ｂの変位センサ３７５Ｂは、当該変位量を測定して、測定結果を示す信号を制御部７０へ送信する。

　制御部７０は、第１測定部３７Ａから得られる変位量と、第２測定部３７Ｂから得られる変位量との差分に基づいて、ギャップＧの変化量を算出する。すなわち、図９の例では、第１測定部３７Ａおよび第２測定部３７Ｂによって、ギャップＧの変化量を測定する測定部３７が構成される。制御部７０は、測定されたギャップＧの変化量が小さくなるように、進退機構３６のサーボモータ３６１を制御する。

　特に、図９の例では、第１測定部３７Ａの測定子３７４Ａが、バックアップローラ２０の軸心に向けられている。すなわち、測定子３７４Ａは、バックアップローラ２０の軸心に対する半径方向に進退する。このようにすれば、バックアップローラ２０が軸心を中心として膨張または収縮したときに、吸着面２１の変位量をより正確に測定できる。

　なお、上述した実施形態の構造において、測定部３７の測定子３７４を、バックアップローラ２０の軸心に向かうように配置してもよい。例えば、測定部３７の位置を、図５および図６の状態よりもやや低い位置に変更して、ノズル３１の吐出口３１１と同じ高さに測定子３７４を配置してもよい。そうすれば、測定子３７４を、ノズル３１の進退方向と平行かつバックアップローラ２０の軸心に向かう方向に進退させることができる。

　また、上記の実施形態では、バックアップローラ２０が、吸着面２１に電解質膜９２を直接接触させて、電解質膜９２を保持していた。しかしながら、バックアップローラ２０は、吸着面２１に他のシートを介して電解質膜９２を保持してもよい。例えば、バックアップローラ２０への電解質膜９２の導入時に、電解質膜９２とともに多孔質のシートを導入し、バックアップローラ２０の吸着面２１に、当該シートとともに電解質膜９２を吸着保持させてもよい。

　また、上記の実施形態では、ガイドレール３６２とボールねじ３６３とを用いた進退機構３６によって、ノズル３１を第１方向に進退させていた。しかしながら、ノズル３１を進退させる機構は、必ずしもガイドレール３６２およびボールねじ３６３を用いた機構でなくてもよい。例えば、搬送ベルトを用いた機構や、リニアモータを用いた機構によって、ノズル３１の位置を進退させるようにしてもよい。

　また、上記の実施形態では、バックアップローラ２０の吸着面２１に保護フィルム８０を巻き付け、当該保護フィルム８０の表面を被測定面８１としていた。しかしながら、他の方法で、被測定面８１を設けてもよい。例えば、バックアップローラ２０の吸着面２１のうち、測定領域２１２のみをコーティング材で覆うことによって、バックアップローラ２０の外周面に、吸着孔２５の無い被測定面を形成してもよい。

　また、バックアップローラ２０の第２方向の中央部と両端部とを、別々の部材で形成し、中央部のみを多孔質の部材としてもよい。そして、両端部を構成する部材の外周面を、被測定面としてもよい。その場合、中央部を構成する部材の熱膨張率と、両端部を構成する部材の熱膨張率とは、略同一であることが好ましい。また、単一の円筒状の部材によって、バックアップローラ２０を形成し、バックアップローラ２０の第２方向の中央部のみに、多孔質化処理を施してもよい。

　また、上記の実施形態では、バックアップローラ２０の保持領域２１１の両側に、一対の被測定面８１を設けていた。しかしながら、保持領域２１１の片側のみに、被測定面８１を設けてもよい。被測定面８１は、保持領域２１１とは異なる第２方向の位置に設けられていればよい。

　また、上記の実施形態では、一方の面に予め触媒材料９ａの層が形成された電解質膜９２の他方の面に、触媒材料９ｂを形成する場合について説明した。しかしながら、本発明の製造装置は、表裏のいずれの面にも触媒材料の層が形成されていない電解質膜に対して、触媒材料を形成するものであってもよい。

　また、上記の実施形態では、電解質膜の表面に触媒インクを塗布する場合について説明した。しかしながら、本発明の塗布装置は、電解質膜以外の長尺帯状の基材に対して、触媒インク以外の材料を塗布するものであってもよい。

　また、塗布装置および製造装置の細部の構成については、本願の各図と相違していてもよい。また、上記の実施形態や変形例に登場した各要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。

　１　製造装置
　９ａ，９ｂ　触媒材料
　１０　導入剥離部
　２０　バックアップローラ
　２１　吸着面
　２２　回転駆動部
　２５　吸着孔
　３０　塗布部
　３１　ノズル
　３５　移動テーブル
　３６　進退機構
　３７　測定部
　３７Ａ　第１測定部
　３７Ｂ　第２測定部
　４０　乾燥炉
　５０　回収部
　６０　表面冷却部
　７０　制御部
　８０　保護フィルム
　８１　被測定面
　９２　電解質膜
　２１１　保持領域
　２１２　測定領域
　３１１　吐出口
　３６１　サーボモータ
　３６２　ガイドレール
　３６３　ボールねじ
　３７２，３７２Ａ，３７２Ｂ　測定部本体
　３７４，３７４Ａ，３７４Ｂ　測定子
　３７５，３７５Ａ，３７５Ｂ　変位センサ
　３７６　測定ローラ
　Ｇ　ギャップ

Claims

　長尺帯状の基材の表面に材料を塗布する塗布装置であって、
　円筒状の吸着面に直接または他のシートを介して基材を保持するバックアップローラと、
　前記バックアップローラをその軸心周りに回転させる回転駆動部と、
　前記バックアップローラに保持された基材に向けて材料を吐出する吐出口を有するノズルと、
　前記吐出口を、材料の吐出の向きと平行な第１方向に進退させる進退機構と、
　前記吐出口から前記吸着面までの前記第１方向の距離の変化量を測定する測定部と、
　前記測定部の測定結果に基づいて、前記進退機構を制御する制御部と、
　前記吸着面とともに回転する円筒状の被測定面と、
を備え、
　前記吸着面および前記被測定面のうち、前記吸着面のみに、複数の吸着孔が設けられ、
　前記測定部は、前記被測定面に接触する測定子を有する塗布装置。
　請求項１に記載の塗布装置であって、
　前記吸着面の一部分に巻き付けられた保護フィルム
をさらに有し、
　前記保護フィルムの表面が、前記被測定面となっている塗布装置。
　請求項２に記載の塗布装置であって、
　前記保護フィルムの厚みと、基材の厚みとが、略同一である塗布装置。
　請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記吸着面は、基材を保持する保持領域を有し、
　前記被測定面は、前記軸心と平行な第２方向において、前記保持領域とは異なる位置に設けられる塗布装置。
　請求項４に記載の塗布装置であって、
　前記保持領域の前記第２方向の両側に、一対の前記被測定面が設けられ、
　前記測定部は、一対の前記被測定面に接触する一対の前記測定子を有する塗布装置。
　請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記測定部は、
　　前記ノズルに対して相対的に静止した測定部本体
を有し、
　前記測定子は、前記測定部本体に対して進退する塗布装置。
　請求項６に記載の塗布装置であって、
　前記測定子は、前記測定部本体に対して前記第１方向に進退する塗布装置。
　請求項１から請求項５までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記測定部は、
　　前記ノズルとともに移動しない位置に固定された測定部本体
を有し、
　前記測定子は、前記測定部本体に対して進退する塗布装置。
　請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記測定子は、前記バックアップローラの前記軸心に向けられている塗布装置。
　請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記測定子は、前記バックアップローラの前記軸心と平行な軸周りに回転可能な測定ローラを有し、
　前記測定ローラが、前記被測定面に接触する塗布装置。
　請求項１から請求項１０までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記測定部は、
　　前記被測定面に前記測定子を押圧するエアシリンダ
を有する塗布装置。
　請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載の塗布装置であって、
　前記バックアップローラに保持された基材を加熱する加熱部
をさらに備える塗布装置。
　電解質膜の表面に触媒層が形成された膜・触媒層接合体の製造装置であって、
　請求項１から請求項１２までのいずれか１項に記載の塗布装置と、
　前記塗布装置に、電解質膜の層を含む基材を導入する導入部と、
　前記塗布装置から基材を回収する回収部と、
を備え、
　前記ノズルは、前記バックアップローラに保持された基材に向けて、触媒材料を吐出する製造装置。
　回転するバックアップローラの円筒状の吸着面に直接または他のシートを介して基材を保持しつつ、吐出口から材料を吐出することによって、基材の表面に材料を塗布する装置において、前記吐出口から前記吸着面までの距離の変化量を測定する測定方法であって、
　ａ）前記吸着面とともに回転する円筒状の被測定面に、測定子を接触させる工程と、
　ｂ）前記測定子の変位に基づいて、前記吐出口から前記吸着面までの距離の変化量を算出する工程と、
を有し、
　前記吸着面および前記被測定面のうち、前記吸着面のみに、複数の吸着孔が設けられている測定方法。