WO2006077823A1

WO2006077823A1 - 基板検査装置及び基板検査方法

Info

Publication number: WO2006077823A1
Application number: PCT/JP2006/300512
Authority: WO
Inventors: Kiyoshi Numata; Munehiro Yamashita; Harumi Kadota
Original assignee: Nidec-Read Corporation
Priority date: 2005-01-18
Filing date: 2006-01-17
Publication date: 2006-07-27
Also published as: JP4959942B2; KR101135440B1; TWI390222B; JP2006200946A; TW200641366A; KR20070097058A

Abstract

　本発明の基板検査装置において、制御部のＣＰＵ８１１は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部８１１ａと、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部８１１ｃと、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部８１１ｄと、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部８１１ｅとを備えている。これにより、被検査基板の導通検査を正確に行うことが可能となる。

Description

明細書

基板検査装置及び基板検査方法

技術分野

[0001] 本発明は、複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点間（以下、測定点セット間という）の導通検査を行う基板検查装置、基板検查プログラム及び基板検查方法に関する。特に、ビアを有するビルドアップ基板にぉレ、て、前記測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置及び基板検査方法に関する。

背景技術

[0002] 回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載される IC等の半導体や抵抗器等の電気部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、従来、半導体ゃ電気部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、あるいは半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた測定点間の抵抗値を測定してその良否が検査されている。

[0003] このように測定点間の抵抗値に基づいて基板の良否を判定するためには、測定点間の抵抗値を正確に測定する必要があり、公知の 4端子測定法を用いて更に高精度の測定が可能な測定方法が提案されている（特許文献 1参照)。

特許文献 1 :特開平 10— 123189号公報

[0004] 一方、近年、回路基板の微細化の進行に伴い配線パターンの幅が狭くなり、配線パターンの幅 (又は、厚さ）のバラツキが測定点間の抵抗値に及ぼす影響が大きくなつている。そのため、測定点間の抵抗値のバラツキが大きぐ上述のように測定点間の抵抗値が高精度に測定された場合でも、その良否判定の基準となる閾値の設定が困難となり、その結果、基板の導通検査を正確に行うことが困難となる場合がある。

[0005] 特に、基板がビアを有するビルドアップ基板である場合には、例えば、レーザビア等のビアに発生した接合不良に伴う測定点間の抵抗値の増加が小さぐ配線パターンの幅等のバラツキに伴う測定点間の抵抗値のバラツキと同程度（あるいはそれ以下 )となり、良否判定の基準となる閾値の設定が極めて困難となる。

[0006] 本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、被検査基板の導通検査を正確に行う基板検査装置及び基板検査方法を提供することを目的としている。

発明の開示

[0007] 上記問題を解決するために、本発明に係る基板検查装置は、複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検査を行う基板検査装置であって、被検查基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴としている。

[0008] 上記の構成とすることによって、検査抵抗測定手段によって、被検査基板の配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値が検査抵抗値として測定される。そして、閾値設定手段によって、測定点セットに対応して閾値が設定され、判定手段によって、検査抵抗値の良否が、測定点セット毎に閾値設定手段によって設定された閾値に基づいて判定される。従って、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値の良否が、測定点セットに対応して設定された閾値に基づいて判定されるため、閾値を測定点セットに対応して適切な値に設定することにより、検查抵抗値の良否が正確に判定され、被検查基板の導通検査が正確に行われる。

図面の簡単な説明

[0009] [図 1]図 1は、この発明に係る基板検査装置の一実施形態を示す側面断面図である。

[図 2]図 2は、図 1に示す基板検査装置の平面図である。

[図 3]図 3は、基板検査装置の電気的構成の一例を示す構成図である。

[図 4]図 4は、測定実行部の構成の一例を説明するための概念図である。

[図 5]図 5は、制御部のハードウェア構成の一例を示す構成図である。

[図 6]図 6は、基板の構成の一例を示す概念図である。

[図 7]図 7は、第 1実施形態に係る制御部の機能構成の一例を示す構成図である。 [図 8]図 8は、第 1実施形態に係る判定部による検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。

[図 9]図 9は、検査抵抗差の説明図である。

[図 10]図 10は、閾値の算出方法の一例を説明する図表である。

[図 11]図 11は、第 1実施形態に係る制御部の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。

[図 12]図 12は、第 1実施形態に係る制御部の検査実行時の動作の一例を示すフロ一チャートである。

[図 13]図 13は、第 2実施形態に係る制御部の機能構成の一例を示す構成図である。

[図 14]図 14は、第 2実施形態に係る判定部による検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。

[図 15]図 15は、第 2実施形態に係る制御部の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。

[図 16]図 16は、第 2実施形態に係る制御部の検査実行時の動作の一例を示すフロ一チャートである。

[図 17]図 17は、第 3実施形態に係る制御部の機能構成の一例を示す構成図である。

[図 18]図 18は、第 3実施形態に係る判定部による検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。

[図 19]図 19は、第 3実施形態に係る制御部の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。

[図 20]図 20は、第 3実施形態に係る制御部の検査実行時の動作の一例を示すフロ一チャートである。

発明を実施するための最良の形態

[0010] 図 1は、この発明に係る基板検查装置の一実施形態を示す側面断面図であり、図 2 は図 1の基板検査装置の平面図である。後述する各図との方向関係を明確にするために、 XYZ直角座標軸を記載している。

[0011] これらの図に示すように、この基板検査装置は、装置前方側（一 Y側）に装置本体 1 に対して開閉扉 11が開閉自在に配設されており、この開閉扉 11を開レ、た状態で、配線パターンが複数の層に形成されたビルドアップ基板である基板 2 (被検査基板に相当する：図 6参照)を、装置前方側中央部に設けられた搬出入部 3から装置本体 1 内に搬入可能とされている。また、この搬出入部 3の後方側（+Y側）には、検査信号を伝送する複数本 (例えば、 500本）の接触子 44を備え、基板 2の配線パターンのランド（測定点に相当する）に接触子 44を当接させるべく後述する検查治具 41を移動させる検查部 4が設けられている。

[0012] 更に、この検查部 4に対して接触子 44を測定点に当接させるべく移動させる指示信号及び接触子 44を介して測定点に出力する検査信号等を出力すると共に、検査部 4を介して検査信号等が入力され、検査信号を後述する制御部 8 (図示省略)へ伝送する測定実行部 74が適所 (ここでは、装置本体 1内の上部）に配設されている。そして、検査部 4及び測定実行部 74等による検査 (すなわち、良否判定）が終了した基板 2は、搬出入部 3に戻され、開閉扉 11が開状態とされてオペレータによって搬出可能となる。

[0013] この基板検査装置では、搬出入部 3と検査部 4との間で基板 2を搬送するために、搬送テーブル 5が Y方向に移動自在に設けられるとともに、搬送テーブル 5は搬送テ一ブル駆動機構 6によって Y方向に移動されて位置決めされるように構成されている。すなわち、搬送テーブル駆動機構 6では、 Y方向に延びる 2本のガイドレール 61が所定間隔だけ X方向に離間して配置され、これらのガイドレール 61に沿って搬送テ一ブル 5がスライド自在となってレ、る。

[0014] また、これらのガイドレール 61と平行にボールネジ 62が配設され、このボールネジ 62の一方（一 Y側)端が装置本体 1に軸支されるとともに、他方（+Y側)端が搬送テ一ブル駆動用のモータ 63の回転軸 64と連結されている。更に、このボールネジ 62 には、搬送テーブル 5を固定したブラケット 65が螺合され、後述する制御部 8 (図 3、図 5参照）からの指令に応じてモータ 63が回転駆動されると、その回転量に応じて搬送テーブル 5が Y方向に移動して搬出入部 3と検查部 4との間を往復移動される。

[0015] 図 2を参照して、搬送テーブル 5は、基板 2を載置するための基板載置部 51を備えている。この基板載置部 51は、載置された基板 2が 3つの係合ピン 53と係合するとともに、これらの係合ピン 53と対向する方向から基板 2を付勢する付勢手段（図示省略 )によって、基板 2が係合ピン 53側に付勢されて基板載置部 51上で基板 2を保持可能となっている。また、このように保持された基板 2の下面に形成された配線パターンに後述する下部検査ユニット 4Dの接触子 44を当接させるために、基板載置部 51には貫通開口（図示省略）が形成されている。

[0016] 検查部 4は、搬送テーブル 5の移動経路を挟んで上方側（+ Z側）に基板 2の上面側に形成された配線パターンを検查するための上部検查ユニット 4Uと、下方側（_Z 側）に基板 2の下面側に形成された配線パターンを検查するための下部検查ユニット 4Dとを備えている。検查ユニット 4U， 4Dは、略同一の構成を有しており、搬送テーブル 5の移動経路を挟んで略対称に配置されている。検查ユニット 4U, 4Dは、検查治具 41と検査治具駆動機構 ₄₃とを備えている。

[0017] 図 3は、基板検查装置の電気的構成の一例を示す構成図である。基板検查装置は、 CPU, ROM, RAM,モータドライバ等を備えて予め ROMに記憶されているプログラムに従って装置全体を制御する制御部 8 (図 5参照）と、テスターコントローラ 75と、測定実行部 74とを備えている。

[0018] テスターコントローラ 75は、制御部 8からの検査開始指令を受け付けて、予め記憶されたプログラムに従って、基板 2の配線パターンのランドに当接された複数本の接触子 44の中から検査すべき配線パターンの両端に位置する 2つのランド（以下、測定点セットという）にそれぞれ接触した 2つの接触子 44を順次、選択するものである。また、テスターコントローラ 75は、選択した 2つの接触子 44間の検査を行わせるベぐ測定実行部 74ヘスキャン指令を出力するものである。更に、テスターコントローラ 75 は、測定実行部 74 (図 4にて後述する検査処理部 741)から測定された抵抗値を受信して、制御部 8へ伝送するものである。

[0019] 一方、検査治具駆動機構 43は、図 3に示すように、装置本体 1に対して X方向に検查治具 41を移動させる X治具駆動部 43Xと、 X治具駆動部 43Xに連結されて検査治具 41を Y方向に移動させる Y治具駆動部 43Yと、 Y治具駆動部 43Yに連結されて検査治具 41を Z軸回りに回転移動させる Θ治具駆動部 43 Θと、 Θ治具駆動部 43 Θ に連結されて検査治具 41を Z方向に移動させる Z治具駆動部 43Zとで構成されており、制御部 8により検查治具 41を搬送テーブル 5に対して相対的に位置決めしたり、検査治具 41を上下方向（Z方向）に昇降させて接触子 44を基板 2に形成された配線パターンに対して当接させたり、離間させたりすることができるように構成されている。

[0020] 図 4は、測定実行部 74の構成の一例を説明するための概念図である。測定実行部

74は、所定値 (制御部 8で設定された値) 10の測定用直流電流を出力する直流電流源からなる電流生成部 742と、測定用直流電流によって配線パターン内に生成される電圧降下量 (電位差)を測定する電圧測定部 743と、検査治具 41が備える複数本の接触子 44の中からテスターコントローラ 75 (図 3参照）によって選択された接触子 4 4に電流生成部 742及び電圧測定部 743を接続するスィッチアレー等からなるスキヤナ 744とを備えている。

[0021] 検查処理部 741は、テスターコントローラ 75からのスキャン指令に応じて、電流供給対象となる 2つの接触子 44間に電流生成部 742を接続し、電位差検出対象となる 2つの接触子 44間に電圧測定部 743をそれぞれ接続させるベぐスキャナ 744へ制御信号を出力するものである。また、検査処理部 741は、電圧測定部 743で測定された電圧値 (電位差)を測定用直流電流値 10で除して、 2つの接触子 44間（すなわち、測定点セットの間）の抵抗値を求めてテスターコントローラ 75へ送信するものである。

[0022] 図 5は、制御部 8のハードウェア構成の一例を示す構成図である。制御部 8は、例えば、パーソナルコンピュータ等からなり、制御部 8の全体の動作を制御する主制御部 81と、外部からの操作を受け付ける図略のキーボード、マウス等からなる操作部 82と、外部に音声を出力するスピーカ 83と、外部に画像を出力するモニタ 84と、テスターコントローラ 75と通信を行う通信制御部 85と、種々の情報を記録用紙に印刷するプリンタ 86とがデータ伝送路であるバス BA8を介して接続されている。

[0023] 主制御部 81は、制御部 8の全体の動作を制御するもので、情報処理部（CPU) 81 1と、処理途中の情報等を一時的に格納する RAM812と、 OS (operating system )、所定の画像情報等が予め記憶された ROM813とを備えている。

[0024] RAM812または ROM813に記憶された各種データのうち装着脱可能な記録媒体に記憶され得るデータは、例えばハードディスクドライブ、光ディスクドライブ、フレキシブルディスクドライブ、シリコンディスクドライブ、カセット媒体読み取り機等のドライバで読み取り可能にしてもよぐこの場合、記録媒体は、例えばハードディスク、光デイスク、フレキシブルディスク、 CD、 DVD,半導体メモリ等である。

[0025] インターフェイス部 821及び 861は、それぞれ操作部 82及びプリンタ 86と主制御部 81との間のデータの授受を行うためのものである。音声再生部 831は、主制御部 81 からの指示に従って所定の音声（例えば、アラーム、操作ガイダンス用の音声等）等をスピーカ 83に出力するものである。描画処理部 841は、主制御部 81からの画像表示指示に従って所要の画像をモニタ 84に表示させるもので、ビデオ RAM等を備えている。

[0026] 図 6は、基板 2の構成の一例を示す概念図である。（a)は、配線パターン以外を透明化した斜視図であり、（b)は断面図である。基板 2は、絶縁基板 212の上面 211に配線パターン 21 laが形成された第 1基板 21と、絶縁基板 222の上面 221に配線パターン 221aが形成されると共に、下面 223に配線パターン 223aが形成された第 2基板 22とから構成されたビルドアップ多層（ここでは、 3層）プリント配線基板（ビルドアツプ基板に相当する）である。

[0027] 配線パターン 21 laは、絶縁基板 212に形成されたビア TH1を介して配線パターン 221aと通電可能に接続され、更に、この配線パターン 221aは、絶縁基板 222に形成されたビア TH2を介して配線パターン 223aと通電可能に接続されている。ビア T HI及びビア TH2は、ここでは、レーザによって形成されたマイクロビアであるレーザビアであって、ビアの円筒状の側面に形成された銅メツキ層と、配線パターン 221a、 223aとの接合面に欠陥が発生し易いが、欠陥が軽微である場合には、欠陥に伴う測定点セット間（例えば、配線パターン 21 la上の測定点 MP1と測定点 MP2との間）の抵抗値の増大が小さぐ検出が困難である場合がある。

[0028] ぐ第 1実施形態 >

次に、図 7〜： 12を用いて、本発明の第 1実施形態に係る基板検查装置について説明する。図 7は、第 1実施形態に係る制御部 8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部 8の CPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部 81 la (基準抵抗測定手段に相当する）と、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部 811b (統計計算手段に相当する）と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部 811c (閾値設定手段に相当する）と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部 S l id (検査抵抗測定手段に相当する）と、測定点セット毎に閾値に基づいて検查抵抗値の良否を判定する判定部 81 le (判定手段に相当する）とを備えている。

[0029] また、制御部 8の RAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部 812aと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部 812bと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部 812cとを備えている。

[0030] 基準抵抗測定部 811aは、同一種類の複数 (例えば、 10000枚）の被検查基板の中から予め選択された所定数 (ここでは、 30枚）の被検查基板である基準基板につレ、て測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812aに格納するものである。

[0031] 具体的には、図 4に示す電圧測定部 743で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の 10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。

[0032] 統計計算部 81 lbは、所定数 (ここでは、 30枚）の基準基板について、測定点セット毎に、基準抵抗測定部 811aによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部 812 aから読み出して、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812aに格納するものである。

[0033] 閾値設定部 811cは、測定点セットを基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に順番号を付与し、順番号が隣接する 2 組の測定点セットの基準抵抗値の平均値の差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を順番号情報及び 2組の測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部 812bに格納するものである。具体的な閾値の設定方法については図 10を用いて後述する。

[0034] 検査抵抗測定部 81 Idは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検查抵抗記憶部 812cに格納するものである。具体的には、図 4に示す電圧測定部 7 43で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。

[0035] 判定部 81 leは、順番号が隣接する 2組の測定点セットの検查抵抗値を検查抵抗記憶部 812cから読み出してそれらの差 (以下、検查抵抗差 A Rという）を求め、閾値設定部 811cによって設定された対応する閾値との大小関係に基づいて判定するものである。具体的には、順番号が隣接する 2組の測定点セットの検查抵抗差 Δ が閾値設定部 811cによって設定された下限値 SHLA未満である力、、または、上限値 S HUA超である場合に不良であると判定するものである（図 8参照）。更に詳細な処理は、図 12に示すフローチャートを用いて後述する。

[0036] 基準抵抗記憶部 812aは、基準抵抗測定部 81 laによって求められた基準抵抗値と、統計計算部 81 lbによって求められた基準抵抗値の平均値及び標準偏差とを 2組の測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0037] 閾値記憶部 812bは、閾値設定部 811cによって設定された閾値を順番号情報及び 2組の測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0038] 検査抵抗記憶部 812cは、検査抵抗測定部 81 Idによって求められた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0039] なお、制御部 8を、基準抵抗測定部 81 la、統計計算部 81 lb等として機能させる本発明の基板検查プログラムが、例えば ROM813に格納されており、 CPU811によつて実行されることにより、制御部 8が基準抵抗測定部 81 la、統計計算部 81 lb等の各機能部として機能するものである。

[0040] 図 8は、判定部 81 leによる検查抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。（a)は、検查抵抗値 Rの一例を示すグラフ G1であり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が検查抵抗値 Rである。順番号 SNは、測定点セット毎の基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって付与されるものであり、測定点セット間の基準抵抗値の大小関係と検査抵抗値の大小関係とは略一致するものであるから、グラフ G1は、概ね、順番号 SNの増加に伴って検査抵抗値 Rが増大する曲線となつている。

[0041] ただし、ここでは、順番号 SNが「455」である測定点セット間の配線パターン内に不良箇所があり、この不良箇所に起因して、グラフ G1には、この測定点セット間の検查抵抗値 Rに対応する順番号 SNが「455」の位置で検查抵抗値 Rが急激に増大する不良箇所 EPがある。なお、この不良箇所 EPの抵抗値は、順番号 SNが 1の測定点セット間の抵抗値 R1以上であり、且つ、順番号 SNが最大（ここでは、「925」）の測定点セット間の抵抗値 R2以下であるため、被検查基板内の全ての測定点セットに対して一定の閾値を使用する場合には検出され得ないものである。

[0042] (b)は、（a)に示す検查抵抗値 Rに対応する、順番号が隣接する 2組の測定点セットのグラフ G2である。図の横軸が順番号 SNであり、縦軸が検查抵抗差 A Rである。ここで、検査抵抗差について図 9を用いて説明する。図 9は、検査抵抗差 Δ尺の説明図である。図の横軸が順番号 SNであり、縦軸が検査抵抗値 Rである。検査抵抗差 A Riは次の（1)式で定義される順番号 SNが隣接する（ここでは、順番号 SNが i、 ( i+ 1)である） 2組の測定点セットの検査抵抗値 Rの差である。

[0043] A Ri=R (i+ l) -Ri (1)

[0044] ただし、 Riは順番号 SNが iである測定点セットの検査抵抗値 Rである。なお、 i= 1 〜925である。

[0045] 再び、図 8 (b)に戻って、上述のように順番号 SNの増加に伴って検査抵抗値尺が概ね増大するため、検査抵抗差は、グラフ G2に示すように、通常、微小な正の値 (例えば、 Ιπι Ω程度）となる。ただし、順番号 SNが「455」の位置で検查抵抗値 R が急激に増大する不良箇所 ΕΡが存在するため、検查抵抗差 A Riの内、 iが「454」である検查抵抗差 Δ Riが他の点の検查抵抗差 Δ Riとは桁違レ、の大きな値 (例えば、 10m Ω程度）となり、 iが「455」である検查抵抗差 Δ Riが他の点の検查抵抗差 Δ Riとは桁違いの小さな値 (例えば、 _ 10m Ω程度）となる。従って、閾値（図 8のグラフ G3 で示す上限値、及び、グラフ G4で示す下限値）を適正値（例えば、 3m Ω及び— 2m Ω )に設定することによって、不良箇所 EPを正確に検出することが可能となるのである。

[0046] 図 10は、閾値の算出方法の一例を説明する図表である。（a)は、統計計算部 811 bによって算出される平均値 AV及び標準偏差 σを示す図表であり、（b)は、閾値設定部 811cによって算出される閾値（上限値 SHUA及び下限値 SHLA)を示す図表である。 (a)には、上欄から順に、測定点セットの番号 (以下、ポイント番号 PNという）と、ポイント番号 PNに対応する測定点セットについて、基準抵抗測定部 81 laによつて測定された基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σと、閾値設定部 811cによつて各測定点セットに付与される順番号 SNが表示されている。

[0047] ここでは、ポイント番号 PN力の測定点セットの平均値 AViが最小であり、このポィント番号 PN( = i)に対応する順番号 SNが 1となっている。また、ポイント番号 PNが j の測定点セットの平均値 AVjが 2番目に小さぐこのポイント番号 PN(=j)に対応する順番号 SNが 2となっている。

[0048] (b)には、上欄から順に、順番号 SN、平均値 AV、標準偏差 σが表示され、（a)に示すデータを順番号 SNでソート（並び替え）した結果を示している。上述のように、順番号 SNが 1及び 2の測定点セットのポイント番号 PNはそれぞれ i及び jである。ここで、順番号 SNが n及び（n+1)の測定点セットのポイント番号 PNを、それぞれ p及び q としている。（b)の上から 4番目のポイント番号 PNの欄の下側には、閾値設定部 811 cによって設定される上限値 SHUA及び下限値 SHLAが表示されている。また、欄外に示すように、順番号 SNが n及び (n+1)の測定点セットから設定される上限値 S HUAn及び下限値 SHLAnは、それぞれ次の（2)、（3)式で求められる。

[0049] SHUAn= (AVq-AVp) + 3X (σρ+ aq)/2 (2)

SHLAn= (AVq-AVp) -3X (σρ+ oq)/2 (3)

[0050] 図 11は、制御部 8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 2に示す基板載置部 51上に、検査される対象の基板 2が載置される前に、基板 2を検查する準備動作として実行されるものである。

[0051] まず、基準抵抗測定部 811aによって、 30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値 SRi，j (i= 1〜N、 j = 1〜M、 N：測定点セットの個数 (ここでは、 N = 925)、 M:基準基板の枚数 (ここでは、 M = 30))が測定され、測定点セットの識別情報 (ここでは、ポイント番号 PN)と対応付けて基準抵抗記憶部 812a に格納される（ステップ S101)。次に、統計計算部 81 lbによって、測定点セット毎に基準抵抗値 SRiJの平均値 AVi及び標準偏差 σ iが求められ、測定点セットの識別情報 (ここでは、ポイント番号 PN)と対応付けて基準抵抗記憶部 812aに格納される (ステツプ S 103)。

[0052] そして、閾値設定部 811cによって、基準抵抗値 SRi，jの平均値 AViの大きさに基づいて昇順に（すなわち、平均値 AViの小さい順に）並べ替えることによって測定点セット毎に順番号 SNが付与される (ステップ S105)。次に、閾値設定部 811cによつて、順番号 SNが隣接する 2組の測定点セット（ここでは、順番号 SNが n及び (n+ 1) の測定点セット）の基準抵抗値 SRi,jの平均値 AVi及び標準偏差 σ iを用いて（上述の（2)、 (3)式によって）、検查抵抗差 Δ Rnに対する上限値 SHUAn及び下限値 SH LAnが設定され（図 10参照）、上限値 SHUAn及び下限値 SHLAnが順番号 SN情報及び 2組の測定点セットの識別情報 (ポイント番号 PN)と対応付けて閾値記憶部 8 12bに格納され (ステップ S 107)、処理が終了される。

[0053] 図 12は、制御部 8の検査実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 11に示す動作が完了し、図 2に示す基板載置部 51上に検査される対象の基板 2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部 811eによって行われる。

[0054] まず、順番号 SKのカウンタ kの値が 1に初期化される（ステップ S201)。そして、閾値記憶部 812bを参照して、順番号 SKの値がカウンタ kの値である（すなわち、基準抵抗値の平均値 AVが小さい方から k番目の）測定点セットのポイント番号 PNkが求められる（ステップ S203)。つぎに、検查抵抗測定部 81 Idによって、ポイント番号 PN kの測定点セットの抵抗値 Rkが測定されて、ポイント番号 PNkと対応付けて検查抵抗記憶部 812cに格納される（ステップ S205)。次いで、カウンタ kの値が 1であるか否かの判定が行われる（ステップ S207)。

[0055] カウンタ kの値が 1である場合（ステップ S207で YES)には、カウンタ kの値が 1だけインクリメントされて（ステップ S209)、処理がステップ S203に戻され、ステップ S203 以降の処理が繰り返し実行される。カウンタ kの値が 1ではない（すなわち、 2以上である）場合 (ステップ S207で NO)には、順番号 SKが隣接する（ここでは、順番号 SK 力 ¾及び (k 1)である） 2組の測定点セットの検査抵抗値 Rk、 R(k-l)が検査抵抗記憶部 812cから読み出されて、次の（4)式を用いて検査抵抗差 ARkが求められる（ステップ S211)。

[0056] ARk=Rk-R(k-l) (4)

[0057] そして、検查抵抗差 ARkが、図 11に示すフローチャートのステップ S107で求められた下限値 SHUA(k_l)以上、且つ、上限値 SHLA(k_l)以下であるか否かの判定が行われる（ステップ S213)。検查抵抗差 ARkが、下限値 SHLA(k_l)以上、且つ、上限値 SHUA(k_l)以下ではなレ、（すなわち、下限値 SHLA(k_l)未満、または、上限値 SHUA(k_l)超である）と判定された場合 (ステップ S213で N〇）には、ポイント番号 PN(k_l)に対応する測定点セット間の配線パターンほたは、ビァ）が不良であると判定され (ステップ S221)、処理が終了される。

[0058] 一方、検査抵抗差 ARkが、下限値 SHLA(k— 1)以上、且つ、上限値 SHUA(k —1)以下であると判定された場合 (ステップ S213で YES)には、カウンタ kの値が測定点セットの個数 N以上か否かの判定が行われる（ステップ S215)。カウンタ kの値が測定点セットの個数 N以上ではない（すなわち、測定点セットの個数 N未満である）と判定された場合 (ステップ S215で NO)には、カウンタ kの値が 1だけインクリメントされて（ステップ S217)、処理がステップ S203に戻され、ステップ S203以降の処理が繰り返し実行される。一方、カウンタ kの値が測定点セットの個数 N以上であると判定された場合 (ステップ S215で YES)には、基板 2の導通状態は良好であると判定されて（ステップ S219)、処理が終了される。

[0059] このようにして、測定点セット間の抵抗値である検查抵抗値 Rkの良否力測定点セット毎に設定された上限値 SHUA(k_ 1)及び下限値 SHLA(k_ 1)に基づレ、て判定されるため、上限値 SHUA(k_l)及び下限値 SHLA(k_l)を測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検查抵抗値 Rkの良否が正確に判定される。

[0060] また、 2組の測定点セットの検查抵抗値 Rk、 1¾&_1)の差厶1¾^が、対応する上限値 SHUA(k_l)及び下限値 SHLA(k_l)に基づいて判定されるため、測定点セット毎に検査抵抗値 Rkを判定する場合と比較して、被検査基板 2毎の製造条件、及び、被検査基板 2毎の検査抵抗値 Rkの測定条件の差が相殺されることによって、検查抵抗値 Rkの良否が更に正確に判定される。

[0061] 例えば、基板 2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無レヽ場合であっても、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に大きレヽ場合（配線パターンの幅が狭い場合）と、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に小さい場合 (配線パターンの幅が広い場合）とがある力検查抵抗値 Rk、 1¾ &_ 1)の差厶1¾が判定されるため、検查抵抗値 Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。

[0062] 同様に、基板 2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に高い場合 (例えば、基板 2の表面温度が高い場合）と、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に低レ、場合 (例えば、基板 2の表面温度が低レ、場合）とがある力検查抵抗値 Rk、 R (k_ l)の差 A Rkが判定されるため、検查抵抗値 Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。

[0063] 更に、順番号 SKが隣接する（すなわち、基準抵抗値 SRの大きさが隣接する） 2つの測定点セットの検査抵抗値 Rk、 1 (1^ 1)の差厶1¾^が、対応する上限値 SHUA (k 1)及び下限値 SHLA (k— 1)に基づいて判定されるため、被検査基板 2毎の製造条件、及び、被検査基板 2毎の検査抵抗値 Rkの測定条件の差が更に相殺されることによって、検査抵抗値 Rkの良否が更に正確に判定される。

[0064] すなわち、被検査基板 2と同種の基板であって、導通状態の良好な基板である基準基板の基準抵抗値 SRの平均値 AVの大きさの順である順番号 SKが隣接する 2つの測定点セットは、本来的に、抵抗値が同程度の大きさの測定点セットであるから、対応する検査抵抗値 Rk、 R (k— 1)の差 A Rkの絶対値が小さくなるため、更に正確に判定されるのである。

[0065] 加えて、順番号 SKが隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値 SRの平均値 AV 及び標準偏差 σに基づレ、て（上述の（2)式及び（3)式を参照）、上限値 SHUAn及び下限値 SHLAnが設定されるため、適切な上限値 SHUAn及び下限値 SHLAnが容易に設定される。

[0066] また、検查抵抗値 Rkが測定される度に、検查抵抗値 Rk、 1 &_ 1)の差 1¾の良否が判定されて、不良が発生した時点で検查抵抗値 Rkの測定が中止されるため、特に不良が発生する頻度が高い場合には、基板 2の検査が効率的に行われる。

[0067] なお、本発明は以下の形態をとることができる。

[0068] (A)第 1実施形態においては、閾値設定部 811cが、所定数 (ここでは、 30枚）の基準基板の基準抵抗値の平均値 AVの大きさに基づいて測定点セット毎に順番号 SN を付与する場合について説明した力その他のルールに則って順番号 SNを付与する形態でもよレ、。例えば、基板 2の検查抵抗値 Rの測定が行われる測定点セットの順番を順番号 SNとして付与する形態でもよい。この場合には、基準抵抗値の平均値 A V等を求める処理が不要となり、処理が簡略化される。

[0069] (B)第 1実施形態においては、閾値設定部 811cが、 30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値 AVの小さい順に測定点セット毎に順番号 SNを付与する場合について説明したが、基準基板の枚数は 30枚に限定されるものではなく何枚でもよく（基準基板の枚数力 S1枚である場合には、平均値を求める処理が不要となる）、また、基準抵抗値の平均値 AVの小さい順 (昇順)ではなく大きい順（降順）に順番号 SNを付与する形態でもよい。

[0070] (C)第 1実施形態においては、閾値設定部 811cが、下限値 SHLA及び上限値 S HUAを設定する場合にっレ、て説明したが、下限値 SHLA及び上限値 SHUAの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0071] (D)第 1実施形態においては、閾値設定部 811cが、下限値 SHLA及び上限値 S HUAを、基準基板の基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σに基づいて設定する場合について説明したが、平均値 AV及び標準偏差 σの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0072] (Ε)第 1実施形態においては、閾値設定部 811cが、基準基板の基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σに関する上述の式（2)及び式（3)を用いて下限値 SHLA 及び上限値 SHUAを設定する場合について説明したが、その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。

[0073] 例えば、 2つの測定点セットの基準抵抗値の平均値 AVである平均値 AVp、 AVqを所定の大きさ（例えば、 2m Ω )の間隔で区分して区分毎に下限値 SHLA及び上限値 SHUAが格納されたテーブル (ノレックアップテーブル）を予め設定しておき、平均値 AVp、 AVq及びこのテーブルに基づいて、下限値 SHLA及び上限値 SHUAを設定する形態でもよい。

[0074] <第 2実施形態 >

次に、図 13〜： 16を用いて、本発明の第 2実施形態に係る基板検查装置について説明する。なお、図 1〜図 6を用いて説明した構成は、第 1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図 13は、第 2実施形態に係る制御部 8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部 8の CPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部 81 If (基準抵抗測定手段に相当する）と、基準基板の:!枚当りの基準抵抗値の総和を求める基準総和算出部 811g (基準総和算出手段に相当する）と、測定点セット毎に、基準抵抗値の平均値及び標準偏差を求める統計計算部 81 lh (統計計算手段に相当する）と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部 811i (閾値設定手段に相当する）と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部 811j (検査抵抗測定手段に相当する）と、被検査基板毎に検査抵抗値の総和を求める検査総和算出部 811k (検査総和算出手段に相当する）と、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部 811m (判定手段に相当する）とを備えている。

[0075] また、制御部 8の RAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部 812fと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部 812gと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部 812hとを備えている。

[0076] 基準抵抗測定部 81 Πは、同一種類の複数 (例えば、 10000枚）の被検查基板の中から予め選択された所定数 (ここでは、 30枚）の被検查基板である基準基板につレ、て測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812fに格納するものである。

[0077] 具体的には、図 4に示す電圧測定部 743で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の 10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。

[0078] 基準総和算出部 811gは、基準抵抗測定部 811fによって測定された基準抵抗値について、基準基板の:!枚当りの基準抵抗値の総和を求め、基準抵抗記憶部 812f に格納するものである。具体的には、 30枚の基準基板について、全ての基準基板の基準抵抗値の総和を求め、基準基板の枚数である 30で除することによって 1枚当りの基準抵抗値の総和を求めるものである。

[0079] 統計計算部 81 lhは、所定数 (ここでは、 30枚）の基準基板について、測定点セット毎に、基準抵抗測定部 81 Ifによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部 812 fから読み出して、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812fに格納するものである。

[0080] 閾値設定部 81 liは、測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部 812gに格納するものである。具体的には、測定点セットの基準抵抗値 SRi (i= l〜N、 N :測定点セットの個数）の平均値 AVi及び標準偏差 σ ίを用いて、次の（ 5)、（6)式によって、それぞれ上限値 SHUBi、下限値 SHLBiを求めるものである（図 15参照）。

[0081] SHUBi=AVi+ 3 X σ ί (5)

SHLBi=AVi- 3 X σ ί (6)

[0082] 検査抵抗測定部 81 ljは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検查抵抗記憶部 812hに格納するものである。具体的には、図 4に示す電圧測定部 74 3で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。

[0083] 検查総和算出部 811kは、検查抵抗測定部 811jによって測定された検查抵抗値について、被検查基板の:!枚当りの検查抵抗値の総和を求め、検查抵抗記憶部 812 hに格納するものである。 [0084] 判定部 811mは、測定点セットの検査抵抗値 Rk (k= 1〜N)を検査抵抗記憶部 81 2hから読み出して、検査抵抗値 Rkを、検査総和算出部 81 lkによって求められた検查抵抗値の総和 TMと基準総和算出部 811gによって求められた基準抵抗値の総和 SMとを用いて下記の（7)式によって補正して補正抵抗値 RNkを求め、補正抵抗値 RNkと、閾値設定部 811iによって設定された対応する上限値 SHUBk、下限値 SH LBkとの大小関係に基づいて良否を判定するものである。具体的には、測定点セットの補正抵抗値 RNkが閾値設定部 811iによって設定された下限値 SHLBk未満である力 \または、上限値 SHUBk超である場合に不良であると判定するものである（図 1 4参照）。更に詳細な処理は、図 16に示すフローチャートを用いて後述する。

[0085] RNk = Rk X (SM/TM) (7)

[0086] 基準抵抗記憶部 812fは、基準抵抗測定部 81 Ifによって求められた基準抵抗値と、統計計算部 81 lhによって求められた基準抵抗値の平均値及び標準偏差とを測定点セットの識別情報と対応付けて格納すると共に、基準総和算出部 811gによって求められた基準抵抗値の総和を格納するものである。

[0087] 閾値記憶部 812gは、閾値設定部 811iによって設定された閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0088] 検査抵抗記憶部 812hは、検査抵抗測定部 811jによって求められた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納すると共に、検査総和算出部 81 lkによつて求められた検査抵抗値の総和を格納するものである。

[0089] なお、制御部 8を、基準抵抗測定部 81 If、統計計算部 81 lh等として機能させる本発明の基板検査プログラムが、例えば ROM813に格納されており、 CPU811によつて実行されることにより、制御部 8が基準抵抗測定部 81 If、統計計算部 81 lh等の各機能部として機能するものである。

[0090] 図 14は、判定部 811mによる検查抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。この図は、検查抵抗値 Rを補正して得られた補正抵抗値 RNの一例を示すグラフ G1Nであり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が補正抵抗値 RNである。ここで、順番号 SNとは、測定点セット毎の基準抵抗値の平均値の大きさに基づいて昇順に並べ替えることによって付与されるものであり、測定点セット間の基準抵抗値の大小関係と検查抵抗値の大小関係とは略一致するものであるから、グラフ G1Nは、概ね、順番号 S Nの増加に伴って検査抵抗値 Rが増大する曲線となっている。

[0091] ただし、ここでは、順番号 SNが「455」である測定点セット間の配線パターン内に不良箇所があり、この不良箇所に起因して、グラフ G1Nには、この測定点セット間の検查抵抗値 Rに対応する順番号 SNが「455」の位置で補正抵抗値 RNが急激に増大する不良箇所 EPがある。なお、この不良箇所 EPの抵抗値は、順番号 SNが 1の測定点セット間の補正抵抗値 R1N以上であり、且つ、順番号 SNが最大（ここでは、「925 」）の測定点セット間の補正抵抗値 R2N以下であるため、被検查基板内の全ての測定点セットに対して一定の閾値を使用する場合には検出され得ないものである。

[0092] 上述のように順番号 SNの増加に伴って補正抵抗値 RNが概ね増大し、閾値設定部 811iによって上限値 SHUBi、下限値 SHLBiがそれぞれ（5)、（6)式によって求められるため、上限値 SHUBi、下限値 SHLBiは、それぞれ、グラフ G5、 G6に示すように、グラフ G1Nに沿って上下方向に略並行移動されたグラフとなる。従って、上限値 SHUBi、下限値 SHLBiにそれぞれ対応するグラフ G5及びグラフ G6を適正に設定する（グラフ G5、 G6とグラフ GINとの間隔を適正に設定する）ことによって、不良箇所 EPを正確に検出することが可能となるのである。

[0093] 図 15は、制御部 8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 2に示す基板載置部 51上に、検査される対象の基板 2が載置される前に、基板 2を検査する準備動作として実行されるものである。

[0094] まず、基準抵抗測定部 81 Ifによって、 30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値 SRi，j (i= 1〜N、 j = 1〜M、 N：測定点セットの個数 (ここでは、 N = 925)、 M :基準基板の枚数 (ここでは、 M = 30) )が測定され、測定点セットの識別情報 (以下、ポイント番号 PNという）と対応付けて基準抵抗記憶部 812fに格納される（ステップ S301)。次に、統計計算部 81 lhによって、測定点セット毎に基準抵抗値 SRi，jの平均値 AVi及び標準偏差 σ iが求められ、測定点セットの識別情報（ここでは、ポイント番号 PN)と対応付けて基準抵抗記憶部 812fに格納される (ステツプ S303)。

[0095] そして、基準総和算出部 81 lgによって、平均値 AViの総和 SM (基準基板の 1枚当りの基準抵抗値の総和に相当する）が求められる (ステップ S305)。次いで、閾値設定部 81 liによって、測定点セットの基準抵抗値 SRi,jの平均値 AVi及び標準偏差 σ ίを用いて（上述の（5)、（6)式によって）、上限値 SHUBi及び下限値 SHLBiが設定され、上限値 SHUBi及び下限値 SHLBiが測定点セットの識別情報 (ポイント番号 PN)と対応付けて閾値記憶部 812gに格納され (ステップ S307)、処理が終了される

[0096] 図 16は、制御部 8の検查実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 15に示す動作が完了し、図 2に示す基板載置部 51上に検査される対象の基板 2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部 811mによって行われる。

[0097] まず、検查抵抗測定部 81 ljによって、全ての測定点セットの検查抵抗値 Rk (k= l 〜N)が測定され、検查抵抗記憶部 812hに格納される（ステップ S401)。そして、検查総和算出部 81 lkによって、検査抵抗値 Rkの総和 TMが求められ、検査抵抗記憶部 812hに格納される（ステップ S403)。次いで、検査抵抗値 Rkが検査抵抗値の総和 TMと基準抵抗値の総和 SMとを用いて、上述の式（7)によって補正され補正抵抗値 RNkが求められる（ステップ S405)。

[0098] そして、補正抵抗値 RNk力図 15に示すフローチャートのステップ S307で求められた下限値 SHLBk以上、且つ、上限値 SHUBk以下であるか否かの判定が行われる（ステップ S407)。少なくとも 1の補正抵抗値 RNkが、下限値 SHLBk以上、且つ、上限値 SHUBk以下ではない（すなわち、下限値 SHLBk未満、または、上限値 SH UBk超である）と判定された場合 (ステップ S407で NO)には、基板 2の導通状態が不良であると判定され (ステップ S411)、処理が終了される。

[0099] 一方、全ての補正抵抗値 RNkが、下限値 SHLBk以上、且つ、上限値 SHUBk以下であると判定された場合 (ステップ S407で YES)には、基板 2の導通状態は良好であると判定されて (ステップ S409)、処理が終了される。

[0100] このようにして、測定点セット間の抵抗値である検查抵抗値 Rkの良否力測定点セット毎に設定された上限値 SHUBk及び下限値 SHLBkに基づいて判定されるため、上限値 SHUBk及び下限値 SHLBkを測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検査抵抗値 Rkの良否が正確に判定される。

[0101] また、検査抵抗値 Rkが検査抵抗値 Rkの総和 TMの基準抵抗値 RSの総和 SMに対する比率で補正された補正抵抗値 RNkとして判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正されることによつて、検查抵抗値 Rkの良否が更に正確に判定される。

[0102] 例えば、基板 2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無レヽ場合であっても、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に大きレヽ場合（配線パターンの幅が狭い場合）と、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に小さい場合 (配線パターンの幅が広い場合）とがあるが、検查抵抗値 Rkが検查抵抗値 Rkの総和 TMの基準抵抗値 RSの総和 SMに対する比率で補正された補正抵抗値 RNkとして判定されるため、検查抵抗値 Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。

[0103] 同様に、基板 2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に高い場合 (例えば、基板 2の表面温度が高い場合）と、検查抵抗値 Rkが基板 2内で全体的に低レ、場合 (例えば、基板 2の表面温度が低レ、場合）とがあるが、検査抵抗値 Rkが検査抵抗値 Rkの総和 TMの基準抵抗値 RSの総和 SMに対する比率で補正された補正抵抗値 RNkとして判定されるため、検査抵抗値 Rkの絶対値の変動の影響が抑制されるのである。

[0104] 更に、測定点セットの基準抵抗値 SRの平均値 AVi及び標準偏差 σ ίに基づいて（上述の（5)式及び（6)式を参照）、上限値 SHLBi及び下限値 SHUBiが設定されるため、適切な上限値 SHLAi及び下限値 SHUAiが容易に設定される。

[0105] なお、本発明は以下の形態をとることができる。

[0106] (F)第 2実施形態においては、判定部 811m力検查抵抗値の総和 TMと基準抵抗値の総和 SMとを用いて検查抵抗値 Rkを補正して補正抵抗値 RNkを求め、補正抵抗値 RNkを判定する場合にっレ、て説明したが、検查抵抗値の総和 TMと基準抵抗値の総和 SMとを用いて上限値 SHUBk及び下限値 SHLBkを補正する形態でもよい。この場合には、例えば、閾値設定部 811iが、次の（8)式及び（9)式により、それぞれ上限値 SHUBk及び下限値 SHLBkを補正すればよい。

[0107] SHUBk— SHUBk X (TMZSM) (8) SHLBk SHLBk X (TM/SM) (9)

[0108] (G)第 2実施形態においては、閾値設定部 81 liが、 30枚の基準基板の基準抵抗値の平均値 AVを用いて総和 SMを求める場合について説明した力基準基板の枚数は 30枚に限定されるものではなぐ何枚でもよい。例えば、基準基板の枚数が 1枚である場合には、平均値 AVを求める処理が不要となる。

[0109] (H)第 2実施形態においては、閾値設定部 81 liが、下限値 SHLB及び上限値 SH UBを設定する場合について説明したが、下限値 SHLB及び上限値 SHUBの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0110] (I)第 2実施形態においては、閾値設定部 81 liが、下限値 SHLB及び上限値 SH UBを、基準基板の基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σに基づいて設定する場合について説明したが、平均値 AV及び標準偏差 σの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。例えば、平均値 AVに予め設定された所定の数 (例えば、 5 πι Ω )を、減算及びカ卩算して、それぞれ下限値 SHLB及び上限値 SHUBを求める形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0111] )第 2実施形態においては、閾値設定部 811iが、基準基板の基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σに関する上述の（5)式及び（6)式を用いて下限値 SHLB及び上限値 SHUBを設定する場合について説明した力その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。

[0112] 例えば、基準抵抗値の平均値 AVを所定の大きさ（例えば、 2πι Ω )の間隔で区分して区分毎に下限値 SHLB及び上限値 SHUBが格納されたテーブル (ノレックアップテ一ブル）を予め設定しておき、平均値 AV及びこのテーブルに基づいて、下限値 SH LB及び上限値 SHUBを設定する形態でもよレ、。

[0113] ぐ第 3実施形態 >

次に、図 17〜20を用いて、本発明の第 3実施形態に係る基板検查装置について説明する。なお、図 1〜図 6を用いて説明した構成は、第 1実施形態と同様であるのでその説明を省略する。図 17は、第 3実施形態に係る制御部 8の機能構成の一例を示す構成図である。制御部 8の CPU811は、予め選択された基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定する基準抵抗測定部 Sl ip (基準抵抗測定手段に相当する）と、測定点セット毎に、順番号の平均値及び標準偏差を求める統計計算部 811q (閾値設定手段の一部に相当する）と、測定点セット毎に閾値を設定する閾値設定部 811r (閾値設定手段の一部に相当する）と、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定部 811s (検査抵抗測定手段に相当する）と、測定点セット毎に閾値に基づいて検査抵抗値の良否を判定する判定部 81 It (判定手段に相当する）とを備えてレ、る。

[0114] また、制御部 8の RAM812は、基準抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する基準抵抗記憶部 812_Pと、閾値の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する閾値記憶部 812qと、検査抵抗の値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納する検査抵抗記憶部 812rとを備えている。

[0115] 基準抵抗測定部 811pは、同一種類の複数 (例えば、 10000枚）の被検查基板の中から予め選択された所定数 (ここでは、 30枚）の被検查基板である基準基板につレ、て測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値を測定すると共に、得られた基準抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812pに格納するものである。

[0116] 具体的には、図 4に示す電圧測定部 743で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。なお、基準基板は、同一種類の 10000枚の被検査基板の中から予め導通検査を行って、検査結果が良好なものを基準基板として選択するものである。

[0117] 統計計算部 811qは、各基準基板について、基準抵抗測定部 81 lpによって測定された基準抵抗値を基準抵抗記憶部 812pから読み出して、基準抵抗値の測定点セット毎に順番号を付与し、その平均値及び標準偏差を求めると共に、得られた平均値及び標準偏差を測定点セットの識別情報と対応付けて基準抵抗記憶部 812_Pに格納するものである。

[0118] 閾値設定部 81 lrは、測定点セット毎に統計計算部 81 lqによって求められた順番号の平均値及び標準偏差に基づいて閾値を設定すると共に、設定した閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて閾値記憶部 812qに格納するものである。具体的には、各基準基板における測定点セットの順番号 SNi, j (i= l〜N、 j = l〜M、 N :測定点セットの個数 (ここでは、 925)、 M :基準基板の枚数 (ここでは、 30枚））の平均値 NAVi及び標準偏差 Ν σ ίを用いて、次の（10)、（11)式によって、それぞれ上限値 SHUCi、下限値 SHLCiを求めるものである（図 19参照）。

[0119] SHUCi = NAVi + 3 X N _CT i (10)

SHLCi = NAVi- 3 X Ν σ i (11)

[0120] 検査抵抗測定部 81 Isは、被検査基板の測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定すると共に、得られた検査抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて検查抵抗記憶部 812rに格納するものである。具体的には、図 4に示す電圧測定部 7 43で測定された電圧値を電流生成部 742に付与された電流値 10で除したものを抵抗値として求めるものである。

[0121] 判定部 811tは、測定点セットの検查抵抗値 Ri (i= l〜N)を検查抵抗記憶部 812r 力読み出して、検查抵抗値 Riを、昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に対応する順番号 TNiを求め、順番号 TNiと、閾値設定部 81 lrによって設定された対応する上限値 SHUCi、下限値 SHLCiとの大小関係に基づいて良否を判定するものである。具体的には、測定点セットの順番号 TNiが閾値設定部 81 lrによって設定された下限値 SHLCi未満であるカまたは、上限値 SHUCi超である場合に不良であると判定するものである（図 18参照）。更に詳細な処理は、図 20に示すフローチヤートを用いて後述する。

[0122] 基準抵抗記憶部 812pは、基準抵抗測定部 81 lpによって求められた基準抵抗値と、統計計算部 811qによって求められた基準抵抗値の順番号の平均値及び標準偏差とを測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0123] 閾値記憶部 812qは、閾値設定部 81 lrによって設定された閾値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0124] 検查抵抗記憶部 812rは、検查抵抗測定部 81 Isによって求められた検查抵抗値を測定点セットの識別情報と対応付けて格納するものである。

[0125] なお、制御部 8を、基準抵抗測定部 81 lp、統計計算部 81 lq等として機能させる本発明の基板検查プログラムが、例えば ROM813に格納されており、 CPU811によつて実行されることにより、制御部 8が基準抵抗測定部 81 lp、統計計算部 81 lq等の各機能部として機能するものである。

[0126] 図 18は、判定部 81 Itによる検査抵抗値の良否判断の方法を説明するグラフである。（a)は、各測定点セットの基準抵抗値 SRの平均値を昇順の並べたグラフ G7であり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が基準抵抗値 SRである。また、所定の測定点セット（以下、注目測定点セットという）の順番号の平均値 NAViと、上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiとを図中に示してレ、る。

[0127] (b)は、ある被検查基板 2の各測定点セットの検查抵抗値 Rを昇順の並べたグラフ G8であり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が検查抵抗値 Rである。図中に、この検查基板における注目測定点セットの検查抵抗値 Riの順番号 TNiが表示されてレ、る。この被検查基板 2では、順番号 TNiが下限値 SHLCi以上、且つ、上限値 SHUCi以下であるため、良好であると判定される。

[0128] (c)は、（b)とは別の被検查基板 2の各測定点セットの検查抵抗値 Rを昇順の並べたグラフ G9であり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が検査抵抗値 Rである。図中に、この検査基板における注目測定点セットの検査抵抗値 Riの順番号 TNiが表示されている。この被検査基板 2においても、順番号 TNiが下限値 SHLCi以上、且つ、上限値 SHUCi以下であるため、良好であると判定される。

[0129] (d)は、（b)及び (c)とは別の被検査基板 2の各測定点セットの検査抵抗値 Rを昇順の並べたグラフ G10であり、横軸が順番号 SNであり、縦軸が検査抵抗値 Rである。図中に、この検査基板における注目測定点セットの検査抵抗値 Riの順番号 TNiが表示されている。この被検査基板 2においては、順番号 TNiが上限値 SHUCi超であるため、不良であると判定される。

[0130] 図 19は、制御部 8の閾値設定までの動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 2に示す基板載置部 51上に、検査される対象の基板 2が載置される前に、基板 2を検查する準備動作として実行されるものである。

[0131] まず、基準抵抗測定部 Sl ipによって、 30枚の基準基板について測定点セット間の抵抗値である基準抵抗値 SRi，j (i= 1〜N、 j = 1〜M、 N：測定点セットの個数（ここでは、 N = 925)、 M :基準基板の枚数 (ここでは、 M = 30) )が測定され、測定点セットの識別情報 (以下、ポイント番号 PNという）と対応付けて基準抵抗記憶部 812_Pに格納される（ステップ S501)。次に、統計計算部 81 l qによって、基準基板毎に、測定点セットの基準抵抗値 SRiJが昇順にソート（並び替え）されて、順番号 SNi,jが付与される（ステップ S503)。次いで、統計計算部 81 l qによって、測定点セット毎に、順番号 SNi,jの平均値 NAVi及び標準偏差 N σ iが求められ、測定点セットの識別情報 (ここでは、ポイント番号 PN)と対応付けて基準抵抗記憶部 812pに格納される（ステップ S505)。

[0132] そして、閾値設定部 81 lrによって、測定点セットの順番号 SNi,jの平均値 NAVi及び標準偏差 Ν σ ίを用いて（上述の（10)、（1 1 )式によって）、上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiが設定され、上限値 SHUBi及び下限値 SHLBiが測定点セットの識別情報（ポイント番号 PN)と対応付けて閾値記憶部 812qに格納され (ステップ S507)、処理が終了される。

[0133] 図 20は、制御部 8の検查実行時の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、図 19に示す動作が完了し、図 2に示す基板載置部 51上に検査される対象の基板 2が載置された状態で実行されるものである。なお、以下の処理は、特に明示しない限り、判定部 81 1tによって行われる。

[0134] まず、検査抵抗測定部 81 I sによって、全ての測定点セットの検査抵抗値 Rk (k= l 〜N)が測定され、検査抵抗記憶部 812rに格納される（ステップ S601)。そして、検查抵抗値 Riが、昇順に並べ替えることによって測定点セット毎に対応する順番号 TN iが求められる（ステップ S603)。次いで、順番号 TNiが図 19に示すフローチャートのステップ S507で求められた下限値 SHLCi以上、且つ、上限値 SHUCi以下であるか否かの判定が行われる（ステップ S605)。

[0135] 少なくとも 1の順番号 TNiが、下限値 SHLCi以上、且つ、上限値 SHUCi以下ではない（すなわち、下限値 SHLCi未満、または、上限値 SHUCi超である）と判定された場合 (ステップ S605で N〇）には、基板 2の導通状態が不良であると判定され (ステップ S609)、処理が終了される。

[0136] 一方、全ての順番号 TNiが、下限値 SHLCi以上、且つ、上限値 SHUCi以下であると判定された場合 (ステップ S605で YES)には、基板 2の導通状態は良好であると判定されて (ステップ S607)、処理が終了される。 [0137] このようにして、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値 Riの良否力測定点セット毎に設定された上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiに基づいて判定されるため、上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiを測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検查抵抗値 Riの良否が正確に判定される。

[0138] また、測定点セットが検查抵抗値 Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号 TNiが付与され、この順番号 TNiが、上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiと比較されて検查抵抗値 Riの良否が判定されるため、被検查基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が相殺されることによつて、検查抵抗値の良否が更に正確に判定される。

[0139] 例えば、基板 2は製造条件によって配線パターンの幅の広狭のバラツキが発生し、不良箇所が無レ、場合であっても、検查抵抗値 Riが基板 2内で全体的に大きレ、場合（配線パターンの幅が狭い場合）と、検查抵抗値 Riが基板 2内で全体的に小さい場合 (配線パターンの幅が広い場合）とがある力検査抵抗値 Riが、検査基板内の検査抵抗値 Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、順番号 TNiとして判定されるため、検査抵抗値 Rkの絶対値の変動の影響が相殺されるのである。

[0140] 同様に、基板 2は測定条件によって、不良箇所が無い場合であっても、検査抵抗値 Riが基板 2内で全体的に高い場合 (例えば、基板 2の表面温度が高い場合）と、検査抵抗値 Riが基板 2内で全体的に低い場合 (例えば、基板 2の表面温度が低い場合）とがあるが、検査抵抗値 Riが、検査基板内の検査抵抗値 Riの大きさに基づいて昇順に並べ替えられて、順番号 TNiとして判定されるため、検査抵抗値 Riの絶対値の変動の影響が相殺されるのである。

[0141] 更に、基準基板毎に、測定点セットが基準抵抗値 SRの大きさに基づいて昇順に並ベ替えられて、各測定点セットに順番号 SNが付与され、付与された順番号 SNに基づいて上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiが求められるため、適正な閾値が設定される。

[0142] カロえて、各測定点セットに付与された順番号 SNの平均値 NAVi及び標準偏差 N σ iが求められ、求められた順番号 SNの平均値 NAVi及び標準偏差 N σ iに基づいて、上限値 SHUCi及び下限値 SHLCi求められる（上述の（10)、（11)式を参照）ため、更に適正な上限値 SHUCi及び下限値 SHLCiが容易に設定される。

[0143] なお、本発明は以下の形態をとることができる。

[0144] (K)第 3実施形態においては、閾値設定部 811rが、基準基板の基準抵抗値に基づいて閾値を設定する場合について説明したが、その他の方法により閾値を設定する形態でもよい。例えば、検查抵抗測定部 81 Isによる過去の測定時の検查抵抗値に基づいて閾値を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0145] 具体的には、過去の測定において良好と判断されたものの検查抵抗値の順番号を基準として所定数 (例えば、 10)を減算及び加算したものを、それぞれ、下限値及び上限値として設定する形態でもよい。

[0146] (U第 3実施形態においては、閾値設定部 81 lrが、 30枚の基準基板の基準抵抗値の順番号の平均値 NAVを用いて閾値を設定する場合について説明したが、基準基板の枚数は 30枚に限定されるものではなぐ何枚でもよい。例えば、基準基板の枚数力枚である場合には、平均値 NAVを求める処理が不要となる。

[0147] (M)第 3実施形態においては、閾値設定部 81 が、下限値 SHLC及び上限値 S HUCを設定する場合について説明した力下限値 SHLC及び上限値 SHUCの少なくとも一方を設定する形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0148] (N)第 3実施形態においては、閾値設定部 81 が、下限値 SHLC及び上限値 S HUCを、基準基板の基準抵抗値の順番号の平均値 NAV及び標準偏差 N σに基づいて設定する場合について説明したが、平均値 NAV及び標準偏差 Ν σの少なくとも一方に基づいて設定する形態でもよい。例えば、平均値 NAVに予め設定された所定の数 (例えば、 10)を、減算及び加算して、それぞれ下限値 SHLC及び上限値 SHUCを求める形態でもよい。この場合には、処理が簡略化される。

[0149] (O)第 3実施形態においては、閾値設定部 811rが、基準基板の基準抵抗値の平均値 AV及び標準偏差 σに関する上述の（10)及び（11)式を用いて下限値 SHLC 及び上限値 SHUCを設定する場合について説明したが、その他の式を用いて設定する形態でもよいし、その他の区分テーブル等を介して設定する形態でもよい。

[0150] 例えば、基準抵抗値の順番号の平均値 NAVを所定の大きさ（例えば、 5)の間隔で区分して区分毎に下限値 SHLC及び上限値 SHUCが格納されたテーブル (ルックアップテーブル）を予め設定しておき、平均値 NAV及びこのテーブルに基づいて、下限値 SHLC及び上限値 SHUCを設定する形態でもよい。

[0151] 更に、本発明は以下の形態をとることができる。

[0152] (P)第 1〜第 3実施形態においては、基板検查装置が上部検查ユニット 4U及び下部検查ユニット 4Dを備える形態について説明したが、基板検查装置が上部検查ュニット 4U及び下部検查ユニット 4Dの少なくとも一方を備える形態でもよい。

[0153] (Q)第 1〜第 3実施形態においては、多数の接触子 44を支持し、 Z軸方向に移動されることにより基板 2の各測定点にそれぞれ接触子 44の先端を圧接させる検查治具 (いわゆる多針状検査治具)を備える基板検査装置に、本発明が適用される場合について説明したが、 1対の接触子 44 (又は、プローブ）をそれぞれ互いに独立して X， Υ， Ζ軸方向に移動可能に支持し、予め設定されたプログラムに従って順次基板 2の測定点に接触子 44の先端を圧接させる検查治具（いわゆる、移動プローブ式検查治具)を備える基板検査装置に、本発明が適用される形態でもよい。

[0154] (R)第 1〜第 3実施形態においては、検査対象である基板 2がビアを有するビルドアップ基板である場合について説明した力その他の種類の基板（例えば、 1枚の絶縁基板上の片面に配線パターンが形成されたプリント配線基板等）である形態でもよレ、。

[0155] (S)第 1〜第 3実施形態においては、基準基板が、基準基板と同一種類の複数の被検査基板の中から選択される場合について説明したが、被検査基板と同一種類の基板であればよい。例えば、過去に検査を行った被検査基板と、製造ロットが異なる被検査基板の検査を行う場合に、過去の検査で使用した基準基板 (被検査基板の中力、ら選択された基板）をそのまま用いる形態でもよいし、特別に製造管理を完璧に行って欠陥が全くない基板を製造して基準基板とする形態でもよい。

[0156] 以上説明したように、本発明に係る基板検查装置は、複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置であって、被検查基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とするものにおいて、前記閾値設定手段が、前記測定点セット毎に所定のルーノレに則って順番を表す番号である順番号を付与すると共に、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値を設定し、前記判定手段が、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの検査抵抗値の差を、対応する閾値に基づいて判定することが好ましい。

[0157] この構成によれば、検查抵抗測定手段によって、被検查基板の配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値が検査抵抗値として測定される。そして、閾値設定手段によって、測定点セットに対応して閾値が設定され、判定手段によって、検査抵抗値の良否が、測定点セット毎に閾値設定手段によって設定された閾値に基づいて判定される。従って、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値の良否が、測定点セットに対応して設定された閾値に基づいて判定されるため、閾値を測定点セットに対応して適切な値に設定することにより、検査抵抗値の良否が正確に判定され、被検査基板の導通検査が正確に行われる。

[0158] また、閾値設定手段によって、測定点セット毎に所定のルールに則って順番を表す番号である順番号が付与されると共に、この順番号が隣接する 2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値が設定される。そして、判定手段によって、順番号が隣接する 2組の測定点セットの検査抵抗値の差が、対応する閾値に基づいて判定される。従って、 2組の測定点セットの検査抵抗値の差力対応する閾値に基づいて判定されるため、測定点セット毎に検査抵抗値を判定する場合と比較して、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が相殺されることによって、検查抵抗値の良否が更に正確に判定される。

[0159] また、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段を備え、前記閾値設定手段が、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えることによって前記測定点セット毎に前記順番号を付与し、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値を設定することが好ましい。

[0160] 上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。そして、閾値設定手段によって、測定点セットが基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えられて、測定点セット毎に順番号が付与され、この順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値が設定される。なお、この閾値に基づいて、判定手段によって、順番号が隣接する 2組の測定点セットの検査抵抗値の差が判定される。従って、順番号が隣接する (すなわち、基準抵抗値の大きさが隣接する） 2組の測定点セットの検查抵抗値の差が、対応する閾値に基づいて判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が更に相殺されることによって、検查抵抗値の良否が更に正確に判定される。

[0161] また、前記基準基板の枚数が、 2以上の所定数であって、前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、前記閾値設定手段が、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することが好ましい。

[0162] 上記の構成によれば、基準基板の枚数が 2以上の所定数であって、統計計算手段によって、測定点セット毎に、所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方が求められる。そして、閾値設定手段によって、順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づレ、て閾値が設定される。従って、順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定されるため、適切な閾値が容易に設定される。

[0163] また、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の:!枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記判定手段が、前記検査抵抗値を、前記検查抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定することが好ましい。

[0164] 上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。また、基準総和算出手段によって、基準基板の 1枚当りの基準抵抗値の総和が求められ、検査総和算出手段によって、被検査基板毎に検査抵抗値の総和が求められる。そして、判定手段によって、検查抵抗値が、検查抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて判定される。従って、検查抵抗値が検查抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて判定されるため、被検查基板毎の製造条件、及び、被検查基板毎の検查抵抗値の測定条件の差が補正されることによって、検查抵抗値の良否が更に正確に判定される。

[0165] また、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、基準基板の:!枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記閾値設定手段が、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することが好ましい。

[0166] 上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。また、基準総和算出手段によって、基準基板の 1枚当りの基準抵抗値の総和が求められ、検査総和算出手段によって、被検査基板毎に検査抵抗値の総和が求められる。そして、閾値設定手段によって、基準抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて閾値が設定される。従って、基準抵抗値が、検査抵抗値の総和の基準抵抗値の総和に対する比率で補正されて閾値が設定されるため、被検查基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が補正された適正な閾値が設定される。

[0167] また、前記基準基板の枚数が、 2以上の所定数であって、前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、前記閾値設定手段が、前記平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することが好ましい。

[0168] 上記の構成によれば、基準基板の枚数が、 2以上の所定数であって、統計計算手段によって、測定点セット毎に、所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方が求められる。そして、閾値設定手段によって、平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定される。従って、 2以上の所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値が設定されるため、適切な閾値が容易に設定される。

[0169] また、前記閾値設定手段が、前記測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値を設定するものであって、前記判定手段が、前記測定点セットを検查抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、この順番号を、前記閾値と比較して前記検査抵抗値の良否を判定することが好ましい。

[0170] 上記の構成によれば、閾値設定手段によって、測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値が設定され、判定手段によって、測定点セットが検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号が付与され、この順番号が、閾値と比較されて検査抵抗値の良否が判定される。従って、測定点セットが検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号が付与され、この順番号が、閾値設定手段によって設定された順番号に対する閾値と比較されて検査抵抗値の良否が判定されるため、被検査基板毎の製造条件、及び、被検査基板毎の検査抵抗値の測定条件の差が相殺されることによって、検査抵抗値の良否が更に正確に判定される。

[0171] また、被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段を備え、前記閾値設定手段が、前記基準基板毎に、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、付与された順番号に基づレ、て前記閾値を設定することが好ましレ、。

[0172] 上記の構成によれば、基準抵抗測定手段によって、被検査基板と同一種類の基準基板について、測定点セット間の抵抗値が基準抵抗値として測定される。そして、閾値設定手段によって、基準基板毎に、測定点セットが基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号が付与され、付与された順番号に基づいて閾値が設定される。従って、基準基板毎に、測定点セットが基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えられて、各測定点セットに順番号が付与され、付与された順番号に基づいて閾値が設定されるため、適正な閾値が設定される。

[0173] また、前記基準基板の枚数は、 2以上の所定数であって、前記閾値設定手段が、前記各測定点セットに付与された順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求め、求められた順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて、前記閾値を設定することが好ましレ、。

[0174] 上記の構成によれば、基準基板の枚数が、 2以上の所定数であって、閾値設定手段によって、各測定点セットに付与された順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方が求められ、求められた順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて、閾値が設定される。従って、各測定点セットに付与された順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方が求められ、求められた順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて、閾値が設定されるため、更に適正な閾値が容易に設定される。

[0175] また、前記被検査基板がビアを有するビルドアップ基板であることが好ましい。

[0176] 上記の構成によれば、被検査基板がビアを有するビルドアップ基板であるため、ビァにおいて接合不良等が発生した場合にも、検査抵抗値の良否が正確に判定される。

[0177] また、本発明の基板検査方法は、複数の配線パターンが形成された被検査基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置の基板検查方法であって、被検查基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定し、前記測定点セットに対応して閾値を設定し、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定することを特徴としている。

[0178] 上記の基板検查方法によれば、被検查基板の配線パターン上に予め設定され、 2 つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値が検査抵抗値として測定される。そして、測定点セットに対応して閾値が設定され、検査抵抗値の良否が、測定点セット毎に設定された閾値に基づいて判定される。従って、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値の良否が、測定点セットに対応して設定された閾値に基づいて判定されるため、閾値を測定点セットに対応して適切な値に設定することにより、検査抵抗値の良否が正確に判定され、被検查基板の導通検査が正確に行われる。

[0179] また、本発明の基板検查プログラムは、複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置の基板検查プログラムであって、前記基板検査装置を、被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段として機能させることを特徴としてレ、る。

[0180] 上記の基板検查プログラムによれば、検查抵抗測定手段によって、被検查基板の配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値が検査抵抗値として測定される。そして、閾値設定手段によって、測定点セットに対応して閾値が設定され、判定手段によって、検査抵抗値の良否が、測定点セット毎に閾値設定手段によって設定された閾値に基づいて判定される。従って、測定点セット間の抵抗値である検査抵抗値の良否が、測定点セットに対応して設定された閾値に基づいて判定されるため、閾値を測定点セットに対応して適切な値に設定することにより、検査抵抗値の良否が正確に判定され、被検査基板の導通検査が正確に行われる。

[0181] なお、本願明細書の中で、何らかの機能を達成する手段として記載されているものは、それらの機能を達成する明細書記載の構成に限定されず、それらの機能を達成するユニット、部分等の構成も含むものである。

産業上の利用可能性

[0182] 本発明の基板検査装置によれば、配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定し、測定点セットに対応して閾値を設定しておいて、測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定するため、閾値を測定点セット毎に適切な値に設定することにより、検査抵抗値の良否を正確に判定でき、被検査基板の導通検査を正確に行うことができる。

Claims

請求の範囲

[1] 複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置であって、

被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定する検査抵抗測定手段と、

前記測定点セットに対応して閾値を設定する閾値設定手段と、

前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定する判定手段とを備えることを特徴とする基板検査装置。

[2] 前記閾値設定手段は、前記測定点セット毎に所定のルールに則って順番を表す番号である順番号を付与すると共に、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットに対応する抵抗値の差の閾値を設定し、

前記判定手段は、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの検査抵抗値の差を

、対応する閾値に基づいて判定することを特徴とする請求項 1に記載の基板検査装置。

[3] 被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段を備え、

前記閾値設定手段は、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えることによって前記測定点セット毎に前記順番号を付与し、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の差に基づいて閾値を設定することを特徴とする請求項 2に記載の基板検査装置。

[4] 前記基準基板の枚数は、 2以上の所定数であって、

前記測定点セット毎に、前記所定数の基準基板の基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求める統計計算手段を備え、

前記閾値設定手段は、前記順番号が隣接する 2組の測定点セットの基準抵抗値の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することを特徴とする請求項 3に記載の基板検査装置。

[5] 被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、

基準基板の 1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記判定手段は、前記検査抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して判定することを特徴とする請求項 1に記載の基板検查装置。

[6] 被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段と、

基準基板の 1枚当りの前記基準抵抗値の総和を求める基準総和算出手段と、被検査基板毎に前記検査抵抗値の総和を求める検査総和算出手段とを備え、前記閾値設定手段は、前記基準抵抗値を、前記検査抵抗値の総和の前記基準抵抗値の総和に対する比率で補正して閾値を設定することを特徴とする請求項 1に記載の基板検査装置。

[7] 前記基準基板の枚数は、 2以上の所定数であって、

前記閾値設定手段は、前記平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて閾値を設定することを特徴とする請求項 5または 6に記載の基板検査装置。

[8] 前記閾値設定手段は、前記測定点セットの検査抵抗値の大きさに基づく順番号に対する閾値を設定するものであって、

前記判定手段は、前記測定点セットを検査抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、この順番号を、前記閾値と比較して前記検查抵抗値の良否を判定することを特徴とする請求項 1に記載の基板検査装置。

[9] 被検査基板と同一種類の基準基板について、前記測定点セット間の抵抗値を基準抵抗値として測定する基準抵抗測定手段を備え、

前記閾値設定手段は、前記基準基板毎に、前記測定点セットを基準抵抗値の大きさに基づいて昇順又は降順に並べ替えて、前記各測定点セットに順番号を付与し、付与された順番号に基づいて前記閾値を設定することを特徴とする請求項 8に記載の基板検査装置。

[10] 前記基準基板の枚数は、 2以上の所定数であって、

前記閾値設定手段は、前記各測定点セットに付与された順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方を求め、求められた順番号の平均値及び標準偏差の少なくとも一方に基づいて、前記閾値を設定することを特徴とする請求項 9に記載の基板検查装置。

[11] 前記被検查基板は、ビアを有するビルドアップ基板であることを特徴とする請求項 1

〜10のいずれかに記載の基板検查装置。

[12] 複数の配線パターンが形成された被検查基板に対して、前記配線パターン上に予め設定され、 2つの測定点の組合せである測定点セット間の導通検查を行う基板検查装置の基板検查方法であって、

被検査基板の前記測定点セット間の抵抗値を検査抵抗値として測定し、前記測定点セットに対応して閾値を設定し、

前記測定点セット毎に前記閾値に基づいて前記検査抵抗値の良否を判定することを特徴とする基板検査方法。