TWI838227B - 線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統 - Google Patents

Abstract

本發明係揭露一種線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其包括驅動模組、X軸角度偏差感測模組、Y軸角度偏差感測模組、Z軸角度偏差感測模組及資訊處理模組。X軸角度偏差感測模組用以二第一距離感測訊號。Y軸角度偏差感測模組用以感測二第二距離感測訊號。Z軸角度偏差感測模組用以感測二第三距離感測訊號。資訊處理模組透過訊號傳輸模組接收X、Y及Z等軸距離感測訊號，並依序將轉換處理為二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值。資訊處理模組依序進行差值計算，以得到第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值，再判斷相應的X、Y及Z等軸之第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值是否高於基準距離差值，判斷結果為是，則輸出載台於該滑軌組件運行時相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊，俾能藉由多軸角度偏移的感測機能設置，以感測出載台多軸的角度偏移量，藉以得到載台於該滑軌組件運行時的動態剛性與角度偏移狀態資訊。

Description

線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統

本發明係有關一種線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，尤指一種可以藉由多軸角度偏移的感測機能設置以感測出載台多軸角度偏移量以判斷出載台運行時之動態剛性與角度偏移資訊的線性滑軌載台動態剛性偏移監測技術。

按，線性滑軌主要是藉由如鋼珠或滾柱等滾動件在滑塊與軌道之間的循環滾動，讓滑塊得以沿著滑軌進行高精度與高速度的直線往復運動。然而在高速的線性往復運動過程中，由於滾動件與滑軌之間的摩擦和碰撞，使得線性滑軌非常容易產生振動，以致容易造成加工品質及使用壽命降低的情事產生，所以須對線性滑軌做各項檢測以符合品質要求。再者，線性滑軌具有結構扎實、動摩擦係數小、承載能力大、安裝簡便、定位精度高、傳動平穩等優勢，所以已然愈來愈廣泛地應用於數位控制機床的技術領域當中。此外，會影響到線性滑軌精度的其中一個關鍵因子即是線性滑軌本身的剛性表現，因此，透過對線性滑軌的剛性監測與檢驗，勢必可以有效提升線性滑軌位移性能的精度。

依據所知，倘若有外部負荷力(例如載台所負荷的載重；或是工具機於加工過程產生的切削作用力等)施加於載台時，線性滑軌內部的滾動件則會產生微小的彈性變形現象，但此彈性變形現象非為永久變形， 當所施加的負荷力消失後，滾動件則會回復至原本的形狀，所以負荷力一旦隨著時間的變化；或負荷力大小不一時，滾動件的彈性變形變化過程中，則會影響到線性滑軌的精度表現，因而導致製程上較為不便與困擾的情事產生。為解決此一技術缺失，相關之線性滑軌技術領域業者大多會提高線性滑軌的剛性來解決此一技術缺失，主要是從降低滾動件的彈性變形來著手，具體的技術手段則是改變滾動件的幾何尺寸、數量、相對配置以及滾動件的預壓等方式來實現。其次，是提升線性滑軌的阻尼，透過阻尼設置以降低滾動件的彈性變形，具體的技術手段是在滑塊與導軌之間增加數個微小面接觸滑動零件。雖然上述習知具體技術手段可以提高線性滑軌的剛性與減少線性滑軌的彈性變形；惟，上述習知具體技術手段並無一種線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，以致於目前習用的線性滑軌無法被有效地檢測出其動態剛性及以多軸偏移狀態，致使較無法有效提升工作載台於加工時的精密度，因此，如何開發出一種可以感測出載台多軸之角度偏移量而得到載台於該滑軌組件運行時之動態剛性與角度偏移資訊的線性滑軌剛性與偏移監測技術，實已成為相關產學業者所亟欲解決與挑戰的技術課題。

有鑑於此，上述習知技術手段確實於動態剛性與以多軸偏移檢測上皆未臻完善，仍有再改善的必要性，而且基於相關產業的迫切需求之下，本發明人等乃經不斷的努力研發之下，終於研發出一套有別於上述習知技術與前揭專利的本發明。

本發明第一目的，在於提供一種線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，主要是可以藉由多軸角度偏移的感測機能設置，以感測出 載台多軸的角度偏移量，藉以得到載台於該滑軌組件運行時的動態剛性與角度偏移資訊，因而具有可減少線性滑軌之變形而增加剛性以及提升線性滑軌的位移精密度等特點。達成前述第一目的之技術手段，係包括驅動模組、X軸角度偏差感測模組、Y軸角度偏差感測模組、Z軸角度偏差感測模組及資訊處理模組。X軸角度偏差感測模組用以二第一距離感測訊號。Y軸角度偏差感測模組用以感測二第二距離感測訊號。Z軸角度偏差感測模組用以感測二第三距離感測訊號。資訊處理模組透過訊號傳輸模組接收X、Y及Z等軸距離感測訊號，並依序將轉換處理為二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值。資訊處理模組依序進行差值計算，以得到第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值，再判斷相對應X、Y及Z等軸的第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值是否高於基準距離差值，判斷結果為是，則輸出載台於該滑軌組件運行時相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。

本發明第二目的，在於提供一種可由選擇所需的負荷重心點位與負荷狀態來模擬線性滑軌載台實際載重運行下求出更精確之各軸距離差值的線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統。達成前述第二目的之技術手段，係包括驅動模組、X軸角度偏差感測模組、Y軸角度偏差感測模組、Z軸角度偏差感測模組及資訊處理模組。X軸角度偏差感測模組用以二第一距離感測訊號。Y軸角度偏差感測模組用以感測二第二距離感測訊號。Z軸角度偏差感測模組用以感測二第三距離感測訊號。資訊處理模組透過訊號傳輸模組接收X、Y及Z等軸距離感測訊號，並依序將轉換處理為二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值。資訊處理模組依序進行差值計算，以得到第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值，再判斷X、 Y及Z等軸的第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值是否高於基準距離差值，判斷結果為是，則輸出載台於該滑軌組件運行時相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。其中，更包含一負荷施加裝置，該載台頂部的一承載面劃分設有複數負荷區域，該負荷施加裝置用以分別對該載台的該複數負荷區域逐次地施予負荷力，以模擬該載台相對該滑軌組件做往復移動時，依序於每一該負荷區域負載施予該負荷力的狀況下，以依序求出各該負荷區域之該載台於該滑軌組件運行時相對應X、Y及Z軸的該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值。

本發明第三目的，在於提供一種可由選擇所需的負荷重心點位與負荷狀態來模擬線性滑軌載台實際載重運行下求出更精確之各軸距離差值的線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統。達成前述第三目的之技術手段，係包括驅動模組、X軸角度偏差感測模組、Y軸角度偏差感測模組、Z軸角度偏差感測模組及資訊處理模組。X軸角度偏差感測模組用以二第一距離感測訊號。Y軸角度偏差感測模組用以感測二第二距離感測訊號。Z軸角度偏差感測模組用以感測二第三距離感測訊號。資訊處理模組透過訊號傳輸模組接收X、Y及Z等軸距離感測訊號，並依序將轉換處理為二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值。資訊處理模組依序進行差值計算，以得到第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值，再判斷X、Y及Z等軸的第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值是否高於基準距離差值，判斷結果為是，則輸出載台於該滑軌組件運行時相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。其中，更包含一測試參數調變模組及一負荷施加裝置；該測試參數調變模組用以調變該驅動模組驅動該載台於該滑軌組件做線性的往復移動的一測試速度參數，及用以調變該負荷施加裝置 對該載台之一測試負荷力參數；該資訊處理模組處理該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差值及相對應的該測試速度參數與該測試負荷力參數，並輸出與該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差值，相對應的該測試速度參數與該測試負荷力參數及相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。

10:驅動模組

20:X軸角度偏差感測模組

21:第一雷射測距儀

22,32,42:反射片

30:Y軸角度偏差感測模組

31:第二雷射測距儀

40:Z軸角度偏差感測模組

41:第三雷射測距儀

50:訊號傳輸模組

60:資訊處理模組

70:載台

71:滑軌組件

72:移載機構

73:固定基座

730:側板

731:頂板

80:負荷施加裝置

81:負荷位置調整機構

82:加壓頭

90:測試參數調變模組

A1~A5:負荷區域

L1:虛擬寬度方向延伸線

L2,L3:虛擬長度方向延伸線

O1~O5:中心點

圖1係本發明載台對應X、Y及Z等軸的感測應用實施示意圖。

圖2係本發明載台於滑軌組件運作的感測實施示意圖。

圖3係本發明載台於滑軌組件運作的剖面感測實施示意圖。

圖4係本發明載台於滑軌組件運作的另一種剖面感測實施示意圖。

圖5係本發明於載台劃分負荷區域的實施示意圖。

圖6係本發明於各負荷區域所施加負荷強度的X、Y及Z等軸的基準距離差值對照示意圖。

圖7係本發明具體架構的功能方塊實施示意圖。

為讓 貴審查委員能進一步瞭解本發明整體的技術特徵與達成本發明目的之技術手段，玆以具體實施例並配合圖式加以詳細說明：

請配合參看圖1~2及圖7所示，為達成本發明第一目的之第一具體實施例，係包括一驅動模組10(如控制器；控制器與驅動電路的組合；但不以此為限)、一X軸角度偏差感測模組20、一Y軸角度偏差感測模組30、一Z軸角度偏差感測模組40、一訊號傳輸模組50及一資訊處理模組60。該驅 動模組10用以驅動一載台70於滑軌組件71做線性的往復移動。該X軸角度偏差感測模組20用以感測載台70往X軸角度方向之二個第一感測點的距離而產生二個第一距離感測訊號。該Y軸角度偏差感測模組30用以感測載台70往Y軸角度方向之二個第二感測點的距離而產生二個第二距離感測訊號。該Z軸角度偏差感測模組40用以感測載台70往Z軸角度方向之二個第三感測點的距離而產生二個第三距離感測訊號。該資訊處理模組60係透過有線或無線訊號傳輸模組50來接收二個第一距離感測訊號、二個第二距離感測訊號及二個第三距離感測訊號，並依序將二個第一距離感測訊號、二個第二距離感測訊號及二個第三距離感測訊號轉換處理為相應的二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值，該資訊處理模組60依序將二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值進行差值計算，以得到一第一距離差值、一第二距離差值及一第三距離差值，再判斷相對應於X、Y及Z軸的第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值是否高於一基準距離差值，判斷結果為是，則輸出載台70於線性滑軌運行時相對應於X、Y及Z軸角度(Rolling、Pitching及Yawing)的角度偏移警示資訊。具體的，該位移偏移警示資訊可由顯示幕；或是警示裝置來顯示或輸出；或是透過有線或無線之訊號傳輸模組50將位移偏移警示資訊傳輸至遠端的監控資訊裝置(如伺服器、電腦或是智慧型手機等)，以讓近端或遠端的使用者知悉，以對線性滑軌的製程或應用進行因應的改善運作處理。具體地，X、Y及Z軸的交點為一原點係位於該載台的一中心點。

請配合參看圖3~4所示為基於第一具體實施例的第一應用實施例，本實施主要是將各軸位移偏差感測模組具體界定設於移載機構72上的實施形態，本實施例更包含一可受驅動模組10驅動而與載台70同步做線 性往復移動的移載機構72及一設於移載機構72上的固定基座73，該X軸角度偏差感測模組20、Y軸角度偏差感測模組30及Z軸角度偏差感測模組40設於固定基座73上，以於載台70之每一往復移動行程中的至少一預定位置感測載台70之二個第一距離感測訊號、二個第二距離感測訊號及二個第三距離感測訊號。

請配合參看圖3~4所示，本實施例係為基於第一應用實施例的具體實施例，本實施例主要是將固定基座73的具體構造與安裝位置予以界定，該固定基座73略呈ㄇ型且包含二平行並置的側板730及一介置於二側板730頂緣的頂板731，該二側板730與載台70之二側面平行，該頂板731與載台70之頂面平行，其一側板730內面設置可相對於Z軸角度方向之二個第三感測點的Z軸角度偏差感測模組40，該頂板731內面分別設置可相對於Y軸角度方向之二個第二感測點與可相對於X軸角度方向之二個第一感測點的Y軸角度偏差感測模組30及X軸角度偏差感測模組20。

請配合參看圖1~4及圖7所示，本實施例係為基於第一應用實施例的具體實施例，本實施例主要是將各軸位移偏差感測模組具體界定為雷射測距儀，該X軸角度偏差感測模組20係為可分別正對載台70頂面之相對於X軸角度方向(Rolling)之二個第一感測點的二個第一雷射測距儀21，該Y軸角度偏差感測模組30係為可分別正對載台70頂面之相對於Y軸角度方向(Pitching)之二個第二感測點的二個第二雷射測距儀31，該Z軸角度偏差感測模組40係為可分別正對載台70一側面之相對於Z軸角度方向(Yawing)之二個第三感測點的二個第三雷射測距儀41。

請配合參看圖1~4所示，本實施例係為基於第一應用實施例的具體實施例，本實施主要是將每一二感測點具體界定為設置反射片，相 對於X軸角度方向之二個第一感測點、相對於Y軸角度方向之二個第二感測點及相對於Z軸角度方向之二個第三感測點皆設有二用以反射二第一雷射測距儀21、二第二雷射測距儀31及二第三雷射測距儀41之發射訊號而產生二個第一距離感測訊號、二個第二距離感測訊號及二個第三距離感測訊號的反射片22,32,42，各軸之雷射測距儀主要是以反射發射訊號的時間來分別測量與反射片22,32,42之間的距離。

請配合參看圖1~2所示，本實施例係為基於第一應用實施例的具體實施例，本實施例主要是將每一二感測點具體位置予以界定，相對於X軸角度方向之二個第一感測點位於載台70頂面之虛擬寬度方向延伸線L1的二端上。相對於Y軸角度方向之二個第二感測點位於通過載台70頂面中心位置之虛擬長度方向延伸線L2的二端上。相對於Z軸角度方向之二個第三感測點位於通過載台70一側面之虛擬長度方向延伸線L3的二端上。

請配合參看圖1~5及圖7所示為基於第一具體實施例的第二應用實施例，本實施主要是透過相對應之X、Y及Z軸的角度偏移量來計算出線性滑軌的動態剛性資訊，該資訊處理模組60係分別將第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值轉換為相對應之X、Y及Z軸的角度偏移量，再將已知載台70的負荷力除以相對應之X、Y及Z軸的角度偏移量，以得到載台70於線性滑軌運行時X、Y及Z等軸動態的剛性資訊。

請配合參看圖4~7所示，為達成本發明第二目的之第二具體實施例，除了包括上述第一具體實施例的整體技術內容之外，更包含一負荷施加裝置80，該載台70頂部的一承載面劃分設有複數負荷區域A1~A5，該負荷施加裝置80用以分別對複數負荷區域A1~A5之中心點O1~O5逐次地施予負荷力，以模擬載台70相對滑軌組件71做往復移動 時，依序於每一負荷區域A1~A5負載施予負荷力的狀況下，以依序求出各該負荷區域A1~A5之載台70於滑軌組件71運行時相對應X、Y及Z軸的第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值。

請配合參看圖4、7所示，該負荷施加裝置80更包含一負荷位置調整機構81，該負荷位置調整機構81用以將負荷施加裝置80之一加壓頭82抵接於該載台70的其中一個負荷區域A1~A5上。

較佳地，本發明較佳實施更包括有一測試參數調變模組90及一負荷施加裝置80；該測試參數調變模組90用以調變驅動模組10驅動該載台70於該滑軌組件71做線性的往復移動的一測試速度參數，及用以調變該負荷施加裝置80對該載台70之一測試負荷力參數；該資訊處理模組60處理該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差值及相對應的測試速度參數與測試負荷力參數，並輸出、第一距離差值、第二距離差值及第三距離差值差值，相對應的測試速度參數與測試負荷力參數及相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。

因此，經由上述具體實施例的詳細說明后，本發明確實具有下列所述的特點：

1.本發明確實可以藉由多軸角度偏移的感測機能設置，以感測出載台多軸的角度偏移量，藉以得到載台於該滑軌組件運行時的動態剛性與角度偏移資訊，因而具有可減少線性滑軌之變形而增加剛性以及提升線性滑軌的位移精密度等點。

2.本發明確實是可由選擇所需的負荷重心點位與負荷狀態來模擬線性滑軌載台實際載重運行下，以求出更精確之各軸距離差值的線性滑軌載台動態剛性與偏移資訊。

以上所述，僅為本發明一種較為可行的實施例，並非用以限定本發明之專利範圍，凡舉依據下列請求項所述之內容、特徵以及其精神而為之其他變化的等效實施，皆應包含於本發明之專利範圍內。本發明所具體界定於請求項之結構特徵，未見於同類物品，且具實用性與進步性，已符合發明專利要件，爰依法具文提出申請，謹請 鈞局依法核予專利，以維護本申請人合法之權益。

20:X軸角度偏差感測模組

21:第一雷射測距儀

30:Y軸角度偏差感測模組

31:第二雷射測距儀

40:Z軸角度偏差感測模組

41:第三雷射測距儀

70:載台

L1:虛擬寬度方向延伸線

L2,L3:虛擬長度方向延伸線

Claims (9)

1. 一種線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其包括：一驅動模組，其用以驅動一載台於一滑軌組件做線性的往復移動；一X軸角度偏差感測模組，其用以感測該載台上對應於該X軸角度方向之二個第一感測點的距離而產生二個第一距離感測訊號；一Y軸角度偏差感測模組，其用以感測該載台上對應於該Y軸角度方向之二個第二感測點的距離而產生二個第二距離感測訊號；一Z軸角度偏差感測模組，其用以感測該載台上對應於該Z軸角度方向二個第三感測點的距離而產生二個第三距離感測訊號；一訊號傳輸模組；及一資訊處理模組，其透過該訊號傳輸模組接收該二第一距離感測訊號、該二第二距離感測訊號及該二第三距離感測訊號，並依序將轉換處理為相應的二個第一距離值、二個第二距離值及二個第三距離值，該資訊處理模組依序將該二個第一距離值、該二個第二距離值及Z軸距離值進行差值計算，以得到一第一距離差值、一第二距離差值及一第三距離差值，再判斷該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差值其中之一是否高於一基準距離差值，當判斷結果為是，則輸出該載台於該滑軌組件運行時相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊；其中，更包含一可受該驅動模組驅動而與該載台同步做線性往復移動的移載機構及一設於該移載機構上的固定基座，該X軸角度偏差感測模組、該Y軸角度偏差感測模組及該Z軸角度偏差感測模組設於該固定基座上，以於該載台之每一往復移動行程中的至少一預定位置分別感測該載台之該二個第一距離感測訊號、該二個第二距離感測訊號及該二個第三距離感測訊號。
2. 如請求項1所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，該固定基座略呈ㄇ型且包含二平行並置的側板及一介置於該二側板頂緣的頂板，該二側板與該載台之二側面平行，該頂板與該載台之一頂面平行，其一該側板內面設置相對於該Z軸角度方向之二個第三感測點的該Z軸角度偏差感測模組，該頂板內面分別設置相對於該Y軸角度方向之該二個第二感測點與相對於該X軸角度方向之該二個第一感測點的該Y軸角度偏差感測模組及該Y軸角度偏差感測模組。
3. 如請求項2所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，該X軸角度偏差感測模組係為可分別正對該載台頂面之相對於該X軸角度方向之該二個第一感測點的二第一雷射測距儀，該Y軸角度偏差感測模組係為分別正對該載台頂面之相對於該Y軸角度方向之該二個第二感測點的二第二雷射測距儀，該Z軸角度偏差感測模組係為可分別正對該載台一側面之相對於該Z軸角度方向之該二個第三感測點的二第三雷射測距儀。
4. 如請求項3所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，相對於該X軸角度方向之該二個第一感測點、相對於該Y軸角度方向之該二個第二感測點及相對於該Z軸角度方向之該二個第三感測點皆設有二用以反射該二第一雷射測距儀、該二第二雷射測距儀及該二第三雷射測距儀之發射訊號而產生該二個第一距離感測訊號、該二個第二距離感測訊號及該二個第三距離感測訊號的反射片。
5. 如請求項1、2、3或4所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，相對於該X軸角度方向之該二個第一感測點位於通過該載台頂面中心位置之虛擬寬度方向延伸線的二端上；相對於該Y軸角度方向之該二個第二感測點位於通過該載台頂面中心位置之虛擬長度方向延伸線的二 端上；相對於該Z軸角度方向之二個第三感測點位於通過該載台一側面中心位置之虛擬長度方向延伸線的二端上。
6. 如請求項1所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，該資訊處理模組係分別將該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值轉換為相對應之X、Y及Z軸的角度偏移量，再將已知該載台的負荷力除以相對應之X、Y及Z軸的角度偏移量，以得到該載台於該滑軌組件運行時相對應之X、Y及Z軸的動態剛性資訊。
7. 如請求項1或6所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其更包含一負荷施加裝置，該載台頂部的一承載面劃分設有複數負荷區域，該負荷施加裝置用以分別對該複數負荷區域之中心點逐次地施予負荷力，以模擬該載台相對該滑軌組件做往復移動時，依序於每一該負荷區域施予該負荷力的狀況下，以依序求出各該負荷區域之該載台於該滑軌組件運行時相對應X、Y及Z軸的該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值。
8. 如請求項7所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其中，該負荷施加裝置更包含一負荷位置調整機構，該負荷位置調整機構用以將該負荷施加裝置之一加壓頭抵接於該載台的其中一個該負荷區域上。
9. 如請求項1或6所述之線性滑軌載台動態剛性與偏移監測系統，其更包括有一測試參數調變模組及一負荷施加裝置；該測試參數調變模組用以調變該驅動模組驅動該載台於該滑軌組件做線性的往復移動的一測試速度參數，及用以調變該負荷施加裝置對該載台之一測試負荷力參數；該資訊處理模組處理該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差 值及相對應的該測試速度參數與該測試負荷力參數，並輸出與該第一距離差值、該第二距離差值及該第三距離差值差值，相對應的該測試速度參數與該測試負荷力參數及相對應於X、Y及Z軸角度的角度偏移警示資訊。

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