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TWI783287B - 延時閥及流量控制器 - Google Patents

延時閥及流量控制器 Download PDF

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TWI783287B
TWI783287B TW109137674A TW109137674A TWI783287B TW I783287 B TWI783287 B TW I783287B TW 109137674 A TW109137674 A TW 109137674A TW 109137674 A TW109137674 A TW 109137674A TW I783287 B TWI783287 B TW I783287B
Authority
TW
Taiwan
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aforementioned
fluid
flow path
valve
delay
Prior art date
Application number
TW109137674A
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English (en)
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TW202146779A (zh
Inventor
西村昭穂
唯野晃
Original Assignee
日商Ｓｍｃ股份有限公司
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Publication date
Application filed by 日商Ｓｍｃ股份有限公司 filed Critical 日商Ｓｍｃ股份有限公司
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Abstract

延時閥(10)具備有：切換閥(18)，係在第一位置與第二位置間切換；推壓構件(20)，係將切換閥(18)往第一位置推壓；驅動機構(22)，係在引導流體的供給壓力的作用下，將切換閥(18)往與第一位置相反側的第二位置推壓；引導流路(36)，係將引導流體導引至驅動機構(22)；以及延遲機構(24)，係使切換閥(18)的切換時點延遲；其中，延遲機構(24)具有：設在引導流路(36)上的第一節流閥(34)、在引導流體的供給壓力的作用下將切換閥(18)往第一位置推壓的補償機構(26)、及從引導流路分歧出以將引導流體的一部分導引到補償機構(26)的補償流路(44)。

Description

延時閥及流量控制器
本發明係關於在流體迴路中進行延遲動作之延時閥及流量控制器。
過去，有各種進行延遲動作之閥(延時閥)曾經提出。如此的延時閥，係用於例如：使利用流體壓力而動作的流體壓力缸從第一速(高速)切換到第二速(低速)之二階段速度控制。如此的二階段速度控制，具有：緩和在流體壓力缸的行程終點(stroke end)的衝撃、提高動作速度而縮短循環時間(cycle time)等效果。
有多種在閥的動作上利用了引導流體(pilot fluid)的供給壓力之閥被提出來作為延時閥。在此情況，係在延遲機構採用節流部及蓄積部，在將預定量的引導流體供給至蓄積部的時點進行閥的切換動作(例如日本專利公告第5632914號、日本專利公告第4595411號、日本專利公告第3161965號、及日本專利公報特開2001-050204號)。另外，還已知有將上述的延遲機構用於二速切換流量控制器之技術(例如日本專利公告第5578502號、專利公告第5756984號)。
然而，過去的延時閥卻有：若引導流體的供給壓力變動，致使通過延遲機構的節流部之引導流體的流量也會變動，而閥切換的時點就會變動的問題。
因此，若在工廠的壓力供應線等之壓力容易變動的場所使用，延時閥的切換時點就會變動。結果，使用延時閥之機器的動作時間就會有參差變動的情形，所以必須考慮該等機器的動作的時間參差而設定預定的等待時間，產生循環時間會拉長之問題。
因此，本發明的目的在提供一種延時閥及流量控制器，可抑制引導流體的供給壓力的變動對於切換時點的影響。
以下揭示的一個面向係為一種延時閥，該延時閥係具備有：在第一位置與第二位置間切換的切換閥；將前述切換閥往前述第一位置推壓的推壓構件；在引導流體的供給壓力的作用下將前述切換閥往前述第二位置推壓的驅動機構；將前述引導流體導引至前述驅動機構的引導流路；以及使前述切換閥的切換時點延遲的延遲機構；且前述延遲機構係具有：設在前述引導流路上的延遲用節流閥、以及在前述引導流體的供給壓力的作用下將前述切換閥往前述第一位置推壓的補償機構。
另一個面向係為一種流量控制器，該流量控制器係具備有：對於流體壓力缸的一方的通口(port)進行流體之供給及排出的第一給排路；對前述流體壓力缸的另一方的通口進行流體之供給及排出的第二給排路；將供給控制對象流體之流體供給源及將流體排出之流體排出部切換地連接至前述第一給排路及前述第二給排路的動作切換閥；以及在前述第一給排路及前述第二給排路的 路徑上都有設置的延時閥；其中，前述延時閥係具備有：在第一位置與第二位置間切換的切換閥；將前述切換閥往前述第一位置推壓的推壓構件；在引導流體的供給壓力的作用下將前述切換閥往前述第二位置推壓的驅動機構；將前述引導流體導引至前述驅動機構的引導流路；以及使前述切換閥的切換時點延遲的延遲機構；且前述延遲機構係具有：設在前述引導流路上的第一節流閥、以及在前述引導流體的供給壓力的作用下將前述切換閥往前述第一位置推壓的補償機構。
根據上述面向之延時閥及流量控制器，就可抑制引導流體的供給壓力的變動對於切換時點的影響。
從以下配合隨附的圖式所做的較佳實施型態例的說明，應當會更瞭解上述的目的、特徵及優點。
①:推壓力
②:推壓力
③:推壓力
10,11:延時閥
10A:第一模組
10B:第二模組
12,12A:本體
12a:正面
12b:背面
12c:頂面
12d:底面
12e1,12e2:開口部
14:第一流路
16:第二流路
18,18A:切換閥
20:推壓構件
22:驅動機構
24:延遲機構
26:補償機構
28:復歸機構
30:第一連接通口
32:第二連接通口
34:第一節流閥
34a:流量調整旋鈕
36:引導流路
36a:封閉壁
38:引導通口
40:延遲用節流閥
40a:可變流量節流閥
40b:逆止閥
40c:調整旋鈕
42:蓄積部
44:補償流路
44a:開口部
46:復歸流路
50:側板
50A:側板
52:凸起部
54:閥收容部
56:連結通口
56a:封閉壁
58:貫通孔
60:滑軸
62:套筒
62a:滑動孔
64:端蓋
64a:蓄積室
64b:孔部
66:端蓋
68:驅動活塞室
70:驅動活塞
70a:第一受壓面
70b:第二受壓面
72a:第一空室
72b:第二空室
74:第一缺口孔
76:第二缺口孔
78:第三缺口孔
80:復歸活塞
80a:第四受壓面
82:復歸活塞室
86:第四缺口孔
88:滑動部
90:第一凹部
92:第一隔壁
94:第二凹部
96:第二隔壁
97:O型環
98:第三凹部
99:密封圈收容溝
100:切換閥
102:通口
104:通口
106:通口
108:通口
110:通口
112:流體供給源
114:流體排出部
116:第一給排路
118:第二給排路
120:流體壓力缸
120a:活塞
120b:活塞桿
122:頭側通口
124:桿側通口
126:速度調整部
128:速度調整部
130:流路連接構件
130A:第一交叉流路
130B:第二交叉流路
150:流量控制器
圖1係第一實施型態之延時閥的流體迴路圖。
圖2係圖1之延時閥的立體圖。
圖3係圖2之延時閥的沿著III-III線的剖面圖。
圖4係圖3中的滑軸的立體圖。
圖5係顯示驅動迴路之連接到圖1之延時閥的連接例的流體迴路圖。
圖6係顯示圖1之延時閥的作用之說明圖。
圖7係顯示比較例之延時閥的引導空氣的充填壓力的變動對於延遲時間(切換時點)的影響之圖表。
圖8係顯示第一實施型態之延時閥的引導空氣的充填壓力的變動對於延遲時間(切換時點)的影響之圖表。
圖9係第一實施型態的變形例之延時閥的流體迴路圖。
圖10係第二實施型態之流量控制器的流體迴路圖。
圖11係第二實施型態之流量控制器的立體圖。
圖12係圖11之流量控制器及連接至流體壓力缸的連接配置例之示意圖。
圖13係顯示圖10之流量控制器的動作之時序圖。
圖14係顯示圖10之流量控制器的第一模組的動作之流體迴路圖(之一)。
圖15係顯示圖10之流量控制器的第一模組的動作之流體迴路圖(之二)。
圖16係顯示與比較例2之流量控制器連接之流體壓力缸的軌跡及比較例2的第一模組的充填特性之圖表。
圖17係顯示與第二實施型態之流量控制器連接之流體壓力缸的軌跡及第二實施型態的第一模組的充填特性之圖表。
圖18係顯示圖10之流量控制器的第一模組的動作之流體迴路圖(之三)。
圖19係顯示圖10之流量控制器的第一模組的動作之流體迴路圖(之四)。
圖20係顯示比較例3之第一模組的復歸響應特性之圖表。
圖21係顯示圖10中的第一模組的復歸響應特性之圖表。
以下，舉本發明的較佳的實施型態為例，參照檢附的圖式來詳細說明本發明之延時閥及流量控制器。
(第一實施型態)
圖1及圖2所示的本實施型態之延時閥10，係安裝至缸(cylinder)、或各種流體壓力機器的驅動迴路，用於工廠的生產線的空氣壓力機器等。延時閥10係用於例如空氣(air)等控制對象流體的流量的控制。控制對象流體及引導流體並不限定於空氣。
本實施型態之延時閥10係如圖1所示，在本體12的內部具有第一流路14、第二流路16、切換閥18、推壓構件20、驅動機構22、延遲機構24、補償機構26、及復歸機構28。其中，第一流路14及第二流路16係供控制對象流體流通之流路，且為連接本體12的第一連接通口30與第二連接通口32之流路。
第一流路14及第二流路16係並列設置的流路，且由切換閥18進行切換動作，在兩個流路之間選擇性地切換要讓控制對象流體流通的路徑。第二流路16係設有為了讓控制對象流體以與第一流路14不同的條件通過而節制流量之第一節流閥34。第一節流閥34亦可設於第一流路14而非第二流路16。第一節流閥34還可在第一流路14及在第二流路16都有設置。另外，第一節流閥34並不限定於是可變流量的可變式節流閥，也可是讓固定的流量通過之固定式節流閥。
切換閥18係構成為可在第一位置與第二位置間切換之三通口閥。切換閥18在第一位置係使第一連接通口30與第二連接通口32經由第一流路14而連通。而且，切換閥18在第二位置係使第一連接通口30與第二連接通口32經由第二流路16而連通。切換閥18係構成為利用推壓構件20、驅動機構22、補償機構26、及復歸機構28的推壓力而在第一位置與第二位置間切換。
推壓構件20係將切換閥18往第一位置推壓的構件，由例如彈簧或橡膠等彈性構件所構成。切換閥18在沒有引導流體供給來之狀態，係藉由推壓構件20的推壓力而被保持在第一位置。推壓構件20係具有使得切換閥18不會因為自重而切換到第二位置之程度的彈力。
驅動機構22為在引導流體的作用下使將切換閥18往第二位置推壓之推壓力產生的構件。驅動機構22係包含如後述與推壓構件20相向配置之活塞機構，使與引導流體的供給壓力對應的推壓力產生。驅動機構22在該推壓力超過推壓構件20及補償機構26的推壓力之時點使切換閥18切換到第二位置。
引導流體係經由引導流路36而供給至驅動機構22。引導流路36為連接本體12的引導通口38、與驅動機構22的流路，將從引導通口38流入的引導流體導引到驅動機構22。
延遲機構24係具有設於引導流路36的延遲用節流閥40、設於延遲用節流閥40之下游的蓄積部42、及補償機構26。延遲用節流閥40係設有並列連接的可變流量節流閥40a與逆止閥40b。延遲用節流閥40藉由節制通過引導流路36而流入蓄積部42的引導流體的流量，可調整作用於驅動機構22之引導流體的壓力的上升速度，調整切換閥18的切換時點。蓄積部42係構成為具有延遲用節流閥40的下游側的引導流路36及驅動機構22的活塞機構的容積。亦可視需要而追加儲槽等構件。
補償機構26係產生將切換閥18往第一位置推壓之推壓力的構件，且通過從延遲用節流閥40的上游側的引導流路36分歧出的補償流路44而與引導通口38連接。引導流體通過補償流路44而供給至補償機構26。補償機 構26係使與引導流體的供給壓力對應的大小之往第一位置的推壓力產生。亦即，引導流體的供給壓力升高，補償機構26的推壓力就會增大，而引導流體的供給壓力減低，補償機構26的推壓力就會減小。但是，要構成為：補償機構26的推壓力會比驅動機構22的推壓力快作動，且會使規定切換閥18切換的時點之推壓力隨著引導流體的供給壓力而增減。
復歸機構28為使將切換閥18往第一位置推壓之推壓力產生的構件。復歸機構28係經由復歸流路46而與第一流路14連接。復歸機構28係使與第一流路14的控制對象流體的供給壓力對應的大小之推壓力產生。蓄積部42的引導流體的量會依引導流體的供給壓力而增減，而復歸機構28藉由使與引導流體(控制對象流體)的供給壓力對應之推壓力作用於切換閥18，而使切換閥18從第二位置切換到第一位置之時點穩定化。
接著參照圖2至圖4來說明延時閥10的具體的構造。
如圖2所示，延時閥10的本體12係形成為將正面12a、背面12b、頂面12c及底面12d予以一體化而成的矩形的殼體狀，兩側部成為開口部12e1,12e2。在本體12的兩側部，在本體12的正面12a、背面12b、頂面12c及底面12d的預定部位設有複數個用來安裝側板50之凸起部(boss)52。通過開口部12e1,12e2，可連結別的延時閥10。本實施型態因為是以一個延時閥10的狀態使用，所以安裝有一對側板50分別蓋住側部的開口部12e1,12e2。
在本體12的正面12a，配置有第一連接通口30、第一節流閥34的流量調整旋鈕34a、及延遲用節流閥40的調整旋鈕40c。在背面12b設有第二連接通口32。在本體12的頂面12c及底面12d之間設有大致呈圓筒狀的閥收容部54。閥收容部54內收容切換閥18。
第一流路14係從正面12a的第一連接通口30往閥收容部54延伸。從第一流路14的側部往側邊延伸出有連結通口56。連結通口56係形成為圓筒狀，延伸到開口部12e1側的側部及延伸到開口部12e2側的側部。連結通口56的開口部12e1側的側部及開口部12e2側的側部，都設有封閉壁56a。要連結複數個延時閥10之際可視需要在封閉壁56a實施開孔加工，作為用來將引導流體或控制對象流體供給至隣接的延時閥10之連接口。在如本實施型態之只有單一個延時閥10在使用的情況，則不用對連結通口56的開口部12e1側的封閉壁56a及開口部12e2側的封閉壁56a實施開孔加工，維持連結通口56由封閉壁56a封住的狀態。
第一節流閥34係在比第一流路14要為靠近頂面12c的位置連接至閥收容部54。第一節流閥34其流量調整旋鈕34a係設於正面12a，利用流量調整旋鈕34a可調整第二流路16的流量。
延遲用節流閥40係在比第一節流閥34要為靠近頂面12c的位置連接至閥收容部54。引導流路36係連接至延遲用節流閥40的側部。引導流路36係經由延遲用節流閥40而連接至閥收容部54。引導流路36係往開口部12e1側之側邊及開口部12e2側之側邊呈圓筒狀延伸出，並在開口部12e1,12e2側都形成有封閉壁36a。兩邊的封閉壁36a之中，開口部12e2側的封閉壁36a係經過開孔加工，讓引導通口38連接至開口部12e2側的引導流路36。將側板50裝上後，引導通口38係突出於側板50之外，而可將配管構件連接至引導通口38。引導通口38會有引導流體按預定的時序供給進入。
如圖3所示，切換閥18係構成為將滑軸(spool)60收容於閥收容部54的內部而成之滑軸閥(spool valve)。閥收容部54其內部係具有從本體12的 頂面12c貫通到底面12d側之貫通孔58。該貫通孔58的兩端係以端蓋(end cap)64,66加以封住。在端蓋64,66之間的貫通孔58內，收容有滑軸60、及收容滑軸60之套筒(sleeve)62。
端蓋64係嵌入貫通孔58的頂面12c側的端部。端蓋64的內部形成有蓄積引導流體之蓄積室64a。蓄積室64a係通過孔部64b而與延遲用節流閥40連通，構成蓄積引導流體之蓄積部42的一部分。
套筒62係嵌設於端蓋64,66之間的貫通孔58。套筒62中形成有從頂面12c側貫通至底面12d側之滑動孔62a。滑軸60係可滑動地配置於該滑動孔62a。
在套筒62的頂面12c側的端部，形成有驅動活塞室68。驅動活塞室68係收容驅動活塞70的部分，驅動活塞70係形成於滑軸60的一端。驅動活塞室68由驅動活塞70加以區隔成頂面12c側的第一空室72a、及底面12d側的第二空室72b。驅動活塞室68的第一空室72a係與端蓋64的蓄積室64a連通。驅動活塞室68的第二空室72b係形成有補償流路44的開口部44a，第二空室72b係與補償流路44連通。
另外，套筒62形成有：與第一節流閥34連通的第一缺口孔74、與第二連接通口32連通的第二缺口孔76、及與第一流路14連通的第三缺口孔78。第一缺口孔74、第二缺口孔76及第三缺口孔78係在厚度方向貫通套筒62而形成。
在套筒62的底面12d側的端部形成有復歸活塞室82，復歸活塞室82係收容可在其內滑動之復歸活塞80。復歸活塞室82係由從底面12d側嵌入貫通孔58之端蓋66加以封住。復歸活塞室82由復歸活塞80加以區隔成端蓋 66側的空室、及頂面12c側的空室。復歸活塞室82的端蓋66側的空室，係經由構成復歸流路46之第四缺口孔86而與第一流路14連通。復歸活塞室82的頂面12c側的空室係與第一流路14連通。
復歸活塞80係形成於滑軸60的底面12d側的端部，其端面係作為第四受壓面80a。第四受壓面80a係承受通過復歸流路46而流入復歸活塞室82之控制對象流體的供給壓力，而使將滑軸60往第一位置推壓之推壓力產生。
復歸活塞室82之在復歸活塞80與端蓋66之間的空室，係收容有推壓構件20。推壓構件20係由例如形成為螺旋狀的彈簧所構成，抵接於復歸活塞80的第四受壓面80a。推壓構件20利用其彈力將第四受壓面80a(滑軸60)往頂面12c側的第一位置推壓。推壓構件20的彈力(推壓力)係設定為比滑軸60的重量還大的值，在沒有供給引導流體及控制對象流體之非使用時阻止滑軸60往底面12d側(第二位置側)之移動。
滑軸60係如圖4所示，在第一位置側(頂面12c側)的一端形成有驅動活塞70。驅動活塞70的端面係作為第一受壓面70a，承受引導流體的供給壓力而使將滑軸60往第二位置側推壓之推壓力產生。
驅動活塞70的第二位置側係形成有直徑比驅動活塞70小之滑動部88，且在滑動部88與驅動活塞70的段差部分形成有第二受壓面70b。第二受壓面70b係在與第一受壓面70a相反側形成，承受引導流體的供給壓力而使將滑軸60往第一位置推壓之推壓力產生。第二受壓面70b係構成補償機構26的一部分。第二受壓面70b的面積比第一受壓面70a的面積小，因此當蓄積室64a的內壓上升到夠高，第一受壓面70a受到的力就會超過第二受壓面70b受到的力及推壓構件20的推壓力。
滑動部88係往第二位置側(底面12d側)延伸。在滑動部88，從第一位置側起依序形成有第一凹部90、第一隔壁92、第二凹部94、第二隔壁96、第三凹部98、及復歸活塞80。另外，在滑軸60的預定部位形成有複數個密封圈(packing)收容溝99。在密封圈收容溝99裝上如圖3所示的O型環97以密封滑軸60與套筒62的間隙。
如圖3所示，在滑軸60位於第一位置之情況，第一凹部90係與第一缺口孔74連通，第二凹部94係與第二缺口孔76連通，第三凹部98係與第三缺口孔78連通。此外，第一隔壁92係將第一缺口孔74與第二缺口孔76氣密(液密)地區隔開來。此時，第二隔壁96係配置於第二缺口孔76的位置，第二缺口孔76與第三缺口孔78係通過第三凹部98而連通。並且，第一連接通口30與第二連接通口32係通過第一流路14而相連接。
另一方面，在滑軸60位於底面12d側的第二位置之情況，第一隔壁92係配置於第二缺口孔76的位置，第一缺口孔74與第二缺口孔76係通過第一凹部90而連通。此時，第二隔壁96係緊貼第二缺口孔76與第三缺口孔78之間的套筒62的內周面，阻止第二缺口孔76與第三缺口孔78之連通。另外，在滑軸60的第二位置，第一連接通口30與第二連接通口32係通過第二流路16及第一節流閥34而相連接。
本實施型態之延時閥10的構成係如以上所述，以下，針對其作用進行說明。
如圖5所示，延時閥10係連接至動作切換閥100而用作為氣壓缸等的流體壓力機器的驅動裝置。圖示的流體迴路，係利用延時閥10在預定的延遲時間之後節制從流體排出部114排出的控制對象流體的流量之流體迴路。
動作切換閥100係為五通口閥，具有通口102至通口110。第一通口102係與引導通口38連接，第二通口104係與第一連接通口30連接，第三通口106及第五通口110係與流體排出部114連接，第四通口108係與流體供給源112連接。流體供給源112係為例如工廠的壓力供應線或空壓機等。
動作切換閥100係在第一位置與第二位置間切換。在動作切換閥100的第一位置，第一通口102與第四通口108相連接，第二通口104與第五通口110相連接。亦即，流體供給源112與引導通口38連接而供給引導流體至引導通口38，第一連接通口30與流體排出部114連接。而且，引導流體通過引導通口38而供給至引導流路36。
延時閥10在初始狀態係由於推壓構件20的推壓力使得其切換閥18配置於第一位置，此時第一連接通口30與第二連接通口32係經由第一流路14而相連通。引導流體的一部分會通過從引導流路36分歧出的補償流路44而流入補償機構26。引導流體的另一部分則是通過延遲用節流閥40而以預定流量流入蓄積部42(蓄積室64a)，使作用於驅動機構22之引導流體的壓力慢慢增大。
如圖6所示，作用於滑軸60的力有：作用於驅動活塞70的第二受壓面70b(補償機構26)之壓力所產生的推壓力1、作用於第一受壓面70a(驅動機構22)之壓力所產生的推壓力2、及推壓構件20所產生的推壓力3。在第二位置方向的推壓力2變大到比第一位置方向的推壓力1與推壓力3的合力還大的時點，滑軸60(切換閥18)切換到第二位置。
切換閥18切換到第二位置，圖5的第一連接通口30與第二連接通口32會經由第二流路16而連接，控制對象流體的流量會受到第一節流閥34 的節制。以此方式，延時閥10以切換閥18在引導流體的供給開始之後經過預定的延遲時間才切換之方式動作。
其中，當流體供給源112的壓力增大，通過引導流路36的延遲用節流閥40之引導流體的流量會增加，蓄積部42的充填壓力的上升速度會變快，推壓力2之增大會變快。反之，當流體供給源112的壓力減小，通過延遲用節流閥40之引導流體的流量會減小，推壓力2之增大會變慢。因此，會有：流體供給源112的壓力的變動會使得切換閥18的切換動作的時點變動的疑慮。
因此，本實施型態之延時閥10在推壓力2增大之前，使引導流體的供給壓力作用於第二受壓面70b，先使推壓力1產生。推壓力1的大小係與引導流體的壓力成比例，所以會作用於補償推壓力2的增大速度。亦即，當流體供給源112的壓力增大，推壓力1也會相對應地增大。於是，會使滑軸60之切換上所須的推壓力2的大小增大，可抵銷推壓力2的增大速度的增大所致的影響，抑制滑軸60的切換時點(延遲時間)的變動。
另外，在流體供給源112的壓力減小之情況，作用於第二受壓面70b之引導流體的供給壓力也會減小。結果，推壓力1就會減小，用較小的推壓力2就可使滑軸60切換位置。因此，可抵銷推壓力2的增大速度之減小相應份量所致的影響，抑制滑軸60的切換時點(延遲時間)的變動。
本實施型態之延時閥10在復歸動作，也可使滑軸60的切換動作的時點穩定化。圖5的動作切換閥100切換到第二位置，第一通口102與第三通口106就相連接，第二通口104與第四通口108就相連接。亦即，延時閥10的第一連接通口30係與流體供給源112連接，引導通口38係與流體排出部114連接。
蓄積部42中蓄積的引導流體會經由逆止閥40b及引導流路36而從流體排出部114排出。因此，作用於驅動機構22之引導流體的壓力會降到低於預定值，而在圖6中的推壓力2小於推壓構件20的推壓力3之時點，滑軸60(切換閥18)回到第一位置。不過，蓄積於蓄積部42之引導流體的量，會隨著引導流體的供給壓力(亦即流體供給源112的壓力)的變動而增減，所以滑軸60(切換閥18)回到第一位置的時點會受到流體供給源112的壓力的影響。
本實施型態中，第一連接通口30的控制對象流體的一部分係通過與第一連接通口30連通之復歸流路46而供給到復歸機構28的復歸活塞室82。復歸機構28的復歸活塞80會使往第一位置之推壓力以與控制對象流體的供給壓力(流體供給源112的壓力)對應之大小產生。此復歸機構28的推壓力係與推壓構件20的推壓力相同方向，所以會作用於抵銷蓄積於蓄積部42之引導流體的量的變動。結果，延時閥10就可抑制流體供給源112的壓力的變動所造成的復歸動作的時點的變動。
圖7係顯示比較例之延時閥的蓄積部42的引導空氣的充填壓力的變化、與切換時點(延遲時間)的變動的情形之圖。比較例之延時閥係構成為：使圖6之補償流路44開放到大氣而不使與引導流體的壓力對應之推壓力1產生。
此處顯示的是：相對於作為來自流體供給源112的引導流體的供給壓力的基準之0.4MPa使引導流體的供給壓力有±0.1MPa的變動之例。流體供給源112的壓力增大，蓄積部42的充填壓力會更快速增大。而且，流體供給源112的壓力減小，蓄積部42的充填壓力之增大就會變慢。在只有推壓構件20的推壓力3作用於滑軸60之情況，滑軸60雖然會在蓄積部42的充填壓力到達 一定的壓力0.2MPa之際切換位置，但其切換動作的時點(延遲時間)卻會隨著充填壓力的增大速度的變動而大幅變動。
另一方面，如圖8所示，本實施型態之延時閥10因為利用補償機構26來增減滑軸60切換位置之際的蓄積部42的充填壓力，所以可抑制延遲時間的變化幅度。
本實施型態之延時閥10會產生以下的效果。
本實施型態之延時閥10係具備有：在第一位置與第二位置間切換的切換閥18；將切換閥18往第一位置推壓的推壓構件20；在引導流體的供給壓力的作用下將切換閥18往第二位置推壓的驅動機構22；將引導流體導引至驅動機構22的引導流路36；以及使切換閥18的切換時點延遲的延遲機構24；且延遲機構24係具有：設於引導流路36上的延遲用節流閥40、以及在引導流體的供給壓力的作用下將切換閥18往第一位置推壓的補償機構26。
根據上述的構成，可利用補償機構26使與引導流體的壓力對應之推壓力1(參照圖6)作用於切換閥18。因此，可對應於引導流體的供給壓力的變動，使切換閥18從第一位置切換到第二位置之際的驅動機構22的推壓力2對應地變動，可抑制引導流體的供給壓力的變動所造成的延遲時間的變動幅度。
在上述的延時閥10中，補償機構26可具有：在引導流體的供給壓力的作用下使與驅動機構22相反方向的推壓力產生的活塞機構。如此構成，可使與引導流體的供給壓力對應之推壓力1產生。
在上述的延時閥10中，引導流體係通過在延遲用節流閥40的上游側從引導流路36分歧出的補償流路44而供給至補償機構26。如此構成，可 使引導流體的供給壓力迅速作用於補償機構26，可使切換閥18的切換時點穩定化。
在上述的延時閥10中，可具有：在切換閥18的第一位置連通的第一流路14、在切換閥18的第二位置連通的第二流路16、及設於第一流路14及第二流路16的至少其中一者的第一節流閥34。如此構成的話，可進行控制對象流體的流量的切換。
在上述的延時閥10中，可更具備有：使與驅動機構22相反方向的推壓力產生的復歸機構28、以及從第一流路14或第二流路16分歧出而連接至復歸機構28的復歸流路46。如此構成的話，即使在引導流體的供給壓力有變動之情況，也可使切換閥18的復歸動作的時點穩定化。
在上述的延時閥10中，切換閥18係具有：滑軸60、及供滑軸60在其內滑動的套筒62；且驅動機構22係具有：設於滑軸60之一端的驅動活塞室68、及將驅動活塞室68區隔成第一位置側的第一空室72a與第二位置側的第二空室72b的驅動活塞70；驅動活塞70係在第一空室72a側具有：承受引導流體的供給壓力而使朝向第二位置側之推壓力產生的第一受壓面70a。如上述，將滑軸60與驅動活塞70做成一體化，使裝置構成簡化。
在上述的延時閥10中，驅動活塞70可與滑軸60一體形成，補償機構26可具有：在驅動活塞70中面向第二空室72b，且在與第一受壓面70a相反側的第二受壓面70b。如此構成的話，因為將補償機構26設於驅動活塞70，所以裝置構成會簡化。
在上述的延時閥10中，第二受壓面70b的面積係比第一受壓面70a的面積小。因此，可利用引導流體使讓切換閥18從第一位置切換到第二位置之推壓力產生。
在上述的延時閥10中，復歸機構28可具有：形成於滑軸60的另一端的復歸活塞80、及收容復歸活塞80的復歸活塞室82。如此構成，將復歸機構28的復歸活塞80與滑軸60一體化，會使裝置構成簡化。
在上述的延時閥10中，推壓構件20可配置於復歸活塞室82。如此構成的話，可使延時閥10小型化。
(第一實施型態的變形例)
如圖9所示，本變形例之延時閥11在本體12A的內部並不具有第二流路16，第二流路16及第一節流閥34係為外加的。圖9之延時閥11的構成中，與參照圖1至圖6說明過的延時閥10一樣的構成都標以相同的符號而將其詳細說明予以省略。
如圖9所示，延時閥11係具有：連接本體12A的第一連接通口30與第二連接通口32的第一流路14；且在該第一流路14設有切換閥18A。切換閥18A係可在第一位置與第二位置間切換，在第一位置容許第一流路14的流體的流通，在第二位置阻止第一流路14的流體的流通。
切換閥18A係與第一實施型態的切換閥18一樣，由推壓構件20將之往第一位置推壓，且在引導流體開始供給至驅動機構22、延遲機構24、補償機構26之後經過預定的延遲期間(延遲時間)之時點切換到第二位置，阻止通過第一流路14之控制對象流體的流通。
作為外加的構件，將具有第一節流閥34之第二流路16與第一流路14並列地連接至延時閥11，可在預定的延遲時間經過後節制控制對象流體的流量，得到與延時閥10一樣的功能。
在本變形例之延時閥11，與第一實施型態之延時閥10一樣，可抑制引導流體的供給壓力的變動所造成之切換時點(延遲時間)的變動。
延時閥11的切換閥18A並不限定於兩通口閥，亦可用五通口閥等來構成。另外，設於第二流路16之機器並不限定於第一節流閥34，亦可連接各種機器來取代第一節流閥34。
(第二實施型態)
本實施型態係針對使用第一實施型態之延時閥10而構成的流量控制器150進行說明。流量控制器150係如圖10所示，構成驅動流體壓力缸120之流體迴路。流量控制器150包含有第一模組10A及第二模組10B，各模組都構成為與圖1之延時閥10一樣的構造。第一模組10A及第二模組10B的構成中，與圖1之延時閥10一樣的構成都標以相同的符號而將其詳細說明予以省略。
如圖10所示，流體壓力缸120係為複動型的缸，在缸室121的內部設有活塞120a。活塞120a將流體壓力缸120的缸室121區隔成頭側空室121a與桿側空室121b。流體通過頭側通口122而供給到頭側空室121a及排出，流體通過桿側通口124而供給到桿側空室121b及排出。活塞120a在從頭側通口122及桿側通口124給排的流體(控制對象流體)的作用下在缸室121的內壁滑動而在軸方向變位。活塞120a係連接有活塞桿120b，活塞桿120b與活塞120a一體地變位。
流量控制器150具有：進行使流體壓力缸120的活塞120a(及活塞桿120b)的移動速度從高速的第一速切換到低速的第二速之二階段速度控制的機能。此流量控制器150可以很合適地用於要求要緩和在流體壓力缸120的行程終端的衝撃及要透過高速動作的實現來縮短循環時間之情況。以下，說明流量控制器150的具體的構成。
流量控制器150係包含：連接至頭側通口122的第一給排路116、連接至桿側通口124的第二給排路118、進行將流體供給源112及流體排出部114切換地連接至第一給排路116及第二給排路118之動作的切換閥100、規定流體壓力缸120的第一速之動作速度的速度調整部126,128、及規定第二速之動作速度的第一模組10A及第二模組10B。
第一給排路116上連接有第一速度調整部126及第二模組10B。第一速度調整部126係規定將流體壓力缸120的活塞桿120b拉入之復歸行程之際的高速的第一速的動作速度之構件，且具有逆止閥126a及節流閥126b。逆止閥126a係與節流閥126b並列連接，且連接成供給至流體壓力缸120之流體可以無阻力地通過之方向。第一速度調整部126係在流體壓力缸120的活塞120a移動到頭側之際，利用節流閥126b節制從頭側通口122排出的流體的流量來限制流體壓力缸120的動作速度。亦即，第一速度調整部126係構成利用從流體壓力缸120排出的流體來規定動作速度之出口節流型(meter-out)的速度控制器。
第二模組10B係在第一給排路116上，連接於第一速度調整部126與動作切換閥100之間。在第二模組10B中，第二連接通口32係與第一速度調整部126連接，第一連接通口30係與動作切換閥100連接。第二模組10B係在流體壓力缸120的復歸行程開始後經過預定的延遲時間之時點，將控制對 象流體的流路從第一流路14切換到第二流路16來節制其流量，使流體壓力缸120的動作速度成為低速的第二速。第二模組10B的引導流路36係經由第二交叉流路130B而連接至第二給排路118。亦即，第二模組10B的引導流體係從相反側的第二給排路118供給來的。
第二給排路118上連接有第二速度調整部128及第一模組10A。第二速度調整部128的構成與第一速度調整部126一樣，構成為讓供給至流體壓力缸120之方向的流體無阻力地通過，但限制相反方向的流動之出口節流型(meter-out)的速度控制器。第二速度調整部128係規定將流體壓力缸120的活塞桿120b推出之驅動行程之際的高速的第一速的動作速度。
第一模組10A係在第二給排路118上，連接於第二速度調整部128與動作切換閥100之間。第一模組10A的構成係與第二模組10B一樣。第一模組10A的引導流路36係經由第一交叉流路130A而連接至第一給排路116。如上所述，第一模組10A及第二模組10B的引導流路36係連接成交互地連接到相反側的給排路116,118。
第一速度調整部126及第二速度調整部128並不限定於出口節流型的速度控制器，亦可將逆止閥126a,128a反向連接而構成為入口節流型(meter-in)的速度控制器。
動作切換閥100係與參照圖5說明過的動作切換閥100一樣。動作切換閥100的第一通口102與第二給排路118連接，第二通口104與第一給排路116連接，第三通口106及第五通口110與流體排出部114連接，第四通口108與流體供給源112連接。
本實施型態之流量控制器150的迴路構成係如以上所述，但第一模組10A及第二模組10B亦可一體化而構成為閥單元140。以下，參照圖11及圖12來說明閥單元140。
如圖11所示，閥單元140係將各自具有本體12之兩個模組(第一模組10A及第二模組10B)相連結而構成。第一模組10A及第二模組10B各自的內部的構成係與圖2之延時閥10一樣。但是，如圖12所示，為了將第一模組10A及第二模組10B的引導流路36連接成交互地連接到相反側的給排路116,118，而設有流路連接構件130。
流路連接構件130的內部設有：連接第二模組10B的連結通口56與第一模組10A的引導流路36之第一交叉流路130A、及連接第一模組10A的連結通口56與第二模組10B的引導流路36之第二交叉流路130B。流路連接構件130係以夾在第一模組10A與第二模組10B之間之形態與引導流路36連接。另外，在第二模組10B，開口部12e2側的連結通口56的封閉壁56a及開口部12e2側的引導流路36的封閉壁36a都經過開孔加工，在第一模組10A，開口部12e1側的連結通口56的封閉壁56a及開口部12e1側的引導流路36的封閉壁36a都經過開孔加工。
如圖11所示，第一模組10A及第二模組10B係用側板50A蓋住兩側部，且利用螺栓鎖接而相連結。側板50A之與引導流路36對應的部位，設有未圖示的封閉構件，引導流路36的開口部由側板50A加以封住。
本實施型態之流量控制器150的構成係如以上所述，以下，說明其作用及動作。
圖13中，橫軸表示時間的經過，隨著動作切換閥100的切換動作，進行控制控制對象流體的流量之動作。閥訊號係表示流量控制器150的動作切換閥100的切換狀態，「ON」之狀態表示將第一給排路116連接至流體供給源112，「OFF」之狀態表示將第二給排路118連接至流體供給源112。
缸行程係表示流體壓力缸120的行程方向，「驅動」表示進行將活塞桿120b推出之驅動行程，「復歸」表示進行將活塞桿120b拉入之復歸行程。
另外，圖13中之第一模組10A及第二模組10B的「1」表示滑軸60在第一位置，「2」表示滑軸60在第二位置。亦即，第一模組10A及第二模組10B的「1」表示流路為第一流路14，第一模組10A及第二模組10B的「2」表示流路在第二流路16。圖中的箭號的範圍，係動作切換閥100切換之後到第一模組10A及第二模組10B的滑軸60切換為止的延遲時間，係可能受到引導流體的供給壓力的影響之動作時序。
以下，說明動作切換閥100的閥訊號從OFF切換為ON之際的流量控制器150的動作。
如圖14所示，動作切換閥100的閥訊號從OFF切換為ON，動作切換閥100的第一通口102與第四通口108就相連接，第一給排路116就與流體供給源112連接。控制對象流體經由第二模組10B而供給至流體壓力缸120，驅動行程就開始。另外，驅動行程之際的第一給排路116及第二模組10B的動作，因為與即將參照圖18及圖19說明的復歸行程之際的第二給排路118的第一模組10A的動作一樣，故在此省略其說明。
動作切換閥100的閥訊號從OFF切換至ON之前，第一模組10A的切換閥18係在初期位置(亦即第一位置)，引導流體會從驅動機構22及蓄積部42排出。如圖14所示，在切換閥18的第一位置，第一模組10A的控制對象流體的流路為第一流路14，經由第二給排路118而排出的流體的流量係只受到第二速度調整部128的節制。
動作切換閥100的閥訊號從OFF切換到ON，第一給排路116的引導流體通過第一交叉流路130A而流入引導流路36。引導流體的一部分係通過補償流路44而供給至補償機構26，補償機構26使與引導流體的供給壓力對應的大小的推壓力產生。引導流路36的引導流體係在延遲用節流閥40的節制下流入蓄積部42，作用於驅動機構22之引導流體的壓力係慢慢增大。
然後，在驅動機構22的推壓力超過推壓構件20及補償機構26兩者的力之時點，如圖15所示，切換閥18切換到第二位置。於是，經由第二給排路118而排出之流體的流量，除了受到第二速度調整部128的節制之外，還會受到設於第一模組10A的第二流路16之第一節流閥34的節制。因此，流體壓力缸120的動作速度切換至低速的第二速。
在此，參照圖16及圖17，說明針對表示作用於比較例2及本實施型態之第一模組10A的驅動機構22之引導流體的壓力(亦即充填壓力)的變化之充填特性、及表示流體壓力缸120的行程位置的時間變化之軌跡進行試驗所得到的結果。此處表示的是從流體供給源112供給0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的壓力的壓縮空氣之結果。
圖16所示的比較例2，表示的是以不含有補償機構26之延時閥構成流量控制器之情況的結果。注意的焦點放在使用比較例2之流量控制器的 情況之流體壓力缸120的軌跡。此流量控制器係將延遲用節流閥40調整成流體供給源112的壓力在0.4MPa時會最合適。然而，流體供給源112的壓力若有±0.1MPa的增減，調整就會變得不適切，而會在流體壓力缸120的行程的終點發生回彈(bound)等，且行程結束的時點的參差變動會變大。如上所述，不含有補償機構26之比較例2之流量控制器，流體壓力缸120的行程結束時刻的參差變動會變大。
流體壓力缸120係裝配在工廠的生產線上使用，流體壓力缸120的行程結束時刻若有很大的參差變動，就會有連接於流體壓力缸120的構件與其他的機器發生干渉之虞。從防止如此的干渉之觀點來說，在設定使流體壓力缸120動作之閥訊號之際，就必須設置較大的安全裕度，結果就會使得流體壓力缸120的循環時間變長。
如圖17所示，本實施型態之流量控制器150的第一模組10A，在第一模組10A的充填特性上，會在0.4秒附近出現段差。此段差係由於切換閥18的滑軸60之移動而產生，表示第一模組10A的切換閥18的切換時點。如圖示，充填特性產生段差之時刻，在0.3MPa~0.5MPa之任何壓力都幾乎沒有變化，由此可知會抑制延遲時間之參差變動。
另外，從圖17中的流體壓力缸120的軌跡來看，可知會抑制流體壓力缸120的軌跡的變動，活塞120a的行程的結束時刻的變動幅度相較於比較例2還小。如上所述，使用本實施型態之流量控制器150，可抑制流體供給源112的壓力變動所造成之流體壓力缸120的軌跡的變動，因此可減少閥訊號的切換的無用的等待時間，可縮短流體壓力缸120的循環時間。
接著，說明動作切換閥100的閥訊號從「ON」切換為「OFF」之際的流量控制器150的動作。
如圖18所示，動作切換閥100的閥訊號從ON切換到OFF，第一給排路116就與流體排出部114連接，第二給排路118就與流體供給源112連接。第一給排路116及第二模組10B的動作因為與參照圖14及圖15說明過之第一模組10A的動作一樣故省略其說明。動作切換閥100的閥訊號剛從「ON」切換到「OFF」，第一模組10A的蓄積部42係充填有引導流體，會有驅動機構22的推壓力作用而將切換閥18保持在第二位置。
然後，當預定的時間經過，充填於補償機構26及蓄積部42之引導流體會排出到第一給排路116。另外，第二給排路118的控制對象流體的一部分會通過復歸流路46而流入復歸機構28。然後，在蓄積部42的引導流體的壓力降低到驅動機構22的推壓力低於推壓構件20及復歸機構28兩者的力之時點，如圖19所示，切換閥18回到第一位置。於是，控制對象流體通過第一模組10A而供給到流體壓力缸120，使流體壓力缸120的行程開始。
如上述，在切換閥18回到第一位置之時點，流體壓力缸120的行程就開始，所以切換閥18的復歸時點若參差變動，就會發生流體壓力缸120的行程的參差變動。充填至蓄積部42之引導流體的量，會隨著流體供給源112的供給壓力而增減。對此問題，本實施型態因為在推壓構件20的推壓力之外還透過復歸機構28增加與流體供給源112的供給壓力對應的推壓力，所以可利用復歸機構28抵銷充填至蓄積部42之引導流體的量的增減所造成的影響。
以下，參照圖20及圖21，針對比較例3之流量控制器及本實施型態之流量控制器150，說明針對動作切換閥100從「ON」切換為「OFF」之際 的第一模組10A的充填特性及流體壓力缸120的行程的軌跡進行試驗所得到的結果。此處表示的是使來自流體供給源112的壓縮空氣的供給壓力為0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa之結果。另外，比較例3之流量控制器係使用不具有復歸機構28之延時閥來構成。
如圖20所示，比較例3之流量控制器具有：按照流體供給源112的壓力0.3MPa、0.4MPa、0.5MPa之順序，壓力越低蓄積部42的引導壓力越快降低之傾向。另外，在流體壓力缸120的軌跡方面，閥訊號切換之後，係各自經過0.15秒至0.25秒的延遲時間才上升，在閥訊號切換後到流體壓力缸120的活塞120a開始動作為止的時間上會產生參差變動。由此可知，使用不具有復歸機構28之延時閥構成之比較例3之流量控制器，流體壓力缸120的行程開始的時點，會受到很大的流體供給源112的影響。
另一方面，從圖21可知：本實施型態之流量控制器150雖然在充填特性方面具有與比較例3之流量控制器一樣的傾向，但在流體壓力缸120的軌跡方面，都是在閥訊號切換之後約0.025秒的時候上升，閥訊號切換後到流體壓力缸120的行程開始為止的延遲時間係相較於比較例3較為縮短。另外，可知：即使流體供給源112的供給壓力在0.3至0.5MPa的範圍內變化，軌跡上升的時刻也不變動，流體壓力缸120的行程開始的時點並不受流體供給源112的壓力變動的影響。
從上述的結果可確認：根據本實施型態之流量控制器150，可縮短閥訊號切換後到流體壓力缸120的行程開始為止的延遲時間，而且即使在流體供給源112的供給壓力有變動之情況，也可抑制流體壓力缸120的行程開始 時點的參差變動。因此，根據本實施型態之流量控制器150，可縮短要在閥訊號設定的等待時間，可縮短循環時間。
本實施型態之流量控制器150會產生以下的效果。
流量控制器150係具備有：對於流體壓力缸120之頭側通口122(一方的通口)進行流體之供給及排出的第一給排路116、對於流體壓力缸120之桿側通口124(另一方的通口)進行流體之供給及排出的第二給排路118、將供給控制對象流體之流體供給源112及將流體排出之流體排出部114切換地連接至第一給排路116及第二給排路118的動作切換閥100、以及分別設在第一給排路116及第二給排路118的路徑上的延時閥(第一模組10A及第二模組10B)；該流量控制器150中，延時閥(第一模組10A及第二模組10B)係具備有：在第一位置與第二位置間切換的切換閥18、將切換閥18往第一位置推壓的推壓構件20、在引導流體的供給壓力的作用下將切換閥18往第二位置推壓的驅動機構22、將引導流體導引至驅動機構22的引導流路36、以及使切換閥18的切換時點延遲的延遲機構24；且延遲機構24係具有：設在引導流路36上的第一節流閥34、以及在引導流體的供給壓力的作用下將切換閥18往第一位置推壓的補償機構26。
根據上述的構成，即使在引導流體的供給壓力有變動之情況，也可抑制第一模組10A及第二模組10B的延遲時間的變動，可抑制流體壓力缸120的軌跡的參差變動。因而，可減少流體壓力缸120的動作的切換之際的等待時間，可縮短流體壓力缸120的循環時間而使動作速度提高。
在上述的流量控制器150中，可將第一給排路116的第二模組10B(延時閥)的引導流路36連接至第二給排路118，將第二給排路118的第一模組 10A(延時閥)的引導流路36連接至第一給排路116。如此，可使流量控制器150的裝置構成簡化。
在上述說明中，舉較佳的實施型態為例進行了本發明的說明，但本發明並不限定於上述實施型態，毋庸說，當然還可在未脫離本發明的主旨之範圍內做各種變化。
10:延時閥
12:本體
14:第一流路
16:第二流路
18:切換閥
20:推壓構件
22:驅動機構
24:延遲機構
26:補償機構
28:復歸機構
30:第一連接通口
32:第二連接通口
34:第一節流閥
36:引導流路
38:引導通口
40:延遲用節流閥
40a:可變流量節流閥
40b:逆止閥
42:蓄積部
44:補償流路
46:復歸流路

Claims (12)

  1. 一種延時閥，具備有：切換閥，係在第一位置與第二位置間切換；第一流路，係在前述切換閥的前述第一位置連通；推壓構件，係將前述切換閥往前述第一位置推壓；驅動機構，係在引導流體的供給壓力的作用下，將前述切換閥往前述第二位置推壓；引導流路，係將前述引導流體導引至前述驅動機構；以及延遲機構，係使前述切換閥的切換時點延遲；前述延遲機構係具有：延遲用節流閥，係設於前述引導流路上；以及補償機構，係在前述引導流體的供給壓力的作用下，在前述驅動機構之前，先將前述切換閥往前述第一位置推壓；前述補償機構係被通過從前述引導流路分歧的補償流路流入之前述引導流體的一部份所驅動，並因應前述引導流體的供給壓力的變動，而補償前述驅動機構使前述切換閥變位時的推壓力；前述引導流路係未連接於前述第一流路，並連接於不受前述切換閥的動作狀態所致的壓力變動影響的部分。
  2. 如請求項1所述之延時閥，更具有動作切換閥，該動作切換閥係連接於前述第一流路及前述引導流路，而將流體供給源或流體排出部連接於前述第一流路及前述引導流路；前述引導流路係連接於前述動作切換閥的與前述第一流路連接的通口不同的通口。
  3. 如請求項1所述之延時閥，其中，前述補償機構係具有活塞機構，該活塞機構係在前述引導流體的供給壓力的作用下，使與前述驅動機構相反的推壓力產生。
  4. 如請求項3所述之延時閥，其中，引導流體係通過在前述延遲用節流閥的上游側從前述引導流路分歧出的補償流路而供給至前述補償機構。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之延時閥，具有：第二流路，係在前述切換閥的前述第二位置連通；以及第一節流閥，係設於前述第一流路及第二流路的至少一者。
  6. 如請求項5所述之延時閥，更具備有：復歸機構，係使與前述驅動機構相反的推壓力產生；以及復歸流路，係從前述第一流路或前述第二流路分歧出而連接至前述復歸機構。
  7. 如請求項6所述之延時閥，其中，前述切換閥係具有滑軸及套筒；前述滑軸係在前述套筒內滑動，前述驅動機構係具有：設於前述滑軸的一端的驅動活塞室、及將前述驅動活塞室區隔成第一空室及第二空室的驅動活塞；前述驅動活塞係在前述第一空室側具有第一受壓面，該第一受壓面係承受前述引導流體的供給壓力而使朝向前述第二位置之推壓力產生。
  8. 如請求項7所述之延時閥，其中，前述驅動活塞係與前述滑軸一體形成， 前述補償機構係具有第二受壓面，該第二受壓面係在前述驅動活塞中面向前述第二空室，且與前述第一受壓面為相反側。
  9. 如請求項8所述之延時閥，其中，前述第二受壓面的面積係比前述第一受壓面的面積小。
  10. 如請求項9所述之延時閥，其中，前述復歸機構係具有：形成於前述滑軸之另一端的復歸活塞、及收容前述復歸活塞的復歸活塞室。
  11. 如請求項10所述之延時閥，其中，前述推壓構件係配置於前述復歸活塞室。
  12. 一種流量控制器，其係具備有：第一給排路，係對於流體壓力缸的一方的通口進行流體之供給及排出；第二給排路，係對於前述流體壓力缸的另一方的通口進行流體之供給及排出；動作切換閥，係將供給控制對象流體之流體供給源及將流體排出之流體排出部切換地連接至前述第一給排路及前述第二給排路；以及延時閥，係分別設於前述第一給排路及前述第二給排路的路徑上；前述延時閥係具備有：切換閥，係在第一位置與第二位置間切換；推壓構件，係將前述切換閥往前述第一位置推壓；驅動機構，係在引導流體的供給壓力的作用下，將前述切換閥往前述第二位置推壓；引導流路，係將前述引導流體導引至前述驅動機構；以及延遲機構，係使前述切換閥的切換時點延遲；其中，前述延遲機構係具有：設於前述引導流路上的第一節流閥、以及在前述引導流體的供給壓力的作用下，在前述驅動機構之前，先將前述切換閥往前述第一位置推壓的補 償機構；前述補償機構係被通過從前述引導流路分歧的補償流路流入之前述引導流體的一部份所驅動，並因應前述引導流體的供給壓力的變動，而補償前述驅動機構使前述切換閥變位時的推壓力；前述第一給排路的前述延時閥的前述引導流路係連接至前述第二給排路，前述第二給排路的前述延時閥的前述引導流路係連接至前述第一給排路。
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