Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

SE533883C2 - Nanolaminerat belagt skärverktyg - Google Patents

Nanolaminerat belagt skärverktyg Download PDF

Info

Publication number
SE533883C2
SE533883C2 SE0900738A SE0900738A SE533883C2 SE 533883 C2 SE533883 C2 SE 533883C2 SE 0900738 A SE0900738 A SE 0900738A SE 0900738 A SE0900738 A SE 0900738A SE 533883 C2 SE533883 C2 SE 533883C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
cutting tool
tool insert
layer
coating
insert according
Prior art date
Application number
SE0900738A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0900738A1 (sv
Inventor
Jon Andersson
Rachid M Saoubi
Tommy Larsson
Mats Johansson
Per Alm
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Priority to SE0900738A priority Critical patent/SE533883C2/sv
Priority to US13/375,602 priority patent/US8864861B2/en
Priority to KR1020117028854A priority patent/KR101759475B1/ko
Priority to EP10783657.9A priority patent/EP2446066B1/en
Priority to CN201080024204.9A priority patent/CN102449195B/zh
Priority to PCT/SE2010/050581 priority patent/WO2010140959A1/en
Priority to JP2012513904A priority patent/JP2012528733A/ja
Publication of SE0900738A1 publication Critical patent/SE0900738A1/sv
Publication of SE533883C2 publication Critical patent/SE533883C2/sv

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
    • B23B2224/24—Titanium aluminium nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2226/00—Materials of tools or workpieces not comprising a metal
    • B23B2226/12—Boron nitride
    • B23B2226/125—Boron nitride cubic [CBN]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/08—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/27—Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T409/00—Gear cutting, milling, or planing
    • Y10T409/30—Milling
    • Y10T409/303752—Process
    • Y10T409/303808—Process including infeeding
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Description

20 25 30 35 40 45 50 533 883 2 Det är ett ändamål av föreliggande uppfmning att förelägga ett belagt skärverktyg med bättre pre- standa i skärande applikationer vid höga temperaturer.
Det är ytterligare ett ändamål av föreliggande uppfinning att förelägga ett belagt skärverktyg med förbättrad eggintegritet.
Det har visat sig att genom att kombinera skikt baserade på (Ti,Si)N respektive (Ti,Al)N i en nano- laminerad beläggníngsstrtllttur på ett PcBN-baserat skärverktygsskär, förbättras livslängden avsevärt på grund av ökad gropslitstyrka, fasslitstyrka och e ggintegiitet, särskilt i höghastighetsbearbetnings- operationer som genererar höga verktygstemperaturer.
Kort beskrivning av ritningarna Fig. 1, svepelektromnikroskopibild (SEM-bild) som visar en brottyta i tvärsnitt av en Tlg_33Al0_52N/'Tl0_93Sl0_07N IIaIIOlaIIIÃIICIäÖ SlIllklfUI.
Fig. 2, SEM-bilder som visar exempel på skäreggarna efter 24 minuters svarvning i härdat stål med (a) TiugóSiorrN singelskikt och (b) Ti0_38Al0,62Nfl“i0_86Si0_14N nanolaminerad struktur.
Detaljerad beskrivning av uppfinningen Enligt föreliggande uppfinning föreligger ett skär-verktyg för spånformande bearbetning bestående av en kropp, baserad på polykristallin kubisk bornitrid (PcBN), antingen som solid kropp eller fäst till ett underlag, på vilken deponeras en hård och slitstark beläggning innefattande en polykristallin nanolaminerad struktur med en tjocklek på mellan 0,5 och 10 um, företrädesvis mellan 0,5 och 5 um, bestående av omväxlande A och B skikt och en övergripande kolumnär struktur. Den genom- snittliga kolumnbredden är mellan 20 och 1000 nm, företrädesvis mellan 20 och 500 nm, mätt med t.ex. tvärsnittssvepelektronmikroskopi av ett mittområde i den nanolaminerade strukturen, det vill säga en region inom 30 till 70% av tjocklekeni tillväxtriktningen, och den genomsnittliga kolumn- bredden är då medelvärdet från mätning av bredden på minst tio intilliggande kolumner.
Skiktet A (Ti,Al,Me1)N består av en fasblandning av kubiska och hexagonala strukturer, företrädes- vis av bara kubisk fas, som bestäms av röntgendiflraktion, där Mel är ett eller flera av Zr, Y, V, Nb, Mo och W, företrädesvis ett eller flera av Zr, Y, V och Nb, Skiktet B (Ti,Si,Me2)N består av en fasblandning av kubiska och hexagonala strukturer, företrädesvis av bara kubisk fas, som bestäms av röntgendiffraktion och Me2 är ett eller flera av Y, V, Nb, Mo, W och Al, företrädesvis ett eller flera av Y, V, Nb och Al. Skikt A och B har en genomsnittlig individuell skikttjocklek mellan 1 nm och 100 nm, företrädesvis mellan 1 nm och 50 nm, mätt med t.ex. transmissionselektronmikroskopi i tvärsnitt av ett nrittorriråde i den nanolaminerade strukturen, det vill säga en region inom 30 till 70% av tjockleken i tillväxtriktnirigen, och den genomsnittliga tjockleken är då medelvärdet från mätning av tjockleken på minst tio intilliggande skikt.
Atomförhållandet (Ti+Al)/(Ti+Al+Mel) för nämnda skikt A är > 85%, och atomförhållandet Ti/(Ti+Al) är mellan 5% och 95%. Atomförhållandet (Ti+Si)/(Ti+Si+Me2) för nämnda skikt B>60%, och atomförhållandet Ti/(Ti+Si) är mellan 5% och 95%.
Skikt A är(Ti1_,.AlxMe1P)N,, där 0,3 företrädesvis 0,96 0,05 10 15 20 25 30 35 40 45 50 533 883 I en första föredragen utföringsform z = p = 0.
I en andra föredragen utföringsform är Mel ett eller flera av Zr, Y, V och Nb med 0 I en tredje föredragen utföringsfonn är Me2 Y, 0 I en fjärde föredragen utföringsform är Me2 ett eller båda av V och Nb med 0 I en femte föredragen utföringsform är Me2 Al, 0,2 Den genomsnittliga sammansättningen av nämnda nanolaminerade struktur är 45 atom% < Ti+Al+Si+Y+V+Nb+Mo+W+Zr < 55 atom%, företrädesvis 48 atom% < Ti+Al+Si+Y+V+Nb+Mo+W+Zr < 52 atom% och rest N bestämd med, exempelvis, EDS- eller WDS-tekniker.
Nänmda beläggning kan innefatta en inre singel- och/eller multiskiktbeläggning av TiN, TiC, Ti(C,N) eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Al)N och/eller en yttre singel- och/eller multiskiktbelägg- ning av TiN, TiC, Ti(C,N), (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, enligt känd teknik, till en total skikttjocklek, inbegripet tjockleken på den nanolaminerade strukturen, på mellan 0,5 och 20 um, företrädesvis mellan 0,5 och 10 um och allra företrädesvis mellan 0,5 och 7 um.
Nämnda PcBN-kropp innehåller minst 30 vol% kubisk bomitridfas (eBN) i en bíndefas. Bindefasen innehåller minst ett av ämnena valda från en grupp bestående av nitrider, borider, oxider, karbider och karbonitrider av ett eller flera element tillhörande grupperna 4, 5 och 6 i det periodiska systemet och Al, Lex. Ti (C,N) och AlN.
I en sjätte föredragen utföringsform, innehåller nämnda PcBN-kropp 30 vol% trädesvis 40 vol% Bindefasen innehåller 80 vikt% föreningar som består av två eller flera av elementen Ti, N, B, Ni, Cr, Mo, Nb, Fe, Al och/eller O, t.ex. TíBz och Al203.
I en sjunde föredragen utföringsform, innehåller nämnda PcBN -kropp 45 vol% reträdesvis 55 vol% um, företrädesvis mellan 1 um och 3 um. Bindefasen innehåller 80 vikt% vikt% resten innehåller huvudsakligen TiBZ och A120 3.
I en åttonde föredragen utföringsform, innehåller nämnda PcBN-kropp 70 vol 80 vol% företrädesvis mellan 1 um och 6 um, eller mellan 10 um och 25 um, företrädesvis mellan 15 um och 25 urn. Bindefasen innehåller föreningar av två eller flera av elementen Al, B, N, W, Co, Ni, Fe, Al och/eller 0.
Utfällningsmetoden för beläggningar enligt denna uppfmning är baserad på ljusbågsfórångrting av en legerad eller sammansatt katod under följande villkor. (Ti,Al,Mel)N och (Ti,Si,Me2)N skikt ut- falls från katoder som ger önskad skiktsammansättriing. Förångningsströmmen är mellan 50 A och 200 A. Dessa skikt utfalls i en Ar+N2 atmosfär, företrädesvis i en ren N; atmosfär, vid ett totalt tryck av 0,5 Pa till 9,0 Pa, företrädesvis 1,5 Pa till 5,0 Pa, med substratfórspärming på -10 V till -300 V, företrädesvis -20 V till -200V. Utfallningstemperattiren är mellan 350°C och 700°C, företrädesvis mellan 400°C och 650°C. 10 15 20 25 30 35 40 45 533 883 4 Uppfirmingen avser också användning av skärverktygsskär enligt ovan för bearbetning av stål, gjut- järn, superlegeringar och härdat stål vid skärhastighet från 50 - 2000 m/min, företrädesvis från 50 till 1500 m/min, med en genomsnittlig matning av 0,01 - 1,0 min/varv, företrädesvis från 0,01 till 0,6 mm/varv beroende på skäroperationen.
Exempel 1 Beläggningama i Tabell 1 utfälldes med ljusbågsförångning på följande PcBN-skär: Sl med 60 vo1% cBN, en genomsnittlig cBN-komstorlek på ca 2 um och en bindefas innehållande 86 vikt% Ti(C,N), 5 vikt% ASTM F75 legering (huvudsaklig sammansättning: 62 vikt% Co + 28,5 vikt% Cr + 6 vikt% Mo), och resten innehållande huvudsakligen TiB2 och AlgOg.
S2 med 60 vo1% cBN, en genomsnittlig cBN-komstorlek på ca 2 um och en bindefas innehållande 86 vikt% Ti(C,N), 5 vikt% Incone1625 legering (huvudsaklig sammansättning: 28,5 vikt% Cr + 9 vikt% Mo + 3 vikt% Nb + rest Ni), och resten innehållande huvudsakligen TiB2 och Al2O3.
S3 med 50 vo1% cBN, en genomsnittlig cBN-korristorlek på ca 1 um och en bindefas innehållande 91 vikt% Ti(C,N) och resten innehållande huvudsakligen TiBz och Al203.
S4 med 90 vo1% cB N, en genomsnittlig cBN-komstorlek på ca 4 um och en bindefas innehållande huvudsakligen AlN och resten innehållande huvudsakligen AlBz.
S5 med 90 vol% cBN, en genomsnittlig cBN-komstorlek på ca 20 um och en bindefas innehållande huvudsakligen AlN och resten innehållande huvudsakligen AlBg.
Före utfállningen rengjordes skären med ultralj udsbad i en alkalisk lösning och alkohol. Belägg- ningskammaren evakuerades till ett bastryck på mindre än 2.0xl0'3 Pa, varefter skären sputtrades rena med Ar joner. Beläggningen utfálldes från lcgerade eller sammansatta katoder i 99,995% ren N; atmosfären vid ett totalt tryck av 2-6 Pa, med hjälp av en substratlörspänning på -20 till -60 V och en förångningsström av 60-200 A. Katodema valdes för att ge sammansättning av skikt A re- spektive skikt B och monterades på motsatta sidor av beläggningskarnmaren för att få den nanola- minerade strukturen genom fixturrotation. Den genomsnittliga individuella tjockleken varierades genom att förändra katodström (60-200 A) och rotationshastighet på fixturen (1-5 varv/min). Den totala skikttjockleken var cirka 2 um för alla skär och utfállningstemperaturen var 450 °C.
Fig 1 visar ett exempel på en SEM-bild av en Ti0,3gAl0_62N/'l'i0_g6Si0_14N nanolaminerad struktur (be- läggning 1) med en kolunmär mikrostruktur genom hela den nanolaminerade strukturen. De enskilda skikten är tydliga, vilket tyder på minimal blandning mellan angränsande skikt, och den individuella skikttjockleken varierar på grund av 3-faldig ñxturrotation.
Den totala genomsnittliga sammansättningen av beläggningarna mättes med energidispersiv röntgenspektroskopi (EDS) ytanalys med hjälp av en LEO Ultra 55 svepelektronmikroskop med ett Thermo N oran EDS-detektor vid 10 kV. Data utvärderades med hjälp av programvaran N oran sy- stem six (NSS ver 2). 10 15 533 883 5 Tabell 1 .
Sammansättning skikt A sammansättning skütt B Genomsnittlig sammansättning Sklktflodtlek Beläggning Beskrivning (metall a1.%) (metall 111%) (a1.%) (n m) TI Al S1 Ma1 Ti Al Si Me2"" 'F Al SI Me1 Me2"' N A B Enl. uppfinning 1 TAlNfFlSiN' 38 62 0 0 86 0 14 0 31.9 12.6 4.1 0.0 0.0 51.4 5 8 2 TlAlN/HSIN' 38 62 0 0 86 0 14 0 39.1 5.7 5.6 0.0 0.0 49.6 4 17 3 TlAlNffiSiN' 38 62 0 0 86 0 14 0 26.1 21.2 2.2 0.0 0.0 50.4 11 5 4 TlAlNlïlSlN' 38 62 0 0 86 0 14 0 34.3 11.8 4.5 0.0 0.0 49.4 3 5 5 TiAlNfflSiN' 38 62 0 0 86 0 14 0 27.9 18.5 2.9 0.0 0.0 50.6 24 17 6 TiAlNfT|SiN"”" 38 62 0 0 66 0 14 0 32.9 12.7 4.3 0.0 0.0 50.1 5 8 7 T|AINfl1SiN"" 38 62 0 0 86 0 14 0 31.4 14.4 3.8 0.0 0.0 50.3 7 8 8 T|AlNffiSiN' 50 50 0 0 86 0 14 0 33.1 13.1 3.4 0.0 0.0 50.5 10 9 9 TIAINITiSiN' 38 62 0 0 93 0 7 0 35.3 13.6 1.9 0.0 0.0 49.1 6 8 10 TlAlNlTlSlN' 38 62 0 0 93 0 7 0 32.1 16.3 1.7 0.0 0.0 50.0 9 6 11 TAlN/TlSiN' 50 50 0 0 93 0 7 0 38.7 10.4 2.0 0.0 0.0 48.9 5 8 12 'FlAlNfHSiYN' 38 62 0 0 84 0 12 4 29.5 16.7 2.8 0.0 1.0 50.1 11 10 13 TAlN/TiSiYN' 38 62 0 0 83 0 9 8 31.9 12.8 2.6 0.0 2.3 50.4 4 6 14 TIAINITiSiYN' 38 62 0 0 79 0 7 14 28.7 16.7 1.6 0.0 3.3 49.8 8 7 15 TiAlNlTiSNN' 38 62 0 0 82 0 11 7 32.5 13.9 3.1 0.0 2.0 48.5 7 9 16 TiAlN/TiSNN' 38 62 0 0 76 0 9 15 27.0 17.7 2.1 0.0 3.3 50.0 10 8 17 HAINJTISNN' 50 50 0 0 70 0 7 23 32.4 9.5 2.1 0.0 7.1 48.8 5 8 18 TlAlNíTlsiNbN' 38 82 0 0 85 0 10 5 31.1 13.8 2.9 0.0 1.4 51.0 9 12 19 TlAINITiSíNbN' 38 62 0 0 76 0 8 14 27.9 16.8 1 .9 0.0 3.3 50.1 8 7 20 TlAlNlTiSiNbN' 38 82 0 0 89 0 6 25 28.1 14.3 1.6 0.0 6.6 51.3 5 6 21 TnAlNlTiâiAlN' 38 62 0 0 67 21 12 0 29.4 18.4 3.6 0.0 0.0 48.6 5 8 22 TIAINfHSIAIN' 38 62 0 0 55 39 8 0 22.3 25.9 1.6 0.0 0.0 50.3 5 6 23 TiAlNffiSiAlN' 38 62 0 0 60 32 8 0 24.5 22.8 2.1 0.0 0.0 50.7 6 7 24 TiAIYNITiSIN' 38 61 0 1 86 0 14 0 33.8 11.9 4.2 0.4 0.0 49.8 6 9 25 TIAIYNITiSIN' 37 59 0 4 86 0 14 0 33.4 12.3 4.2 1.0 0.0 49.1 5 7 28 TiANN/TiSiN' 38 61 0 1 66 0 14 0 32.2 11.7 4.2 0.4 0.0 51.5 5 8 27 TIAIVNTHSIN' 37 59 0 4 86 0 14 0 33.7 12.6 3.9 1.0 0.0 48.8 6 8 28 TiAINbNITiSIN' 38 61 0 1 86 0 14 0 34.0 12.5 4.3 0.4 0.0 48.9 6 9 29 TIAlNbNmSiN' 37 59 0 4 86 0 14 0 33.3 11.2 4.2 1.0 0.0 50.3 5 8 30 T|A|ZrNffiSiN° 38 61 0 1 86 0 14 0 31.2 14.4 3.9 0.5 0.0 50.1 7 31 TIAIZrNITISiN' 37 59 0 4 86 0 14 0 31.3 13.3 4 0 1.1 0.0 50.3 7 9 32 TlAllrN/TISNN' 38 61 0 1 76 0 9 15 28.9 13.0 2.6 0.4 4.3 50.8 5 7 33 TiAIZrNITISiYN' 37 59 0 4 84 0 12 4 32.9 11.3 3.7 0.9 1.2 49.9 5 8 34 TlANN/TISIAIN' 37 59 0 4 60 32 8 0 22.8 22.9 2 .1 0.9 0.0 51.3 6 7 Jämförande 35 TlN/TESIN' 100 0 0 0 86 0 14 0 45.4 0.0 4.1 0.0 0.0 50.5 9 12 36 TiAISlN/T ISIN' 61 32 7 0 93 0 7 0 36.7 8.5 3.5 0.0 0.0 50.3 10 7 37 TlAlN/TiSiN"*' 38 0 0 86 0 14 0 27.6 19.2 2.7 0.0 0.0 50.6 130 80 38 1"|Nfl'lAlSiN"" 100 0 0 0 61 32 7 0 39.3 8.7 1.9 0.0 0.0 50.1 110 130 39 TlAlN 37.6 82.4 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - ~ - - ~ 50.4 - - 40 TiSiN 66.4 0.0 13.6 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 49.5 - - 41 'fiSiN 92.8 0.0 7.2 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 49.6 - - 42 TlAlSiN 61.1 32.0 6.9 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 50.0 - - 43 ïïâiNfl-TLAIN” 85.9 0.0 14.1 0. 38.0 62.0 0.0 0.0 N (at.%): 51 .1/495 1080 1250 44 TlAlN + TiSiN" 38.3 61.7 0.0 0.0 86.0 0.0 14.0 0.0 N (81%): 5011505 1140 870 ') sammansättningen for enskilda skikt lr en uppskattning från motsvarande slngelskikt ") Konstant skikttjocklek '”) MeZ-ínnaháll exklusive Al. som har en egen kolumn ”"*) Ett buttanskikl Ti., “AIONN (0.3 pm tjuddek) och ett toppsklkt Tio ”Alu uN (0.3 pm) ingår till en total tjocklek om 2 un.
Exempel 2.
Beläggningar 1, 3, 6, 39-44 på S1 och S2 skär testades under följande villkor: Geometñ: CNGA120408S Applikation: Längdsvarvning Arbetsstyckematerial: Sätthärdat stål (16MnCr5) Skärhastighet: 200 m/min Matning: 0,1 nun/varv Skärdjup: 0,15 mm Livsläxxgdskriteriuxn: Egghaveri Resultaten visas i tabell 2. 20 25 30 35 45 533 883 6 Figur 2 visar SEM bilder av använda eggar av S1 skär efter 24 minuters svarvning med (a) jämfö- rande beläggning 40 och (b) uppfmningsenlig beläggning 1. Det är tydligt att den uppfinningsenliga beläggningen uppvisar förbättrade grop- och eggförslitningsegenskaper Exempel 3.
Beläggningar 1-6, 35-41, 43-44 på S3 skär testades under följande villkor: Geometri: RCGN0803MOS Applikation: Längdsvarvníng Arbetsstyckematerial: Sätthärdat stål (l6MnCr5) Skärhastighet: 200 m/min Matning: 0,1 rum/varv Skärdjup: 0,15 mm Livslängdsluiterium: Egghaveri Resultaten visas i tabell 2.
Exempel 4.
Beläggningama 6, 39, 40 på S4 skär testades under följande villkor: Geometri: CN MN 1 2041 2S Applikation: Planing Arbetsstyckematerial: AISI A48-40B Skärhastighet: 1100 rn/min Matning: 0,3 min/varv Skärdjup: l mm Livslängdskriterium: Egghaveri Resultaten visas i tabell 2.
Exempel 5.
Beläggningarna 6, 39, 40 på S5 skär testades under följande villkor: Geometri: CNMNl20412S Applikatíon: Längdsvarvning Arbetsstyckematerial: AISI A48-45B Skärhastighet: 1100 m/min Matning: 0,4 mm/varv Skärdjup: 2 mm Livslängdaskriteriuin: Egghaveri Resultaten visas i tabell 2. 533 883 Tab ell 2.
Exempel '2 Exempel 3 Exempel 4 Exsmgel 5 Belfiggrflng Lrvslø (mm) . . _ Grup Egg Smk” 52mm Gmp Egg Lrvslangd (mun) Lvvslangd (mm) Ltvslengd (min) Enl. uppfinning 1 God God 36 33 God God 27 - ~ 2 - - - - God Medium 24 - - 3 God/Medium God 33 31 Medium God 27 ~ - 4 ~ - - - GodlMedIum God/Medium 21 - \ ~ 5 - _ - - God/Medlum Medium 71 - - 6 God God 35 30 God God 30 90 60 Jlmßnndo 35 - - - - Medium Medium 18 - - 36 - - - - God Medium/Dålig 21 ~ > 37 - - - - God Dàllg 1 5 - - 36 - - - - Gm sang 1s - - ae oaug sm 21 21 bang soc 15 eo 45 40 God Dålig 27 24 GodlMedium Dfllig 21 7D 50 41 Medium Medium 24 24 Medium Medium 18 42 God/Maiiurn Dålig 21 24 ~ - - - 43 Medium Madmm 15 15 God/Medium Medlum/Dálig 15 ~ 44 Gnd Medium/Dålig 15 18 God MBdium/Dàllg 18 - Det är uppenbart från exemplen ovan att skär enligt uppfinníngen visar ökade prestanda med förbätt- 5 rade egg- och gropförslítningsegenskaper.

Claims (9)

10 15 20 25 30 35 40 45 50 533 883 Krav
1. l. Skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning bestående av en kropp, antingen solid eller fäst på ett underlag, på vilken deponerats en hård och slitstark PVD-beläggning k ä n n e t e c k n a t av att nämnda kropp är baserad på polykristallin kubisk bomitrid (PcBN), innehållande minst 30 vol% kubisk bornitridfas (cBN) i en bindefas innefattande minst en nitrid, borid, oxid, karbid eller karbonitrid av ett eller flera element tillhörande grupperna 4, 5 och 6 i det periodiska systemet och Al, och av att nämnda beläggning innefattar en kolunmär och polykristallin nanolamínerad struktur av altemerande skikt A och B, där skikt A är (TiwpAlxMellgNa där 0.30 0,45 V, Nb, Mo och W, skikt B är (Ti1_y.,Si,Me2,)Nb där 0,05 z<0,4, 0,9 med en tjocklek mellan 0,5 och 10 um, företrädesvis mellan 0,5 och 5 um, en genomsnittlig kolumn- bredd mellan 20 och 1000 nm, och en medeltjocklek för skikt A och B mellan l nm och 50 nm.
2. Skärverktygsskär enligt krav 1 k ä n n e t e c k n a t av att skikt A och B omfattar en fasblaridning av kubiska och hexagonala strukturer, företrädesvis bara kubisk fas, som bestäms med rönt- gendiffraktion.
3. Skärverktygsskär enligt något av krav 1 och 2 k ä n n e t e c k n at av att z = p = 0.
4. Skärverktygsskär enligt något av föregående krav k ä n n e t e e k n a t av att nämnda beläggning innefattar en inre singel- och/eller multiskiktbeläggriirxg av TiN, TiC, Ti (GN) eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Al)N och/eller en yttre singel- och/eller multiskiktbeläggning av TiN, TiC, Ti (C,N), (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, till en total skikttjocklek, inbegripet tjockleken av den nanolaminerade strukturen, på mellan 0,5 och 20 um, företrädesvis mellan 0,5 och 10 um.
5. Skärverktygsskär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att nämnda PcBN-kropp innehåller 30 vol% cBN-kornstorlek mellan 0,5 um och 4 um och en bindefas innehållande 80 vikt% vikt% och resten innehållande huvudsakligen andra föreningar som består av två eller flera av ele- menten Ti, N, B, Ni, Cr, Mo, Nb, Fe, Al och 0.
6. Skärverktygsskär enligt något av krav 1 till 4 k ä n n e t e e k n at av att nämnda PcBN-kropp innehåller 45 vol% cBN-komstorlek mellan 0,5 um och 4 um, företrädesvis mellan 1 um och 3 um, och en bindefas innehållande 80 vikt% elementen Ni, Co, Cr, och Mo
7. Skärverktygsskär enligt något av krav 1 till 4 k ä n n e t e c k n at av att nämnda PcBN-ldopp innehåller 70 vol%< cBN, företrädesvis 80 vol% kornstorlek antingen mellan 0,5 um och 10 um, företrädesvis mellan 1 um och 6 um, eller mellan 10 um och 25 um, företrädesvis mellan 15 um och 25 um, och ett bindemedel som innehåller föreningar av två eller flera av elementen Al, B, N, W, Co, Ni, Fe, Al och O.
8. Metod att tillverka ett skärverktygsskär enligt krav l k ä n n e t e c k n a t av att nämnda belägg- ning har utfállts med ljusbågsförångriing av legerade eller sannnansatta katoder som ger den önskade sammansättningen av (Ti,Al,Mel )N- och (Ti,Si,Me2)N-skikt med en förångnirigsström ström mellan 50 A och 200 A, i en Ar+N2 atmosfär, företrädesvis i en ren Nyatmosfär, vid ett totalt 533 883 9 tryck av 0,5 Pa till 9,0 Pa, företrädesvis 1,5 Pa till 5,0 Pa, en substratfórspänning mellan -10 V och - 300 V, företrädesvis mellan -20 V och -200 V, vid 350°C till 700°C, företrädesvis 400°C till 650°C.
9. Användning av skärverktygsskär enligt något av krav 1 till 7 för bearbetning av stål, gjutjärn, superlegeringar och härdat stål vid skärhastighet från 50 - 2000 m/min, företrädesvis från 50 till 1500 m/min, med en genomsnittlig matning på 0,01 - 1,0 mrn/varv, företrädesvis från 0,01 till 0,6 rum/varv beroende på skäroperation.
SE0900738A 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg SE533883C2 (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900738A SE533883C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg
US13/375,602 US8864861B2 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
KR1020117028854A KR101759475B1 (ko) 2009-06-01 2010-05-28 나노적층식 코팅 절삭 공구
EP10783657.9A EP2446066B1 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
CN201080024204.9A CN102449195B (zh) 2009-06-01 2010-05-28 纳米叠层涂覆的切削工具
PCT/SE2010/050581 WO2010140959A1 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
JP2012513904A JP2012528733A (ja) 2009-06-01 2010-05-28 ナノ積層コーティングされた切削工具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900738A SE533883C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0900738A1 SE0900738A1 (sv) 2010-12-02
SE533883C2 true SE533883C2 (sv) 2011-02-22

Family

ID=43297941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0900738A SE533883C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8864861B2 (sv)
EP (1) EP2446066B1 (sv)
JP (1) JP2012528733A (sv)
KR (1) KR101759475B1 (sv)
CN (1) CN102449195B (sv)
SE (1) SE533883C2 (sv)
WO (1) WO2010140959A1 (sv)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8409695B2 (en) 2010-05-28 2013-04-02 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
RU2602577C2 (ru) * 2011-06-30 2016-11-20 Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Пфеффикон Нанослойное покрытие для высококачественных инструментов
EP2636764B1 (en) * 2012-03-07 2014-07-09 Seco Tools Ab Nanolaminated coated cutting tool
JP5896326B2 (ja) * 2012-10-02 2016-03-30 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6016271B2 (ja) * 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP6016269B2 (ja) * 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP6016270B2 (ja) * 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
PL3017079T5 (pl) 2013-07-03 2020-12-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Sposób wytwarzania warstw tixsi1-xn
JP5663813B2 (ja) * 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP5663815B2 (ja) * 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
JP5663814B2 (ja) * 2013-07-03 2015-02-04 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
DE102013011073A1 (de) * 2013-07-03 2015-01-08 Oerlikon Trading Ag, Trübbach TlxSi1-xN Schichten und ihre Herstellung
RU2538060C1 (ru) * 2013-07-23 2015-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN105593397A (zh) * 2013-09-05 2016-05-18 山高刀具公司 一种涂覆的切削工具和涂覆切削工具的方法
JP6459391B2 (ja) * 2013-10-31 2019-01-30 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性にすぐれた表面被覆切削工具
RU2585570C1 (ru) * 2014-12-01 2016-05-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
WO2017073787A1 (ja) * 2015-10-30 2017-05-04 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
JP6778413B2 (ja) * 2015-10-30 2020-11-04 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
US9997406B2 (en) 2016-02-04 2018-06-12 International Business Machines Corporation Columnar interconnects and method of making them
EP3228726A1 (en) * 2016-04-08 2017-10-11 Seco Tools Ab Coated cutting tool
US9748173B1 (en) 2016-07-06 2017-08-29 International Business Machines Corporation Hybrid interconnects and method of forming the same
US9875966B1 (en) 2016-08-01 2018-01-23 International Business Machines Corporation Method and structure of forming low resistance interconnects
US9793156B1 (en) 2016-09-12 2017-10-17 International Business Machines Corporation Self-aligned low resistance metallic interconnect structures
RU2639425C1 (ru) * 2016-12-20 2017-12-21 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP7064438B2 (ja) * 2017-04-25 2022-05-10 住友電気工業株式会社 切削工具およびその製造方法
EP3676422B1 (en) * 2017-08-31 2023-10-18 Walter AG Wear resistant pvd tool coating containing tialn nanolayer films
US10224242B1 (en) 2017-11-14 2019-03-05 International Business Machines Corporation Low-resistivity metallic interconnect structures
US10600686B2 (en) 2018-06-08 2020-03-24 International Business Machines Corporation Controlling grain boundaries in high aspect-ratio conductive regions
CN109763098A (zh) * 2019-01-09 2019-05-17 纳狮新材料(浙江)有限公司 具有复合涂层的机械部件及其制备方法
CN109763093A (zh) * 2019-01-09 2019-05-17 纳狮新材料(浙江)有限公司 具有复合涂层的机械部件及其制备方法
WO2022003014A1 (en) * 2020-07-01 2022-01-06 Ab Sandvik Coromant A coated cutting tool
CN111910172B (zh) * 2020-07-24 2022-10-18 株洲钻石切削刀具股份有限公司 复合式涂层pcbn切削刀具及其制备方法
WO2022138146A1 (ja) * 2020-12-25 2022-06-30 京セラ株式会社 インサートおよび切削工具
CN112981158B (zh) * 2021-02-04 2022-08-12 吉林大学 一种立方氮化硼复合纳米聚晶的制备方法
CN118880239B (zh) * 2024-09-30 2024-12-13 赣州澳克泰工具技术有限公司 一种复合涂层刀具及其制备方法
KR102757865B1 (ko) 2024-11-01 2025-01-21 우창기계(주) 알루미늄 및 티타늄 질화물 코팅을 이용한 공구 수명 개선방법

Family Cites Families (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5997579A (ja) * 1982-11-26 1984-06-05 東芝タンガロイ株式会社 複合焼結体及びその製造方法
US5330853A (en) 1991-03-16 1994-07-19 Leybold Ag Multilayer Ti-Al-N coating for tools
JP2892231B2 (ja) 1992-09-16 1999-05-17 健 増本 Ｔｉ−Ｓｉ−Ｎ系複合硬質膜及びその製造方法
EP0592986B1 (en) 1992-10-12 1998-07-08 Sumitomo Electric Industries, Limited Ultra-thin film laminate
JP2979921B2 (ja) * 1993-09-30 1999-11-22 住友電気工業株式会社 超薄膜積層体
JP3416937B2 (ja) * 1994-10-28 2003-06-16 住友電気工業株式会社 積層体
DE69526301T2 (de) 1994-10-28 2002-12-05 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Mehrschichtiges Material
JPH08197306A (ja) * 1995-01-26 1996-08-06 Mitsubishi Materials Corp 高強度および高靭性を有する立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
SE518145C2 (sv) 1997-04-18 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
WO1999040233A1 (en) 1998-02-04 1999-08-12 Osg Corporation Multilayer coated tool
JP3031907B2 (ja) 1998-03-16 2000-04-10 日立ツール株式会社 多層膜被覆部材
US6316094B1 (en) * 1998-07-22 2001-11-13 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Cubic boron nitride sintered body
JP3248897B2 (ja) * 1999-03-19 2002-01-21 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3248898B2 (ja) 1999-03-19 2002-01-21 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3343727B2 (ja) 1999-05-19 2002-11-11 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3347687B2 (ja) * 1999-05-19 2002-11-20 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
US6599062B1 (en) 1999-06-11 2003-07-29 Kennametal Pc Inc. Coated PCBN cutting inserts
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
JP2003165003A (ja) * 2001-11-28 2003-06-10 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材
SE526338C2 (sv) 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning
US7592077B2 (en) * 2003-06-17 2009-09-22 Kennametal Inc. Coated cutting tool with brazed-in superhard blank
US7455918B2 (en) 2004-03-12 2008-11-25 Kennametal Inc. Alumina coating, coated product and method of making the same
DE102006004394B4 (de) 2005-02-16 2011-01-13 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe-shi Hartfilm, Mehrschichthartfilm und Herstellungsverfahren dafür
JP4522285B2 (ja) * 2005-02-17 2010-08-11 日立ツール株式会社 耐摩耗皮膜及び耐摩耗皮膜被覆切削工具及び耐摩耗皮膜の製造方法
AT8346U1 (de) * 2005-04-29 2006-06-15 Ceratitzit Austria Ges M B H Beschichtetes werkzeug
SE529161C2 (sv) 2005-06-22 2007-05-22 Seco Tools Ab Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
US20070032369A1 (en) * 2005-08-03 2007-02-08 Franzen Jan M High content CBN materials, compact incorporating the same and methods of making the same
JP4713413B2 (ja) * 2006-06-30 2011-06-29 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその製造方法
JP5188133B2 (ja) 2006-09-27 2013-04-24 京セラ株式会社 切削工具
SE0602814L (sv) * 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
EP2098611B1 (en) * 2008-03-07 2013-02-13 Seco Tools AB Layered coated cutting tool
JP5315527B2 (ja) * 2008-09-29 2013-10-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
WO2010140959A1 (en) 2010-12-09
KR101759475B1 (ko) 2017-07-19
CN102449195B (zh) 2014-08-20
CN102449195A (zh) 2012-05-09
EP2446066A4 (en) 2016-04-20
US20120114437A1 (en) 2012-05-10
JP2012528733A (ja) 2012-11-15
EP2446066B1 (en) 2017-05-03
EP2446066A1 (en) 2012-05-02
US8864861B2 (en) 2014-10-21
SE0900738A1 (sv) 2010-12-02
KR20120020150A (ko) 2012-03-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE533883C2 (sv) Nanolaminerat belagt skärverktyg
SE533884C2 (sv) Nanolaminerat belagt skärverktyg
JP5583224B2 (ja) 金属、超硬合金、サーメット又はセラミックスからの被覆物品並びに該物品の被覆法
KR101685446B1 (ko) 절삭 공구
JP5782019B2 (ja) 切削工具
KR101979041B1 (ko) 고성능 공구용 나노층 코팅
KR102027610B1 (ko) 피복 절삭 공구 및 그의 제조 방법
CN102378831B (zh) 用于产生高温的金属切割领域的镀膜切割工具
EP2893052B1 (en) Ti-al-ta-based coating exhibiting enhanced thermal stability
SE529161C2 (sv) Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
KR20140133561A (ko) 나노적층형의 코팅된 절삭 공구
SE529223C2 (sv) Belagt skärverktyg innefattande hexagonal h-(Mel,Me2)Xfas
KR101710501B1 (ko) 절삭 공구
EP3041973A1 (en) A coated cutting tool and a method for coating the cutting tool
JP2008264971A (ja) 硬質皮膜切削工具
SE532050C2 (sv) Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
Kim et al. Mechanical properties and cutting performance of Cr–Al–N hybrid coated micro-tool for micro high-speed machining of flexible fine die
Varela et al. NbC-Ni coatings deposited by DC reactive magnetron sputtering: Effect of Ni content on mechanical properties, thermal stability and oxidation resistance
JP4578382B2 (ja) 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆工具
JP5027491B2 (ja) 表面被覆切削工具
JP2015047690A (ja) 切削工具用の耐火性コーティング
JP2009160692A (ja) 被覆工具
JP6759536B2 (ja) 被覆切削工具
WO2024079891A1 (ja) 切削工具
JP2010089184A (ja) 被覆切削工具基材

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed