Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

RU2353473C2 - Способ изготовления трубчатой мишени и ее применение - Google Patents

Способ изготовления трубчатой мишени и ее применение Download PDF

Info

Publication number
RU2353473C2
RU2353473C2 RU2006141645/02A RU2006141645A RU2353473C2 RU 2353473 C2 RU2353473 C2 RU 2353473C2 RU 2006141645/02 A RU2006141645/02 A RU 2006141645/02A RU 2006141645 A RU2006141645 A RU 2006141645A RU 2353473 C2 RU2353473 C2 RU 2353473C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tube
molybdenum
alloy
blank
item
Prior art date
Application number
RU2006141645/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2006141645A (ru
Inventor
Петер АБЕНТУНГ (AT)
Петер АБЕНТУНГ
Карл ХУБЕР (AT)
Карл Хубер
Харальд ЛАКНЕР (AT)
Харальд ЛАКНЕР
Герхард ЛЯЙХТФРИД (AT)
Герхард ЛЯЙХТФРИД
Петер ПОЛЬЧИК (AT)
Петер ПОЛЬЧИК
Христиан ВЕРАТШНИГ (AT)
Христиан ВЕРАТШНИГ
Original Assignee
Планзее ЗЕ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36952522&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2353473(C2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Планзее ЗЕ filed Critical Планзее ЗЕ
Publication of RU2006141645A publication Critical patent/RU2006141645A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2353473C2 publication Critical patent/RU2353473C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/20—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces by extruding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • B22F5/10—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product of articles with cavities or holes, not otherwise provided for in the preceding subgroups
    • B22F5/106—Tube or ring forms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F7/00—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression
    • B22F7/06—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools
    • B22F7/08—Manufacture of composite layers, workpieces, or articles, comprising metallic powder, by sintering the powder, with or without compacting wherein at least one part is obtained by sintering or compression of composite workpieces or articles from parts, e.g. to form tipped tools with one or more parts not made from powder
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F2998/00—Supplementary information concerning processes or compositions relating to powder metallurgy
    • B22F2998/10—Processes characterised by the sequence of their steps
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C1/00—Making non-ferrous alloys
    • C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
    • C22C1/045—Alloys based on refractory metals

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Extrusion Of Metal (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способу изготовления трубчатой мишени и может найти применение при изготовлении плоских экранов ЖК-дисплеев по тонкопленочной технологии. Трубчатая мишень состоит из трубки из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средним размером зерен поперек осевого направления менее 100 мкм и несущей трубки из немагнитного материала. Получают металлический порошок из Мо или сплава Мо со средним размером частиц по Фишеру от 0,5 до 10 мкм. Порошком заполняют эластичную пресс-форму с использованием стержня. Осуществляют холодное изостатическое прессование при давлении 100 МПа<Р<500 МПа с получением неспеченной прессовки в форме заготовки трубки. Затем проводят спекание неспеченной прессовки при температуре 1600°С<Т<2500°С в восстановительной атмосфере или вакууме. Осуществляют экструзию на оправке с нагревом заготовки трубки до температуры формования DBTT<T<(Ts минус 800°С), где DBTT - температура перехода от вязкого разрушения к хрупкому разрушению, Ts - температура плавления, с получением трубки, соединяют трубку с несущей трубкой и осуществляют механическую обработку. В результате получают трубчатую мишень, которая однородно эродирует в процессе ионного распыления, не имеет тенденции к локальному повышению скорости распыления и не приводит к какому-либо загрязнению подложки или осажденного слоя. 3 н. и 48 з.п. ф-лы.

Description

Изобретение относится к способу изготовления трубчатой мишени, содержащей трубку из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средний размером зерен поперек осевому направлению менее 100 мкм, а также несущую трубку из немагнитного материала.
Под мишенью понимается материал, который будет подвергаться ионному распылению в катодной системе распыления. Вращающиеся трубчатые мишени известны и описаны, например, в патентах США №№ US 4422916 и US 4356073. При ионном распылении трубчатая мишень вращается вокруг находящегося в трубке магнетрона. Трубчатые мишени применяют преимущественно для получения покрытий на больших площадях. Вращением трубчатой мишени достигается эффект однородной эрозии распыляемого материала. Поэтому трубчатые мишени характеризуются высокой степенью расходования материала мишени и большим сроком службы мишени, что имеет значение, в частности, в случае дорогих материалов покрытия, как в случае с молибденом. Так, степень расходования для плоских мишеней составляет примерно от 15 до 40%, а для трубчатых мишеней - примерно от 75 до 90%.
Охлаждение мишени, осуществляемое в пространстве внутри трубчатой мишени, намного более эффективно, чем в случае плоских мишеней, как результат более благоприятного теплопереноса в трубке, что делает возможной более высокие скорости нанесения покрытия. Чтобы гарантировать, что охлаждающая вода не вытечет даже при высоком израсходовании мишени, а также с тем, чтобы повысить способность нести механическую нагрузку и облегчить закрепление в системе ионного распыления, трубчатые мишени обычно соединяют с несущей трубкой. Несущая трубка должна в этом случае быть выполнена из немагнитного материала с тем, чтобы не взаимодействовать с магнитным полем, которое определяет область эрозии.
Как отмечалось, применение трубчатых мишеней выгодно всегда, когда покрывают подложки большой площади. В случае молибдена как материала мишени это имеет место, например, при производстве жидкокристаллических дисплеев по тонкопленочной технологии (LCD-TFT) и для нанесения покрытий на стекла.
Описано множество способов изготовления трубчатых мишеней. Во многих из этих способов принят жидкофазный технологический маршрут, такой как, например, непрерывное и центробежное литье. Последнее описано в документе DE 19953470. Из-за повышенной температуры плавления молибдена и возникающих в результате проблем с поиском подходящего материала пресс-формы эти пути осуществления изготовления мишеней не могут применяться для молибдена и его сплавов.
Трубчатые мишени могут также быть изготовлены путем намотки толстой полосы вокруг стержня и сваривания зонт контакта. Однако сварной шов имеет более крупнозернистую микроструктуру и поры, что ведет к неоднородной эрозии и, как следствие, к разным толщинам нанесенного слоя. Более того, в случае молибдена область сварного соединения является чрезвычайно хрупкой и, следовательно, подвержена риску растрескивания.
Другая трубчатая мишень известна из патента США № US 4356073. Изготовление происходит в этому случае путем осаждения распыляемого материала на опорной трубке-подложке с помощью плазменного напыления. Однако даже при использовании методики вакуумного плазменного напыления полностью плотные трубчатые мишени не могут быть получены при адекватно низком содержании газа. Электрохимическое осаждение, какое используется для Cr и Sn, также не годится для молибдена и его сплавов.
В EP 0500031 описано изготовление трубчатой мишени горячим изостатическим прессованием. В этом случае опорную трубку помещают в контейнер так, чтобы получить между опорной трубкой и пресс-формой промежуточное пространство, которое наполняют порошком материала мишени. После закрывания контейнера его подвергают операции горячего изостатического уплотнения. Количество используемого порошка относительно массы готовой трубчатой мишени является в этом случае неблагоприятно высоким.
В патентах США №№ US 6878250 и US 6946039 описано применение РКУЭ (равноканальной угловой экструзии) для изготовления мишени для распыления. В случае молибденовых сплавов со сравнительно высокими значениями kf это приводит к высокому уровню износа инструмента.
Поэтому цель изобретения заключается в том, чтобы предложить способ изготовления трубчатой мишени, который, с одной стороны, является недорогим, а, с другой стороны, дает продукт, который однородно эродируется в процессе ионного распыления, не имеет тенденции к локальному повышению скорости распыления и не приводит к какому-либо загрязнению подложки или осажденного слоя.
Эта цель достигается независимыми пунктами формулы изобретения.
Чтобы достичь достаточно тонкозернистой структуры, активности при спекании и, следовательно, плотности, используют металлический порошок с размером частиц по Фишеру от 0,5 до 10 мкм. Для изготовления трубчатых мишеней из чистого Mo благоприятно использовать порошок Mo с чистотой металла более 99,9% по массе. Если трубчатую мишень изготавливают из сплава Mo, то используют либо порошковые смеси, либо предварительно сплавленные порошки, причем размер частиц лежит также в диапазоне от 0,5 до 10 мкм. Порошком заполняют эластичную пресс-форму, в которую уже помещен стержень. Этот стержень определяет внутренний диаметр заготовки трубки, с допуском на уплотнение во время операции прессования и на усадку при спекании. В качестве материала для такого стержня подходит обычная инструментальная сталь. После заполнения эластичной пресс-формы металлическим порошком и закрывания эластичной пресс-формы непроницаемым для жидкостей образом, ее помещают в сосуд высокого давления холодного изостатического пресса. Уплотнение происходит при давлениях от 100 до 500 МПа. После этого неспеченную прессовку вынимают из эластичной пресс-формы и удаляют стержень. Затем эту неспеченную прессовку спекают при температуре в интервале от 1600°C до 2500°C в восстановительной атмосфере или в вакууме. При температуре ниже 1600°C соответствующее уплотнение не достигается. Выше 2500°C начинается нежелательное укрупнение зерна. Выбираемая температура спекания зависит от размера частиц порошка. Неспеченные прессовки, полученные из порошка с размером частиц по Фишеру в 0,5 мкм, могут спекаться при температуре спекания всего 1600°C до плотности более 95% от теоретической плотности, тогда как неспеченные прессовки, которые получены из порошка с размером частиц по Фишеру в 10 мкм, требуют температуры спекания приблизительно 2500°C. Если размерная точность в процессе прессования недостаточна, что обычно имеет место, спеченную заготовку подвергают механической обработке (на станке). Наружный диаметр спеченной заготовки в этом случае определяется внутренним диаметром контейнера экструзионного пресса. Чтобы сделать возможной беспроблемное помещение экструдированной заготовки в контейнер экструзионного пресса, наружный диаметр спеченной заготовки должен быть несколько меньше, чем внутренний диаметр контейнера. В свою очередь, внутренний диаметр определяется диаметром оправки.
Чтобы при экструзии уменьшить потери молибдена на выходе, выгодно механически прикрепить к одному концу заготовки молибденовой трубки концевую стальную деталь. Это механическое прикрепление может быть проведено, например, с помощью винтового или болтового соединения. Наружный и внутренний диаметр стальной концевой детали заготовки трубки в этом случае соответствуют наружному и внутреннему диаметру заготовки молибденовой трубки.
Для экструзии заготовку трубки нагревают до температуры T, где DBTT < T < (Ts-800°C). Под DBTT здесь следует понимать температуру перехода от вязкого разрушения к хрупкому разрушению. При более низких температурах в большей степени происходит растрескивание. Верхний предел температуры задается температурой плавления (Ts) молибденового сплава минус 800°C. Это гарантирует, что при операции экструзии не произойдет нежелательного укрупнения зерна. Начальный нагрев может в этом случае быть проведен в обычной газовой или электрически нагреваемой печи (например, в печи с вращающимся подом), причем следует учесть, что регулирование расхода газа должно быть выбрано так, чтобы значение лямбда было нейтральным или отрицательным. Чтобы получить более высокие температуры экструзии, может проводиться индукционный подогрев. После операции начального нагрева заготовку трубки обкатывают в стеклянной порошковой смеси. После этого заготовку трубки помещают в контейнер экструзионного пресса и прессуют на оправке через экструзионную головку до соответствующего наружного или внутреннего диаметра.
Выгодно, если экструдированную трубку подвергают процессу восстановительного или рекристаллизационного отжига в восстановительной атмосфере или вакууме при температуре T, составляющей 700°C < T < 1600°C. Если температура опускается ниже нижнего предела, снижение механических напряжений является слишком малым. При температуре выше 1600°C происходит укрупнение зерна. Экструдированную трубку обрабатывают механически на внешней стороне трубки, торцевых поверхностях и, выгодным образом, на внутренней стороне трубки.
Полученную таким образом молибденовую трубку соединяют с несущей трубкой из немагнитного материала. Наружный диаметр несущей трубки приблизительно соответствует внутреннему диаметру молибденовой трубки. Кроме того, несущая трубка выходит за соответствующие концы молибденовой трубки. К качестве особо подходящих материалов для несущей трубки следует отметить медные сплавы, аустенитные стали, титан или титановые сплавы.
Подходящими способами соединения являются как те способы, которые приводят к связыванию материала, так и способы, которые ведут к облегающему соединению. Однако одним условием является то, что площадь контакта между молибденовой трубкой и несущей трубкой составляет по меньшей мере 30% от теоретически возможной площади. Если эта площадь меньше, то слишком затруднен отвод тепла. Следует также учитывать низкий коэффициент теплового расширения молибдена. Следовательно, температуру соединения нужно выбирать как можно более низкой. Если, например, соединение между молибденовой трубкой и несущей трубкой проводят с помощью процесса ковки, в ходе того, как несущую трубку помещают в молибденовую трубку и куют на оправке, должны выбираться наинизшие возможные температуры формования примерно от 500°C до 800°C. Кроме того, благоприятно, если материал несущей трубки имеет низкий предел текучести, чтобы можно было уменьшить механические напряжения, возникающие из-за пластической деформации.
В другом способе согласно изобретению заготовку молибденовой трубки экструдируют совместно с заготовкой несущей трубки. Получение молибденовой трубки в этом случае опять же основано на металлическом порошке со средним размером частиц по Фишеру 0,5-10 мкм. Заготовку трубки снова получают холодным изостатическим прессованием металлического порошка в эластичной пресс-форме с использованием стержня и спеканием в интервале от 1600°C до 2500°C.
После спекания заготовку трубки подвергают механической обработке. Внутрь заготовки трубки помещают заготовку несущей трубки из аустенитной стали. К одной или обеим концевым частям заготовки трубки посредством механического соединения (например, винтовое или болтовое соединение) присоединяют стальную трубчатую концевую деталь. Эта трубчатая концевая деталь имеет в этом случае приблизительно тот же внутренний диаметр и наружный диаметр, что и заготовка трубки. Толщина трубчатой концевой детали предпочтительно составляет от 10 до 100 мм. В свою очередь к этой трубчатой концевой детали прикрепляют заготовку несущей трубки. Это прикрепление предпочтительно проводят посредством сварного соединения.
Наружный диаметр заготовки несущей трубки может приблизительно соответствовать внутреннему диаметру заготовки молибденовой трубки или также может быть выбран так, что получают ограниченный зазор между заготовкой молибденовой трубки и заготовкой несущей трубки. Этот ограниченный зазор наполняют стальным порошком, предпочтительно из аустенитной стали. Тело полученной таким образом составной трубки нагревают до температуры формования от 900°C до 1350°C. Таким способом могут быть получены только трубчатые мишени из молибденовых сплавов, которые способны соответствующим образом деформироваться при этой температуре. Более высокую температуру экструзии нельзя выбирать из-за стали.
Полученную таким образом заготовку составной трубки экструдируют на оправке (co-экструзия), посредством чего получают составную трубку. Необязательно, за этим может следовать осуществление процесса отжига, причем температура отжига предпочтительно составляет примерно от 800°C до 1300°C.
Использование расположенного между трубками зазора, заполненного стальным порошком, оказывает эффект улучшения связи между несущей трубкой и молибденовой трубкой во время соэкструзии. Выгодной оказалась ширина зазора от 3 мм до 20 мм.
Использование стеклянного порошка в качестве смазки обеспечивает достижение эффекта отличной поверхности трубчатой мишени в случае как экструзии, так и соэкструзии, благодаря чему механическая обработка может быть сокращена до минимума. Кроме того, это гарантирует то, что трубчатая мишень не содержит пор, а также не имеет трещин по границам зерен. Было найдено, что благоприятной степенью деформации во время процесса экструзии является интервал от 40 до 80%. Степень деформации в этом случае определяется следующим образом: ((начальное поперечное сечение до экструзии минус поперечное сечение после экструзии) / начальное поперечное сечение) x 100.
После процесса экструзии/co-экструзии может быть выгодным выпрямить экструдированную трубку. Это может быть проведено с помощью процесса ковки на оправке.
Кроме того, толщина стенки по длине молибденовой трубки или составной трубки может быть также изменена с помощью последующего процесса ковки. Толщина стенки в этом случае может быть благоприятно сделана толще в области концов трубки. Область концов трубки является также областью самой большой эрозии во время использования.
Качество поверхности и размерные допуски задают соответствующей механической обработкой.
С помощью способа согласно изобретению обеспечивается то, что содержание кислорода в молибденовом сплаве составляет <50 мкг/г, предпочтительно - менее 20 мкг/г, плотность составляет более 99% от теоретической плотности, предпочтительно - более 99,8% от теоретической плотности, а средний размер зерен поперек осевому направлению составляет менее 100 мкм, предпочтительно - менее 50 мкм. Средний размер зерен определяют поперек осевому направлению, так как в случае деформированной нерекристаллизованной микроструктуры зерна вытянуты в осевом направлении, и, следовательно, точное определение размера зерен в осевом направлении становится более трудным. При обоих описанных способах можно получить молибденовые трубчатые мишени с чистотой металла более 99,99% по массе. В этом случае под чистотой металла следует понимать чистоту молибденовой трубчатой мишени без газов (О, Н, N) и С. Вольфрам также не учитывается в этой величине, что некритично для данного применения.
Для трубчатой мишени согласно изобретению, предназначенной для применения в области производства ЖК-дисплеев по тонкопленочной технологии, особенно подходящими являются также молибденовые сплавы, которые содержат от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W. Трубчатые мишени согласно изобретению могут также выгодно применяться для нанесения покрытий на стекла, в частности стекла большой площади, например, архитектурные стекла или подложки для фотоэлектрических элементов.
Ниже изобретение поясняется более подробно на одном примере.
Пример
Порошок MoO3 восстанавливали в двухстадийном процессе восстановления при 600 и 1000°C, с получением металлического порошка Mo с размером зерен 3,9 мкм. В центр закрытой на одном конце резиновой трубки диаметром 420 мм помещали стальной стержень диаметром 141 мм. Промежуточное пространство между этим стальным стержнем и резиновой стенкой заполняли порошком металлического молибдена.
После этого резиновую трубку закрывали на открытом конце с помощью резиновой крышки. Закрытую резиновую трубку помещали в холодный изостатический пресс и сжимали при давлении 210 МПа.
Неспеченная прессовка имела плотность 64% от теоретической плотности. Наружный диаметр составлял приблизительно 300 мм. Полученную таким образом неспеченную прессовку спекали в печи непрямого спекания при температуре 1900°C. Плотность после спекания составляла 94,9% от теоретической плотности.
После операции спекания заготовку трубки механически обрабатывали со всех сторон, причем наружный диаметр составлял 243 мм, внутренний диаметр - 123 мм, а длина - 1060 мм. Экструзия проводилась на 2500-тонном прессе непрямой экструзии. Заготовку трубки нагревали до температуры 1100°C в обогреваемой газом печи с вращающимся подом. Значение лямбда в этом случае устанавливали так, что атмосфера была слегка восстановительной, благодаря чему предотвращалось окисление молибдена. После начального нагрева в печи с вращающимся подом экструдированную заготовку подвергали индуктивному нагреву до температуры 1250°C и обкатывали в амортизационном сыпучем материале из стеклянного порошка, так что стеклянный порошок прилипал снаружи ко всем сторонам.
За этим следовало прессование на оправке, благодаря чему получали экструдированную трубку длиной 2700 мм, наружным диаметром 170 мм и внутренним диаметром 129 мм.
В экструдированную трубку помещали несущую трубку из аустенитной стали с толщиной стенки 6 мм. Эту сборку выпрямляли по оправке на трехкулачковой ковочной машине при температуре 500°C и слегка деформировали, в результате чего получали связь между молибденовой трубкой и несущей трубкой.

Claims (51)

1. Способ изготовления трубчатой мишени, содержащей трубку из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средним размером зерен поперек осевого направления менее 100 мкм и несущую трубку из немагнитного материала, отличающийся тем, что получают металлический порошок из Мо или сплава Мо со средним размером частиц по Фишеру от 0,5 до 10 мкм, которым заполняют эластичную пресс-форму с использованием стержня, осуществляют холодное изостатическое прессование при давлении 100 МПа<Р<500 МПа с получением неспеченной прессовки в форме заготовки трубки, затем проводят спекание неспеченной прессовки при температуре 1600°С<Т<2500°С в восстановительной атмосфере или вакууме, осуществляют экструзию на оправке с нагревом заготовки трубки до температуры формования DBTT<T<(Ts-800°С), где DBTT - температура перехода от вязкого разрушения к хрупкому разрушению, Ts - температура плавления, с получением трубки, соединяют трубку с несущей трубкой и осуществляют механическую обработку.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что спеченную заготовку трубки подвергают механической обработке.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что перед экструзией к по меньшей мере одному концу заготовки трубки прикрепляют стальную трубчатую концевую деталь, которая имеет приблизительно тот же наружный и внутренний диаметр, что и заготовка трубки.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что экструдированную трубку отжигают в восстановительной атмосфере или вакууме при температуре Т отжига 800°С<Т<1600°С.
5. Способ по п.2, отличающийся тем, что экструдированную трубку отжигают в восстановительной атмосфере или вакууме при температуре Т отжига 800°С<Т<1600°С.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что экструдированную трубку отжигают в восстановительной атмосфере или вакууме при температуре Т отжига 800°С<Т<1600°С.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
8. Способ по п.2, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
9. Способ по п.3, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
10. Способ по п.4, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
11. Способ по п.5, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
12. Способ по п.6, отличающийся тем, что несущая трубка состоит из медного сплава, предпочтительно - Cu-Cr-Zr, аустенитной стали, титана или титанового сплава.
13. Способ по любому из пп.1-12, отличающийся тем, что несущую трубку соединяют с трубкой из молибдена или молибденового сплава посредством процесса соединения, который приводит к пластической деформации несущей трубки.
14. Способ по п.13, отличающийся тем, что несущую трубку соединяют с трубкой из молибдена или молибденового сплава посредством процесса формования.
15. Способ изготовления трубчатой мишени, содержащей трубку из молибдена или молибденового сплава с содержанием кислорода менее 50 мкг/г, плотностью более 99% от теоретической плотности и средним размером зерен поперек осевого направления менее 100 мкм и несущую трубку из немагнитного материала, отличающийся тем, что получают металлический порошок из Мо или сплава Мо со средним размером частиц по Фишеру от 0,5 до 10 мкм, которым заполняют эластичную пресс-форму с использованием стержня, осуществляют холодное изостатическое прессование при давлении 100 МПа<Р<500 МПа с получением неспеченной прессовки в форме заготовки трубки, затем проводят спекание неспеченной прессовки при температуре 1600°C<T<2500°C в восстановительной атмосфере или вакууме, после чего заготовку трубки подвергают механической обработке и присоединяют по меньшей мере одну стальную трубчатую концевую деталь, к которой прикрепляют находящуюся внутри заготовки трубки заготовку несущей трубки из аустенитной стали, осуществляют экструзию на оправке с нагревом заготовки трубки до температуры формования 900<Т<1350°С с получением составной трубки и механическую обработку.
16. Способ по п.15, отличающийся тем, что составную трубку отжигают в восстановительной атмосфере или вакууме при температуре Т отжига 800°С<Т<1300°С.
17. Способ по п.15, отличающийся тем, что внутрь заготовки трубки помещают заготовку несущей трубки из аустенитной стали с зазором от 0,2 до 1 мм.
18. Способ по п.16, отличающийся тем, что внутрь заготовки трубки помещают заготовку несущей трубки из аустенитной стали с зазором от 0,2 до 1 мм.
19. Способ по п.15, отличающийся тем, что внутрь заготовки трубки помещают заготовку несущей трубки из аустенитной стали с зазором от 3 до 20 мм, который заполняют стальным порошком.
20. Способ по п.16, отличающийся тем, что внутрь заготовки трубки помещают заготовку несущей трубки из аустенитной стали с зазором от 3 до 20 мм, который заполняют стальным порошком.
21. Способ по любому из пп.1-12 и 14-20, отличающийся тем, что во время экструзии осуществляют смазывание с использованием стеклянного порошка.
22. Способ по п.13, отличающийся тем, что во время экструзии осуществляют смазывание с использованием стеклянного порошка.
23. Способ по любому из пп.1-12 и 14-20, 22, отличающийся тем, экструзию осуществляют со степенью деформации от 40 до 80%.
24. Способ по п.13, отличающийся тем, что экструзию осуществляют со степенью деформации от 40 до 80%.
25. Способ по п.21, отличающийся тем, что экструзию осуществляют со степенью деформации от 40 до 80%.
26. Способ по любому из пп.1-12, 14-20, 22, 24 и 25, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку выпрямляют на оправке с помощью процесса ковки.
27. Способ по п.13, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку выпрямляют на оправке с помощью процесса ковки.
28. Способ по п.21, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку выпрямляют на оправке с помощью процесса ковки.
29. Способ по п.23, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку выпрямляют на оправке с помощью процесса ковки.
30. Способ по любому из пп.1-12, 14-20, 22, 24, 25 и 27-29, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют на оправке с помощью процесса ковки таким образом, что толщина стенки различается по длине трубки.
31. Способ по п.13, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют на оправке с помощью процесса ковки таким образом, что толщина стенки различается по длине трубки.
32. Способ по п.21, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют на оправке с помощью процесса ковки таким образом, что толщина стенки различается по длине трубки.
33. Способ по п.23, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют на оправке с помощью процесса ковки таким образом, что толщина стенки различается по длине трубки.
34. Способ по п.26, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют на оправке с помощью процесса ковки таким образом, что толщина стенки различается по длине трубки.
35. Способ по п.30, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют таким образом, что трубка имеет большую толщину стенки к концам трубки.
36. Способ по любому из пунктов 31-34, отличающийся тем, что экструдированную трубку или составную трубку деформируют таким образом, что трубка имеет большую толщину стенки к концам трубки.
37. Способ по любому из пп.1-12, 14-20, 22, 24, 25, 27-29 и 31-35, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
38. Способ по п.13, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
39. Способ по п.21, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
40. Способ по п.23, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
41. Способ по п.26, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
42. Способ по п.30, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
43. Способ по п.36, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибдена с не учитывающей вольфрама чистотой металла более 99,99% по массе.
44. Способ по любому из пп.1-12, 14-20, 22, 24, 25, 27-29 и 31-35, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
45. Способ по п.13, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
46. Способ по п.21, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
47. Способ по п.23, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
48. Способ по п.26, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
49. Способ по п.30, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
50. Способ по п.36, отличающийся тем, что изготовляют молибденовую трубку, состоящую из молибденового сплава, который содержит от 0,5 до 30% по массе V, Nb, Та, Cr и/или W.
51. Применение трубчатой мишени, изготовленной способом по любому из пп.1-50, для производства плоских экранов ЖК-дисплеев по тонкопленочной технологии или для нанесения покрытий на стекла.
RU2006141645/02A 2005-10-14 2006-10-05 Способ изготовления трубчатой мишени и ее применение RU2353473C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ATGM699/2005 2005-10-14
AT0069905U AT8697U1 (de) 2005-10-14 2005-10-14 Rohrtarget

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006141645A RU2006141645A (ru) 2008-05-27
RU2353473C2 true RU2353473C2 (ru) 2009-04-27

Family

ID=36952522

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006141645/02A RU2353473C2 (ru) 2005-10-14 2006-10-05 Способ изготовления трубчатой мишени и ее применение

Country Status (15)

Country Link
US (3) US20070086909A1 (ru)
EP (1) EP1937866B1 (ru)
JP (1) JP4896032B2 (ru)
KR (1) KR100838410B1 (ru)
CN (1) CN101052740B (ru)
AT (2) AT8697U1 (ru)
AU (1) AU2006301946B2 (ru)
BR (1) BRPI0617249A2 (ru)
DE (1) DE502006008527D1 (ru)
ES (1) ES2356773T3 (ru)
PL (1) PL1937866T3 (ru)
RU (1) RU2353473C2 (ru)
TW (3) TWI498439B (ru)
WO (1) WO2007041730A1 (ru)
ZA (1) ZA200802221B (ru)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT8697U1 (de) 2005-10-14 2006-11-15 Plansee Se Rohrtarget
US8163066B2 (en) 2007-05-21 2012-04-24 Peter Eisenberger Carbon dioxide capture/regeneration structures and techniques
US20080289495A1 (en) * 2007-05-21 2008-11-27 Peter Eisenberger System and Method for Removing Carbon Dioxide From an Atmosphere and Global Thermostat Using the Same
US20140130670A1 (en) 2012-11-14 2014-05-15 Peter Eisenberger System and method for removing carbon dioxide from an atmosphere and global thermostat using the same
US8500857B2 (en) 2007-05-21 2013-08-06 Peter Eisenberger Carbon dioxide capture/regeneration method using gas mixture
US20090186230A1 (en) * 2007-10-24 2009-07-23 H.C. Starck Inc. Refractory metal-doped sputtering targets, thin films prepared therewith and electronic device elements containing such films
WO2009119804A1 (ja) * 2008-03-28 2009-10-01 日立金属株式会社 電子部品用薄膜配線および薄膜配線形成用スパッタリングターゲット材
EP2277191A1 (en) * 2008-04-28 2011-01-26 H. C. Starck, Inc. Molybdenum-niobium alloys, sputtering targets containing such alloys, methods of making such targets, thin films prepared therefrom and uses thereof
FR2944294A1 (fr) * 2009-04-10 2010-10-15 Saint Gobain Couche obtenue par pulverisation d'une cible comprenant au moins un compose a base d'une poudre de molybdene
US9028592B2 (en) 2010-04-30 2015-05-12 Peter Eisenberger System and method for carbon dioxide capture and sequestration from relatively high concentration CO2 mixtures
US8500855B2 (en) 2010-04-30 2013-08-06 Peter Eisenberger System and method for carbon dioxide capture and sequestration
US8449818B2 (en) 2010-06-30 2013-05-28 H. C. Starck, Inc. Molybdenum containing targets
US8449817B2 (en) * 2010-06-30 2013-05-28 H.C. Stark, Inc. Molybdenum-containing targets comprising three metal elements
AT12695U1 (de) * 2011-04-08 2012-10-15 Plansee Se Rohrtarget mit schutzvorrichtung
JP2012237056A (ja) * 2011-04-28 2012-12-06 Hitachi Metals Ltd ＭｏＣｒターゲット材の製造方法およびＭｏＣｒターゲット材
US20130140173A1 (en) * 2011-06-10 2013-06-06 Séverin Stéphane Gérard Tierce Rotary sputter target assembly
CN103814151B (zh) 2011-06-27 2016-01-20 梭莱有限公司 Pvd靶材及其铸造方法
US20130095999A1 (en) 2011-10-13 2013-04-18 Georgia Tech Research Corporation Methods of making the supported polyamines and structures including supported polyamines
AT12292U3 (de) * 2011-10-18 2013-03-15 Plansee Se Rohrtarget
US9334565B2 (en) 2012-05-09 2016-05-10 H.C. Starck Inc. Multi-block sputtering target with interface portions and associated methods and articles
US11059024B2 (en) 2012-10-25 2021-07-13 Georgia Tech Research Corporation Supported poly(allyl)amine and derivatives for CO2 capture from flue gas or ultra-dilute gas streams such as ambient air or admixtures thereof
CN103866245B (zh) * 2012-12-18 2016-08-24 宁夏东方钽业股份有限公司 一种铌合金靶材及其制备方法
CN103009000B (zh) * 2012-12-18 2015-05-27 宁夏东方钽业股份有限公司 一种铌靶材及其制备方法
AT13602U3 (de) * 2013-10-29 2014-08-15 Plansee Se Sputtering Target und Verfahren zur Herstellung
CN104651787B (zh) * 2013-11-21 2017-04-19 安泰科技股份有限公司 铌管靶材的制造方法
AU2014373727B2 (en) 2013-12-31 2019-04-11 Global Thermostat Operations, LLC Rotating multi-monolith bed movement system for removing CO2 from the atmosphere
US9992917B2 (en) 2014-03-10 2018-06-05 Vulcan GMS 3-D printing method for producing tungsten-based shielding parts
CN103978345B (zh) * 2014-05-17 2016-11-16 金堆城钼业股份有限公司 一种管状钼靶材的制备方法
US10047434B2 (en) * 2014-06-19 2018-08-14 Kewei Molybdenum And Tungsten Co., Ltd Method for preparing ultra-long-tube type fine-grain molybdenum tube target
US9875869B2 (en) * 2014-10-13 2018-01-23 Eaton Corporation Composite arc shields for vacuum interrupters and methods for forming same
CZ306441B6 (cs) * 2014-12-05 2017-01-25 Safina, A.S. Způsob výroby kovového tělesa s homogenní, jemnozrnnou strukturou pomocí technologie Cold Spray, kovové těleso takto vyrobené, a způsob opravy použitých kovových odprášených těles
US20180244535A1 (en) 2017-02-24 2018-08-30 BWXT Isotope Technology Group, Inc. Titanium-molybdate and method for making the same
CN107299327B (zh) * 2017-07-25 2019-04-30 北京兴荣源科技有限公司 一种低成本铌管靶的制造方法
US11159627B1 (en) 2017-10-20 2021-10-26 Parallels International Gmbh Seamless remote network redirection
CN107916405B (zh) * 2017-11-23 2019-10-15 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种平面显示器用钼钽合金溅射靶材的制备方法
SG11202008892PA (en) * 2018-03-13 2020-10-29 Jx Nippon Mining & Metals Corp Sputtering target and method for producing sputtering target
TW202024372A (zh) * 2018-09-26 2020-07-01 日商Ｊｘ金屬股份有限公司 濺鍍靶及其製造方法
CN110193601B (zh) * 2019-06-13 2021-10-15 金堆城钼业股份有限公司 一种双层或多层难熔金属复合管材的制备方法
CN110453166B (zh) * 2019-09-17 2020-10-09 厦门钨业股份有限公司 一种提高纯钼块材塑性的制备方法
CN111299572B (zh) * 2019-11-28 2022-05-03 天钛隆（天津）金属材料有限公司 一种钛及钛合金无缝管的生产方法
CN115210018A (zh) * 2020-01-31 2022-10-18 麻省理工学院 含钼合金以及相关的系统和方法
CN112475297B (zh) * 2020-11-10 2023-01-03 烟台市红森林节能环保科技有限公司 一种还原铁粉末热挤压深管状机械零部件的装置和方法
AT17259U1 (de) * 2020-11-13 2021-10-15 Plansee Se Hochtemperatur-umformwerkzeug
US20230278099A1 (en) * 2022-03-04 2023-09-07 Goodrich Corporation Systems and methods for manufacturing landing gear components using titanium
CN115007866B (zh) * 2022-03-31 2023-04-21 中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司 一种低成本磁控溅射用钼管靶的制备方法
CN115283674B (zh) * 2022-07-11 2023-09-05 南通力友液压机制造有限公司 粉末冶金嵌件成型方法
CN115446313B (zh) * 2022-09-28 2024-09-10 新加坡先进薄膜材料私人有限公司 一种铬铂合金靶材的制作方法、装置、设备及其存储介质
CN117733152A (zh) * 2023-12-20 2024-03-22 苏州六九新材料科技有限公司 一种Cr管旋转靶材及其制备方法

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB601057A (en) 1943-05-13 1948-04-27 Westinghouse Electric Int Co Improved method of consolidating metal powder to dense coherent form
NL85468C (ru) 1951-11-21
US2985956A (en) * 1956-01-12 1961-05-30 Appel Process Ltd Method for straightening and for relieving stresses in workpieces
FR2366364A1 (fr) * 1976-02-03 1978-04-28 Cefilac Procede de fabrication de produits en acier par voie solide
JPS5450290A (en) 1977-09-28 1979-04-20 Toshiba Corp Production of target for x-ray tube
FR2427155A1 (fr) 1978-06-02 1979-12-28 Commissariat Energie Atomique Procede de preparation par metallurgie des poudres de pieces en molybdene ou en alliage de molybdene
JPS582589B2 (ja) 1979-10-01 1983-01-17 株式会社 徳田製作所 スパツタリング装置
US4356073A (en) * 1981-02-12 1982-10-26 Shatterproof Glass Corporation Magnetron cathode sputtering apparatus
US4422916A (en) * 1981-02-12 1983-12-27 Shatterproof Glass Corporation Magnetron cathode sputtering apparatus
JPH0657846B2 (ja) 1985-01-14 1994-08-03 北海タングステン工業株式会社 タングステンパイプの製法
US4899570A (en) * 1988-04-05 1990-02-13 Teledyne Industries, Inc. Apparatus and method of rotary forging with induction heating
JP2757287B2 (ja) 1989-11-02 1998-05-25 日立金属株式会社 タングステンターゲットの製造方法
JP2982271B2 (ja) * 1990-10-02 1999-11-22 キヤノン株式会社 画像再生装置
JP3150356B2 (ja) 1991-02-12 2001-03-26 三井化学株式会社 合わせガラス及びその製造法
JPH0539566A (ja) 1991-02-19 1993-02-19 Mitsubishi Materials Corp スパツタリング用ターゲツト及びその製造方法
RU2015850C1 (ru) 1991-06-17 1994-07-15 Научно-исследовательский институт порошковой металлургии Способ изготовления резистивных мишеней
US5263349A (en) * 1992-09-22 1993-11-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Extrusion of seamless molybdenum rhenium alloy pipes
US5693203A (en) * 1992-09-29 1997-12-02 Japan Energy Corporation Sputtering target assembly having solid-phase bonded interface
SE470521B (sv) * 1992-11-16 1994-07-04 Erasteel Kloster Ab Sätt vid pulvermetallurgisk framställning av en kropp
JPH0726374A (ja) * 1993-07-09 1995-01-27 Asahi Glass Co Ltd 回転カソードターゲット、その製法、および該ターゲットを用いて形成される膜
JP3913694B2 (ja) * 1993-12-14 2007-05-09 株式会社東芝 配線形成用Ｍｏ−Ｗターゲットとそれを用いたＭｏ−Ｗ配線薄膜および液晶表示装置
EP0947593A3 (en) * 1993-12-14 1999-12-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Mo-W material for formation of wiring, Mo-W target and method for production thereof, and Mo-W wiring thin film
JP2000001732A (ja) * 1993-12-14 2000-01-07 Toshiba Corp 配線形成用Ｍｏ―Ｗ材、配線形成用Ｍｏ―Ｗタ―ゲットとその製造方法、およびＭｏ―Ｗ配線薄膜と液晶表示装置
US6073830A (en) * 1995-04-21 2000-06-13 Praxair S.T. Technology, Inc. Sputter target/backing plate assembly and method of making same
US6193856B1 (en) * 1995-08-23 2001-02-27 Asahi Glass Company Ltd. Target and process for its production, and method for forming a film having a highly refractive index
JP3303623B2 (ja) * 1995-09-22 2002-07-22 三菱マテリアル株式会社 製鋼連続鋳造用銅合金モールド素材の製造方法およびそれにより製造されたモールド
US5641580A (en) * 1995-10-03 1997-06-24 Osram Sylvania Inc. Advanced Mo-based composite powders for thermal spray applications
JP3244167B2 (ja) 1998-01-19 2002-01-07 日立金属株式会社 タングステンまたはモリブデンターゲット
DE19822570C1 (de) * 1998-05-20 1999-07-15 Heraeus Gmbh W C Verfahren zum Herstellen eines Indium-Zinn-Oxid-Formkörpers
JP3743740B2 (ja) * 1998-07-27 2006-02-08 日立金属株式会社 Ｍｏ系焼結ターゲット材
US6521173B2 (en) * 1999-08-19 2003-02-18 H.C. Starck, Inc. Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy
DE19953470A1 (de) 1999-11-05 2001-05-23 Heraeus Gmbh W C Rohrtarget
US6878250B1 (en) * 1999-12-16 2005-04-12 Honeywell International Inc. Sputtering targets formed from cast materials
JP3701553B2 (ja) * 2000-08-09 2005-09-28 株式会社神戸製鋼所 蒸着用Ｔｉ−Ｖ合金製ターゲット材およびその製法
DE10043748B4 (de) 2000-09-05 2004-01-15 W. C. Heraeus Gmbh & Co. Kg Zylinderförmiges Sputtertarget, Verfahren zu seiner Herstellung und Verwendung
AU2001284441A1 (en) * 2000-09-08 2002-03-22 Asahi Glass Company, Limited Cylindrical target and method of manufacturing the cylindrical target
US6946039B1 (en) * 2000-11-02 2005-09-20 Honeywell International Inc. Physical vapor deposition targets, and methods of fabricating metallic materials
US6887356B2 (en) * 2000-11-27 2005-05-03 Cabot Corporation Hollow cathode target and methods of making same
DE20205363U1 (de) 2002-04-06 2002-07-18 FNE Forschungsinstitut für Nichteisen-Metalle Freiberg GmbH, 09599 Freiberg Rohrtarget
JP4415303B2 (ja) * 2003-07-10 2010-02-17 日立金属株式会社 薄膜形成用スパッタリングターゲット
US7534282B2 (en) * 2003-09-16 2009-05-19 Japan New Metals Co., Ltd. High purity metal Mo coarse powder and sintered sputtering target produced by thereof
JP4475398B2 (ja) 2003-09-16 2010-06-09 日本新金属株式会社 パーティクル発生のきわめて少ない高純度金属Ｍｏ薄膜の形成を可能とするスパッタリング用高純度高密度金属Ｍｏ焼結ターゲットの製造方法
US7832619B2 (en) * 2004-02-27 2010-11-16 Howmet Corporation Method of making sputtering target
JP4110533B2 (ja) * 2004-02-27 2008-07-02 日立金属株式会社 Ｍｏ系ターゲット材の製造方法
TWI390062B (zh) * 2004-03-05 2013-03-21 Tosoh Corp 圓柱形濺射標靶，陶瓷燒結體，以及製造燒結體的方法
JP4961672B2 (ja) * 2004-03-05 2012-06-27 東ソー株式会社 円筒形スパッタリングターゲット並びにセラミックス焼結体及びその製造方法
AT7491U1 (de) * 2004-07-15 2005-04-25 Plansee Ag Werkstoff für leitbahnen aus kupferlegierung
US8088232B2 (en) * 2004-08-31 2012-01-03 H.C. Starck Inc. Molybdenum tubular sputtering targets with uniform grain size and texture
US20060042728A1 (en) * 2004-08-31 2006-03-02 Brad Lemon Molybdenum sputtering targets
US7708868B2 (en) * 2005-07-08 2010-05-04 Tosoh Smd, Inc. Variable thickness plate for forming variable wall thickness physical vapor deposition target
AT8697U1 (de) * 2005-10-14 2006-11-15 Plansee Se Rohrtarget

Also Published As

Publication number Publication date
AU2006301946A1 (en) 2007-04-19
AU2006301946B2 (en) 2010-07-01
US20120073959A1 (en) 2012-03-29
PL1937866T3 (pl) 2011-04-29
RU2006141645A (ru) 2008-05-27
TWI403599B (zh) 2013-08-01
TW200714728A (en) 2007-04-16
TWI498439B (zh) 2015-09-01
JP2008506852A (ja) 2008-03-06
EP1937866B1 (de) 2010-12-15
CN101052740A (zh) 2007-10-10
US20120073958A1 (en) 2012-03-29
DE502006008527D1 (de) 2011-01-27
TWI496923B (zh) 2015-08-21
US9890451B2 (en) 2018-02-13
TW201333241A (zh) 2013-08-16
US20070086909A1 (en) 2007-04-19
TW201333240A (zh) 2013-08-16
CN101052740B (zh) 2010-06-23
WO2007041730A9 (de) 2010-05-27
ZA200802221B (en) 2009-01-28
ATE491823T1 (de) 2011-01-15
US8900340B2 (en) 2014-12-02
KR100838410B1 (ko) 2008-06-13
ES2356773T3 (es) 2011-04-13
AT8697U1 (de) 2006-11-15
KR20070088287A (ko) 2007-08-29
EP1937866A1 (de) 2008-07-02
JP4896032B2 (ja) 2012-03-14
WO2007041730A1 (de) 2007-04-19
BRPI0617249A2 (pt) 2011-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2353473C2 (ru) Способ изготовления трубчатой мишени и ее применение
EP2278045A1 (en) methods for rejuvenating tantalum sputtering targets and rejuvenated tantalum sputtering targets
EP1727643B1 (en) Method of making sputtering target
JPH0539566A (ja) スパツタリング用ターゲツト及びその製造方法
US6793784B1 (en) Tube target
CN111604503A (zh) 一种FeCrAl不锈钢复合管坯及其制备方法
KR20240076184A (ko) 고순도 Ｍｏ 스퍼터링 타겟의 제조방법
US20140238850A1 (en) Tubular target and method of producing a tubular target
AU2003216081A1 (en) Refractrory metal and alloy refining by laser forming and melting

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20161006