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KR20240037727A - 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치 - Google Patents

인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치 Download PDF

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KR20240037727A
KR20240037727A KR1020220116611A KR20220116611A KR20240037727A KR 20240037727 A KR20240037727 A KR 20240037727A KR 1020220116611 A KR1020220116611 A KR 1020220116611A KR 20220116611 A KR20220116611 A KR 20220116611A KR 20240037727 A KR20240037727 A KR 20240037727A
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interposing
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Abstract

본 발명은 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치에 관한 것이다. 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브(12); 유도 튜브(11)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및 니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함한다.

Description

인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치{An Interposing Type of an Apparatus for Detaching a Micro LED}
본 발명은 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치에 관한 것이다.
다양한 광 산업 분야에서 엘이디 소자가 사용되고, 예를 들어 디스플레이에 엘이디 소자가 적용될 수 있다. 엘이디 소자 방식의 디스플레이는 전력 소모량이 작으면서 효율과 신뢰성이 높다는 이점을 가진다. 또한 픽셀의 화소 기능을 가지는 100 ㎛ 이하의 마이크로 엘이디 소자로 이루어진 단위 패널을 타일 배치 방식으로 배치되면 디스플레이의 대면적화가 가능하다는 장점을 가진다. 이로 인하여 마이크로 엘이디를 디스플레이에 적용하기 위한 다양한 개발이 이루어지고 있다. 특허공개번호 10-2019-0006430은 RGB 서브 픽셀의 크기가 수십 ㎛가 되는 마이크로 디스플레이 및 그 제작 방법에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 20-2018-0031126은 디스플레이 패널용 엘이디 칩의 실장 방법 및 이를 이용한 디스플레이 패널에 대하여 개시한다. 마이크로 엘이디 소자의 배치에 의한 디스플레이의 제조 과정에서 일부 엘이디 소자의 작동 오류가 발생되거나, 제조된 디스플레이 유닛에서 일부 엘이디 소자가 오류가 발생되면 마이크로 엘이디는 기판 또는 웨이퍼로부터 분리될 필요가 있다. 선행기술은 예를 들어 정렬 오류와 같은 오류가 발생된 엘이디 소자를 효과적으로 분리시킬 수 있는 기술에 대하여 개시하지 않는다.
본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다.
선행기술 1: 특허공개번호 10-2019-0006430(삼성전자주식회사, 2019.01.18. 공개) 마이크로 엘이디 디스플레이 및 그 제작 방법 선행기술 2: 특허공개번호 10-2018-0031126(삼성전자주식회사, 2018.08.28. 공개) 디스플레이 패널용 엘이디 칩의 실장 방법 및 이를 이용한 디스플레이 패널
본 발명의 목적은 접착 필름 및 니들에 의하여 웨이퍼 또는 기판의 미리 결정된 위치에 배치된 마이크로 엘이디를 효과적으로 분리시킬 수 있는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브; 유도 튜브의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛; 및 니들 유닛의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름을 포함한다.
본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름을 유도 튜브의 끝 부분에 밀착시키는 밀착 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브의 상하 이동을 위한 상하 구동 유닛을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름은 폴리이미드 소재가 된다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 접착 필름은 서로 마주보는 위치에 배치된 두 개의 필름 롤러에 의하여 이동 가능하다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브의 측면에 배치된 수집 빈을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 유도 튜브가 접착 필름과 접촉되는 접촉 면에 형성된 적어도 하나의 밀착 평면 부분을 더 포함한다.
본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 니들 유닛은 VCM(Voice Coil Motor)에 의하여 작동된다.
본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 기판 또는 웨이퍼로부터 예를 들어 100 ㎛ 이하의 크기를 가지는 마이크로 엘이디 소자의 효과적인 분리가 가능하도록 한다. 본 발명에 따른 분리 장치는 접착 필름과 니들 구조에 의하여 주위 엘이디 소자에 영향을 미치지 않으면서 예를 들어 정해진 형태로 정렬되지 않은 정렬 불량 상태의 마이크로 엘이디 소자가 분리되도록 한다. 예를 들어 본 발명에 따른 분리 장치는 50*30um 내지 10*10um의 크기를 가지면서 5 내지 50 um의 두께를 마이크로 엘이디의 분리가 가능하다. 본 발명에 따른 분리 장치는 다양한 종류의 웨이퍼와 같은 기판으로부터 엘이디 소자의 분리가 가능하고 기판의 종류에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 분리 장치의 상세도를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 마이크로 엘이디가 분리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 분리 장치를 위한 작동 설비의 실시 예를 도시한 것이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면 부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치는 상하로 이동 가능한 유도 튜브(12); 유도 튜브(12)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및 니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함한다.
유도 튜브(12)는 전체적으로 속이 빈 실린더 형상이 되면서 수직 방향으로 연장될 수 있고, 상하 이동이 가능한 구조가 될 수 있다. 유도 튜브(12)는 예를 들어 모터와 같은 구동 유닛(11); 구동 유닛(11)에 의하여 작동되는 작동 축(111); 및 작동 축(111)을 따라 상하 이동을 하는 유도 블록(113)에 의하여 상하로 이동될 수 있다. 유도 튜브(12)의 상하 이동을 다양한 구조로 이루어질 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 유도 튜브(12)은 유도 블록(113)에 결합된 유도 브래킷(112)에 결합될 수 있고, 유도 브래킷(112)은 수직 결합 부분과 수평 고정 부분으로 이루어질 수 있다. 유도 튜브(12)의 위쪽 끝 부분에 고정 판(121)이 형성될 수 있고, 고정 판(121)이 수평 고정 부분에 결합되어 유도 튜브(12)가 유도 브래킷(112)에 결합될 수 있다. 유도 튜브(12)의 내부에 니들 모듈이 배치될 수 있고, 니들 모듈은 유도 튜브(12)의 끝 부분에 배치되어 유도 튜브(12)의 외부로 돌출 가능한 니들(17); 니들(17)의 위쪽 끝 부분으로부터 연장되는 유동 관(171); 및 유동 관(171)의 둘레 면에 배치되는 작동 유닛(172)을 포함한다. 작동 유닛(172)은 예를 들어 VCM(voice coil motor) 구조를 포함할 수 있고, VCM 구조에 의하여 니들(17)이 미리 결정된 거리만큼 상하로 이동될 수 있다. 니들(17)은 다양한 작동 수단에 의하여 상하로 이동될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 니들(17)은 상하로 이동되면서 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분에 형성된 노출 홀을 통하여 유도 튜브(17)의 외부로 돌출될 수 있다. 유동 관(171)은 니들(17)의 위쪽 끝 부분으로부터 연장되어 기체를 유입 또는 배출시키는 밀착 유닛(15)과 연결될 수 있다. 밀착 유닛(15)은 기체를 흡입하거나, 유입시키는 기능을 가질 수 있고, 이에 의하여 접착 필름(16)이 유도 튜브(12)의 끝 부분에 밀착되거나, 분리될 수 있다. 밀착 유닛(15)은 기체 도관(151)을 통하여 유도 튜브(12)의 내부와 연결될 수 있고, 기체 도관(151)을 통하여 유도 튜브(12)의 내부 기체가 흡입되거나, 유도 튜브(12)의 내부로 기체가 유입될 수 있다.
유도 블록(113)의 아래쪽 부분에 서로 마주보도록 고정 블록(19a, 19b)이 형성될 수 있고, 각각의 고정 블록(19a, 19b)에 제1, 2 필름 롤러(13a, 13b)가 배치될 수 있다. 제1 필름 롤러(13a)로부터 제2 필름 롤러(13b)로 접착 필름(16)이 연장될 수 있고, 제1, 2 필름 롤러(13a, 13b) 사이에 제1, 2 유도 롤러 모듈(14a, 14b)가 배치되어 접착 필름(16)의 장력을 조절하거나, 이동을 유도할 수 있다. 접착 필름(16)는 전체적으로 사각 필름 형상으로 연장될 수 있고, 제1 필름 롤러(13a)에서 풀리고 제2 필름 롤러(13b)에 감길 수 있다. 접착 필름(16)은 제1 필름 롤러(13a)로부터 제1 유도 롤러 모듈(14a)을 경유하여 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분으로 연장될 수 있다. 이후 접착 필름(16)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 면에 접촉된 이후 제2 유도 롤러 모듈(14b)을 경유하여 제2 필름 롤러(13b))에 감길 수 있다. 접착 필름(16)은 예를 들어 아크릴 접착 필름, 실리콘 접착 필름 또는 이와 유사한 접착 필름이 될 수 있지만 바람직하게 폴리이미드 접착 필름이 될 수 있다. 폴리이미드 접착 필름은 전기적, 기계적 또는 화학적 특성이 우수하고, 테프론으로 코팅이 되는 경우 내열 또는 내전압 특성이 우수하다는 이점을 가진다. 접착 필름(16)은 다양한 합성수지 소재로 만들어질 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다. 니들(17)이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출되면서 접착 필름(16)을 아래쪽으로 가압하여 정해진 지점에 위치하는 마이클로 엘이디를 분리할 수 있고, 접착 필름(16)에 접착된 마이크로 엘이디는 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 구체적으로 마이크로 엘이디가 접착 필름에 부착되면 제2 필름 롤러(13b)이 회전되면서 접착 필름(16)이 수집 빈(18)의 방향으로 이동되면서 수집 빈(18)의 앞쪽에 형성된 분리 커터에 의하여 마이크로 엘이디가 접착 필름(16)으로부터 분리되어 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 마이크로 엘이디는 다양한 방법으로 수집될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.
도 2는 본 발명에 따른 분리 장치의 상세도를 도시한 것이다.
도 2를 참조하면, 서로 마주보도록 배치된 한 쌍의 고정 블록(19a, 19b)은 전체적으로 U 형상이 될 수 있고, 유도 튜브(12)는 두 개의 고정 블록(19a, 19b)의 사이에 위치할 수 있다. 위에서 설명된 것처럼 유도 튜브(121)의 위쪽에 고정 판(121)이 형성될 수 있고, 고정 판(121)이 유도 브래킷에 결합될 수 있다. 그리고 유도 브래킷의 상하 이동에 의하여 유도 튜브(12) 및 두 개의 고정 블록(19a, 19b)이 상하로 이동될 수 있다. 제1 유도 롤러 모듈(14a)은 수직 방향으로 배치되는 한 쌍의 방향 유도 롤러(141, 142) 및 한 쌍의 방향 유도 롤러(141, 142)의 사이에 배치되는 장력 롤러(143)로 이루어질 수 있다. 또한 제2 유도 롤러 모듈(14b)은 서로 마주보도록 수직 방향을 따라 배치되는 한 쌍의 방향 유도 롤러(144, 145); 및 한 쌍의 방향 유도 롤러(144, 145)의 사이에 배치되어 한 쌍의 장력 조절 롤러(146, 147)를 포함할 수 있다. 접착 필름(16)은 제1 필름 롤러(13a)로부터 제1 방향 유도 롤러(141), 제1 장력 조절 롤러(143), 제2 방향 유도 롤러(142)를 경유하여 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분으로 연장될 수 있다. 접착 필름(16)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 끝 부분에 접촉된 이후 제3 방향 유도 롤러(144), 제3, 4 장렬 조절 롤러(146, 147)의 사이 및 제4 방향 유도 롤러(145)를 경유하여 제2 필름 롤러(13b)에 감길 수 있다.
본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 분리 장치는 유도 튜브(12)가 접착 필름(16)과 접촉되는 접촉 면에 형성된 적어도 하나의 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)을 포함한다. 유도 튜브(12)는 전체적으로 실린더 형상이 될 수 있고, 아래쪽 끝 부분에 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 돌출 계단(21)은 유도 튜브(12)의 아래쪽 면으로부터 돌출되도록 형성된 판 형상이 될 수 있고, 서로 마주보는 두 개의 면이 유도 튜브(12)의 테두리와 일체로 형성되면서 서로 마주보는 다른 두 개의 면이 직사각형이 될 수 있다. 구체적으로 돌출 계단(21)은 서로 마주보는 두 개의 면이 곡면이 되면서 서로 마주보는 다른 두개의 면이 직사각 형상이 되는 판 형상이 될 수 있다. 돌출 계단(21)은 유도 튜브(12)와 일체로 형성될 수 있고, 돌출 튜브(21)의 아래쪽 끝 부분을 지름을 기준으로 양쪽으로 일정 거리만큼 이동된 서로 평행한 두 개의 분할 선을 따라 깎아내는 것에 의하여 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 접착 필름(16)이 접촉될 수 있고, 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 다수 개의 밀착 평면 부분(22a, 22b, 22c, 22d)가 형성될 수 있다. 구체적으로 전체적으로 사각형이 되는 돌출 계단(21)의 접촉 면의 중심에서 서로 만나는 두 개의 직선에 의하여 네 개의 부분의 나누어지고, 각각의 부분이 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)가 될 수 있다. 접촉 면의 중간 부분에 돌출 홀(23)이 형성될 수 있고, 돌출 홀(23)을 통하여 위에서 설명된 니들이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출될 수 있다. 또한 각각의 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)에 흡착 홀(24)이 형성되어 밀착 유닛에 의한 기체의 흡입에 의하여 접착 필름(16)의 돌출 계단(21)의 아래쪽 면에 해당하는 접착 면에 긴밀하게 접촉될 수 있다.
수집 빈(18)은 제2 고정 블록(19b)의 아래쪽에 배치되어 위쪽 면이 열린 사각 박스 형상이 되면서 유도 튜브(12)의 측면 방향으로 연장되어 돌출 계단(21)에 인접할 수 있다. 수집 빈(18)이 돌출 계단(21)에 인접하는 부분에 분리 커터가 형성될 수 있고, 이에 의하여 접착 필름(16)에 부착된 마이크로 엘이디가 분리 커터에 의하여 분리되어 수집 빈(18)에 수집될 수 있다. 분리된 마이크로 엘이디는 다양한 방법으로 분리되어 수집될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 마이크로 엘이디가 분리되는 과정의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 웨이퍼와 같은 기판(44)에 배치된 다수 개의 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)를 분리하는 과정은 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 배치된 기판(44)이 컨베이어를 따라 이동되는 단계(P31); 유도 튜브(12) 및 니들(17)을 포함하는 분리 장치가 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 위쪽으로 이동되는 단계(P32); 위치 산출을 위한 비전 유닛에 의하여 유도 튜브(12)와 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 상대적인 위치가 확인되는 단계(P33); 유도 튜브(12)가 아래쪽으로 이동되는 단계(P34); 니들(17)이 아래쪽으로 이동되면서 기체가 흡입되어 접착 필름(16)이 유도 튜브(12)의 아래쪽에 형성된 돌출 계단(21)에 밀착되는 단계(P35); 니들(17)이 유도 튜브(12)의 아래쪽으로 돌출되면서 접착 필름(16)에 압력을 가하여 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 접착 필름(16)에 부착되어 기판(44)으로부터 분리되는 단계(P36); 니들(17)의 원래의 위치로 복원되면서 기체가 유입되는 단계(P47); 및 이동 튜브(12)가 원래의 위치로 복원되는 단계(P38)를 포함한다.
웨이퍼와 같은 기판(44)에 다수 개의 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 정렬되어 배치될 수 있고, 미리 결정된 정렬 방향을 벗어난 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 분리 대상이 될 수 있다. 유도 튜브(12)의 내부에 유도 관(41)이 형성될 수 있고, 유도 튜브(12)의 아래쪽에 돌출 계단(21)이 형성될 수 있다. 유도 관(41)은 통하여 기체가 유동될 수 있고, 유도 관(41)의 끝 부분에 돌출 계단(21)을 연결하는 유동 홀(42)이 형성될 수 있다. 유도 튜브(12)가 기판(44)의 위쪽으로부터 아래쪽으로 이동되면(P34), 돌출 계단(21)이 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)의 위쪽에 위치할 수 있고, 니들(17)이 접착 필름(16)을 아래쪽으로 가압할 수 있다(P35). 이에 의하여 분리되어야 하는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 접착 필름(16)에 접착되어 기판(44)으로부터 분리될 수 있다(P36). 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 분리되면 니들(17)이 위쪽으로 이동될 수 있고(P37), 이후 이동 튜브(12)가 원래의 위치로 이동될 수 있다(P38). 또한 접착 필름(16)이 이동되면서 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 수집 빈에 수집될 수 있다. 다양한 종류의 기판(44)에 정렬된 다양한 용도를 가진 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 본 발명에 따른 분리 장치에 의하여 분리될 수 있고, 기판(44)의 종류 또는 마이크로 엘이디(45_1 내지 45_N)가 종류의 의하여 제한되지 않는다.
도 5는 본 발명에 따른 분리 장치를 위한 작동 설비의 실시 예를 도시한 것이다.
도 5를 참조하면, 분리 장치(10)는 X축 따라 이동 가능한 이동 가이드(51)에 결합될 수 있고, 이동 가이드(52)가 Y축을 따라 이동될 수 있다. 이에 의하여 분리 장치(10)는 수직 브래킷(51)에 의하여 이동 가이드(52)에 결합될 수 있고, 분리 장치는 수직 브래킷(61)을 따라 Z축 방향을 따라 이동될 수 있다. 이에 의하여 분리 장치(10)가 XYZ-축을 따라 동될 수 있다. 컨베이어(53)를 따라 기판(54)이 이동될 수 있고, 기판(54)이 정해진 위치로 이동되면 분리 장치(10)가 기판(54)의 위쪽으로 이동될 수 있다. 카메라와 같은 위치 산출 비전 유닛(55)에 의하여 유도 튜브와 마이크로 엘이디 사이의 상대적인 위치가 확인될 수 있고, 이에 기초하여 유도 튜브와 니들의 이동 거리가 결정될 수 있다. 분리 장치(10), 이동 가이드(52). 컨베이어(53)은 직육면체 형상의 베이스 프레임(56)의 위쪽에 배치될 수 있다. 베이스 프레임(56)의 아래쪽에 분리 장치(10)의 작동을 위한 다양한 수단이 배치될 수 있다. 분리 장치(10)는 다양한 설비에 결합될 수 있고 이에 의하여 본 발명은 제한되지 않는다.
위에서 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
11: 상하 구동 유닛 12: 유도 튜브
13a, 13b: 필름 롤러 16: 접착 필름
17: 니들 유닛 18: 수집 빈
21: 돌출 계단 22a 내지 22d: 밀착 평면 부분

Claims (8)

  1. 상하로 이동 가능한 유도 튜브(12);
    유도 튜브(12)의 내부에 따라 이동되면서 유도 튜브(12)의 끝 부분으로부터 돌출 가능한 니들 유닛(17); 및
    니들 유닛(17)의 의하여 상하로 이동 가능한 접착 필름(16)을 포함하는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 접착 필름(16)을 유도 튜브(12)의 끝 부분에 밀착시키는 밀착 유닛(15)을 더 포함하는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 유도 튜브(13)의 상하 이동을 위한 상하 구동 유닛(11)을 더 포함하는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치.
  4. 청구항 1에 있어서, 접착 필름(16)은 폴리이미드 소재가 되는 것을 특징으로 하는 인터포징 방식의 마이크로 엘이디 분리 장치.
  5. 청구항 1에 있어서, 접착 필름(16)은 서로 마주보는 위치에 배치된 두 개의 필름 롤러(13a, 13b)에 의하여 이동 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로 엘이디 분리 장치.
  6. 청구항 1에 있어서, 유도 튜브(12)의 측면에 배치된 수집 빈(18)을 더 포함하는 마이크로 엘이디 분리 장치.
  7. 청구항 1에 있어서, 유도 튜브(12)가 접착 필름(16)과 접촉되는 접촉 면에 형성된 적어도 하나의 밀착 평면 부분(22a 내지 22d)을 더 포함하는 마이크로 엘이디 분리 장치.
  8. 청구항 1에 있어서, 니들 유닛(17)은 VCM(Voice Coil Motor)에 의하여 작동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 엘이디 분리 장치.
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