KR20230095677A

KR20230095677A - 내열성을 가지는 표면처리동박, 이를 포함하는 동박적층판 및 프린트 배선판

Info

Publication number: KR20230095677A
Application number: KR1020210185373A
Authority: KR
Inventors: 서정우; 양창열; 송기덕; 최은실
Original assignee: 롯데에너지머티리얼즈 주식회사
Priority date: 2021-12-22
Filing date: 2021-12-22
Publication date: 2023-06-29
Also published as: TW202325901A; WO2023120855A1; CN118434922A; TWI839903B; EP4455373A1

Abstract

장기 고온 신뢰성을 가지고, 전송손실이 적어 고주파박으로서 적합한 표면처리동박이 개시된다. 본 발명은 구리 원박의 적어도 한 면에 형성된 Cu 또는 Cu 합금 입자를 포함하는 1차 입자층과 상기 1차 입자층 상에 형성된 Zn 입자를 포함하는 2차 입자층을 포함하는 표면처리층을 가진 표면처리동박에 있어서, 상기 2차 입자층은 복수의 Zn 입자가 군집하여 형성된 입자 집합체(cluster)들로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면처리동박을 제공한다.

Description

내열성을 가지는 표면처리동박, 이를 포함하는 동박적층판 및 프린트 배선판 {SURFACE-TREATED COPPER FOIL WITH HEAT RESISTANCE, COPPER CLAD LAMINATE COMPRISING THE SAME, AND PRINTED WIRING BOARD COMPRISING THE SAME}

본 발명은 표면처리동박에 관한 것으로 보다 상세하게는 수지 기판에서의 장기 고온 신뢰성을 가지고, 전송 손실이 적어 고주파 회로에 사용하기에 적합한 표면처리동박, 이를 포함하는 동박 적층판 및 프린트 배선판에 관한 것이다.

전기/전자기기의 소형화, 경량화가 가속화됨에 따라 기판 상에 형성된 인쇄회로가 미세화, 고집적, 소형화되고 있으며, 이에 따라 인쇄회로기판에 사용되는 동박도 다양한 물성이 요구되고 있다.

이들에 사용되는 플렉서블(flexible) 기판, 고밀도 실장용 다층 기판, 고주파 회로 기판 등(이하, 이들을 총칭하여 '회로 기판' 또는 '프린트 배선판'으로 지칭함)의 제조에 사용되는 기판용 복합재는 도체(동박)와 그것을 지지하는 절연 기판(수지 필름을 포함)으로 구성되며, 절연 기판은 도체 사이의 절연을 확보하고, 부품을 지지하는 정도의 강도를 가진다.

절연 기판과 동박의 접착 강도를 향상시키기 위하여 동박의 표면에 조화 입자를 부착시켜 앵커 효과에 의해 접착력을 향상시키는 것이 일반적이다. 그러나, 고주파 회로용의 동박은 저조도의 표면처리동박이 요구되므로 이와 같은 방식으로 수지 기판과의 접착 강도의 확보가 어렵다는 문제점을 갖는다. 특히 동박과 절연 기판의 접착면은 가열 접합과 같은 고온 공정이나 고온 환경에 노출되어야 하는데, 동박과 기판과의 접착 강도의 고온 신뢰성 확보는 매우 어려운 실정이다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여, 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 수지와 같은 내열성 수지 기판을 사용하고, 종래 Cu 입자층에 다양한 합금층으로 하여 내열성을 부여하고자 하는 시도가 있어 왔다.

그러나, 이와 같은 합금층은 에칭 속도를 저하시키고, 전송 손실을 증가시키는 문제점을 발생시키고 있다. 일부 내열성을 갖기는 해도 장기 고온 신뢰성을 확보하기가 어렵다는 문제점을 갖는다.

(1) KR 613958 B

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 고온에서 수지 기판과의 높은 접착 강도를 가지고, 접착 강도의 장기 고온 신뢰성을 가지며, 고주파박으로서 적합한 표면처리동박, 이를 포함하는 동박적층판 및 이를 포함하는 프린트 배선판을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 구리 원박의 적어도 한 면에 형성된 Cu 또는 Cu 합금 입자를 포함하는 1차 입자층과 상기 1차 입자층 상에 형성된 Zn 입자를 포함하는 2차 입자층을 포함하는 표면처리층을 가진 표면처리동박에 있어서, 상기 2차 입자층은 복수의 Zn 입자가 군집하여 형성된 입자 집합체(cluster)들로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면처리동박을 제공한다.

본 발명에서 상기 입자 집합체는 상기 제1 입자층 상에서 불연속적으로 분포할 수 있다.

본 발명에서 상기 표면처리동박의 표면처리층은 표면조도(Rz)가 1.0 μm 이하인 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 입자 집합체는 표면처리동박의 5um x 5um 면적에 평균적으로 2개 이상, 15개 이하 분포될 수 있다.

본 발명에서 상기 2차 입자층의 입자 크기는 상기 1차 입자층의 입자 크기보다 큰 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 1차 입자층의 평균 입자 크기는 100 nm 미만인 것이 바람직하다. 또한, 본 발명에서 상기 2차 입자층의 입자 집합체는 평균 크기가 0.5~2.0 um인 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 표면처리층의 Zn 농도가 2000 ug/dm2 이상인 것이 바람직하고, 3500 ug/dm2 이하인 것이 바람직하다.

본 발명의 표면처리동박은 상기 제2 입자층 상에 방청층을 더 포함할 수 있고, 상기 방청층은 크롬을 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명에서 상기 구리 원박은 전해 동박인 것이 바람직하다.

또한, 상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 수지 기판상에 제1항 내지 제10항에 중 어느 한 항에 기재된 표면처리동박이 적층된 동박적층판을 제공한다. 이 때, 상기 수지 기판은 PTFE 기판일 수 있다.

본 발명에서 동박적층판은 접착강도 고온 열화율이 10% 미만인 것이 바람직하다.

또한 본 발명은 전술한 동박적층판을 사용하여 형성된 프린트 배선판을 을 제공한다.

본 발명에 따르면, 고온에서 수지 기판과의 높은 접착 강도를 가지고, 접착 강도의 장기 고온 신뢰성을 가지며, 고주파박으로서 적합한 표면처리동박, 이를 포함하는 동박적층판 및 이를 포함하는 프린트 배선판을 제공할 수 있게 된다.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표면처리동박의 단면을 촬영한 전자현미경 사진이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 표면처리동박의 표면을 촬영한 전자현미경 사진이다.
도 3의 (a) 및 (b)는 각각 실시예 및 비교예에 따라 제조된 표면처리 동박의 표면을 관찰한 전자현미경 사진이다.

본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다. 이하에서는, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.

본 발명의 표면처리동박은 원박, 상기 원박의 최소한 일면의 1차 입자층 및 상기 1차 입자층 상의 2차 입자층을 포함한다. 부가적으로, 본 발명의 표면처리동박은 상기 2차 입자층 상의 방청층을 더 포함할 수 있다.

도 1 및 도 2는 각각 본 발명의 일실시예에 따른 표면처리동박의 단면 구조 및 표면 구조를 촬영한 전자현미경 사진이다.

도 1을 참조하면, 원박(10)의 일측 표면에 1차 입자층(20) 및 2차 입자층(30)으로 된 복층 구조의 표면처리층이 형성되어 있다. 도 1의 사진으로부터 1차 입자층(20)은 원박 표면의 실질적인 모든 영역을 커버하고 있는 반면, 2차 입자층(30)은 1차 입자층(20) 상에 불연속적으로 분포하고 있음을 알 수 있다.

도 2를 참조하면, 상대적으로 밝게 보이는 평균 크기가 0.5~2 μm인 입자 집합체(Cluster)들로 이루어진 2차 입자층(30)과 2차 입자층의 배경을 이루는 어둡게 보이는 0.1 μm 미만인 미세 입자로 된 1차 입자층(20)을 확인할 수 있다. 여기서, 1차 입자층은 Cu 입자로 이루어지고, 2차 입자층은 Zn 입자로 구성되어 있다.

2차 입자층의 입자 집합체는 개별 입자가 0.5 μm 미만의 크기를 가지지만 1차 입자층 보다는 2~5배 이상 매우 큰 조대한 Zn 입자가 포도송이 형태로 군집된 구조를 이루고 있음을 알 수 있다. 또한, 2차 입자층을 이루는 Zn 입자는 단일 입자 형태인 것도 일부 관찰되지만, 대부분은 둘 이상 또는 셋 이상의 입자가 뭉쳐져 입자 집합체(Cluster)를 이루고 있음을 알 수 있다. 이러한 입자 집합체는 평균적으로 0.5~2 μm의 크기를 가지고 있음을 알 수 있다. 본 발명에서 입자 집합체는 국부적인 영역에서 형성되며, 일부는 서로 간에 고립되어 있다.

이하에서, 본 발명의 원박, 1차 입자층, 2차 입자층 및 방청층 및 그 제조 방법을 상세히 설명한다.

A. 원박

본 발명에서 구리 원박은 표면 처리나 방청 처리가 되지 않은 동박을 말한다. 구리 원박으로는 공지의 동박이 제한없이 사용될 수 있다. 일 구현예에 따르면, 미처리 동박은 전해동박이거나 압연동박일 수 있다.

본 발명에서 원박의 두께는 특별히 한정되지 않으나, 표면처리동박을 프린트 배선판에 사용할 경우, 원박의 두께는 예컨대 6 내지 35 ㎛, 바람직하게는 7 내지 17 ㎛일 수 있다.

본 발명에서 원박은 35kgf/mm² 내지 60kgf/mm², 35kgf/mm² 내지 50kgf/mm², 또는 35kgf/mm² 내지 45kgf/mm² 인장강도를 가지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에서 원박은 동박적층판 또는 프린트 배선판의 성형을 위한 프리프레그(Prepreg)와의 접합 과정에서 고온 프레스 전후 원박의 기계적 물성이 일정하게 유지되는 것이 바람직하다. 본 발명에서 원박은 프레스 전후 결정립의 변화가 매우 작다.

예컨대, 원박은 상온에서의 인장강도값에 대하여 4.9Mpa의 압력 및 220℃의 온도에서 소정 시간 열처리 후의 인장강도값의 변화율이 5% 미만, 또는 3% 미만일 수 있다. 또한, 상기 원박은 상온에서의 연신율에 대한 4.9Mpa의 압력 및 220℃의 온도에서 소정 시간 열처리 후의 연신율의 변화율은 5% 미만 또는 3% 미만일 수 있다.

B. 1차 입자층(노듈층)

본 발명에서 1차 입자층은 원박의 일면 또는 양면에 형성될 수 있다. 본 발명의 표면처리층 형성을 위한 표면처리방법은 특별히 한정되지 않으나, 예를 들어 원박을 전해도금하여 형성될 수 있다. 전해액으로는 구리염 5 내지 60 g/L 및 에틸렌다이아민테트라아세트산이나트륨(EDTA-2Na) 50 내지 200 g/L를 포함한 수용액을, 예를 들면 pH 1 내지 8(예를 들어, 6 내지 7)으로 조정한 것을 사용할 수 있다. 구리염의 종류로는 황산구리(CuSO₄), 질산구리(Cu(NO₃)₂), 염화구리(CuCl₂), 아세트산구리(Cu(CH₃COO)₂) 등을 들 수 있고, 첨가제로는 시트르산(C6H8O7), 에틸렌다이아민테트라아세트산(C₁₀H₁₆N₂O₈), 나이트릴로트라이아세트산(C₆H₉NO₆), 구연산나트륨(C₆H₅Na₃O₇), 타르타르산(C₄H₆O₆)로 이루어진 그룹 중에서 선택된 최소한 1종을 사용할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 전해도금은, 예를 들어 불용성 전극을 양극으로 하고 미처리 원박을 음극으로 하여 전해액에 침지하고, 25 내지 45℃의 액온도 및 0.5 내지 10 A/dm2의 전류밀도에서, 예를 들면 5 내지 20 초 동안 전해시켜 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에서 1차 입자층은 평균입경이 100 nm 이하인 미세 구리 입자로 이루어지는 바람직하다. 예시적으로, 1차 입자층의 미세 구리 입자는 평균입경이 10 내지 100 nm, 20 내지 100 ㎚, 또는 50 내지 100 ㎚일 수 있다. 본 발명에서 구리 입자의 평균 입경은 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지를 얻고, 이미지 분석을 통해 구리입자의 입경을 측정하여 계산할 수 있는데, 총 100개의 입자의 측정값을 평균함으로써 계산될 수 있다. 상기 1차 입자층의 미세 구리 입자의 평균입경이 이 범위에 있는 경우, 수지 기판과의 접착강도가 우수하고, 전송손실이 적어 고주파박으로서 적합할 수 있다.

C. 2차 입자층

2차 입자층은 1차 입자층이 형성된 표면처리박을 전해도금하여 형성될 수 있다. 전해액으로는 아연 1~5g/L, 인산 1~5g/L을 포함하는 수용액을 사용하고 표면처리박을 음극으로 하여 전해액에 침지하고, 25 내지 45℃의 액온도 및 1 내지 3 A/dm2의 전류밀도에서, 예를 들면 5 내지 10 초 동안 전해시켜 수행될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.

D. 방청층

본 발명에서 상기 2차 입자층 상에는 방청층이 형성될 수 있다. 방청층은 크롬(Cr)을 포함할 수 있다. 방청층에는 크롬을 대신하여 또는 이와 더불어 니켈(Ni), 아연(Zn), 코발트(Co), 티타늄(Ti), 주석(Sn) 등의 금속이 포함될 수 있다.

본 발명에서 크로메이트 방청처리의 경우, 크롬 1~5 g/l의 전해액을 사용하고, 25~35℃의 액온도 및 0.5 A/dm2의 전류밀도에서 1~5초간 도금 후 수세처리함으로써 수행될 수 있다.

본 발명에서 표면처리동박은 저유전 수지, 폴리이미드, 하이드로카본 또는 폴리테트라플루오로에틸렌 필름과 접착하여 동박적층판으로 제조될 수 있다.

본 발명에서 표면처리동박의 표면조도(Rz)는 1.0 ㎛ 미만인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 표면처리동박의 표면조도는 0.85~0.95 범위인 것이 좋다. 또한, 본 발명에서 표면처리 동박의 3D 조도(Sa)는 0.3 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 0.3~0.35인 것이 좋다.

상술한 표면처리동박은 수지 기판 상에 적층됨으로써 동박적층판으로서 사용될 수 있으며, 이러한 동박적층판은 프린트 배선판을 제조하는 데 이용될 수 있다.

본 발명에서 표면처리동박은 저유전 수지, 폴리이미드, 하이드로카본 또는 폴리테트라플루오로에틸렌과 같은 수지 기판과 높은 접착강도를 나타내며, 고온에서 오랜 동안 노출되더라도 접착강도의 열화 가능성은 매우 낮다.

본 발명의 표면처리동박은 PTFE 수지와의 접착강도가 2.0 kgf/cm 이상, 2.5 kgf/cm 이상, 2.7 kgf/cm 이상, 또는 2.8 kgf/cm 이상일 수 있다. 이 때, 접착강도는 JIS C6481 기준에 의거하여 측정될 수 있다.

본 발명의 표면처리동박은 PTFE 수지와 같은 수지 기판과의 접착에 의해동박적층판을 제조한 후 1일 경과 시의 접착강도 값을 기준으로 한 177 °C의 온도에서 10일 경과 후의 접착강도의 변화율에 해당하는 접착강도 열화율(%)이 10% 이하, 9% 이하, 8% 이하, 7% 이하, 6% 이하, 5% 이하의 값을 갖는 것이 바람직하다.

이하, 실시예를 들어 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 본 발명의 바람직한 예시로 제시된 것이며, 어떠한 의미로도 이에 의해 본 발명이 제한되는 것으로 해석될 수는 없다.

실시예

<실시예 1>

두께 12 μm인 원박(전해동박)을 구리 10~20 g/L, EDTA-2Na 100~200 g/L를 포함하는 수용액에 침지하고 액 온도 25℃, pH 7, 전류밀도 8 A/dm²의 조건하에서 4초간 도금하여 1차 입자층(노듈층)을 형성하였다.

이어서, 1차 입자층이 형성된 동박을 황산아연(아연 농도 1~5g/L), 인산 1~5g/L 수용액에 침지하여 3.5 A/dm² 의 조건하에서 6초간 2회 처리하여 2차 입자층을 형성하였다. 이후, 표면처리된 동박을 크롬 2 g/L 농도의 수용액에서 3초 침지 후 수세하여 방청층을 형성하였다. 이어서, 방청처리된 동박을 실란커플링제 1~10 g/L의 용액에 3초간 침지 후 100 ℃ 온도의 열풍으로 건조하여 표면처리 동박을 제조하였다.

<실시예 2>

두께 12 μm인 원박을 구리 10~20 g/L, EDTA-2Na 100~200 g/L를 포함하는 수용액에 침지하고 액 온도 25℃, pH 7, 전류밀도 8 A/dm²의 조건하에서 4초간 도금하여 1차 입자층(노듈층)을 형성하였다.

이어서, 1차 입자층이 형성된 동박을 아연 1~5g/L, 인산 1~5g/L 수용액에 침지하여 2.5 A/dm² 의 조건하에서 6초간 2회 처리하여 2차 입자층을 형성하였다. 이후, 표면처리된 동박을 크롬 2 g/L 농도의 수용액에서 3초 침지 후 수세하여 방청층을 형성하였다. 이어서, 방청처리된 동박을 실란커플링제 1~10 g/L의 용액에 3초간 침지 후 100 ℃ 온도의 열풍으로 건조하여 표면처리 동박을 제조하였다.

<비교예 1>

이어서, 1차 입자층이 형성된 동박을 아연 1~5g/L, 인산 1~5g/L 수용액에 침지하여 2.0 A/dm² 의 조건하에서 6초간 2회 처리하여 2차 입자층을 형성하였다. 이후, 표면처리된 동박을 크롬 2 g/L 농도의 수용액에서 3초 침지 후 수세하여 방청층을 형성하였다. 이어서, 방청처리된 동박을 실란커플링제 1~10 g/L의 용액에 3초간 침지 후 100 ℃ 온도의 열풍으로 건조하여 표면처리 동박을 제조하였다.

<비교예 2>

이어서, 1차 입자층이 형성된 동박을 아연 1~5g/L, 인산 1~5g/L 수용액에 침지하여 0.5 A/dm² 의 조건하에서 40초간 2회 처리하여 2차 입자층을 형성하였다. 이후, 표면처리된 동박을 크롬 2 g/L 농도의 수용액에서 3초 침지 후 수세하여 방청층을 형성하였다. 이어서, 방청처리된 동박을 실란커플링제 1~10 g/L의 용액에 3초간 침지 후 100 ℃ 온도의 열풍으로 건조하여 표면처리 동박을 제조하였다.

<비교예 3>

두께 12 μm인 원박을 구리 10~20 g/L, EDTA-2Na 100~200 g/L를 포함하는 수용액에 침지하고 액 온도 25℃, pH 7, 전류밀도 8 A/dm²의 조건하에서 4초간 도금하여 1차 입자층(노듈층)을 형성하였다. 이어서, 구리 60~70g/L, 황산 120g/L, 15 A/dm2의 조건에서 3초간 노듈 탈락 방지를 위한 커버링 도금하였다.

다음, 커버링 도금된 동박을 아연 1~5g/L, 인산 1~5g/L 수용액에 침지하여 0.3 A/dm² 의 조건하에서 6초간 2회 처리하여 2차 입자층을 형성하였다. 이후, 표면처리된 동박을 크롬 2 g/L 농도의 수용액에서 3초 침지 후 수세하여 방청층을 형성하였다. 이어서, 방청처리된 동박을 실란커플링제 1~10 g/L의 용액에 3초간 침지 후 100 ℃ 온도의 열풍으로 건조하여 표면처리 동박을 제조하였다.

<물성평가>

실시예 및 비교예에서 제조된 각 표면처리동박 샘플의 물성을 측정하였다. 물성평가 항목 및 측정 방법은 다음과 같다.

a. 조도

실시예 및 비교예에서 제조된 표면처리동박의 표면을 SURFCOM 1400D (TSK, 도쿄정밀)를 이용하여 JIS B0601 기준에 의거하여 표면조도측정기를 사용하여 동박의 표면처리 전후 각각에 대한 10점평균조도 R_z를 측정하였다.

b. 3차원 조도

실시예 및 비교예에서 제조된 표면처리동박의 표면을 나노시스템즈사의 NV-2200인 3D Profiler를 통하여 비접촉 방식으로 물체의 미소한 단차의 형상을 측정하여 3차원 조도를 측정하였다.

c. 1차 입자층의 평균입경

실시예 및 비교예에서 원박 표면에 1차 입자층을 형성한 직후, 그 표면을 전자주사현미경을 이용하여 FE-SEM 이미지를 촬영하고, 5㎛ Х 5 ㎛ 면적 내의 100 개의 구리입자에 대하여 입경을 측정하고 이에 대한 평균값을 구하였다.

d. 2차 입자층의 평균입경

실시예 및 비교예에서 2차 입자층을 형성한 직후, 그 표면을 전자주사현미경을 이용하여 FE-SEM 이미지를 촬영하고, 5 ㎛ Х 5㎛ 면적 내의 50개의 2차 입자에 대하여 입경을 측정하고 이에 대한 평균값을 구하여 평균 입경으로 하였다.

e. 접착강도(단위: kgf/cm)

동박 시편을 폭 10mm 로 준비하여 테프론 수지위에 380℃에서 프레스 하여 샘플을 준비하였다. JIS C 6471 8.1에 준거한 90°박리법으로 접착강도를 확인하였다. 사용된 절연체는 AGC사 제품명 EA-2000인 두께 50 μm인 테프론 제품을 사용하였다.

f. 2차 입자층 입자량

표면처리 동박 10 x 10㎝ 샘플을 준비하고, 염산과수 용액에 침지하여 1㎛두께의 표면을 녹여낸 후 그 원액을 ICP분석법으로 측정하여 2차 입자층(Zn)의 입자량을 측정하였다.

g. 접착강도 고온 열화율

테프론에 수지에 고온 프레스하여 접착강도를 확인한 샘플을 위 방법에 따라 접착강도를 측정하여 기준값으로 하였다. 이후, 해당 샘플을 177 °C 온도의 오븐에서 10일을 유지한 후 접착강도를 측정하고, 기준값에 대한 변화율을 접착강도 고온 열화율(%)로 계산하였다.

아래 표 1은 측정된 물성값을 나열한 표이다.

구분	조도 (Rz)	3D 조도 (Sa)	1차 입자 크기	2차 입자 크기	2차 입자 입자량 (ug/dm2)	접착강도 (1일)	접착강도 (177°C, 10일 경과)	열화율 (%)
실시예 1	0.9	0.32	<100 nm	>100 nm	2790	3.0	2.97	1%
실시예 2	0.9	0.31	<100 nm	>100 nm	2450	3.0	2.79	7%
비교예 1	1.0	0.29	<100 nm	>100 nm	1990	3.0	1.49	49%
비교예 2	1.0	0.22	<100 nm	-	3000	3.0	0.12	>90%
비교예 3	1.5	0.83	>500 nm	-	300	3.0	0.13	>90%

도 3의 (a) 및 (b)는 각각 실시예 1 및 비교예 2에서 제조된 표면처리 동박의 표면을 관찰한 전자현미경 사진이다.

도 3을 참조하면, 실시예 1의 경우 표면에 바탕의 1차 입자층 보다 조대한입자로 구성되는 입자 집합체 구조의 2차 입자층이 형성된 것을 확인할 수 있다. 그러나, 비교예 2의 경우 입자 집합체 구조는 발달하지 않음을 알 수 있다. 이것은 2차 입자 소스로 공급된 Zn가 별도의 층을 이루기 보다 1차 입자층의 입자 표면에 고르게 증착된 것으로 보인다. 이러한 현상은 비교예 3에서도 관찰되었으며, 이로 인해 열화율이 매우 낮은 값을 나타냄을 알 수 있다.

한편, 비교예 1의 경우 입자 집합체 구조가 형성되었으나, 2차 입자층의 입자량이 실시예 1 및 2에 비해 낮은 값을 나타냄을 알 수 있고, 이러한 요인이 열화율의 급격한 증가를 초래한 것으로 짐작된다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims

구리 원박의 적어도 한 면에 형성된 Cu 또는 Cu 합금 입자를 포함하는 1차 입자층과 상기 1차 입자층 상에 형성된 Zn 입자를 포함하는 2차 입자층을 포함하는 표면처리층을 가진 표면처리동박에 있어서,
상기 2차 입자층은 복수의 Zn 입자가 군집하여 형성된 입자 집합체(cluster)들로 이루어진 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 입자 집합체는 상기 제1 입자층 상에서 불연속적으로 분포하는 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 표면처리동박의 표면처리층은 표면조도(Rz)가 1.0 μm 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 입자 집합체는 표면처리동박의 5um x 5um 면적에 평균적으로 2개 이상 분포된 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 입자 집합체는 표면처리동박의 5um x 5um 면적에 최대 15개 이하 분포된 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 2차 입자층의 입자 크기는 상기 1차 입자층의 입자 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제6항에 있어서,
상기 1차 입자층의 평균 입자 크기는 100 nm 미만이고,
상기 2차 입자층의 입자 집합체는 평균 크기는 0.5~2.0 um인 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 표면처리층의 Zn 농도가 2000 ug/dm2 이상인 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 표면처리층의 Zn 농도는 3500 ug/dm2 이하인 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 제2 입자층 상에 방청층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
제1항에 있어서,
상기 방청층은 크롬을 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 동박.
제1항에 있어서,
상기 구리 원박은 전해 동박인 것을 특징으로 하는 표면처리동박.
수지 기판상에 제1항 내지 제10항에 중 어느 한 항에 기재된 표면처리동박이 적층된 동박적층판.
제13항에 있어서,
상기 수지 기판은 PTFE 기판인 것을 특징으로 하는 동박적층판.
제13항에 있어서,
상기 동박적층판은 접착강도 고온 열화율이 10% 미만인 것을 특징으로 하는 동박적층판.
제14항 내지 제16항 중 어느 한 항 기재의 동박적층판을 사용하여 형성된 프린트 배선판.