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KR20180090134A - A test probe and test socket - Google Patents

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KR20180090134A
KR20180090134A KR1020170015153A KR20170015153A KR20180090134A KR 20180090134 A KR20180090134 A KR 20180090134A KR 1020170015153 A KR1020170015153 A KR 1020170015153A KR 20170015153 A KR20170015153 A KR 20170015153A KR 20180090134 A KR20180090134 A KR 20180090134A
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Abstract

Disclosed is a test probe of an object to be tested having a contact terminal to be tested of a curved surface cylindrical shape. The test probe comprises a first contact member having a contact part which has a pair of contact surfaces arranged in a V-shape so as to be individually in contact with a separated position of the contact terminal to be tested and an extension part which integrally and backwardly extends along the longitudinal direction from the contact part. According to the present invention, the test probe can prevent a test error by effectively contacting with the contact terminal to be tested of the partial curved surface cylindrical shape of the object to be tested such as an ultra-small camera module for a smart phone.

Description

검사용 프로브 및 소켓{A TEST PROBE AND TEST SOCKET} {A TEST PROBE AND TEST SOCKET}

본 발명은 스마트폰과 같은 소형 모바일기기에 적용되는 초소형카메라 모듈과 같은 곡면 형상의 피검사단자를 가진 피검사체를 검사하는 검사 프로브 및 검사 소켓에 관한 것이다. The present invention relates to an inspection probe and an inspection socket for inspecting an object to be inspected having curved inspection terminals such as an ultra-small camera module applied to a small mobile device such as a smart phone.

카메라모듈(10)은 도 9에 나타낸 바와 같이 부분 곡면 통 형상의 피검사접촉단자(12)를 구비하고 있다. 카메라모듈(10)의 피검사접촉단자(12)는 금속 스트립을 부분 곡면 통 형상으로 절곡시켜 형성한다. 이러한 카메라모듈(10)의 검사는 일반적인 포고핀(20)의 플런저(22)를 피검사접촉단자(12)에 접촉시켜 수행하였다. 포고핀(20)의 플런저(22)는 검사 시에 납으로 된 범프 단자를 찍을 수 있도록 뾰족한 하나 또는 다수의 팁(24)을 가진다. 검사 시에 플런저(22)의 날카로운 팁(24)이 부분 곡면 통형상의 피검사접촉단자(12)에 접촉한다. The camera module 10 is provided with a portion 12 to be inspected which is in the form of a partially curved tube as shown in Fig. The inspecting contact terminal 12 of the camera module 10 is formed by bending a metal strip into a partially curved cylindrical shape. The inspection of the camera module 10 was performed by bringing the plunger 22 of the general pogo pin 20 into contact with the inspecting contact terminal 12. The plunger 22 of the pogo pin 20 has one or a plurality of tips 24 that are sharpened so that a lead bump terminal can be taken at the time of inspection. The sharp tip 24 of the plunger 22 comes into contact with the to-be-inspected contact terminal 12 in the form of a partially curved tube.

카메라모듈(10)의 피검사접촉단자(12)는 통상적으로 단단한 금속으로 만들어진다. 따라서, 플런저(22)의 팁(24)이 볼록한 곡면 형상의 피검사접촉단자(12)에 접촉할 때, 플런저(22)의 팁(24)이 미끄러지는 접촉에러에 의한 검사 에러가 발생한다. 또한, 다양한 공차나 정렬 오차 등에 의해 검사에러가 발생한다. 또한, 많은 횟수의 반복 테스트에 따른 불순물 전이 현상이 발생하고, 그 결과 정상적인 카메라 모듈을 불량으로 오판할 수 있다. 이와 같은 프로브와 카메라모듈의 단자 사이의 불안정한 접촉은 장비정지, 크리닝 작업, 오류판독 등을 야기해 양산 수율에 좋지 않은 영향을 주게 된다.The inspecting contact terminal 12 of the camera module 10 is typically made of a hard metal. Therefore, when the tip 24 of the plunger 22 contacts the convexly curved surface-to-be-inspected contact terminal 12, an inspection error occurs due to a contact error in which the tip 24 of the plunger 22 slips. In addition, an inspection error occurs due to various tolerances and alignment errors. In addition, the impurity transfer phenomenon occurs due to the repeated test many times, and as a result, a normal camera module can be mistaken for defective. Such unstable contact between the probe and the terminals of the camera module may cause equipment stoppage, cleaning operation, error reading, etc. and adversely affect the mass production yield.

본 발명의 목적은 상술한 종래의 문제를 해결하기 위한 것으로, 카메라모듈과 같은 부분 곡면 통형상의 피검사접촉단자를 가진 피검사체를 안정적으로 검사하기에 적합한 검사 프로브 및 검사 소켓을 제공함에 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inspection probe and an inspection socket suitable for stably inspecting an object to be inspected having a partly curved cylindrical contact terminal to be inspected such as a camera module.

상술한 과제를 해결하기 위한 곡면 형상의 피검사접촉면을 갖는 피검사체의 검사용 프로브가 제공된다. 검사용 프로브는 V형으로 배치되어 상기 피검사접촉단자의 상호 이격된 위치에 각각 접촉하는 한 쌍의 접촉면을 가진 접촉부와, 상기 접촉부로부터 길이방향을 따라 후방으로 일체 연장하는 연장부를 갖는 제1접촉부재를 포함한다. 이에 의하면, 곡면 통형상의 피검사단자를 감싸면서 접촉하여 두 접촉점으로 연결되기 때문에, 접촉 불량을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 이물질 오염에 의한 접촉 저항의 상승을 방지할 수 있다. There is provided an inspection probe for an inspection object having a curved contact surface to be inspected to solve the above-described problems. The probe for inspection has a contact portion having a pair of contact surfaces which are arranged in a V-shape so as to be in contact with mutually spaced positions of the contact terminals to be inspected and a first contact having an extension extending integrally rearward along the longitudinal direction from the contact portion, Member. According to this configuration, since the curved tube-like inspecting terminal is wrapped around and connected to the two contact points, it is possible not only to prevent the contact failure but also to prevent the contact resistance from rising due to foreign matter contamination.

검사용 프로브는 검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재와, 상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재 사이에 배치되며, 상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 포함할 수 있다.Wherein the probe for inspection has a second contact member which contacts the inspection contact of the inspection circuit, and at least one of the first contact member and the second contact member which is disposed between the first contact member and the second contact member, And may include elastomers which are sexually biased.

검사용 프로브는 검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재, 상기 제1접촉부재의 하단에 접촉하는 제3접촉부재, 및 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 사이에 배치되며, 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 가진 프로브를 더 포함할 수 있다.The inspection probe includes a second contact member which contacts the inspection contact of the inspection circuit, a third contact member which contacts the lower end of the first contact member, and a second contact member which is disposed between the second contact member and the third contact member, And a probe having an elastic body for elastically biasing at least one of the second contact member and the third contact member.

본 발명의 실시예에 따른 검사용 프로브소켓은 V형으로 배치되어 상기 피검사접촉단자의 상호 이격된 위치에 각각 접촉하는 한 쌍의 접촉면을 가진 제1접촉부재를 지지하는 접촉부재지지체와, 검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재와, 상기 제1접촉부재의 하단에 접촉하는 제3접촉부재와, 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 사이에 배치되며 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 가진 프로브를 지지하는 프로브지지체를 포함한다.The inspection probe socket according to an embodiment of the present invention includes a contact member support body arranged in a V shape and supporting a first contact member having a pair of contact surfaces that are respectively in contact with mutually spaced positions of the contact terminals to be inspected, A third contact member contacting the lower end of the first contact member; and a second contact member disposed between the second contact member and the third contact member, And a probe support for supporting a probe having an elastic body for elastically biasing at least one of the third contact members.

상기 접촉부재지지체는 상기 프로브지지체에 착탈가능하게 지지되어, 오염에 의한 장비정비, 크리닝, 및 오류판독 등의 작업 시에 효과적으로 대처할 수 있다. The contact member supporter is detachably supported on the probe supporter and can effectively cope with work such as equipment maintenance, cleaning, and error reading due to contamination.

본 발명에 따른 검사용 프로브 및 프로브소켓에 의하면, 곡면 통형상의 피검사접촉단자는 프로브의 V형 접촉부로 2 지점에서 접촉시키기 때문에, 접촉 불량을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 V형 접촉부의 접촉점으로 전이되는 이물질을 축적을 줄여 오염에 의한 접촉 저항의 상승을 방지할 수 있다. According to the inspection probe and the probe socket according to the present invention, since the curved cylindrical contact terminal to be inspected is brought into contact with the V-shaped contact portion of the probe at two points, not only can the contact failure be prevented, but also the contact point of the V- It is possible to prevent the increase of the contact resistance due to contamination by reducing accumulation of the foreign matter to be transferred.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사용 프로브 소켓의 사시도,
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 검사용 프로브 소켓의 분해사시도,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 검사용 프로브 소켓의 부분단면도,
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 프로브 소켓의 부분단면도,
도 5 내지 7은 다양한 접촉부재 형상을 나타내는 사시도,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사용 프로브 소켓의 부분단면도, 및
도 9는 종래의 검사용 프로브 소켓의 부분단면도이다.
1 is a perspective view of a test probe socket according to an embodiment of the present invention,
2 is an exploded perspective view of a test probe socket according to an embodiment of the present invention,
3 is a partial cross-sectional view of a probe socket for inspection according to an embodiment of the present invention,
4 is a partial cross-sectional view of a probe socket for inspection according to another embodiment of the present invention;
5 to 7 are perspective views showing various contact member shapes,
8 is a partial cross-sectional view of a probe socket for inspection according to another embodiment of the present invention, and Fig.
9 is a partial cross-sectional view of a conventional probe socket for inspection.

이하, 본 발명의 일 실시 예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다.Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 3은 각각 본 발명의 실시예에 따른 검사용 프로브소켓(1)의 사시도, 분해사시도 및 부분단면도이다. 도시된 바와 같이, 프로브소켓(1)은 다수의 접촉부재들(110)을 수용하여 지지하는 접촉부재 지지체(100,120), 접촉부재 지지체(100,120)를 플로팅 상태로 수용하여 지지하는 하우징(300), 및 상기 하우징(300)의 하부에 수용되어 지지되며 상기 다수의 접촉부재들(110)에 대응하는 위치에 배치된 다수의 프로브들(200)을 지지하는 프로브지지체(400)를 포함한다.1 to 3 are a perspective view, an exploded perspective view, and a partial cross-sectional view, respectively, of a probe socket 1 for inspection according to an embodiment of the present invention. As shown in the figure, the probe socket 1 includes contact member supports 100 and 120 for receiving and supporting a plurality of contact members 110, a housing 300 for receiving and supporting the contact member supports 100 and 120 in a floating state, And a probe support 400 which is received in the lower portion of the housing 300 and supports a plurality of probes 200 disposed at positions corresponding to the plurality of contact members 110.

예를 들면 카메라모듈과 같은 피검사체(10)는 금속 판재를 'U'자형으로 절곡한 부분 곡면 통형상의 피검사단자(12)를 포함하고 있다.For example, a test object 10 such as a camera module includes a test object terminal 12 to be inspected in the form of a U-shaped bent portion of a metal plate.

접촉부재(110)는 도 1 및 3에 나타낸 바와 같이, V형으로 배치된 한 쌍의 접촉면(112,114)을 가진 접촉부(111) 및 상기 접촉부(111)로부터 반경이 확장되어 후방으로 연장하는 연장부(113)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 접촉면(112, 114)은 부분 곡면 통형상의 피검사단자(12)를 수용하여 접촉할 때 이격된 2지점(P1,P2)에 접촉한다. 결과적으로, 접촉부재(110)는 정렬 오차 및 공차에 따른 2 접촉점(P1,P2)의 위치 오차가 발생하더라도 피검사단자(12)와의 접촉을 확실하게 달성할 수 있다. 또한, 반복적인 테스트에 의해 이물질이 접촉면(112,114)에 전이되더라도 접촉 시에 전이된 이물질이 경사면을 따라 V형 그루브 아래로 밀려 축적됨으로써 접촉지점(P1,P2)에 누적되지 않도록 할 수 있다. 여기서 접촉부재(110)는 프로브의 플런저 자체일 수 있다. 통상적으로 피검사체(10)는 다수의 피검사단자(12)의 피치가 매우 좁게 배치되어 있다. 따라서, 접촉부(111)는 다수의 피검사단자(12)의 피치를 고려하여 좁은 폭으로 형성한 제1판부(115) 및 강도 향상을 위해 제1판부(115)보다 더 넓은 폭의 제2판부(116)를 포함한다. 접촉부재(110)는 전체적으로 동일한 두께의 판재로 제작할 수도 있지만, 강도 및 내구도가 낮기 때문에 인접한 피검사단자의 접촉을 피할 수 있는 정도의 길이만 제1판부(115)로 하고, 나머지는 더 넓은 폭의 제2판부(116) 또는 연장부(113)로 가공하는 것이 바람직하다.As shown in Figs. 1 and 3, the contact member 110 includes a contact portion 111 having a pair of contact surfaces 112 and 114 arranged in a V-shape, and an extension portion 113 extending radially from the contact portion 111 and extending rearward (113). Here, the pair of contact surfaces 112 and 114 come in contact with two spaced apart points P1 and P2 when receiving and contacting the to-be-inspected terminal 12 in the shape of a partially curved tube. As a result, the contact member 110 can reliably achieve contact with the terminals 12 to be inspected even if positional errors of the two contact points P1 and P2 occur due to alignment errors and tolerances. In addition, even if the foreign matter is transferred to the contact surfaces 112 and 114 by repeated tests, the foreign matter transferred at the time of contact can be accumulated below the V-shaped groove along the inclined surface to accumulate on the contact points P1 and P2. Where the contact member 110 may be the plunger itself of the probe. Normally, the inspection object 10 has a plurality of inspection terminals 12 arranged with a very narrow pitch. Therefore, the contact portion 111 includes a first plate portion 115 formed to have a narrow width in consideration of the pitch of the plurality of tested terminals 12, and a second plate portion 115 having a wider width than the first plate portion 115, (116). However, since the strength and the durability of the contact member 110 are low, only the first plate portion 115 has a length sufficient to avoid contact between the adjacent terminals to be inspected, It is preferable to process the second plate portion 116 or the extension portion 113 of the second plate portion 116. [

접촉부재 지지체(100,120)는 접촉부(111)의 단부가 부분돌출하도록 삽입된 제1접촉부재 지지체(110)와 이 제1접촉부재 지지체(110)의 하부에 배치되는 제2접촉부재 지지체(120)를 포함한다. 제1접촉부재 지지체(100)는 접촉부(111)가 삽입되는 제1개공(102)을 포함한다. 제2접촉부재 지지체(120)는 연장부(113)가 삽입되는 제2개공(122)를 포함한다. 접촉부재 지지체(100,120)는 4개의 스프링(320)에 의해 하우징(300)의 제1수용부(302) 내에서 플로팅으로 지지된다.The contact member supports 100 and 120 include a first contact member support 110 and a second contact member support 120 disposed at the lower portion of the first contact member support 110, . The first contact member support 100 includes a first opening 102 into which the contact portion 111 is inserted. The second contact member support 120 includes a second aperture 122 into which the extension 113 is inserted. The contact member supporters 100 and 120 are supported by floating in the first accommodating portion 302 of the housing 300 by four springs 320.

하우징(300)은 상부에 접촉부재 지지체(100,120)를 수용하는 제1수용부(302)와 하부에 프로브지지체(400)를 수용하는 제2수용부가 격벽을 두고 형성되어 있다. 격벽에는 후술하는 프로브(200)의 제1플런저(210)가 수용되는 제3개공(330)들을 포함한다.The housing 300 is formed with a first accommodating portion 302 for accommodating the contact member supporters 100 and 120 and a second accommodating portion for accommodating the probe supporter 400 thereunder. The partition walls include third openings 330 in which the first plunger 210 of the probe 200 described later is received.

프로브(200)는 원통형의 배럴(220), 일단이 배럴(220)의 일측에 부분 수용되고 타단이 접촉부재(110)의 하단에 접촉하는 제1플런저(210), 배럴(220)의 타측에 부분 삽입되는 제2플런저(230), 및 상기 배럴(220) 내에서 제1플런저(210)와 제2플런저(230) 사이에 개재되어 상기 제1플런저(210)와 제2플런저(230)를 서로 멀어지는 방향으로 바이어스 시킨다.The probe 200 includes a cylindrical barrel 220, a first plunger 210 whose one end is partially received at one side of the barrel 220 and whose other end is in contact with the lower end of the contact member 110, The first plunger 210 and the second plunger 230 are interposed between the first plunger 210 and the second plunger 230 in the barrel 220, And biases them in directions away from each other.

프로브지지체(400)는 하우징(300)의 저면에 있는 제2수용부 내에 삽입고정되고, 제2플런저(230)가 외부로 부분 돌출하도록 프로브(200)를 수용하는 제4개공(430)를 포함한다. 프로브지지체(400)는 고정핀(410)을 통해 하우징(300)의 하부에 고정한다.The probe support 400 includes a fourth aperture 430 inserted and fixed in a second receiving portion on the bottom of the housing 300 and receiving the probe 200 such that the second plunger 230 partially protrudes outward do. The probe support 400 is fixed to the lower portion of the housing 300 via the fixing pin 410.

도 2에 나타낸 바와 같이, 접촉부재(110)를 지지하는 접촉부재 지지체(100,120)는 하우징(300)의 제1수용부(302) 내에 착탈 가능하게 삽입 지지된다. 결과적으로 접촉부재(110)의 불량이나 수명이 끝났을 경우 용이하게 교체가 가능하다.2, the contact member supporting bodies 100 and 120 for supporting the contact member 110 are detachably inserted and supported in the first accommodating portion 302 of the housing 300. As shown in Fig. As a result, it is possible to easily replace the contact member 110 when the contact member 110 has failed or has reached the end of its service life.

도 3은 테스트를 위해 피검사체(10)를 가압한 상태로서 스프링(240)은 압축된 상태이다. 테스트가 완료되어 피검사체(10)의 누름을 중단하면 스프링(240)에 의해 제1플런저(240)가 상향 돌출하면서 접촉부재(110)를 밀어 올린다. 결과적으로, 테스트가 완료되면 접촉부재(110)의 접촉부(111)가 외부로 돌출한다. 3 shows a state in which the subject 10 is pressed for testing, and the spring 240 is in a compressed state. When the test is completed and the pressing of the inspection object 10 is stopped, the first plunger 240 protrudes upward by the spring 240 to push up the contact member 110. As a result, when the test is completed, the contact portion 111 of the contact member 110 protrudes outward.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브소켓(1)을 나타낸 부분 단면도이다. 도시된 바와 같이, 접촉부재(110)는 제1플런저로서 배럴(220)의 일측에 부분삽입되어 있다. 접촉부재(110)는 V형인 한 쌍의 접촉면(212,214)을 가진 접촉부(211) 및 상기 접촉부(211)로부터 반경이 확장되어 후방으로 연장하는 연장부(213)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 접촉면(212, 214)은 부분 곡면 통 형상의 피검사단자(12)를 수용하여 접촉할 때 이격된 2지점(P1,P2)에서 접촉한다. 접촉부(211)는 다수의 피검사단자(12)의 피치를 고려하여 좁은 폭으로 형성한 제1판부(215) 및 강도 향상을 위해 제1판부(215)보다 더 넓은 폭의 제2판부(216)를 포함한다. 접촉부재(110)는 전체적으로 동일한 두께의 판재로 제작할 수도 있지만, 강도 및 내구도가 낮기 때문에 인접한 피검사단자의 접촉을 피할 수 있는 정도의 길이만 제1판부(215)로 하고, 나머지는 더 넓은 폭의 제2판부(216) 또는 연장부(213)로 가공하는 것이 바람직하다. 배럴(220)의 타측에는 제2플런저(230)가 부분 삽입되어 검사회로의 패드단자(미도시)에 접촉한다. 배럴(220) 내에서 접촉부재(110)와 제2플런저(230) 사이에는 스프링(240)이 개재되어 접촉부재(110) 및 제2플런저(230)를 서로 멀어지도록 탄성 바이어스시킨다.4 is a partial cross-sectional view showing a probe socket 1 according to another embodiment of the present invention. As shown, the contact member 110 is partially inserted into one side of the barrel 220 as a first plunger. The contact member 110 includes a contact portion 211 having a pair of contact surfaces 212 and 214 of V shape and an extension portion 213 extending radially from the contact portion 211 and extending backward. Here, the pair of contact surfaces 212 and 214 come in contact with each other at two spaced apart points P1 and P2 when receiving and contacting the to-be-inspected terminal 12 in the form of a partially curved tube. The contact portion 211 includes a first plate portion 215 having a narrow width in consideration of the pitches of the plurality of inspected terminals 12 and a second plate portion 216 having a wider width than the first plate portion 215 ). However, since the strength and durability of the contact member 110 are low, only the first plate portion 215 is formed to have a length sufficient to avoid contact between the adjacent terminals to be inspected, It is preferable to process the second plate portion 216 or the extension portion 213 of the second plate portion. On the other side of the barrel 220, the second plunger 230 is partially inserted into contact with the pad terminal (not shown) of the inspection circuit. A spring 240 is interposed between the contact member 110 and the second plunger 230 in the barrel 220 to elastically bias the contact member 110 and the second plunger 230 away from each other.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 접촉부재(510)를 나타낸다. 여기서, 접촉부재(510)는 별도로 분리 제조되어, 도 3에 나타낸 바와 같이 프로브(200)의 제1플런저(210)에 접촉된다. 접촉부재(510)는 도 4에 나타낸 바와 같이 제1플런저(110)로서 적용될 수도 있다. 접촉부재(510)는 배럴에 삽입되거나 프로브의 플런저에 접촉하는 본체부(511), 본체부(511)에서 반경방향으로 확장하는 플랜지부(512), 좁은 폭으로 V형 접촉면을 가진 접촉부(516)가 형성된 제1판부(514) 및 제1판부(514)와 본체부(511) 사이에서 제1판부(514)보다 더 넓은 폭의 제2판부(513)를 포함한다. 본체부(511)는 원기둥 형상으로, 플랜지부(512)와 함께 길이방향으로 평면 가공된 적어도 하나의 평면부(515)를 포함한다. 이와 같은 평면부(515)는 다수의 접촉부재(510)를 배치할 때 다수의 제1판부(514)가 평행하게 배치될 수 있도록 하는 역할을 한다. 제1판부(514)는 인접하는 피검사단자(12)의 접촉을 피하기 위해 좁은 폭으로 형성된다. 도 5에서, 플랜지부(512)와 제2판부(513) 사이의 본체부(511)는 생략 가능하다. 즉, 제2판부(513)가 바로 플랜지부(512)로부터 연장할 수 있다. 마찬가지로, 제2판부(513)는 생략될 수 있다. 즉, 제1판부(514)는 플랜지부(512) 또는 본체부(511)로부터 바로 연장할 수도 있다. 그러나 폭이 좁은 제1부(514)는 길이가 길어지면 내구성이 떨어지거나 변형을 초래할 수도 있다.5 shows a contact member 510 according to another embodiment of the present invention. Here, the contact member 510 is separately manufactured and brought into contact with the first plunger 210 of the probe 200 as shown in Fig. The contact member 510 may be applied as the first plunger 110 as shown in Fig. The contact member 510 includes a body portion 511 inserted into the barrel or contacting the plunger of the probe, a flange portion 512 extending radially in the body portion 511, a contact portion 516 having a narrow V- And a second plate portion 513 having a width greater than that of the first plate portion 514 between the first plate portion 514 and the main body portion 511. The first plate portion 514 includes a first plate portion 514, The body portion 511 has a cylindrical shape and includes at least one flat surface portion 515 which is flattened in the longitudinal direction together with the flange portion 512. The flat portion 515 serves to allow a plurality of first plate portions 514 to be arranged in parallel when a plurality of contact members 510 are disposed. The first plate portion 514 is formed to have a narrow width in order to avoid the contact of the adjacent inspected terminals 12 with each other. 5, the body portion 511 between the flange portion 512 and the second plate portion 513 may be omitted. That is, the second plate portion 513 can directly extend from the flange portion 512. [ Similarly, the second plate portion 513 can be omitted. That is, the first plate portion 514 may extend directly from the flange portion 512 or the main body portion 511. However, if the length of the first portion 514 is long, the first portion 514 may be less durable or deformed.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉부재(610)를 나타낸다. 여기서, 접촉부재(610)는 별도로 분리 제조되어, 도 3에 나타낸 바와 같이 프로브(200)의 제1플런저(210)에 접촉된다. 접촉부재(610)는 도 4에 나타낸 바와 같이 제1플런저(110)로서 적용될 수도 있다. 접촉부재(610)는 배럴에 삽입되거나 프로브의 플런저에 접촉하는 본체부(611), 본체부(611)에서 반경방향으로 확장하는 플랜지부(612), 좁은 폭으로 V형 접촉면을 가진 접촉부(616)가 형성된 제1판부(614) 및 제1판부(614)와 본체부(611) 사이에서 제1판부(614)보다 더 넓은 폭의 제2판부(613)를 포함한다. 본체부(611)는 원기둥 형상을 가진다. 플랜지부(612)는 본체부(611)를 중심으로 반경방향으로 서로 마주보면서 연장한다. 플랜지부(612)는 4각 기둥의 형상을 가진다. 4각 기둥형상의 플랜지부(612)는 다수의 접촉부재(610)를 배치할 때 다수의 제1판부(614)가 평행하게 나란히 배치될 수 있도록 하는 역할을 한다. 제1판부(614)는 인접하는 피검사단자(12)의 접촉을 피하기 위해 좁은 폭으로 형성된다. 도 6에서, 플랜지부(612)와 제2판부(613) 사이의 본체부(611)는 생략 가능하다. 즉, 제2판부(613)가 바로 플랜지부(612)로부터 연장할 수 있다. 마찬가지로, 제2판부(613)는 생략될 수 있다. 즉, 제1판부(614)는 플랜지부(612) 또는 본체부(611)로부터 바로 연장할 수도 있다. 그러나 폭이 좁은 제1부(614)는 길이가 길어지면 내구성이 떨어지거나 변형을 초래할 수도 있다.6 shows a contact member 610 according to another embodiment of the present invention. Here, the contact member 610 is separately manufactured and contacted with the first plunger 210 of the probe 200 as shown in Fig. The contact member 610 may be applied as the first plunger 110 as shown in Fig. The contact member 610 includes a body portion 611 inserted into the barrel or contacting the plunger of the probe, a flange portion 612 extending radially in the body portion 611, a contact portion 616 having a narrow V- And a second plate portion 613 having a width greater than that of the first plate portion 614 between the first plate portion 614 and the main body portion 611. The first plate portion 614 has a first plate portion 614, The body portion 611 has a cylindrical shape. The flange portions 612 extend in a radial direction about the body portion 611 while facing each other. The flange portion 612 has a quadrangular prism shape. The four-sided flange portion 612 functions to allow a plurality of first plate portions 614 to be arranged side by side in parallel when a plurality of contact members 610 are disposed. The first plate portion 614 is formed to have a narrow width in order to avoid contact of the adjacent inspected terminals 12. 6, the body portion 611 between the flange portion 612 and the second plate portion 613 can be omitted. That is, the second plate portion 613 can directly extend from the flange portion 612. Likewise, the second plate portion 613 may be omitted. That is, the first plate portion 614 may extend directly from the flange portion 612 or the main body portion 611. However, if the length of the first portion 614 is too long, durability may be degraded or deformation may occur.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 접촉부재(710)를 나타낸다. 여기서, 접촉부재(710)는 별도로 분리 제조되어, 도 3에 나타낸 바와 같이 프로브(200)의 제1플런저(210)에 접촉된다. 접촉부재(710)는 도 4에 나타낸 바와 같이 제1플런저(110)로서 적용될 수도 있다. 접촉부재(710)는 배럴에 삽입되거나 프로브의 플런저에 접촉하는 본체부(711), 본체부(711)에서 반경방향으로 확장하는 플랜지부(712), 좁은 폭으로 V형 접촉면을 가진 접촉부(716)가 형성된 제1판부(714) 및 제1판부(714)와 본체부(711) 사이에서 제1판부(714)보다 더 넓은 폭의 제2판부(713)를 포함한다. 본체부(711)는 4각 기둥 형상을 가진다. 플랜지부(712)는 본체부(711)를 중심으로 폭 방향으로 서로 마주보면서 연장한다. 플랜지부(712)는 4각 기둥의 형상을 가진다. 4각 기둥형상의 플랜지부(712)는 다수의 접촉부재(710)를 배치할 때 다수의 제1판부(714)가 평행하게 나란히 배치될 수 있도록 하는 역할을 한다. 제1판부(714)는 인접하는 피검사단자(12)의 접촉을 피하기 위해 좁은 폭으로 형성된다. 도 7에서, 플랜지부(712)와 제2판부(713) 사이의 본체부(711)는 생략 가능하다. 즉, 제2판부(713)가 바로 플랜지부(712)로부터 연장할 수 있다. 마찬가지로, 제2판부(713)는 생략될 수 있다. 즉, 제1판부(714)는 플랜지부(712) 또는 본체부(711)로부터 바로 연장할 수도 있다. 그러나 폭이 좁은 제1부(714)는 길이가 길어지면 내구성이 떨어지거나 변형을 초래할 수도 있다.7 shows a contact member 710 according to another embodiment of the present invention. Here, the contact member 710 is separately manufactured and brought into contact with the first plunger 210 of the probe 200 as shown in Fig. The contact member 710 may be applied as the first plunger 110 as shown in Fig. The contact member 710 includes a body portion 711 inserted into the barrel or contacting the plunger of the probe, a flange portion 712 extending radially in the body portion 711, a contact portion 716 having a narrow V- And a second plate portion 713 which is wider than the first plate portion 714 between the first plate portion 714 and the main body portion 711. The body portion 711 has a quadrangular prism shape. The flange portions 712 extend in the width direction about the body portion 711 while facing each other. The flange portion 712 has a quadrangular prism shape. The four-column flange portion 712 functions to allow a plurality of first plate portions 714 to be arranged side by side in parallel when a plurality of contact members 710 are disposed. The first plate portion 714 is formed to have a narrow width in order to avoid contact of the adjacent inspected terminals 12. 7, the body portion 711 between the flange portion 712 and the second plate portion 713 can be omitted. That is, the second plate portion 713 can directly extend from the flange portion 712. Likewise, the second plate portion 713 can be omitted. That is, the first plate portion 714 may extend directly from the flange portion 712 or the main body portion 711. However, if the length of the first portion 714 is too long, durability may be degraded or deformation may occur.

도 7에서, 본체부(711), 플랜지부(712), 제1판부(714) 및 제2판부(713)는 모두 동일한 두께로 형성할 수 있다. 동일한 두께의 판상 기재를 이용하면, 편리하게 접촉부재(710)를 제조하는 것이 가능하다.7, the main body 711, the flange portion 712, the first plate portion 714, and the second plate portion 713 can all be formed to have the same thickness. By using a plate-shaped substrate having the same thickness, it is possible to manufacture the contact member 710 conveniently.

도 8은 다른 실시예에 따른 검사용 프로브소켓의 부분단면도이다. 도시한 바와 같이, 피검사단자(12)의 부분 곡면 통 형상 부분에 접촉하는 제1프로브(110,200)외에, 피검사단자(12)의 평면 부분에 접촉하는 제2프로브(800)를 포함한다. 여기서 제2프로브(800)는 도 4에 나타낸 실시예에도 동일하게 적용될 수 있다. 제2프로브(800)는 제한되지 않는 포고핀 형상으로 구현될 수 있다. 이와 같이 제2프로브(800)를 적용하는 것은 검사의 신뢰성을 향상시키기 위한 것이다.8 is a partial cross-sectional view of a test probe socket according to another embodiment. A second probe 800 which contacts the flat portion of the terminal 12 to be inspected in addition to the first probes 110 and 200 which are in contact with the partially curved cylindrical portion of the terminal 12 to be inspected. Here, the second probe 800 may be applied to the embodiment shown in FIG. The second probe 800 may be implemented in the form of an unrestricted pogo pin. The application of the second probe 800 is intended to improve the reliability of the inspection.

이상과 같이 본 발명은 한정된 예시적 실시예와 도면을 통해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 예시적 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형할 수 있다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is clearly understood that the same is by way of illustration and example only and is not to be construed as limiting the scope of the present invention as defined by the appended claims. Modification and modification.

그러므로 본 발명의 범위는 설명된 예시적 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited by the exemplary embodiments described, but should be determined by the scope of the appended claims, as well as the appended claims.

1: 프로브소켓
100: 제1접촉부재 지지체
110,510,610,710: 접촉부재
120: 제2접촉부재 지지체
200: 프로브
210: 제1플런저
220: 배럴
230: 제2플런저
240: 스프링
300: 하우징
400: 프로브지지체
1: Probe socket
100: first contact member support body
110, 510, 610, 710:
120: second contact member support body
200: probe
210: first plunger
220: Barrel
230: second plunger
240: spring
300: housing
400: probe support

Claims (5)

곡면 형상의 피검사접촉단자를 갖는 피검사체의 검사용 프로브에 있어서,
V형으로 배치되어 상기 피검사접촉단자의 상호 이격된 위치에 각각 접촉하는 한 쌍의 접촉면을 가진 접촉부와, 상기 접촉부로부터 길이방향을 따라 후방으로 일체 연장하는 연장부를 갖는 제1접촉부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용프로브.
A probe for inspection of an object to be inspected having curved contact terminals to be inspected,
And a first contact member which is arranged in a V shape and has a pair of contact surfaces each of which is in contact with a mutually spaced position of the inspecting contact terminals and an extension portion extending integrally rearward along the longitudinal direction from the contact portion, Wherein the probe is a probe.
제 1항에 있어서,
검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재와;
상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재 사이에 배치되며, 상기 제1접촉부재와 상기 제2접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용프로브.
The method according to claim 1,
A second contact member contacting the inspection contact of the inspection circuit;
And an elastic body disposed between the first contact member and the second contact member and elastically biasing at least one of the first contact member and the second contact member.
제 1항에 있어서,
검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재, 상기 제1접촉부재의 하단에 접촉하는 제3접촉부재, 및 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 사이에 배치되며, 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 가진 프로브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용프로브.
The method according to claim 1,
A second contact member contacting the inspection contact of the inspection circuit, a third contact member contacting the lower end of the first contact member, and a second contact member disposed between the second contact member and the third contact member, And a probe having an elastic body for elastically biasing at least one of the first contact member and the third contact member.
곡면 형상의 피검사접촉단자를 갖는 피검사체의 검사용 프로브들을 지지하는 프로브소켓에 있어서,
V형으로 배치되어 상기 피검사접촉단자의 상호 이격된 위치에 각각 접촉하는 한 쌍의 접촉면을 가진 제1접촉부재를 지지하는 접촉부재지지체와;
검사회로의 검사접점에 접촉하는 제2접촉부재와, 상기 제1접촉부재의 하단에 접촉하는 제3접촉부재와, 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 사이에 배치되며 상기 제2접촉부재와 상기 제3접촉부재 중 적어도 하나를 탄성적으로 바이어스시키는 탄성체를 가진 프로브를 지지하는 프로브지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브소켓.
1. A probe socket for supporting probes for inspection of an object to be inspected having curved contact terminals to be inspected,
A contact member support body arranged in a V shape and supporting a first contact member having a pair of contact surfaces that are in contact with mutually spaced positions of the inspecting contact terminals;
A second contact member contacting the inspection contact of the inspection circuit, a third contact member contacting the lower end of the first contact member, and a second contact member disposed between the second contact member and the third contact member, And a probe support for supporting a probe having an elastic body for elastically biasing at least one of the first contact member and the third contact member.
제 4항에 있어서,
상기 접촉부재지지체는 상기 프로브지지체에 착탈가능하게 지지되는 것을 특징으로 하는 검사용 프로브소켓.
5. The method of claim 4,
Wherein the contact member support is detachably supported on the probe support.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101999521B1 (en) * 2019-01-17 2019-07-12 위드시스템 주식회사 pin breakage prevention type multi contact socket
KR20200109516A (en) * 2019-03-13 2020-09-23 퀄맥스시험기술 주식회사 Probe for the test device
KR102171289B1 (en) * 2019-05-17 2020-10-28 (주)티에스이 Contact probe and test socket including the same
KR20210124365A (en) * 2019-11-12 2021-10-14 쑤저우 에이치와이씨 테크놀로지 코포레이션 리미티드 probe module
KR102409029B1 (en) * 2022-04-12 2022-06-14 이시훈 Probe pin

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI673499B (en) * 2018-09-10 2019-10-01 范劉文玲 Integrated circuit socket
CN112213533A (en) * 2019-07-10 2021-01-12 三赢科技(深圳)有限公司 Needle stand structure and test fixture adopting same
KR102208381B1 (en) * 2019-09-06 2021-01-28 리노공업주식회사 Test probe and method manufacturing for the same, and test socket supporting the same
CN114019354A (en) * 2021-11-02 2022-02-08 环鸿电子(昆山)有限公司 Circuit board testing device and circuit board testing method
CN115308456B (en) * 2022-09-29 2023-03-10 深圳市道格特科技有限公司 Vertical probe and probe card

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4786414B2 (en) * 2006-05-23 2011-10-05 株式会社エンプラス Socket for electrical parts
KR100810044B1 (en) * 2006-08-10 2008-03-05 리노공업주식회사 A apparatus and method of contact probe
KR20110076855A (en) * 2011-05-25 2011-07-06 박상량 Semiconductor test socket
KR101282324B1 (en) * 2011-10-14 2013-07-04 (주)마이크로컨텍솔루션 Probe pin
KR101439342B1 (en) * 2013-04-18 2014-09-16 주식회사 아이에스시 Probe member for pogo pin
KR101439343B1 (en) * 2013-04-18 2014-09-16 주식회사 아이에스시 Probe member for pogo pin
JP5985447B2 (en) * 2013-08-21 2016-09-06 オムロン株式会社 Probe pin and electronic device using the same
SG11201606516RA (en) * 2014-02-13 2016-09-29 Nhk Spring Co Ltd Probe unit
KR101552553B1 (en) * 2014-09-23 2015-10-01 리노공업주식회사 A contact probe for the test device
KR101620541B1 (en) * 2014-10-17 2016-05-12 주식회사 아이에스시 Connector for electrical connection
JP6317270B2 (en) * 2015-02-03 2018-04-25 株式会社日本マイクロニクス Electrical connection device and pogo pin
CN205861733U (en) * 2016-06-22 2017-01-04 深圳市斯纳达科技有限公司 Spring probe and socket for integrated circuit testing

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101999521B1 (en) * 2019-01-17 2019-07-12 위드시스템 주식회사 pin breakage prevention type multi contact socket
KR20200109516A (en) * 2019-03-13 2020-09-23 퀄맥스시험기술 주식회사 Probe for the test device
KR102171289B1 (en) * 2019-05-17 2020-10-28 (주)티에스이 Contact probe and test socket including the same
KR20210124365A (en) * 2019-11-12 2021-10-14 쑤저우 에이치와이씨 테크놀로지 코포레이션 리미티드 probe module
KR102409029B1 (en) * 2022-04-12 2022-06-14 이시훈 Probe pin

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