KR20160125596A - 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 - Google Patents
터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20160125596A KR20160125596A KR1020150056142A KR20150056142A KR20160125596A KR 20160125596 A KR20160125596 A KR 20160125596A KR 1020150056142 A KR1020150056142 A KR 1020150056142A KR 20150056142 A KR20150056142 A KR 20150056142A KR 20160125596 A KR20160125596 A KR 20160125596A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- conductive layer
- conductive
- sensing patterns
- sensing
- nanowires
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims abstract description 78
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 14
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 14
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 9
- 229920008347 Cellulose acetate propionate Polymers 0.000 description 4
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N triacetic acid Chemical compound CC(=O)CC(=O)CC(O)=O ILJSQTXMGCGYMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- -1 Polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 125000005487 naphthalate group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04102—Flexible digitiser, i.e. constructional details for allowing the whole digitising part of a device to be flexed or rolled like a sheet of paper
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04111—Cross over in capacitive digitiser, i.e. details of structures for connecting electrodes of the sensing pattern where the connections cross each other, e.g. bridge structures comprising an insulating layer, or vias through substrate
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
- G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
- G06F2203/04112—Electrode mesh in capacitive digitiser: electrode for touch sensing is formed of a mesh of very fine, normally metallic, interconnected lines that are almost invisible to see. This provides a quite large but transparent electrode surface, without need for ITO or similar transparent conductive material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
Abstract
터치 스크린 패널은 감지 영역에서 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들; 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 이웃하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인; 상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 이웃하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인; 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및 상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함한다. 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 도전성 나노 와이어를 포함하는 제2 도전층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.
Description
본 발명은 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
터치 스크린 패널은 단독으로 사용되기 보다는 영상을 구현하는 표시 패널과 결합된다. 상기 터치 스크린 패널은 사용자가 영상을 시청하면서 상기 터치 스크린 패널을 누르거나 터치하여 미리 정해진 정보를 입력한다.
상기 표시 패널이 가용성을 가질 경우, 상기 터치 스크린 패널도 가요성을 가져야 한다. 따라서, 최근에는 가요성을 가지는 터치 스크린 패널이 개발되고 있다.
본 발명의 일 목적은 가요성을 가지는 터치 스크린 패널을 제공하는 데에 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적은 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법을 제공하는 데에 있다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위한 터치 스크린 패널은 감지 영역 및 주변 영역을 포함하는 기판; 상기 감지 영역에서 상기 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들; 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 인접하는 웃하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인; 상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인; 상기 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및 상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함한다. 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 도전성 나노 와이어를 포함하는 제2 도전층을 포함할 수 있다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.
상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 높을 수 있다. 상기 제2 도전층의 저항은 상기 제1 도전층의 저항보다 낮을 수 있다.
상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 배치된 제3 도전층을 더 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위한 터치 스크린 패널의 제조 방법은 전사 기판 상에 제1 도전층 및 상기 제1 도전층의 외부에 배치된 제2 도전층을 형성하는 단계; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 기판 상의 감지 영역 및 주변 영역으로 각각 전사하는 단계; 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 패터닝하여, 상기 감지 영역에서 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들과 복수의 제2 감지 패턴들, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인, 상기 주변 영역에 배치되는 복수의 패드들을 포함하는 패드부 및 상기 주변 영역에서 상기 패드들과 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 형성하는 단계; 및 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다를 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 형성하는 단계는 제1 노즐 및 상기 제1 노즐의 양측에 배치되는 제2 노즐들을 포함하는 노즐 유닛을 이용하며, 상기 제2 노즐들의 개구된 면적은 상기 제1 노즐의 개구된 면적보다 클 수 있다.
상기 제1 도전층은 상기 전사 기판이 제1 기간에 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제1 노즐에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층일 수 있다. 상기 제2 도전층은 상기 전사 기판이 상기 제1 기간에 상기 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층 및 상기 제1 기간보다 짧은 제2 기간에 상기 제1 속도와 다른 제2 속도로 상기 전사 기판이 이송되는 동안 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제2 속도는 상기 제1 속도보다 느리다.
상기 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계는 상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 상기 제1 패턴 연결 라인을 커버하는 절연막을 형성하는 단계; 상기 절연막을 패터닝하여, 각 제2 감지 패턴의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴들에 인접한 영역을 노출시키는 단계; 및 상기 절연막 상에 도전막을 형성하고 상기 도전막을 패터닝하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 제3 도전층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상술한 바와 같은 터치 스크린 패널은 가요성 기판을 사용하고, 상기 기판 상에 배치되는 도전 패턴들이 도전성 나노 와이어를 포함한다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널은 가요성을 가질 수 있으며, 반복적인 휨 또는 벤딩에 의한 상기 도전 패턴들의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법은 패터닝 공정을 감소시킬 수 있다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널의 제조 방법은 패터닝 공정에 의한 환경 오염의 우려를 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이다.
도 3은 도 1의 I-I' 라인에 따른 단면도이다.
도 4 내지 도 10은 도 1 내지 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 도면이다.
도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이다.
도 3은 도 1의 I-I' 라인에 따른 단면도이다.
도 4 내지 도 10은 도 1 내지 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 도면이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 설명하기 위한 평면도이며, 도 2는 도 1의 A 영역의 확대도이며, 도 3은 도 1의 I-I' 라인에 따른 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 터치 스크린 패널은 사용자의 터치 위치를 감지할 수 있는 감지 영역(SA) 및 상기 감지 영역(SA)에 인접하여 배치되는 상기 주변 영역(PA)을 포함할 수 있다.
상기 터치 스크린 패널은 기판(100), 상기 감지 영역(SA)에서 상기 기판(100) 상에 배치되는 복수의 감지 전극(110)들, 및 상기 주변 영역(PA)에서 상기 감지 전극(110)들을 패드부(140)에 연결하는 배선(130)들을 포함할 수 있다.
상기 기판(100)은 상기 감지 영역(SA) 및 상기 주변 영역(PA)을 포함할 수 있다. 상기 기판(100)은 가요성 기판일 수 있다. 또한, 상기 기판(100)은 투명 절연 물질, 예를 들면, 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenen naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(PPS, polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(PAR, polyarylate), 폴리이미드(PI, polyimide), 폴리카보네이트(PC, Polycarbonate), 트리아세테이트 셀룰로오스(TAC, Triacetate Cellulose), 및 셀룰로오스아세테이트 프로피오네이트(CAP, cellulose acetate propionate) 중 하나를 포함할 수 있다.
상기 감지 영역(SA)에서, 상기 감지 전극(110)들은 상기 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 또한, 상기 감지 전극(110)들은 일 방향으로 서로 연결되는 복수의 제1 감지 패턴(114)들, 및 상기 제1 감지 패턴(114)들과 교차하는 방향으로 서로 연결되는 복수의 제2 감지 패턴(112)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 감지 패턴(114)들은 종 방향으로 배열되고, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴(114)들은 제1 패턴 연결 라인(114a)을 통하여 연결될 수 있다. 상기 제2 감지 패턴(112)들은 횡 방향으로 배열되고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴(112)들은 제2 패턴 연결 라인(112a)을 통하여 연결될 수 있다.
상기 제1 패턴 연결 라인(114a) 및 상기 제2 패턴 연결 라인(112a) 중 하나, 예를 들면, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 동일한 층, 예를 들면, 상기 기판(100) 상에 배치될 수 있다.
상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 적어도 하나의 도전층을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 제1 도전층(CL1) 및 상기 제1 도전층(CL1) 상에 배치된 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1)은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
상기 주변 영역(PA)에는 복수의 패드(141)들을 구비하는 상기 패드부(140) 및 상기 패드(141)들 및 상기 제1 감지 패턴(114)들과 상기 제2 감지 패턴(112)들을 연결하는 상기 배선(130)들이 배치될 수 있다.
상기 패드부(140)는 상기 터치 스크린 패널을 구동하기 위한 구동 회로부(미도시)와 연결될 수 있다.
상기 배선(130)들은 상기 제1 감지 패턴(114)들 및 상기 패드(141)들을 각각 연결하는 제1 배선(134)들 및 상기 제2 감지 패턴(112)들 및 상기 패드(141)들을 각각 연결하는 제2 배선(132)들을 포함할 수 있다.
상기 패드(141)들, 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 제2 도전층(CL2) 및 상기 제2 도전층(CL2) 상에 배치된 상기 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다. 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 제1 도전층(CL1)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 즉, 상기 제2 도전층(CL2)은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 다만, 상기 제2 도전층(CL2) 내의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 도전층(CL1) 내의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다. 따라서, 상기 제2 도전층(CL2)의 저항이 상기 제1 도전층(CL1)의 저항보다 낮을 수 있다.
상기 제3 도전층(CL3)은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 도전층(CL3)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층(CL3)은 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)의 전압 강하(IR drop) 현상을 방지할 수 있다.
상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들, 상기 제1 패턴 연결 라인(114a), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들이 배치된 상기 기판(100) 상에는 절연막(120)이 배치될 수 있다. 상기 절연막(120)은 광을 투과시킬 수 있는 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 또한, 상기 절연막(120)은 상기 제2 감지 패턴(112)들의 일부를 노출시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 각 제2 감지 패턴(112)의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴에 인접한 영역을 노출시킬 수 있다.
상기 절연막(120) 상에는 상기 제2 감지 패턴(112)들을 연결할 수 있는 제2 패턴 연결 라인(112a)이 배치될 수 있다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 상기 제1 패턴 연결 라인(114a)과 교차할 수 있다.
상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 이들의 합금 중 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 도전성 폴리머를 포함할 수도 있다.
상기 터치 스크린 패널은 가요성 기판인 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들 모두 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 일반적으로 상기 도전성 나노 와이어를 포함하는 도전 패턴 또는 도전층은 순수 금속 또는 합금을 포함하는 도전 패턴 또는 도전층에 비하여 가요성이 우수하다. 따라서, 상기 터치 스크린 패널은 가요성을 가질 수 있으며, 반복적인 휨 또는 벤딩에 의한 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들의 손상을 방지할 수 있다.
도 4 내지 도 10은 도 1 내지 도 3에 도시된 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 공정 도면이다.
도 4는 전사 기판 상에 도전 패턴을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이며, 도 5는 도 4의 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 전사 기판(TS) 상에 도전성 나노 와이어를 도포하여 도전층(CP)을 형성한다. 상기 도전층(CP)은 상기 전사 기판(TS) 상에 배치된 제1 도전층(CL1), 및 상기 상기 제1 도전층(CL1) 외부에 배치된 제2 도전층(CL2)을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 제1 도전층(CL1)의 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제2 도전층(CL2)의 도전성 나노 와이어의 밀도와 서로 다를 수 있다. 상기 도전성 물질은 도전성 나노 와이어를 포함할 수 있다. 상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나일 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 전사 기판(TS) 상에 배치된 노즐 유닛(NU)을 이용하여 형성될 수 있다. 상기 노즐 유닛(NU)은 복수의 노즐(NU1)들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 노즐 유닛(NU)은 제1 노즐(NU1a) 및 상기 제1 노즐(NU1a)의 양측에 배치되고 상기 제1 노즐(NU1a)의 개구 면적과 다른 개구 면적을 가지는 제2 노즐(NU1b)들을 포함할 수 있다. 상기 제2 노즐(NU1b)들의 개구된 면적은 각 제1 노즐(NU1a)의 개구된 면적보다 클 수 있다. 따라서, 상기 제2 노즐(NU1b)들에서 토출되어 단위 면적당 퇴적되는 상기 도전성 나노 와이어의 양이 상기 제1 노즐(NU1a)에서 토출되어 단위 면적당 퇴적되는 상기 도전성 나노 와이어의 양보다 클 수 있다. 즉, 상기 제2 노즐(NU1b)들에 의해 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 노즐(NU1a)에 의해 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다.
또한, 상기 전사 기판(TS)의 이송 속도는 일정 주기로 변경될 수 있다. 예를 들면, 상기 전사 기판(TS)은 제1 기간에는 제1 속도로 이송될 수 있으며, 상기 제1 기간보다 짧은 제2 기간에는 상기 제1 속도와 다른 제2 속도로 이송될 수 있다. 여기서, 상기 제2 속도는 상기 제1 속도보다 느릴 수 있다. 상기 전사 기판(TS)의 이송 속도가 상기 제2 속도인 경우, 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적되는 단위 면적당 상기 도전성 나노 와이어의 양은 상기 제1 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적되는 단위 면적당 상기 나노 와이어의 양보다 클 수 있다. 즉, 상기 제2 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 속도에서 상기 전사 기판(TS) 상에 퇴적된 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다.
상기 제1 도전층(CL1)은 상기 제1 속도에서 상기 제1 노즐(NU1a)에 의해 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층일 수 있다. 또한, 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 제2 노즐(NU1b)들에 의해 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층 및 상기 제2 속도에서 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적된 도전층을 포함할 수 있다.
따라서, 상기 제2 도전층(CL2)의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도가 상기 제1 도전층(CL1)의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 클 수 있다. 그러므로, 상기 제2 도전층(CL2)의 저항이 상기 제1 도전층(CL1)의 저항보다 낮을 수 있다.
도 6은 전사 기판 상의 제1 및 제2 도전층을 전사시키는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6를 참조하면, 상기 전사 기판(TS) 상에 상기 도전층(CP)을 형성한 후, 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)을 감지 영역(SA) 및 주변 영역(PA)을 포함하는 기판(100) 상으로 전사시킨다. 여기서, 상기 제1 도전층(CL1)은 상기 감지 영역(SA)으로 전사되고, 상기 제2 도전층(CL2)은 상기 주변 영역(PA)으로 전사될 수 있다.
상기 도전층(CP)의 전사는 롤투롤(Roll-to-Roll) 공법을 이용하여 진행할 수 있다.
이를 보다 상세히 설명하면, 상기 도전층(CP)이 형성된 상기 전사 기판(TS)을 전사 롤(RU)로 공급한다. 여기서, 상기 도전층(CP)은 상기 기판(100)에 마주하도록 배치될 수 있다.
상기 전사 롤(RU)은 회전과 동시에, 상기 기판(100) 방향으로 상기 전사 기판(TS)에 압력을 가할 수 있다. 따라서, 상기 전사 기판(TS) 상의 상기 도전층(CP)은 상기 기판(100) 상으로 전사될 수 있다.
도 7은 제1 및 제2 도전층 상에 제3 도전층을 형성시키는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 7을 참조하면, 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)을 포함하는 상기 도전층(CP)을 상기 기판(100)으로 전사한 후, 상기 기판(100) 상의 상기 도전층(CP) 상에 제3 도전층(CL3)을 형성한다.
상기 제3 도전층(CL3)은 투명 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 제3 도전층(CL3)은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 제3 도전층(CL3)은 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제2 도전층(CL2)의 전압 강하(IR drop) 현상을 방지할 수 있다.
도 8은 제1 도전층, 제2 도전층 및 제3 도전층을 패터닝하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8을 참조하면, 상기 제3 도전층(CL3)을 형성한 후, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 및 상기 제3 도전층(CL3)을 패터닝한다. 상기 패터닝은 습식 식각 공정을 통하여 수행될 수 있으며, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 및 상기 제3 도전층(CL3)은 동시에 식각될 수 있다.
상기 패터닝에 의하여, 상기 감지 영역(SA)에는 일방향으로 배열된 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제1 감지 패턴(114)들에 교차하는 방향으로 배열된 제2 감지 패턴(112)들, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴(114)들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인(114a)이 형성된다. 따라서, 상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들 및 상기 제1 패턴 연결 라인(114a)은 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제1 도전층(CL1) 및 상기 제1 도전층(CL1) 상에 배치된 상기 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
또한, 상기 패터닝에 의하여, 상기 주변 영역(PA)에는 복수의 패드(141)들을 포함하는 패드부(140), 상기 제1 감지 패턴(114)들을 상기 패드부(140)에 연결하는 제1 배선(134)들, 및 상기 제2 감지 패턴(112)들을 패드부(140)에 연결하는 제2 배선(132)들이 형성된다.
따라서, 상기 패드(141)들, 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들은 상기 기판(100) 상에 배치된 상기 제2 도전층(CL2) 및 상기 제2 도전층(CL2) 상에 배치된 제3 도전층(CL3)을 포함할 수 있다.
도 9는 절연막을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9를 참조하면, 상기 제1 도전층(CL1), 상기 제2 도전층(CL2), 상기 제3 도전층(CL3)을 패터닝한 후, 상기 제1 감지 패턴(114)들, 상기 제2 감지 패턴(112)들, 상기 제2 패턴 연결 라인(112a), 상기 패드부(140), 상기 제1 배선(134)들 및 상기 제2 배선(132)들을 커버하는 상에 절연막(120)을 형성한다. 상기 절연막(120)은 광을 투과시킬 수 있는 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 스핀 코팅을 통해 형성될 수 있다.
도 10은 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 공정을 설명하기 위한 단면도이다.
도 10을 참조하면, 상기 절연막(120)을 형성한 후, 상기 절연막(120)을 패터닝한다. 상기 절연막(120)은 패터닝되어, 상기 제2 감지 패턴(112)들의 일부를 노출시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 절연막(120)은 각 제2 감지 패턴(112)의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴(112)들에 인접한 영역을 노출시킬 수 있다.
상기 절연막(120)을 패터닝한 후, 상기 절연막(120) 상에 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴(112)들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인(112a)을 형성한다. 상기 제2 패턴 연결 라인(112a)은 상기 절연막(120) 상에 도전막을 형성하고, 상기 도전막을 패터닝하여 형성될 수 있다. 상기 도전막은 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 이들의 합금 중 하나를 포함할 수 있다. 또한, 상기 도전막은 ITO(Indium Tin Oxide) 및 IZO(Indium Zinc Oxide) 중 하나를 포함할 수 있다. 상기 도전막은 도전성 폴리머를 포함할 수도 있다.
상술한 바와 같은 터치 스크린 패널의 제조 방법은 상기 제1 감지 패턴(114), 상기 제2 감지 패턴(112), 상기 패드(141)들, 및 상기 배선(130)들을 동시에 형성할 수 있다. 즉, 패터닝 공정이 최소한으로 사용될 수 있다. 일반적인 패터닝 공정은 포토리소그래피 공정을 이용한다. 상기 포토리소그래피 공정은 반복적인 노광 및 현상 공정을 이용하여 환경 오염에 대한 우려가 있다. 따라서, 본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널의 제조 방법은 환경 오염의 우려를 감소시킬 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하고 설명하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 전술한 바와 같이 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있으며, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 기판
110 : 감지 전극
120 : 절연막 130 : 배선
140 : 패드부 CL1 : 제1 도전층
CL2 : 제2 도전층 CL3 : 제3 도전층
TS : 전사 기판 NU : 노즐 유닛
RU : 전사 롤
120 : 절연막 130 : 배선
140 : 패드부 CL1 : 제1 도전층
CL2 : 제2 도전층 CL3 : 제3 도전층
TS : 전사 기판 NU : 노즐 유닛
RU : 전사 롤
Claims (16)
- 감지 영역 및 주변 영역을 포함하는 기판;
상기 감지 영역에서 상기 기판 상에 배치되고, 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들 및 복수의 제2 감지 패턴들;
상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들과 동일층 상에 배치되고, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인;
상기 제1 패턴 연결 라인에 절연되게 교차하고, 서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 전기적으로 연결하는 제2 패턴 연결 라인;
상기 주변 영역에서, 상기 기판 상에 배치되고, 복수의 패드들을 포함하는 패드부; 및
상기 패드들, 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 포함하며,
상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 및 상기 제1 패턴 연결 라인들은 제1 도전층을 포함하고, 상기 패드들 및 상기 배선들은 도전성 나노 와이어를 포함하는 제2 도전층을 포함하며,
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다른 터치 스크린 패널. - 제1 항에 있어서,
상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 높은 터치 스크린 패널. - 제2 항에 있어서,
상기 제2 도전층의 저항은 상기 제1 도전층의 저항보다 낮은 터치 스크린 패널. - 제1 항에 있어서,
상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함하는 터치 스크린 패널. - 제1 항에 있어서,
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 배치된 제3 도전층을 더 포함하는 터치 스크린 패널. - 제5 항에 있어서,
상기 제3 도전층은 투명 도전성 산화물을 포함하는 터치 스크린 패널. - 전사 기판 상에 제1 도전층 및 상기 제1 도전층의 외부에 배치된 제2 도전층을 형성하는 단계;
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 기판 상의 감지 영역 및 주변 영역으로 각각 전사하는 단계;
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 패터닝하여, 상기 감지 영역에서 서로 교차하는 방향으로 배열된 복수의 제1 감지 패턴들과 복수의 제2 감지 패턴들, 서로 인접하는 상기 제1 감지 패턴들을 연결하는 제1 패턴 연결 라인, 상기 주변 영역에 배치되는 복수의 패드들을 포함하는 패드부 및 상기 주변 영역에서 상기 패드들과 상기 제1 감지 패턴들 및 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 복수의 배선들을 형성하는 단계; 및
서로 인접하는 상기 제2 감지 패턴들을 연결하는 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계를 포함하고,
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층은 도전성 나노 와이어를 포함하고, 상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 서로 다른 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제7 항에 있어서,
상기 제2 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도는 상기 제1 도전층의 상기 도전성 나노 와이어의 밀도보다 높은 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제8 항에 있어서,
상기 제2 도전층의 저항은 상기 제1 도전층의 저항보다 낮은 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제7 항에 있어서,
상기 도전성 나노 와이어는 은(Ag) 나노 와이어, 금(Au) 나노 와이어, 백금(Pt) 나노 와이어, 구리(Cu) 나노 와이어 및 니켈(Ni) 나노 와이어 중 적어도 하나를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제7 항에 있어서,
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층을 형성하는 단계는
제1 노즐 및 상기 제1 노즐의 양측에 배치되는 제2 노즐들을 포함하는 노즐 유닛을 이용하며, 상기 제2 노즐들의 개구된 면적은 상기 제1 노즐의 개구된 면적보다 큰 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제11 항에 있어서,
상기 제1 도전층은 상기 전사 기판이 제1 기간에 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제1 노즐에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층이며,
상기 제2 도전층은 상기 전사 기판이 상기 제1 기간에 상기 제1 속도로 이송되는 동안 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층 및 상기 제1 기간보다 짧은 제2 기간에 상기 제1 속도와 다른 제2 속도로 상기 전사 기판이 이송되는 동안 상기 제1 노즐 및 상기 제2 노즐들에서 토출된 상기 도전성 나노 와이어가 퇴적되어 형성된 도전층을 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제12 항에 있어서,
상기 제2 속도는 상기 제1 속도보다 느린 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제7 항에 있어서,
상기 제2 패턴 연결 라인을 형성하는 단계는
상기 제1 감지 패턴들, 상기 제2 감지 패턴들, 상기 제1 패턴 연결 라인을 커버하는 절연막을 형성하는 단계;
상기 절연막을 패터닝하여, 각 제2 감지 패턴의 이웃하는 상기 제2 감지 패턴들에 인접한 영역을 노출시키는 단계; 및
상기 절연막 상에 도전막을 형성하고 상기 도전막을 패터닝하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제7 항에 있어서,
상기 제1 도전층 및 상기 제2 도전층 상에 제3 도전층을 형성하는 단계를 더 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법. - 제14 항에 있어서,
상기 제3 도전층은 투명 도전성 산화물을 포함하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150056142A KR102338748B1 (ko) | 2015-04-21 | 2015-04-21 | 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 |
| US14/986,160 US10031628B2 (en) | 2015-04-21 | 2015-12-31 | Touch screen panel and fabrication method of the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020150056142A KR102338748B1 (ko) | 2015-04-21 | 2015-04-21 | 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160125596A true KR20160125596A (ko) | 2016-11-01 |
| KR102338748B1 KR102338748B1 (ko) | 2021-12-15 |
Family
ID=57146805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020150056142A KR102338748B1 (ko) | 2015-04-21 | 2015-04-21 | 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10031628B2 (ko) |
| KR (1) | KR102338748B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200012531A (ko) * | 2018-07-27 | 2020-02-05 | 동우 화인켐 주식회사 | 고성능 필름형 터치센서 및 그 제조방법 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220008997A (ko) * | 2020-07-14 | 2022-01-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 전자장치 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011090879A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Fujifilm Corp | 透明導電体の製造方法 |
| KR20140066441A (ko) * | 2012-11-23 | 2014-06-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 터치스크린패널 및 그 제조방법 |
| KR20140092683A (ko) * | 2013-01-16 | 2014-07-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 |
| KR101427766B1 (ko) * | 2013-05-22 | 2014-08-12 | 전자부품연구원 | 터치패널 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2205714A4 (en) * | 2007-10-01 | 2011-01-12 | Univ Southern California | DETECTION OF METHYLATED DNA AND DNA MUTATIONS |
| JP5182164B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2013-04-10 | セイコーエプソン株式会社 | タッチパネルの製造方法及び表示装置製造方法並びに電子機器製造方法 |
| KR101049006B1 (ko) * | 2010-02-22 | 2011-07-12 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 |
| KR101119269B1 (ko) | 2010-07-26 | 2012-03-16 | 삼성전기주식회사 | 터치패널용 투명도전막 및 그 제조방법 |
| KR101975536B1 (ko) | 2012-07-30 | 2019-05-08 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 터치 스크린 패널 |
| KR102017155B1 (ko) | 2012-11-01 | 2019-09-03 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 |
| CN104635981B (zh) * | 2014-11-26 | 2018-06-22 | 业成光电（深圳）有限公司 | 触控模组及具有该触控模组的触控显示装置 |
| US9933872B2 (en) * | 2014-12-01 | 2018-04-03 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Touch panel |
-
2015
- 2015-04-21 KR KR1020150056142A patent/KR102338748B1/ko active IP Right Grant
- 2015-12-31 US US14/986,160 patent/US10031628B2/en active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011090879A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Fujifilm Corp | 透明導電体の製造方法 |
| KR20140066441A (ko) * | 2012-11-23 | 2014-06-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 터치스크린패널 및 그 제조방법 |
| KR20140092683A (ko) * | 2013-01-16 | 2014-07-24 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치스크린 패널 및 그의 제조방법 |
| KR101427766B1 (ko) * | 2013-05-22 | 2014-08-12 | 전자부품연구원 | 터치패널 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200012531A (ko) * | 2018-07-27 | 2020-02-05 | 동우 화인켐 주식회사 | 고성능 필름형 터치센서 및 그 제조방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102338748B1 (ko) | 2021-12-15 |
| US20160313836A1 (en) | 2016-10-27 |
| US10031628B2 (en) | 2018-07-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11340741B2 (en) | Touch window having a sensing electrode with a variable width of a conductive line | |
| US9217890B2 (en) | Touch screen panel and method for manufacturing the same | |
| US9229555B2 (en) | Touch screen panel and method of manufacturing the same | |
| US20120026128A1 (en) | Display system having a capacitive touch panel and manufacturing methods of the same | |
| TW201624224A (zh) | 觸碰感測裝置 | |
| US11314362B2 (en) | Touch substrate, touch control display apparatus, method of fabricating touch substrate | |
| TWI549047B (zh) | 觸控面板及其製造方法 | |
| US10101858B2 (en) | Touch screen panel and manufacturing method thereof | |
| KR20140143645A (ko) | 터치 센서 패널 및 그 제조 방법 | |
| KR20150104677A (ko) | 터치스크린 패널 | |
| US10768764B2 (en) | Touch structure and manufacturing method thereof, and touch device | |
| CN112711354A (zh) | 触控面板及其制备方法、显示触控装置 | |
| WO2016002461A1 (ja) | 入力装置およびその製造方法 | |
| KR102338748B1 (ko) | 터치 스크린 패널 및 이의 제조 방법 | |
| US10521057B2 (en) | Touch screen panel having overlapping sensing electrodes and method of manufacturing the same | |
| KR101325654B1 (ko) | 터치 스크린 패널 및 제조방법 | |
| JP6405298B2 (ja) | 静電容量式センサ、タッチパネルおよび電子機器 | |
| US9282645B2 (en) | Laser patterning of frame wire area on touch panel | |
| CN212229613U (zh) | 触控面板 | |
| KR102166853B1 (ko) | 터치 센서 및 이를 포함하는 화상 표시 장치 | |
| TW202143012A (zh) | 觸控面板 | |
| KR101496254B1 (ko) | 터치 패널 및 제조 방법 | |
| KR20140137858A (ko) | 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법 | |
| CN105334995A (zh) | 触控面板及其制造方法 | |
| JP2014206877A (ja) | アライメントマークの形成方法、当該方法を用いた透明電極板の製造方法、及び、タッチパネルの製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20150421 |
|
| PG1501 | Laying open of application | ||
| A201 | Request for examination | ||
| PA0201 | Request for examination |
Patent event code: PA02012R01D Patent event date: 20200325 Comment text: Request for Examination of Application Patent event code: PA02011R01I Patent event date: 20150421 Comment text: Patent Application |
|
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20210408 Patent event code: PE09021S01D |
|
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20210913 |
|
| GRNT | Written decision to grant | ||
| PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20211208 Patent event code: PR07011E01D |
|
| PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20211209 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
| PG1601 | Publication of registration |