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KR20140137858A - 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법 - Google Patents

터치 스크린 패널 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20140137858A
KR20140137858A KR1020130059013A KR20130059013A KR20140137858A KR 20140137858 A KR20140137858 A KR 20140137858A KR 1020130059013 A KR1020130059013 A KR 1020130059013A KR 20130059013 A KR20130059013 A KR 20130059013A KR 20140137858 A KR20140137858 A KR 20140137858A
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KR
South Korea
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sensing electrode
substrate
photosensitive
forming
spacers
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KR1020130059013A
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조선행
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명에 터치 스크린 패널의 제조 방법은, 제1 기판 상에 제1 감지전극을 형성하는 단계; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 상에 제2 감지전극을 형성하는 단계; 상기 제1 감지전극 상에 감광막을 형성하는 단계; 상기 감광막을 패터닝하여 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 형성하는 단계; 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.

Description

터치 스크린 패널 및 그 제조 방법{Touch Screen Panel and Manufacturing Method Thereof}
본 발명의 실시예는 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 상부 감지전극과 하부 감지전극 사이에 스페이서들이 구비된 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
터치 스크린 패널은 영상표시장치 등의 화면에 나타난 지시 내용을 사람의 손 또는 물체로 선택하여 사용자의 명령을 입력할 수 있도록 한 입력장치이다.
이를 위해, 터치 스크린 패널은 영상표시장치의 전면(front face)에 구비되어 사람의 손 또는 물체에 직접 접촉된 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다. 이에 따라, 접촉위치에서 선택된 지시 내용이 입력신호로 받아들여진다.
이와 같은 터치 스크린 패널은 키보드 및 마우스와 같이 영상표시장치에 연결되어 동작하는 별도의 입력장치를 대체할 수 있기 때문에 그 이용범위가 점차 확장되고 있는 추세이다.
터치 스크린 패널을 구현하는 방식으로는 저항막 방식, 광감지 방식 및 정전용량 방식 등이 알려져 있다.
이 중 정전용량 방식의 터치 스크린 패널은, 소정의 도전성을 갖는 사람의 손 또는 도전물체가 접촉될 때 감지전극이 주변의 다른 감지전극 또는 접지전극 등과 형성하는 정전용량의 변화를 감지함으로써, 접촉위치를 전기적 신호로 변환한다.
최근, 비도전성 물체가 접촉되면 감지되지 않는 기존의 정전용량 방식의 단점을 보완하기 위해, 터치 압력에 의해 접촉위치를 인식하는 터치 스크린 패널이 개발되고 있다. 이러한 터치 스크린 패널은 하부의 제1 감지전극과 상부의 제2 감지전극 사이에 스페이서들이 구비되고, 사람의 손 또는 물체가 누르는 압력에 의해 제1 및 제2 감지전극 사이의 간격이 좁아지며 발생하는 정전용량의 변화를 감지함으로써, 접촉위치를 파악할 수 있다.
그런데, 종래의 터치 스크린 패널(정전용량 및 저항막 방식 포함)은 주로 인쇄(Screen Print) 기법을 사용하여 스페이서들을 형성한다.
이러한 인쇄 기법으로 스페이서들이 형성될 경우, 인쇄 마스크의 구멍 상태, 스페이서 재료의 점도 및 인쇄 조건에 따라 스페이서들의 형태가 고르지 못하게 되고, 반원형태를 갖는 스페이서들의 높이가 미세하게 차이를 가질 수 있다.
결과적으로, 스페이서들에 의해 일정한 간격이 유지되어야 하는 상부 감지전극과 하부 감지전극 사이의 간격이 편차를 갖게 되면, 터치 스크린 패널의 오작동 및 터치 품질 저하의 주요 원인이 될 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 스페이서들의 높이를 균일하게 형성할 수 있는 터치 스크린 패널 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널의 제조 방법은, 제1 기판 상에 제1 감지전극을 형성하는 단계; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 상에 제2 감지전극을 형성하는 단계; 상기 제1 감지전극 상에 감광막을 형성하는 단계; 상기 감광막을 패터닝하여 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 형성하는 단계; 및 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.
일부 실시예에서, 상기 감광막은 감광필름(Dry Film Resist, DFR)일 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광막은 감광액(액상 포토리지스트)를 도포하여 형성될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광성 스페이서들을 형성하는 단계는, 상기 감광막을 포토리소그래피 방식으로 노광 및 현상할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광성 스페이서들을 형성하는 단계는, 상기 노광 및 현상된 감광성 스페이서들을 경화하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제2 감지전극 상에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 가장자리 영역에 봉지부재를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제1 감지전극은 서로 이격되어 제1 방향을 따라 연결되는 다수의 라인들로 형성되고, 상기 제2 감지전극은 서로 이격되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연결되는 다수의 라인들로 형성될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제1 감지전극 및 상기 제2 감지전극을 각각 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 라인 단위로 외부의 구동회로와 연결하기 위한 외곽 배선들을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 기판은 활성 영역과 상기 활성 영역 외곽의 비활성 영역으로 구분되며, 상기 제1 및 제2 감지전극은 상기 활성 영역에 형성되고, 상기 외곽 배선들은 상기 비활성 영역에 형성할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 제1 및 제2 기판은, 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판일 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의한 터치 스크린 패널은, 제1 기판 상에 형성된 제1 감지전극; 상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 상에 형성된 제2 감지전극; 및 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극 사이에 형성되고, 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광성 스페이서들은, 상기 제1 감지전극 상에 형성된 감광막을 패터닝하여 형성될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광막은 감광필름일 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 감광막은 액상 포토리지스트를 도포하여 형성될 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 감광막(또는 감광필름)을 패터닝하여 제1 감지전극과 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 형성함으로써, 감광성 스페이서들의 높이가 균일하게 형성되고, 제1 및 제2 감지전극 사이의 간격이 편차없이 일정하게 형성될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I' 선 방향에 따른 단면도이다.
도 3a 내지 도 6은 도 2의 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I' 선 방향에 따른 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 터치 스크린 패널은 제1 기판(10), 제1 감지전극(11), 제1 외곽 배선들(15), 제2 기판(20), 제2 감지전극(21), 제2 외곽 배선들(25), 감광성 스페이서들(31), 절연막(40) 및 봉지부재(50)를 포함할 수 있다.
제1 기판(10)과 제2 기판(20)은 서로 마주하도록 상하로 배치되며, 각각 제1 및 제2 감지전극(11, 21)이 형성되어 터치 입력이 가능한 활성 영역(AA)과, 상기 활성 영역(AA)의 외곽부에 위치하고 제1 및 제2 외곽 배선들(15, 25)이 형성되는 비활성 영역(NA)으로 구분될 수 있다.
활성 영역(AA)은 영상 표시영역과 중첩되고, 비활성 영역(NA)은 영상 비표시영역과 중첩되는 차광 영역으로서 활성 영역(AA)을 둘러싸는 형태를 가질 수 있다.
제1 및 제2 기판(10, 20) 중 어느 하나는 터치 스크린 패널의 전면에 구비되는 윈도우 기판일 수 있고, 제1 및 제2 기판(10, 20)은 플렉서블 특성을 가지며 투명하면서도 고 내열성 및 내 화학성의 특성을 갖는 물질로 구현될 수 있다.
예컨대, 제1 및 제2 기판(10, 20)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판일 수 있다.
제1 감지전극(11)은 제1 기판(10)의 활성 영역(AA)에 일정한 간격으로 분산 배치되며 제1 방향(D1)을 따라 전기적으로 연결되는 다수의 라인들로 형성될 수 있다.
제2 감지전극(21)은 제2 기판(20)의 활성 영역(AA)에 일정한 간격으로 분산 배치되며 제1 방향(D1)과 교차하는 제2 방향(D2)을 따라 전기적으로 연결되는 다수의 라인들로 형성될 수 있다.
제1 및 제2 감지전극(11, 21)은 빛이 투과될 수 있도록 인듐-주석 산화물(Indium Tin Oxide; ITO)과 같은 투명 도전물질로 형성될 수 있으며, 상기 투명 도전물질을 각각 제1 및 제2 기판(10, 20) 상에 증착한 다음, 포토리소그래피(Photolithography) 방식으로 패터닝하여 형성될 수 있다.
본 실시예에서 제1 및 제2 감지전극(11, 21)은 직선형의 스트라이프 패턴임을 예시하고 있으나, 제1 및 제2 감지전극(11, 21)의 재질 및 형상은 다양한 변형예를 가질 수 있으며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
예컨대, 제1 및 제2 감지전극(11, 21)은 다수의 라인 형상이 아닌 활성 영역(AA)의 전면에 형성되는 면 형상을 가질 수 있고, 투명 도전물질이 아닌 미세 금속 라인들로 구현되는 금속 메쉬(metal mesh) 패턴으로 형성될 수도 있다.
제1 외곽 배선들(15)은 제1 감지전극(11)을 제1 방향(D1)을 따른 라인 단위로 외부의 구동회로(미도시)와 전기적으로 연결하며, 제2 외곽 배선들(25)은 제2 감지전극(21)을 제2 방향(D2)을 따른 라인 단위로 외부의 구동회로와 전기적으로 연결한다.
제1 및 제2 외곽 배선들(15, 25)은 영상이 표시되는 활성 영역(AA)을 피해 터치 스크린 패널 외곽의 비활성 영역(NA)에 배치되는 것으로, 재료 선택의 폭이 넓어 감지전극들의 형성에 이용되는 투명 도전물질 외에도 몰리브덴(Mo), 은(Ag), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴(Mo/Al/Mo) 등의 저저항 금속물질로 형성될 수 있다.
감광성 스페이서들(31)은 상기 제1 감지전극(11)과 상기 제2 감지전극(21) 사이에 형성되고, 제1 감지전극(11)과 제2 감지전극(21)의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 기능을 한다.
감광성 스페이서들(31)은 제1 감지전극(11) 상에 형성된 감광막을 패터닝하여 형성되는데, 감광막은 감광필름(Dry Film Resist, DFR)을 라미네이팅하거나 감광액(액상 포토리지스트)를 도포하여 형성될 수 있다.
이러한 감광막의 경우 매우 높은 균일도의 두께를 가지므로, 감광막을 패터닝하여 형성된 감광성 스페이서들(31) 역시 균일한 높이(h)를 가질 수 있다.
예컨대, 감광성 스페이서들(31)의 높이는 0.1 mm일 수 있으며, 감광성 스페이서들(31)의 상호 간격은 1 mm ~ 2 mm일 수 있다.
본 실시예에서, 감광성 스페이서들(31)의 형상 및 배치구조는 상면에서 보았을 때 원형이고 제1 감지전극(11) 상에 형성됨을 예시하고 있으나, 다각형으로 형성되거나 제1 감지전극(11) 사이의 공간에 형성될 수도 있다.
또한, 감광성 스페이서들(31)은 터치 압력에 의해 높이(h)가 가변되었다가 원형을 회복할 수 있도록 소정의 탄성을 가질 수 있다.
한편, 상기 제1 감지전극(11)과 제2 감지전극(21) 사이에는 통전을 방지하기 위한 절연막(40)이 형성될 수 있다.
또한, 상기 제1 기판(10) 또는 상기 제2 기판(20)의 가장자리 영역에는 터치 스크린 패널의 밀봉을 위한 봉지부재(50)가 형성될 수 있다.
도 3a 내지 도 6은 도 2의 터치 스크린 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 제1 기판(10) 상에 제1 감지전극(11)을 형성하고, 상기 제1 감지전극(11) 상에 감광막을 형성한다.
구체적으로, 제1 감지전극(11)은 투명 도전물질로 도전막을 증착한 후 패터닝 공정을 거쳐 형성될 수 있다. 예컨대, 도전막은 스퍼터링(sputtering) 공정으로 증착될 수 있고, 패터닝 단계에서는 제1 감지전극(11)에 대응하는 패턴이 형성된 마스크(미도시)를 이용한 포토리소그래피 공정과 식각 공정이 수행될 수 있다.
여기서, 스퍼터링 공정은 물리기상증착(Physical Vapor Deposition, PVD), 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 또는 플라즈마 화학기상증착(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 포함할 수 있다.
제1 감지전극(11)은 인듐-주석 산화물(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 은나노와이어(AgNW) 등의 금속성 나노와이어 재질로 형성될 수 있다.
감광막은 상기 제1 감지전극(11) 상에 감광필름(30a)을 라미네이팅하거나, 분사장치(200)를 이용해 감광액(30b)을 도포 또는 코팅하여 형성될 수 있다.
감광필름(30a)을 이용할 경우, 롤투롤 공정 등으로 미리 생산된 제품을 이용할 수 있으므로 생산성이 좋고, 감광액을 이용할 경우, 보다 얇은 두께를 구현하기가 용이한 장점이 있다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 감광막(30, 30a 및 30b를 포함)을 패터닝하여 감광성 스페이서들(31)을 형성한다.
감광성 스페이서들(31)은 상기 감광막(30)을 포토리소그래피 방식으로 노광 및 현상하여 형성될 수 있다.
구체적으로, 감광막(30) 상에 감광성 스페이서들(31)에 대응하는 패턴이 형성된 포토마스크(PM)를 배치하고, 자외선(UV) 등의 광원에 노출시킴으로써 감광막(30)에 대한 노광 공정이 수행될 수 있다.
다음으로, 상기 노광 공정에 의해 노출된 영역 또는 노출되지 않은 영역을 현상액으로 제거하는 현상 공정이 수행된다. 현상 공정 이후 남겨진 패턴들이 감광성 스페이서들(31)이다.
부가적으로, 감광성 스페이서들(31)의 강도를 강화하고, 감광성 스페이서들(31)과 제1 감지전극(11)의 결합력을 강화하기 위해 감광성 스페이서들(31)에 열을 인가하는 경화(baking) 공정이 더 수행될 수 있다.
도 6을 참조하면, 감광성 스페이서들(31)과 제1 감지전극(11)이 형성된 제1 기판(10)과 제2 감지전극(21)이 형성된 제2 기판(20)을 합착시킨다.
단, 제2 감지전극(21) 상에는 제1 감지전극(11)과 제2 감지전극(21) 사이의 통전을 방지하기 위한 절연막(40)이 미리 형성될 수 있다. 상기 절연막(40)은 제2 감지전극(21)이 형성된 전면에 증착될 수 있다.
또한, 제1 기판(10)의 가장자리 영역에는 터치 스크린 패널의 밀봉을 위한 봉지부재(50)가 형성되어 합착될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 제1 기판(10)과 제2 기판(20) 상에는 각각 제1 및 제2 감지전극(11, 21)을 외부로 연결하기 위한 제1 및 제2 외곽 배선들이 미리 형성될 수 있다.
본 실시예에서는 제1 기판(10)에 제1 감지전극들(11)을 형성하고, 감광성 스페이서들(31)을 형성한 다음, 제1 기판(10)과 제2 기판(20)을 합착하는 순서로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 공정 순서가 바뀌거나 부가적인 다른 공정이 필요에 따라 추가될 수 있다.
전술한 바와 같이, 종래의 인쇄 기법으로 형성된 스페이서들은 높이의 편차가 발생하여, 터치 센싱에 있어서 가장 중요한 요소인 정전용량(C = εA/d, 여기서 d는 제1 및 제2 감지전극 사이의 거리)에 영향을 주게 되고, 결과적으로 터치 스크린 패널의 오작동 및 터치 품질 저하의 주요 원인이 되는 문제점이 있다.
그러나 본 발명에 의하면, 감광막(또는 감광필름)을 패터닝하여 제1 감지전극과 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 형성함으로써, 감광성 스페이서들의 높이가 균일하게 형성되고, 제1 및 제2 감지전극 사이의 간격이 편차없이 일정하게 형성될 수 있다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 변형예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10: 제1 기판 11: 제1 감지전극
15: 제1 외곽 배선들 20: 제2 기판
21: 제2 감지전극 25: 제2 외곽 배선들
30: 감광막 30a: 감광필름
30b: 감광액 31: 감광성 스페이서들
40: 절연막 50: 봉지부재

Claims (15)

  1. 제1 기판 상에 제1 감지전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 상에 제2 감지전극을 형성하는 단계;
    상기 제1 감지전극 상에 감광막을 형성하는 단계;
    상기 감광막을 패터닝하여 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 형성하는 단계; 및
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광막은 감광필름(Dry Film Resist, DFR)인 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 감광막은 감광액(액상 포토리지스트)를 도포하여 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 감광성 스페이서들을 형성하는 단계는,
    상기 감광막을 포토리소그래피 방식으로 노광 및 현상하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  5. 제 4 항에 있어서, 상기 감광성 스페이서들을 형성하는 단계는,
    상기 노광 및 현상된 감광성 스페이서들을 경화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제2 감지전극 상에 절연막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 기판 또는 상기 제2 기판의 가장자리 영역에 봉지부재를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 감지전극은 서로 이격되어 제1 방향을 따라 연결되는 다수의 라인들로 형성되고, 상기 제2 감지전극은 서로 이격되어 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라 연결되는 다수의 라인들로 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 제1 감지전극 및 상기 제2 감지전극을 각각 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향을 따른 라인 단위로 외부의 구동회로와 연결하기 위한 외곽 배선들을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 기판은 활성 영역과 상기 활성 영역 외곽의 비활성 영역으로 구분되며,
    상기 제1 및 제2 감지전극은 상기 활성 영역에 형성되고, 상기 외곽 배선들은 상기 비활성 영역에 형성하는 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2 기판은,
    폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리이미드(polyimide, PI), 폴리에틸렌(polyethylene, PE), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC), 폴리아미드(polyamide, PA), 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate, PMMA), 트리아세틸셀룰로오스(triacetylcellulose, TAC) 및 폴리에테르술폰(polyehtersulfone, PES)으로 구성된 군에서 선택된 하나 이상의 재료로 형성된 박막형 필름기판인 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널의 제조 방법.
  12. 제1 기판 상에 형성된 제1 감지전극;
    상기 제1 기판과 마주보는 제2 기판 상에 형성된 제2 감지전극; 및
    상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극 사이에 형성되고, 상기 제1 감지전극과 상기 제2 감지전극의 사이를 일정 간격으로 유지시키는 감광성 스페이서들을 포함하는 터치 스크린 패널.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 감광성 스페이서들은,
    상기 제1 감지전극 상에 형성된 감광막을 패터닝하여 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 감광막은 감광필름인 것을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 감광막은 액상 포토리지스트를 도포하여 형성됨을 특징으로 하는 터치 스크린 패널.

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