KR20160099439A - Treated copper foil, and copper-clad laminate and printed wiring board using the treated copper foil - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 전송 특성이 우수하고, 절연성 수지 기재 (이하 「수지 기재」라고 한다) 와의 높은 박리 강도를 구비하며, 또한, 에칭 후의 수지 기재의 흐림도 (HAZE 값) 가 낮아, 투과도가 높은 프린트 배선판을 제조할 수 있는 처리 동박에 관한 것이다.The present invention has excellent transmission characteristics, has a high peeling strength with an insulating resin substrate (hereinafter referred to as " resin substrate "), has a low haze value (HAZE value) of a resin substrate after etching, To a treated copper foil.
정보 통신 기기 등에 사용되는 프린트 배선판은, 수지 기재 상에 도전성이 있는 배선 패턴을 형성한 것이다. 이 수지 기재로는, 글라스 클로스나 종이 등의 보강재에 절연성이 있는 페놀 수지나 에폭시 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 비스말레이미드트리아진 수지 등을 함침시킨 리지드 프린트 배선판용, 폴리이미드 수지나 시클로올레핀 폴리머 수지 등으로 구성되는 플렉시블 프린트 배선판용을 들 수 있다. 한편, 도전성이 있는 배선 패턴의 재료로는 일반적으로 동박이 사용되고 있다.BACKGROUND ART A printed wiring board used for information communication equipment or the like is formed with a conductive wiring pattern on a resin substrate. Examples of the resin base material include a rigid printed wiring board in which a reinforcing material such as glass cloth or paper is impregnated with an insulating phenol resin, an epoxy resin, a polyphenylene ether resin, a bismaleimide triazine resin, etc., a polyimide resin or a cycloolefin A polymer resin, and the like. On the other hand, a copper foil is generally used as a material for a conductive wiring pattern.
이 프린트 배선판은, 수지 기재와 동박을 가열, 가압함으로써 구리 피복 적층판을 제조한 후, 배선 패턴을 형성하기 위해서 동박의 불필요한 부분을 에칭에 의해 제거함으로써 제조할 수 있다.The printed wiring board can be produced by producing a copper clad laminate by heating and pressing the resin base and the copper foil and then removing unnecessary portions of the copper foil by etching to form a wiring pattern.
동박은 그 제법에 따라 전해 동박과 압연 동박의 2 종류로 크게 나뉘고, 각각의 특징으로부터 용도에 맞춰 구별해서 사용하고 있다. 또, 어느 동박도 그대로 사용되는 일은 거의 없고, 조화 처리층을 비롯하여 내열 처리층, 녹방지 처리층 등등의 각종 처리층을 형성한 것이 사용되고 있다 (이하, 각종 처리층이 형성되어 있는 동박을 「처리 동박」이라고 한다).The copper foil is roughly classified into two types, electrolytic copper foil and rolled copper foil, according to the manufacturing method, and the copper foil is used separately from each of the features in accordance with the use. In addition, any copper foil is rarely used as it is, and a copper foil having various treatment layers such as a roughened layer, a heat-resistant layer, and a rust-preventive layer is used (hereinafter referred to as & Copper foil ").
프린트 배선판을 실용상 문제없이 사용하는 데 있어서는, 수지 기재와 처리 동박과의 박리 강도 즉 밀착성이 중요한 특성의 하나이다.In the practical use of the printed wiring board without problems, the peel strength or adhesion between the resin substrate and the treated copper foil is one of the important characteristics.
박리 강도는 정상 상태는 물론이고, 내열성, 내약품성, 내흡습성이 확보되고, 박리 강도가 유지될 필요가 있다.The peel strength is required not only in the steady state but also in the heat resistance, chemical resistance and moisture absorption resistance, and the peel strength must be maintained.
이를 위한 유효한 수단의 하나로서, 동박에는 조화 처리층을 형성하는 것이 행해져 왔다.As one effective means for achieving this, it has been practiced to form a roughened layer on the copper foil.
최근에는 고속ㆍ고주파 전송 대응 프린트 배선판의 수요가 높아지고 있고, 이러한 프린트 배선판에는 지금까지의 특성에 추가하여, 전송 손실로 대표되는 「전송 특성」도 중요하다.In recent years, there is a growing demand for high-speed and high-frequency transmission compatible printed wiring boards. In addition to the above characteristics, "transmission characteristics" represented by transmission losses are also important for such printed wiring boards.
전송 손실이란, 프린트 배선판에 흐르는 전류가 거리 등에 따라 감쇠하는 정도를 나타내는 것으로, 일반적으로 주파수가 높아짐에 따라서 전송 손실은 커지는 경향이 있다. 전송 손실이 크다는 것은, 소정 전류의 일부밖에 부하측에 전해 지지 않는다는 것이기 때문에, 실용상 문제없이 사용하기 위해서는 전송 손실은 보다 낮게 억제하지 않으면 안된다.The transmission loss means the degree to which a current flowing in the printed wiring board is attenuated according to a distance or the like. In general, the transmission loss tends to increase as the frequency increases. The fact that the transmission loss is large means that only a part of the predetermined current is not transmitted to the load side, so that the transmission loss must be suppressed to a lower level for practical use without any problem.
프린트 배선판의 전송 손실은, 유전체 손실과 도체 손실을 모두 더한 것이다. 유전체 손실은 수지 기재에서 유래하는 것으로, 유전율과 유전 정접에서 기인한다. 한편, 도체 손실은 도전체, 즉 동박에서 유래하는 것으로, 도체 저항에서 기인한다. 따라서 전송 손실을 낮추기 위해서는, 수지 기재의 유전율이나 유전 정접을 작게 하는 것은 물론, 동박의 도체 저항을 작게 할 필요가 있다.The transmission loss of the printed wiring board is the sum of both the dielectric loss and the conductor loss. The dielectric loss is derived from a resin substrate and is caused by dielectric constant and dielectric loss tangent. On the other hand, the conductor loss is derived from a conductor, that is, a copper foil, which is caused by a conductor resistance. Therefore, in order to lower the transmission loss, it is necessary to reduce the dielectric constant and dielectric tangent of the resin substrate, and to reduce the conductor resistance of the copper foil.
전술한 바와 같이, 전류의 주파수가 높아짐에 따라서 전송 손실은 커지는 경향이 있지만, 그것은 도체 손실, 즉 도체 저항이 높아지기 때문으로, 「표피 효과」와 「처리 동박의 표면 형상」이 관계하고 있다.As described above, the transmission loss tends to increase as the frequency of the current increases. However, since the conductor loss, that is, the conductor resistance increases, the "skin effect" and the "surface shape of the treated copper foil" are related to each other.
표피 효과란, 도전체에 흐르는 전류는 주파수가 높아짐에 따라서 도전체의 표면 근처를 흐르는 효과를 말한다. 그리고 도전체 표면의 전류에 대하여 1/e 배의 전류가 되는 점까지의 거리로 정의되는 표피 깊이 (δ) 는, 식 (1) 로 표시된다.The skin effect refers to the effect that the electric current flowing through the conductor flows near the surface of the conductor as the frequency becomes higher. The skin depth (delta) defined by the distance to the point where the electric current is 1 / e times the electric current on the surface of the conductor is expressed by Equation (1).
(식 1) (Equation 1)
ω 은 각주파수, σ 는 도전율, μ 은 투자율이다.ω is the angular frequency, σ is the conductivity, and μ is the permeability.
구리의 경우, 그 도전율과 비투자율로부터 식 (1) 은 다음과 같이 된다.In the case of copper, equation (1) is as follows from the conductivity and the specific permeability.
(식 2) (Equation 2)
f 는 주파수이다.f is the frequency.
식 (2) 로부터, 전류는 주파수가 높아짐에 따라서 도전체의 표면에 보다 가까운 곳을 흐르는 것을 알 수 있고, 예를 들어, 주파수 10 ㎒ 일 때의 표피 깊이는 약 20 ㎛ 인 데 반하여, 주파수 40 ㎓ 일 때에는 약 0.3 ㎛ 가 되어, 거의 표면에만 흐르고 있는 것이 된다.From equation (2), it can be seen that the current flows closer to the surface of the conductor as the frequency rises. For example, at a frequency of 10 MHz, the skin depth is about 20 μm, Lt; / RTI > is about 0.3 mu m and flows only on the surface.
이것으로부터, 종래와 같이 수지 기재와의 밀착성을 높이기 위해 조화 처리층을 형성한 처리 동박에 고주파 전류를 흘린 경우, 전류는 조화 처리층의 표면 형상을 따라 흐르게 되어, 주로 중심부를 똑바로 흐르는 경우와 비교하면 그 전파 거리가 늘어나기 때문에 도체 저항이 커져, 전송 손실의 증대로 이어지는 것으로 생각된다.Therefore, when a high-frequency current is flowed through the treated copper foil on which the roughened treatment layer is formed in order to enhance the adhesion with the resin base as in the conventional case, the current flows along the surface shape of the roughened treatment layer, , The propagation distance is increased, so that the conductor resistance is increased, leading to an increase in transmission loss.
따라서, 고속ㆍ고주파 전송 대응 프린트 배선판용의 처리 동박으로는 도체 저항을 낮게 억제하는 것이 필요하고, 그것을 위해서는 조화 처리층을 구성하는 조화 입자의 입자경을 작게 하여, 표면 조도를 작게 한 쪽이 좋다고 생각된다.Therefore, it is necessary to suppress the conductor resistance to a low level for the treated copper foil for the high-speed and high-frequency transmission-compatible printed wiring board. For this purpose, it is preferable to reduce the particle diameter of the coarse particles constituting the coarsened layer and reduce the surface roughness do.
한편 고속ㆍ고주파 전송 용도에 한한 것은 아니지만, 프린트 배선판의 시인성도 중요한 특성으로 되고 있다. 구체적으로는 폴리이미드 수지계의 플렉시블 프린트 배선판에 있어서, 배선 패턴을 형성한 후의 수지 기재 부분, 즉 동박이 에칭되어 노출된 부분의 시인성을 말한다.On the other hand, although not limited to high-speed and high-frequency transmission applications, the visibility of printed wiring boards is also an important characteristic. Specifically, it refers to the visibility of the resin base material portion after forming the wiring pattern, that is, the portion where the copper foil is etched and exposed in the polyimide resin-based flexible printed wiring board.
이것은, 땜납을 사용하지 않는 실장 기술로서 이방성 도전 필름 (ACF) 이 사용되게 되면서 요구되게 된 특성이다. 예를 들어, 프린트 회로판 (PCB) 과 플렉시블 프린트 배선판 (FPC) 을 상하로 접속할 때, 그것들 사이에 ACF 를 끼우고 가열, 가압함으로써 상하 방향에 대한 도통을 얻고 있다. FPC 와 PCB 의 도통을 취하는 위치를 확실하게 맞추지 않으면 당연히 상하간의 도통이 취해지지 않기 때문에, 각각에는 위치 결정용 표지가 마킹되어 있고, 그것들을 CCD 카메라로 인식하면서 위치 맞춤하고 있다.This is a characteristic that is required as an anisotropic conductive film (ACF) is used as a soldering-free mounting technique. For example, when a printed circuit board (PCB) and a flexible printed wiring board (FPC) are vertically connected, an ACF is sandwiched therebetween and heated and pressed to obtain electrical continuity in the vertical direction. If the position at which the FPC and the PCB are electrically connected is not properly aligned, the upper and lower interconnections are not necessarily taken. Therefore, the positioning mark is marked on each of them, and these are aligned while being recognized by the CCD camera.
이 때, CCD 카메라는 FPC 의 동박이 에칭되어 노출된 수지 기재 너머로 바로 위에서부터 촬영하고 있기 때문에, 그 수지 기재가 흐려져 있으면, 투과도가 떨어지기 때문에 표지를 인식할 수 없어, 정확한 위치 맞춤을 할 수 없게 된다. 따라서, 가능한 한 흐려지는 일이 없는 쪽이 바람직하다.At this time, since the CCD camera photographs the copper foil of the FPC from directly above from the exposed resin substrate, if the resin substrate is blurred, the transmittance is lowered, and the cover can not be recognized, I will not. Therefore, it is preferable that it does not become as cloudy as possible.
또한, 광학식 외관 자동 검사 장치 (AOI) 에 의한 프린트 배선판의 완성 검사가 실시되게 된 것도 시인성이 요구되는 한가지 원인이다. AOI 는 프린트 배선판의 배선 패턴을 광학적으로 파악하여, 화상 처리에 의해서 좋고 나쁨을 판정하는 장치로서, 패턴의 결손이나 가늘어짐, 굵어짐, 핀홀, 흠집 등의 결함을 검출할 수 있다.In addition, the completion inspection of the printed wiring board by the automatic optical inspection apparatus (AOI) is also one of the reasons that visibility is required. AOI is an apparatus for optically grasping a wiring pattern of a printed wiring board and judging whether it is good or bad by image processing, and can detect defects such as defects, tapering, thickening, pinholes, and scratches.
이 때, 프린트 배선판의 동박이 에칭되어 노출된 수지 기재가 흐려져 있으면, 투과도가 떨어지기 때문에 배선 패턴을 파악할 수 없어 정확한 검사가 불가능해진다. 따라서, 가능한 한 흐려지는 일이 없는 쪽이 바람직하다.At this time, if the copper foil of the printed wiring board is etched and the exposed resin substrate is blurred, the degree of permeability is lowered, so that the wiring pattern can not be grasped and accurate inspection becomes impossible. Therefore, it is preferable that it does not become as cloudy as possible.
프린트 배선판의 배선 패턴을 광학적으로 파악할 수 있는 성질을 시인성이라고 하면, 수지 기재의 흐려짐이 적으면, 투과도가 높고, 배선 패턴을 광학적으로 파악하기 쉽기 때문에 시인성이 양호한 것이 된다.Assuming that the property of visually grasping the wiring pattern of the printed wiring board is visibility, if the blurring of the resin substrate is small, the degree of transparency is high and the wiring pattern is easy to visually recognize visually.
시인성은 흐림도, 즉 HAZE 값을 측정함으로써 수치화할 수 있다. 일반적으로는, HAZE 값이 80 % 이하이면 시인성이 양호한 것으로 되어 있다.The visibility can be quantified by measuring the haze, that is, the haze value. Generally, when the HAZE value is 80% or less, the visibility is good.
이 HAZE 값은 처리 동박의 표면 형상의 영향을 강하게 받아, 조화 처리층을 구성하는 조화 입자의 입자경이나 처리 동박의 표면 조도가 작을수록 HAZE 값은 작아지고, 투과도가 높다. 즉, 시인성이 양호해지는 경향이 있다.This HAZE value is strongly influenced by the surface shape of the treated copper foil, and the smaller the particle diameter of the roughening particles constituting the roughening treatment layer and the surface roughness of the treated copper foil, the smaller the haze value and the higher the transmittance. That is, the visibility tends to be good.
이상과 같이, 프린트 배선판으로서 실용상 문제없이 사용하기 위해서는, 무엇보다 수지 기재와 처리 동박과의 밀착성이 충분히 확보되어 있는 것이 중요하지만, 고속ㆍ고주파 전송이나 ACF 실장, AOI 검사 등에도 대응하기 위해서는 우수한 전송 특성이나 시인성도 동시에 구비할 필요가 있다.As described above, it is important that the adhesion between the resin substrate and the treated copper foil is sufficiently ensured in order to use the printed wiring board without problems in practical use. However, in order to cope with high speed and high frequency transmission, ACF mounting and AOI inspection, It is necessary to simultaneously provide transmission characteristics and visibility.
이들 프린트 배선판에 요구되는 특성 중에서 전송 특성에 착안하면, 조화 처리층을 구비하지 않은 미처리 동박은, 표면 조도가 작기 때문에 전류의 전파 거리를 짧게 할 수 있고, 그 결과, 저항을 작게 할 수 있는 점에서 도체로서는 가장 우수한 것으로 생각된다.Considering the transfer characteristics among the characteristics required for these printed wiring boards, the untreated copper foil not provided with the roughening treatment layer can reduce the propagation distance of the electric current because the surface roughness is small. As a result, It is considered to be the best conductor.
그러나 밀착성에 착안한 경우, 조화 처리층을 구비하지 않은 것은 앵커 효과가 적어 수지 기재와의 밀착력이 약하기 때문에, 박리 강도를 확보할 수 없어, 프린트 배선판에 사용하기가 곤란하다.However, when attention is paid to the adhesion, since the anchoring effect is small and the adhesion with the resin base material is weak, the peeling strength can not be ensured, and thus it is difficult to use it in a printed wiring board.
미처리 동박에 조화 처리층을 형성하고, 추가로 조화 처리층을 구성하는 조화 입자의 부착량을 증가시키거나 입자경을 크게 하거나 하면, 앵커 효과가 높아지기 때문에 박리 강도를 높일 수 있지만, 전술한 바와 같이, 조화 처리층을 형성하면 전류의 전파 거리가 길어져, 도체 저항이 커지고 전송 손실이 증가한다.If the roughening treatment layer is formed on the untreated copper foil and the amount of the roughening particles forming the roughening treatment layer is increased or the diameter of the roughening treatment layer is increased or the diameter of the roughening layer is increased, the peeling strength can be increased because the anchor effect is increased. When the processing layer is formed, the propagation distance of the current becomes longer, the conductor resistance increases, and the transmission loss increases.
또한 이 경우, 시인성에 착안하면, 프린트 배선판의 동박이 에칭되어 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 커지기 때문에, 시인성이 악화된다.Also, in this case, visibility is deteriorated because the HAZE value of the exposed resin substrate is increased by etching the copper foil of the printed wiring board.
이와 같이 수지 기재와 동박의 밀착성에 대해서, 전송 특성 및 시인성은 기본적으로는 상반되는 특성이지만, 고속ㆍ고주파 전송에 대응하는 프린트 배선판은 실용상 그들 전부를 만족시키지 않으면 안된다.As described above, the adhesion between the resin substrate and the copper foil is basically the opposite of the transmission characteristic and the visibility, but the printed wiring board corresponding to high-speed and high-frequency transmission must satisfy all of them practically.
그래서 수지 기재와의 박리 강도가 충분히 있으며, 또한 전송 손실이 미처리 동박과 같은 정도로 우수하고, 동박을 에칭하여 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 작아 시인성이 우수한 프린트 배선판을 제조할 수 있는 처리 동박의 개발이 요망되고 있다.Therefore, development of a treated copper foil which has a sufficient peel strength to a resin substrate, has a transmission loss as good as that of the untreated copper foil, can produce a printed wiring board having a small haze value of the exposed resin substrate by etching the copper foil, .
특허문헌 1 에는, 고주파 전송 대응의 절연 수지와의 접착성을 향상시키기 위해 조화 처리층 및 내열 처리층을 형성한 처리 동박이 개시되어 있다.
고주파 전송 대응의 절연 수지는 접착에 기여하는 극성이 높은 관능기가 적어 접착 특성이 낮기 때문에, 특허문헌 1 에 개시되어 있는 처리 동박은 조화 처리층을 구성하는 입자를 크게 함으로써 박리 강도를 확보하고자 하는 것이다.The insulating resin corresponding to the high frequency transmission tends to secure the peeling strength by increasing the particles constituting the roughened layer because the insulating resin corresponding to the high frequency transmission has a small number of functional groups with high polarity and low bonding property which contributes to adhesion .
그러나, 조화 입자가 크면 전류 전파 거리가 길어지기 때문에 전송 손실이 증가한다는 문제가 있다.However, if the coarsened particles are large, there is a problem that the current propagation distance becomes long and the transmission loss increases.
또한, 내열 처리층, 녹방지 처리층 및 실란 커플링제층에 의해서 더욱 전송 손실이 증가하고, 특히 내열 처리층이 Ni 를 함유하는 경우에는 표피 깊이가 얕아지기 때문에, 전류가 동박의 표면 부분에 집중적으로 흐르게 되어, 보다 더 처리층 표면의 요철의 영향을 받아 전송 손실이 더욱 증가한다는 문제가 있다.Further, the transmission loss is further increased by the heat-resistant treatment layer, the rust prevention treatment layer and the silane coupling agent layer, and particularly when the heat-resistant treatment layer contains Ni, the skin depth becomes shallow, There is a problem that the transmission loss further increases due to the influence of the irregularities on the surface of the treatment layer.
특허문헌 2 에는, 고주파 전송 대응 수지 기재의 접착성을 향상시키기 위해, 조화 처리층과 아연 및 니켈을 함유하는 녹방지 처리층, 녹방지 처리층 상에 크로메이트층, 크로메이트층 상에 실란 커플링제 흡착층을 형성한 처리 동박으로서, 처리면의 표면 조도를 일정한 범위로 조제함으로써 전송 손실을 억제하고자 하는 처리 동박이 개시되어 있다.
그러나, 조화 처리층의 조화 입자가 크기 때문에, 전류 전파 거리가 길어져 전송 손실이 증가한다는 문제가 있다.However, since the roughened particles of the roughened layer are large, the current propagation distance becomes long and the transmission loss increases.
또한, 녹방지 처리층에 Ni 를 함유하기 때문에 표피 깊이가 얕아져, 전류가 동박의 표면 부분에 집중적으로 흘러, 전송 손실이 더욱 증가한다는 문제가 있다.In addition, since the rust preventive treatment layer contains Ni, the depth of the skin becomes shallow, and current flows intensively to the surface portion of the copper foil, thereby causing a problem of further increasing transmission loss.
특허문헌 3 에는 입경 10 ㎚ ∼ 250 ㎚ 의 구리 입자가 3 ㎛ × 3 ㎛ 의 영역에 있어서 400 ∼ 2500 개 부착된 처리 동박으로서, 처리면의 기복의 최대 고저차 (Wmax) 가 1.2 ㎛ 이하이며, 또한 L*a*b* 표색계의 명도 L* 가 30 이하의 색조를 구비하고, HAZE 값이 낮은 처리 동박이 개시되었고, 실시예에 있어서, Ni 함유의 녹방지 처리층 및 실란 커플링제층을 구비한 처리 동박이 개시되어 있다.
그러나, 특허문헌 3 에 개시되는 처리 동박은 조화 입자의 부착량이 적기 때문에 그 처리 동박을 사용한 구리 피복 적층판의 박리 강도는 약하다는 문제가 있다.However, the treated copper foil disclosed in
또한, 녹방지 처리층에 Ni 를 함유하면 표피 깊이가 얕아져, 전류가 동박의 표면 부분에 집중적으로 흘러, 미처리 동박과 비교하여 전송 손실이 증가한다는 문제가 있다.In addition, when Ni is contained in the rust-preventive treatment layer, the depth of the skin becomes shallow, and current flows intensively to the surface portion of the copper foil, thereby increasing the transmission loss as compared with the untreated copper foil.
본 발명자들은 상기 여러 문제점을 해결하는 것을 기술적 과제로 하여, 시행 착오적인 수많은 시험 제작ㆍ실험을 거듭한 결과, 조화 처리층이 1 차 입자경이 40 ㎚ ∼ 200 ㎚ 의 미세 구리 입자로 형성되고, 산화 방지 처리층이 몰리브덴과 코발트를 함유하고, 절연성 수지 기재와 접착시키는 처리면의 10 점 평균 조도 Rz 가 0.5 ㎛ ∼ 1.6 ㎛ 이며, 또한 상기 미처리 동박과 상기 처리면과의 색차 ΔE*ab 가 45 ∼ 60 인 처리 동박이면, 조화 처리층을 형성한 경우에도 미처리 동박과 같은 정도의 전송 손실인 우수한 도체이면서, 수지 기재와 접착시킨 경우에는 높은 박리 강도를 실현할 수 있고, 또, 당해 처리 동박을 사용한 구리 피복 적층판은, 에칭 제거 후의 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 낮아, 투과도가 높아진다는 괄목할 만한 지견을 얻어 상기 기술적 과제를 달성한 것이다.DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have conducted a series of trial and error experiments and experiments to solve the above-mentioned problems. As a result, the present inventors have found that the coarsened layer is formed of fine copper particles having a primary particle size of 40 nm to 200 nm, Wherein the anti-corrosion layer contains molybdenum and cobalt, the ten-point average roughness Rz of the treated surface adhered to the insulating resin base is 0.5 mu m to 1.6 mu m, the color difference DELTA E * ab between the untreated copper foil and the treated surface is 45 mu m, 60, it is possible to realize a high peel strength even when the roughened layer is formed, even when the roughened layer is an excellent conductor having a transmission loss similar to that of the untreated copper foil and adhered to the resin base material. Further, The coated laminated plate has a remarkable knowledge that the HAZE value of the exposed resin substrate after etching removal is low and the transparency is high, Soundness will.
상기 기술적 과제는 다음과 같이, 본 발명에 의해서 해결할 수 있다.The technical problem described above can be solved by the present invention as follows.
본 발명은, 미처리 동박의 적어도 일방의 면에 조화 처리층과 상기 조화 처리층 상에 산화 방지 처리층을 구비한 구리 피복 적층판용 처리 동박으로서, 상기 조화 처리층은 1 차 입자경이 40 ㎚ ∼ 200 ㎚ 의 미세 구리 입자로 형성되고 상기 산화 방지 처리층은 몰리브덴과 코발트를 함유하며 절연성 수지 기재와 접착시키는 처리면의 10 점 평균 조도 Rz 는 0.5 ㎛ ∼ 1.6 ㎛ 이고, 또한 상기 미처리 동박과 상기 처리면과의 색차 ΔE*ab 가 45 ∼ 60 인 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 1).The present invention provides a treated copper foil for a copper clad laminate comprising an unhardened treatment layer on at least one surface of an untreated copper foil and an oxidation preventive treatment layer on the harmonized treatment layer, wherein the harmonized treatment layer has a primary particle diameter of 40 nm to 200 Wherein the antioxidation treatment layer contains molybdenum and cobalt, and the 10-point average roughness Rz of the treated surface to be adhered to the insulating resin base is 0.5 탆 to 1.6 탆, and the untreated copper foil and the treated surface Is 45 to 60 (claim 1). The copper-clad laminate according to
또한 본 발명은, 상기 산화 방지층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링제층을 구비한 청구항 1 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박이다 (청구항 2).Further, the present invention is the treated copper foil for a copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 청구항 1 또는 2 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박을 절연성 수지 기재에 맞붙인 구리 피복 적층판이다 (청구항 3).Further, the present invention is a copper clad laminate wherein the treated copper foil for a copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재와의 박리 강도가 1.0 kN/m 이상인 청구항 3 에 기재된 구리 피복 적층판이다 (청구항 4).Further, the present invention is the copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 황산구리 5수화물 10 ∼ 70 g/ℓ 에 디에틸렌트리아민염 50 ∼ 150 g/ℓ 를 첨가한 수용액을 전류 밀도 0.5 ∼ 5 A/dm2, 전기량 40 ∼ 140 C/dm2, 액온 25 ∼ 50 ℃ 에서 전해시켜 미처리 동박 상에 조화 처리층을 형성시키는 것을 특징으로 하는 청구항 1 또는 2 에 기재된 구리 피복 적층판용 처리 동박의 제조 방법이다 (청구항 5).In another aspect, the present invention, copper sulfate pentahydrate 10 ~ 70 g / ℓ on the diethylenetriamine salt 50 ~ 150 g / ℓ aqueous solution with 0.5 ~ 5 A / dm 2, the current density was added to the stored electricity quantity 40 ~ 140 C / dm 2, The copper foil for copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 구리 피복 적층판용 처리 동박과 절연성 수지 기재를 가열하면서 가압하여 맞붙이는 것을 특징으로 하는 청구항 3 또는 4 에 기재된 구리 피복 적층판의 제조 방법이다 (청구항 6).Further, the present invention is the method for producing a copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 청구항 3 또는 4 에 기재된 구리 피복 적층판을 사용하여 형성된 프린트 배선판이다 (청구항 7).Further, the present invention is a printed wiring board formed using the copper clad laminate according to
또한 본 발명은, 청구항 7 에 기재된 프린트 배선판의 제조 방법이다 (청구항 8).Further, the present invention is a method for manufacturing a printed wiring board according to claim 7 (claim 8).
본 명세서에 있어서, 본 발명에서의 조화 처리층을 특별히 수지 유도 침투층이라고 하는 경우가 있다.In the present specification, the roughened layer in the present invention is sometimes referred to as a resin-induced penetration layer in particular.
본 발명에 있어서의 처리 동박은, 조화 처리층 (수지 유도 침투층) 을 구성하는 조화 입자의 1 차 입자경이 40 ∼ 200 ㎚ 인 미세한 구리 입자로서, 또한 미처리 동박과 각 처리층 형성 후의 처리면과의 색차 ΔE*ab 가 45 ∼ 60 의 범위이며, 산화 방지 처리층은 몰리브덴과 코발트를 함유하고, 니켈 등의 전송 손실을 상승시키는 금속을 함유하지 않기 때문에, 각 처리층을 형성하였다고 해도 주파수 40 ㎓ 에서의 전송 손실이 -5.5 dB/100 ㎜ 이상으로 되어, 수지 유도 침투층을 구비하는 것에 의한 전송 손실을 5 % 미만으로 억제할 수 있다.The treated copper foil of the present invention is fine copper particles having a primary particle diameter of 40 to 200 nm of the coarse particles constituting the roughened treatment layer (resin induced infiltration layer), and also the untreated copper foil, Is in the range of 45 to 60 and the antioxidation treatment layer contains molybdenum and cobalt and does not contain a metal that increases the transmission loss of nickel or the like. Therefore, even if each treatment layer is formed, The transmission loss in the resin-induced permeation layer is -5.5 dB / 100 mm or more, and the transmission loss due to the resin-induced permeation layer can be suppressed to less than 5%.
또한, 수지 기재와 가열, 가압 성형할 때, 그 수지가 조화 입자 사이에 균일하게 침투하고, 처리 동박 표면과 수지가 큰 면적에서 입체적으로 접착되기 때문에, 구리 피복 적층판으로 했을 때에는 강력한 박리 강도를 실현할 수 있고, 폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재에 있어서도 1.0 kN/m 이상의 높은 박리 강도를 실현할 수 있다.Further, when the resin substrate is heated and pressure-formed, the resin uniformly penetrates between the coarsened grains, and the surface of the treated copper foil and the resin adhere in a large area in three dimensions. And a high peel strength of 1.0 kN / m or more can be realized even for a resin substrate containing a polyimide compound.
또한, 에칭 제거 후의 노출된 수지 기재는 HAZE 값이 30 ∼ 80 % 로 낮아, 투과도가 높은 프린트 배선판이 되기 때문에, AOI 를 사용한 검사나 CCD 카메라를 사용한 위치 결정을 정확하게 실시할 수 있다.In addition, since the exposed resin substrate after etching removal has a HAZE value as low as 30 to 80% and becomes a printed wiring board with high transmittance, inspection using AOI or positioning using a CCD camera can be accurately performed.
뿐만 아니라, 처리면의 10 점 평균 조도 Rz 는 0.5 ㎛ ∼ 1.6 ㎛ 이기 때문에, 수지 기재와 강하게 밀착시킬 수 있다.In addition, since the 10-point average roughness Rz of the treated surface is 0.5 탆 to 1.6 탆, it can be strongly adhered to the resin base material.
도 1 은 본 발명에 있어서의 처리 동박 단면의 모식도이다.
도 2 는 본 발명에 있어서의 처리 동박 단면의 주사 전자 현미경 사진이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic view of a treated copper foil section in the present invention. Fig.
2 is a scanning electron micrograph of a treated copper foil section in the present invention.
<미처리 동박> <Untreated copper>
본 발명에 사용하는 각 처리 전의 동박 (이하 「미처리 동박」이라고 한다) 은 특별히 한정되지 않고, 표리의 구별이 없는 동박, 표리의 구별이 있는 동박 모두를 사용할 수 있다.The copper foil (hereinafter referred to as " untreated copper foil ") to be used in the present invention is not particularly limited, and a copper foil having no distinction between front and rear faces and a copper foil having both front and back faces can be used.
표면 처리를 실시하는 일방의 면 (이하 「처리면」이라고 한다) 은 특별히 한정되지 않으며, 압연 동박은 어느 쪽 면이라도 상관없는 것은 물론이고, 전해 동박에 있어서도 석출면 또는 광택면 중 어느 쪽의 면이라도 상관없다.(Hereinafter referred to as " treated surface ") to be subjected to the surface treatment is not particularly limited, and the rolled copper foil may be of any surface, of course, and of course, in electrolytic copper foil, .
또한, 압연 동박을 사용할 때에는 탄화수소계 유기 용제에 침지하여, 압연유를 제거하고 나서 조화 처리를 실시하는 것이 바람직하다.When the rolled copper foil is used, it is preferable that the copper foil is immersed in a hydrocarbon-based organic solvent to remove the rolling oil, and then subjected to a roughening treatment.
미처리 동박의 두께는 표면 처리 후에 프린트 배선판에 사용할 수 있는 두께라면 특별히 한정되는 것이 아니지만, 6 ∼ 300 ㎛ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 9 ∼ 70 ㎛ 이다.The thickness of the untreated copper foil is not particularly limited as long as it can be used for the printed wiring board after the surface treatment, but is preferably 6 to 300 占 퐉, and more preferably 9 to 70 占 퐉.
또한, 미처리 동박의 표면 처리를 실시하는 면은 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*a*b* 를 측정했을 때, L* 83 ∼ 88, a* 14 ∼ 17, b* 15 ∼ 19 의 범위인 것이 바람직하다.The surface to be subjected to the surface treatment of the untreated copper foil has a surface area of L * 83 to 88, a * 14 to 17, b * 15 to 19 .
<수지 유도 침투층 (조화 처리층)> ≪ Resin-induced penetration layer (Harmonized layer) >
수지 유도 침투층을 구성하는 미세 구리 입자의 1 차 입자경은 40 ∼ 200 ㎚ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 50 ∼ 190 ㎚ 이다.The primary particle size of the fine copper particles constituting the resin-induced permeation layer is preferably from 40 to 200 nm, more preferably from 50 to 190 nm.
본 발명에 있어서는 하한치를 40 ㎚ 로 하지만, 40 ㎚ 미만의 입자가 포함되는 것을 배제하는 것은 아니다. 그러나, 40 ㎚ 에 못 미치는 입자가 많으면 플렉시블 프린트 배선판에 사용할 수 있을 만큼의 충분한 박리 강도가 얻어지지 않을 우려가 있고, 또한, 200 ㎚ 를 초과하면 HAZE 값이 높아지기 때문에 어느 경우라도 바람직하지 않다.In the present invention, the lower limit is set to 40 nm, but it is not excluded that particles containing less than 40 nm are included. However, if the number of particles smaller than 40 nm is large, there is a possibility that a sufficient peel strength can not be obtained for use in a flexible printed wiring board, and if it exceeds 200 nm, the HAZE value becomes high.
또한, 미세 구리 입자의 볼록부의 간격은 40 ∼ 200 ㎚ 의 범위인 것이 바람직하다.It is also preferable that the distance between the convex portions of the fine copper particles is in the range of 40 to 200 nm.
수지 유도 침투층의 두께는 75 ∼ 380 ㎚ 가 바람직하고, 보다 바람직하게는 120 ∼ 200 ㎚ 이다.The thickness of the resin-induced permeation layer is preferably from 75 to 380 nm, more preferably from 120 to 200 nm.
두께가 75 ㎚ 에 미치지 못하면 충분한 박리 강도가 얻어지지 않을 우려가 있고, 380 ㎚ 를 초과하면 HAZE 값이 높아지기 때문에 어느 경우라도 바람직하지 않다.If the thickness is less than 75 nm, a sufficient peel strength may not be obtained, and if it exceeds 380 nm, the HAZE value becomes high, which is not preferable in any case.
수지 유도 침투층의 1 차 입자경, 미세 구리 입자의 볼록부의 간격 및 두께는, 예를 들어, 전계 방사형 주사 전자 현미경 등에 의해 30,000 ∼ 80,000 배로 확대하여 관찰하고, 계측함으로써 측정할 수 있다.The primary particle size of the resin-induced infiltration layer and the interval and thickness of the convex portions of the fine copper particles can be measured by, for example, magnification observation at 30,000 to 80,000 times using a field emission scanning electron microscope or the like, and measurement.
수지 유도 침투층의 형성에 사용하는 전해액은, 황산구리 5수화물 10 ∼ 70 g/ℓ 에 디에틸렌트리아민염 50 ∼ 150 g/ℓ 를 첨가한 수용액을 황산에 의해 pH 3 ∼ 6 으로 조제한 것이 바람직하다.The electrolyte used for forming the resin-induced permeation layer is preferably an aqueous solution prepared by adding 10 to 70 g / l of copper sulfate pentahydrate and 50 to 150 g / l of diethylenetriamine salt to the pH of 3 to 6 with sulfuric acid .
황산구리 5수화물의 농도가 10 g/ℓ 미만이면, 구리 입자경의 1 차 입자경이 40 ㎚ 에 못 미치는 입자가 늘어나고, 또한, 70 g/ℓ 를 초과하면 1 차 입자경이 200 ㎚ 를 초과하는 입자가 늘어나기 때문에 어느 것도 바람직하지 않다.When the concentration of copper sulfate pentahydrate is less than 10 g / l, particles having a primary particle diameter of less than 40 nm are elongated, and when the concentration is more than 70 g / l, particles having a primary particle diameter exceeding 200 nm are elongated Which is not preferable.
전해액에 첨가하는 디에틸렌트리아민염은 특별히 한정되지 않지만, 디에틸렌트리아민오아세트산오나트륨을 바람직하게 사용할 수 있다.The diethylenetriamine salt to be added to the electrolytic solution is not particularly limited, but diethylenetriamine acetoacetate is preferably used.
전해액에는 전송 손실을 상승시키지 않는 범위에 있어서, 코발트 함유 화합물을 첨가할 수도 있다.A cobalt-containing compound may be added to the electrolytic solution in such a range that the transmission loss is not increased.
전해액에 백금속 산화물 피복 티탄 등의 불용성 전극을 양극으로 하고, 미처리 동박을 음극으로 하여 침지하고, 전류 밀도 0.5 ∼ 5 A/dm2, 전기량 40 ∼ 140 C/dm2, 액온 25 ∼ 50 ℃ 의 전해 조건으로 전해시켜 수지 유도 침투층을 형성시키는 것이 바람직하다.The electrolytic solution was immersed in an electrolytic solution containing an insoluble electrode such as titanium oxide coated with a metal oxide as a positive electrode and an untreated copper foil as a negative electrode to obtain a battery having a current density of 0.5 to 5 A / dm 2 , an electricity quantity of 40 to 140 C / dm 2 , It is preferable that the resin-induced permeation layer is formed by electrolysis under electrolysis conditions.
전류 밀도가 0.5 A/dm2, 전기량이 40 C/dm2 보다 낮으면, 미세 구리 입자가 충분히 부착되지 않고, 또한 전류 밀도가 5 A/dm2, 전기량이 140 C/dm2 보다 높으면구리 입자의 1 차 입자경이 200 ㎚ 를 초과하기 때문에 어느 것도 바람직하지 않다.If the current density is less than 0.5 A / dm 2 and the electricity quantity is less than 40 C / dm 2 , if the fine copper particles are not sufficiently adhered and the current density is 5 A / dm 2 and the electricity quantity is higher than 140 C / dm 2 , Is not more than 200 nm.
<산화 방지 처리층> <Antioxidation Treatment Layer>
본 발명에 있어서의 처리 동박은 수지 유도 침투층 상에 산화 방지 처리층을 구비한다.The treated copper foil of the present invention has an antioxidation treatment layer on the resin-induced penetration layer.
산화 방지 처리층의 부착량은 30 ∼ 300 ㎎/㎡ 가 바람직하고, 50 ∼ 120 ㎎/㎡ 가 보다 바람직하다.The deposition amount of the antioxidation treatment layer is preferably 30 to 300 mg /
산화 방지 처리층의 부착량이 30 ㎎/㎡ 미만이면 수지 유도 침투층을 완전히 피복할 수 없고, 또한 300 ㎎/㎡ 를 초과하면 전송 손실이 증가할 우려가 있으며, 또, 300 ㎎/㎡ 보다 많아도 산화 방지 성능의 향상은 기대할 수 없기 때문이다.If the adhesion amount of the antioxidation treatment layer is less than 30 mg /
또한, 산화 방지 처리층에 함유되는 코발트는 20 ∼ 155 ㎎/㎡ 가 바람직하고, 몰리브덴은 10 ∼ 145 ㎎/㎡ 가 바람직하다.The cobalt contained in the antioxidation treatment layer is preferably 20 to 155 mg /
하한치의 각 농도에 못 미치면 산화 방지 성능이 충분하지 않고, 또한 상한치의 각 농도를 초과하면 전송 손실이 증가할 우려가 있기 때문이다.If the concentration is lower than the lower limit value, the antioxidation performance is not sufficient. If the concentration exceeds the upper limit value, the transmission loss may increase.
산화 방지 처리층을 형성하는 전해액은, 코발트 함유 화합물 10 ∼ 100 g/ℓ 수용액에 몰리브덴 함유 화합물을 1 ∼ 80 g/ℓ 함유하는 수용액을 pH 4 ∼ 10 으로 조제한 것이 바람직하다.The electrolytic solution forming the antioxidation treatment layer preferably contains an aqueous solution containing 1 to 80 g / l of a molybdenum-containing compound in an aqueous solution of 10 to 100 g / l of a cobalt-containing compound at a pH of 4 to 10.
코발트 함유 화합물로는, 예를 들어, 황산코발트 7수화물을 들 수 있다.The cobalt-containing compound includes, for example, cobalt sulfate heptahydrate.
몰리브덴 함유 화합물로는, 예를 들어, 몰리브덴산이나트륨 2수화물을 들 수 있다.The molybdenum-containing compound includes, for example, disodium molybdate dihydrate.
전해액에 백금속 산화물 피복 티탄 등의 불용성 전극을 양극으로 하고, 미처리 동박을 음극으로 하여 침지하고, 전류 밀도 0.1 ∼ 10 A/dm2, 전기량 5 ∼ 20 C/dm2, 액온 20 ∼ 50 ℃ 의 조건으로 전해시켜 산화 방지 처리층을 형성시킬 수 있다.An electrolytic solution was prepared by dissolving an insoluble electrode such as titanium oxide coated with a metal oxide as an anode and an untreated copper foil as a negative electrode to obtain a battery having a current density of 0.1 to 10 A / dm 2 , an electricity quantity of 5 to 20 C / dm 2 , To form an antioxidant treatment layer.
<크로메이트층 및 실란 커플링제층> ≪ Chromate layer and silane coupling agent layer >
본 발명에 있어서의 처리 동박은, 필요에 따라서 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링제층을 형성할 수 있다.The treated copper foil of the present invention can form a chromate layer and / or a silane coupling agent layer on the antioxidation treatment layer, if necessary.
크로메이트층을 형성하는 전해액은, 크롬산 함유 화합물 10 ∼ 100 g/ℓ 수용액을 pH 2 ∼ 12 로 조제한 것이 바람직하다.The electrolytic solution forming the chromate layer preferably contains 10 to 100 g / l aqueous solution of the chromic acid-containing compound at a pH of 2 to 12.
크롬산 함유 화합물로는, 예를 들어, 이크롬산나트륨 2수화물을 들 수 있다.As the chromic acid-containing compound, for example, sodium dichromate dihydrate can be mentioned.
크로메이트층은, 전해액에 백금속 산화물 피복 티탄 등의 불용성 전극을 양극으로 하고, 산화 방지 처리층을 형성한 동박을 음극으로 하여 침지하고, 액온 20 ∼ 50 ℃, 전류 밀도 0.1 ∼ 10 A/dm2, 전기량 0.5 ∼ 20 C/dm2 의 조건으로 전해시켜 형성시킬 수 있다.A chromate layer is immersed in an insoluble electrode such as a back metal oxide coated titanium in the electrolytic solution in an anode, forming an anti-oxidation layer copper foil as a negative electrode, and a liquid temperature of 20 ~ 50 ℃, 0.1 ~ 10 Current Density A / dm 2 , And an electricity quantity of 0.5 to 20 C / dm 2 .
또, 크로메이트층에는 아연을 함유시켜도 된다.The chromate layer may contain zinc.
크로메이트층 상 혹은 산화 방지 처리층 상에 실란 커플링제층을 형성할 수 있다.The silane coupling agent layer can be formed on the chromate layer or on the antioxidation treatment layer.
실란 커플링제층에 사용하는 실란 커플링제는 특별히 한정되는 것이 아니라, 비닐기, 에폭시기, 스티릴기, 메타크릴기, 아크릴기, 아미노기, 우레이드기 및 메르캅토기를 함유하는 실란 커플링제를 사용할 수 있는데, 아미노기, 에폭시기 또는 비닐기 함유의 실란 커플링제는 내흡습성과 녹방지성의 효과가 매우 높아, 보다 바람직하게 사용할 수 있다.The silane coupling agent used for the silane coupling agent layer is not particularly limited, and a silane coupling agent containing a vinyl group, an epoxy group, a styryl group, a methacrylic group, an acrylic group, an amino group, a ureide group and a mercapto group can be used However, a silane coupling agent containing an amino group, an epoxy group or a vinyl group is more preferable because it has a very high hygroscopicity and rust prevention effect.
실란 커플링제는 1 종이어도 되고, 2 종 이상을 조합하여 사용해도 된다.One kind of silane coupling agent may be used, or two or more kinds of silane coupling agents may be used in combination.
액온 20 ∼ 50 ℃ 로 조제한 실란 커플링제 수용액에 침지한 후, 또는 스프레이 등의 방법으로 살포한 후, 수세함으로써 형성할 수 있다.It may be formed by immersing it in an aqueous solution of a silane coupling agent prepared at a liquid temperature of 20 to 50 ° C, spraying it by spraying or the like, and then rinsing with water.
<수지 기재> ≪ Resin substrate &
본 발명의 구리 피복 적층판에 사용하는 수지 기재로는, 에폭시 수지, 폴리페닐렌에테르 수지, 비스말레이미드트리아진 수지, 시클로올레핀 폴리머 수지를 함유하는 것을 들 수 있다.Examples of the resin substrate used in the copper clad laminate of the present invention include those containing an epoxy resin, a polyphenylene ether resin, a bismaleimide triazine resin, and a cycloolefin polymer resin.
또한, 폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재에 있어서도 높은 박리 강도를 얻을 수 있다.Further, even in a resin base material containing a polyimide compound, a high peel strength can be obtained.
<색차 ΔE*ab 의 측정> <Measurement of color difference ΔE * ab>
미처리 동박의 처리 전의 면과 처리 동박 처리면의 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*a*b* 를 측정한 후, ([ΔL*]2 + [Δa*]2 + [Δb*]2)1/2 로 나타내는 식에 의해 산출할 수 있다.([? L *] 2 + [? A *] 2 + [? B *] 2 ) 1 after the measurement of the color coordinate system L * a * b * defined in JIS Z 8781 of the untreated copper foil- / 2. ≪ / RTI >
실시예Example
본 발명의 실시예를 이하에 나타내지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다.Examples of the present invention are shown below, but the present invention is not limited thereto.
<미처리 동박> <Untreated copper>
실시예 및 비교예의 미처리 동박으로서, 두께 12 ㎛ 의 압연 동박 또는 전해 동박을 사용하였다.As the untreated copper foils of Examples and Comparative Examples, a rolled copper foil or electrolytic copper foil having a thickness of 12 占 퐉 was used.
또, 압연 동박은 탄화수소계 유기 용제에 60 초간 침지하여 압연유의 제거를 실시한 후에 각 처리를 실시하였다.The rolled copper foil was immersed in a hydrocarbon-based organic solvent for 60 seconds to remove the rolling oil, and then each treatment was carried out.
(실시예 1 ∼ 6) (Examples 1 to 6)
<수지 유도 침투층의 형성> ≪ Formation of Resin Induced Penetration Layer &
전해액으로서, 표 1 에 기재된 황산구리 5수화물 및 디에틸렌트리아민오아세트산오나트륨 농도, pH 및 액온으로 각각 조제한 수용액을 사용하였다. 또, pH 는 황산에 의해 조제하였다.As the electrolytic solution, the aqueous solution prepared by using the copper sulfate pentahydrate and the sodium diethylenetriamine acetic acid concentration, pH and liquid temperature as shown in Table 1 was used. The pH was adjusted by sulfuric acid.
전해액에, 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄, 음극으로서 미처리 동박을 침지하고, 양쪽 극에 대하여 표 1 에 기재된 각 전해 조건으로 전해를 실시하여 미처리 동박의 일방의 면에 수지 유도 침투층을 형성하였다.An untreated copper foil was immersed in the electrolytic solution as the anode and the untreated copper foil was coated as the anode and the anode was electrolyzed under the respective electrolytic conditions shown in Table 1 to prepare a resin- .
<코발트-몰리브덴 함유 산화 방지 처리층> ≪ Cobalt-Molybdenum-Containing Antioxidant Treatment Layer >
황산코발트 7수화물 38 g/ℓ, 몰리브덴산이나트륨 2수화물 23 g/ℓ, 시트르산삼나트륨 2수화물 45 g/ℓ, 황산나트륨 80 g/ℓ 를 함유하는 pH 5.6, 액온 30 ℃ 의 수용액에, 양극으로서 백금속 산화물로 표면을 피복한 티탄, 음극으로 수지 유도 침투층을 구비한 처리 동박을 사용하고, 양쪽 극에 대해서 전류 밀도 7.0 A/dm2, 전기량 14 C/dm2 의 전해 조건으로 수지 유도 침투층 상에 코발트-몰리브덴 함유 산화 방지 처리층을 형성하였다.A pH of 5.6 and a liquid temperature of 30 占 폚 containing 38 g / l of cobalt sulfate heptahydrate, 23 g / l of disodium molybdate dihydrate, 45 g / l of trisodium citrate dihydrate and 80 g / l of sodium sulfate, by coating the surface of a metal oxide of titanium, the use of a treated copper foil provided with a resin derived permeation layer as a cathode, and resins derived by the current density 7.0 a / dm 2, the electrolytic conditions of the quantity of electricity 14 C / dm 2 with respect to both polar penetration layer To thereby form a cobalt-molybdenum-containing antioxidant treatment layer.
<크로메이트층> ≪ Chromate layer >
액온 35 ℃ 의 이크롬산나트륨 2수화물 40 g/ℓ 수용액을 수산화나트륨에 의해 pH 12.0 으로 조제한 크로메이트 수용액에, 양극으로 백금, 음극으로 수지 유도층 및 코발트-몰리브덴 함유 산화 방지 처리층을 구비한 처리 동박을 사용하고, 양쪽 극에 대해서 전류 밀도 2.0 A/dm2, 전기량 10 C/dm2 의 전해 조건으로 코발트-몰리브덴 함유 산화 방지 처리층 상에 크로메이트층을 형성하였다.Treated copper foil having an antioxidant treatment layer containing platinum as a positive electrode and a resin induction layer containing cobalt-molybdenum as an anode was added to a chromate aqueous solution prepared by dissolving a 40 g / l aqueous solution of sodium chromate dihydrate at a liquid temperature of 35 캜 at a pH of 12.0 with sodium hydroxide , And a chromate layer was formed on the cobalt-molybdenum-containing antioxidation treatment layer under electrolysis conditions of a current density of 2.0 A / dm 2 and an electricity quantity of 10 C / dm 2 for both poles.
<실란 커플링제층> ≪ Silane coupling agent layer &
액온 30 ℃ 의 γ-아미노프로필트리에톡시실란 5 ㎖/ℓ 를 함유하는 수용액에 각 처리층을 구비한 처리 동박을 10 초간 침지하여, 크로메이트층 상에 실란 커플링제층을 형성시켰다.A treated copper foil having each treatment layer was immersed for 10 seconds in an aqueous solution containing 5 ml / liter of? -Aminopropyltriethoxysilane at a solution temperature of 30 占 폚 to form a silane coupling agent layer on the chromate layer.
실란 커플링제층을 형성시킨 후, 온도 약 25 ℃ 에서 자연 건조시켜, 각 실시예의 처리 동박으로 하였다.A silane coupling agent layer was formed thereon, followed by natural drying at a temperature of about 25 캜 to obtain a treated copper foil of each example.
(비교예 1) (Comparative Example 1)
수지 유도 침투층을 형성하지 않은 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.The resin-induced penetration layer was not formed, and the same conditions as in Example 1 were used.
(비교예 2) (Comparative Example 2)
황산구리 5수화물 47 g/ℓ, 황산 100 g/ℓ 로 이루어지는 전해액에 미처리 동박을 침지하고, 전류 밀도 50 A/dm2, 전기량 130 C/dm2, 액온 30 ℃ 의 전해 조건으로 전해하여 미세입자층을 형성시킨 후, 황산구리 5수화물 200 g/ℓ, 황산 100 g/ℓ 로 이루어지는 전해액에 침지하고 전류 밀도 5 A/dm2, 전기량 400 C/dm2, 액온 40 ℃ 의 전해 조건으로 전해함으로써 수지 유도 침투층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.An untreated copper foil was immersed in an electrolytic solution consisting of 47 g / l copper sulfate pentahydrate and 100 g / l sulfuric acid and electrolyzed under an electrolytic condition of a current density of 50 A / dm 2 , an electricity quantity of 130 C / dm 2 and a solution temperature of 30 ° C, And then electrolyzed under an electrolytic condition of a current density of 5 A / dm 2 , an electricity quantity of 400 C / dm 2 , and a liquid temperature of 40 ° C, Layer was formed in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1. < tb >< TABLE >
(비교예 3) (Comparative Example 3)
황산구리 5수화물 40 g/ℓ, 시트르산나트륨 2수화물 120 g/ℓ, 트리에탄올아민 10 g/ℓ 로 이루어지는 전해액에 미처리 동박을 침지하고, 전류 밀도 1.25 A/dm2, 전기량 100 C/dm2, 액온 45 ℃ 의 전해 조건으로 전해하여 수지 유도 침투층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.An untreated copper foil was immersed in an electrolytic solution consisting of 40 g / l of copper sulfate pentahydrate, 120 g / l of sodium citrate dihydrate and 10 g / l of triethanolamine, and a current density of 1.25 A / dm 2 , an electricity quantity of 100 C / dm 2 , Lt; 0 > C under electrolytic conditions to form a resin-induced permeation layer.
(비교예 4) (Comparative Example 4)
황산구리 5수화물 60.9 g/ℓ, 황산코발트 7수화물 28.6 g/ℓ, 황산니켈 6수화물 49.2 g/ℓ 로 이루어지고, 황산에 의해 pH 2.5 로 조제한 전해액에 미처리 동박을 침지하고, 전류 밀도 20 A/dm2, 전기량 40 C/dm2, 액온 30 ℃ 의 전해 조건으로 전해하여 수지 유도 침투층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.An untreated copper foil was immersed in an electrolytic solution composed of 60.9 g / l of copper sulfate pentahydrate, 28.6 g / l of cobalt sulfate heptahydrate and 49.2 g / l of nickel sulfate hexahydrate and adjusted to pH 2.5 by sulfuric acid, and a current density of 20 A / dm 2 , an electric quantity of 40 C / dm 2 , and a liquid temperature of 30 ° C to form a resin-induced permeation layer.
(비교예 5) (Comparative Example 5)
비교예 3 의 전해액에 미처리 동박을 침지하고, 전류 밀도 0.5 A/dm2, 전기량 100 C/dm2, 액온 45 ℃ 의 전해 조건으로 전해하여 수지 유도 침투층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.The same procedure as in Example 1 was carried out except that an untreated copper foil was immersed in the electrolytic solution of Comparative Example 3 and electrolytic conditions were carried out at a current density of 0.5 A / dm 2 , an electricity quantity of 100 C / dm 2 and a liquid temperature of 45 캜 to form a resin- Lt; / RTI >
(비교예 6) (Comparative Example 6)
비교예 4 의 전해액에 미처리 동박을 침지하고, 전류 밀도 30 A/dm2, 전기량 40 C/dm2, 액온 30 ℃ 의 전해 조건으로 전해하여 수지 유도 침투층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 1 과 동일한 조건으로 제조하였다.The same procedure as in Example 1 was carried out except that an untreated copper foil was immersed in the electrolytic solution of Comparative Example 4 and electrolytic conditions were carried out at a current density of 30 A / dm 2 , an electric quantity of 40 C / dm 2 and a solution temperature of 30 캜 to form a resin- Lt; / RTI >
(비교예 7) (Comparative Example 7)
황산니켈 6수화물 30 g/ℓ, 차아인산나트륨 1수화물 2.0 g/ℓ, 아세트산나트륨3수화물 10 g/ℓ, pH 4.5 로 이루어지는 전해액으로, 전류 밀도 5.0 A/dm2, 전기량10 C/dm2, 액온 30 ℃ 의 전해 조건으로 전해시켜 산화 방지 처리층을 형성한 것 이외에는 실시예 3 과 동일 조건으로 제조하였다.A current density of 5.0 A / dm 2 , an electricity quantity of 10 C / dm 2 , and a volume of 10 C / dm 2 as an electrolyte solution containing 30 g / L of nickel sulfate hexahydrate, 2.0 g / L of sodium hypophosphite monohydrate, 10 g / L of sodium acetate trihydrate, The electrolytic solution was electrolyzed at a liquid temperature of 30 占 폚 to form an antioxidant treatment layer.
(비교예 8) (Comparative Example 8)
황산니켈 6수화물 55 g/ℓ, 황산코발트 7수화물 22 g/ℓ, pH 3.0 으로 이루어지는 전해액으로, 전류 밀도 5 A/dm2, 전기량 10 C/dm2, 액온 40 ℃ 의 전해 조건으로 전해시켜 산화 방지 처리층을 형성시킨 것 이외에는 실시예 3 과 동일한 조건으로 제조하였다.Electrolytic solution containing 55 g / l of nickel sulfate hexahydrate, 22 g / l of cobalt sulfate heptahydrate and pH 3.0 and electrolysis conditions at a current density of 5 A / dm 2 , an electricity quantity of 10 C / dm 2 , Was prepared under the same conditions as in Example 3, except that the antistatic layer was formed.
<구리 피복 적층판> ≪ Copper clad laminate &
실시예 및 비교예의 각 처리 동박의 처리면을 피접착면으로 하고, 진공 열 프레스기 (기타가와 정기 제조 KVHC-II) 를 사용하여 폴리이미드 수지계 기재 (사네카 제조, 품명 : FRS-142, 두께 25 ㎛) 를 진공하 (7 torr), 온도 260 ℃ 에서 15 분간 예열한 후, 진공하 (7 torr), 온도 300 ℃, 압력 4 ㎫ 로 10 분간 가열, 가압 성형을 실시하여, 구리 피복 적층판을 얻었다.(Manufactured by Saneoka, product name: FRS-142, manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.) using a vacuum thermal press machine (KVHC-II manufactured by Kitagawa Co., Ltd.) 25 탆) was preheated under a vacuum (7 torr) at a temperature of 260 캜 for 15 minutes and then heated under vacuum (7 torr) at a temperature of 300 캜 under a pressure of 4 MPa for 10 minutes to obtain a copper clad laminate .
미처리 동박 또는 처리 동박의 평가는 다음 방법에 의해 실시하였다.Evaluation of untreated copper foil or treated copper foil was carried out by the following method.
<표면 조도의 측정> ≪ Measurement of surface roughness &
미처리 동박 또는 처리 동박의 각 처리층이 형성된 면에 대해서, JIS B 0651-2001 에 규정되는 촉침식 표면 조도계로 적합한 서프코더 SE1700α (주식회사 고사카 연구소 제조) 에 촉침으로서 촉침 선단 반경 2 ㎛ 인 것을 사용해서, 조도 곡선용 컷오프치 0.8 ㎜, 측정 거리 4.0 ㎜ 로 하여 JIS B 0601-1994 에 정의되는 10 점 평균 조도 Rz 를 측정하였다.The surface of the untreated copper foil or the treated copper foil on which each treatment layer was formed was subjected to surface treatment using Surfcoder SE1700 alpha (manufactured by Kosaka Laboratory Co., Ltd.) suitable as a contact type surface roughness meter specified in JIS B 0651-2001 , The cutoff value for the roughness curve was 0.8 mm, and the measurement distance was 4.0 mm, and the 10-point average roughness Rz as defined in JIS B 0601-1994 was measured.
<1 차 입자경의 측정> ≪ Measurement of primary particle size &
전계 방사형 주사 전자 현미경 FE-SEM (닛폰 전자 제조 JSM-7800F) 을 사용하여, 시료대를 40°기울이면서 배율 80,000 배로 관찰하고, 관찰된 수지 유도 침투층을 구성하는 구리 미세입자의 1 차 입자의 길이를 10 점 계측한 평균치를 1 차 입자경의 값으로 하였다.Using a field emission scanning electron microscope FE-SEM (JSM-7800F manufactured by Nippon Electric Company), the sample was observed at a magnification of 80,000 times while being inclined by 40 DEG, and the primary particles of copper microparticles constituting the observed resin- The average value obtained by measuring the length at 10 points was taken as the value of the primary particle diameter.
<색차 ΔE*ab> <Color difference ΔE * ab>
분광 측색계 (코니카 미놀타 제조 CM-600d) 를 사용해서, 각 처리 동박의 JIS Z 8781 에 정의되는 표색계 L*a*b* 를 측정하고, 미처리 동박의 L*a*b* 와의 색차 ΔE*ab (= ([ΔL*]2 + [Δa*]2 + [Δb*]2)1/2) 를 구했다.The colorimetric system L * a * b * defined in JIS Z 8781 of each treated copper foil was measured using a spectroscopic colorimeter (CM-600d manufactured by Konica Minolta), and the color difference ΔE * ab * of L * a * b * (= ([ΔL *] 2 + [Δa *] 2 + [Δb *] 2) 1/2) was determined for.
구리 피복 적층판의 평가는 다음 방법에 의해 실시하였다.The evaluation of the copper clad laminate was carried out by the following method.
<박리 강도> <Peel strength>
에칭 머신 (니노미야 시스템 제조 SPE-40) 을 사용해서, 에칭에 의해 폭 1 ㎜ 의 구리 회로 샘플을 제조하였다. JIS C 6481 에 준거하여, 만능 시험기를 사용해서 박리 강도를 측정하였다.A copper circuit sample having a width of 1 mm was produced by etching using an etching machine (SPE-40, manufactured by Ninomiya System). In accordance with JIS C 6481, the peel strength was measured using a universal testing machine.
<HAZE 값 (흐림도)> <HAZE value (degree of blur)>
에칭 머신을 사용해서, 구리 피복 적층판의 구리를 전체면 에칭하였다. JIS K 7136 에 준거하여, 헤이즈미터 (닛폰 전색 제조 NDH7000) 를 사용해서 에칭 후의 폴리이미드 수지의 HAZE 값을 측정하였다.Copper of the copper clad laminate was entirely etched by using an etching machine. The HAZE value of the polyimide resin after etching was measured using a haze meter (NDH7000 manufactured by Nippon Unicar Co., Ltd.) in accordance with JIS K7136.
<전송 손실> <Transmission Loss>
에칭 머신을 사용해서, 에칭에 의해 싱글 엔드의 마이크로 스트립 라인을 형성하였다. 또, 본 기판의 회로폭은 특성 임피던스가 50 Ω 가 되도록 폭 110 ㎛ 로 하였다. 제조한 회로 기판을 네트워크 애널라이저 (애질런트 제조 N5247A) 를 사용해서 주파수 40 ㎓ 의 S 파라미터 (S21) 를 측정하였다.A single-ended microstrip line was formed by etching using an etching machine. In addition, the circuit width of this substrate was set to 110 mu m in width so that the characteristic impedance was 50 OMEGA. The manufactured circuit board was measured for an S parameter (S21) at a frequency of 40 GHz using a network analyzer (Agilent N5247A).
각 평가 결과를 표 2 에 나타낸다. The evaluation results are shown in Table 2.
실시예 1 ∼ 6 으로부터, 본 발명에 있어서의 처리 동박은 수지 유도 침투층을 형성함으로써 전송 손실은 상승하지 않고 높은 전송 특성을 나타냄과 함께, 폴리이미드 수지계 기재와의 박리 강도는 3 배 이상 상승하는 것이 확인되었다.It can be seen from Examples 1 to 6 that the treated copper foil of the present invention exhibits a high transmission characteristic without increasing the transmission loss by forming the resin induced permeation layer and the peeling strength with the polyimide resin base material is increased by three times or more .
본 발명에 있어서의 처리 동박은 전송 손실이 미처리 동박과 같은 정도의 우수한 도체이면서 수지 기재와의 박리 강도를 높일 수 있으며, 또한 본 발명의 처리 동박을 사용한 구리 피복 적층판은, 에칭 후의 노출된 수지 기재의 HAZE 값이 낮아 투과도가 높기 때문에 AOI 를 사용한 검사나 CCD 카메라를 사용한 위치 결정을 정확하게 할 수 있다.The treated copper foil of the present invention can provide a conductor having the same transmission loss as the untreated copper foil and can increase the peel strength with the resin base material and the copper clad laminate using the treated copper foil of the present invention can be used for the resin substrate The HAZE value is low and the transmittance is high. Therefore, it is possible to accurately perform the inspection using the AOI or the positioning using the CCD camera.
따라서, 본 발명의 처리 동박은 산업상 이용가능성이 높은 발명이다.Therefore, the treated copper foil of the present invention is highly industrially applicable invention.
1 : 동박
2 : 수지 유도 침투층
3 : 산화 방지 처리층 1: Copper
2: Resin-induced penetration layer
3: Antioxidation treatment layer
Claims (8)
상기 산화 방지층 상에 크로메이트층 및/또는 실란 커플링제층을 구비한 구리 피복 적층판용 처리 동박.The method according to claim 1,
And a chromate layer and / or a silane coupling agent layer on the antioxidant layer.
폴리이미드 화합물을 함유하는 수지 기재와의 박리 강도가 1.0 kN/m 이상인 구리 피복 적층판.The method of claim 3,
And a peel strength with a resin base material containing a polyimide compound of 1.0 kN / m or more.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015025259A JP6487704B2 (en) | 2015-02-12 | 2015-02-12 | Treated copper foil, copper-clad laminate using the treated copper foil, and printed wiring board |
JPJP-P-2015-025259 | 2015-02-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20160099439A true KR20160099439A (en) | 2016-08-22 |
KR102097843B1 KR102097843B1 (en) | 2020-04-06 |
Family
ID=56691843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020150054287A KR102097843B1 (en) | 2015-02-12 | 2015-04-17 | Treated copper foil, and copper-clad laminate and printed wiring board using the treated copper foil |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6487704B2 (en) |
KR (1) | KR102097843B1 (en) |
CN (1) | CN106211567B (en) |
TW (1) | TWI666977B (en) |
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- 2015-04-17 KR KR1020150054287A patent/KR102097843B1/en active IP Right Grant
- 2015-05-28 CN CN201510283536.3A patent/CN106211567B/en active Active
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CN106211567B (en) | 2019-10-18 |
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CN106211567A (en) | 2016-12-07 |
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