Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR20140137396A - 반송 시스템 - Google Patents

반송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20140137396A
KR20140137396A KR1020147026973A KR20147026973A KR20140137396A KR 20140137396 A KR20140137396 A KR 20140137396A KR 1020147026973 A KR1020147026973 A KR 1020147026973A KR 20147026973 A KR20147026973 A KR 20147026973A KR 20140137396 A KR20140137396 A KR 20140137396A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
identification information
transported
stacker crane
storage shelf
conveyed object
Prior art date
Application number
KR1020147026973A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101661633B1 (ko
Inventor
마카토 야마모토
Original Assignee
무라다기카이가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 무라다기카이가부시끼가이샤 filed Critical 무라다기카이가부시끼가이샤
Publication of KR20140137396A publication Critical patent/KR20140137396A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101661633B1 publication Critical patent/KR101661633B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0421—Storage devices mechanical using stacker cranes with control for stacker crane operations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/45—Nc applications
    • G05B2219/45031—Manufacturing semiconductor wafers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

본 발명의 반송 시스템(100)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 근방에 설치되어, 피반송물(10)을 수납하는 수납선반(20)과, 수납선반(20)에 있어서 피반송물(10)의 반입 및 반출을 행하는 스태커 크레인(30)과, 피반송물(10)을 반송하는 비히클(vehicle; 40)과, 스태커 크레인(30)에 설치되어, 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 읽어내는 ID 태그 리더(R)와, IT 태그 리더(R)에 의해 취득된 식별 정보와 피반송물(10)의 반송 지령에 포함되는 정보가 일치하고 있는 경우에, 반송 지령에 있어서의 반송처에 피반송물(10)을 반송하도록 스태커 크레인(stacker crane; 30)을 제어하는 컨트롤러(50)를 구비하며, 수납선반(20)의 적어도 일부는, 비히클(40)의 그리퍼(gripper; 44)에 의해 피반송물(10)이 출납 가능하게 되어 있다.

Description

반송 시스템{CONVEYANCE SYSTEM}
본 발명은, 반송 시스템에 관한 것이다.
종래의 반송 시스템으로서, 예컨대 특허 문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 특허 문헌 1에 기재된 반송 시스템에서는, ID 태그가 부착된 카세트를 반송하는 동시에, ID 태그를 인식하는 ID 리더가 탑재된 반송차와, 카세트가 재치(載置)되는 스테이션을 구비하고 있으며, 카세트에 부착된 ID 태그에 의해 카세트의 반송을 관리하고 있다.
일본 특허 공개 공보 제2002－179203호
상기 특허 문헌 1에 기재된 반송 시스템과 같이, ID 태그에 의해 카세트를 관리하는 것은 반송의 정확성 및 효율의 관점에서 유효하다. 여기서, 근래에는, 반도체 디바이스의 제조에 있어서 처리의 고속화가 진행되고 있으며, 반도체 제조장치에 있어서의 택트 타임(tact time)의 단축이 요구되고 있는데, 이와 동시에 공정간에 있어서의 반도체 웨이퍼의 반송 시간의 개선이 더욱 요구되고 있다. 또, 근래의 반도체 웨이퍼의 대형화에 따라, 그것을 수납하는 용기로서의 FOUP(Front Opening Unified Pod, 카세트)도 대형화된다. 이 때문에, 반도체 제조 공장에 있어서는, FOUP를 수납하는 공간(space)이 종래보다 필요하게 되지만, 한정된 공간에 있어서 FOUP를 수납할 공간을 확보한다는 것은 용이하지 않다.
본 발명은, 피(被)반송물의 수납 공간을 확보할 수 있는 동시에, 피반송물을 정확하고도 또한 효율적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 관한 반송 시스템은, 일의적(一意的)으로 식별 가능한 식별 정보가 부여된 피반송물을 반송하는 반송 시스템으로서, 반도체 제조장치의 근방에 설치되어, 피반송물을 수납하는 수납선반과, 수납선반에 피반송물을 반입하는 동시에, 수납선반으로부터 피반송물을 반출하는 스태커 크레인(stacker crane)과, 천정부에 설치된 궤도를 따라 주행하며, 피반송물을 파지(把持)하는 그리퍼(gripper)를 승강시켜 피반송물을 반송하는 천정 반송차와, 스태커 크레인에 설치되어, 피반송물에 부여된 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득 수단과, 식별 정보 취득 수단에 의해 취득된 식별 정보와, 피반송물의 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있는 경우에, 반송 지령에 있어서의 반송처에 피반송물을 반송하도록 스태커 크레인을 제어하는 제어 수단을 구비하며, 수납선반의 적어도 일부는, 천정 반송차의 그리퍼에 의한 피반송물의 출납이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 반송 시스템에서는, 반도체 제조장치의 근방에 피반송물을 수납하는 수납선반이 설치되어 있다. 이로써, 피반송물을 수납할 공간을 확보할 수가 있다. 또, 반송 시스템에서는, 수납선반을 반도체 제조장치의 근방에 배치하고 있기 때문에, 수납선반과 로드 포트의 사이에서의 피반송물의 이재(移載)를 신속하게 행할 수가 있다. 또, 반송 시스템에서는, 수납선반의 적어도 일부는, 천정 반송차의 그리퍼에 의한 피반송물의 출납이 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 반송 시스템에서는, 천정 반송차가 수납선반에 액세스할 수 있는 구성으로 함으로써, 수납선반을, 스태커 크레인과 천정 반송차의 사이에서 피반송물을 주고받기 위한 포트(port)로서 기능시킬 수가 있다. 이로써, 반송 시스템에서는, 피반송물의 반송을 효율적으로 실시할 수가 있다. 또한, 반송 시스템에서는, 피반송물에 부여된 식별 정보와 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있는 경우에, 반송 지령에 있어서의 반송처에 피반송물을 반송하도록 스태커 크레인을 제어한다. 이로써, 반송 시스템에서는, 피반송물을 특정 반송처에 정확하게 반송할 수가 있다. 이상과 같이, 반송 시스템에서는, 피반송물의 수납 공간을 확보할 수 있는 동시에, 피반송물을 정확하고도 또한 효율적으로 반송할 수가 있다.
일 실시 형태에 있어서는, 반도체 제조장치의 로드 포트에 있어서, 스태커 크레인 및 천정 반송차에 의한 피반송물의 반입 및 반출이 가능하게 되어 있어도 무방하다. 이로써, 반송 시스템에서는, 천정 반송차에 의해 직접 로드 포트에 피반송물의 반입 및 반출을 할 수가 있다. 이 때문에, 반송 시스템에서는, 피반송물을 스태커 크레인에 전달하기 위해 일시적으로 피반송물을 보관하는 시간의 단축이 도모되며, 또한, 스태커 크레인에 의한 이재의 시간도 단축할 수 있기 때문에, 피반송물을 신속하게 반송할 수가 있다. 또, 반송 시스템에서는, 피반송물의 이재의 자유도의 향상도 도모할 수 있다. 따라서, 반송 시스템에서는, 피반송물의 반송 효율의 향상을 더욱 도모할 수가 있다.
본 발명에 의하면, 피반송물의 수납 공간을 확보할 수 있는 동시에, 피반송물을 정확하고도 또한 효율적으로 반송할 수가 있다.
도 1은 일 실시 형태에 관한 반송 시스템을 위에서 본 도면이다.
도 2는 도 1에 나타내는 반송 시스템을 나타내는 사시도이다.
도 3은 반송 시스템의 시스템 구성을 나타내는 블록도이다.
도 4는 반송 시스템의 동작을 나타내는 플로우 차트이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 적합한 실시 형태에 대해 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일하거나 또는 그에 상당하는 요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은, 일 실시 형태에 관한 반송 시스템을 위에서 본 도면이다. 도 2는, 도 1에 나타내는 반송 시스템을 나타내는 사시도이다. 도 3은, 반송 시스템의 시스템 구성을 나타내는 블록도이다.
도 1~도 3에 나타내는 반송 시스템(100)은, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 클린 룸(clean room)에 설치되어 있다. 반송 시스템(100)은, 피반송물(10)을 수납하는 수납선반(20)과, 스태커 크레인(30)과, 비히클(vehicle)(천정 반송차; 40)과, 컨트롤러(제어 수단; 50)를 구비하고 있다. 클린 룸에는, 반도체 제조장치(60, 62)가 배치되어 있다. 반도체 제조장치(60, 62)에는, 상기 반도체 제조장치(60, 62)에 피반송물(10)을 반입 및 반출하기 위한 로드 포트(64, 66)가 각각 설치되어 있다.
또, 반송 시스템(100)은, MES(Manufacturing Execution System; 110)와, MCS(Material Control System; 120)을 구비하고 있다. MCS(110)는, 반도체 제조 스케줄에 근거하여 피반송물(10)의 반송 스케줄을 작성하고, 상기 반송 스케줄에 근거하여, 스태커 크레인(30) 및 비히클(40)이 접속된 컨트롤러(50)에 반송 지령을 송출하여 지시를 행하는 반송 지시 장치이다. MCS(110)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 컨트롤러(50) 등의 공정간 반송 설비와 MES(120)의 사이에 설치되어, MES(120)로부터의 각종 지시를 컨트롤러(50)에 적시(適時)에 전달하고, 상기 컨트롤러(50)로부터의 보고를 정리하여 MES(120)에 전달하는 기능을 갖는 시스템이다. 또한, MES(120)는, 공장 현장에 있어서의 각종 정보를 통괄하여 관리하는 통합 생산 정보 시스템으로서, MCS(110) 및 반도체 제조장치(60, 62)의 정보 관리를 행한다.
피반송물(10)은, 복수 매의 반도체 웨이퍼를 수용한 카세트(이른바 FOUP(Front Opening Unified Pod))이다. 피반송물(10)의 상면(10a)에는, 후술하는 비히클(40)의 그리퍼(44)에 의해 유지되는 플랜지부(10b)가 설치되어 있다. 또, 피반송물(10)의 측면(후면; 10c)에는, 반도체 웨이퍼의 출납을 위한 탈부착이 가능한 덮개(도시 생략)가 부착되어 있다.
피반송물(10)에는, 일의적으로 식별 가능한 식별 정보가 부여되어 있다. 본 실시 형태에서는, 피반송물(10)에는, 식별 정보가 부여된 ID 태그(T)가 부착되어 있다. ID 태그(T)는, 피반송물(10)의 전면(前面; 10d, 덮개가 부착되어 있는 측면(10c)과는 반대측의 면)에 배치되어 있다. 또한, 피반송물(10)에 부여되는 식별 정보는, ID 태그(T)뿐만 아니라, 예컨대 바코드 등이어도 무방하다.
수납선반(20)은, 피반송물(10)을 일시적으로 수납하는 선반이다. 수납선반(20)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 근방에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 수납선반(20)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 로드 포트(64, 66)를 사이에 끼우고 배치되어 있다. 수납선반(20)에는, 피반송물(10)이 재치되는 재치부(22)가 높이 방향으로 복수 열(列)(여기에서는 3열) 설치되어 있다. 재치부(22)에는, 그 상면으로부터 상방으로 돌출하는 핀(24)이 설치되어 있다. 핀(24)은, 피반송물(10)의 바닥면에 형성된 위치결정 구멍(도시 생략)과 걸림결합한다. 상기 핀(24)에 의해, 수납선반(20)에 있어서 피반송물(10)이 위치결정된다. 또한, 재치부(22)에는, 피반송물(10)의 바닥면의 하방에, 스태커 크레인(30)의 이재 아암(39c)(후술함)이 삽입되는 틈새가 형성되어 있다.
수납선반(20)의 상부는, 개방되어 있다. 즉, 수납선반(20)의 적어도 일부는, 비히클(40)의 그리퍼(44)에 의한 피반송물(10)의 출납이 가능하게 되어 있다. 수납선반(20)에 있어서, 피반송물(10)은, 그 전면(前面; 10d)이 스태커 크레인(30) 측을 향하도록 재치된다. 이로써, 피반송물(10)은, 전면(10d)에 부착된 ID 태그(T)가 스태커 크레인(30)측을 향해 재치부(22)에 배치된다. 수납선반(20)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 설치 위치나 대수(臺數), 클린 룸의 구조에 따라 설치 수나 설치 위치가 적절히 설정된다. 또, 수납선반(20)은, 천정에 매달려 있어도 무방하며, 바닥에 지지 부재 등을 개재(介在)시켜 고정되어 있어도 무방하다.
스태커 크레인(30)은, 클린 룸 내부를 레일(R1)을 따라 이동하는 주행대차(32)와, 상기 주행대차(32)에 세워져 설치된 2대의 지지 기둥 장치(34)와, 지지 기둥 장치(34)에 대해 상하 방향으로 이동 가능하도록 설치된 승강대(36)와, 승강대(36)상에 설치된 이재 장치(38)와, ID 태그 리더(R; 식별 정보 취득 수단, 도 1 참조)를 포함하여 구성되어 있다. 또, 스태커 크레인(30)은, 도시하지 않지만, 승강대(36) 상에 설치된 턴테이블 등을 구비하고 있다.
스태커 크레인(30)은, 클린 룸 내에 부설(敷設)된 레일(R1)을 따라 직선 이동한다. 레일(R1)은, 대향하여 배치된 반도체 제조장치(60, 62)의 사이에 있어서, 상기 대향 방향에 직교하는 방향을 따라 부설되어 있다. 즉, 스태커 크레인(30)은, 반도체 제조장치(60, 62)의 대향 방향에 대략 직교하는 방향을 따라 이동 가능하도록 설치되어 있다. 또한, 여기서 말하는 대향이란, 반도체 제조장치(60, 62)가 완전히 마주하고 있을 필요는 없으며, 소정의 간격을 두고 배치되어 있는 상태이면 된다.
이재 장치(38)는, 스칼라 아암(scalar arm; 39)을 구비하고 있다. 스칼라 아암(39)은, 기단측 아암(39a)과, 선단측 아암(39b)과, 이재 아암(39c)에 의해 구성되어 있다. 이재 아암(39c)의 상면은, 피반송물(10)을 재치하는 재치면을 구성하고 있다. 스칼라 아암(39)은, 이재 아암(39c)이 주행대차(32)의 이동 방향에 직교하는 방향(피반송물(10)이 출납되는 방향)으로 직선 이동한다.
ID 태그 리더(R)는, 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 읽어내어, 식별 정보를 취득하는 수단이다. ID 태그 리더(R)는, 예컨대 이재 장치(38)에 설치되어 있으며, 수납선반(20)에 수납된 피반송물(10)을 반송하기 전(로드 포트에 이재하기 전)에, 피반송물(10)에 부착된 ID 태그(T)를 읽어내어 식별 정보를 취득한다. ID 태그 리더(R)는, 취득한 식별 정보를 컨트롤러(50)에 출력한다. 또한, ID 태그 리더(R)의 부착 위치는, 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 읽어낼 수 있는 위치이면 특별히 한정되지 않는다.
스태커 크레인(30)은, 다음과 같이 동작한다. 즉, 스태커 크레인(30)은, 소정의 수납선반(20)의 앞에 정지하며, 수납선반(20)에 수납되어 있는 소정의 피반송물(10)을 이재 아암(39c)에 의해 꺼낸다. 계속해서, 스태커 크레인(30)은, 주행대차(32)에 의해 레일(R1)을 따라 이동하며, 예컨대 반도체 제조장치(60)의 로드 포트(64)에 피반송물(10)을 이재한다. 또, 스태커 크레인(30)은, 예컨대 반도체 제조장치(62)의 로드 포트(66)의 앞에 정지하여, 로드 포트(66)에 재치된 피반송물(10)을 이재 아암(39c)에 의해 반출한다. 계속해서, 스태커 크레인(30)은, 반송처(예컨대 수납선반(20))까지 주행대차(32)에 의해 레일(R1)을 따라 이동하여, 피반송물(10)을 이재한다.
또, 스태커 크레인(30)은, 턴테이블에 의해 회전 가능하게 설치되어 있다. 이 때문에, 스태커 크레인(30)은, 턴테이블에 의해 방향을 적절히 바꿈으로써, 반도체 제조장치(60)측 및 반도체 제조장치(62)측 중 어느 일방(一方)측을 향해 스칼라 아암(39)을 이동시킨다. 이로써, 스태커 크레인(30)은, 대향 배치된 반도체 제조장치(60, 62)의 로드 포트(64, 66)의 각각에 대하여, 피반송물(10)의 반입 및 반출을 행한다. 이러한 스태커 크레인(30)에 의한 피반송물(10)의 반송 동작은, 컨트롤러(50)에 의해 제어된다.
또한, 도 1에 있어서는, 스태커 크레인(30)이 1대만 도시되어 있으나, 스태커 크레인(30)은, 레일(R1)상에 1대가 설치되어 있어도 무방하고, 복수대가 설치되어 있어도 무방하다.
비히클(40)은, OHT(Overhead Hoist Transport)로서, 천정부로부터 매달린 주행 레일(궤도; R2)을 따라 피반송물(10)을 반송한다. 주행 레일(R2)은, 클린 룸의 천정에 설치된 것으로, 반도체 제조장치(60, 62)의 로드 포트(64, 66)의 상방에 배치되어 있다.
비히클(40)은, 그리퍼(gripper; 44)를 구비하고 있다. 그리퍼(44)는, 플랜지부(10b)를 파지함으로써, 피반송물(10)을 유지한다. 그리퍼(44)는, 승강부(도시 생략)에 의해 복수개의 벨트(46)가 동기하여 풀려 나옴으로써, 소정의 위치로부터 하강한다. 또, 그리퍼(44)는, 승강부에 의해 복수개의 벨트(46)가 동기하여 감김으로써, 소정의 위치까지 상승한다.
비히클(40)은, 다음과 같이 동작한다. 즉, 비히클(40)은, 피반송물(10)을 반송원(元)(예컨대 피반송물의 스토커)으로부터 반송하고, 예컨대 반도체 제조장치(60)의 로드 포트(64)의 상방에 정지하며, 반송되어 온 피반송물(10)을 하강시켜, 로드 포트(64)상에 재치한다. 또, 비히클(40)은, 피반송물(10)을 반송원으로부터 반송하고, 소정의 수납선반(20)의 상방에 정지하여, 반송해 온 피반송물(10)을 하강시키고, 수납선반(20)의 소정의 위치에 피반송물(10)을 재치한다.
또, 비히클(40)은, 예컨대 반도체 제조장치(62)의 로드 포트(66)의 상방에 정지하고, 해당 로드 포트(66)에 재치되어 있는 피반송물(10)을 그리퍼(44)로 파지하며, 유지한 상태로 상승시켜 피반송물(10)을 소정의 반송처에 반송한다. 또, 비히클(40)은, 예컨대 수납선반(20)의 상방에 정지하고, 해당 수납선반(20)에 수납되어 있는 피반송물(10)을 그리퍼(44)로 파지하며, 유지한 상태로 상승시켜 피반송물(10)을 소정의 반송처에 반송한다.
컨트롤러(50)는, 스태커 크레인(30) 및 비히클(40)을 제어한다. 컨트롤러(50)는, 스태커 크레인(30)에 설치된 ID 태그 리더(R)와 통신 가능하게 되어 있다. 컨트롤러(50)는, 스태커 크레인(30)의 ID 태그 리더(R)로부터 출력된 식별 정보와, MCS(110)로부터 출력된 반송 지령을 수취하여, 식별 정보와 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하는지 여부를 판단한다. 반송 지령에는, 피반송물(10)로 특정하는 식별 정보와, 그 피반송물(10)의 반송처를 나타내는 반송처 정보가 적어도 포함되어 있다.
컨트롤러(50)는, 피반송물(10)의 식별 정보와 반송 지령의 식별 정보가 일치하고 있는 경우에는, 반송 지령에 포함되는 반송처 정보가 나타내는 반송처에 피반송물(10)을 반송하도록, 스태커 크레인(30)을 제어한다. 이로써, 스태커 크레인(30)은, 반송 지령에 따라 피반송물(10)을 소정의 반송처에 이재한다. 또, 컨트롤러(50)는, 피반송물(10)의 식별 정보와 반송 지령의 식별 정보가 일치하지 않는 경우에는, 피반송물(10)을 반송 지령에 있어서의 반송처와는 다른 장소(예컨대, 일시적으로 피반송물(10)을 보관하는 선반)로 반송하도록, 스태커 크레인(30)을 제어한다.
계속해서, 반송 시스템(100)의 동작에 대하여, 도 4를 참조하면서 설명한다. 도 4는, 반송 시스템의 동작을 나타내는 플로우 차트이다. 또한, 이하에서는, 수납선반(10)에 수납된 피반송물(10)을, 반도체 제조장치(60)의 로드 포트(64)에 반송하는 것을 일례로 하여 설명한다.
도 4에 나타내는 바와 같이, 반송 지령에 근거하는 컨트롤러(50)의 제어에 의해, 스태커 크레인(30)이 수납선반(20)의 소정의 피반송물(10)의 앞까지 이동한다(단계 S01). 다음으로, 스태커 크레인(30)의 이재 장치(38)의 이재 아암(39c)에 의해, 피반송물(10)을 수납선반(20)으로부터 꺼낸다(단계 S02). 이 때, 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 ID 태그 리더(R)에 의해 읽어낸다(단계 S03).
계속해서, ID 태그 리더(R)에 의해 읽어낸 ID 태그(T)의 식별 정보와, 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있는지 여부를 컨트롤러(50)가 판단한다(단계 S04). ID 태그(T)의 식별 정보와 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있다고 판단했을 경우에는, 컨트롤러(50)의 제어에 의해, 스태커 크레인(30)이 피반송물(10)을 로드 포트(64)에 반송한다(단계 S05). 한편, ID 태그(T)의 식별 정보와 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있다고 판단하지 않은 경우에는, 컨트롤러(50)의 제어에 의해, 스태커 크레인(30)이 소정의 다른 반송처로 피반송물(10)을 반송한다(단계 S06).
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 반도체 제조장치(60, 62)의 근방에 수납선반(20)을 배치하고 있다. 상기 수납선반(20)에 의해, 피반송물(10)을 수납하는 공간을 확보할 수가 있다. 또, 수납선반(20)을 반도체 제조장치(60, 62)의 근방에 배치하고 있기 때문에, 수납선반(20)과 로드 포트(64, 66)의 사이에서의 피반송물(10)의 이재를 신속하게 행할 수가 있다.
또, 본 실시 형태에서는, 스태커 크레인(30)의 ID 태그 리더(R)에 의해 수납선반(20)에 수납되어 있는 피반송물(10)의 ID 태그(T)를 읽어내고, 읽어낸 식별 정보와 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있을 경우에, 해당 피반송물(10)을 반송 지령이 나타내는 반송처로 반송하도록, 컨트롤러(50)가 스태커 크레인(30)을 제어한다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는, 스태커 크레인(30)을 제어하는 컨트롤러(50)에 있어서 피반송물(10)을 인식할 수 있기 때문에, 예컨대 피반송물(10)의 식별 정보를 로드 포트에 있어서 취득하여 그 식별 정보를 MES(110)로 출력하고, MES(110)에서 피반송물(10)을 인식한다는 종래의 시스템에 비해 처리 속도의 향상을 도모할 수가 있다. 따라서, 피반송물(10)을 신속하고도 또한 정확하게 반송처에 반송할 수가 있다. 또, ID 태그 리더(R)가 스태커 크레인(30)에 설치되어 있기 때문에, 수납선반(20)이나 로드 포트(64, 66)에 ID 태그 리더를 설치할 필요가 없어, 구성의 간이화(簡易化)를 도모할 수 있는 동시에, 비용의 저감을 도모할 수가 있다.
또, 본 실시 형태에서는, 비히클(40)이, 로드 포트(64, 66)에 있어서 피반송물(10)을 직접 반입 및 반출한다. 예컨대 조속한 처리가 필요한 긴급 로트(lot)용의 피반송물(10)을 반송하는 경우, 종래에는, 비히클(40)에 의해 소정의 포트에 해당 피반송물(10)을 반송하여 재치하고, 그 후에 스태커 크레인(30)에 의해 그 피반송물(10)을 소정의 로드 포트에 반입하였다. 이 때문에, 피반송물(10)의 반송에 아무래도 시간이 소요되었다.
이에 대하여, 본 실시 형태에서는, 스태커 크레인(30)을 개재(介在)하지 않고 비히클(40)에 의해 로드 포트(64, 66)에 직접 피반송물(10)을 반입 및 반출할 수 있기 때문에, 피반송물(10)을 일시적으로 보관하는 시간이나 스태커 크레인(30)에 의한 이재 시간이 단축된다. 따라서, 피반송물(10)의 반송 시간을 단축할 수 있어, 피반송물(10)을 신속하게 반송할 수가 있다. 또, 피반송물(10)의 반송의 자유도의 향상을 도모할 수가 있다. 이상과 같이, 본 실시 형태에서는, 피반송물(10)의 반송 효율의 향상이 도모된다.
또, 본 실시 형태에서는, 수납선반(20)의 상부가 개방되어 있다. 이로써, 비히클(40)이, 수납선반(20)에 있어서, 피반송물(10)의 출납을 행할 수가 있다. 따라서, 수납선반(20)을, 스태커 크레인(30)과 비히클(40)의 사이에서 피반송물(10)을 주고받기 위한 포트로서 기능시킬 수가 있다. 이로써, 피반송물(10)의 반송을 보다 효율적으로 실시할 수가 있다.
다른 관점에서는, 본 실시 형태는, 일의적으로 식별 가능한 식별 정보가 부여된 피반송물을 반송하는 반송 시스템으로서, 반도체 제조장치의 근방에 설치되어, 피반송물을 수납하는 수납선반과, 수납선반에 피반송물을 반입하는 동시에, 수납선반으로부터 피반송물을 반출하는 스태커 크레인과, 천정부에 설치된 궤도를 따라 주행하며, 피반송물을 파지하는 그리퍼를 승강시켜 반송물을 반송하는 천정 반송차와, 스태커 크레인에 설치되어, 피반송물에 부여된 식별 정보를 취득하는 ID 태그 리더와, ID 태그 리더에 의해 취득된 식별 정보와 피반송물의 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있는 경우에, 반송 지령에 있어서의 반송처에 피반송물을 반송하도록 스태커 크레인을 제어하는 컨트롤러를 구비하며, 수납선반의 적어도 일부는, 천정 반송차의 상기 그리퍼에 의한 피반송물의 출납이 가능하게 되어 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 상기 실시 형태에서는, 2대의 반도체 제조장치(60, 62)가 배치된 구성을 일례로 하여 설명하였으나, 반도체 제조장치의 설치 수 등은, 반도체 제조 공장의 설계에 따라 적절히 설정되면 된다. 또, 피반송물(10)을 일시적으로 보관하는 인터베이 스토커(interbay stocker)가 설치되어 있어도 무방하다. 인터베이 스토커에는, 스태커 크레인(30) 및 비히클(40)이 액세스 가능하게 된다.
100; 반송 시스템
10; 피반송물
20; 수납선반
30; 스태커 크레인(stacker crane)
40; 비히클(천정 반송차)
44; 그리퍼(gripper)
50; 컨트롤러(제어 수단)
60, 62; 반도체 제조장치
64, 66; 로드 포트
R; ID 태그 리더(식별 정보 취득 수단)
T; ID 태그(식별 정보)

Claims (2)

  1. 일의적(一意的)으로 식별 가능한 식별 정보가 부여된 피반송물을 반송하는 반송 시스템으로서,
    반도체 제조장치의 근방에 설치되어, 상기 피반송물을 수납하는 수납선반과,
    상기 수납선반에 상기 피반송물을 반입하는 동시에, 상기 수납선반으로부터 상기 피반송물을 반출하는 스태커 크레인(stacker crane)과,
    천정부에 설치된 궤도를 따라 주행하며, 상기 피반송물을 파지(把持)하는 그리퍼(gripper)를 승강시켜 상기 피반송물을 반송하는 천정 반송차와,
    상기 스태커 크레인에 설치되어, 상기 피반송물에 부여된 상기 식별 정보를 취득하는 식별 정보 취득 수단과,
    상기 식별 정보 취득 수단에 의해 취득된 상기 식별 정보와 상기 피반송물의 반송 지령에 포함되는 식별 정보가 일치하고 있는 경우에, 상기 반송 지령에 있어서의 반송처에 상기 피반송물을 반송하도록 상기 스태커 크레인을 제어하는 제어 수단을 구비하며,
    상기 수납선반의 적어도 일부는, 상기 천정 반송차의 상기 그리퍼에 의한 상기 피반송물의 출납이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 반도체 제조장치의 로드 포트에 있어서, 상기 스태커 크레인 및 상기 천정 반송차에 의한 상기 피반송물의 반입 및 반출이 가능하게 되어 있는 반송 시스템.
KR1020147026973A 2012-04-05 2013-03-07 반송 시스템 KR101661633B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012086392 2012-04-05
JPJP-P-2012-086392 2012-04-05
PCT/JP2013/056346 WO2013150859A1 (ja) 2012-04-05 2013-03-07 搬送システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140137396A true KR20140137396A (ko) 2014-12-02
KR101661633B1 KR101661633B1 (ko) 2016-09-30

Family

ID=49300356

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020147026973A KR101661633B1 (ko) 2012-04-05 2013-03-07 반송 시스템

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9845193B2 (ko)
EP (1) EP2835325B1 (ko)
JP (1) JP5880693B2 (ko)
KR (1) KR101661633B1 (ko)
CN (1) CN104245541B (ko)
TW (1) TWI522295B (ko)
WO (1) WO2013150859A1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160109635A (ko) * 2015-03-12 2016-09-21 주식회사 에스에프에이 스토커
KR20200010412A (ko) * 2017-06-30 2020-01-30 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2947030A1 (en) * 2014-05-23 2015-11-25 Pesmel Group Oy Stacker crane with two load handling units and method to use such rack feeder in a warehouse
EP3389084B1 (en) * 2015-12-08 2022-03-16 Murata Machinery, Ltd. Conveyance system and conveyance method
CN105858036A (zh) * 2016-06-12 2016-08-17 广州威能机电有限公司 物料存取系统及控制方法
WO2018003287A1 (ja) 2016-06-27 2018-01-04 村田機械株式会社 搬送システム
JP6589847B2 (ja) * 2016-12-26 2019-10-16 株式会社ダイフク 物品積載設備
JP6965646B2 (ja) * 2017-09-06 2021-11-10 株式会社ダイフク 搬送車、及び、搬送設備
KR102374029B1 (ko) * 2018-01-10 2022-03-11 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템의 제어 방법, 반송 시스템 및 관리장치
CN111886190B (zh) 2018-03-22 2022-06-28 村田机械株式会社 储料器系统
DE202018102001U1 (de) * 2018-04-12 2019-07-15 Aberu Gmbh Vorrichtung zum Bewegen von Ladungsträgern, Adapter zum Aufnehmen von Ladungsträgern sowie Transportwagen zum Aufnehmen und Transportieren von Ladungsträgern
KR101973503B1 (ko) * 2018-07-10 2019-04-29 (주)에스티아이 케미컬 용기 자동이송장치 및 자동이송방법
JP7529039B2 (ja) * 2020-11-12 2024-08-06 村田機械株式会社 保管棚
JP7559620B2 (ja) 2021-03-02 2024-10-02 村田機械株式会社 搬送システム
CN114408452B (zh) * 2022-01-27 2023-08-04 赛美特科技有限公司 一种晶圆运送方法、装置、电子设备及存储介质
CN115009737A (zh) * 2022-05-31 2022-09-06 江苏木盟智能科技有限公司 多场景智能搬运方法、系统、存储介质及智能搬运机器人
CN115818086B (zh) * 2022-12-14 2023-08-08 弥费科技(上海)股份有限公司 晶圆存储库对接天车口的存储调度系统及方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002179203A (ja) 1997-08-22 2002-06-26 Fuji Heavy Ind Ltd 塵芥収集車の塵芥積込装置
JP2009094460A (ja) * 2007-09-20 2009-04-30 Tokyo Electron Ltd 基板の処理装置
WO2011125095A1 (ja) * 2010-04-02 2011-10-13 ムラテックオートメーション株式会社 自動倉庫
WO2011148412A1 (ja) * 2010-05-26 2011-12-01 ムラテックオートメーション株式会社 装置前自動倉庫

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3669057B2 (ja) * 1996-06-03 2005-07-06 アシスト シンコー株式会社 ストッカへの搬送システム
JP2000118607A (ja) 1998-10-12 2000-04-25 Murata Mach Ltd 搬送システム
JP2002060011A (ja) * 2000-08-11 2002-02-26 Murata Mach Ltd 自動倉庫
JP2003188229A (ja) * 2001-12-18 2003-07-04 Hitachi Kasado Eng Co Ltd ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
WO2004108347A1 (ja) * 2003-06-05 2004-12-16 Hirata Corporation 組立システム、組立ユニット、レイアウト作成装置ならびにレイアウト作成方法
JP2006096427A (ja) * 2004-09-28 2006-04-13 Murata Mach Ltd 物品保管設備
TW200621600A (en) * 2004-12-02 2006-07-01 Murata Machinery Ltd Automatic warehouse
JP2007106528A (ja) * 2005-10-12 2007-04-26 Hitachi Plant Technologies Ltd 階層入出庫式ストッカ装置
JP2007186319A (ja) * 2006-01-16 2007-07-26 Murata Mach Ltd 搬送システム
US8043039B2 (en) 2007-09-20 2011-10-25 Tokyo Electron Limited Substrate treatment apparatus
JP4688000B2 (ja) * 2008-02-06 2011-05-25 株式会社ダイフク 物品収納設備
JP4555881B2 (ja) * 2008-03-18 2010-10-06 株式会社日立国際電気 基板処理装置及び表示方法
JP5493314B2 (ja) 2008-09-05 2014-05-14 村田機械株式会社 被収容物移替システム
JP5284808B2 (ja) * 2009-01-26 2013-09-11 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ ストッカー装置及び基板処理装置
US8527088B2 (en) * 2009-03-03 2013-09-03 Murata Machinery, Ltd. Transportation system
JP5321913B2 (ja) 2009-12-07 2013-10-23 株式会社ダイフク 物品保管設備

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002179203A (ja) 1997-08-22 2002-06-26 Fuji Heavy Ind Ltd 塵芥収集車の塵芥積込装置
JP2009094460A (ja) * 2007-09-20 2009-04-30 Tokyo Electron Ltd 基板の処理装置
WO2011125095A1 (ja) * 2010-04-02 2011-10-13 ムラテックオートメーション株式会社 自動倉庫
WO2011148412A1 (ja) * 2010-05-26 2011-12-01 ムラテックオートメーション株式会社 装置前自動倉庫

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160109635A (ko) * 2015-03-12 2016-09-21 주식회사 에스에프에이 스토커
KR20200010412A (ko) * 2017-06-30 2020-01-30 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN104245541B (zh) 2016-03-23
EP2835325B1 (en) 2018-09-05
JPWO2013150859A1 (ja) 2015-12-17
JP5880693B2 (ja) 2016-03-09
US9845193B2 (en) 2017-12-19
TW201402428A (zh) 2014-01-16
KR101661633B1 (ko) 2016-09-30
EP2835325A4 (en) 2016-01-06
WO2013150859A1 (ja) 2013-10-10
TWI522295B (zh) 2016-02-21
CN104245541A (zh) 2014-12-24
EP2835325A1 (en) 2015-02-11
US20150045937A1 (en) 2015-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101661633B1 (ko) 반송 시스템
KR101804352B1 (ko) 보관고
JP5088468B2 (ja) 懸垂式搬送台車を用いた搬送システム
US7591624B2 (en) Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate
JP4636379B2 (ja) 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
JP5369419B2 (ja) 保管庫、保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
TWI722208B (zh) 搬送系統
KR20080072817A (ko) 현수식 승강 반송 대차에 있어서의 물품의 수수 방법 및장치
KR20090101815A (ko) 보관고 장치 및 보관고 부착 반송 시스템
WO2011083525A1 (ja) 搬送車システム
KR20150001615A (ko) 보관 시스템 및 보관 방법
KR20090026099A (ko) 보관고, 반송 시스템 및 보관고 세트
WO2013150841A1 (ja) 搬送システム
KR20210106549A (ko) 보관 시스템
JP2009173396A (ja) 保管庫及び入出庫方法
JP5470691B2 (ja) 保管庫及び保管庫付き搬送システム
JP2010137961A (ja) 保管庫及び入出庫方法
JP2009062155A (ja) 保管庫セット及び保管庫付き搬送システム
CN103274215A (zh) 设备前端装置和硅片盒的储运方法
CN116529864A (zh) 输送系统
JP2010080711A (ja) 搬送システム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190916

Year of fee payment: 4