KR20110049684A - 액체 용기, 그 액체 용기를 이용하는 송액장치 및 송액방법 - Google Patents

Abstract

충전된 액체를 고품질로 유지하면서, 공간 절약하여 액체의 저장을 행하는 것이 가능한 동시에, 액체 송출 시의 잔액량을 극히 적게 하는 것이 가능한 수송가능한 액체 용기, 그리고, 이 액체 용기의 세트 작업 및 교환 작업이 간편하고, 게다가 간단한 구성으로 저렴하며, 액체 용기 내의 액체의 잔량을 확실하게 적게 할 수 있고, 안전하게 액체를 송출할 수 있는 액체 송출장치 및 송액방법을 제공한다.
액체 용기(1)는, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫을 지닌 열가소성 수지가 블로우 성형된 둥근 바닥부의 용기 본체(2)와, 지지대(3)를 구비하는 것으로서, 용기 본체(2)는, 그 내표면이 고순도 열가소성 수지로 형성되어 있고, 지지대(3)에는 관통부(9)가 형성되어 있다. 송액장치(20)는, 액체 용기(1)에, 송액관(23)의 말단부(23a)를 둥근 바닥부(6)의 최저부 근방까지 삽입하고, 용기 본체(2)의 상하를 돌기부(32)와 저지부재(34) 사이에 끼워넣어, 압력 200㎪의 가스를 공급하고, 액체(17)를 송출한다.

Description

액체 용기, 그 액체 용기를 이용하는 송액장치 및 송액방법{LIQUID CONTAINER, AND LIQUID FEEDING APPARATUS AND LIQUID FEEDING METHOD USING THE LIQUID CONTAINER}

본 발명은, 액체를 넣기 위한 액체 용기, 그 액체 용기로부터 액체를 송출하기 위한 송액장치 및 액체의 송출방법에 관한 것이다.

반도체 및 액정분야에서 사용되는 포토레지스트나 용제 등의 공업용 고순도 약액, 의료용 고순도 약액 및 식품용 재료액이라고 하는 액체는, 이물의 혼입이 없이 고순도인 채로 저장, 반송되어, 사용되는 것이 필요하다. 그 때문에, 이들 액체의 저장, 반송에 이용되거나, 그대로 송액장치에 세트해서 이용되거나 하는 액체 용기는, 성분 용출이 극히 적은 것이 요망되고 있다. 이러한 액체 용기 및 액체의 송출 방법이, 예를 들어, 일본국 공개특허 평11-290420호 공보에 기재되어 있다.

상기 문헌에 기재된 액체 용기는, 다층구조에서 내층을 고순도 수지로 형성한 것으로, 용기 상부 측에 배출구가 돌출되어 설치된 동시에, 용기를 자립가능하게 밑부분이 평탄하게 형성된 것이다. 이 용기에 고순도 약품액을 충전시키고, 상기 문헌 중의 도면에 나타낸 바와 같이, 용기 주위를 가스압을 견뎌낼 수 있는 내압보호용기 또는 보호용기로 덮어서 내압보호하여, 가스의 압력으로 액체를 송출한다.

그런데, 이 문헌에 기재된 액체 용기에는, 액체의 송출 시, 평탄한 용기 바닥부에 남은 액체를 배출하기 어려워, 잔액량이 많다고 하는 과제가 있다. 또, 복수의 액체 용기를 보관하거나, 송액장치 가까이 준비하거나 할 경우, 액체 용기를 나열하지 않으면 놓을 수 없기 때문에 넓은 공간이 필요하게 된다고 하는 과제가 있다. 또한, 송액장치에 액체 용기를 세트할 때에, 내압보호용기로 덮을 필요가 있어, 송액장치의 부품수가 많아져, 대규모이고 고가인 장치로 되는 동시에, 액체 용기의 세트 작업이나 교환 작업이 번잡하다고 하는 과제가 있다. 또한, 액체를 송출하기 위해서 고압의 가스압을 이용하면, 액체 내에 기포가 생기기 쉽기 때문에, 액체 속에서 기포를 제거하기 위한 필터가 송액장치가 필요해진다고 하는 과제가 있다.

본 발명은 상기 과제를 해결하기 위한 것으로서, 충전된 액체를 고품질로 유지하면서, 공간 절약하여 액체의 저장을 행할 수 있는 동시에, 송액 시의 잔액량을 극히 적게 하는 것이 가능한 수송가능한 액체 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 이 액체 용기의 세트 작업 및 교환 작업이 간편하고, 게다가 간단한 구성으로 저렴하며, 액체 용기 내의 액체의 잔량을 확실하게 적게 할 수 있고, 안전하게 액체를 송출할 수 있는 액체 송출장치 및 송액방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여 이루어진, 본 발명의 액체 용기는, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫인 열가소성 수지가 블로우 성형(blow molding)되어서, 대략 원통 형상의 동체부에 둥근 바닥부를 가지고, 또한 천정부에 상기 동체부와 동심의 배출구를 가지고 형성되어, 액체를 수용가능하며, 상기 배출구에 마개를 착탈가능한 용기 본체와, 해당 용기 본체를 자립시키기 위해서 상기 동체부의 상기 둥근 바닥부 측에 끼워맞춤되는 수지제의 지지대를 구비하는 액체 용기로서,

상기 용기 본체는, 적어도 그 내표면이, 소정의 기준값 이상으로 액체 중에 불순물 미립자가 침출되지 않는 고순도 열가소성 수지로 형성되어 있고,

상기 지지대에는, 상기 액체 용기를 복수개 쌓아올렸을 때에, 밑에 쌓인 상기 용기 본체의 상기 마개 부착된 상기 배출구를 수용가능한 관통부가 형성되어 있는 동시에, 밑에 쌓인 상기 용기 본체의 천정부에 걸어맞춤가능한 바닥부가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 액체 용기는, 상기 용기 본체 및/또는 상기 지지대를 형성하는 수지가 재료 재활용(material recycle) 가능한 수지인 것을 특징으로 한다.

송액장치는, 상기 액체 용기가 세트되어서, 상기 액체 용기 내의 액체를 송액시키는 송액장치로서, 상기 액체 용기가 놓여서, 상기 지지대의 상기 관통부에 들어가 상기 용기 본체의 상기 둥근 바닥부에 접촉하는 돌기부를 구비한 대좌와, 압력이 최대 200㎪까지인 가압원에 연결되어서 상기 용기 본체 내에 가스를 공급하기 위한 가스 공급구, 및 상기 용기 본체 내의 상기 둥근 바닥부의 최저부에 근접해서 말단부가 위치하여 상기 용기 본체의 외부에 선단부가 도출되는 송액관을 구비한, 상기 마개와 교체되어 상기 배출구에 착탈가능하며 상기 용기 본체를 밀봉가능한 송액 어댑터와, 상기 대좌로부터 세워 설치되는 지주부에 가동가능하게 설치되어, 상기 배출구에 끼워진 상기 송액 어댑터의 상부에 접촉하는 위치에서 그 움직임을 고정가능한 저지부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이 송액장치는, 상기 가스 공급구에 압력이 10㎪ 내지 50㎪인 상기 가압원이 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.

이 송액장치는, 상기 가스 공급구는, 상기 가압원에 연결되는 가압 커넥터가 접속가능하게 형성되어 있고, 상기 저지부재는, 상기 송액 어댑터의 상부에 접촉하고 있는 상태에서 상기 가압 커넥터를 상기 가스 공급구에 접속했을 때, 상기 가압 커넥터에 닿아서 상기 저지부재의 이동을 억제시키는 스토퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

이 송액장치는, 상기 저지부재 및 상기 송액 어댑터가, 서로 끼워맞춤되어 상기 저지부재에 대한 상기 가스 공급구의 위치를 규정하는 위치결정 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

송액방법은, 상기 액체 용기에 액체를 충전시키고, 송액관의 말단부를 둥근 바닥부의 최저부 근방까지 삽입하여, 그 선단부를 외부로 도출시켜서, 상기 액체 용기의 용기 본체의 상하를 끼워넣고, 상기 액체 용기 내에 압력이 최대 200㎪인 가스를 공급하고, 상기 액체 용기로부터 액체를 송출하는 것을 특징으로 한다.

이 송액방법은 상기 가스의 압력이 10㎪ 내지 50㎪인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액체 용기에 의하면, 기준값 이상으로 내표면에서 액체 중에 불순물 미립자가 침출되지 않는 고순도 열가소성 수지로서, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫을 지닌 열가소성 수지에 의해서 용기 본체가 형성되어 있는 것에 의해, 액체를 고품질로 유지할 수 있는 동시에, 기계적 강도가 우수하므로, 수송 시나 보관 시의 용기 파손이나 변형을 방지할 수 있다. 특히 송액 시에는, 압력 200㎪로 가압해도 용기의 큰 변형을 방지할 수 있다. 또, 기계적 강도가 우수하므로, 액체가 충전된 용기를 복수개 쌓아 올렸다고 해도, 밑에 쌓인 액체 용기는 파손되지 않는다. 또한, 복수개의 액체 용기를 쌓아올렸을 때, 밑에 쌓인 액체 용기의 마개 부착 배출구가 지지대의 관통부에 들어가, 밑에 쌓인 천정부에 지지대의 바닥부가 결합하므로 안정적으로 쌓아 포갤 수 있으므로, 공간 절약하여 보관할 수 있다. 또한, 용기 본체가 둥근 바닥부이므로, 송액 시의 액체의 잔량을 적게 할 수 있다.

본 발명의 액체 용기에 의하면, 재료 재활용가능한 수지로 형성되어 있으므로, 원료로서 재생되어 순환 사용가능하기 때문에, 환경성이 우수하다.

본 발명의 송액장치 및 송액방법에 의하면, 용기 본체의 상하를 끼워넣음으로써, 상하 방향으로의 변형이 방지되고 있다. 따라서, 송액관의 말단부와 둥근 바닥부와의 거리가 떨어지지 않으므로, 송액 시 둥근 바닥부에 모이는 액체를 낭비 없이 확실하게 잔량 적게 송액할 수 있다. 일례로서, 액체의 잔량을 용기 용량의 0.5% 이하, 바람직하게는 0.1% 이하로 할 수 있다. 따라서, 액체 용기에 수용된 액체의 사용 가능량이 증가하므로 수율을 향상시킬 수 있고, 또한, 액체 용기를 교환하는 빈도도 감소하므로 생산성이 우수하다. 또한, 기계적 강도가 우수한 액체 용기를 이용하고 있으므로, 내압보호 용기로 액체 용기를 덮을 필요가 없기 때문에, 액체 용기의 세트 작업이나 교환 작업이 간편한 동시에, 장치의 구성이 간단해서 저렴해지고, 유지·보수도 간편해져서, 경제성이 우수한 장치로 할 수 있다. 또한, 압력이 최대 200㎪인 가스로 가압함으로써, 액체 용기가 파손되지 않는 등 안전하며, 저압이므로 액체 중에 발생하는 기포의 양을 적게 할 수 있다.

본 발명의 송액장치 및 송액방법에 의하면, 액체 용기 내에 공급하는 가스의 압력을 10㎪ 내지 50㎪로 함으로써, 액체 중에 발생하는 기포의 양을 한층 적게 할 수 있다.

본 발명의 송액장치에 의하면, 저지부재가, 가압 커넥터에 닿아서 저지부재의 이동을 억제시키는 스토퍼를 구비하고 있는 것에 의해, 가압 커넥터를 접속한 채, 즉, 액체 용기 내의 압력이 남은 채, 송액 어댑터를 고정하고 있는 저지부재를 부주의하게 떼버리는 것이 방지되므로, 송액 어댑터가 압력으로 튀어나오는 것이 방지되어, 액체 용기를 장치로부터 안전하게 제거할 수 있다.

본 발명의 송액장치에 의하면, 저지부재 및 송액 어댑터가, 저지부재에 대한 가스 공급구의 위치를 규정하는 위치결정기구를 구비하고 있는 것에 의해, 가스 공급구가 일정한 방향을 향하므로, 가압 커넥터를 가스 공급구에 간편하게 접속할 수 있어, 액체 용기의 세트 작업을 신속하고도 간편하게 행할 수 있다. 또한, 가스 공급구에 접속하는 가압 커넥터와 스토퍼와의 위치 관계가 일정한 위치 관계로 규정되므로, 스토퍼가 저지부재의 이동을 확실하게 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명을 적용하는 액체 용기의 보관 상태를 나타내는 일부 파단 정면도;
도 2는 본 발명을 적용하는 액체 용기 및 송액장치의 사용상태를 나타내는 일부 파단 측면도;
도 3은 본 발명을 적용하는 액체 용기 및 송액장치(정면 단면)의 사용상태를 나타내는 구성도;
도 4는 본 발명을 적용하는 송액장치의 사용상태를 나타내는 일부 확대 사시도;
도 5는 본 발명을 적용하는 다른 송액장치의 사용상태를 나타내는 일부 확대 사시도.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 형태를 상세하게 설명하지만, 본 발명의 범위는 이들 형태로 한정되는 것은 아니다.

본 발명의 액체 용기의 바람직한 형태에 대해서, 도 1을 참조하면서 설명한다.

동 도면에서는, 본 발명의 액체 용기(1)를, 일례로서 2개 겹쳐 쌓아서 보관대(18) 위에 올려놓은 상태를 나타내고 있다. 액체 용기(1)는, 성분 용출이 없고, 충전된 액체(17)를 오염시키지 않는 것으로, 액체(17)의 저장, 수송에 이용되거나, 그대로 송액장치에 세트되거나 해서 이용되는 것이다.

이 액체 용기(1)는, 예를 들어, 깨끗한 액체품질이 요구되는 반도체나 액정 디바이스의 제조 분야, 의약품 분야 및 식품 분야에서 적합하게 이용할 수 있는 것이다. 액체(17)로서는, 일례로서, 포토레지스트액, 산, 알칼리, 용제 등의 반도체나 액정 디바이스의 제조에 이용할 수 있는 액체나, 소독약, 수액, 투석액 등의 의약용의 액체, 또는 향료, 농축액, 식품첨가물 등의 식품 분야에서 이용되는 액체를 들 수 있다. 이하에서는, 일례로서, 액체(17)가 반도체나 액정 디바이스의 제조에 이용되는 포토레지스트액인 것으로서 설명한다.

액체 용기(1)는, 동 도면에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2) 및 지지대(3)에 의해서 구성되어 있다.

용기 본체(2)는, 대략 원통 형상의 동체부(5)의 하부 측(도면의 하측)이 둥근 바닥부(6)이고, 동체부(5)의 상부 측(도면의 상측)이 배출구(8)가 형성된 천정부(7)에 의해 폐쇄되는 형상으로 되어 있다.

배출구(8)는, 동체부(5)보다 작은 직경으로 형성된 원통 형상으로, 동체부(5)와 동심으로, 천정부(7)의 중앙부로부터 용기 외측으로 돌출되어 설치되어서 형성되어 있다. 배출구(8)의 외주에는 수나사가 형성되어 있어, 암나사가 형성된 마개(16)가 착탈 가능하게 되어 있다.

천정부(7)는, 배출구(8)의 하단부로부터 동체부(5)까지가 거의 평탄한 형상으로 형성되어 있어도 되지만, 동 도면에 나타낸 바와 같이, 배출구(8)의 하단부로부터 동체부(5)까지를 완만한 하행 경사의 형상으로 형성한 쪽이, 용기의 내압강도가 증가하므로 바람직하다. 또한, 천정부(7)를 이와 같이 하행 경사로 형성하면, 액체 용기(1)의 사용 후에, 약간 남은 잔액이나 세정수를, 용기 본체(2)를 상하 거꾸로 해서 배출시키기 쉬워지므로, 재료 재활용의 관점에서도 바람직하다. 또한, 천정부(7)는, 그 위에 지지대(3)를 포갰을 때에 지지대(3)가 좌우로 벗어나지 않도록, 후술하는 관통부(9)에 끼워 넣어지도록 관통부(9)보다도 약간 작은 직경으로 천정부(7)의 상부를 융기시킨 융기부(7a)를 형성하는 것이 바람직하다.

동체부(5)의 둥근 바닥부(6) 측에는, 지지대(3)를 끼워 넣기 위한 주위홈(11)이 형성되어 있다.

용기 본체(2)는, 예를 들어, 1 내지 200ℓ(리터)와 같이, 원하는 용량의 액체(17)를 수용가능한 크기로 형성한다. 용기 본체(2)의 직경은, 용량 1ℓ인 경우에, 예를 들어, 직경 90㎜, 용량 200ℓ인 경우에, 예를 들어, 직경 600㎜과 같이 형성하지만, 그 직경이나 용량은 임의이다.

용기 본체(2)는, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫인 열가소성 수지가 블로우 성형되어서, 적어도 그 내표면이 고순도 열가소성 수지로 형성된 것이다. 예를 들어, 용기 본체(2)가 다층 구조의 벽부로 형성되어 있을 경우, 내표면층이 고순도 열가소성 수지로 형성되고, 다른 어느 쪽인가의 층이 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫인 열가소성 수지로 형성되어 있으면 되고, 혹은 열가소성 수지로 형성된 다층 구조의 벽부가 전체로서 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫을 지닌 채 형성되어 있으면 된다. 또, 용기 본체(2)가 단층의 벽부로 형성되어 있을 경우, 탄성률이 적어도 700㎫인 고순도 열가소성 수지로 형성되어 있으면 된다. 어느 쪽의 경우도 공지의 블로우 성형기에 의해서 형성할 수 있다. 굴곡 탄성률의 측정법은 JIS K7171에 준거한다.

용기 본체(2)에 높더라도 압력 200㎪의 가스를 공급하고, 이 가압에 의해서 액체(17)를 송액시킬 경우, 용기의 파손이나 큰 변형을 방지하는데 필요한 강도로서, 용기 수지의 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫인 것이 필요하다. 굴곡 탄성률이 700㎫ 미만이면, 가압되었을 때, 용기의 변형이 크고, 종래의 액체 용기와 같이 예를 들어 스테인레스 내압용기와 같은 내압보호 용기로 용기 본체(2)를 덮어서 보호하는 것이 필요해진다.

용기 본체(2)의 판 두께는, 두꺼운 쪽이 용기 강도를 높게 할 수 있지만, 지나치게 두꺼우면 원재료가 많이 필요해지는 동시에 용기 중량도 무거워지므로, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫이면 성형이 용이한 범위 내에서 얇은 판 두께일수록 바람직하다. 일례로서, 1.5 내지 4㎜ 정도의 판 두께를 지니면 성형도 용이하므로 바람직하다.

여기서, 고순도 열가소성 수지란, 소정의 기준값 이상으로 액체(17) 중에 불순물 미립자가 침출되지 않는 수지이다. 구체적으로는, 용기 본체(2) 중에 액체(17)를 장기간 저장하고 있는 동안에, 불순 미립자가 침출되어, 품질이 저하되는 정도를 나타내는 지표로서 클린도라고 하는 것이 있다. 클린도는, 검사 용기에 일정 기간 초순수(ultrapure water) 혹은 포토레지스트액을 저장한 후, 저장되어 있던 내용물 1㎖ 중에 입경 0.2㎛ 이상의 미립자가 얼만큼 존재하는지를 산정해서 구해진다. 구체적으로는 이하의 수학식 1로 정의된다.

수학식 1 중, a는 검사 용기의 용량, b는 검사 용기로부터 샘플링한 내용액의 양이다. 우선 초기 클린도를 측정하기 위한 샘플링액은 다음과 같이 해서 채취된다. 용량 a(㎖)의 검사 용기에 용량의 반 정도, 즉 a/2(㎖)의 초순수 혹은 포토레지스트액을 넣어, 15초간 진탕하고 24시간 정치시킨 후에 채취한다. 저장 후의 클린도를 측정하기 위한 샘플링액은, 초기 클린도 측정 후의 용기에 마개를 부착하여 일정 기간 방치하고, 기포를 발생시키지 않도록 용기를 3회전 시킨 후에 채취된다. c는 샘플링액 전체량 중에 포함되는 입자 직경 0.2㎛ 이상인 미립자를 파티클 카운터로 계수한 값이다. 그 수치를 기초로 수학식 1에서 초기 및 일정 기간 저장 후의 클린도를 산출한다. 클린도의 수치가 낮을수록 포토레지스트액의 품질이 양호한 것을 나타낸다. 클린도가 100개/㎖ 미만이면, 반도체, 액정 모니터(LCD)의 품질 및 수율이 저하하는 일없이, 약액을 안정적으로 저장할 수 있다.

따라서, 고순도 열가소성 수지로서는, 용기 본체(2)를 검사 용기로 해서 클린도를 측정했을 때, 원하는 클린도를 만족하는 수지를 이용한다. 포토레지스트액을 수용할 경우, 클린도가 100개/㎖(소정의 기준값의 일례) 미만으로 되는 수지를 이용한다. 바꿔 말하면, 고순도 열가소성 수지란, 소정의 기준값 이상으로 액체 중에 불순물 미립자가 침출되지 않는 수지이다. 또, 적용하는 규격에 대응시켜서 입자직경 0.3㎛ 이상인 미립자수를 산출해도 된다. 또한, 적용하는 규격에 대응시켜서 클린도가 200개/㎖ 미만으로 되는 수지로 해도 된다. 또한, 마개(16)도 고순도 열가소성 수지에 의해서 형성한다.

또, 클린도 이외에도, 액체(17)의 투명도의 악화의 정도(소정의 기준값의 다른 일례)에 의해서 불순물 미립자의 침출 정도를 규정할 수도 있다.

용기 본체(2)를 형성하고 있는 수지는, 재료 재활용가능한 수지인 것이 바람직하고, 예를 들어, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀, 폴리아마이드, 폴리비닐알코올, 폴리(에틸렌-코-비닐 알코올), 폴리에스터, 폴리페닐렌옥사이드 등을 들 수 있다. 이들 수지를 단독으로 이용해서 단층의 벽부를 형성해도 되고, 또한 이들 수지를 복수종 이용해서 다층구조의 벽부를 형성해도 된다.

구체적인 예를 들면, 용기 본체(2)는, 모두 폴리에틸렌 또는 에틸렌·α-올레핀 공중합체인 중합체(a)와 중합체(b)로 이루어지고, 중량평균 분자량 20만 이상으로, 밀도 0.940∼0.970g/㎤, JIS K6760에 의거한 멜트 인덱스가 0.09g/10분 이하인 중합체(a)가, 전체 중량 중, 30∼95중량%를 점유하여 실질적으로 외측 표면을 덮고, 중량평균 분자량 3만 이상 20만 미만으로, 밀도 0.930∼0.970g/㎤, 동일한 JIS 기준에 근거한 멜트 인덱스가 0.1∼1.0g/10분인 중합체(b)가 5∼70중량%를 점유하여 실질적으로 내측 표면을 덮고 있는 구조로 해도 된다. 이 경우, 저장하고 있는 약품 중에의 미립자 불순물의 침출이 극히 적고, 또한, 내약품성이 우수하며, 충분한 기계적 강도도 있어, 위험물 약품의 운송 용기에 관한 최신의 엄격한 국제기준을 충분히 충족시킬 수 있는 용기 본체(2)로 할 수 있다.

또, 다른 구체적인 예로서는, 용기 본체(2)는, 적어도 내측 표면이 밀도 0.940∼0.970g/㎤인 폴리에틸렌 또는 에틸렌·α-올레핀 공중합체의 수지로 이루어지고, 액체크로마토그래피에 의해 정량되는 이 수지 중의 중화제, 산화방지제 및 내광안정제의 함유량이 수지의 전체 중량에 대해서, 각각 0.01중량% 이하이며, 겔 투과 크로마토그래피에 의해 측정되는 이 수지의 중량평균 분자량이 12∼26×10⁴이며, 수지 중 분자량 1×10³ 이하인 중합체가 수지의 전체 중량에 대해서 2.5중량% 미만인 구조로 해도 된다. 여기에서, α-올레핀은, 프로필렌, 뷰텐-1,4-메틸-펜텐-1, 헥센-1, 옥텐-1 중에서 선택되는 적어도 1종으로 해도 된다. 이 경우, 기계적 강도가 우수하고 취급이 용이하며, 보관 저장하고 있는 용제 중에의 불순 미립자의 침출이 극히 적은 용기 본체(2)로 할 수 있다. 또한, 메틸알코올, 에틸알코올, 아이소프로필알코올, 아이소뷰틸알코올, 에틸렌글라이콜, 아세톤, 아세트산 에틸, 톨루엔, 다이메틸포름아마이드, 에틸렌글라이콜 아세테이트, 메톡시프로필아세테이트, 뷰틸셀로솔브 등, 및 살균, 소독, 제제 원료 등의 의약용에 사용되는 고순도 용제, 예를 들어, 메틸알코올, 에틸알코올, 아이소프로필알코올 등을 이 용기 본체(2)에 수용해도, 일본 약방에 규정되는 품질기준을 충분히 만족시킬 수 있다.

또, 다른 구체적인 예로서는, 용기 본체(2)는, 겔 투과 크로마토그래피에 의해 측정되는 중량평균 분자량이 12∼26×10⁴이고, 1×10³ 이하인 분자량이 5중량% 미만인, 밀도 0.940∼0.970g/㎤인 폴리에틸렌 또는 에틸렌·α-올레핀 공중합체의 수지와, 액체크로마토그래피에 의해 정량되는 각 함유량이 0.01중량% 이하인 중화제, 산화방지제 및 내광안정제와, 산화티탄, 카본블랙 및 벵갈라의 무기안료, 프탈로사이아닌계, 퀴나크리돈계 및 아조계의 유기안료 중에서 선택되는 적어도 1종류의 차광성 안료를 0.01중량%∼5중량%와, 수평균 분자량이 2×10³ 이상인 올레핀계 중합체의 분산제를 5중량% 미만 포함하는 수지조성물에 의해 형성된 것이어도 된다. 이 경우, 기계적 강도가 우수하고 취급이 용이하며, 보관 저장하고 있는 약품 중에의 불순미립자의 침출이 극히 적고, 게다가 내용물이 빛에 의해서 변질되는 것을 막을 수 있는 용기 본체(2)로 할 수 있다. 이 때문에, 반도체용 약액이나 상기 의약용 용제 등에 폭넓게 사용할 수 있다.

또한, 또 다른 구체적인 예로서는, 용기 본체(2)는, 에틸렌, 프로필렌, 뷰텐-1,4-메틸-펜텐-1, 헥센-1 또는 옥텐-1의 올레핀의 중합체, 및 에틸렌과 그 이외의 올레핀의 공중합체 중에서 선택되는 적어도 1종류를 포함하고, 중화제, 산화방지제 및 내광안정제의 각각의 함유량을 최대여도 0.01중량%로 하는 고순도 수지로 이루어진 내층과, 폴리(에틸렌-코-비닐 알코올)을 포함하는 용제 배리어성 수지의 중간층과, 차광성 물질을 포함하는 수지조성물로 이루어진 외층이 블로우 성형된 용기이며, 분광광도계에 의해 측정되는 용기의 전체 층의 파장 400㎚ 이하에 있어서의 최저흡광도가 2.0 이상이고, 또한 용기의 전체 층의 흡광도를 상기 전체 층의 두께로 나눈 파장 400㎚에 있어서의 흡광계수가 1.5㎜^-1 이상, 마찬가지로 파장 600㎚에 있어서의 흡광계수가 1.5㎜^-1 이하인 구조로 해도 된다. 여기에서, 외층의 수지조성물 중에, 수평균 분자량 2×10³ 이상인 폴리에틸렌 및 폴리프로필렌 중에서 선택되는 적어도 1종류의 올레핀계 중합체로 이루어진 안료 분산제 5중량% 미만과, 무기안료 및 유기안료 중에서 선택되는 적어도 1종류의 차광성 안료 0.01∼5중량%가 함유되어 있어도 되고, 외층의 수지조성물 중에 2.5중량% 미만의 자외선흡수제가 함유되어 있어도 된다. 이 경우, 보존 및 수송 중에, 미립자나 금속이온의 침출이 없고, 고순도 약품액의 품질을 유지할 수 있는 것이며, 또한 파손되기 어렵고, 경량인 용기 본체(2)로 할 수 있다.

또, 이들 구체예에 기재한 용기의 그 외층에 굴곡 탄성률이 700㎫ 이상인 열가소성 수지의 층을 설치해서 용기 본체(2)로 해도 되고, 설치한 외층과 합해서, 층구조의 벽부 전체에서 굴곡 탄성률을 700㎫ 이상으로 해도 된다.

지지대(3)는, 동 도면에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(2)의 주위홈(11)에 끼워맞춤되는 돌기부(12)를 구비하는, 동체부(5)와 거의 동일한 직경의 외측 원통부(13)와, 둥근 바닥부(6)의 하측에 닿아서 지지하는 내측 원통부(14)가, 바닥부(15)에서 각각의 하부가 연결된 이중 원통 형상으로 형성되어 있다. 이 지지대(3)가 용기 본체(2)에 끼워짐으로써 평탄한 보관대(18)에 둥근 바닥부(6)가 닿지 않게 되므로, 액체 용기(1)가 안정적으로 자립가능하게 되어 있다.

또한, 지지대(3)는, 동 도면에 나타낸 바와 같이, 액체 용기(1)를 복수개 쌓아올렸을 때에, 밑에 쌓여있는 용기 본체(2)의 천정부(7)에, 바닥부(15)의 적어도 일부가 접촉함으로써 걸어맞춤된다. 또한, 지지대(3)는, 내측 원통부(14)에 의해서 그 중앙부에 형성된 관통부(9)가, 밑에 쌍인 용기 본체(2)의 마개(16)가 부착된 배출구(8)를 수용가능한 공간으로 되어 있다. 이 때문에, 복수의 액체 용기(1)를 안정적으로 쌓아 포갤 수 있다. 이 관통부(9)는, 후술하는 송액장치(20)에 액체 용기(1)를 세트할 때의 위치결정에도 이용할 수 있다.

또, 바닥부(15)의 형상은, 밑에 깔린 천정부(7) 위에 안정적으로 놓이기 쉽도록, 천정부(7)의 경사에 맞춘 형상이나, 바닥부(15)의 일부를 융기시켜서 천정부(7)에 접촉하는 발형상부를 가진 형상으로 해도 된다.

지지대(3)는, 전술한 재료 재활용가능한 열가소성 수지에 의해서 형성하는 것이 바람직하다.

또한, 용기 본체(2)의 둥근 바닥부(6)의 곡면의 직경을 작게 형성하면 최저부에 액체(17)가 모이기 쉽게 되지만, 지지대(3)의 높이를 높게 형성할 필요가 생기므로, 이들을 조화시켜서 형성한다. 일례로서, 동체부(5)의 반경의 1∼30배 정도의 반경으로 둥근 바닥부(6)의 곡면을 형성하면 바람직하다. 또는, 둥근 바닥부(6)의 최저부와 동체부 하단부가 3∼300㎜, 바람직하게는 5∼100㎜ 정도의 낙차를 갖도록 둥근 바닥부(6)에 형성하는 것이 바람직하다.

또, 용기 본체(2)의 천정부(7)에, 반송 시 잡기 위한 손잡이를 형성해도 된다. 이 경우, 손잡이는, 액체 용기(1)를 쌓아 포갰을 때, 지지대(3)의 관통부(9) 속에 수납되도록 형성한다. 손잡이는 접이식인 것이 바람직하다.

이러한 액체 용기(1)에 소정량의 액체(17)를 충전시키고, 배출구(8)에 마개(16)를 나사결합해서 밀봉함으로써 액체(17)의 저장이나 수송이 가능해진다.

다음에, 본 발명의 액체 송출장치 및 송액방법에 대해서 도 2, 도 3 및 도 4를 참조하면서 설명한다.

송액장치(20)는, 액체 용기(1)가 세트되어서, 액체(17)를 송액시키는 것으로, 도 2에 나타낸 바와 같이, 대좌(31), 송액 어댑터(21) 및 저지부재(34)를 구비하고 있다.

대좌(31)는, 액체 용기(1)가 놓이기 위한 것으로, 금속제의 판체 상에, 액체 용기(1)의 관통부(9)에 꼭 맞게 끼워지는 동시에, 용기 본체(2)의 둥근 바닥부(6)의 적어도 최저부 외벽에 접촉하는 원기둥 형상의 돌기부(32)를 구비하고 있다. 돌기부(32)의 상면부(도면의 상부)는, 동 도면에 나타낸 바와 같은 평탄한 형상이나, 둥근 바닥부(6)가 꼭 맞게 끼이도록 곡면으로 움푹 들어가게 한 형상으로 형성한다. 곡면으로 움푹 들어가게 한 형상 쪽이, 용기 본체(2)를 면으로 지지할 수 있으므로 바람직하다. 돌기부(32)의 대좌 상부로부터의 높이는, 동 도면에 나타낸 바와 같이, 대좌(31)로부터 액체 용기(1)의 바닥부(15)가 뜨는 높이로 하거나, 대좌(31)에 바닥부(15)가 꼭 맞게 접하는 높이로 하거나 해도 된다. 또한, 돌기부(32)의 직경은, 관통부(9)에 꼭 맞게 끼이는 직경인 것이 액체 용기(1)의 위치결정의 관점에서 바람직하지만, 적어도 관통부(9)보다도 작은 직경이면 된다.

도 2에 나타낸 저지부재(34)는, 대좌(31)로부터 세워서 설치하는 지주부(33)에 고정 기구 부착 회전축(35)에 의해서 가동가능하게 지지되어 있다. 이 저지부재(34)는, 배출구(8)에 끼워진 송액 어댑터(21)의 상부에 접촉하는 위치에서, 회전축(35)의 고정 기구가 그 움직임을 고정가능하게 되어 있다. 회전축(35)에는, 고정 해제 버튼(도시 생략)이 설치되어 있어서, 이 버튼이 조작됨으로써, 재차 저지부재(34)가 가동가능하게 된다. 저지부재(34)의 고정 기구로서는, 각종 공지의 기구를 이용할 수 있다.

또, 저지부재(34)는, 도 2 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 후술하는 가압 커넥터(30)를 통과시키기 위한 관통구멍부(36a)가 형성된 스토퍼(36)를 갖고 있다. 일례로서, 스토퍼(36)는, 금속제의 봉재(棒材)가 구부러져 있거나, 또는 용접 등에 의해서 접속되어서 형성되어 있어, U자 형상으로 형성된 관통구멍부(36a)를 지니고, 그 각 단부로부터 저지부재(34)의 측면까지 뻗는 지지봉재를 가진 형상으로 형성되어 있다. 이 스토퍼(36)는 저지부재(34)의 측벽에 확실하게 고정되어 있다. 스토퍼(36)는, 저지부재(34)가 회동했을 때, 송액 어댑터(21)에는 간섭하지 않고, 관통구멍부(36a)가 가압 커넥터(30)에 닿아서 저지부재(34)의 회동을 억제하는 위치에 설치되어 있다. 또한, 관통구멍부(36a)는, 가압 커넥터(30)를 통과시키는 것이 가능한 형상이면, 봉재를 환 형상으로 구부려서 형성한 링 형상이어도 되고, 구멍부를 지닌 평판형상이어도 된다. 특히 도시한 U자 형상으로 형성했을 경우에는, 그 상부측이 개구되어 있기 때문에, 가압 커넥터(30)의 착탈 작업을 간편하게 행할 수 있으므로 바람직하다.

또, 저지부재(34)는 위치결정 핀(37)을 구비하고 있다.

송액 어댑터(21)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 암나사가 형성되어 있어, 액체 용기(1)의 배출구(8)를 밀봉가능하게 되어 있다. 송액 어댑터(21)는, 가스 공급구(25), 송액관(23), 압력계(26), 안전밸브(27) 및 수동밸브(28)를 구비하고 있다.

송액 어댑터(21)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 배출구(8)에 끼워맞춤되는 원통 형상의 끼워맞춤부(21a)와, 송액관(23), 가스 공급구(25)나 압력계 등에 연결되는 관로를 지지하는 원기둥 형상의 관로 지지부(2lb)가 기밀성을 지니는 동시에, 관로 지지부(2lb)가 끼워맞춤부(21a)에 대해서 그 축방향으로 회동가능하게 결합되어서 형성되어 있다.

또, 도 4에 나타낸 바와 같이, 송액 어댑터(21)의 관로 지지부(2lb)는, 그 상부면이 평탄하게 형성되는 동시에, 그 상부면의 일부에 저지부재(34)의 위치결정 핀(37)이 끼워지는 위치결정 홈(24)이 형성되어 있다. 위치결정 홈(24)은, 일례로서, 관로 지지부(2lb)의 원기둥 측벽에 홈 단부가 개구되어 있어, 그 원통 측벽으로부터 원기둥 중심축을 향하는 방향을 따라서, 위치결정 핀(37)이 끼워지는 홈 폭으로, 송액관(23)에 도달하는 바로 앞의 위치까지 형성되어 있다.

위치결정 홈(24) 및 위치결정 핀(37)은, 본 발명의 위치결정 기구의 일례로서, 송액 어댑터(21)의 상부에 저지부재(34)가 접촉하는 위치에서, 위치결정 홈(24)에 위치결정 핀(37)이 끼워맞춤된 때에, 저지부재(34)에 대한 관로 지지부(2lb)의 방향이 일의적으로 정해져서, 저지부재(34)에 대한 가스 공급구(25)의 위치를 규정하는 것이다. 구체적으로는, 위치결정 홈(24) 및 위치결정 핀(37)이 끼워맞춤된 때에, 스토퍼(36)의 관통구멍부(36a)에 가압 커넥터(30)가 통과된 상태에서 가압 커넥터(30)와 가스 공급구(25)가 접속가능하게 되도록, 저지부재(34)와 가스 공급구(25)의 위치가 규정되어 있다. 또, 위치결정 홈(24) 대신에, 위치결정 핀(37)에 끼워맞춤가능한 구멍부를 관로 지지부(2lb)에 형성해도 된다.

가스 공급구(25)는, 가압원(29)에 내압 호스를 거쳐서 연결되는 가압 커넥터(30)를 접속가능하게 구성되어 있고, 용기 본체(2) 내로의 가스의 공급구로 되어 있다. 가압 커넥터(30)는, 안전 잠금 기구가 부착되어, 가스 압력이 남아있을 때 잘못해서 가스 공급구(25)로부터 빼내려고 했을 경우에 가스를 외계로 개방시키는 개방밸브를 구비하고 있다.

가압원(29)은, 도 3에 나타낸 바와 같은 가스봄베, 또는 도시하지 않은 가스 발생 장치, 감압 조정기, 가스 탱크 등으로 이루어진 가스 공급장치로부터, 불활성 가스(일례로서 질소 가스) 또는 미립자를 제거한 에어를, 높더라도 200㎪의 압력, 바람직하게는 10㎪ 내지 200㎪의 압력, 더 바람직하게는 10㎪ 내지 50㎪의 압력으로 공급하는 것이다.

송액관(23)은, 용기 본체(2) 내의 둥근 바닥부(6)의 가장 바닥 위치로 되는 부분(최저부)에 근접해서 말단부(23a)가 위치하는 동시에, 용기 본체(2)의 외부에 선단부(23b)가 도출되도록 송액 어댑터(21)에 고정되어 있다. 구체적으로는, 송액관(23)은, 관로 지지부(2lb)의 중심축과 거의 일치하는 위치에 고정되어 있다. 송액관(23)의 말단부(23a)는, 둥근 바닥부(6)의 최저부와의 거리가 될 수 있는 한 가깝게 되도록 송액 어댑터(21)에 고정되는 것이 바람직하며, 일례로서, 1 내지 3㎜의 거리로 되도록 고정한다. 송액관(23)의 선단부(23b)에는, 배관 접속용의 접속 커넥터(39)가 부착되어 있다.

압력계(26)는, 용기 본체(2)의 내압을 감시하기 위한 측정기이다. 안전밸브(27)는 용기 본체(2) 내의 압력이 규정값보다도 고압으로 되었을 때에 가스를 외계로 방출한다. 수동밸브(28)는, 통상 닫혀 있고, 필요에 따라서 수동조작되어서 가스를 외계로 방출한다.

다음에, 송액장치(20)의 사용 방법 및 동작, 그리고, 액체(17)의 송액방법 에 대해서 설명한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 액체(17)가 충전된 액체 용기(1)를, 그 관통부(9)가 대좌(31)의 돌기부(32)에 끼워지도록 올려놓는다. 이것에 의해, 액체 용기(1)가 간편하게 대좌(31) 상에 위치결정된다. 다음에, 액체 용기(1)에 마개(16)가 장착되어 있으면 이것을 떼어내고, 송액 어댑터(21)를 배출구(8)에 부착한다.

이것에 의해, 송액 어댑터(21)의 송액관(23)의 말단부(23a)가, 둥근 바닥부(6)의 최저부 근방까지 삽입되고, 송액관(23)의 선단부(23b)가 용기 외부에 도출된다.

다음에, 저지부재(34)를 송액 어댑터(21)의 상부에 꽉 눌러서 고정한다. 이때, 도 4에 나타낸 바와 같이, 관로 지지부(2lb)를 회동시켜서, 저지부재(34)의 위치결정 핀(37)을, 송액 어댑터(21)의 위치결정 홈(24)에 끼워맞춤시킨다. 이것에 의해, 도 3에 나타낸 바와 같이, 저지부재(34)와 송액 어댑터(21)의 방향이 간편하게 일의적으로 일치된 상태에서, 대좌(31)의 돌출부(32) 및 저지부재(34)에 의해서, 용기 본체(2)의 상하가 끼워 맞추어진다. 또한, 스토퍼(36)는, 저지부재(34)의 회동과 함께 이동해서 가스 공급구(25)에 근접하여, 스토퍼(36)의 관통구멍부(36a)가 가스 공급구(25)의 축선을 통과하도록 위치한다.

다음에, 가스 공급구(25)에, 가스의 공급이 정지되어 있는 가압원(29)의 가압 커넥터(30)를 장착한다. 이때, 가스 공급구(25)가 위치결정되어 있기 때문에, 가압 커넥터(30)는, 필연적으로, 스토퍼(36)의 관통구멍부(36a)를 통해서 가스 공급구(25)에 접속된다.

송액관(23)의 접속 커넥터(39)에, 내압 호스를 개재해서, 일례로서 포토레지스트 살포장치(50)를 접속한다. 포토레지스트 살포장치(50)는, 버퍼 탱크(51), 펌프(52), 필터(53), 3방향 밸브(54) 및 토출 노즐(55)을 구비하여 도시하지 않은 반도체 웨이퍼에 포토레지스트액을 토출시키는 것이다.

계속해서, 가압원(29)의 조정기(regulator)를 개방하여, 가스를 공급하면, 용기 본체(2) 내에 가스가 유입되어 액체(17)의 액면에 압력이 가해지고, 송액관(23)으로부터 액체(17)가 송출되어서 포토레지스트 살포장치(50)에 송액된다. 이때, 용기 본체(2)에는, 가스압에 의해 팽창하는 방향의 힘이 작용하지만, 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫을 지닌 수지로 용기 본체(2)가 형성되어 있으므로, 파손 등을 일으키지 않으므로 안전하다.

또, 가스의 압력은 높아도 200㎪이므로, 송액되는 액체(17) 중에 기포가 거의 발생하지 않는다. 기포의 발생은 가스의 압력이 저압일수록 적으므로, 예를 들어, 압력을 10㎪ 내지 50㎪로 하는 것이 바람직하다.

용기 본체(2) 및 송액 어댑터(21)는, 돌기부(32) 및 저지부재(34)에 의해서 상하 방향의 위치가 규정되어 있기 때문에, 상하 방향으로의 변형이 방지되어 있다. 이 때문에, 송액관(23)의 말단부(23a)와 둥근 바닥부(6)와의 거리가 넓어지지 않고, 근접한 상태가 유지된다. 따라서, 액체(17)의 잔량이 적어져도, 둥근 바닥부(6)의 중앙부에 모여드는 액체(17)를 거의 송액시킬 수 있다.

최종적으로는, 도 3 중의 오른쪽 원 테두리 내에 도시한 바와 같이, 액체(17)의 표면장력 및 가스 압력에 의해서, 말단부(23a)의 위치보다도 더욱 하측에 고이는 액체(17)가 거의 송액되므로, 액체(17)의 잔량은 매우 적어진다. 이 때문에, 액체(17)의 잔량은, 액체 용기(1)의 수용 용량의 0.5% 이하로 된다.

사용 완료된 액체 용기(1)는, 송액 어댑터(21)를 고정하고 있는 저지부재(34)의 고정을 해제해서 위쪽으로 회동시킴으로써 개방하지만, 가압 상태에서 개방하면, 잔압에서 액체 용기(1)와 함께 송액 어댑터(21)가 튀어 나와, 작업자가 위험에 노출된다. 그러나, 스토퍼(36)의 관통구멍부(36a)를 통해서 가압 커넥터(30)를 장착하고 있으므로, 가령 저지부재(34)를 위쪽으로 회동시키려고 해도 스토퍼(36)가 가압 커넥터(30)의 하부에 닿아서 그 회동이 억제된다. 따라서, 송액 어댑터(21)가 잔압으로 튀어나오는 것을 확실하게 방지할 수 있으므로, 매우 안전한 장치로 할 수 있다. 가압 커넥터(30)에 부속의 안전 잠금 기구를 활용해서 빼내지 않는 한, 저지부재(34)를 위쪽으로 튀어오르게 해서, 사용 완료된 액체 용기(1)를 빼낼 수는 없다.

사용 완료된 액체 용기(1)는, 플라스틱 원료로서 재료 재활용(재자원화)한다. 지지대(3)는, 세정해서 그대로 재이용해도 된다. 또한, 충전되는 액체(17)의 종류에 따라서는, 용기 본체(2)를 세정해서 재이용해도 된다.

또, 도 5에 나타낸 바와 같이, 가스 공급구(25)가 위쪽(도면의 위쪽)을 향해서 장착되는 송액 어댑터(21)를 이용할 경우에는, 저지부재(34)가 송액 어댑터(21)의 상부에 접촉한 상태에서, U자형의 관통구멍부(36a)가 가스 공급구(25)의 축선을 통과시키는 방향으로 되도록, 저지부재(34)의 측면에 스토퍼(36)를 고정시킨다. 이 경우, 관통구멍부(36a)는, 동 도면에 나타낸 가압 어댑터(30)의 접속부(30a)를 통과시키지만, 본체부(30b)를 통과시키지 않는 크기로 형성한다.

이 송액장치(20)에서는, 동 도면 중에 2점 쇄선 화살표로 표시하는 바와 같이 저지부재(34)의 회동과 함께 스토퍼(36)가 회동한다. 송액 어댑터(21)에 저지부재(34)를 접촉시켜서 고정한 상태에서는, 가스 공급구(25)의 근방에 그 축선을 통과시키고, 가스 공급구(25)보다도 약간 상측에 관통구멍부(36a)가 위치한다. 가압 커넥터(30)의 접속부(30a)를, 관통구멍부(36a)에 통과시켜서 가스 공급구(25)에 접속한다. 이것에 의해, 가압 커넥터(30)의 본체부(30b)는, 관통구멍부(36a)보다도 상측에 위치한다. 이 상태에서, 가령 저지부재(34)를, 고정을 해제해서 위쪽으로 회동시키려고 해도, 관통구멍부(36a)가 가압 어댑터(30)의 본체부(30b)에 닿아서 억제된다. 따라서, 가압 커넥터(30)를 장착한 채 저지부재(34)를 위쪽으로 올리는 것이 방지되므로, 송액 어댑터(21)가 잔압에 의해서 튀어나오지 않아 안전하다.

또한, 액체 용기(1)의 배출구(8)에 수나사를 형성하고, 마개(16) 및 송액 어댑터(21)에 암나사를 형성하여, 나사로 결합시키는 예에 대해서 설명했지만, 배출구(8)로부터 가스를 누출시키지 않고 밀봉가능하다면 이것으로 한정되지 않고, 예를 들어, 끼워 넣기에 의해서 결합시켜도 된다.

실시예

본 발명을 적용하는 액체 용기(1) 및 송액장치(20)를 시제품으로 제작하였다. 용기 본체(2)는, 굴곡 탄성률 920㎫의 고밀도 폴리에틸렌 수지(밀도 0.955g/㎤, 멜트 인덱스 0.15g/10분)를 이용하고, 지지대(3)는 직쇄상 저밀도 폴리에틸렌 수지(밀도 0.938g/㎤, 멜트 인덱스 3.8g/10분)를 이용해서 20ℓ의 용기를 형성하였다. 용기 본체(2)의 평균 판두께는 3㎜, 지지대(3)의 판 두께는 3㎜로 하였다. 용기 본체(2)는, 동체부(5)의 반경 150㎜, 동체부(5)의 길이 300㎜, 둥근 바닥부(6)를 반경 2,253㎜의 곡면으로 형성하였다. 외경 6㎜의 송액관(23)을, 둥근 바닥부(6)와 말단부(23a)와의 거리가 5㎜의 위치로 되도록 송액 어댑터(21)에 고정하였다. 액체 용기(1)에 20ℓ의 물을 충전시키고, 송액장치(20)에 세트하여, 20㎪의 가스압에서 송액시킨 때에, 액체 용기(1) 내에 남은 물의 잔량은 10㎖였다.

이 액체 용기(1)에 20ℓ의 물을 충전시키고, 3개를 쌓아올렸다. 어느 액체 용기(1)도 파손이나 변형이 확인되지 않아, 안정적으로 쌓아올릴 수 있었다.

본 발명을 적용하는 별도의 액체 용기(1) 및 송액장치(20)를 시제품으로 제작하였다. 용기 본체(2)는, 내층의 원료를 굴곡 탄성률 1370㎫의 고밀도 폴리에틸렌 수지(밀도 0.958g/㎤, 멜트 인덱스 0.35g/10분), 중간층의 원료를 밀도 1.19g/㎤, 멜트 인덱스 1.6g/10분, 에틸렌 공중합비율 32㏖%의 에틸렌-비닐 알코올 공중합수지, 외층의 원료를 1100㎫의 고밀도 폴리에틸렌 수지(밀도 0.957g/㎤, 멜트 인덱스 0.04g/10분)로 하고, 그리고 지지대(3)는 직쇄상 저밀도 폴리에틸렌 수지(밀도 0.938g/㎤, 멜트 인덱스 3.8g/10분)로 하여 4ℓ의 용기를 형성하였다. 용기 본체(2)의 평균 판두께는 3㎜, 지지대(3)의 판 두께는 3㎜로 하였다. 이때의 다층용기의 굴곡 탄성률은 1150㎫이었다. 용기 본체(2)는, 동체부(5)의 반경 85㎜, 용기의 전체 높이 310㎜(동체부(5)의 길이 230㎜), 둥근 바닥부(6)를 반경 731㎜의 곡면으로 형성하였다. 외경 6㎜의 송액관(23)을, 둥근 바닥부(6)와 말단부(23a)와의 거리가 3㎜의 위치로 되도록 송액 어댑터(21)에 고정하였다. 액체 용기(1)에 4ℓ의 물을 충전시키고, 송액장치(20)에 세트하여, 20㎪의 가스압에서 송액시킨 때에, 액체 용기(1) 내에 남은 물의 잔량은 8㎖였다.

공업적 제조 분야, 의약품 분야 및 식품 분야 등 분야를 막론하고, 고품질의 액체가 이용되는 분야에서 본 발명의 액체 용기 및 송액장치를 이용할 수 있는 동시에, 본 발명의 송액방법을 사용할 수 있다.

1: 액체 용기 2: 용기 본체
3: 지지대 5: 동체부
6: 둥근 바닥부 7: 천정부
7a: 융기부 8: 배출구
9: 관통부 11: 주위홈
12: 돌기부 13: 외측 원통부
14: 내측 원통부 15: 바닥부
16: 마개 17: 액체
18: 보관대 20: 송액장치
21: 송액 어댑터 21a: 끼워맞춤부
2lb: 관로지지부 23: 송액관
23a: 말단부 23b: 선단부
24: 위치결정 홈 25: 가스 공급구
26: 압력계 27: 안전밸브
28: 수동밸브 29: 가압원
30: 가압 커넥터 30a: 접속부
30b: 본체부 31: 대좌
32: 돌기부 33: 지주부
34: 저지부재 35: 회전축
36: 스토퍼 36a: 관통구멍부
37: 위치결정 핀 39: 접속 커넥터
50: 포토레지스트 살포장치 51: 버퍼 탱크
52: 펌프 53: 필터
54: 3방향 밸브 55: 토출 노즐

Claims (8)

1. 굴곡 탄성률이 적어도 700㎫인 열가소성 수지가 블로우 성형(blow molding)되어서, 대략 원통 형상의 동체부에 둥근 바닥부를 지니고, 또한 천정부에 상기 동체부와 동심의 배출구를 가지고 형성되어, 액체를 수용가능하며, 상기 배출구에 마개를 착탈가능한 용기 본체와, 상기 용기 본체를 자립시키기 위해서 상기 동체부의 상기 둥근 바닥부 측에 끼워맞춤되는 수지제의 지지대를 포함하는 액체 용기로서,
   상기 용기 본체는, 적어도 내표면이 소정의 기준값 이상으로 액체 중에 불순물 미립자가 침출되지 않는 고순도 열가소성 수지로 형성되어 있고,
   상기 지지대에는, 상기 액체 용기를 복수개 쌓아올렸을 때에, 밑에 쌓인 상기 용기 본체의 상기 마개 부착된 상기 배출구를 수용가능한 관통부가 형성되어 있는 동시에, 밑에 쌓인 상기 용기 본체의 천정부에 걸어맞춤가능한 바닥부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액체 용기.
2. 제1항에 있어서, 상기 용기 본체 및 상기 지지대 중 어느 한쪽 혹은 양쪽 모두를 형성하는 수지가 재료 재활용(material recycle)가능한 수지인 것을 특징으로 하는 액체 용기.
3. 제1항 또는 제2항에 기재된 액체 용기가 세트되어서, 상기 액체 용기 내의 액체를 송액시키는 송액장치로서,
   상기 액체 용기가 놓여서, 상기 지지대의 상기 관통부에 들어가 상기 용기 본체의 상기 둥근 바닥부에 접촉하는 돌기부를 구비한 대좌;
   압력이 최대 200㎪까지인 가압원에 연결되어서 상기 용기 본체 내에 가스를 공급하기 위한 가스 공급구, 및 상기 용기 본체 내의 상기 둥근 바닥부의 최저부에 근접해서 말단부가 위치하여 상기 용기 본체의 외부에 선단부가 도출되는 송액관을 구비한, 상기 마개와 교체되어 상기 배출구에 착탈가능하며 상기 용기 본체를 밀봉가능한 송액 어댑터; 및
   상기 대좌로부터 세워서 설치되는 지주부에 가동가능하게 설치되어, 상기 배출구에 끼워진 상기 송액 어댑터의 상부에 접촉하는 위치에서 그 움직임을 고정가능한 저지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 송액장치.
4. 제3항에 있어서, 상기 가스 공급구에는 압력이 10㎪ 내지 50㎪인 상기 가압원이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 송액장치.
5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 가스 공급구는, 상기 가압원에 연결되는 가압 커넥터가 접속가능하게 형성되어 있고, 상기 저지부재는, 상기 송액 어댑터의 상부에 접촉하고 있는 상태에서 상기 가압 커넥터를 상기 가스 공급구에 접속했을 때, 상기 가압 커넥터에 닿아서 상기 저지부재의 이동을 억제시키는 스토퍼를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 송액장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 저지부재 및 상기 송액 어댑터는, 각각이 끼워맞춤되어 상기 저지부재에 대한 상기 가스 공급구의 위치를 규정하는 위치결정기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 송액장치.
7. 제1항 또는 제2항에 기재된 액체 용기에 액체를 충전시키는 단계;
   송액관의 말단부를 둥근 바닥부의 최저부 근방까지 삽입하여, 그 선단부를 외부로 도출시켜서, 상기 액체 용기의 용기 본체의 상하를 끼워넣는 단계;
   상기 액체 용기 내에 압력이 최대 200㎪ 이하인 가스를 공급하는 단계; 및
   상기 액체 용기로부터 액체를 송출하는 것을 특징으로 하는 송액방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 가스의 압력이 10㎪ 내지 50㎪인 것을 특징으로 하는 송액방법.

Images