KR20060095156A - 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있는 도전성 메쉬 고정 구조를 구비한 전자방출 표시장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전자방출 표시장치는, 상부에 전자방출 영역이 형성되며 전자방출 영역 외곽에서 배면 기판 상에 접착되는 고정 부재 및 가이드 부재를 구비하는 전자방출기판과, 전자방출 영역으로부터 방출된 전자에 의해 발광하는 형광막이 형성되는 화상형성기판, 그리고 전자가 통과하는 복수의 홀 및 가이드 부재가 삽입되는 가이드 홀을 구비하며 고정 부재에 의해 한 지점이 전자방출기판에 고정되고 그 팽창 및 수축 방향이 가이드 부재에 의해 한 지점으로부터 방사상 방향으로 유도되는 도전성 메쉬를 포함한다.

전자방출 표시장치, 메쉬, 열팽창, 틀어짐, 고정

Description

도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치{Electron emission display having conductive mesh}

도 1은 종래의 금속 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치에 대한 단면도이다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치의 다양한 예를 나타내는 평면도이다.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치의 일례를 나타내는 평면도이다.

도 4a는 도 3에 도시한 전자방출 표시장치의 도전성 메쉬의 주요 부분을 개략적으로 나타내는 부분 평면도이다.

도 4b는 도 4a의 도전성 메쉬에 대응되는 캐소드 기판의 주요 부분을 개략적으로 나타내는 측면도이다.

도 5는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 전자방출 표시장치의 부분 단면도이다.

도 6은 도 3에 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 전자방출 표시장치의 부분 단면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100: 캐소드 기판 110: 배면 기판

120: 제1 전극 130: 제1 절연층

140: 전자방출부 150: 제2 전극

160: 제2 절연층 170: 고정 부재

172, 174: 가이드 부재 200: 애노드 기판

210: 전면 기판 220: 애노드 전극

230: 광차폐막 240: 형광막

300: 스페이서 400: 도전성 메쉬

500: 실링 부재

본 발명은 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있는 도전성 메쉬 고정 구조를 구비한 전자방출 표시장치에 관한 것이다.

일반적으로, 전자방출소자(Electron Emission Device)는 캐소드 전극과 게이트 전극 사이에 인가된 전계에 의한 양자 역학적인 터널링 효과(Tunneling effect)에 의해서 캐소드 전극에 전기적으로 접속된 전자방출부로부터 전자를 방출시키는 구조는 가진다. 이러한 전자방출소자는 전자방출부로 열음극을 이용하는 방식과 냉음극을 이용하는 방식이 있다. 냉음극을 이용하는 방식의 전자방출소자로는 FEA(Field Emitter Array)형, SCE(Surface Conduction Emitter)형, MIM(Metal Insulator Metal)형, MIS(Metal Insulator Semiconductor)형, 그리고 BSE(Balli stic electron Surface Emitting)형 등이 알려져 있다.

이러한 전자방출소자를 이용하면, 전자방출 표시장치, 각종 백라이트, 리소그라피용 전자빔 장치 등을 구현할 수 있다. 그 중에서 전자방출 표시장치는, 전자방출소자를 형성하며 전자를 방출하는 캐소드 기판(cathode plate)과, 방출된 전자의 충돌에 의해 발광하는 형광막이 형성되는 애노드 기판(anode plate)으로 구성된다. 통상, 전자방출 표시장치에서 캐소드 기판은 캐소드 전극과 게이트 전극이 교차하는 매트릭스 형상으로 교차 영역에서 정의되는 다수의 단위 전자방출소자를 구비하고, 애노드 기판은 전자방출소자에서 방출된 전자들에 의해 빛을 내는 형광막과 이 형광막을 향해 전자들이 가속될 수 있도록 형광막에 전압을 인가하는 애노드 전극을 구비한다.

도 1은 종래의 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치에 대한 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 전자방출 표시장치는 캐소드 기판(10), 애노드 기판(20), 이들 두 기판(10, 20)을 소정 간격으로 격리시키는 스페이서(spacer, 30), 및 금속 메쉬(metal mesh, 40)를 포함한다.

캐소드 기판(10)은 배면 기판(11) 상에 형성되는 캐소드 전극(12), 캐소드 전극(12) 위에 형성된 게이트 절연층(13), 게이트 절연층(13)의 관통홀(13a) 내에 형성되는 전자방출부(14), 및 게이트 절연층(13) 위에 형성되며 관통홀(13a)에 대응하는 게이트 홀(15a)을 구비하는 게이트 전극(15)을 구비한다. 애노드 기판(20)은 배면 기판(11)과 대향하는 전면 기판(21), 이 전면 기판(21) 상에 형성되는 애노드 전극(22), 이 애노드 전극(22) 위에 형성되는 형광막(23) 및 블랙 매트릭스 (24)를 포함한다. 스페이서(30)는 캐소드 기판(10)과 애노드 기판(20) 사이에 소정의 간격을 유지하는 역활을 한다.

금속 메쉬(40)는 캐소드 기판(10) 상부에 밀착 고정된다. 이때, 금속 메쉬(40)와 캐소드 기판(10) 사이에는 상부 절연층(16)이 형성된다. 금속 메쉬(40)는 게이트 홀(15a)에 대응하는 메쉬 홀(42)을 구비한다.

한편, 종래의 전자방출 표시장치에서는 예를 들어 약 420℃ 온도하에서의 형광막 소성시, 금속 메쉬의 변형 및 금속 메쉬의 변형으로 인하여 애노드 기판과의 정렬이 흐트러지는 문제가 발생된다. 특히, 진공 패키징시 가해지는 300℃ 이상의 공정 온도에서 2차적인 금속 메쉬의 변형 및 애노드 기판과의 오정렬이 발생된다. 이로 인해, 스페이서가 탈락되는 문제가 발생될 수 있다. 이것은 전자방출 표시장치의 고압 인가 환경과 빔 집속 환경을 악화시켜 양질의 제품을 만들기 어렵게 한다.

이처럼, 종래의 금속 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치에서는 고착 공정, 봉착 공정, 가열배기 공정 중에 금속 메쉬의 열팽창 및 틀어짐으로 인해 장치 내에 금속 메쉬를 정확하게 정렬시키기 어렵다는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 고려하여 도출된 것으로, 그 목적은 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있는 도전성 메쉬 고정 구조를 구비한 전자방출 표시장치를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 제1 측면은, 상부에 전자방출 영역이 형성되며 상기 전자방출 영역 외곽에서 배면 기판 상에 접착되는 고정 부재 및 가이드 부재를 구비하는 전자방출기판; 상기 전자방출 영역으로부터 방출된 전자에 의해 발광하는 형광막이 형성되는 화상형성기판; 및 상기 전자가 통과하는 복수의 홀 및 상기 가이드 부재가 삽입되는 가이드 홀을 구비하며, 상기 고정 부재에 의해 한 지점이 상기 전자방출기판에 고정되고 그 팽창 및 수축 방향이 상기 가이드 부재에 의해 상기 한 지점으로부터 방사상 방향으로 유도되는 도전성 메쉬를 포함하는 전자방출 표시장치를 제공한다.

바람직하게, 상기 고정 부재는 상기 도전성 메쉬에 형성된 고정 홀에 삽입되고 소정의 접착 수단에 의해 고정적으로 접합된다.

또한, 상기 가이드 부재는 상기 가이드 홀 내에서 상기 방사상 방향으로 왕복 운동한다.

또한, 상기 가이드 부재 및 상기 가이드 홀은 상기 방사상 방향으로 복수개 형성된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 이하의 설명에서 어떤 층이 다른 층의 위에 존재한다고 기술될 때, 이는 다른 층의 바로 위에 존재할 수도 있고, 그 사이에 제3의 층이 게재될 수 도 있다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되었다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.

도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치의 다양한 예를 나타내는 평면도이다.

도 2a 내지 도 2d에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 전자방출 표시장치는 배면 기판(110), 고정 부재(170) 및 가이드 부재(172)를 구비한 캐소드 기판(100)과, 전면 기판(210)을 구비한 애노드 기판(200), 그리고 고정 홀(430) 및 가이드 홀(432)을 구비한 도전성 메쉬(400)를 포함한다.

캐소드 기판(100)의 고정 부재(170)는 일단이 캐소드 기판(100)의 배면 기판(110) 상에 소정의 접착 수단에 의해 고정적으로 부착되며, 타단이 도전성 메쉬(400)의 고정 홀(430)에 삽입되어 수정의 접착 수단에 의해 고정적으로 접착된다. 고정 부재(170)는 도전성 메쉬(400)의 일측면 가장자리 중앙부나, 가장자리 코너부 또는 중앙부에 고정점을 형성한다.

캐소드 기판(100)의 가이드 부재(172)는 도전성 메쉬(400)의 고정 홀(430)에 고정적으로 결합되는 고정 부재(170)를 중심으로 방사상 방향으로 연장되는 선상에 형성된다. 가이드 부재(172)는 소정의 두께와 폭을 가지고 연장되는 길이부를 가지며, 이때 길이부는 방사상 방향으로 연장된다. 또한, 가이드 부재(172)는 도전성 메쉬(400)에 형성된 가이드 홀(432)에 삽입되며 방사상 방향으로 왕복가능하게 결합된다.

상술한 구성에 의해, 도전성 메쉬는 열공정을 포함하는 제작 공정 중에 팽창 및 수축 방향이 일정하게 유지된다. 따라서, 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있다.

다음은 본 발명에 따른 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치의 일례를 보다 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 도전성 메쉬를 구비한 전자방출 표시장치의 일례를 나타내는 평면도이다. 도 4a는 도 3에 도시한 전자방출 표시장치에 채용된 도전성 메쉬의 주요 부분을 개략적으로 나타내는 부분 평면도이다. 그리고, 도 4b는 도 4a의 도전성 메쉬에 대응되는 캐소드 기판의 주요 부분을 개략적으로 보여주는 측면도이다.

도 3, 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 전자방출 표시장치는 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있는 구조를 갖는다. 이를 위해, 전자방출 표시장치는 고정 부재(170) 및 가이드 부재(172, 174)를 구비한 캐소드 기판(100)과, 애노드 기판(200), 그리고 캐소드 기판(100) 상에 밀착 형성되며 캐소드 기판(100)의 고정 부재(170) 및 가이드 부재(172, 174)가 삽입되는 고정 홀(162) 및 가이드 홀(164, 166)을 구비하는 도전성 메쉬(400)를 포함한다.

여기서, 캐소드 기판(100)은 전자를 방출하는 전자방출 영역이 배면 기판(110)의 상부에 형성된 전자방출기판을 나타내며, 애노드 기판(200)은 캐소드 기판(100)의 전자방출 영역으로부터 방출된 전자의 충돌에 의해 발광하는 형광막이 전면 기판(210) 상에 형성된 화상형성기판을 나타낸다.

구체적으로, 캐소드 기판(100)은 전자방출 영역 외곽의 일측면 가장자리 중앙부에 형성되는 고정 부재(170)를 구비한다. 고정 부재(170)는 대략 원 기둥 모양이나 다각형 기둥 모양으로 형성되며, 그 일단이 소정의 접착 수단에 의해 배면 기판(110) 상에 고정적으로 접합된다.

또한, 캐소드 기판(100)은 고정 부재(170)가 형성되는 일측면 가장자리에 형성되는 가이드 부재(172, 174)를 구비한다. 가이드 부재(172, 174)는 고정 부재(170)를 지나는 직선 상에 그 길이 방향이 놓여지는 대략 직사각형 기둥 모양으로 형성되며, 그 일단이 소정의 접착 수단에 의해 배면 기판(110) 상에 고정적으로 접합된다.

도전성 메쉬(400)는 고정 부재(170)의 타단이 삽입되는 고정 홀(162)을 구비한다. 고정 홀(162)에는 도전성 메쉬(400)와 고정 부재(170)를 접착시키는 소정의 접착 수단이 도포되며, 그것에 의해 도전성 메쉬(400)는 고정 부재(170)를 통해 캐소드 기판(100)에 고정된다.

또한, 도전성 메쉬(400)는 가이드 부재(172, 174)가 끼우지며 도전성 메쉬(400)이 세 측면에 직교하는 방향으로 소정 길이(a, b, c)로 열팽창할 때, 도전성 메쉬(400)의 열팽창 방향을 제어할 수 있도록 가이드 부재(172, 174)를 원하는 방향으로 수용하는 가이드 홀(164, 166)을 구비한다. 가이드 홀(164, 166)은 가이드 부재(172, 174)가 미끄러져 움직일 수 있도록 형성된다.

상술한 본 발명에 의하면, 도전성 메쉬의 일측면 가장자리 중심부를 캐소드 기판에 고정시키고, 그 일측면 가장자리에 가이드 구조를 형성함으로써, 400℃ 또 는 그 이상의 온도를 이용하는 고착 공정, 봉착 공정, 가열배기 공정 등의 전자방출 표시장치의 제작 공정 중에 도전성 메쉬가 열팽창하는 경우에도, 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있다.

다음은 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 전자방출 표시장치를 보다 상세히 설명한다.

도 5는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 취한 전자방출 표시장치의 부분 단면도이고, 도 6은 도 3에 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 취한 전자방출 표시장치의 부분 단면도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 전자방출 표시장치는 전자방출기판(100), 화상형성기판(200), 스페이서(300), 도전성 메쉬(400) 및 실링 부재(500)를 포함한다.

구체적으로, 전자방출기판(100)은 배면 기판(110), 제1 전극(120), 제1 절연층(130), 전자방출부(140), 제2 전극(150), 제2 절연층(160), 고정 부재(170) 및 가이드 부재(172, 174)를 포함한다.

배면 기판(110)은 유리 기판이나 실리콘 기판을 사용한다. 특히, 탄소나노튜브(carbon nanotube, CNT) 페이스트를 이용하여 전자방출부(140)를 형성하는 경우, 배면 기판(110)은 후면 노광에 적합한 유리 기판을 사용한다.

제1 전극(120)은 배면 기판(110) 상에 스트라이프(stripe) 상 또는 분절된 스트라이프 상으로 형성된다. 전자방출부(140)가 후면 노광 공정을 통해 형성되는 경우, 제1 전극(120)은 투명 전극, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide)로 형성된다. 본 실시예에 따른 잔자방출기판(100)의 제1 전극(120)은 그 구조상 전자방출 표시장치 의 캐소드 전극이 된다.

제1 절연층(130)은 배면 기판(110)과 제1 전극(120) 상부에 형성되며, 제1 전극(120)과 제2 전극(150)을 전기적으로 상호 절연한다. 제1 절연층(130)은 절연 물질, 예컨대, PbO와 SiO₂ 혼합 유리질로 이루어지며, 제1 전극(120)을 부분적으로 노출시키는 복수의 제1 홀(132)을 구비한다. 제1 절연층(130)의 두께는 빔 집속에 적합하도록 후막 형성 공정에 의해 비교적 두껍게 형성된다.

전자방출부(140)는 제1 절연층(130)에 구비된 제1 홀(132) 내에 노출되어 있는 제1 전극(120)에 전기적으로 접속되도록 형성된다. 전자방출부(140)는 카본계 물질 또는 나노미터(㎚) 사이즈 물질로 이루어진다. 이러한 전자방출부(140)에 사용가능한 물질로는 카본 나노튜브, 그라파이트(graphite), 그라파이트 나노파이버, 다이아몬드상 카본, C₆₀, 실리콘 나노와이어 및 이들의 조합 물질이 있다.

제2 전극(150)은 제1 절연층(130) 상에 소정의 형상으로 형성된다. 예컨대, 제2 전극(150)은 스프라이프 상으로 제1 전극(120)과 교차하는 방향으로 연장되며 제1 절연층(130)의 제1 홀(132)에 인접하게 형성된다. 본 실시예에서 제2 전극(150)은 전자방출기판(100)의 구조상 전자방출 표시장치의 게이트 전극이 된다. 이러한 제2 전극(150)은 전도성이 우수한 금속, 예컨대 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 및 이들의 합금 중에서 선택된 적어도 하나의 도전성 금속 재료로 형성된다. 제1 전극(120) 및 제2 전극(150)이 교차하는 영역은 전자방출 표시장치의 화소 영역으로 정의된다.

제2 절연층(160)은 제2 전극(150)과 다른 인접한 제2 전극 사이에 배치되거나, 또는 전자방출기판(100) 전체의 기생 캐패시턴스의 영향을 무시할 수 있는 범위 내에서 인접한 제2 전극(150)의 일부와 겹치도록 배치될 수 있다. 제2 절연층(160)의 높이는 빔 집속을 위하여 10㎛ 내지 40㎛인 것이 바람직하며, 이는 전자방출부(140)로부터 방출된 전자가 도전성 메쉬(400)에 형성된 대응 홀로의 경로를 이탈하여 제2 절연층(160) 상부에 형성된 다른 요소에 충돌하여 전자가 축적될 가능성을 현저하게 감소시킨다. 제2 절연층(160)은 제1 전극(120), 제2 전극(150) 및 도전성 메쉬(400) 사이의 내전압 특성을 향상시키기 위하여 PbO 또는 SiO₂를 포함하는 절연 재료로 형성되는 것이 바람직하다.

고정 부재(170)는 전자방출기판(100)의 전자방출 영역 외곽의 일측면 가장자리 중앙부에 형성된다. 고정 부재(170)의 일단은 제1 및 제2 절연층(130, 160)에 형성된 제1 개구부(162)에 삽입되며, 제1 개구부(162)에 도포되는 접착제 등의 접착 수단(440)에 의해 배면 기판(110) 상에 고정적으로 접합된다. 고정 부재(170)의 타단은 도전성 메쉬(400)에 형성된 고정홀(430)에 삽입되며, 고정홀(434)에 도포되는 접착 수단(440)에 의해 도전성 메쉬(400)와 접합된다. 이러한 구성에 의해, 도전성 메쉬(400)는 전자방출기판(100) 상부에 그 일측면 중앙부가 고정된다.

가이드 부재(172, 174)는 앞서 언급한 고정 부재(170)가 형성되는 전자방출기판(100)의 전자방출 영역 외곽의 일측면 가장자리에 형성된다. 가이드 부재(172, 174)는 고정 부재(170)를 지나는 직선 상에서 고정 부재(170)의 양쪽에 형성된다. 가이드 부재(172, 174)의 일단은 제1 및 제2 절연층(130, 160)에 형성된 제2 및 제3 개구부(164, 166)에 삽입되며, 제2 및 제3 개구부(164, 166)에 도포되는 접착 수단(440)에 의해 배면 기판(110) 상에 고정적으로 접합된다. 가이드 부재(172, 174)의 타단은 도전성 메쉬(400)에 형성된 제1 및 제2 가이드 홀(432, 434)에 유동적으로 끼워진다. 이러한 구성에 의해, 도전성 메쉬(400)는 제조 공정 중에 일시적으로 열팽창되는 경우에도 고정된 일측면의 중앙부를 중심으로 나머지 측면이 방사상으로 열팽창되었다가 다시 본래의 위치로 자연스럽게 복귀된다.

이처럼, 본 발명에 의하면 전자방출 표시장치의 제작 공정 중에 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있다.

다음으로, 화상형성기판(200)은 전면 기판(210)과, 전면 기판(210) 상부에 형성되는 애노드 전극(220), 형광막(230) 및 광차폐막(240)을 포함한다.

전면 기판(210)은 글래스 등의 투명한 재질로 형성된다. 전면 기판(210)은 전자방출기판(100)의 배면 기판(110)과 대향 배치된다.

애노드 전극(220)은 투명한 재료로 형성되며, 전면 기판(210) 상의 유효 영역에 발광 영역을 형성하는 형광막(230)에 소정의 전압을 공급한다.

형광막(230)은 전면 기판(210)의 일면에 형성되며 전자방출기판(100)의 전자방출부(140)에서 방출된 전자의 충돌에 의해 발광한다. 형광막(230)은 임의의 간격을 두고 소정의 형상, 예컨대 스트라이프 상으로 배치된다.

광차폐막(240)은 선택적 구성 요소로서, 외부 빛을 흡수 및 차단하여 광학적 크로스 토크를 방지함으로써 콘트라스트가 향상되도록 형광막(230) 사이에 배치된 다. 다시 말해서, 광차폐막(240)은 전면 기판(210)의 유효 영역 내의 발광 영역 사이에 비발광 영역 또는 흑색 영역을 형성한다.

한편, 화상형성기판(200)은 금속 박막(미도시)을 더 포함할 수 있다. 금속 박막은 형광막 상부에 위치하며 전자방출부로부터 방출된 전자를 보다 더 양호하게 집속하고 전자의 충돌에 의해 발광하는 빛을 전면 기판측으로 다시 반사시켜 반사효율을 향상시키는 역활을 한다. 또한, 금속 박막은 애노드 전극과 유사하게 형광막에 전압을 공급하도록 형성될 수 있다. 이러한 경우, 애노드 전극은 생략가능하다.

다음으로, 스페이서(300)는 전자방출기판(100)과 화상형성기판(200)을 상호 지지한다. 스페이서(300)는 전자방출 표시장치 내부의 진공 환경하에서 전자방출기판(100)과 화상형성기판(200)을 소정 간격으로 유지시킨다.

다음으로, 도전성 메쉬(400)는 전자방출기판(100)의 전자방출 영역으로부터방출된 전자가 통과하는 제2 홀(420)을 구비한다. 도전성 메쉬(400)는 메쉬 형태의 도전성 시트를 나타낸다. 본 실시예에서, 도전성 메쉬(400)는 전자방출기판(100)과의 사이에 제2 절연층(160)을 개재하고 전자방출기판(100) 상부에 형성된다. 다른 한편으로, 본 발명에 따른 도전성 메쉬(400)는 스페이서(300)와의 접착에 의해 전자방출기판(100)과 소정 간격을 두고 고정 배치될 수 있다.

또한, 도전성 메쉬(400)는 화상형성기판(200)의 형광막(230)으로 향하는 전자를 집속하며, 아킹(arcing) 방전시의 전극 손상을 방지하는 역활을 한다. 예를 들면, 애노드 전극(220)에 인가되는 고전압에 의해 형성된 애노드 전계로부터 전자 방출기판(100)의 제2 전극(150), 전자방출부(140), 제1 전극(120) 등을 보호한다.

또한, 도전성 메쉬(400)는 그 양면에 형성되는 소정의 메쉬 절연층(미도시)을 구비할 수 있다. 메쉬 절연층이 형성된 도전성 메쉬(400)를 이용하면, 전자방출 표시장치의 제작 공정 중의 도전성 메쉬(400)의 틀어짐을 더욱 방지할 수 있다. 또한, 도전성 메쉬(400)은 전자방출기판(100)을 형성하는 캐소드 공정과 별도의 공정을 통해서 형성되며, 메쉬 절연층은 글래스 프릿(미도시) 등에 의해 전자방출기판(100)의 제2 전극(150) 상부에 형성될 수 있다.

다음으로, 실링 부재(500)는 전자방출기판(100)과 화상형성기판(200)을 진공 상태로 접합하기 위한 부재로서, 예컨대, 봉착용 프릿 바(frit bar)가 이용된다. 실링 부재(500)는 소정의 접착 페이스트에 의해 전자방출기판(100)과 화상형성기판(200)에 각각 접착된다.

상술한 본 발명에 의하면, 전자방출 표시장치의 제작 공정 중에 열팽창하는 도전성 메쉬를 일정한 형태로 열팽창 및 수축되도록 제어함으로써 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있다. 따라서, 전자방출 표시장치의 고압 인가 환경과 빔 집속 환경을 용이하게 확보할 수 있다.

한편, 상술한 실시예에서는 캐소드 전극에 대응하는 제1 전극이 게이트 전극에 대응하는 제2 전극 하부에 형성되는 구조를 예를 들어 설명하였다. 하지만 본 발명은 그러한 구성 이외에 캐소드 전극이 게이트 전극 상부에 형성되는 구조로 용이하게 구현가능하다.

이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

이상과 같이, 고착, 봉착, 가열배기 등의 전자방출 표시장치의 제작 공정 중에 열팽창하는 도전성 메쉬를 일정한 형태로 열팽창 및 수축되도록 제어함으로써 도전성 메쉬의 틀어짐을 방지할 수 있다. 따라서, 전자방출 표시장치의 고압 인가 환경과 빔 집속 환경을 용이하게 확보할 수 있다. 이로써, 종래에 비해 우수한 특성의 전자방출 표시장치를 제공할 수 있다.

Claims (4)

1. 상부에 전자방출 영역이 형성되며 상기 전자방출 영역 외곽에서 배면 기판 상에 접착되는 고정 부재 및 가이드 부재를 구비하는 전자방출기판;

   상기 전자방출 영역으로부터 방출된 전자에 의해 발광하는 형광막이 형성되는 화상형성기판; 및

   상기 전자가 통과하는 복수의 홀 및 상기 가이드 부재가 삽입되는 가이드 홀을 구비하며, 상기 고정 부재에 의해 한 지점이 상기 전자방출기판에 고정되고 그 팽창 및 수축 방향이 상기 가이드 부재에 의해 상기 한 지점으로부터 방사상 방향으로 유도되는 도전성 메쉬를 포함하는 전자방출 표시장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 고정 부재는 상기 도전성 메쉬에 형성된 고정 홀에 삽입되고 소정의 접착 수단에 의해 고정적으로 접합되는 전자방출 표시장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 가이드 부재는 상기 가이드 홀 내에서 상기 방사상 방향으로 왕복 운동하는 전자방출 표시장치.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 가이드 부재 및 상기 가이드 홀은 상기 방사상 방향으로 복수개 형성되는 전자방출 표시장치.

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