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KR20060031645A - Defect display unit - Google Patents

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KR20060031645A
KR20060031645A KR1020057024959A KR20057024959A KR20060031645A KR 20060031645 A KR20060031645 A KR 20060031645A KR 1020057024959 A KR1020057024959 A KR 1020057024959A KR 20057024959 A KR20057024959 A KR 20057024959A KR 20060031645 A KR20060031645 A KR 20060031645A
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KR
South Korea
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defect
image data
original image
unit
inspection condition
Prior art date
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KR1020057024959A
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Korean (ko)
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KR100791195B1 (en
Inventor
타카아키 오니시
슈지 아키야마
Original Assignee
올림푸스 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

Each original image data of a glass substrate is retained in an image retaining unit (6), and the detection result of each defect unit (G1-G6) is displayed on the screen of a display (3) when inspection conditions such as respective defect detection levels and contrasts are manually or automatically set or changed by an inspection condition changing unit (9) with respect to these elements of original image data.

Description

결함 표시장치{DEFECT DISPLAY UNIT}Fault display unit {DEFECT DISPLAY UNIT}

본 발명은, 예를 들면 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이의 유리 기판 등의 검사 대상상의 결함부를 추출하는 데 최적의 결함 검출 레벨을 설정 변경 가능한 결함 표시장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the defect display apparatus which can set and change the optimum defect detection level for extracting the defect part on a test target, such as a semiconductor wafer or a glass substrate of a liquid crystal display, for example.

액정 디스플레이의 제조 공정에서는, 기판 검사 장치에 의하여 유리 기판에 대한 기판 검사가 행하여지고 있다. 일본국 특개 2003-1O0827호 공보에는, 유리 기판을 매크로적으로 촬상하여 취득한 화상 데이터를 디스플레이 화면상에 표시하고, 이 화면상에서 오퍼레이터가 결함 부분을 포함하는 일부의 화상 영역을 빼내어 결함 화상 데이터로서 보존하고, 또한 결함 화상 데이터를 기준 화상 데이터에 합성하여 디스플레이 화면상에 표시하는 것이 기재되어 있다.In the manufacturing process of a liquid crystal display, the board | substrate test | inspection with respect to a glass substrate is performed by the board | substrate inspection apparatus. Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2003-1O0827 discloses image data obtained by photographing a glass substrate macroscopically on a display screen, and the operator extracts a part of the image area including the defective portion and saves it as defective image data. In addition, it describes that the defect image data is synthesized with the reference image data and displayed on the display screen.

결함 화상의 보존·표시를 행하는 기술로서 예를 들면 일본국 특개 2002-192699호 공보가 있다. 이 공보에는, 기준 화상과 검사 대상 화상을 비교하여 결함부를 포함하는 영역을 잘라내어, 이 결함 화상 데이터를 보존하고, 이 결함 화상 데이터를 기준 화상 데이터에 붙여 재생하는 것이 기재되어 있다.As a technique for storing and displaying a defective image, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-192699. This publication describes comparing a reference image with an inspection target image, cutting out an area including a defect portion, saving the defect image data, and attaching the defect image data to the reference image data for reproduction.

유리 기판을 검사하는 경우, 액정 디스플레이 제조의 각 공정에 의하여 유리 기판의 상태, 예를 들면 유리 기판상에 형성되는 층의 수, 또는 레지스터 도포의 유무 등에 의하여 유리 기판상에 형성된 패턴이나 결함의 보이는 방법이 변화한다. 이러한 경우, 유리 기판에 대한 검사 조건(레시피)으로서 예를 들면 결함 검출 레벨을 변경할 필요가 있다.In the case of inspecting the glass substrate, the pattern or the defects formed on the glass substrate by the steps of the liquid crystal display manufacturing, for example, the number of layers formed on the glass substrate, the presence or absence of a resist coating, etc. The way changes. In such a case, it is necessary to change the defect detection level, for example, as an inspection condition (recipe) with respect to a glass substrate.

일본국 특개 2003-1OO827호 공보 및 특개 2002-192699호 공보에서는, 보존한 결함 화상 데이터를 재생하여 표시하는 것만이고, 검사 대상 화상 데이터중의 결함부를 검출하기 위한 결함 검출 레벨을 변경하는 것은 행하지 않았다.In Japanese Patent Laid-Open Nos. 2003-1OO827 and 2002-192699, only the stored defective image data is reproduced and displayed, and the defect detection level for detecting the defective portion in the inspection target image data is not changed. .

유리 기판 검사의 현상(現狀)은, 유리 기판상의 결함부의 각 결함 화상 데이터를 취득하여 디스플레이 화면상에 표시하고, 이 표시된 유리 기판의 상태를 확인하고, 그 자리에서 결함 검출 레벨을 설정 변경하고 있다.The phenomenon of glass substrate inspection acquires each defect image data of the defect part on a glass substrate, displays it on a display screen, confirms the state of this displayed glass substrate, and sets and changes the defect detection level on the spot. .

이 때문에, 액정 디스플레이 제조의 각 공정 또는 유리 기판의 로트에 따라 최적의 결함 검출 레벨로 설정되어 있지 않은 경우에는, 액정 디스플레이 제조에 영향을 주는 것 같은 결함부를 검출할 수 없거나, 결함부가 되지 않는 불필요한 부분을 유사 결함으로서 오검출 하여 버려, 정확한 기판 검사를 할 수 없다.For this reason, when it is not set to the optimal defect detection level according to each process of liquid crystal display manufacture or the lot of a glass substrate, it is unnecessary that a defect part which affects liquid crystal display manufacture cannot be detected or a defect part does not become. The part is erroneously detected as a similar defect and an accurate substrate inspection cannot be performed.

또한, 결함 검출 레벨의 설정 변경에 시간이 걸리고, 설정 변경이 종료할 때까지 기판 검사를 일시 정지하여야 한다. 게다가, 결함 검출 레벨을 설정 변경한 후에, 유리 기판상의 결함부의 각 결함 화상 데이터를 취득하여 결함 검출 레벨이 적절하게 설정 변경되었는지를 확인할 필요가 있다. 결함 검출 레벨의 설정에 실패한 경우에는, 재차 결함 데이터를 취득할 필요가 있고, 결함 검출 레벨의 설정에 숙련을 필요로 한다.In addition, it takes time to change the setting of the defect detection level, and the board inspection must be paused until the setting change is completed. In addition, after setting and changing a defect detection level, it is necessary to acquire each defect image data of the defect part on a glass substrate, and to confirm whether the defect detection level was changed suitably. When the failure detection level setting fails, it is necessary to acquire defect data again, and skill in setting the defect detection level is required.

일본국 특개2002-192699호 공보의 결함 화상 데이터는, 디스플레이 화면상에 표시될 뿐이므로, 결함 검출 레벨을 설정 변경한 결과가, 이 표시된 결함 화상 데이터에는 반영되지 않는다. 이 때문에, 설정 변경된 결함 검출 레벨에서 재차 결함 화상 데이터를 취득하여 확인할 필요가 있다.Since the defect image data of Japanese Patent Laid-Open No. 2002-192699 is only displayed on the display screen, the result of setting and changing the defect detection level is not reflected in this displayed defect image data. For this reason, it is necessary to acquire and confirm defect image data again at the setting-change defect detection level.

본 발명은, 유리 기판 상태가 변화하여도, 유리 기판의 상태 변화에 따른 최적의 검사 조건을 용이하게, 또한 단시간에 설정 변경할 수 있는 결함 표시장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a defect display device capable of easily changing and setting the optimum inspection condition according to the state change of a glass substrate easily and in a short time even if the glass substrate state changes.

본 발명의 주요한 관점에 의하면, 검사 대상의 화상 데이터로부터 잘라내어진 검사 대상상의 결함부를 포함하는 원화상(原畵像) 데이터를 보존하는 화상 보존부와, 화상 보존부에 보존되어 있는 원화상 데이터로부터 결함부를 추출하는 검사 조건을 설정 변경하는 검사 조건 변경부와, 검사 조건 변경부에 의하여 설정 변경된 검사 조건에 근거하여 원화상 데이터로부터 결함부를 포함하는 결함 화상 데이터를 추출하는 결함 추출부와, 화상 보존부에 보존되어 있는 원화상 데이터, 또는 결함 추출부에 의하여 추출된 결함 화상 데이터를 디스플레이 화면상에 일람 표시하는 표시 제어부를 구비한 결함 표시장치가 제공된다.According to a main aspect of the present invention, an image preservation unit for storing original image data including a defective portion on an inspection object cut out from the image data of the inspection object, and an original image data stored in the image storage unit. An inspection condition changing section for setting and changing an inspection condition for extracting a defect section, a defect extracting section for extracting defect image data including a defect section from the original image data based on the inspection conditions set and changed by the inspection condition changing section, and image preservation There is provided a defect display device having a display control section for displaying a list of original image data stored in a portion or defect image data extracted by a defect extraction unit on a display screen.

도 1은 본 발명과 관계되는 결함 표시장치의 일실시의 형태를 나타내는 구성도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The block diagram which shows one Embodiment of the defect display apparatus which concerns on this invention.

도 2는 동 장치에 있어서의 원화상 데이터의 잘라냄을 나타내는 모식도.Fig. 2 is a schematic diagram showing cutting of original image data in the apparatus.

도 3A는 동 장치에 의하여 오버레이 화상 데이터를 작성하기 위해서 이용하 는 원화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 3A is a diagram showing original image data used for creating overlay image data by the apparatus.

도 3B는 동 장치에 의하여 오버레이 화상 데이터를 작성하기 위해서 이용하는 결함 화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 3B is a diagram showing defective image data used for creating overlay image data by the apparatus.

도 3C는 동 장치에 의하여 선택 표시되는 오버레이 화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 3C is a diagram showing overlay image data selectively displayed by the apparatus.

도 4A는 동 장치에 의한 백색 레벨의 결함부에 대한 검출 레벨의 설정 변경을 나타내는 도면.Fig. 4A is a diagram showing a setting change of detection level for a defective part of white level by the apparatus.

도 4B는 동 장치에 의한 흑색 레벨의 결함부에 대한 검출 레벨의 설정 변경을 나타내는 도면.Fig. 4B is a diagram showing the setting change of the detection level for the defective part of the black level by the apparatus.

도 5A는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨의 에뮬레이트를 설명하기 위한 도면.5A is a diagram for explaining an emulation of a defect detection level in the apparatus.

도 5B는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨의 에뮬레이트를 설명하기 위한 도면.Fig. 5B is a diagram for explaining emulation of a defect detection level in the apparatus.

도 6A는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨을 자동 설정하는에 이용하는 원화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 6A is a diagram showing original image data used for automatically setting a defect detection level in the apparatus.

도 6B는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨을 자동 설정할 때의 옆으로 비켜나게 한 원화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 6B is a diagram showing original image data that is deviated laterally when automatically setting a defect detection level in the apparatus.

도 6C는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨을 자동 설정할 때의 원화상 데이터와 옆으로 비켜나게 한 원화상 데이터와의 차이 화상 데이터를 나타내는 도면.Fig. 6C is a diagram showing difference image data between original image data at the time of automatically setting a defect detection level in the apparatus and the original image data sideways.

도 6D는 동 장치에 있어서의 결함 검출 레벨을 자동 설정할 경우에 이용하는 도수 분포도.Fig. 6D is a frequency distribution diagram used when automatically setting a defect detection level in the apparatus.

도 7A는 동 장치에 있어서의 콘트라스트 강조 레벨의 설정 변경전의 도수 분포를 나타내는 도면.Fig. 7A is a diagram showing the frequency distribution before the setting change of the contrast enhancement level in the apparatus.

도 7B는 동 장치에 있어서의 콘트라스트 강조 레벨의 설정 변경 후의 도수 분포를 나타내는 도면.Fig. 7B is a diagram showing the frequency distribution after the setting change of the contrast enhancement level in the apparatus.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

1 : 주제어부 2 : 출력부1: Main control part 2: Output part

3 : 디스플레이 4 : 입력부3: display 4: input

5 : 매뉴얼 입력부 6 : 화상 보존부5: Manual input part 6: Image preservation part

7 : 결함 정보 기억부 8 : 표시 제어부7: defect information storage part 8: display control part

9 : 검사 조건 변경부 10 : 결함 추출부9: inspection condition changing unit 10: defect extraction unit

11 : 결함 정보 표시부 12 : 기판 검사 장치11 defect information display section 12 substrate inspection apparatus

이하, 본 발명의 일실시의 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, one Embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 결함 표시장치의 구성도이다. 주제어부(1)는, CPU를 가진다. 이 주제어부(1)에는, 출력부(2)를 개재하여 액정 또는 CRT 등의 디스플레이(3)가 접속되어 있다. 주제어부(1)에는, 입력부(4)를 개재하여 키보드나 마우스 등의 매뉴얼 입력부(5)가 접속되어 있다.1 is a configuration diagram of a defect display device. The main control unit 1 has a CPU. The main control unit 1 is connected to a display 3 such as a liquid crystal or a CRT via the output unit 2. The main control unit 1 is connected to a manual input unit 5 such as a keyboard or a mouse via the input unit 4.

주제어부(1)는, 화상 보존부(6)에 대한 화상 데이터의 보존 및 읽기와, 결함 정보 기억부(7)에 대한 결함부에 관한 정보의 기록 및 읽기를 행한다. 주제어부(1) 는, 표시 제어부(8), 검사 조건 변경부(9), 결함 추출부(10) 및 결함 정보 표시부(11)에 대해서 동작 지령을 발한다.The main control unit 1 stores and reads image data for the image storage unit 6 and records and reads information about the defect unit for the defect information storage unit 7. The main control unit 1 issues an operation command to the display control unit 8, the inspection condition changing unit 9, the defect extraction unit 10, and the defect information display unit 11.

화상 보존부(6)에는, 예를 들면 기판 검사 장치(12)에 의하여 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이의 유리 기판 등의 검사 대상을 검사하여 검출된 검사 대상상의 결함부의 원화상(결함 화상) 데이터가 보존된다. 이후, 검사 대상으로서 플랫 패널 디스플레이의 유리 기판을 이용한 예로 설명한다. 원화상 데이터는, 예를 들면 도 2에 도시하는 바와 같이 기판 검사 장치에 있어서 유리 기판의 전면을 촬상하여 취득된 전면 면상데이터(D)중에서 결함부(G)를 포함하는 주변의 화상 데이터(Dm1)를 잘라낸 것이다. 유리 기판상에 복수의 결함부(G), 예를 들면 6개의 결함부(G1~G6)가 존재하면, 화상 보존부(6)에는 6개의 원화상 데이터(Dm1~Dm6)가 보존된다.The original image (defective image) data of the defective part of the inspection object detected by the inspection of the inspection object such as a semiconductor wafer or a glass substrate of a liquid crystal display by the substrate inspection device 12 is stored in the image storage unit 6, for example. do. Hereinafter, the example which used the glass substrate of a flat panel display as an inspection object is demonstrated. For example, as illustrated in FIG. 2, the original image data includes peripheral image data Dm including the defect portion G among the front surface image data D obtained by imaging the entire surface of the glass substrate in the substrate inspection apparatus. 1 ) cut out. When a plurality of defect portions G, for example, six defect portions G 1 to G 6 exist on the glass substrate, six original image data Dm 1 to Dm 6 are stored in the image storage portion 6. Are preserved.

결함 정보 기억부(7)에는, 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)에 관한 정보, 예를 들면 6개의 결함부(G1~G6)의 각 좌표, 각 휘도, 각 결함의 종류, 각 사이즈 등의 정보가 기억된다.In the defect information storage unit 7, information about each defect portion G 1 to G 6 on the glass substrate, for example, the coordinates, the luminance of each of the six defect portions G 1 to G 6 , Information such as the type and each size is stored.

표시 제어부(8)는, 매뉴얼 입력부(5)에 대한 매뉴얼 조작에 따라 화상 보존부(6)에 보존되어 있는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시(섬네일 표시)한다. 이 표시 제어부(8)는, 검사 조건 변경부(9)에 의하여 변경된 검사 조건, 예를 들면 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)에 대한 검사 조건을 변경했을 때의 결함 추출부(10)의 추출 동작 결과에 의하여 얻어지는 각 결함부 (G1~G6)만을 포함하는 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)를 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다. 도 1에 도시하는 디스플레이(3)의 화면상에는, 예를 들면 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)가 일람 표시 되어 있다. 이들 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)는, 각각 각 결함부(G1~G6)를 가진다.The display control unit 8 displays a list of the original image data Dm 1 to Dm 6 stored in the image storage unit 6 on the screen of the display 3 according to a manual operation on the manual input unit 5. (Thumbnail display). The display control unit 8, a modified test conditions by the inspection condition changing unit (9), for example, extracting defect when changing the test conditions for each defect unit (G 1 ~ G 6) on the glass substrate portion ( The respective defective image data Dg 1 to Dg 6 including only the respective defective parts G 1 to G 6 obtained by the extraction operation result of 10) are displayed on the screen of the display 3. On the screen of the display 3 shown in FIG. 1, for example, each defect image data Dg 1 to Dg 6 is displayed. These defect image data Dg 1 to Dg 6 each have defect parts G 1 to G 6 , respectively.

표시 제어부(8)는, 매뉴얼 입력부(5)에 대한 매뉴얼 조작에 따라, 각 원화상데이터(Dm1~Dm6), 결함 추출부(10)에 의하여 추출된 각 결함부(G1~G6)만의 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6), 또는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)와 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)를 각각 맞춘 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)중의 어느 하나를 디스플레이(3)의 화면상에 선택 표시한다. 또한, 표시 제어부(8)는, 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)만을 디스플레이(3)의 화면상에 표시하는 것으로도 좋다.The display control part 8 according to the manual operation with respect to the manual input part 5, each original image data Dm 1 to Dm 6 and each defect part G 1 to G 6 extracted by the defect extraction part 10. ) 1 to each defect image data only (Dg Dg 6), or each of the original image data (Dm 1 to Dm 6) and each of the defect image data (Dg 1 to Dg 6) each fit each overlay image data (Dr 1 to Dr 6 ) Selectively display any one of them on the screen of the display 3. In addition, the display control unit 8 may display only each overlay image data Dr 1 to Dr 6 on the screen of the display 3.

예를 들면, 도 3A는 원화상 데이터(Dm1)의 일례를 나타낸다. 이 원화상 데이터(Dm1)는, 유리 기판상에 형성된 규칙적인 패턴(P, 예를 들면 버스 라인)이 촬상됨과 함께, 결함부(G1)도 존재한다. 도 3B는 결함 화상 데이터(Dg1)의 일례를 도시하고, 결함부(G1)만이 존재한다. 도 3C는 오버레이 화상 데이터(Dr1)의 일례를 도시하고, 원화상 데이터(Dm1)와 결함 화상 데이터(Dg1)를 맞추어 작성된다.For example, FIG. 3A shows an example of the original image data Dm 1 . In this original image data Dm 1 , a regular pattern P (for example, a bus line) formed on a glass substrate is imaged, and a defect portion G 1 also exists. 3B shows an example of the defective image data Dg 1 , and only the defective portion G 1 exists. Figure 3C is prepared according overlays showing an example of the image data (Dr 1), and the original image data (Dm 1) and the defect image data (Dg 1).

표시 제어부(8)는, 디스플레이(3)의 화면상에 예를 들면 각 결함 화상 데이 터(Dg1~Dg6) 또는 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)를 표시할 때, 각 결함부(G1~G6) 의 표시색을 결함의 종류마다 색을 바꾸어 표시 출력한다.When the display control part 8 displays each defect image data Dg 1 to Dg 6 or each overlay image data Dr 1 to Dr 6 on the screen of the display 3, for example, The display color of (G 1 to G 6 ) is displayed and outputted by changing the color for each type of defect.

표시 제어부(8)는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6), 또는 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)를 소트하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시한다. 소트하는 항목은, 결함 정보 기억부(7)에 기억되어 있는 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)에 관한 정보인 예를 들면 각 결함부(G1~G6)의 각 좌표순서, 각 휘도순서, 각 결함의 종류순서, 각 사이즈의 순서 등이다.The display control unit 8 sorts each original image data Dm 1 to Dm 6 , each defective image data Dg 1 to Dg 6 , or each overlay image data Dr 1 to Dr 6 , and displays the display 3. Display on the screen. To sort items, the defect information storage each defect portion on the glass substrate portion which is stored in (7) (G 1 ~ G 6) information which for example each defect unit (G 1 ~ G 6), each coordinate order of about , Order of brightness, order of types of defects, order of sizes, and the like.

표시 제어부(8)는, 매뉴얼 입력부(5)에 대한 매뉴얼의 선택 지시에 따라, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6), 또는 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)중에서 임의의 화상 데이터를 셀렉트하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시한다.The display control unit 8 according to the manual selection instruction to the manual input unit 5, each original image data Dm 1 to Dm 6 , each defective image data Dg 1 to Dg 6 , or each overlay image data. Arbitrary image data is selected from (Dr 1 to Dr 6 ) and displayed on the screen of the display 3.

검사 조건 변경부(9)는, 화상 보존부(6)에 보존되어 있는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)로부터 각 결함부(G1~G6)를 추출하는 검사 조건을 설정 변경한다. 검사 조건은, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)의 정상 레벨보다 높은 밝기(휘도 레벨)를 가지는 백색 레벨에 대한 제 1의 결함 검출 레벨(La)과, 정상 레벨보다 낮은 밝기를 가지는 흑색 레벨에 대한 제 2의 결함검출 레벨(Lb)의 설정 변경이다. 검사 조건은, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대한 콘트라스트 강조 레벨의 설정 변경이다.The inspection condition changing unit 9 sets and changes an inspection condition for extracting each defective portion G 1 to G 6 from the original image data Dm 1 to Dm 6 stored in the image storage unit 6. . The inspection condition is a first defect detection level La for a white level having a brightness (luminance level) higher than the normal level of each original image data Dm 1 to Dm 6 , and a black having a brightness lower than the normal level. It is a setting change of the 2nd defect detection level Lb with respect to a level. The inspection condition is a setting change of the contrast enhancement level for each original image data Dm 1 to Dm 6 .

이들 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 가변 방법은 다음과 같다.The method of varying these first and second defect detection levels La and Lb is as follows.

검사 조건 변경부(9)는, 도 1에 도시하는 바와 같이 디스플레이(3)의 화면상에 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 설정 변경하기 위한 결함 검출 레벨 변경 블록(BL)을 표시한다. 이 결함 검출 레벨 변경 블록(BL)에는, 도 4A에 도시하는 바와 같은 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 있어서의 예를 들면 단선 등의 백색 레벨의 결함부(Gh)에 대한 제 1의 결함 검출 레벨(La)을 가변하는 제 1의 가변 조작단으로서의 각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2)과, 도 4B에 도시하는 바와 같은 예를 들면 먼지 등에 의한 흑색 레벨의 결함부(Gd)에 대한 제 2의 결함 검출 레벨(Lb)을 가변하는 제 2의 가변 조작단으로서의 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)을 가진다.The inspection condition changing unit 9, as shown in FIG. 1, the defect detection level changing block BL for setting and changing the first and second defect detection levels La and Lb on the screen of the display 3. ). In the defect detection level changing block BL, the first to the defect portion Gh of the white level such as disconnection, for example, in each of the original image data Dm 1 to Dm 6 as shown in Fig. 4A. Each of the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 serving as the first variable operation stage for varying the defect detection level La of the defect level and a black level defective part such as dust or the like as shown in FIG. 4B. Each of the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 as a second variable operation stage for varying the second defect detection level Lb with respect to Gd is provided.

또한, 검사 조건 변경부(9)는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대한 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 일괄하여 설정 변경 가능하다. 검사 조건 변경부(9)는, 매뉴얼 입력부(5)의 마우스 등을 조작하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 포인터에 의하여 지정하고 개별적으로 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 설정 변경하는 것도 가능하다.In addition, the inspection condition changing unit 9 can collectively change the first and second defect detection levels La and Lb for the original image data Dm 1 to Dm 6 . The inspection condition changing unit 9 operates the mouse of the manual input unit 5 or the like to designate each of the original image data Dm 1 to Dm 6 by using a pointer, and individually to detect the first and second defect detection levels La. It is also possible to change the setting of Lb).

결함 검출 레벨 변경 블록(BL)에는, 매뉴얼 입력부(5)에 대한 매뉴얼 조작으로 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 임의로 가변했을 때의 각 결함부(G1~G6) 의 검출 결과를 디스플레이(3)의 화면상에 표시하여 확인하기 위한 확인 조작단인 에뮬레이트 버튼(EB)과, 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 자동 설정하기 위 한 자동 설정 버튼(AB)을 가진다.In the defect detection level changing block BL, each defect part G 1 to G 6 when the first and second defect detection levels La and Lb are arbitrarily changed by a manual operation on the manual input unit 5. Setting to automatically set the emulation button EB, which is a confirmation operation step for confirming the detection result of the detection on the screen of the display 3, and the first and second defect detection levels La and Lb. It has a button AB.

각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2), 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)은, 매뉴얼 입력부(5)에 대한 매뉴얼 조작에 의하여 설정된다. 제 1, 제 2의 가변 버튼(Bh1, Bd1)은 각각 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 높게 설정한다. 제 1, 제 2의 가변 버튼(Bh2, Bd2)은, 각각 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 낮게 설정한다.Each of the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 and each of the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 are set by manual operation on the manual input unit 5. The first and second variable buttons Bh 1 and Bd 1 set the first and second defect detection levels La and Lb high, respectively. The first and second variable buttons Bh 2 and Bd 2 set the first and second defect detection levels La and Lb to be low, respectively.

예를 들면 도 5A 및 도 5B에 도시하는 바와 같이 밝기를 좌측에 저레벨, 우측에 고레벨로 한 경우, 예를 들면 도 5A에 도시하는 바와 같이 원화상 데이터(Dm1) 에 대한 제 1의 결함 검출 레벨(La)을 저레벨 측에 설정하면, 결함부(G1)에 대한 검출 정밀도가 엄격해지고, 고레벨 측에 설정하면, 결함부(G1)에 대한 검출 정밀도가 느슨해진다.For example, when the brightness is set to the low level on the left side and the high level on the right side as shown in Figs. 5A and 5B, for example, as shown in Fig. 5A, the first defect detection for the original image data Dm 1 is detected. When the level La is set on the low level side, the detection precision for the defective portion G 1 becomes strict, and when set on the high level side, the detection precision for the defective portion G 1 becomes loose.

따라서, 제 1의 결함 검출 레벨(La)보다 밝기가 고레벨로 결함부(G1)가 있으면, 해당 결함부(G1)는 검출 레벨역(Wa)에 있어서 검출 가능하다. 도 5B에 도시하는 바와 같이 결함 검출 레벨(La)보다 저레벨 측에 결함부(G1)가 있으면, 해당 결함부(G1)는 검출 불가역(Wb)에 있어서 검출 불가능하다.Thus, if a first fault detection level (La) in the brightness than the high level defect portion (G 1) of the defect portion (G 1) can be detected by the detection level station (Wa). As shown in FIG. 5B, when there is a defective portion G 1 on the lower level side than the defect detecting level La, the defective portion G 1 is not detectable in the irreversible portion Wb.

또한, 제 2의 결함 검출 레벨(Lb)에 대해서는, 해당 제 2의 결함 검출 레벨 (Lb)보다 밝기가 저레벨로 결함부(G1)가 있으면, 해당 결함부(G1)는 검출 레벨역(Wa)에 있어서 검출 가능하다. 따라서, 원화상 데이터(Dm1)에 대한 제 2의 결함 검출 레벨(Lb)을 저레벨 측에 설정하면, 결함부(G1)에 대한 검출 정밀도가 느슨해지고, 고레벨 측에 설정하면, 결함부(G1)에 대한 검출 정밀도가 엄격해진다.With respect to the defect detection level (Lb) of a second, if there is a defect portion (G 1), the brightness than the defect detection level (Lb) of the second to the low level, the defect portion (G 1) is detected level station ( Wa) can be detected. Therefore, if the second defect detection level Lb for the original image data Dm 1 is set on the low level side, the detection accuracy for the defect portion G 1 is loosened, and if it is set on the high level side, the defect portion ( The detection accuracy with respect to G 1 ) becomes strict.

이와 같이 각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2), 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)을 매뉴얼 조작하여 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 임의로 설정한 상태로 에뮬레이트버튼(EB)을 조작하면, 검사 조건 변경부(9)는, 설정 변경된 제 1의 결함 검출 레벨(La) 또는 제 2의 결함 검출 레벨(Lb)을 이용하여 화상 보존부(6)에 보존되어 있는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대해서 각 결함부(G1~G6)의 검출을 행하고, 이 검출 결과로 재추출된 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)를 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다.As described above, the first and second defect detection levels La and Lb are arbitrarily set by manually operating the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 and the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 . When the emulation button EB is operated in one state, the inspection condition changing unit 9 uses the set and changed first defect detection level La or the second defect detection level Lb to save the image. Each defect image G 1 to G 6 is detected for each of the original image data Dm 1 to Dm 6 stored in the image), and each defect image data Dg 1 to Dg 6 reextracted as a result of the detection. ) Is displayed on the screen of the display 3 in a list.

자동 설정 버튼(AB)을 조작하면, 검사 조건 변경부(9)는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 또는 1장의 원화상 데이터(Dm1, …, 또는 Dm6)에 대한 제 1과 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 따로 따로 자동 설정한다.When the automatic setting button AB is operated, the inspection condition changing unit 9 controls the original image data Dm 1 to Dm 6 or one original image data Dm 1 to Dm 6 . The first and second defect detection levels La and Lb are automatically set separately.

제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 자동 설정은 다음과 같이 행하여진다.Automatic setting of the first and second defect detection levels La and Lb is performed as follows.

예를 들면, 도 6A에 도시하는 원화상 데이터(Dm1)에 대한 제 1의 결함 검출 레벨(La)을 자동 설정하는 경우, 먼저, 검사 조건 변경부(9)는, 도 6B에 도시하는 바와 같이 원화상 데이터(Dm1)를 유리 기판상에 형성된 규칙적인 패턴의 1주기분만큼 옆으로 비켜나게 한 횡화상 데이터(Dm1')를 작성한다.For example, when automatically setting the first defect detection level La for the original image data Dm 1 shown in FIG. 6A, first, the inspection condition changing unit 9 is as shown in FIG. 6B. as to create the original image data lateral image data (Dm 1 ') out of the way to remind one (Dm 1) to the side as long as one period of the regular pattern formed on a glass substrate.

다음에, 검사 조건 변경부(9)는, 도 6C에 도시하는 바와 같이 원화상 데이터(Dm1)와 화상 데이터(Dm1')와의 차이 화상 데이터(Dm1s)를 작성한다. 이 차이 화상 데이터(Dm1s)에서는, 유리 기판상에 형성된 규칙적인 패턴의 1주기분만큼 옆으로 비켜나게 하고 있으므로, 유리 기판상의 패턴이 상쇄되어 원화상 데이터(Dm1)상의 결함부(G1)와 옆으로 비켜나게 한 화상 데이터(Dm1')상의 결함부(G1')가 남는다.Next, the inspection condition changing unit 9 creates the difference image data Dm 1s between the original image data Dm 1 and the image data Dm 1 ′ as shown in FIG. 6C. In this difference image data Dm 1s , since the pattern on the glass substrate is offset by one cycle of the regular pattern formed on the glass substrate, the defect portion G 1 on the original image data Dm 1 is offset. ) And the defective portion G 1 ′ on the image data Dm 1 ′, which is deviated laterally, remain.

다음에, 검사 조건 변경부(9)는, 차이 화상 데이터(Dm1s)에 있어서의 각 화소의 밝기(원화상 데이터(Dm1)와 화상 데이터(Dm1')와의 각 화소의 밝기의 차이)의 데이터수를 카운트로서 도 6D에 도시하는 밝기의 도수 분포도를 작성한다. 이 밝기의 도수 분포도에 있어서 분포(K1)는 각 결함부(G1, G1')를 나타내고, 분포(K2)는 저레벨의 잡음을 나타낸다.Next, the inspection condition changing unit 9 performs brightness of each pixel in the difference image data Dm 1s (difference in brightness of each pixel between the original image data Dm 1 and the image data Dm 1 ′). A frequency distribution chart of brightness shown in Fig. 6D is created as the count of the data. In the frequency distribution diagram of the brightness, the distribution K 1 represents each defect portion G 1 , G 1 ′, and the distribution K 2 represents low level noise.

따라서, 각 결함부(G1, G1')를 검출하기 위해서, 검사 조건 변경부(9)는, 분포(K1)보다 저레벨로 제 1의 결함 검출 레벨(La)을 자동 설정한다.Therefore, in order to detect each defect unit (G 1, G 1 '), inspection condition changing unit (9), the distribution will be automatically set to the defect detection level (La) of the first to the low level than that (K 1).

검사 조건 변경부(9)는, 도 1에 도시하는 바와 같이 디스플레이(3)의 화면상에 콘트라스트 강조 레벨을 설정 변경하기 위한 콘트라스트 강조 레벨 변경 블록 (BC)을 표시한다.The inspection condition changing unit 9 displays a contrast enhancement level changing block BC for setting and changing the contrast enhancement level on the screen of the display 3 as shown in FIG.

콘트라스트 강조 레벨의 설정 변경은 다음과 같다.The setting change of the contrast enhancement level is as follows.

검사 조건 변경부(9)는, 예를 들면 원화상 데이터(Dm1)에 있어서의 각 화소의 밝기의 데이터수를 카운트로서 도 7A에 도시하는 밝기의 도수 분포도를 작성한다.The inspection condition changing unit 9 creates, for example, a frequency distribution chart of brightness shown in FIG. 7A as the count of the number of data of brightness of each pixel in the original image data Dm 1 .

다음에, 검사 조건 변경부(9)는, 밝기의 도수 분포도를 도 7B에 도시하는 바와 같이 밝기의 폭을 넓히고, 이 밝기의 폭을 넓힌 밝기의 도수 분포도에 따라 원화상 데이터(Dm1')로 변환한다. 이와 같이 얻어진 원화상 데이터(Dm1')는, 명암의 차이를 명료하게 한 화상이 되고, 결함부(G1)가 강조되어 디스플레이(3)의 화면상에 표시된다.Next, the inspection condition changing unit 9 enlarges the width of the brightness, as shown in Fig. 7B, and shows the original image data Dm 1 'according to the frequency distribution of the brightness which has widened the brightness. Convert to The original image data Dm 1 ′ thus obtained becomes an image in which the difference in contrast is made clear, and the defect portion G 1 is highlighted and displayed on the screen of the display 3.

결함 추출부(10)는, 검사 조건 변경부(9)에 의하여 설정 변경된 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb) 및 콘트라스트 강조 레벨의 검사 조건에 근거하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대해서 일괄하여 결함부의 추출 동작한다. 결함 추출부(1O)는, 매뉴얼 입력부(5)의 마우스 등을 조작하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 포인터에 의하여 지정하고 개별적으로 결함부의 추출 동작을 행한다.The defect extracting section 10 uses the original image data Dm 1 based on the inspection conditions of the first and second defect detection levels La and Lb and the contrast enhancement level set and set by the inspection condition changing unit 9. 6 ~ Dm) and batch extraction operation defect portion by about. The defect extracting unit 10 operates a mouse or the like of the manual input unit 5 to designate each original image data Dm 1 to Dm 6 by a pointer, and performs the extracting operation of the defect unit individually.

결함 정보 표시부(11)는, 디스플레이(3)의 화면상에 표시되어 있는 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)를 매뉴얼 입력부(5)의 마우스 등에 의하여 매뉴얼 지시하면, 해당 결함부(G1~G6)에 관한 정보, 즉 각 결함부(G1~G6)의 각 좌표, 각 휘도, 각 종류, 각 사이즈 등을 결함 정보 기억부(7)로부터 읽어내어 디스플레이 화면상에 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6), 또는 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)와 함께, 디스플레이 화면상의 빈 화면 영역에 맞추어 표시한다.If the defect information display unit 11 manually instructs each defect part G 1 to G 6 on the glass substrate displayed on the screen of the display 3 by a mouse or the like of the manual input unit 5, the defect part ( The information on G 1 to G 6 , that is, the coordinates, the luminance, the type, and the size of each defect unit G 1 to G 6 is read from the defect information storage unit 7 and displayed on the display screen. Together with the original image data Dm 1 to Dm 6 , the respective defective image data Dg 1 to Dg 6 , or the respective overlay image data Dr 1 to Dr 6 , the image is displayed in accordance with a blank screen area on the display screen.

다음에, 상기와 같이 구성된 장치의 동작에 대하여 설명한다.Next, the operation of the apparatus configured as described above will be described.

액정 디스플레이의 유리 기판상에 형성된 규칙적인 패턴을 검사하는 경우, 예를 들면 유리 기판의 제조 공정에 의하여 유리 기판상에 형성되는 층의 수가 다르거나, 레지스터 도포의 유무 등에 의하여 유리 기판상의 패턴 등의 보이는 방법이 변화했을 때에는, 유리 기판에 대한 검사 조건을 변경할 필요가 있다.In the case of inspecting the regular pattern formed on the glass substrate of the liquid crystal display, for example, the number of layers formed on the glass substrate by the manufacturing process of the glass substrate is different, or the pattern on the glass substrate due to the presence or absence of a resist coating, or the like. When the visible method changed, it is necessary to change the inspection conditions for a glass substrate.

화상 보존부(6)에는, 이미 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)를 가지는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)가 보존되어 있다. 이것과 함께 결함 정보 기억부(7)에는, 유리 기판상의 각 결함부(G1~G6)의 각 좌표, 각 휘도, 각 결함의 종류, 각 사이즈 등의 정보가 기억되어 있다.The original image data Dm 1 to Dm 6 having the respective defective portions G 1 to G 6 on the glass substrate is already stored in the image storage unit 6. Defect information storage section herewith (7), there is stored information such as the respective coordinates, the luminance, for each of these types, each size of each defect unit (G 1 ~ G 6) on the glass substrate.

매뉴얼 입력부(5)에 의하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 일람 표시하는 지시가 조작 입력되면, 표시 제어부(8)는, 화상 보존부(6)에 보존되어 있는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 읽어내어 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다.When an instruction to list each original image data Dm 1 to Dm 6 is operationally input by the manual input unit 5, the display control unit 8 stores each original image data stored in the image storage unit 6 ( Dm 1 to Dm 6 ) are read out and displayed on the screen of the display 3.

이들 일람 표시된 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 가지는 각 결함부(G1~G6)는, 액정 디스플레이 제조에 영향을 주기 때문에 반드시 검출을 필요로 하는 결함부(예 를 들면 각 결함부(G1~G3))와, 액정 디스플레이 제조에 영향을 주는 것이 아니고 검출을 필요로 하지 않는 결함부(예를 들면 각 결함부(G4~G6))를 가진다. 그래서, 반드시 검출을 필요로 하는 각 결함부(G1~G3)만을 확실하게 검출하기 위해서 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 설정 변경이 행하여진다.Each defect portion G 1 to G 6 included in each of the original image data Dm 1 to Dm 6 displayed in these lists affects the manufacturing of the liquid crystal display, and thus the defect portions (e.g., each defect) must be detected. Section G 1 to G 3 ) and a defect section (for example, each defect section G 4 to G 6 ) that does not affect the liquid crystal display manufacture and does not require detection. So, this is sure to change the settings of the first and second fault detection level (La, Lb) of only subjected to reliably detect each defective portion requiring detection (G 1 ~ G 3).

매뉴얼로 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 설정 변경하는 경우, 도 1에 도시하는 바와 같이 검사 조건 변경부(9)에 의하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시된 결함 검출 레벨 변경 블록(BL)중의 각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2)을 매뉴얼 입력부(5)로부터 매뉴얼 조작에 의하여 변경한다. 이것에 의하여, 도 4A에 도시하는 바와 같은 원화상 데이터(Dm1)에 있어서의 백색 레벨의 결함부(Gh)에 대한 결함 검출 레벨(La)이 설정 변경된다.In the case of manually changing the setting of the first and second defect detection levels La and Lb, the defect detection level displayed on the screen of the display 3 by the inspection condition changing unit 9 as shown in FIG. Each of the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 in the change block BL is changed from the manual input unit 5 by manual operation. In this way, it changes the original image data (Dm 1) failure detection level (La) of the defect portion (Gh) of the white level of the set as shown in Figure 4A.

또한, 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)을 매뉴얼 입력부(5)에서 매뉴얼 조작에 의하여 변경하는 것으로써, 도 4B에 나타내는 것 같은 흑색 레벨의 결함부(Gd)에 대한 제 2의 결함 검출 레벨(Lb)이 설정 변경된다.In addition, the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 are changed by the manual operation in the manual input unit 5, so that the second variable button Gd as shown in FIG. The defect detection level Lb is changed.

이와 같이 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)이 설정 변경된 후에, 에뮬레이트 버튼(EB)이 조작되면, 결함 추출부(1O)는, 검사 조건 변경부(9)에 의하여 설정 변경된 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)에 근거하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대해서 결함부의 추출 동작을 행한다.In this way, if the emulation button EB is operated after the first and second defect detection levels La and Lb are changed and set, the defect extraction unit 10 is set and changed by the inspection condition changing unit 9. Based on the first and second defect detection levels La and Lb, the extraction operation of the defective part is performed on each of the original image data Dm 1 to Dm 6 .

이 결함부의 추출 동작이 종료하면, 표시 제어부(8)는, 결함 추출부(10)에 의하여 추출된 각 결함부(G1~G6)만의 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)를 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다. 이것에 의하여, 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시된 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6)를 체크하는 것으로써, 설정 변경한 각 결함 검출 레벨(La, Lb)에 의한 각 결함부(G1~G6)의 검출 결과를 확인할 수 있다.When the extraction operation of the defective part is completed, the display control unit 8 displays the respective defective image data Dg 1 to Dg 6 only of each of the defective parts G 1 to G 6 extracted by the defect extracting part 10. The list is displayed on the screen in (3). Thereby, each defect part G by each defect detection level La and Lb which changed and set by checking each defect image data Dg 1 to Dg 6 displayed on the screen of the display 3 by this is checked. 1 to G 6 ) can be confirmed.

즉, 디스플레이(3)의 화면상에는, 반드시 검출해야 하는 각 결함부(G1~G3)를 포함하는 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3)가 표시되고, 검출하지 않아도 좋은 각 결함부(G4~G6, 유사 결함)는 표시되지 않는다. 이것에 의하여, 매뉴얼에 의해 설정 변경한 각 결함 검출 레벨(La, Lb)이 적절한 레벨인지를 즉시 판단할 수 있다.That is, on the screen of the display 3 , the respective defective image data Dg 1 to Dg 3 including each of the defective parts G 1 to G 3 , which must be detected, are displayed and each defective part ( G 4 to G 6 , similar defects) are not indicated. As a result, it is possible to immediately determine whether the defect detection levels La and Lb set and changed by the manual are at an appropriate level.

또한, 검출하지 않아도 되는 각 결함부(G4~G6)중 하나라도 표시되어 있으면, 다시 각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2), 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)을 매뉴얼 조작으로 하여 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 설정 변경한다.If any one of the defective portions G 4 to G 6 that do not need to be detected is displayed again, each of the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 and the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 again. ), The first and second defect detection levels La and Lb are set and changed by manual operation.

자동에 의하여 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 설정 변경하는 경우, 자동 설정 버튼(AB)을 매뉴얼 입력부(5)에 의하여 조작하면, 검사 조건 변경부(9)는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 또는 1장의 원화상 데이터(Dm1, …, 또는 Dm6)에 대한 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 따로 따로 자동 설정한다.In the case of automatically changing the setting of the first and second defect detection levels La and Lb, when the automatic setting button AB is operated by the manual input unit 5, the inspection condition changing unit 9 is each an original image data (Dm 1 ~ Dm 6), or one sheet of original image data (Dm 1, ..., or Dm 6) the first and second fault detection level for the (La, Lb) to separate automatically set aside.

예를 들면, 유사 결함으로 판정된 각 결함부(G4~G6)를 검출하지 않도록 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 자동 설정하는 경우, 검사 조건 변경부(9)는, 원화상 데이터(Dm4~Dm6)를 유리 기판상의 패턴의 1주기분만큼 옆으로 비켜나게 하고, 다음에 도 6C에 도시하는 바와 같이 원화상 데이터(Dm4~Dm6)와 옆으로 비켜나게 한 화상 데이터(Dm4'~Dm6')와의 차이 화상 데이터(Dm4S~Dm6S)를 작성한다.For example, in the case of automatically setting each of the defect portion is determined as a pseudo defect (G 4 ~ G 6) so as not to detect the first and second fault detection level of the (La, Lb), inspection condition changing unit (9) Deviates the original image data Dm 4 to Dm 6 to the side by one cycle of the pattern on the glass substrate, and next to the original image data Dm 4 to Dm 6 , as shown in FIG. 6C. Difference image data Dm 4S to Dm 6S from the shifted image data Dm 4 'to Dm 6 ' is created.

다음에, 검사 조건 변경부(9)는, 차이 화상 데이터(Dm4S~Dm6S)의 밝기의 도수 분포도를 작성하고, 이 밝기의 도수 분포도로부터 각 결함부(G4~G6), (G4'~G6')를 검출하기 위한 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 자동 설정한다.Next, the inspection condition changing unit 9 creates a frequency distribution diagram of the brightnesses of the difference image data Dm 4S to Dm 6S , and each defect portion G 4 to G 6 , (G) from the frequency distribution diagram of the brightnesses. The first and second defect detection levels La and Lb for detecting 4 'to G 6 ' are automatically set.

제 1의 결함 검출 레벨(La)의 자동 설정이 종료하면, 결함 추출부(10)는, 자동 설정된 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)에 근거하여 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대해서 결함부의 추출 동작을 행한다.When the automatic setting of the first defect detection level La is completed, the defect extraction unit 10 performs the original image data Dm 1 based on the automatically set first and second defect detection levels La and Lb. Extraction operation of the defective portion is performed with respect to ˜Dm 6 ).

표시 제어부(8)는, 결함 추출부(10)에 의하여 추출된 각 결함부(G1~G6, 진정한 결함)가 포함되는 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3)만을 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다. 이것에 의하여, 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시된 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3)를 체크하는 것으로써, 자동 설정한 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)이 적절한 레벨인가를 즉시 확인할 수 있다.The display control unit 8 is configured to display only the respective defect image data Dg 1 to Dg 3 including the respective defect parts G 1 to G 6 and true defects extracted by the defect extraction unit 10. List is displayed on the screen. As a result, the first and second defect detection levels La and Lb set automatically by checking the respective defect image data Dg 1 to Dg 3 displayed on the screen of the display 3 are appropriate. You can immediately check the level.

제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 매뉴얼 설정 또는 자동 설정을 행할 때, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)상의 각 결함부(G1~G6)를 강조하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시하기 때문에 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)의 콘트라스트를 강조할 수 있 다.When performing manual setting or automatic setting of the first and second defect detection levels La and Lb, the respective defects G 1 to G 6 on the respective original image data Dm 1 to Dm 6 are highlighted and displayed. By displaying on the screen in (3), the contrast of each original image data (Dm 1 to Dm 6 ) can be emphasized.

이와 같이 상기 일실시의 형태에 의하면, 유리 기판의 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 보존하고, 이들 원화상 데이터(Dm1~Dm6)에 대해서 각 결함 검출 레벨(La, Lb)을 매뉴얼 또는 자동에 의하여 설정 변경했을 때의 각 결함부(G1~G6)의 검출 결과를 디스플레이(3)의 화면상에서 확인할 수 있으므로, 최적의 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)로 용이하고 또한, 단시간에 설정 변경할 수 있다. 이 결과, 재설정한 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 기판 검사 장치(12)에 피드백하는 것으로써, 유리 기판 상태가 변화했을 때에도 기판 검사 장치(12)에서 기판 검사의 시작 시간을 단축할 수 있다.As described above, according to the shape of the one embodiment, keep the respective original image data of a glass substrate (Dm 1 ~ Dm 6), and these original image data (Dm 1 ~ Dm 6), each fault detection level for the (La, Lb) The detection result of each defect part G 1 to G 6 when the setting is changed by manual or automatic can be confirmed on the screen of the display 3, so that the optimum first and second defect detection levels La, Lb) can be easily changed in a short time. As a result, when the reset 1st and 2nd defect detection levels La and Lb are fed back to the board | substrate inspection apparatus 12, even when a glass substrate state changes, the board | substrate inspection apparatus 12 starts a board | substrate inspection. It can save time.

제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)의 매뉴얼 설정 또는 자동 설정을 행할 때는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)를 콘트라스트 강조의 처리를 행하는 것으로, 디스플레이(3)의 화면상에 표시하는 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)상의 각 결함부(G1~G6)를 강조하여 표시할 수 있고, 각 결함부(G1~G6)를 인식하기 쉬워진다.When performing manual setting or automatic setting of the first and second defect detection levels La and Lb, the screen of the display 3 is subjected to contrast enhancement processing for each original image data Dm 1 to Dm 6 . Each defect part G 1 -G 6 on each of the original image data Dm 1 to Dm 6 displayed on the image can be highlighted and displayed, and each defect part G 1 to G 6 is easily recognized.

각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)는, 유리 기판의 전면을 촬상하여 취득한 화상 데이터(D)중에서 결함 부분을 포함하는 일부의 영역만을 잘라내는 것으로, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)의 데이터 용량이 작아지고, 화상 보존부(6)의 보존 용량을 큰폭으로 삭감할 수 있음과 함께, 원화상 데이터, 결함 화상 데이터, 오버레이 화상 데이터를 단시간에 디스플레이(3)의 화면상에 표시할 수 있다.Each original image data Dm 1 to Dm 6 cuts out only a portion of the image data D obtained by capturing the entire surface of the glass substrate including the defective portion, and each original image data Dm 1 to Dm 6. ), The data capacity can be reduced, and the storage capacity of the image storage section 6 can be greatly reduced, and original image data, defective image data, and overlay image data can be displayed on the screen of the display 3 in a short time. can do.

표시 제어부(8)는, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6)중 예를 들면 매뉴얼 입력부(5)에 의하여 지시받은 원화상 데이터, 예를 들면 각 원화상 데이터(Dm1, Dm3)에 대해서만으로 설정 변경된 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)에 의하여 각 결함부(G1, G3)를 검출할 수 있다. 즉, 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)에 의하여 각 결함부(G1~G6)의 밝기, 예를 들면 단선 등의 백색 레벨의 결함부(Gh), 먼지 등에 의한 흑색 레벨의 결함부(Gd)를 검출할 수 있다. 이들 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)은, 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2), 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2)에 의하여 가변할 수 있고, 각 결함부(G1~G6)의 검출 정밀도를 임의로 변경 가능하다.The display control unit 8 stores original image data instructed by the manual input unit 5, for example, among the original image data Dm 1 to Dm 6 , for example, to each original image data Dm 1 and Dm 3 . Defects G 1 and G 3 can be detected by the first and second defect detection levels La and Lb which have been set and changed only. That is, the first and second defect detection levels La and Lb cause blackness due to the brightness of each defect portion G 1 to G 6 , for example, the defect portion Gh having a white level such as disconnection, dust or the like. The level defect part Gd can be detected. These first and second defect detection levels La and Lb can be varied by the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 and the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 , respectively. The detection accuracy of the defect parts G 1 to G 6 can be arbitrarily changed.

또한, 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 마련하지 않고 , 하나의 결함 검출 레벨을 마련하고, 이 결함 검출 레벨을 하나의 가변 버튼에 의하여 변경하여, 백색 레벨의 결함부(Gh)와 흑색 레벨의 결함부(Gd)를 따로 따로 검출하도록 하여도 좋다.In addition, without providing the first and second defect detection levels La and Lb, one defect detection level is provided, and this defect detection level is changed by one variable button so as to provide a white level defect portion ( Gh) and the black portion Gd may be detected separately.

표시 제어부(8)는, 매뉴얼 입력부(5)로부터의 선택 지시에 따라 각 결함부(G1~G6)를 검사하기 쉽도록, 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg6), 또는 오버레이 화상 데이터중에서 임의의 화상 데이터를 셀렉트하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시하거나, 또는 각 결함부(G1~G6)의 각 좌표순서, 각 휘도순서, 각 종류 순서, 각 사이즈 순서 등으로 소트하여 디스플레이(3)의 화면상에 표시할 수 있다.Display control unit 8, to make it easier to check for each of the defect portion (G 1 ~ G 6) according to a selection instruction from the manual input unit 5, each of the original image data (Dm 1 ~ Dm 6), each of the defect image data (Dg 1 to Dg 6 ), or arbitrary image data is selected from the overlay image data and displayed on the screen of the display 3, or the coordinate order and the luminance order of each defect part G 1 to G 6 , respectively. The data can be sorted in the order of each kind, each size, and the like and displayed on the screen of the display 3.

표시 제어부(8)는, 디스플레이(3)의 화면상에 각 결함부(G1~G6)의 검사에 따라 각종 방법으로 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3) 등을 표시 가능하다. 예를 들면, 검사 조건을 변경했을 때의 결함 추출부(10)에 의하여 추출된 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3) 만을 디스플레이(3)의 화면상에 일람 표시한다. 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)를 디스플레이(3)의 화면상에 표시한다. 각 결함 화상 데이터(Dg1~Dg3), 각 원화상 데이터(Dm1~Dm6), 또는 각 오버레이 화상 데이터(Dr1~Dr6)중 어느 하나를 디스플레이(3)의 화면상에 선택 표시한다. 각 결함부(G1~G6)를 결함의 종류별로 표시색을 변화시켜 디스플레이(3)의 화면상에 표시할 수 있다.Display control unit 8, in a variety of ways, depending on the test for each of these portions (G 1 ~ G 6) on the screen of the display 3 can display the image data, etc. Each defect (1 Dg ~ Dg 3). For example, only the defect image data Dg 1 to Dg 3 extracted by the defect extraction unit 10 when the inspection condition is changed are displayed on the screen of the display 3. Each overlay image data Dr 1 to Dr 6 is displayed on the screen of the display 3. Selectively display any one of each defective image data Dg 1 to Dg 3 , each original image data Dm 1 to Dm 6 , or each overlay image data Dr 1 to Dr 6 on the screen of the display 3. do. Each defect part G 1 to G 6 can be displayed on the screen of the display 3 by changing the display color for each kind of defect.

검사 조건 변경부(9)는, 각 결함부(G1~G6)의 검사에 따라 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 일괄 또는 개별적으로 설정 변경 가능하다. 게다가 제 1, 제 2의 결함 검출 레벨(La, Lb)을 가변했을 때의 각 결함부(G1~G6)의 검출 결과를 디스플레이(3)의 화면상에 표시하여 확인하기 위한 에뮬레이트 버튼(EB)을 가진다.The inspection condition changing unit 9 can collectively or individually set and change the first and second defect detection levels La and Lb in accordance with the inspection of each defect unit G 1 to G 6 . In addition, an emulation button for displaying and confirming the detection results of the respective defect portions G 1 to G 6 when the first and second defect detection levels La and Lb are varied on the screen of the display 3 ( EB).

또한, 상기 일실시의 형태는, 다음과 같이 변형하여도 좋다.In addition, you may modify the said one Embodiment as follows.

제 1의 가변 조작단으로서의 각 제 1의 가변 버튼(Bh1, Bh2), 제 2의 가변 조작단으로서의 각 제 2의 가변 버튼(Bd1, Bd2), 확인 조작단인 에뮬레이트 버튼(EB)은, 디스플레이(3)의 화면상에 표시하는 것에 한정하지 않고, 각각 조작반 등 에 마련한 스윗치를 이용하여도 좋고, 또는 키보드의 키 조작에 의하여 조작하도록하여도 좋다.Each of the first variable buttons Bh 1 and Bh 2 as the first variable operation stage, each of the second variable buttons Bd 1 and Bd 2 as the second variable operation stage, and an emulation button EB which is a confirmation operation stage. ) Is not limited to display on the screen of the display 3, and may be used by switches provided on the operation panel or the like, or may be operated by key operation of the keyboard.

본 발명은, 액정 디스플레이의 유리 기판에 대한 기판 검사 장치에 이용하는 결함 검출 레벨의 설정 변경에 한정되지 않고, 규칙적인 패턴의 형성된 반도체 웨이퍼의 검사에도 적용할 수 있다.This invention is not limited to the setting change of the defect detection level used for the board | substrate inspection apparatus with respect to the glass substrate of a liquid crystal display, It is applicable also to the test | inspection of the formed semiconductor wafer of a regular pattern.

Claims (16)

검사 대상의 화상 데이터로부터 잘라내어진 상기 검사 대상상의 결함부를 포함하는 원화상 데이터를 보존하는 화상 보존부와,An image preservation unit for storing original image data including a defect portion on the inspection object cut out from the image data of the inspection object; 상기 화상 보존부에 보존되어 있는 상기 원화상 데이터로부터 상기 결함부를 추출하는 검사 조건을 설정 변경하는 검사 조건 변경부와,An inspection condition changing unit for setting and changing inspection conditions for extracting the defective portion from the original image data stored in the image storing unit; 상기 검사 조건 변경부에 의하여 설정 변경된 상기 검사 조건에 근거하여 상기 원화상 데이터로부터 상기 결함부를 포함하는 결함 화상 데이터를 추출하는 결함 추출부와,A defect extraction unit for extracting defect image data including the defect unit from the original image data based on the inspection condition set and changed by the inspection condition changing unit; 상기 화상 보존부에 보존되어 있는 상기 원화상 데이터, 또는 상기 결함 추출부에 의하여 추출된 상기 결함 화상 데이터를 디스플레이 화면상에 일람 표시하는 표시 제어부를 구비한 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And a display control section which displays a list on the display screen of the original image data stored in the image storage section or the defect image data extracted by the defect extraction section. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화상 보존부는, 복수의 상기 원화상 데이터를 보존하고,The image storage unit stores a plurality of the original image data, 상기 검사 조건 변경부는, 지정한 임의의 상기 원화상 데이터 또는 모든 상기 원화상 데이터에 대해서 상기 검사 조건의 설정 변경을 행하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit changes the setting of the inspection conditions for the specified arbitrary original image data or all the original image data. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 상기 디스플레이 화면상에 결함 검출 레벨을 가변하는 가변 버튼을 표시하고,The inspection condition changing unit displays a variable button for varying a defect detection level on the display screen, 상기 결함 추출부는, 상기 가변 버튼에서 설정된 상기 검사 조건에 따라 상기 원화상 데이터로부터 상기 결함부를 추출하고, 상기 표시 제어부는, 상기 가변 버튼과 상기 결함 추출부에 의하여 추출된 상기 결함 화상 데이터를 표시하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.The defect extracting unit extracts the defect unit from the original image data according to the inspection condition set by the variable button, and the display control unit displays the defect image data extracted by the variable button and the defect extracting unit. And a defect display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 상기 원화상 데이터와 상기 원화상 데이터를 규칙적인 패턴의 주기분만큼 비켜나게 하여 얻은 원화상 데이터와의 차이 화상 데이터를 작성하고, 상기 차이 화상 데이터에 있어서의 각 화소에 대한 밝기의 도수 분포에 근거하여 결함 검출 레벨을 자동 설정하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.The inspection condition changing unit generates difference image data between the original image data and the original image data obtained by shifting the original image data by a period of a regular pattern, and for each pixel in the difference image data. And a defect detection level is automatically set based on the frequency distribution of brightness. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 상기 검사 조건으로서 상기 원화상 데이터의 밝기에 대한 결함 검출 레벨을 설정 변경하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit sets and changes a defect detection level for the brightness of the original image data as the inspection condition. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 검사 조건 변경부는, 상기 원화상 데이터에 있어서의 백색 레벨 결함부와 흑색 레벨과의 상기 결함 검출 레벨을 각각 가변하는 가변 조작단을 가지는 것 을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit has a variable operation stage for varying the defect detection level between the white level defect unit and the black level in the original image data, respectively. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 복수의 상기 원화상 데이터에 대한 결함 검출 레벨을 일괄하여 설정 변경 가능한 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit can collectively change the defect detection levels for the plurality of original image data. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 복수의 상기 원화상 데이터를 지정하여 개별적으로 상기 결함부를 추출하는 상기 검사 조건을 설정 변경 가능한 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit is capable of setting and changing the inspection condition for designating a plurality of the original image data and extracting the defect portions individually. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시 제어부는, 상기 검사 조건 변경부에 의하여 상기 검사 조건을 가변했을 때의 상기 각 결함부의 검출 결과를 상기 디스플레이 화면상에 표시시키는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit displays the detection result of each defect unit when the inspection condition is changed by the inspection condition changing unit on the display screen. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 표시 제어부는, 상기 검사 조건 변경부에 의하여 상기 검사 조건을 변경했을 때의 상기 결함 추출부에 의하여 추출되는 상기 결함 화상 데이터만을 상기 디스플레이 화면상에 일람 표시하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit displays only the defect image data extracted by the defect extraction unit when the inspection condition changing unit changes the inspection condition on the display screen. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 검사 조건 변경부는, 상기 검사 조건으로서 상기 원화상 데이터의 콘트라스트를 강조하는 설정 변경을 행하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the inspection condition changing unit changes a setting to emphasize the contrast of the original image data as the inspection condition. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시 제어부는, 상기 결함 화상 데이터, 상기 원화상 데이터, 또는 상기 결함 화상 데이터와 상기 원화상 데이터를 맞춘 오버레이 화상 데이터중 어느 하나를 상기 디스플레이 화면상에 선택 표시 가능한 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit is capable of selectively displaying any one of the defective image data, the original image data, or overlay image data in which the defect image data and the original image data are matched on the display screen. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 표시 제어부는, 상기 결함부를 결함의 종류별로 표시색을 변화시켜 상기 디스플레이 화면상에 표시하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit displays the defect unit on the display screen by changing a display color for each type of defect. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 표시 제어부는, 상기 원화상 데이터, 상기 결함 화상 데이터 또는 상기 오버레이 화상 데이터에 대해서 소트 또는 셀렉트하여 상기 디스플레이 화면상에 표시 가능한 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit can sort or select the original image data, the defect image data, or the overlay image data and display the result on the display screen. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 표시 제어부는, 상기 결함부의 좌표순서, 휘도순서, 결함의 종류순서 또는 사이즈순서의 항목에 의하여 상기 소트하는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And the display control unit sorts the items according to the coordinate order, luminance order, type of defect order, or size order of the defect section. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 결함부에 관한 정보를 기억하는 결함 정보 기억부와,A defect information storage section for storing information about the defect section; 상기 디스플레이 화면상에 표시되어 있는 상기 결함부를 지시하면, 해당 결함부에 관한 상기 정보를 상기 결함 정보 기억부로부터 읽어내어 상기 디스플레이 화면상에 표시하는 결함 정보 표시부를 가지는 것을 특징으로 하는 결함 표시장치.And a defect information display section for reading out the information about the defect section from the defect information storage section and displaying it on the display screen when instructing the defect section displayed on the display screen.
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