KR20020069254A - 와이어 방전가공방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

가공전력 공급수단(16)에 의해 와이어전극(1a)와 피가공물(2)와의 극간에 방전 에너지를 공급하고 위치결정 수단에 의해 와이어전극(1a) 및 피가공물(2)를 상대 이동 시켜서 피가공물(2)을 가공하는 와이어 방전가공에서 가공액중(4a)에서 초벌가공을 하는 제1의 공정과 공기, 산소, 질소 또는 불활성 가스등의 기체(7)중에서 다듬질가공을 하는 제2의 공정을 구비하고, 상기 제2의 공정에서의 와이어전극 (1a)과 피가공물(2)과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않은 소정속도 이상에서 일정하게 되도록 제어수단(17)에 의해 위치결정 수단을 제어한다.

와이어 방전가공의 고정밀도화 및 고품위화 및 생산성의 향상을 실현할 수 가 있다.

Description

와이어 방전 가공방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR ELECTRODISCHARGE WIRE MACHINING}

방전가공은 금형등의 가공기술로서 확고한 지위를 구축하고 있고, 자동차 산업, 가전산업, 반도체산업등의 금형 가공분야에서 사용되어 왔다.

도 4는 방전가공의 메카니즘의 설명도이고, 도면에서 1은 전극, 2는 피가공0물, 3은 아크주, 4는 가공액, 5는 방전가공에 의해 생성된 가공설이다. 아래의(a) 내지 (e)의 싸이클(도4의 (a) 내지 (e)에 대응)을 반복 하면서 피가공물(2)의 방전에 의한 제거가공이 진행한다.

즉, (a)방전의 발생에 의한 아크주(3)의 형성, (b)방전의 열에너지에 의한 국부적 용융 및 가공액(4)의 기화, (c)가공액(4)의 기화폭발력의 발생, (d)용융부(가공설 5)의 비산, (e)가공액에 의한 냉각, 응고, 극간의 절연회복이다.

본 발명은 방전가공 중에도 파내기 가공, 절단가공등에 사용되는 와이어 방전 가공에 관한 것이다. 와이어 방전 가공은 특히 고정밀도에의 요구가 강화되고 있고, 예를들면 반도체업계에서 사용되는 고정밀도 금형의 가공에서의 1 ~ 2㎛정도의 높은 가공정밀도가 요구되게 되었다.

도 5는 와이어 방전가공의 가공 프로세스의 예를 표시하는 설명도이고, 도면에서 1a는 와이어전극, 2는 피가공물, 4a는 가공액인 물, 6은 이니셜 홀이고, 도 5의(a)는 초벌가공인 퍼스트 컷을 도 5의(b)는 초벌가공후의 중 다듬질가공인 세컨드 컷을 도 5의(c)는 최종 다듬질가공인 서드컷을 표시하고 있다.

도 5의 (a)의 퍼스트컷의 가공예는 이니셜 홀(6)에 와이어전극(1a)을 통해서 피가공물(2)을 파내는 가공을 표시하고 있다. 이와같은 퍼스트 컷의 경우 후의 가공에서 면 거칠기 및 정밀도를 다듬질 하기 위해 그다지 심한 면의 거칠기와 정밀도는 요구되지 않고 생산성 향상을 위해 특히 가공속도를 올리는 것이 중요하다. 와이어 방전가공에서 가공속도를 올리기 위해서는 극간으로부터의 가공설의 배출을 효율적으로 실시하기 위해 물(4a)을 극간에 강하게 뿌려주는 일이 실시되고 있다.

또, 극간에의 물(4a)이 끼언져 있는 얼룩을 없이하고 와이어전극(1a)의 단선을 방지하기 위해 도시하지 않은 가공조중에 물(4a)를 담아서 피가공물(2)를 침지하는 방법이 사용된다.

이상과 같은 종래의 와이어 방전가공에서는 퍼스트 컷(도 5의(a))후의 세컨드 컷(도 5의(b)) 및 서드컷(도 5의(c))등의 가공도, 가공액인 물(4a)중에서 실시된다.

와이어전극(1a)과 피가공물(2)의 극간에 전압이 인가되면 플러스 극성과 마이너스 극성은 서로 끌어당기는 힘이 작용하기 때문에 이 정전력에 의해 강성이 적은 와이어전극(1a)은 피가공물(2)측으로 끌어 당겨지게 된다.

이것이 와이어전극(1a)의 진동의 원인이 되고 이와같은 진동에 의해 고정밀도 가공이 곤란하게 된다는 문제점이 있었다.

또, 방전에너지에 의해 가공액의 기화폭발력이 발생한 상태(예를들면 도4의 (c))에서는 와이어전극(1a)에는 가공액의 기화폭발력에 의해 피가공물(2)과 반대방향으로 큰 힘이 작용되고 진동이 발생한다.

이와같은 진동에 의해 피가공물(2)의 형상에 凹,凸이 생기고, 정밀도의 악화에 연결된다는 문제점이 있었다.

와이어 방전가공의 이용분야인 반도체업계등에서 예를들면 IC리드 프레임의 금형등의 가공에서 형상 정밀도가 1㎛, 면거칠기가 1㎛ Rmax 이하라는 피가공물에 대해 극히 고정밀도이고, 또 대단히 매끄러운 면이 요구되는 동시에 생산성의 향상이 필요한 용도가 증가하고 있고, 특히 이와같은 용도에서는 상기와 같은 와이어전극의 진동등에 기인하는 문제점이 현저하 였었다.

이와같은 액중 와이어 방전가공의 문제점을 해결하는 방책으로서 극간에 가공액을 개재 시키지않고 대기중에 와이어 방전가공을 하는 기중 와이어 방전가공에 관한 기술이 개시되어 있다.

(동경 농공대학 아다치외 「기중 방전가공에 의한 세컨드 컷의 고정밀도화」 형기술 제14권, 제7호, 1999년 154 P 일간공업신문사) 이 기술에서는 대기중에서의와이어 방전가공에 의해 피가공물 절단면의 진직 정밀도를 향상할 수 있는 것이 개시되어 있고, 고정밀도의 관점에서의 의의는 크나 가공액중에서의 가공과 비해 와이어전극과 피가공물과의 사이에서 단락이 발생하기 쉬운등 가공 안정성 및 가공속도의 면에서의 문제가 있고 실용화가 곤란 했었다.

(발명의 개시)

와이어 방전가공의 고정밀도화 및 고품위화 및 생산성의 향상을 실현할 수 있는 와이어 방전 가공방법 및 장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법은 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생 시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공방법에서 가공액중에서 초벌가공을 하는 제1의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제2의 공정을 구비하고, 상기 제2의 공정에서의 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정 속도 이상에서 일정하게 하는 것이다.

또, 이 발명에 관한 와이어 방전가공 방법은 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공방법에서 가공액 중에서 초벌가공을 하는 제1의 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제2의 공정을 구비하고, 상기 제2의 공정에서의 와이어전극과 피기공물과의 상대 이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속되지 않는 소정속도 이상에서 가변으로 하는 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법은 상기 가변으로 하는 상대 이동속도를 단위시간당의 정상 방전펄스수가 많은 경우에는 속도를 올리고 단위시간당의 정상 방전펄스수가 적은 경우에는 속도를 내리도록 제어하는 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법은 상기 단락이 요구사항에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도와 방전 집중 발생빈도가 요구사양에 따라 미리 설정한 빈도 이하가 되는 소정속도를 비교해서 빠른쪽의 속도 이상이 되도록 상기 상대이동속도를 제어하는 것이다.

본 발명에 관한 와이어 방전 가공장치는 가공전력 공급수단에 의해 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정 수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대 이동 시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공장치에서 상기 와이어전극과 상기 피가공물과의 상대 이동속도 를 상기 극간에 단락이 요구사항에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도 이상에서 일정하게 되도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비된 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공장치는 가공전력 공급수단에 의해 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전 에너지를 공급하고, 위치결정 수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대 이동시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공장치에서 상기 와이어전극과 상기 피가공물과의 상대 이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정된 시간 이상 계속하지 않는 소정속도 이상에서 가변이 되도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공장치는 상기 가변한 상대이동속도를 단위시간당의 정상 방전펄스수가 많은 경우에는 속도를 올리고, 단위시간당의 정상 방전 펄스수가 적은 경우에는 속도를 내리도록 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

또, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공장치는 상기 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도와 방전 집중 발생빈도가 요구사양에 따라 미리 설정한 빈도 이하가 되는 소정속도를 비교해서 빠른쪽의 속도 이상에 상기 상대이동속도가 되도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것이다.

본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법 및 장치는 이상과 같이 구성되어 있으므로 기중 와이어 방전가공의 안정성 및 가공속도를 향상 시킬 수 있고, 와이어 방전가공의 고정밀도화 및 고품위화 및 생산성의 향상을 실현할 수 있는 효과를 나타낸다.

본 발명은 와이어전극과 피가공물과의 극간 간극에 방전을 발생시켜서 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공방법 및 장치의 개량에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전 가공방법의 한 예를 표시하는 설명도,

도 2는 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전 가공장치의 구성을 표시하는 설명도,

도 3은 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도 및 방전집중 발생빈도의 관계를 표시하는 도면,

도 4는 방전가공의 메카니즘의 설명도,

도 5는 와이어 방전가공의 가공 프로세스의 예를 표시하는 설명도.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전 가공방법의 한예를 표시하는 설명도이고, 도면에서 1a는 와이어전극, 2는 피가공물, 4a는 가공액인 물, 6은 이니셜 홀, 7은 공기등의 기체이고, 도 1의(a)는 초벌가공인 퍼스트 컷을 도 1의 (b)는 초벌가공후의 다듬질가공인 세컨드 컷을 표시하고 있다.

퍼스트 컷 및 세컨드 컷이라는 명칭은 편의상의 것이고, 반드시 와이어 방전 가공이 2회의 가공으로 종료되는 것은 아니다. 피가공물에의 요구 정밀도가 높은 가공에서는 7회, 8회의 가공을 하는 경우도 있다.

다음, 가공방법의 개략에 대해 설명한다. 도 1(a)의 퍼스트 컷은 이니셜 홀(6)에 와이어전극(1a)을 통하고 피가공물(2)을 파내는 가공이다.

퍼스트 컷에서는 후의 가공에서 면의 거칠기 및 정밀도를 다듬기 위해 대단히 엄격한 면의 거칠기 및 정밀도는 요구되지 않고, 생산성 향상을 위해 특히 가공속도를 올리는 것이 중요하고, 배경기술의 도 5와 같이 가공액인 물(4a)을 극간에 개재시켜 가공을 한다.

통상의 와이어 방전 가공에서는 퍼스트 컷 후에도 가공액 중에서 가공이 진행되나 배경기술에 표시한 바와 같이 와이어전극의 진동등의 문제가 있으므로 고정밀도 가공에는 적합하지 않다.

본 발명은 다듬질가공에서 극간에 가공액을 개재시키지 않고 가공을 해서 피가공물의 형상 정밀도 및 면의 거칠기를 개선하는 것이다.

도 1(b)의 다듬질가공인 세컨드 컷에서는 와이어전극(1a)의 진동을 억제해서 가공정밀도를 개선하기 위해 가공액(4a)중에서의 가공이 아니고 기체중(7)에서의 가공을 하는 것이다.

이와같은 기중 와이어 방전가공에 의해 아래에 표시하는 바와 같이 와이어전극(1a)의 진동등을 억제할 수가 있다.

즉, 극간에 전압이 인가 되었을때에 와이어전극(1a)과 피가공물(2)에 작용하는 정전력은 극간의 유전율에 비례하므로 같은 극간 거리로서 계산하면 극간의 개재물이 물(4a)인 경우에 비해 극간의 개재물이 기체(7)인 경우에는 상기 정전력이 수십분지 1이 된다. (예를들면 유전율은 진공중이 가장작고 수중에서는 진공중의 약 80배 이다)

또, 방전에 의한 기화 폭발력은 극간에 개재하는 액체에 의해 생기므로 극간에 기체(7)만 존재할 경우에는 와이어전극(1a)은 기화폭발력이 영향을 거의 받지 않는다.

따라서, 와이어전극(1a)의 진동등을 억제할 수가 있다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태에 관한 와이어 방전가공장치의 구성을 표시하는 설명도이고, 도 1(b)에 표시한 바와 같은 기중 와이어 방전가공을 실현할 수 있는 구성예를 표시한 것이다. 도 2에서 1a는 와이어전극, 2는 피가공물, 7은 예를들면 공기, 산소, 질소 또는 불활성 가스등의 기체, 8은 와이어 보빈, 9a 및 9b는 와이어전극(1a)과 피가공물(2)와의 극간에 기체(7)을 공급하는 기체 공급수단, 10은 캡스턴 롤러, 11은 핀치롤러, 12는 피가공물(2)의 수평방향(X 방향)의 구동을 하기 위한 X 테이블, 13은 피가공물(2)의 수평방향(Y 방향)의 구동을 하기 위한 Y 테이블, 14는 X 테이블(12)을 구동하는 도시하지 않은 구동모터를 제어하는 X축 서보앰프, 15는 Y 테이블(13)을 구동하는 도시하지 않은 구동모터를 제어하는 Y축 서보앰프, 16은 가공 전력 공급수단, 17은 제어수단이다.

다음 동작에 대해 설명한다. 캡스턴 롤러(10) 및 핀치롤러(11)에 의해 와이어전극(1a)를 협지해서 견인해 와이어전극(1a)을 주행시켜 와이어전극(1a)과 피가공물(2)을 대향시켜 기체 공급수단(9a) 및 (9b)에 의해 와이어전극(1a)과 피가공물 (2)와의 극간에 기체(7)을 공급하면서 상기 극간에 가공전력수단(16)에 의해 방전 에너지인 가공전력을 공급하고, 위치결정 수단인 X 테이블(12) 및 Y 테이블 (13)등에 의해 와이어전극(1a)과 피가공물(2)를 상대 이동시켜서 피가공물(2)의 다듬질가공을 한다.

상기, 위치결정 수단에 의한 와이어전극(1a)과 피가공물(2)와의 상대 위치 결정제어 및 전기 가공조건의 제거등은 제어수단(17)에 의해 통괄한다. 기체공급수단(9a) 및 (9b)는 예를들면 와이어전극(1a)의 주위에 노즐을 형성해서 압력기체를 공급하는 것 등에 의해 실현할 수 있다.

이와같은 압력기체의 극간에의 공급에 의해 방전에 의해 제거된 가공설의 와이어전극 및 피가공물 표면에의 부착을 방지할 수가 있다.

기중와이어 방전가공은 이같은 기체공급수단(9a) 및 (9b)를 사용하지 않고 대기중에서 실시할 수도 있다.

도 1(b)의 설명에서 표시한대로 기중와이어 방전 가공에서는 와이어전극의 진동등을 억제할 수가 있으므로 피가공물의 형상 정밀도 및 면의 거칠기가 향상되나 기중방전에 특유한 문제도 존재한다. 가장 큰 문제는 극간 거리가 좁은 것이다.

통상의 가공액중에서의 와이어 방전가공에서는 극간에 개재하는 가공설등의영향에 의해 발생할때의 극간 거리가 넓어지나, 기중 와이어 방전가공의 경우에는 가공설이 극간에 체류한다는 것이 거의 없으므로 극간거리가 좁아진다.

극간 거리가 좁다는 것은 가공 정밀도를 좋게할 수 있다는 이점 이기도 하나 한편으로는 배경기술에서 표시한 바와 같이 가공중에 와이어전극과 피가공물이 단락하기 쉽다는 문제점을 가지고 있고 단락의 발생 및 계속은 가공면에의 줄의 발생 및 가공속도의 저하등의 원인이 되었었다.

즉, 기중와이어 방전가공에서 일단 단락이 발생하면 같은 장소를 지나 가거나 되돌아 오는 것을 반복하고, 단락을 쉽게 해소 할 수 없어 가공면에 줄을 두게하는 일이 많다.

이와같은 현상의 원인은 해명되고 있지는 않으나 아래의 ① 내지 ③의 추정원인이 생각된다.

① 단락이 발생할때는 가공되지 않으나 단락 발생 직전까지의 가공부분은 상대적으로 패이고 단락한 부분의 凸의 형상이 되고 가공면에 凹, 凸이 형성된다.

단락에 의해 전극은 역으로 되돌아 가나 극간의 평균 전압에 의해 와이어전극과 피가공물과의 극간 거리를 제어하는 소위 극간 서보를 실시하고 있는 경우에는 지난번 단락한 부분의 직전의 부분은 가공되어 있으므로 극간의 평균 전압이 높아지고 상기 상대이동속도가 빨라진다.

이 상태에서 전번 단락한 부분에 이르면 상기 상대이동속도의 급 저하가 않되고 다시 단락이 발생한다. 이상과 같은 현상을 반복해서 같은 장소에서의 단락을 반복한다.

② 단락이 발생하면 와이어전극이 피가공물에 용착하는 경우가 있고 이 용착부분이 강제로 떨어지게 되면 와이어전극의 진행방향과 직교하는 방향(피가공물의가공면의 방향)에 와이어전극이 진동하고, 그 진동이 좀체로 감쇄하지 않으므로 피가공물 가공면의 凹 凸과 와이어전극의 단락이 계속된다.

③ 피가공물 재료와 와이어전극의 조합에 의하면 방전 가공에 의해 피가공물이 자화되고, 와이어전극과 서로 끌어 다니므로 단락이 해소되지 않는다.

이상과 같은 추정원인이 생각되나 어찌되었던 일정한 장소에 일정시간 이상 와이어전극이 체류되는 것이 문제라고 할 수 있다.

그래서, 본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법에서는 기중와이어 방전가공에서 와이어전극과 피가공물을 단락이 요구 가공면 정밀도등의 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도 이상으로 상대 이송 시키면서 가공을 실시하는 것이다.

또, 이 경우의 제어는 극간서보는 하지 않고 와이어전극과 피가공물을 상기 소정속도 이상으로 항상 상대 이동 시킨다.

상기, 소정속도는 피가공물의 재질 및 판두께, 와이어전극의 재질 및 직경 및 방전가공의 전기 조건등의 가공 조건으로 결정되고, 피가공물의 판두께가 두꺼울 수록 와이어전극의 직경이 작을수록 또 방전가공의 전기조건에 의한 방전 에너지가 작을수록 빠르게 할 필요가 없고, 피가공물의 재질 및 판두께, 와이어전극의 재질 및 직경 그리고 방전 가공의 전기조건등의 가공조건에 따라 미리 실험으로 결정해 두면 된다.

또, 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 상기 소정속도 이상으로 해서 일정속도로 가공을 해도되고, 상기 소정속도 이상에서 가변으로 해도된다.

상기, 상대 소정속도 이상에서 가변으로 하는 경우는 예를들면 단위시간당의 정상 방전 펄스수가 많은 경우에는 속도를 올리고, 단위시간당의 정상 방전 펄스수가 적은 경우에는 속도를 내리고, 상기 소정속도 이상의 상기 상대이동속도를 유지 하도록 도 2의 제어수단(17)에 의해 제어를 하면 된다.

또, 특히 피가공물의 판두께가 두꺼운 경우에는 피가공물의 상단부 또는 하단부에 방전 집중이 발생하기 쉽다. 이는 주로 아래의 ① 내지 ③의 이유에 의한다.

① 피가공물의 상단부 또는 하단부의 에지 부분은 방전이 발생하기 쉬우므로 방전이 집중되기 쉽다.

② 기중 방전에서는 같은 위치에 방전이 집중하면 와이어전극재료가 피가공물측에 부착하는 현상이 보이고, 이와같은 피가공물에의 와이어전극 재료의 부착이 다시 방전의 집중을 조장한다.

③ 피가공물의 판두께가 두꺼운 경우 와이어전극과 피가공물과의 상대 이동속도를 작게 설정하는 일이 많으므로 방전집중이 조장된다.

그래서, 피가공물의 판두께가 두꺼운 경우의 방전집중을 억제하기 위해 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 변화 시키는 실험을 하였다. 도 3은 피가공물이 판두께 100mm의 강재인 경우의 와이어전극과 피가공물과의 상대 이동속도 및 방전 집중 발생빈도의 관계를 표시하는 도면이고, 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 빠르게 해 가면 어느 속도에서 방전 집중 발생빈도가 급격히 저하되고 상기 상대이동속도를 다시 또 빠르게 하면 방전 집중 발생빈도가 0 이되고 즉 방전집중이 발생하지 않게되는 것을 알 수 있다.

즉, 피가공물이 판두께 100mm의 강재인 경우에 가공액중에서의 와이어 방전가공에 의한 다듬질가공으로 통상 사용되는 와이어전극과 피가공물과의 상대 이동속도를 1mm/min으로 해서 기중와이어 방전가공에 의한 다듬질가공을 한 경우에는 대략 확실하게 피가공물의 상단부 또는 하단부에 방전집중이 발생 하였으나 상기 상대 이동속도를 10mm/min를 올렸더니 방전집중이 거의 보이지 않고, 또 상기 상대이동속도를 30mm/min로 올렸더니 방전 집중은 전혀 볼수가 없었다.

이와같은 방전 집중 발생빈도가 요구사양에 따라 미리 설정한 빈도 이하가 되는 소정속도를 가공 조건에 따라 미리 실험에 의해 구해두고 이 소정속도와 상기 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도와 비교해서 빠른쪽의 속도 이상이 되도록 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 도 2의 제어수단(17)에 의해 제어하면 된다.

이상과 같이 기중 와이어 방전가공에서 상기 상대이동속도에 상기 소정속도 이상으로 한 경우에는 상기 상대이동속도가 늦은 경우에 비해 가공 제거량을 작게하기 때문에 가공회수를 많게할 필요는 있으나, 상기 상대이동속도가 빠르므로 가공 시간 전체가 늦어지는 일은 없다.

이상과 같이 본 발명에 관한 와이어 방전 가공방법 및 장치는 특히 고정밀도 와이어 방전가공 작업에 사용 되는데 적합하다.

Claims (8)

1. 와이어전극과 피가공물의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공방법에서 가공액중에서 초벌가공을 하는 제1 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제2의 공정을 구비하고, 상기 제2의 공정에서의 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지않는 소정속도 이상에서 일정하게 하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공방법.
2. 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전을 발생시켜서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공방법에서 가공액중에서 초벌가공을 하는 제1 공정과, 기중에서 다듬질가공을 하는 제2의 공정을 구비하고, 상기 제2의 공정에서의 와이어전극과 피가공물과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지않는 소정속도 이상에서 가변으로 하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공방법.
3. 제 2항에 있어서, 상기 가변으로 하는 상대이동속도를 단위시간당의 정상 방전 펄스수가 많은 경우에는 속도를 올리고 단위시간당의 정상 방전펄스수가 적은경우에는 속도를 내리도록 제어하는 것을 특징으로 하는 방전 가공방법.
4. 제 1항 내지 청구항 3의 어느 한 항에서 상기 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도와 방전 집중발생 빈도가 요구사양에 따라 미리 설정한 빈도 이하가 되는 소정속도를 비교해서 빠른쪽의 속도 이상이 되도록 상기 상대이동속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공방법.
5. 가공전력 공급수단에 의해 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정 수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대 이동 시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공장치에서 상기 와이어전극과 상기 피가공물과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않은 소정 속도 이상에서 일정하게 하도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공장치.
6. 가공전력 공급수단에 의해 와이어전극과 피가공물과의 극간에 방전에너지를 공급하고, 위치결정 수단에 의해 상기 와이어전극 및 피가공물을 상대 이동 시켜서 기중에서 상기 피가공물을 가공하는 와이어 방전 가공장치에서 상기 와이어전극과상기 피가공물과의 상대이동속도를 상기 극간에 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않은 소정 속도 이상에서 가변이 되도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공장치.
7. 청구의 범위 6에서 상기 가변으로 하는 상대이동속도를 단위시간당의 정상 방전펄스수가 많은 경우에는 속도를 올리고, 단위시간당의 정상 방전 펄스수가 적은 경우에는 속도를 내리도록 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공장치.
8. 청구의 범위 5 ~ 7의 어느 한 항에서 상기 단락이 요구사양에 따라 미리 설정한 시간 이상 계속하지 않는 소정속도와 방전 집중 발생빈도가 요구사양에 따라 미리 설정한 빈도 이하가 되는 소정속도와 비교해서 빠른쪽의 속도 이상으로 상기상대이동속도가 되도록 상기 위치결정 수단을 제어하는 제어수단을 구비한 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공장치.