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KR102649172B1 - 시트 확장 장치 - Google Patents

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KR102649172B1
KR102649172B1 KR1020180162033A KR20180162033A KR102649172B1 KR 102649172 B1 KR102649172 B1 KR 102649172B1 KR 1020180162033 A KR1020180162033 A KR 1020180162033A KR 20180162033 A KR20180162033 A KR 20180162033A KR 102649172 B1 KR102649172 B1 KR 102649172B1
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신이치 후지사와
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 종래에 비교해서 작업성을 향상시킴과 더불어 피가공물이 파손될 우려를 저감할 수 있는 시트 확장 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
시트 확장 장치(1)는, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)에 접착하는 접착 롤러(31)와, 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트(7)로 절취하는 커터(32)를 가진 접착 기구(30)와, 직사각형 시트(7)를 제1 방향 및 제2 방향으로 확장하는 확장 기구(80)와, 직사각형 시트(7)가 접착된 판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달하는 전달 유닛(50)을 포함한다. 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)의 상태로 시트 확장 장치(1)에 공급할 수 있고, 시트 확장 장치(1) 내에서 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)에 접착하며 직사각형 시트(7)로 절취하고 나서, 전달 유닛(50)에 의해 판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달하여 직사각형 시트(7)를 확장할 수 있다.

Description

시트 확장 장치{SHEET EXTENSION APPARATUS}
본 발명은 시트를 확장하는 시트 확장 장치에 관한 것이다.
웨이퍼 등의 피가공물은, 그 표면의 격자형의 교차하는 복수의 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역에 각각 디바이스가 형성되어 있고, 분할 예정 라인을 따라서 분할함으로써, 디바이스를 갖는 개개의 칩으로 분할된다. 웨이퍼를 개개의 칩으로 분할하는 장치로서, 예컨대, 시트의 4변을 협지하여 익스팬드하는 시트 확장 장치가 이용되고 있다(예컨대, 하기의 특허문헌 1을 참조). 이 시트 확장 장치는, 제1 방향에서 피가공물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되어 각각 시트를 협지하는 제1 협지 수단과 제2 협지 수단과, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 피가공물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되어 각각 시트를 협지하는 제3 협지 수단과 제4 협지 수단을 구비하고 있다.
일본 특허 공개 제2014-022382호 공보
그러나, 상기 시트 확장 장치는, 피가공물이 접착된 시트를 확장하는 것이며, 통상 롤형상으로 제공되고 있는 시트를 별도로 작업자가 절단하여, 절단한 시트에 피가공물을 접착해야 했다. 또한, 작업자가 유지 테이블에 시트를 개재하여 피가공물을 배치하고, 협지 기구에 의해 시트의 네 모서리를 협지할 수 있도록 위치 결정하여 배치할 필요가 있어, 번거로울 뿐만 아니라, 경우에 따라서는 한번 유지 테이블에 배치한 피가공물을 다시 배치하거나 할 필요가 있었다. 특히 분할 기점이 형성되어 있는 피가공물은 파손되기 쉬워, 시트의 접착시 또는 유지 테이블에 배치할 때에 피가공물을 한번 놓고 들어올리는 등, 취급시에 파손될 우려가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 종래에 비교해서 작업성을 향상시킴과 더불어 피가공물이 파손될 우려를 저감할 수 있는 시트 확장 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 시트를 확장하는 시트 확장 장치로서, 판형상물을 유지하는 유지면을 가진 유지 유닛과, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트를 상기 유지 유닛에 의해 유지된 판형상물에 접착하는 접착 롤러와, 상기 띠형상 시트를 판형상물보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트로 절취하는 커터를 가진 접착 기구와, 상기 접착 롤러를 상기 유지 유닛에 대하여 상기 띠형상 시트를 접착하는 접착 방향으로 상대 이동시키는 이동 수단과, 제1 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 접착 기구에 의해 판형상물에 접착된 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제1 협지 수단과, 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제3 협지 수단과, 제4 협지 수단과, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단을 상기 제1 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하며 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 상기 제2 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 협지 수단 이동 수단을 가진 확장 기구와, 상기 유지 유닛에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 확장 기구로 전달하는 전달 유닛을 구비한 시트 확장 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 유지 유닛은, 상기 유지면을 포함하여 판형상물을 유지하는 판형상물 유지부와, 상기 판형상물 유지부의 외주에서 상기 접착 방향에서 상기 유지면을 사이에 두고 접착 개시측과 접착 종료측에 배치되고, 상기 유지면에 의해 유지된 판형상물의 피시트 접착면보다 돌출된 시트 피접착부를 포함하고, 상기 접착 기구는, 상기 유지 유닛에 의해 유지된 판형상물에 대면하여 배치되고, 롤형상의 상기 띠형상 시트를 송출하는 송출부와, 상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트의 일단부를 상기 접착 개시측의 상기 시트 피접착부에 접착하는 시트 접착 수단을 포함한다.
바람직하게는, 상기 전달 유닛은, 상기 유지 유닛에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 직사각형 시트를 개재하여 유지하는 전달 유닛 유지부와, 상기 전달 유닛 유지부의 외주에서 상기 직사각형 시트의 모서리부를 각각 협지하는 모서리부 협지 수단을 포함한다.
바람직하게는, 상기 띠형상 시트는, 기재 시트와, 상기 기재 시트 상에 형성된 풀층을 포함하고, 상기 풀층 위에 띠형상 이형 필름이 형성된 상태로 롤형상으로 감겨 있고, 상기 접착 기구는, 상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트로부터 상기 띠형상 이형 필름을 박리하는 필 플레이트와, 박리된 상기 띠형상 이형 필름을 권취하는 권취부와, 상기 필 플레이트와 상기 권취부 사이에서 상기 띠형상 이형 필름을 밀어내리는 추를 포함한다.
본 발명에 의하면, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트의 상태로 시트 확장 장치에 공급할 수 있고, 시트 확장 장치 내에서 띠형상 시트를 판형상물에 접착하며, 판형상물보다 큰 사이즈의 직사각형 시트로 절취하는 것이 가능해지기 때문에, 종래에 비교해서 작업성이 향상된다.
또한, 띠형상 시트를 판형상물에 접착할 때에는, 유지 유닛에 의해 판형상물이 유지된 상태가 유지되고, 직사각형 시트가 판형상물에 접착된 후 확장 기구에 전달되기까지의 동안은, 전달 유닛에 의해 판형상물이 유지된 상태가 유지되고, 판형상물이 확장 기구에 전달된 후 고리형의 프레임에 직사각형 시트가 장착되기까지의 동안은, 항상 직사각형 시트의 외연이 제1 협지 수단, 제2 협지 수단, 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단에 의해 협지된 상태가 유지되기 때문에, 판형상물이 파손될 우려를 저감할 수 있다.
상기 유지 유닛은, 상기 유지면을 포함하여 판형상물을 유지하는 판형상물 유지부와, 판형상물 유지부의 외주에서 상기 접착 방향에서 유지면을 사이에 두고 접착 개시측과 접착 종료측에 배치되고, 유지면에 의해 유지된 판형상물의 피시트 접착면보다 돌출된 시트 피접착부를 더 구비하고, 상기 접착 기구는, 유지 유닛에 의해 유지된 판형상물에 대면하여 배치되고, 롤형상의 상기 띠형상 시트를 송출하는 송출부와, 송출부에서 송출된 띠형상 시트의 일단부를 접착 개시측의 시트 피접착부에 접착하는 시트 접착 수단을 더 구비했기 때문에, 띠형상 시트에 주름을 발생시키지 않고, 판형상물에 대하여 양호하게 접착할 수 있다.
상기 전달 유닛은, 상기 유지 유닛에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 직사각형 시트를 개재하여 유지하는 전달 유닛 유지부와, 전달 유닛 유지부의 외주에서 직사각형 시트의 모서리부를 각각 협지하는 모서리부 협지 수단을 구비했기 때문에, 판형상물에 접착된 직사각형 시트의 모서리부를 협지하여, 상기 확장 기구에 판형상물을 파손시키지 않고 확실하게 전달하는 것이 가능해진다.
상기 띠형상 시트는, 기재 시트와, 기재 시트 상에 형성된 풀층을 포함하고, 풀층 위에 띠형상 이형 필름이 형성된 상태로 롤형상으로 감겨 있고, 상기 접착 기구는, 상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트로부터 띠형상 이형 필름을 박리하는 필 플레이트와, 박리된 띠형상 이형 필름을 권취하는 권취부와, 필 플레이트와 권취부 사이에서 띠형상 이형 필름을 밀어내리는 추를 구비했기 때문에, 판형상물에 기재 시트를 접착하고 있는 동안은, 띠형상 시트로부터 박리된 띠형상 이형 필름을 추에 의해 아래로 밀어내려 놓음으로써 일정한 텐션을 가할 수 있어, 기재 시트에 주름이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 시트 확장 장치의 일부의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 2는 시트 확장 장치의 각 기구의 배치 관계를 도시하는 설명도이다.
도 3은 프레임 스토커의 일례의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 4는 세정 장치의 일례의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 5는 유지 유닛의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 6은 접착 기구의 구성을 도시하는 측면도이다.
도 7은 커터의 구성을 도시하는 일부 확대 단면도이다.
도 8은 전달 유닛의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 9는 전달 유닛의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 10은 모서리부 협지 수단의 구성을 도시하는 단면도이다.
도 11은 박리 기구의 구성을 도시하는 사시도이다.
도 12는 접착 기구에서 접착 개시측의 시트 피접착부에 기재 시트를 접착하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 13은 접착 기구에서 유지 유닛을 수평 이동시키고 접착 롤러로 판형상물에 기재 시트를 접착하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 14는 접착 기구에서 접착 종료측의 시트 피접착부에 접착된 기재 시트를 커터에 의해 절단하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 15는 판형상물에 직사각형 시트가 접착된 상태를 도시하는 단면도이다.
도 16은 유지 유닛으로부터 전달 유닛에 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 전달하는 상태를 도시하는 사시도이다.
도 17은 전달 유닛의 유지부에 판형상물이 유지됨과 더불어 모서리부 협지 수단에 의해 직사각형 시트의 네 모서리가 협지된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 18은 박리 기구에서 선단 바늘형 부재를 판형상물에 접근시킨 상태를 도시하는 단면도이다.
도 19는 박리 기구에서 선단 바늘형 부재를 판형상물에 접착된 테이프의 주연측에 충돌시킨 상태를 도시하는 단면도이다.
도 20은 박리 기구에서 판형상물로부터 테이프가 박리된 부분을 향해 에어 노즐로부터 고압 에어를 분사한 상태를 도시하는 단면도이다.
도 21은 박리 기구에서 절곡 롤러를 이동시켜 테이프에 접촉시킨 상태를 도시하는 단면도이다.
도 22는 박리 기구에서 판형상물로부터 테이프를 완전히 박리시킴과 더불어, 유지판의 하면에 테이프를 흡인 유지시킨 상태를 도시하는 단면도이다.
도 23은 확장 기구에 의해 직사각형 시트의 네 변을 협지하는 상태를 설명하는 평면도이다.
도 24는 제1 협지 수단 및 제2 협지 수단에 의해 직사각형 시트를 제1 방향으로 확장하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 25는 제3 협지 수단 및 제4 협지 수단에 의해 직사각형 시트를 제2 방향으로 확장하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 26은 확장후의 판형상물에 프레임의 개구를 위치 부여하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 27은 프레임 접착용 롤러에 의해 프레임에 직사각형 시트를 접착하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 28은 프레임 접착용 커터에 의해 프레임을 따라서 직사각형 시트를 절단하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 29는 프레임 유닛을 반송하는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 1은, 판형상물에 접착되는 시트를 협지하여 인장할 수 있는 시트 확장 장치(1)의 일부의 구성을 모식적으로 도시하고 있다. 시트 확장 장치(1)는, 제1 방향으로 연장된 제1 장치 베이스(10)와, 제1 장치 베이스(10)의 제1 방향 후방부의 상방측에 복수의 지지 기둥(14)에 의해 지지된 제2 장치 베이스(11)를 갖고 있다. 제1 장치 베이스(10)에는, 판형상물을 유지하는 유지면(21a)을 가진 유지 유닛(20)과, 띠형상 시트를 유지 유닛(20)에 의해 유지된 판형상물에 접착하며 띠형상 시트를 판형상물보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트로 절취하는 접착 기구(30)와, 접착 기구(30)의 접착 롤러를 유지 유닛(20)에 대하여 띠형상 시트를 접착하는 접착 방향(도시한 예에서는 제1 방향)으로 상대 이동시키는 이동 수단(40)과, 유지 유닛(20)에 의해 유지되고 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 수취하여, 후술하는 확장 기구(80)로 전달하는 전달 유닛(50)과, 전달 유닛(50)을 제1 방향으로 이동시키는 전달 이동 수단(60)과, 전달 유닛(50)에 의해 유지된 판형상물의 한쪽 면에 접착된 테이프를 박리하는 박리 기구(70)를 구비하고 있다.
제2 장치 베이스(11)에는, 제1 방향에서 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 접착 기구(30)에 의해 판형상물에 접착된 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제1 협지 수단(80A)과, 제2 협지 수단(80B)과, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제3 협지 수단(80C)과, 제4 협지 수단(80D)과, 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)을 제1 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하며 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)을 제2 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 협지 수단 이동 수단을 가진 확장 기구(80)를 구비하고 있다.
도 2에 도시한 바와 같이, 시트 확장 장치(1)는, 판형상물을 반입하기 위한 반입구(12)를 갖고 있다. 반입구(12)의 인접한 위치에는, 시트 확장 장치(1)에 가공 조건 등을 입력하며, 입력 내용 등이 표시되는 표시 수단 겸 입력 수단(13)을 구비하고 있다. 표시 수단 겸 입력 수단(13)은, 예컨대 터치패널로 구성되어 있다. 반입구(12)에 연통한 영역이 도 1에 도시한 접착 기구(30)에 의해 직사각형 시트가 판형상물에 접착되는 접착 영역이다. 접착 영역에는 유지 유닛(20)으로부터 전달 유닛(50)에 판형상물이 전달되는 전달 영역이 포함된다. 또한, 전달 영역에 인접한 영역은 박리 기구(70)가 가동하는 박리 영역이며, 박리 영역에 인접한 영역은 확장 기구(80)가 가동하는 확장 영역이다.
시트 확장 장치(1)는, 도 3에 도시하는 프레임(5)이 복수 수용된 프레임 스토커(17)와, 프레임(5)을 소정의 반송선에 반송하는 제1 반송 수단(16a) 및 제2 반송 수단(16b)(도 1을 참조)과, 확장 기구(80)에 의해 확장된 판형상물을 세정하기 위한 도 4에 도시하는 세정 장치(18)와, 확장 기구(80)에 의해 확장된 직사각형 시트에 자외선을 조사하는 자외선 조사 장치(도시되지 않음)를 구비하고 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 프레임 스토커(17)에 인접한 영역은 세정 장치(18)가 가동하는 세정 영역이며, 세정 영역에 인접한 영역은 자외선 조사 장치가 가동하는 자외선 조사 영역이다.
도 1에 도시하는 확장 기구(80)의 구성에 관해 설명한다. 제1 협지 수단(80A) 및 제2 협지 수단(80B)은, 제2 방향으로 연장된 직방체의 하측 협지부(81a)와, 일단부가 하측 협지부(81a)에 연결된 단면이 대략 L자형인 아암부(82a)와, 하측 협지부(81a)와 평행하게 연장된 상측 협지부(81b)와, 일단부가 상측 협지부(81b)에 연결된 단면이 대략 L자형인 아암부(82b)와, 제2 장치 베이스(11)의 상면에 형성된 오목부(110)를 따라서 이동 가능하게 배치된 가동 베이스(87a)를 각각 구비하고 있다. 하측 협지부(81a)의 상면측에는, 복수의 롤러(83)가 제2 방향과 평행한 방향으로 정렬되어 배치되어 있다. 복수의 롤러(83)는, 제1 방향과 평행한 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 하측 협지부(81a)의 상면으로부터 외주면의 절반 정도가 돌출되어 장착되어 있다. 또한, 제1 협지 수단(80A) 및 제2 협지 수단(80B)의 상측 협지부(81b)의 하면측에는, 복수의 롤러(도시하지 않음)가 제2 방향과 평행한 방향으로 정렬되어 배치되어 있다. 상측 협지부(81b)의 하면측에 배치된 복수의 롤러는, 제1 방향과 평행한 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 상측 협지부(81b)의 하면으로부터 외주면의 절반 정도가 돌출되어 장착되어 있다.
제3 협지 수단(80C) 및 제4 협지 수단(80D)은, 제1 방향으로 연장된 직방체의 하측 협지부(84a)와, 일단부가 하측 협지부(84a)에 연결된 아암부(85a)와, 하측 협지부(84a)와 평행하게 연장된 상측 협지부(84b)와, 일단부가 상측 협지부(84b)에 연결된 아암부(85b)와, 제2 장치 베이스(11)의 상면에 형성된 오목부(111)를 따라서 이동 가능하게 배치된 가동 베이스(87b)를 각각 구비하고 있다. 하측 협지부(84a)의 상면측에는, 복수의 롤러(86)가 제1 방향과 평행한 방향으로 정렬되어 배치되어 있다. 복수의 롤러(86)는, 제2 방향과 평행한 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 하측 협지부(84a)의 상면으로부터 외주면의 절반 정도가 돌출되어 장착되어 있다. 또한, 제3 협지 수단(80C) 및 제4 협지 수단(80D)의 상측 협지부(84b)의 하면측에는, 복수의 롤러(도시하지 않음)가 제1 방향과 평행한 방향으로 정렬되어 배치되어 있다. 상측 협지부(84b)의 하면측에 배치된 복수의 롤러는, 제2 방향과 평행한 회전축을 중심으로 하여 회전 가능하고, 상측 협지부(84b)의 하면으로부터 외주면의 절반 정도가 돌출되어 장착되어 있다.
협지 수단 이동 수단은, 제1 협지 수단(80A) 및 제2 협지 수단(80B)에 각각 접속된 제1 방향 이동 수단(88a)과 제3 협지 수단(80C) 및 제4 협지 수단(80D)에 각각 접속된 제2 방향 이동 수단(88b)을 구비하고 있다. 제1 방향 이동 수단(88a)은, 제1 방향으로 연장된 볼나사(880)와, 각각의 볼나사(880)의 일단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(881)와, 각각의 볼나사(880)의 타단에 접속된 모터(882)를 구비하고, 제2 장치 베이스(11)에 각각 배치되어 있다. 제1 방향 이동 수단(88a)은, 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)을 제1 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동시킬 수 있다. 제2 방향 이동 수단(88b)은, 제2 방향으로 연장된 볼나사(883)와, 각각의 볼나사(883)의 일단부를 회전 가능하게 지지하는 베어링부(884)와, 각각의 볼나사(883)의 타단에 접속된 모터(885)를 구비하고, 제2 장치 베이스(11)에 각각 배치되어 있다. 제2 방향 이동 수단(88b)은, 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)을 제2 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동시킬 수 있다.
제1 반송 수단(16a) 및 제2 반송 수단(16b)은, 대략 H형상의 반송 플레이트(160)와, 반송 플레이트(160)의 하단 모서리부에 배치되어 프레임의 한쪽 면을 흡인 유지하는 복수(도시한 예에서는 4개)의 프레임 유지부(161)를 적어도 구비하고 있다. 본 실시형태에 나타내는 제1 반송 수단(16a)은, 도 2에 도시한 바와 같이, 확장 영역과 프레임 스토커(17) 사이를 이동 영역으로 하고 있다. 또한, 제2 반송 수단(16b)은, 프레임 스토커(17)로부터 자외선 조사 영역까지를 이동 영역으로 하고 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 프레임 스토커(17)는, 중앙에 개구(6)를 갖는 링형상의 프레임(5)을 중첩하여 스톡하는 프레임 스토커의 일례이다. 프레임 스토커(17)에는, 프레임(5)의 내주면에 접촉하는 원기둥 부재(170)가 거의 균등 간격으로 복수 배치되어 있다. 원기둥 부재(170)의 갯수는, 도시한 예에서는 4개로 되어 있지만, 이 갯수에 한정되지 않는다. 또, 프레임(5)의 재질은, 예컨대 스테인레스 등의 금속으로 구성되어 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 세정 장치(18)는, 통형상의 커버 부재(180)를 가지며, 커버 부재(180)의 내측에, 판형상물을 유지하는 유지면(181a)을 갖는 스피너 테이블(181)과, 스피너 테이블(181)을 회전시키는 회전축(182)과, 스피너 테이블(181)의 외주측에 도 3에 도시한 프레임(5)을 고정하는 복수(도시한 예에서는 4개)의 클램프 기구(183)와, 판형상물에 세정수를 공급하는 세정수 노즐(184)과, 세정후의 판형상물을 건조시키는 에어 노즐(185)과, 스피너 테이블(181)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 에어 실린더와 피스톤으로 이루어진 승강 기구(186)를 구비하고 있다.
도 5의 (a)에 도시한 바와 같이, 유지 유닛(20)은, 유지면(21a)을 포함하여 판형상물을 유지하는 판형상물 유지부(21)와, 판형상물 유지부(21)의 하부에 고정된 고정대(22)와, 판형상물 유지부(21) 및 고정대(22)를 하측으로부터 지지하는 베이스(23)와, 베이스(23)에 축통되어 판형상물 유지부(21)의 유지면(21a)을 반전시키는 회전축(24)과, 회전축(24)의 단부가 회전 가능하게 지지된 도어형의 지지부(25)를 구비하고 있다. 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 지지부(25)에는, 예컨대 에어 실린더와 피스톤으로 구성된 승강 기구(27)가 접속되어 있고, 유지 유닛(20)의 전체를 수직 방향으로 승강시킬 수 있다.
유지 유닛(20)은, 판형상물 유지부(21)의 하방측에 직사각형 판형의 시트 접착 플레이트(26)를 구비하고 있다. 시트 접착 플레이트(26)의 중앙에는, 상하면(상면(26a) 및 하면(26b))을 관통한 원형의 개구(260)를 갖고 있다. 개구(260)의 직경은, 판형상물 유지부(21)보다 대직경으로 되어 있다. 지지부(25)에서 회전축(24)이 회전하여, 판형상물 유지부(21)의 유지면(21a)을 반전시키면, 유지면(21a)과 개구(260)를 대향시킬 수 있다. 이 상태에서, 승강 기구(27)에 의해 판형상물 유지부(21)를 하강시킴으로써, 판형상물 유지부(21)를 개구(260)에 진입시킬 수 있다.
도 5의 (c)에 도시한 바와 같이, 시트 접착 플레이트(26)의 하면(26b)에는, 판형상물 유지부(21)의 외주에서 접착 방향(도시한 예에서는 제1 방향)에서 유지면(21a)을 사이에 두고 접착 개시측과 접착 종료측에 배치되고, 유지면(21a)에 의해 유지된 판형상물의 피시트 접착면보다 돌출된 시트 피접착부(28)와, 판형상물 유지부(21)의 유지면(21a)을 사이에 두고 시트 피접착부(28)와 직교하는 제1 방향으로 연장된 롤러용 가이드(29)를 더 구비하고 있다. 본 실시형태에 나타내는 시트 피접착부(28)는, 예컨대 바형의 부재로 이루어진다. 시트 피접착부(28)는, 제2 방향과 평행하게 향해 있고, 개구(260)를 사이에 둔 제1 방향의 외연측에 각각 대향하여 배치되어 있다. 2개의 시트 피접착부(28)에 걸치도록 띠형상 시트를 접착하며, 개구(260)로부터 노출된 유지면(21a)에 유지된 판형상물에 띠형상 시트를 접착함으로써, 띠형상 시트에 주름이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 롤러용 가이드(29)는, 예컨대 단면이 대략 L자형으로 형성되어 있다. 롤러용 가이드(29)는, 제1 방향과 평행하게 향해 있고, 개구(260)를 사이에 둔 제2 방향의 외연측에 각각 대향하여 배치되어 있다.
도 1에 도시하는 이동 수단(40)은, 제1 방향으로 연장된 지지판(400)에 배치된 볼나사(41)와, 볼나사(41)의 일단부에 접속된 모터(42)와, 볼나사(41)와 평행하게 연장된 한쌍의 가이드 레일(43)과, 제1 방향으로 수평으로 이동 가능한 이동 베이스(44)를 구비하고 있다. 이동 베이스(44)의 한쪽 면에는, 시트 접착 플레이트(26)가 연결되어 있다. 이동 베이스(44)의 다른쪽 면에는, 한쌍의 가이드 레일(43)이 슬라이딩 접촉하고, 이동 베이스(44)의 중앙에 형성된 너트에는 볼나사(41)가 나사 결합하고 있다. 모터(42)에 의해 구동되어 볼나사(41)가 회동함으로써, 이동 베이스(44)와 함께 유지 유닛(20)을 가이드 레일(43)을 따라서 제1 방향으로 이동시킬 수 있다. 이동 수단(40)에 의해, 유지 유닛(20)이 도 2에 도시한 접착 영역 내를 이동할 수 있다.
접착 기구(30)는, 도 1의 점선으로 나타내는 유닛 본체(300)를 갖고 있다. 유닛 본체(300)는, 유지 유닛(20)의 하방측에 위치하고 있고, 유지 유닛(20)에 의해 유지된 판형상물에 대면하여 배치되어 있다. 접착 기구(30)의 각 기구는, 유닛 본체(300) 내에 수용되어 있다. 도시한 예에서는, 제1 장치 베이스(10)의 제1 방향 전방부에 배치된 제2 방향으로 연장된 한쌍의 가이드(15)를 따라서 유닛 본체(300)를 슬라이드 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 접착 기구(30)의 메인터넌스나 각 기구의 교환 작업시, 롤형상의 띠형상 시트의 공급시 등에 시트 확장 장치(1)의 외측으로 유닛 본체(300)를 인출하거나, 작업 완료후에 유닛 본체(300)를 시트 확장 장치(1)의 접착 영역에 설치하거나 할 수 있다.
도 6에 도시한 바와 같이, 접착 기구(30)는, 릴(33)과, 릴(33)에 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)(시트 롤(2A))를 도 5에 도시한 유지 유닛(20)에 의해 유지된 판형상물에 접착하는 접착 롤러(31)와, 띠형상 시트(2)를 판형상물보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트로 절취하는 도 7에 도시하는 커터(32)와, 릴(33)의 상측에 배치되어 띠형상 시트(2)를 송출하는 송출부가 되는 송출 롤러(34a)와, 송출 롤러(34a)와 대향하여 배치된 끼움 롤러(34b)와, 접착 롤러(31)와 대향하여 배치된 변형 방지 롤러(35)와, 송출 롤러(34a)에 의해 송출된 띠형상 시트(2)의 일단부를 접착 개시측의 시트 피접착부(28)에 접착하는 시트 접착 수단(36)을 구비하고 있다.
본 실시형태에 나타내는 띠형상 시트(2)는, 기재 시트와, 기재 시트 상에 형성된 풀층으로 적어도 이루어진 시트 본체(3)와, 시트 본체(3)의 풀층 위에 형성된 띠형상 이형 필름(4)을 포함하며, 릴(33)에 롤형상으로 감겨 있다. 기재 시트는, 예컨대, 폴리올레핀이나 폴리염화비닐 등이다. 접착 롤러(31)는, 도시하지 않지만, 판형상물(예컨대 원형 판형상의 웨이퍼)의 직경 이상의 길이로 수평 방향으로 연장된 통형상의 롤러로 구성된다. 접착 롤러(31)의 위치는 고정되어 있고, 상기 유지 유닛(20)의 시트 접착 플레이트(26)가 제1 방향으로 이동함으로써, 한쌍의 롤러용 가이드(29)에 접착 롤러(31)의 양쪽 단부가 끼워진 상태로, 롤러용 가이드(29)를 따라서 접착 롤러(31)가 가이드되어 시트 본체(3)를 하측으로부터 판형상물에 대하여 압박할 수 있다. 또, 접착 롤러(31)는, 재질 등이 특별히 한정되지 않고, 예컨대 실리콘 고무에 의해 형성되어 있다.
송출 롤러(34a)는, 예컨대 서보 모터에 의해 회전 구동되는 구성으로 되어 있고, 토크 제어에 의해 시트 롤(2A)로부터의 띠형상 시트(2)의 송출량을 제어할 수 있다. 끼움 롤러(34b)는, 시트 롤(2A)로부터 인출된 띠형상 시트(2)를 송출 롤러(34a)에 대하여 압박하여 사이에 끼움으로써, 판형상물에 접착되는 시트 본체(3)가 느슨해지는 것을 방지할 수 있다.
변형 방지 롤러(35)는, 접착 롤러(31)의 직경보다 큰 직경을 가지며, 접착 롤러(31)에 인접하여 배치되어 있다. 변형 방지 롤러(35)는, 변형 방지 롤러(35)의 둘레면이 접착 롤러(31)의 둘레면과 맞닿은 상태로 접착 롤러(31)를 회전 가능하게 압박할 수 있다. 이에 따라, 접착 롤러(31)가 판형상물에 대하여 시트 본체(3)를 압박했을 때에 시트 본체(3)가 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또, 변형 방지 롤러(35)는 반드시 있어야 하는 것은 아니다.
시트 접착 수단(36)은, 쿠션(360)과 상하 방향으로 이동하는 이동부(361)를 구비하고 있다. 쿠션(360)의 재질은 특별히 한정되지 않지만, 접착 롤러(31)와 마찬가지로, 예컨대 실리콘 고무 등의 탄성 부재에 의해 형성되어 있다. 시트 접착 수단(36)은, 이동부(361)가 상승함으로써, 쿠션(360)에 의해 시트 본체(3)를 하측으로부터 밀어올려 도 5의 (c)에 도시한 시트 피접착부(28)에 시트 본체(3)를 접착할 수 있다.
또한, 접착 기구(30)는, 테이프 텐션을 일정하게 하기 위해, 송출 롤러(34a)에서 송출된 띠형상 시트(2)로부터 띠형상 이형 필름(4)을 박리하는 필 플레이트(37)와, 박리된 띠형상 이형 필름(4)을 권취하는 권취부가 되는 권취 롤러(38)와, 필 플레이트(37)와 권취 롤러(38) 사이에 배치된 가이드 롤러(34c)와, 가동 롤러(34d)와, 가동 롤러(34d)와 대향하여 배치된 누름 롤러(34e)와, 필 플레이트(37)와 권취 롤러(38) 사이에서 띠형상 이형 필름(4)을 밀어내리는 추(39)를 구비하고 있다.
필 플레이트(37)는, 끝이 뾰족하고, 띠형상 시트(2)를 눌러서 예각으로 형성함으로써 띠형상 시트(2)로부터 띠형상 이형 필름(4)을 박리할 수 있다. 박리된 띠형상 이형 필름(4)은, 가이드 롤러(34c)와, 가동 롤러(34d)와 누름 롤러(34e) 사이를 통과하여 권취 롤러(38)에 권취되어 이형 필름 롤(4A)로서 형성된다. 필 플레이트(37)에 의해 띠형상 시트(2)로부터 띠형상 이형 필름(4)이 박리되고, 시트 본체(3)를 판형상물에 접착하고 있는 동안은, 가동 롤러(34d)와 누름 롤러(34e)로 띠형상 이형 필름(4)을 누르는 것에 의해 띠형상 이형 필름(4)을 인장하여, 판형상물에 접착되는 시트 본체(3)가 비틀리는 것을 방지할 수 있다. 권취 롤러(38)는, 예컨대 서보 모터에 의해 회전 구동되는 구성으로 되어 있다.
본 실시형태에 나타내는 추(39)는, 필 플레이트(37)에 의해 띠형상 시트(2)로부터 박리된 띠형상 이형 필름(4)을 아래로 밀어내리기 위한 롤러이며, 가이드 롤러(34c)와 누름 롤러(34e) 사이에 배치되어 있다. 권취 롤러(38)에 권취되는 이형 필름 롤(4A)이 대직경화하면 토크가 변하지만, 토크가 변화하더라도, 시트 본체(3)를 판형상물에 접착하며 띠형상 이형 필름(4)을 권취 롤러(38)로 권취하고 있는 동안은, 추(39)로 띠형상 이형 필름(4)을 아래로 밀어내려 놓음으로써, 띠형상 이형 필름(4)에 대하여 일정한 텐션을 가할 수 있다. 또한, 추(39)로 띠형상 이형 필름(4)을 아래로 밀어내리고 있는 동안은, 권취 롤러(38)가 추(39)측으로 인장되지 않도록 하기 위해, 가동 롤러(34d)와 누름 롤러(34e)로 띠형상 이형 필름(4)을 눌러 놓는다. 또, 추(39)의 중량이나 재질 등은 특별히 한정되지 않는다.
도 7에 도시한 바와 같이, 커터(32)는, 접착 종료측의 시트 접착 플레이트(26)의 측부에 배치되어 있다. 커터(32)는, 커터 수용부(320)와, 커터 수용부(320)의 내부에 수용된 커터날(321)(점선으로 도시)을 구비하고 있다. 커터 수용부(320)의 하부에는, 커터날(321)이 진퇴 가능한 개구가 형성되어 있다. 커터 수용부(320)는, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 시트 접착 플레이트(26)의 측부에 배치된 가이드 레일(323)을 따라서 제2 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이와 같이 구성되는 커터(32)에서는, 접착 종료측의 시트 피접착부(28)에 접착되고 커터(32)의 하방측에 위치하는 시트 본체(3)를 절취함으로써, 띠형상의 시트 본체(3)를 직사각형 시트로 형성할 수 있다. 본 실시형태에서는, 가이드 레일(323)의 일단부에 커터용 히터(322)가 고정되어 있다. 실제로 커터날(321)로 시트 본체(3)를 절단하기까지의 동안은, 커터용 히터(322)에 커터 수용부(320)를 접촉시켜 두어 커터날(321)을 가열해 두는 것이 좋다.
도 8에 도시한 바와 같이, 전달 유닛(50)은, 상기 유지 유닛(20)에 의해 유지되고 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 직사각형 시트를 개재하여 유지하는 전달 유닛 유지부(51)와, 전달 유닛 유지부(51)의 외주에서 직사각형 시트의 모서리부를 각각 협지하는 모서리부 협지 수단(52)을 구비하고 있다. 전달 유닛 유지부(51)는, 승강 기구(53)를 개재하여 원판(54)에 배치되어 있다. 승강 기구(53)는, 에어 실린더(530)와 피스톤(531)으로 이루어지며, 전달 유닛 유지부(51)를 승강시킬 수 있다.
전달 유닛 유지부(51)의 근방의 위치에 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)와, 프레임 접착용 커터(58)가 배치되어 있다. 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)는, 도 3에 도시한 프레임(5)에 대하여 직사각형 시트(7)를 압박하는 압박 롤러이며, 축부(570)를 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)에는, 예컨대 히터가 내장되어 있다. 프레임 접착용 롤러(57a, 57b) 사이에는 프레임 접착용 커터(58)가 배치되어 있다. 프레임 접착용 커터(58)는, 축부(580)를 중심으로 하여 회전 가능하게 되어 있다. 프레임 접착용 롤러(57a, 57b) 및 프레임 접착용 커터(58)는, 회전축(55)에 의해 회전 가능한 원판(54)의 위에 입설부(59)를 개재하여 배치되어 있다. 프레임 접착용 롤러(57a, 57b) 및 프레임 접착용 커터(58)는, 입설부(59)의 상단에서, 예컨대 에어 실린더와 피스톤으로 구성되는 승강 기구에 의해 승강 가능하게 되어 있다. 원판(54)이 회전함으로써, 프레임 접착용 롤러(57a, 57b) 및 프레임 접착용 커터(58)를 예컨대 프레임(5)을 따라서 원형으로 회전시킬 수 있다. 또, 프레임 접착용 롤러(57a, 57b) 및 프레임 접착용 커터(58)의 수는, 본 실시형태에 나타내는 구성에 한정되지 않는다.
전달 유닛 유지부(51)는, 도 9에 도시한 바와 같이, 프레임(500)의 내측에 감합된 원판형의 다공성 부재이며, 그 상면이 판형상물을 유지하는 유지면(51a)으로 되어 있다. 프레임(500)은 베이스(501)에 의해 지지되어 있다. 전달 유닛 유지부(51)에는, 도시하지 않은 흡인원이 접속되어 있고, 판형상물을 유지면(51a)에 의해 흡인 유지할 수 있다. 프레임(500)과 베이스(501) 사이에는 기울기 조정 기구(56)가 배치되어 있다. 기울기 조정 기구(56)는, 실린더(560)와 스프링(561)으로 구성되어 있다. 스프링(561)은, 예컨대 압축 스프링으로 구성되어 있다. 스프링(561)의 신축 동작에 의해 베이스(501)에 대하여 프레임(500)이 요동 가능해져, 예컨대 유지면(51a)에 판형상물을 전달할 때의 충격을 흡수할 수 있다.
모서리부 협지 수단(52)은, 전달 유닛 유지부(51)의 주위에서 등간격으로 예컨대 4개 배치되어 있다. 본 실시형태에 나타내는 모서리부 협지 수단(52)은, 도 10의 (a)에 도시한 바와 같이, 직사각형 시트(7)의 모서리부가 배치되는 배치면(520a)을 갖는 시트 모서리부 배치부(520)와, 시트 모서리부 배치부(520)에 배치된 직사각형 시트의 모서리부를 클램프하는 클램프부(521)와, 클램프부(521)를 개폐시키는 개폐 기구를 구비하고 있다. 개폐 기구는, 피스톤 로드(522a, 522b)와, 피스톤 로드(522a)의 일단부에 연결된 스프링(523)과, 피스톤 로드(522b)의 일단부에 접속된 실린더(524)와, 피스톤 로드(522a, 522b)의 타단에서 지점이 되는 축부(525a, 525b)를 구비하고 있다. 클램프부(521)의 상부측은, 스프링(523)에 의해 배치면(520a)에 접근하는 방향으로 압박되어 있다. 클램프부(521)를 개방하는 경우는, 도 10의 (b)에 도시한 바와 같이, 피스톤 로드(522b)가 실린더(534)에서 내측으로 이동함으로써, 축부(525a, 525b)를 지점으로 하여 클램프부(521)를 회전시켜 배치면(520a)으로부터 이반되는 방향으로 클램프부(521)를 개방할 수 있다.
전달 유닛(50)은, 도 1에 도시한 전달 이동 수단(60)에 의해 도 2에 도시한 전달 영역과 박리 영역과 확장 영역 사이를 이동 가능하게 되어 있다. 전달 이동 수단(60)은, 제1 방향으로 연장된 볼나사(61)와, 볼나사(61)의 일단부에 접속된 도시하지 않은 모터와, 볼나사(61)와 평행하게 연장되어 제1 장치 베이스(10)에 부설된 한쌍의 가이드 레일(62)과, 한쪽 면에서 전달 유닛(50)을 지지하는 이동 베이스(63)를 구비하고 있다. 이동 베이스(63)의 다른쪽 면에는, 한쌍의 가이드 레일(62)이 슬라이딩 접촉하고, 이동 베이스(63)의 중앙에 형성된 너트에는 볼나사(61)가 나사 결합하고 있다. 모터에 의해 구동되어 볼나사(61)가 회동함으로써, 이동 베이스(63)와 함께 전달 유닛(50)을 가이드 레일(62)을 따라서 제1 방향으로 이동시킬 수 있다.
제2 장치 베이스(11)의 상면에서, 또한, 전달 유닛(50)의 상방측에 박리 기구(70)가 배치되어 있다. 박리 기구(70)는, 판형상물의 표면에 접착된 테이프(예컨대 표면 보호 테이프)를 박리하기 위한 테이프 박리 유닛이다. 박리 기구(70)는, 테이프를 협지하는 도 11의 (a)에 도시하는 테이프 유지 유닛(70A)과, 판형상물로부터 박리되는 테이프를 절곡하는 도 11의 (b)에 도시하는 절곡 롤러 이동 수단(70B)과, 판형상물로부터 박리되는 테이프의 박리 기점을 생성하는 도 11의 (c)에 도시하는 박리 기점부 생성 수단(70C)으로 구성되어 있다.
도 11의 (a)에 도시한 바와 같이, 테이프 유지 유닛(70A)은, 제1 에어 실린더(71a)와, 제1 에어 실린더(71a)에 의해 구동되고 수직 방향으로 연장된 축(710a)에 의해 지지되는 유지 베이스(72)와, 유지 베이스(72)의 상면에 입설된 제2 에어 실린더(71b)와, 제2 에어 실린더(71b)로부터 유지 베이스(72)의 하면측에 관통하고, 제2 에어 실린더(71b)에 의해 구동되어 진퇴 가능한 축(도시하지 않음)에 지지되는 유지판(73)과, 유지 베이스(72) 상에 배치되고, 단부에 협지편(711)을 구비하고 수평 방향으로 진퇴 가능한 축(710c)을 수평 방향으로 진퇴시키는 제3 에어 실린더(71c)와, 유지 베이스(72)의 하면측에서, 협지편(711)과 대향하는 위치에 배치되는 협지편(712)으로 구성되어 있다.
유지판(73)은 내부가 중공으로 구성되고, 하면에는 도시하지 않은 미세한 구멍이 전면에 다수 형성되어 있고, 제2 에어 실린더(71b)와 유지판(73)을 연결하는 축의 내부를 통해 유지판(73) 내부를 흡인할 수 있게 구성되고, 미세한 구멍을 통해 유지판(73)의 하면에 부압을 발생시키는 것이 가능하게 되어 있다.
유지 베이스(72)는, 제1 에어 실린더(71a)에 의해 진퇴 가능하게 구동되는 축(710a)과 함께 상하 이동 가능하게 구성되고, 또한, 도면 중의 화살표에 도시한 바와 같이, 축(710a)을 중심으로 하여 수평 방향으로 회전 가능하게 되어 있다.
도 11의 (b)에 도시한 바와 같이, 절곡 롤러 이동 수단(70B)은, 도어형 형상을 이루는 지지 프레임(74)으로 구성되고, 지지 프레임(74)은, 간격을 두고 병설된 기둥부(740, 740a)와, 기둥부(740, 740a)의 하단에 연결되는 지지부(741)와, 지지부(741)의 안내 구멍(742)을 따라서 지지부(741) 내에 내장된 도시하지 않은 구동 기구에 의해 이동하는 절곡 롤러(75)를 구비하고 있다. 절곡 롤러(75)는, 길이 방향의 축중심을 중심으로 하여 회전 가능하고, 그 길이는, 적어도 판형상물에 접착되는 테이프의 직경보다 길게 되어 있다.
도 11의 (c)에 도시한 바와 같이, 박리 기점부 생성 수단(70C)은, 제4 에어 실린더(71d)와, 제4 에어 실린더(71d)로부터 신장되어 진퇴 가능하고 높이 방향에서의 위치를 미조정 가능한 축(710d)과, 아암 부재(76)와, 아암 부재(76)의 선단에 배치된 선단 부재(77)와, 선단 부재(77)에 부착된 선단 바늘형 부재(78)와, 에어 노즐(79)로 구성되어 있다. 선단 부재(77)는, 상하로 이동 가능하게 구성되며, 그 높이 위치가 조정됨으로써 판형상물에 접착된 표면 보호 테이프의 높이에 선단 바늘형 부재(78)의 선단부를 위치 부여 가능하게 구성되어 있다. 또한, 에어 노즐(79)은, 제4 에어 실린더(71d), 축(710d)을 통해 고압 에어가 공급되고, 필요에 따라서 고압 에어를 분출할 수 있게 구성되어 있다. 도시한 예에서는, 선단 바늘형 부재(78)와 에어 노즐(79)을 별개로 배치했지만, 에어 노즐(79)이 선단 바늘형 부재(78)에 내장되어 있어, 선단 바늘형 부재(78)의 선단으로부터 고압 에어를 분출하는 구성이어도 좋다.
다음으로, 시트 확장 장치(1)의 동작예에 관해 설명한다. 도 12에 도시하는 판형상물(W)은, 원형 판형의 피가공물의 일례이다. 판형상물(W)의 표면(Wa)에는, 디바이스를 보호하기 위한 테이프(T)가 접착되어 있다. 표면(Wa)과 반대측의 이면(Wb)은, 시트 본체(3)(직사각형 시트)가 접착되는 피시트 접착면이다. 본 실시형태에 나타내는 판형상물(W)은, 레이저 광선의 조사에 의해 분할 예정 라인을 따르는 개질층이 판형상물(W)의 내부에 형성되고, 예컨대 연삭 장치에서 박화되어 개질층을 기점으로 개개의 칩으로 분할되어 있는 것으로 한다. 판형상물(W)은, 그 내부에 분할 예정 라인을 따르는 개질층이 형성되어 있지만, 개개의 칩으로 분할되어 있지 않은 상태이어도 좋다. 또한, 판형상물(W)은, 절삭 블레이드 등에 의해 분할 예정 라인을 따라서 절삭홈이 형성된 후 연삭에 의해 개개의 칩으로 분할된 것이어도 좋다. 또한, 판형상물(W)은, 분할되어 다이아터치 필름(DAF)이 접착되어 있고, 이 다이아터치 필름을 시트 확장 장치(1)로 분단하도록 해도 좋다.
유지 유닛(20)의 유지면(21a)에 의해 판형상물(W)의 표면(Wa)측을 유지했다면, 도 1에 도시한 이동 수단(40)에 의해 유지 유닛(20)을 접착 기구(30)의 상방측으로 이동시킨다. 도 5의 (b)에 도시한 회전축(24)이 회전하여 판형상물 유지부(21)의 유지면(21a)을 반전시켜 판형상물(W)의 이면(Wb)을 아래로 향해 노출시키고, 시트 접착 플레이트(26)의 개구(260)에 대하여 유지면(21a)에 의해 유지한 판형상물(W)을 대향시킨 후, 승강 기구(27)에 의해 판형상물 유지부(21)를 하강시키고, 판형상물 유지부(21)를 개구(260)로부터 진입시켜, 시트 피접착부(28)의 내측에 판형상물(W)을 위치 부여한다. 또한, 판형상물 유지부(21)를 반전시키고 나서, 판형상물(W)의 이면(Wb)이 시트 피접착부(28)의 시트 본체(3)가 접착되는 면보다 약간 상측이 되도록 위치 부여해도 좋다. 또, 유지 유닛(20)은, 판형상물 유지부(21)를 반전시키지 않고 원하는 위치(접착 기구(30)의 상방측의 위치)로 이동하고 나서, 판형상물 유지부(21)를 반전시키도록 해도 좋다.
접착 기구(30)는, 송출 롤러(34a)가 회전함으로써, 시트 롤(2A)로부터 띠형상 시트(2)를 접착 롤러(31)를 향해 송출한다. 띠형상 시트(2)가 송출 롤러(34a)와 끼움 롤러(34b) 사이를 통과하면, 필 플레이트(37)에 의해 시트 본체(3)와 띠형상 이형 필름(4)으로 분리되고, 시트 본체(3)는 접착 롤러(31)를 통과하여 시트 접착 수단(36)측으로 보내진다. 이동부(361)가 상승하여 쿠션(360)으로 시트 본체(3)를 밀어올려 접착 개시측의 시트 피접착부(28)에 접착한다. 이 때, 끼움 롤러(34b)가 시트 롤(2A)로부터 인출된 띠형상 시트(2)를 송출 롤러(34a)에 대하여 접근하여 끼워, 시트 본체(3)가 느슨해지는 것을 방지한다. 박리된 띠형상 이형 필름(4)은, 가이드 롤러(34c), 가동 롤러(34d)와 누름 롤러(34e) 사이를 통과하여 권취 롤러(38)에 권취되어 간다.
도 13에 도시한 바와 같이, 유지 유닛(20)이 제1 방향에서 박리 영역에 근접하는 방향으로 이동함으로써, 판형상물(W)의 이면(Wb)을 시트 본체(3)의 상면에 접촉시키고, 도 5의 (c)에 도시한 롤러용 가이드(29)를 따라서 접착 롤러(31)를 회전시키면서 시트 본체(3)의 하면을 상측으로 압박하면서 판형상물(W)의 이면(Wb)에 시트 본체(3)를 접착해 간다. 이 때, 변형 방지 롤러(35)가 접착 롤러(31)에 대하여 압박하도록 회전하기 때문에, 시트 본체(3)의 변형을 방지할 수 있다.
시트 본체(3)를 판형상물(W)의 이면(Wb)에 접착하고 있는 동안은, 송출 롤러(34a)가 토크 제어함으로써, 시트 롤(2A)로부터 일정량의 띠형상 시트(2)를 송출하면서, 도 1에 도시한 이동 수단(40)의 모터(42)에 가해지는 텐션(부하)이 일정해지도록 판형상물 유지부(21)를 이동시킴으로써, 시트 본체(3)의 판형상물(W)에 대한 접착 동작을 컨트롤하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 판형상물(W)의 이면(Wb)에 접착되는 시트 본체(3)에 주름이나 오그라짐 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가동 롤러(34d)가 누름 롤러(34e)에 접근하여, 띠형상 이형 필름(4)을 가동 롤러(34d)와 누름 롤러(34e)에 의해 협지하고 있기 때문에, 띠형상 이형 필름(4)이 인장되어 시트 본체(3)가 느슨해지지 않는다. 또한, 시트 본체(3)를 판형상물(W)의 이면(Wb)에 접착하고 있는 동안은, 항상 추(39)가 하측으로 내려가 띠형상 이형 필름(4)을 하측으로 밀어내린 상태가 유지된다. 이에 따라, 띠형상 이형 필름(4)에 일정한 텐션을 가할 수 있어, 시트 본체(3)에 주름이 발생하지 않고, 판형상물(W)의 이면(Wb)에 시트 본체(3)를 양호하게 접착하는 것이 가능해진다.
도 14에 도시한 바와 같이, 시트 본체(3)가 판형상물(W)의 이면(Wb)의 전면에 접착되고, 또한, 접착 종료측의 시트 피접착부(28)에 접착되었다면, 커터(32)에 의해 시트 본체(3)가 절취된다. 구체적으로는, 커터 수용부(320)로부터 커터날(321)을 돌출시켜, 시트 본체(3)를 절단하는 높이 위치에 위치 부여한다. 계속해서, 도 5의 (b)에 도시한 가이드 레일(323)을 따라서 커터날(321)을 제2 방향으로 이동시킴으로써, 시트 본체(3)를, 도 15에 도시하는 직사각형 시트(7)로 절단한다. 판형상물(W)의 이면(Wb) 및 시트 피접착부(28)에 직사각형 시트(7)가 접착되면, 직사각형 시트(7)의 접착 동작이 완료한다. 시트 본체(3)를 절단할 때에는, 커터용 히터(322)에 의해 커터날(321)이 가열된 상태로 되어 있기 때문에, 시트 본체(3)의 풀층이 커터날(321)에 부착되기 어려워, 연속으로 시트 본체(3)를 원활하게 절취할 수 있다. 띠형상 이형 필름(4)은, 권취 롤러(38)에 의해 권취되어, 이형 필름 롤(4A)로서 형성된다. 또, 시트 롤(2A)이 소직경화하여 릴(33)에 감겨 있는 띠형상 시트(2)가 없어지면, 도 1에 도시한 유닛 본체(300)를 장치 밖으로 인출하여, 시트 롤(2A)을 교환하는 것이 바람직하다. 또한, 이경 필름 롤(4A)이 대직경화하면, 임의의 타이밍에 이경 필름 롤(4A)을 떼내어 제거하는 것이 좋다.
도 16에 도시한 바와 같이, 유지 유닛(20)은, 전달 유닛(50)의 상방측으로 이동하면, 승강 기구(27)에 의해, 판형상물 유지부(21)를 전달 유닛(50)에 접근하는 방향으로 하강시키고, 도 9에 도시한 전달 유닛 유지부(51)의 유지면(51a)에 직사각형 시트(7)를 개재하여 판형상물(W)을 배치하며, 직사각형 시트(7)의 모서리부를 시트 모서리부 배치부(520)의 배치면(520a)에 배치한다. 이 때, 기울기 흡수 기구(56)에 의해, 판형상물(W)의 전달시의 충격이 흡수되기 때문에, 판형상물(W)이 파손될 우려를 저감할 수 있다. 계속해서, 클램프부(521)에 의해 직사각형 시트(7)의 모서리부를 협지한다. 판형상물 유지부(21)가 판형상물(W)의 흡인을 해제하며, 전달 유닛 유지부(51)에 의해 판형상물(W)을 흡인 유지한다. 이와 같이 하여, 유지 유닛(20)으로부터 전달 유닛(50)으로 판형상물(W)을 전달함으로써, 도 17에 도시한 바와 같이, 직사각형 시트(7)의 네 모서리가 4개의 모서리부 협지 수단(52)에 의해 협지되고, 또한, 테이프(T)가 위를 향해 노출된 상태로 판형상물(W)이 전달 유닛(50)에 의해 유지된 상태가 된다.
다음으로, 전달 유닛(50)에 의해 판형상물(W)을 유지한 상태를 유지한 채, 도 1에 도시한 박리 기구(70)를 이용하여 판형상물(W)의 표면(Wa)으로부터 테이프(T)를 박리한다. 우선, 도 18에 도시한 바와 같이, 전달 유닛(50)의 상측으로 테이프 유지 유닛(70A) 및 박리 기점부 생성 수단(70C)을 이동시킨다. 이 때, 판형상물(W)에 접착된 테이프(T)의 외주 단부의 약간의 외주 부분을 박리 기점부 생성 수단(70C)에서의 선단 바늘형 부재(78)의 선단의 바로 아래에 위치 부여한다. 그 후, 도 11의 (c)에 도시한 제4 에어 실린더(71d)를 작동시켜, 선단 바늘형 부재(78)의 선단을 테이프(T)의 외주 단부에 근접하는 위치까지 강하시킨다.
선단 바늘형 부재(78)의 선단이 테이프(T)의 외주 부분에 근접하도록, 테이프(T)의 표면 높이에 맞춰 선단 바늘형 부재(78)의 선단의 높이를 미조정하고, 선단이 근접한 상태로 테이프 유지 유닛(70A) 및 박리 기점부 생성 수단(70C)을 약간 도면 중 좌측으로 이동시킴으로써, 도 19에 도시한 바와 같이, 선단 바늘형 부재(78)의 선단을 테이프(T)의 외주 부분에 충돌시킨다. 이 때, 4개의 모서리부 협지 수단(52)이 직사각형 시트(7)의 네 모서리를 협지한 상태로 되어 있지만, 선단 바늘형 부재(78)는, 도 17에 도시한 직사각형 시트(7)의 네 모서리 이외의 부분으로부터 테이프(T)의 외주 부분에 충돌하고 나서, 선단 바늘형 부재(78)의 이동을 방해하지는 않는다. 또, 도시한 바와 같이, 테이프(T)의 둘레 방향 외측으로부터 선단 바늘형 부재(78)의 선단을 충돌시키도록 해도 좋지만, 테이프(T)의 외주 부분의 상측으로부터 선단 바늘형 부재(78)의 선단을 충돌시키도록 하는 것도 가능하다.
선단 바늘형 부재(78)의 선단이 테이프(T)의 외주 부분에 충돌한 후, 제4 에어 실린더(71d)를 작동시켜, 선단 바늘형 부재(78)를 약간 상승시킴으로써, 테이프(T)의 외주 부분의 일부가 양호하게 박리된다.
테이프(T)의 일부가 박리된 후, 도 20에 도시한 바와 같이, 선단 부재(77)를 상승시킴과 더불어, 에어 노즐(79)로부터 고압 에어를 분사함으로써, 선단 바늘형 부재(78)의 선단으로부터 테이프(T)의 외주 부분이 이반되고, 테이프(T)의 외주 부분에서 먼저 박리된 일부를 포함하는 박리 영역이 확대되어, 테이프 유지 유닛(70A)에 의해 협지하기에 적합한 박리 기점부(TS)가 생성된다. 또, 박리 기점부 생성 공정에서의 유지 베이스(72)의 높이는, 박리 기점부(TS)가 에어 노즐(79)로부터의 고압 에어에 의해 박리되었을 때에, 박리 기점부(TS)가 유지 베이스(72)에 배치된 협지편(711, 712) 사이에 수습되도록 조정된다. 또한, 에어 노즐(79)에 의해 고압 에어를 분사하여 박리 영역을 확대할 때에, 상기 선단 바늘형 부재(78)를 더 충돌시켜도 좋다. 이와 같이 하여 박리 기점부(TS)가 적합하게 생성된다.
테이프(T)의 외주 부분이 에어 노즐(79)로부터 분사된 고압 에어에 의해 들어 올려지면, 도 21에 도시한 바와 같이, 제3 에어 실린더(70c)의 작동에 의해 협지편(712)을 협지편(711)측으로 이동시켜, 박리한 테이프(T)의 외주 부분을 협지편(711)과 협지편(712)에 의해 협지한다. 그리고, 제1 에어 실린더(71a)를 작동시킴으로써, 협지편(711, 712)의 하측으로 절곡 롤러(75)를 진입시키는 것이 가능할 정도로 테이프 유지 유닛(70A) 전체를 상측으로 이동시킨다.
테이프 유지 유닛(70A)을 상측으로 이동시키고, 절곡 롤러(75)를 테이프 유지 유닛(70A)측으로 이동시킨다. 또, 절곡 롤러(75)는, 테이프(T)의 판형상물(W)에 대한 점착면측에 맞닿으면서 박리를 진행시키기 때문에, 길이 방향의 축중심으로 회전 가능하고, 또한 접촉하는 테이프(T)의 점착면이 부착되지 않도록 그 표면에는 불소 수지가 코팅되어 있다. 본 실시형태에서는, 판형상물(W)은 연삭되어 매우 얇은 판형으로 형성되는 것이며, 절곡 각도가 작으면 테이프(T)의 박리시에 판형상물(W)의 크랙, 파손 등을 일으킬 우려가 있어, 가능한 한 180도, 혹은, 그것에 가까운 각도로 절곡되는 것이 바람직하다.
도 22에 도시한 바와 같이, 절곡 롤러(75)가 유지판(73) 하면의 도면 중 좌방측 타단부까지 이동하면, 판형상물(W)의 표면(Wa)으로부터 테이프(T)가 완전히 박리된다. 판형상물(W)의 표면(Wa)으로부터 박리된 테이프(T)는, 유지판(73)에 의해 흡인 유지된다. 그리고, 제3 에어 실린더(71c)의 작동에 의해 협지편(712)을 협지편(711)으로부터 이반시켜 테이프(T)의 외주 부분이 풀어지고, 예컨대 폐기 용기에 폐기된다.
다음으로, 도 1에 도시한 전달 유닛 이동 수단(60)에 의해, 전달 유닛(50)을 확장 기구(80)의 바로 아래로 이동시키고, 직사각형 시트(7)가 접착된 판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달한다. 구체적으로는, 도 23에 도시한 바와 같이, 2개의 제1 방향 이동 수단(88a)을 작동시켜, 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)이 서로 접근하도록 가동 베이스(87a)를 제1 방향으로 수평 이동시킨다. 또한, 2개의 제2 방향 이동 수단(88b)을 작동시켜, 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)이 서로 접근하도록 가동 베이스(87b)를 제2 방향으로 수평 이동시킨다. 이 때, 모서리부 협지 수단(52)은, 직사각형 시트(7)의 네 모서리를 협지하고 있지만, 직사각형 시트(7)의 네 모서리 이외의 부분을 제1 협지 수단(80A)∼제4 협지 수단(80D)에 의해 협지하기 때문에, 제1 협지 수단(80A)∼제4 협지 수단(80D)의 제1 방향 및 제2 방향의 이동을 방해하지는 않는다.
계속해서, 제1 방향에서 판형상물(W)을 사이에 두고 서로 대향한 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)에 의해 직사각형 시트(7)를 협지하며, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 판형상물(W)을 사이에 두고 서로 대향한 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)에 의해 직사각형 시트(7)를 협지한다. 구체적으로는, 승강 기구에 의해, 도 24에 도시하는 제1 협지 수단(80A) 및 제2 협지 수단(80B)에서의 각 하측 협지부(81a)를 상승시킴과 더불어, 각 상측 협지부(81b)를 하강시켜, 하측 협지부(81a)의 롤러(83)가 직사각형 시트(7)의 하면을 압박하며, 상측 협지부(81b)의 롤러(83)가 직사각형 시트(7)의 상면을 압박함으로써 직사각형 시트(7)의 상하면을 협지한다. 또한, 승강 기구에 의해, 도 25에 도시하는 제3 협지 수단(80C) 및 제4 협지 수단(80D)에서의 각 하측 협지부(84a)를 상승시킴과 더불어, 각 상측 협지부(84b)를 하강시켜, 하측 협지부(84a)의 롤러(86)가 직사각형 시트(7)의 하면을 압박하며, 상측 협지부(84b)의 롤러(86)가 직사각형 시트(7)의 상면을 압박함으로써, 직사각형 시트(7)의 상하면을 협지한다. 그리고, 도 17에 도시한 전달 유닛 유지부(51)에 의한 판형상물(W)의 흡인 유지를 해제하며, 모서리부 협지 수단(52)에 의한 직사각형 시트(7)의 모서리부의 협지를 해제하고, 판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달한다. 이와 같이, 전달 유닛(50)에 의하면, 확장 기구(80)에 판형상물(W)을 전달하기까지의 동안은, 판형상물(W)에 접착된 직사각형 시트(7)의 모서리부를 모서리부 협지 수단(52)에 의해 협지한 상태가 유지되기 때문에, 확장 기구(80)에 판형상물(W)을 파손시키지 않고 확실하게 전달할 수 있다.
판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달하면, 도 24에 도시한 바와 같이, 제1 방향에서 직사각형 시트(7)를 확장하여 개개의 칩(C) 사이의 간격을 형성한다. 구체적으로는, 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)이 직사각형 시트(7)를 협지한 상태로 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)을 제1 방향에서 서로 이반되도록 이동시킨다. 즉, 도 23에 도시한 2개의 제1 방향 이동 수단(88a)을 작동시키고, 제1 협지 수단(80A)과 제2 협지 수단(80B)이 서로 이반되도록, 각 가동 베이스(87a)를 제1 방향으로 이동시켜, 각 하측 협지부(81a)의 롤러(83)와 각 상측 협지부(81b)의 롤러(83)에 의해 협지된 직사각형 시트(7)를 각각 외측으로 인장한다. 직사각형 시트(7)가 확장됨에 따라, 인접하는 칩(C) 사이의 간격이 커져, 각 칩(C) 사이에 충분한 간격을 형성할 수 있다. 이에 따라, 판형상물(W)의 반송시에 인접하는 칩(C)끼리 접촉하는 것을 방지할 수 있다.
계속해서, 도 25에 도시한 바와 같이, 제2 방향에서 직사각형 시트(7)를 확장하여 개개의 칩(C) 사이의 간격을 형성한다. 구체적으로는, 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)이 직사각형 시트(7)를 협지한 상태로 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)을 제2 방향에서 서로 이반되도록 이동시킨다. 즉, 도 23에 도시한 2개의 제2 방향 이동 수단(88b)을 작동시키고, 제3 협지 수단(80C)과 제4 협지 수단(80D)이 서로 이반되도록, 각 가동 베이스(87b)를 제2 방향으로 이동시켜, 각 하측 협지부(84a)의 롤러(86)와 각 상측 협지부(84b)의 롤러(86)에 의해 협지된 직사각형 시트(7)를 각각 외측으로 인장한다. 직사각형 시트(7)가 확장됨에 따라, 인접하는 칩(C) 사이의 간격이 커져, 각 칩(C) 사이에 충분한 간격을 형성할 수 있다. 이에 따라, 판형상물(W)의 반송시에 인접하는 칩(C)끼리 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 또, 본 실시형태에서는, 직사각형 시트(7)의 제1 방향의 확장을 행한 후에 제2 방향의 확장을 행하고 있지만, 이 경우에 한정되지 않고, 제1 방향 확장과 제2 방향의 확장을 동시에 행해도 좋고, 제2 방향의 확장을 하고 나서 제1 방향의 확장을 해도 좋다. 또한, 직사각형 시트(7)의 제1 방향의 확장량과 제2 방향의 확장량은, 같아도 좋고 달라도 좋다.
여기서, 제1 방향의 확장 및 제2 방향의 확장에 의해 확장된 판형상물(W) 중, 개개의 칩(C)으로 분할되어 있지 않은 미분할 영역(개질층을 기점으로 분할되지 않은 영역)이 있는 경우는, 도시하지 않지만, 예컨대 스키지 등에 의해 판형상물(W)에 외력을 부여함으로써, 개개의 칩(C)으로 분할한다. 또, 미분할 영역의 분할은, 적어도 후술하는 프레임 접착을 실시하기 전에 행한다.
도 26에 도시한 바와 같이, 제1 반송 수단(16a)에 의해 프레임(5)을 직사각형 시트(7)에 대면시킨다. 우선, 제1 반송 수단(16a)은, 도 3에 도시한 프레임 스토커(17)에 수용되어 있는 프레임(5)을 프레임 유지부(161)로 흡인 유지하여 반출하고, 직사각형 시트(7)의 상방측으로 이동한다. 계속해서, 제1 협지 수단(80A)∼제4 협지 수단(80D)에 의해 직사각형 시트(7)를 협지한 상태로, 직사각형 시트(7)의 상면(7a)에 프레임(5)을 대면시킴과 더불어, 프레임(5)의 개구(6)의 내측에 판형상물(W)을 위치 부여한다.
계속해서, 도 27에 도시한 바와 같이, 직사각형 시트(7)의 상면(7a)에 대면하여 위치 부여된 프레임(5)에 직사각형 시트(7)를 접착한다. 구체적으로는, 승강 기구에 의해 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)가 상승하고, 직사각형 시트(7)의 하면에 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)를 접촉시킨다. 계속해서 도 8에 도시한 원판(54)이 적어도 1회전함으로써 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)를 프레임(5)을 따라서 원형으로 이동시키면서 직사각형 시트(7)의 하면을 상측으로 압박함으로써, 프레임(5)에 직사각형 시트(7)의 상면(7a)을 접착한다. 이 때, 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)는 히터에 의해 가열되어 있기 때문에, 프레임(5)에 대한 직사각형 시트(7)의 밀착성을 높여, 프레임(5)에 직사각형 시트(7)를 양호하게 접착할 수 있다. 프레임(5)에 직사각형 시트(7)를 접착하면, 프레임 접착용 롤러(57a, 57b)를 하강시켜 직사각형 시트(7)로부터 후퇴시킨다.
도 28에 도시한 바와 같이, 프레임(5)을 따라서 직사각형 시트(7)를 절단한다. 구체적으로는, 승강 기구에 의해 프레임 접착용 커터(58)가 상승하여 직사각형 시트(7)에 절입되고, 도 8에 도시한 원판(54)이 적어도 1회전함으로써, 프레임(5)을 따라서 프레임 접착용 커터(58)를 원형으로 이동시키는 것에 의해 직사각형 시트(7)를 절단한다.
도 29에 도시한 바와 같이, 프레임(5)에 직사각형 시트(7)를 개재하여 판형상물(W)이 접착된 프레임 유닛(8)이 형성된다. 그리고, 제1 반송 수단(16a)은 프레임 유닛(8)을 유지한 상태로 상승함으로써, 직사각형 시트(7)가 절단된 위치(P)로부터 프레임 유닛(8)을 반출한다. 프레임 유닛(8)은, 도 3에 도시한 프레임 스토커(17)의 옆에 배치된 도시하지 않은 임시 배치대에 일시적으로 배치된다. 그 후, 도 2에 도시하는 제2 반송 수단(16b)에 의해, 임시 배치대로부터 프레임 유닛(8)이 반출됨과 더불어 세정 장치 영역에 반송되어, 세정 장치(18)에 의해 세정 처리ㆍ건조 처리가 실시된다. 그리고, 프레임 유닛(8)은, 자외선 조사 영역에 반송되고, 자외선 조사 장치에 의해 프레임 유닛(8)의 직사각형 시트(7)에 대하여 자외선이 조사되어 경화 처리가 실시된다.
이와 같이, 본 발명에 관한 시트 확장 장치(1)는, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)를 유지 유닛(20)에 의해 유지된 판형상물(W)에 접착하는 접착 롤러(31)와, 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트(7)로 절취하는 커터(32)를 가진 접착 기구(30)와, 접착 롤러(31)를 유지 유닛(20)에 대하여 띠형상 시트(2)를 접착하는 접착 방향으로 상대 이동시키는 이동 수단(40)과, 직사각형 시트(7)를 제1 방향 및 제2 방향으로 확장하는 확장 기구(80)와, 유지 유닛(20)에 의해 유지되고 직사각형 시트(7)가 접착된 판형상물(W)을 확장 기구(80)로 전달하는 전달 유닛(50)을 구비했기 때문에, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)를 유지 유닛(20)에 의해 유지된 판형상물(W)에 접착한 후, 커터(32)에 의해 직사각형 시트(7)로 절취하고 나서, 전달 유닛(50)에 의해 확장 기구(80)로 전달하여, 직사각형 시트(7)를 확장할 수 있다. 본 발명에 의하면, 롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트(2)의 상태로 시트 확장 장치(1)에 공급할 수 있고, 시트 확장 장치(1) 내에서 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)에 접착하며, 판형상물(W)보다 큰 사이즈의 직사각형 시트(7)로 절취하는 것이 가능해지기 때문에, 종래에 비교해서 작업성이 향상된다.
또한, 띠형상 시트(2)를 판형상물(W)에 접착할 때에는, 유지 유닛(20)에 의해 판형상물(W)이 유지된 상태가 유지되고, 직사각형 시트(7)가 판형상물(W)에 접착된 후 확장 기구(80)에 전달되기까지의 동안은, 전달 유닛(50)에 의해 판형상물(W)이 유지된 상태가 유지되고, 판형상물(W)이 확장 기구(80)에 전달된 후 고리형의 프레임(5)에 직사각형 시트(7)가 장착되기까지의 동안은, 항상 직사각형 시트(7)의 외연이 제1 협지 수단(80A), 제2 협지 수단(80B), 제3 협지 수단(80C) 및 제4 협지 수단(80D)에 의해 협지된 상태가 유지되기 때문에, 판형상물(W)이 파손될 우려를 저감할 수 있다.
1 : 시트 확장 장치 2 : 띠형상 시트
2A : 시트 롤 3 : 시트 본체
4 : 띠형상 이형 필름 4A : 이형 필름 롤
5 : 프레임 6 : 개구
7 : 직사각형 시트 8 : 프레임 유닛
10 : 제1 장치 베이스 11 : 제2 장치 베이스
12 : 반입구 13 : 표시 수단 겸 입력 수단
14 : 지지 기둥 15 : 가이드
16a : 제1 반송 수단 16b : 제2 반송 수단
17 : 프레임 스토커 18 : 세정 장치
20 : 유지 유닛 21 : 판형상물 유지부
21a : 유지면 22 : 고정대
23 : 베이스 24 : 회전축
25 : 지지부 26 : 시트 접착 플레이트
260 : 개구 27 : 승강 기구
28 : 시트 피접착부 29 : 롤러용 가이드
30 : 접착 기구 31 : 접착 롤러
32 : 커터 33 : 릴
34a : 송출 롤러 34b : 끼움 롤러
34c : 가이드 롤러 34d : 가동 롤러
34e : 누름 롤러 35 : 변형 방지 롤러
36 : 접착 수단 37 : 필 플레이트
38 : 권취 롤러 39 : 추
40 : 이동 수단 41 : 볼나사
42 : 모터 43 : 가이드 레일
44 : 이동 베이스 50 : 전달 유닛
51 : 전달 유닛 유지부 51a : 유지면
52 : 모서리부 협지 수단 53 : 승강 기구
54 : 원판 55 : 회전축
56 : 기울기 조정 기구 57a, 57b : 프레임 접착용 롤러
58 : 프레임 접착용 커터 59 : 입설부
60 : 전달 이동 수단 61 : 볼나사
62 : 가이드 레일 63 : 이동 베이스
70 : 박리 기구 70A : 테이프 유지 유닛
70B : 절곡 롤러 이동 수단 70C : 박리 기점부 생성 수단
71a : 제1 에어 실린더 71b : 제2 에어 실린더
71c : 제3 에어 실린더 71d : 제4 에어 실린더
711, 712 : 협지편 72 : 유지 베이스
73 : 유지판 74 : 지지 프레임
75 : 절곡 롤러 76 : 아암 부재
77 : 선단 부재 78 : 선단 바늘형 부재
79 : 에어 노즐 80 : 확장 기구
80A : 제1 협지 수단 80B : 제2 협지 수단
80C : 제3 협지 수단 80D : 제4 협지 수단

Claims (4)

  1. 시트를 확장하는 확장 장치로서,
    판형상물을 유지하는 유지면을 가진 유지 수단과,
    롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트를 상기 유지 수단에 의해 유지된 판형상물에 접착하는 접착 롤러와, 상기 띠형상 시트를 판형상물보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트로 절취하는 커터 수단을 가진 접착 기구와,
    상기 접착 롤러를 상기 유지 수단에 대하여 상기 띠형상 시트를 접착하는 접착 방향으로 상대 이동시키는 이동 수단과,
    제1 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 접착 기구에 의해 판형상물에 접착된 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제1 협지 수단과, 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제3 협지 수단과, 제4 협지 수단과, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단을 상기 제1 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하며 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 상기 제2 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 협지 수단 이동 수단을 가진 확장 기구와,
    상기 유지 수단에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 확장 기구로 전달하는 전달 수단
    을 포함하고,
    상기 유지 수단은,
    상기 유지면을 포함하여 판형상물을 유지하는 판형상물 유지부와,
    상기 판형상물 유지부의 외주에서 상기 접착 방향에서 상기 유지면을 사이에 두고 접착 개시측과 접착 종료측에 배치되고, 상기 유지면에 의해 유지된 판형상물의 피(被)시트 접착면보다 돌출된 시트 피접착부
    를 더 포함하고,
    상기 접착 기구는,
    상기 유지 수단에 의해 유지된 판형상물에 대면하여 배치되고, 롤형상의 상기 띠형상 시트를 송출하는 송출부와,
    상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트의 일단부를 상기 접착 개시측의 상기 시트 피접착부에 접착하는 시트 접착 수단
    을 더 포함하는 것인, 확장 장치.
  2. 시트를 확장하는 확장 장치로서,
    판형상물을 유지하는 유지면을 가진 유지 수단과,
    롤형상으로 감겨 있는 띠형상 시트를 상기 유지 수단에 의해 유지된 판형상물에 접착하는 접착 롤러와, 상기 띠형상 시트를 판형상물보다 큰 사이즈를 가진 직사각형 시트로 절취하는 커터 수단을 가진 접착 기구와,
    상기 접착 롤러를 상기 유지 수단에 대하여 상기 띠형상 시트를 접착하는 접착 방향으로 상대 이동시키는 이동 수단과,
    제1 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 접착 기구에 의해 판형상물에 접착된 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제1 협지 수단과, 제2 협지 수단과, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에서 상기 직사각형 시트에 접착된 판형상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되고, 상기 직사각형 시트의 외연을 각각 협지하는 제3 협지 수단과, 제4 협지 수단과, 상기 제1 협지 수단과 상기 제2 협지 수단을 상기 제1 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하며 상기 제3 협지 수단과 상기 제4 협지 수단을 상기 제2 방향에서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 협지 수단 이동 수단을 가진 확장 기구와,
    상기 유지 수단에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 확장 기구로 전달하는 전달 수단
    을 포함하고,
    상기 전달 수단은,
    상기 유지 수단에 의해 유지되고 상기 직사각형 시트가 접착된 판형상물을 상기 직사각형 시트를 개재하여 유지하는 전달 수단 유지부와,
    상기 전달 수단 유지부의 외주에서 상기 직사각형 시트의 모서리부를 각각 협지하는 모서리부 협지 수단
    을 포함하는 것인, 확장 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 띠형상 시트는, 기재 시트와, 상기 기재 시트 상에 배치된 풀층(糊層)을 포함하고, 상기 풀층 위에 띠형상 이형 필름이 배치된 상태로 롤형상으로 감겨 있고,
    상기 접착 기구는,
    상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트로부터 상기 띠형상 이형 필름을 박리하는 필 플레이트(peel plate)와,
    박리된 상기 띠형상 이형 필름을 권취하는 권취부와,
    상기 필 플레이트와 상기 권취부 사이에서 상기 띠형상 이형 필름을 밀어내리는 추
    를 포함하는 것인 확장 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 띠형상 시트는, 기재 시트와, 상기 기재 시트 상에 배치된 풀층(糊層)을 포함하고, 상기 풀층 위에 띠형상 이형 필름이 배치된 상태로 롤형상으로 감겨 있고,
    상기 접착 기구는,
    상기 유지 수단에 의해 유지된 판형상물에 대면하여 배치되고 롤형상의 상기 띠형상 시트를 송출하는 송출부와,
    상기 송출부에서 송출된 상기 띠형상 시트로부터 상기 띠형상 이형 필름을 박리하는 필 플레이트(peel plate)와,
    박리된 상기 띠형상 이형 필름을 권취하는 권취부와,
    상기 필 플레이트와 상기 권취부 사이에서 상기 띠형상 이형 필름을 밀어내리는 추
    를 포함하는 것인 확장 장치.
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