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KR102492720B1 - Anti-glare glass using silk screen mesh patterns and manufacturing method thereof - Google Patents

Anti-glare glass using silk screen mesh patterns and manufacturing method thereof Download PDF

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KR102492720B1
KR102492720B1 KR1020210149432A KR20210149432A KR102492720B1 KR 102492720 B1 KR102492720 B1 KR 102492720B1 KR 1020210149432 A KR1020210149432 A KR 1020210149432A KR 20210149432 A KR20210149432 A KR 20210149432A KR 102492720 B1 KR102492720 B1 KR 102492720B1
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mask
glass
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이제원
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인제대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명은 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법에 대한 것으로, 유리 기판에 실크 스크린 마스크 등 기판을 관통하는 홀이 있는 미세 메쉬 패턴을 마스크로 사용하여 감광제 박막 패턴을 만든다. 이후 식각 공정을 통해 유리, 금속, 고분자 등 임의의 기판에 마스크 패턴을 전사하는 기술로 제조한 난반사 기판과 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의해 개발된 난반사 기판 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있다. 이는 매우 불규칙한 크기로 존재하는 소재 표면의 바운더리 식각 공정을 이용한 기술이나 미세 입자를 마스크로 사용하는 종래의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별되는 것으로 매우 창의적이며 진보적이다. 본 발명을 통해 앞으로 더욱 다양한 종류의 규칙적 패턴을 이용한 난반사 기판들을 편리하며, 보다 환경 친화적으로 만들 수 있을 것으로 판단한다. 또한, 대면적 자동화에 기반한 품질 제어에 더욱 효율적으로 대처할 수 있어 난반사 기판 제조 효율 향상에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. The present invention relates to a diffuse reflection glass substrate and a method for manufacturing the same, and a photoresist thin film pattern is made by using a fine mesh pattern having holes penetrating the substrate, such as a silk screen mask, as a mask on a glass substrate. The present invention relates to a diffuse reflection substrate manufactured by a technique of transferring a mask pattern to an arbitrary substrate such as glass, metal, polymer, etc. through an etching process thereafter, and a manufacturing method thereof. On the surface of the diffuse reflection substrate developed according to the present invention, a diffuse reflection function can be implemented by various desired regular patterning. This is very creative and progressive as it is distinct from the technology using the boundary etching process on the surface of materials that exist in very irregular sizes or the conventional diffuse reflection glass manufacturing technology that uses fine particles as a mask. Through the present invention, it is determined that diffuse reflection substrates using more various kinds of regular patterns can be made more convenient and more environmentally friendly in the future. In addition, it is expected that it will be able to more efficiently cope with quality control based on large-area automation, greatly contributing to the improvement of diffuse reflection substrate manufacturing efficiency.

Description

실크 스크린의 메쉬 패턴을 활용한 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법{Anti-glare glass using silk screen mesh patterns and manufacturing method thereof}Anti-glare glass using silk screen mesh patterns and manufacturing method thereof}

본 발명은 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 실크 스크린 그 자체를 마스크 소재로 활용하여 유리 기판 위에 감광제 박막 패턴을 만들고, 이후 식각 공정을 통해 그 유리 기판에 마스크 패턴을 전사 하는 기술로 제작된 규칙적인 난반사 패턴을 가지는 난반사 유리기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a diffuse reflection glass substrate and a method for manufacturing the same, and more particularly, by using silk screen itself as a mask material to create a photoresist thin film pattern on a glass substrate, and then transferring the mask pattern to the glass substrate through an etching process. It relates to a diffuse reflection glass substrate having a regular diffuse reflection pattern manufactured by a technique for manufacturing the same and a manufacturing method thereof.

난반사 유리(Anti-Glare Glass) 기판은 전자 칠판, 전광판 디스플레이, 키오스크 등의 제품에서 입사하는 빛의 반사를 줄이는 창으로 사용되는 특수 유리이다. 불규칙 패턴의 습식 식각을 이용하여 난반사 유리를 제조하는 기술은 이미 미국 특허 US 4,944,986, US 5,120,605, US 6,929,861 등에 자세히 설명되어 있다. The anti-glare glass substrate is a special glass used as a window to reduce the reflection of incident light in products such as electronic blackboards, electric signboard displays, and kiosks. Techniques for manufacturing diffuse reflection glass using irregular pattern wet etching have already been described in detail in US Patents US 4,944,986, US 5,120,605, US 6,929,861 and the like.

그 기술을 설명하면 일반적으로 특수하게 제작된 소다 라임 유리를 표면 세척한 후에 불산 혼합물이 포함되어 있는 용액에 담그거나, 불산 혼합물 수용액을 스프레이로 뿌려서 비결정질인 유리 소재 표면에 다양한 크기로 존재하는 소재의 미세 경계면(바운더리)를 선택적으로 식각하게 된다. 그렇게 되면 선결함이 밀집되어 있는 경계면이 비정질 유리 표면보다 더 빨리 반응하여 결과적으로 더 깊이, 더 많이 식각된다. To explain the technology, generally, after cleaning the surface of specially manufactured soda-lime glass, it is immersed in a solution containing a hydrofluoric acid mixture, or the aqueous solution of a hydrofluoric acid mixture is sprayed to form materials that exist in various sizes on the surface of an amorphous glass material. Fine boundary surfaces (boundaries) are selectively etched. In that case, the interface where the linear defects are concentrated reacts faster than the amorphous glass surface, and as a result, it is etched more deeply and more.

그 결과로서 입사 광선이 경계면에 입사되면 매우 불규칙적인 경계면에서의 빛의 불규칙 반사, 또는 난반사가 이루어진다. 이 원리를 이용하여 입사광의 반사도를 줄이게 만든 유리를 정현 유리 또는 난반사 유리(anti-glare glass)라고 한다. 또 다른 난반사 유리 제조방법은 미세입자를 도포하여 마스크로 활용하여 습식식각을 하는 방법으로 미국 특허 출원 Pub.No.:US2007/0195419에 자세히 설명되어 있다. As a result, when an incident ray is incident on the boundary surface, irregular reflection or diffuse reflection of light occurs at the very irregular boundary surface. Glass made using this principle to reduce the reflectivity of incident light is called sine glass or anti-glare glass. Another diffuse reflection glass manufacturing method is a method of wet etching by applying fine particles and using them as a mask, which is described in detail in US Patent Application Pub.No.: US2007/0195419.

그러나, 종래의 경우를 따르면, HF, NH4F 등을 혼합하여 유리의 바운더리만을 선택적으로 식각하는 방법을 사용함으로써, 난반사 유리 특성은 해당 유리가 고유하게 가지고 있는 바운더리의 크기와 모양에 크게 의존하게 된다. 이에 따라 습식 공정 시간도 많이 필요할 수 있으며, 유리도 바운더리 특성에 맞는 특정 유리로 한정되어 비교적 가격이 높고 공정도 매우 예민하며 불편할 수 있다.However, according to the conventional case, by using a method of selectively etching only the boundary of the glass by mixing HF, NH 4 F, etc., the characteristics of the diffuse reflection glass are highly dependent on the size and shape of the boundary inherent in the glass. do. Accordingly, a lot of wet process time may be required, and glass is limited to specific glass suitable for boundary characteristics, so the price is relatively high and the process is very sensitive and inconvenient.

또한, 기존의 불산 혼합물로 식각된 유리의 바운더리는 매우 불규칙적이고 미세 결함의 밀도가 바운더리에 집중되어 행여 세척이 부족하여 약간의 오염물질이라도 잔류하게 되면 반응에 필요한 에너지가 매우 낮은 미세한 바운더리에 영향을 주어 난반사 유리 표면 상태의 화학적 반응에 의해 제품 불량의 주된 원인이 되어왔다. In addition, the boundary of the glass etched with the existing hydrofluoric acid mixture is very irregular, and the density of fine defects is concentrated on the boundary, so if even a little contaminant remains due to lack of cleaning, the energy required for the reaction is very low, affecting the fine boundary. The chemical reaction of the surface state of the given diffuse reflection glass has been the main cause of product defects.

또한, 이와 같은 미세 입자의 도포 후 습식식각 기술은 대면적 유리에 적용하기에는 쉽지 않은 기술로, 기판 식각의 균일도를 중요시하는 경우에는 많은 기술적 한계점을 가지고 있다.In addition, such a wet etching technology after application of fine particles is not easy to apply to large-area glass, and has many technical limitations when the uniformity of substrate etching is important.

미국 특허 US 4,944,986호US Patent US 4,944,986

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 개발된 것으로, 불규칙한 바운더리 식각이나 미세 입자 마스크를 사용하는 기술로는 불가능했던 규칙적인 패턴 식각을 통한 난반사 유리 기판 및 이의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a diffuse reflection glass substrate and a manufacturing method thereof through regular pattern etching, which was impossible with techniques using irregular boundary etching or fine particle masks. .

또한, 불규칙한 크기의 경계면 식각 기술이 아닌, 제조자가 원하는 임의의 크기와 모양을 가진 규칙적인 미세 패터닝을 가지는 난반사 기판 및 이의 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. In addition, it is intended to provide a diffuse reflection substrate having regular fine patterning having an arbitrary size and shape desired by a manufacturer, and a method for manufacturing the same, rather than an irregularly sized interface etching technique.

이와 같은 본 발명을 이용하면 당 업자는 여기서 예로서 설명하는 기판 뿐만 아니라, 단순히 기판을 바꾸어 고분자 기판, 금속 기판 등 입사광을 반사하는 어떤 기판도 난반사 기판으로 쉽게 만들 수 있다는 것을 밝혀둔다. By using the present invention, those skilled in the art can easily make a diffuse reflection substrate any substrate that reflects incident light, such as a polymer substrate or a metal substrate, by simply changing the substrate, as well as the substrate described here as an example.

또한, 본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 유리 기판 뿐만 아니라 다양한 소재의 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. In addition, the surface of the diffuse reflection glass developed according to the present invention can implement a diffuse reflection function by various regular patterning, so it can be clearly distinguished from the conventional boundary etching process-based diffuse reflection glass manufacturing technique in which the size is very irregular. In the future, it is expected that the present invention will contribute greatly to the development of the diffuse reflection substrate manufacturing industry by conveniently making diffuse reflection substrates of various materials as well as diffuse reflection glass substrates having more diverse types of patterns in the future.

앞에 언급한 불규칙적인 바운더리 식각이나 미세입자 도포에 의한 난반사 유리 제조방법의 문제들을 해결하기 위해서, 본 발명에서는 매우 독창적 관점에서 규칙적인 미세 패턴을 이용한 난반사 기판 및 이의 제조방법을 개발하였다. In order to solve the above-mentioned problems of the irregular reflection glass manufacturing method by irregular boundary etching or fine particle coating, the present invention has developed a diffuse reflection substrate using a regular fine pattern and a manufacturing method thereof from a very original point of view.

본 발명에서는 외부로부터 입사하는 빛의 난반사를 위한 유리 기판에 있어서, 미세 메쉬 패턴이 형성된 실크 스크린 그 자체를 마스크로 사용하여 상기 기판의 일면 또는 양면에 모양, 크기 또는 배열이 규칙적으로 나타나는 난반사 패턴이 형성되며, 상기 난반사 패턴은 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양이나 크기를 제어함으로써, 다양한 광학적 특성을 가지는 것을 특징으로 하는 난반사 유리 기판이 제공된다.In the present invention, in a glass substrate for diffuse reflection of light incident from the outside, a diffuse reflection pattern having a regular shape, size, or arrangement appears on one or both sides of the substrate by using a silk screen itself formed with a fine mesh pattern as a mask. and the diffuse reflection pattern has various optical characteristics by controlling the shape or size of the fine mesh pattern of the mask.

상기 난반사 패턴은 상기 기판의 일면 또는 양면에 양각 또는 음각으로 형성될 수 있다. The diffuse reflection pattern may be embossed or engraved on one or both surfaces of the substrate.

여기서, 상기 난반사 패턴은 다각형의 조합으로 이루어지며, 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성되는 것을 특징으로 한다. Here, the diffuse reflection pattern is composed of a combination of polygons, and is characterized in that polygons of a certain shape are continuously and repeatedly formed around the center pattern formed at the center of the unit cell.

또한, 상기 기판은 주로 입사하는 빛의 반사가 가능한 유리 기판을 중심으로 설명하지만 고분자 기판 또는 금속 기판 중 어느 하나로도 이루어질 수 있다. In addition, the substrate is mainly described as a glass substrate capable of reflecting incident light, but may be formed of either a polymer substrate or a metal substrate.

한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는 부분적으로 빛이 통하는 미세 메쉬 패턴이 규칙적으로 형성되어 있는 마스크를 준비하는 마스크 준비단계와, 상기 마스크가 준비되면 난반사 기판을 만들고자 하는 기판에 감광제를 얇게 도포하여 감광제 박막을 형성하는 감광막 형성단계와, 상기 마스크를 감광제가 도포되어 있는 기판에 접촉한 후 자외선을 노광하는 노광단계와, 노광 후 현상액을 이용하여 기판 위에 있는 감광제를 선택적으로 제거함으로서 기판 위에 규칙적인 감광막 미세 패턴을 형성하는 현상단계와, 상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각처리하여 기판 위에 규칙적인 미세 패턴을 전사하는 식각단계와, 상기 미세 패턴이 전사된 기판에 남아 있는 감광막을 제거하는 감광막 제거단계와, 감광막이 제거된 기판을 증류수로 세정하여 기판의 표면에 규칙적인 난반사 패턴이 형성되는 단계를 포함하는 난반사 유리 기판 제조방법이 제공된다.On the other hand, in order to achieve the above object, in the present invention, a mask preparation step of preparing a mask in which fine mesh patterns are regularly formed through which light partially passes, and when the mask is prepared, a photoresist is applied to a substrate to make a diffuse reflection substrate. A photoresist film forming step of forming a photoresist thin film by applying a thin film, an exposure step of exposing the mask to ultraviolet rays after contacting the substrate coated with the photoresist, and selectively removing the photoresist on the substrate using a developing solution after exposure to the substrate. A developing step of forming a regular photoresist fine pattern thereon, an etching step of transferring the regular fine pattern on the substrate by etching the substrate having the photoresist fine pattern, and removing the photoresist remaining on the substrate on which the fine pattern is transferred. There is provided a method for manufacturing a diffuse reflection glass substrate comprising the step of removing the photoresist film, and the step of cleaning the substrate from which the photoresist film is removed with distilled water to form a regular diffuse reflection pattern on the surface of the substrate.

여기서, 상기 마스크는 유리 마스크, 석영 마스크, 고분자 마스크, 금속 마스크, 세라믹 스크린, 실크 스크린 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. Here, the mask may be formed of any one of a glass mask, a quartz mask, a polymer mask, a metal mask, a ceramic screen, and a silk screen.

여기서 상기 금속이나 실크 스크린 마스크의 미세 메쉬 패턴은 30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬를 사용하는 것을 특징으로 한다. Here, the fine mesh pattern of the metal or silk screen mask is characterized by using a mesh having a size of 30 to 600 necks.

또한, 상기 식각단계에서는, 상기 감광막 미세 패턴이 있는 기판을 식각액에 일정 시간 담그는 딥 식각(Dip Etching), 스프레이 방식으로 화학약품을 사용하는 습식 식각 또는 식각 가스, 플라즈마, 이온빔을 사용하는 건식 식각 중 어느 하나의 방식을 이용할 수 있다. In addition, in the etching step, dip etching in which the substrate having the photosensitive film fine pattern is immersed in an etchant for a certain period of time, wet etching using chemicals in a spray method, or dry etching using etching gas, plasma, or ion beam Either way can be used.

한편, 상기 감광막 형성단계에서는 스핀 코팅, 롤 코팅, 바 코팅, 딥 코팅을 포함하는 감광제 도포 방식을 이용하거나, 감광제 박막을 기판에 접합하여 감광제 박막을 형성하는 감광제 접합 방식을 이용할 수 있다. Meanwhile, in the photoresist film forming step, a photoresist coating method including spin coating, roll coating, bar coating, and dip coating may be used, or a photoresist bonding method of forming a photoresist thin film by bonding the photoresist thin film to a substrate may be used.

상기와 같은 본 발명에 의하면, 불규칙한 바운더리 식각이나 미세 입자 마스크를 사용하는 기술로는 불가능했던 규칙적인 난반사 패턴을 유리 기판에 형성할 수 있는 효과가 있다. According to the present invention as described above, there is an effect of forming a regular diffuse reflection pattern on a glass substrate, which was impossible with techniques using irregular boundary etching or fine particle masks.

또한, 불규칙한 크기의 경계면 식각 기술이 아닌, 제조자가 원하는 임의의 크기와 모양을 가진 규칙적인 미세 패터닝을 가지는 난반사 유리 기판을 제조할 수 있다. In addition, it is possible to manufacture a diffuse reflection glass substrate having regular micro-patterning having an arbitrary size and shape desired by a manufacturer, rather than an irregularly sized interface etching technique.

또한, 유리 기판 뿐 아니라 고분자 기판, 금속 기판 등 입사광을 반사하는 어떤 재질의 기판도 난반사 기판으로 쉽게 만들 수 있다. In addition, substrates made of any material that reflects incident light, such as polymer substrates and metal substrates, as well as glass substrates, can be easily made into diffuse reflection substrates.

또한, 본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 기판 뿐만 아니라 다양한 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. In addition, the surface of the diffuse reflection glass developed according to the present invention can implement a diffuse reflection function by various regular patterning, so it can be clearly distinguished from the conventional boundary etching process-based diffuse reflection glass manufacturing technique in which the size is very irregular. In the future, it is expected that the present invention will contribute greatly to the development of the diffuse reflection substrate manufacturing industry as various diffuse reflection substrates as well as diffuse reflection substrates having more diverse types of patterns can be conveniently manufactured in the future.

본 발명의 관점은 임의의 유리 기판에 난반사 기능을 제공하는데 있어 1) 미세한 메쉬 패턴을 가진 실크 스크린을 패턴 마스크로 사용하고 2) 그 패턴이 전사되었을 때의 패턴의 깊이와 모양, 크기의 최적화 조합에 의해 난반사 기능을 부여한다는 특징이 있다. 따라서 종래의 일반적인 반도체 제조용 패터닝에 주로 사용하는 유리나 석영 마스크와도 소재나 응용적으로 사용하는 마스크 종류가 완전히 다른 실크 스크린 마스크를 사용한다는 특징을 가지고 있다. 또한 실크 스크린 그 자체에 어떤 추가적인 패턴을 제작하지 않고 사용한다는 측면에서 전자회로 기판 등의 패턴에 사용하는 실크 스크린 기반 감광제 마스크와도 그 활용 방법이 확연히 구별된다. An aspect of the present invention is to provide a diffuse reflection function to an arbitrary glass substrate by using 1) a silk screen with a fine mesh pattern as a pattern mask, and 2) an optimized combination of depth, shape, and size of the pattern when the pattern is transferred. It has a feature of imparting a diffuse reflection function by. Therefore, it has the characteristic of using a silk screen mask that is completely different from the conventional glass or quartz mask mainly used for patterning for semiconductor manufacturing and the type of mask used for material or application. In addition, in terms of using the silk screen itself without making any additional patterns, it is clearly distinguished from the silk screen-based photoresist mask used for patterns on electronic circuit boards.

도 1은 본 발명에 따른 난반사 유리 기판 제조방법의 실시예를 나타내는 공정도이다.
도 2는 본 발명에 따른 난반사 기판의 제조방법을 나타내는 순서도이다.
도 3은 종래의 바운더리 식각 기술을 이용하여 제작한 난반사 유리 표면의 사진이다.
도 4는 본 발명에 의해 실크 스크린 마스크 미세 패턴의 식각 전사 기술을 이용하여 제조된 난반사 유리의 표면 사진이다 (250목 스크린 마스크 사용).
1 is a process chart showing an embodiment of a method for manufacturing a diffuse reflection glass substrate according to the present invention.
2 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a diffuse reflection substrate according to the present invention.
3 is a photograph of a diffuse reflection glass surface manufactured using a conventional boundary etching technique.
4 is a photograph of the surface of the diffuse reflection glass manufactured using the etching transfer technology of the silk screen mask fine pattern according to the present invention (using a 250-item screen mask).

구체 예에 있어서, 본 발명의 제품 및 본 발명의 제조, 사용 방법은 이하 논의된 바와 같은 실시 예를 포함하는 하나 이상의 바람직한 특성 또는 관점을 제공한다. 청구항 중 어느 것에 인용된 특성 또는 관점은 본 발명의 모든 양상에 일반적으로 적용 가능하다. 어떤 한 청구항에서 인용된 단일 또는 다중 특성 또는 관점은 어떤 다른 청구항, 또는 청구항들에서 어떤 다른 인용된 특성 또는 관점과 조합으로 변경될 수 있다. 난반사 기판과 이를 제조하는 방법 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용은 실시 예를 들어 설명한다. In embodiments, products of the present invention and methods of making, using the present invention provide one or more desirable characteristics or aspects, including examples as discussed below. Features or aspects recited in any of the claims are generally applicable to all aspects of the invention. A single or multiple feature or aspect recited in any one claim may be modified in combination with any other recited feature or aspect in any other claim or claims. A diffuse reflection substrate and a method for manufacturing the same will be described with reference to examples for carrying out the invention.

본 발명은 앞에 언급한 불규칙적인 바운더리 식각이나 미세입자 도포에 의한 난반사 유리 제조방법의 문제들을 해결하기 위해서, 매우 독창적 관점에서 규칙적인 미세 패턴을 이용한 난반사 유리 기판 제조방법을 제안한다. The present invention proposes a method of manufacturing a diffuse reflection glass substrate using a regular fine pattern from a very original point of view in order to solve the problems of the irregular reflection glass manufacturing method by irregular boundary etching or fine particle coating mentioned above.

도 1은 본 발명에 따른 난반사 유리 기판 제조방법의 실시예를 나타내는 공정도이고, 도 2는 본 발명에 따른 난반사 기판의 제조방법을 나타내는 순서도로서, 본 발명의 난반사 유리 기판 제조방법은 크게, 마스크 준비단계(S110), 감광막 형성단계(S120), 노광단계(S130), 현상단계(S140), 식각단계(S150), 감광막 제거단계(S160), 난반사 패턴 형성단계(S170)로 진행된다. 1 is a process chart showing an embodiment of a method for manufacturing a diffuse reflection glass substrate according to the present invention, and FIG. 2 is a flow chart showing a method for manufacturing a diffuse reflection substrate according to the present invention. Step S110, photoresist film forming step S120, exposure step S130, developing step S140, etching step S150, photoresist film removing step S160, and diffuse reflection pattern forming step S170 are performed.

본 발명의 난반사용 미세 패턴 형성을 위해, 상기 마스크 준비단계(S110)에서는 부분적으로 빛이 통하는 미세 메쉬 패턴(12)이 규칙적으로 형성되어 있는 마스크(10)를 준비한다(도 1의 (a)). In order to form a fine pattern for diffuse reflection of the present invention, in the mask preparation step (S110), a mask 10 in which a fine mesh pattern 12 through which light partially passes is regularly formed is prepared (Fig. 1 (a)). ).

여기서, 상기 마스크(10)는 반도체 제조에 사용되는 석영 마스크, 유리 마스크, 고분자 마스크, 금속 마스크, 세라믹 스크린, 실크 스크린 등이 사용될 수 있다. Here, the mask 10 may be a quartz mask, a glass mask, a polymer mask, a metal mask, a ceramic screen, a silk screen, or the like used in semiconductor manufacturing.

구체적으로, 상기 마스크(10)의 미세 패턴(12)은 반도체 제조에 사용되는 석영 마스크, 유리 마스크, 필름 마스크에 패턴을 제작해서 사용할 수 있다. 그러나 본 발명에서는 석영 마스크 등 고가의 공정 비용이 필요없이, 이미 상용화되어 있으며 빛의 차폐가 가능한 미세 패턴을 가지고 있는 실크 스크린 메쉬를 사용하였다.Specifically, the fine pattern 12 of the mask 10 may be used by fabricating a pattern on a quartz mask, glass mask, or film mask used in semiconductor manufacturing. However, in the present invention, a commercially available silk screen mesh having fine patterns capable of shielding light is used without the need for expensive processing costs such as a quartz mask.

본 발명의 관점은 임의의 유리 기판에 난반사 기능을 제공하는데 있어 미세한 메쉬 패턴을 가진 실크 스크린을 패턴 마스크로 사용하고, 그 패턴이 전사되었을 때의 패턴의 깊이와 모양, 크기의 최적화 조합에 의해 난반사 기능을 부여한다는 특징이 있다.An aspect of the present invention is to provide a diffuse reflection function to an arbitrary glass substrate by using a silk screen having a fine mesh pattern as a pattern mask, and by optimizing the depth, shape, and size of the pattern when the pattern is transferred, the diffuse reflection is reduced. It has a feature that gives it a function.

따라서 종래의 일반적인 반도체 제조용 패터닝에 주로 사용하는 유리나 석영 마스크와 소재나 응용적으로 사용하는 마스크 종류가 완전히 다른 실크 스크린 마스크를 사용한다는 특징을 가지고 있으며, 실크 스크린 그 자체에 어떤 추가적인 패턴을 제작하지 않고 사용한다는 측면에서 전자회로 기판 등의 패턴에 사용하는 실크 스크린 기반 감광제 마스크와도 그 활용 방법이 확연히 구별된다. Therefore, it has the characteristic of using a silk screen mask that is completely different from the glass or quartz mask mainly used for conventional patterning for semiconductor manufacturing and the type of mask used for material or application. In terms of use, it is clearly distinguished from the silk screen-based photoresist mask used for patterns on electronic circuit boards and the like.

여기서, 상기 마스크(10)의 미세 메쉬 패턴(12)은 30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬를 사용하는 것이 바람직하며, 더욱 세밀하게는 100 내지 400목의 크기를 가진 메쉬나 패턴을 사용한 마스크를 이용하는 것도 가능하다. Here, it is preferable to use a mesh having a size of 30 to 600 necks for the fine mesh pattern 12 of the mask 10, and more specifically, a mask using a mesh or pattern having a size of 100 to 400 necks It is also possible to use

상기 마스크(10)가 준비되면 난반사 기판을 만들고자 하는 기판(20)에 감광제를 얇게 도포하여 감광제 박막(30)을 형성한다(도 1의 (c)). When the mask 10 is prepared, a photoresist thin film 30 is formed by thinly applying a photoresist to the substrate 20 to be a diffuse reflection substrate (FIG. 1(c)).

본 발명에서 상기 기판(20)은 입사하는 빛의 반사가 가능한 유리 기판, 고분자 기판 또는 금속 기판 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 유리 기판을 예로 들어 설명하기로 한다. In the present invention, the substrate 20 may be formed of any one of a glass substrate, a polymer substrate, or a metal substrate capable of reflecting incident light, and in an embodiment of the present invention, a glass substrate will be described as an example.

상기 감광막(30)을 형성하는 단계에서는 스핀 코팅, 롤 코팅, 바 코팅, 딥 코팅을 포함하는 감광제 도포 방식을 이용하거나, 감광제 박막을 기판에 접합하여 감광제 박막을 형성하는 감광제 접합 방식을 이용할 수 있다. In the step of forming the photoresist film 30, a photoresist coating method including spin coating, roll coating, bar coating, and dip coating may be used, or a photoresist bonding method of forming a photoresist thin film by bonding the photoresist thin film to a substrate may be used. .

이후, 상기 마스크(10)를 감광제가 도포되어 있는 기판에 접촉한 후 자외선을 조사하는 노광단계를 진행한다(도 1의 (d)).Thereafter, after the mask 10 is brought into contact with the substrate coated with the photoresist, an exposure step of irradiating ultraviolet rays is performed (FIG. 1(d)).

상기 마스크(10)를 통해 자외선을 조사하면, 마스크(10)의 미세 스크린 메쉬 패턴(12)을 통과한 광이 감광막(30)에 닿아 선택적으로 노광한다. When ultraviolet rays are irradiated through the mask 10, the light passing through the fine screen mesh pattern 12 of the mask 10 hits the photoresist film 30 and selectively exposes it.

노광 후 현상액을 이용하여 기판 위에 있는 감광제를 선택적으로 제거함으로서 기판(20) 위에 규칙적인 감광막 미세 패턴(32)을 형성한다(도 1의 (e)). After exposure, the photoresist on the substrate is selectively removed using a developing solution to form a regular photoresist fine pattern 32 on the substrate 20 (FIG. 1(e)).

이와 같은 현상단계를 통해 노광단계에서 노광되거나 혹은 노광되지 않은 부분을 잔류시켜 유리 기판 위에 일정한 미세 패턴을 가지는 감광제 박막을 제작하는 것이다. Through such a developing step, a photoresist thin film having a certain fine pattern is fabricated on a glass substrate by leaving exposed or unexposed portions in the exposure step.

이후, 상기 감광막 미세 패턴(32)이 있는 기판(20)을 식각처리하여 기판 위에 규칙적인 미세 패턴(22)을 전사하는 식각단계를 진행한다(도 1의 (f)). Thereafter, an etching step of transferring the regular fine pattern 22 on the substrate by etching the substrate 20 having the photoresist fine pattern 32 is performed (FIG. 1(f)).

상기 식각단계에서는, 상기 감광막 미세 패턴(32)이 있는 기판(20)을 식각액(40)에 일정 시간 담그는 딥 식각(Dip Etching), 스프레이 방식으로 화학약품을 사용하는 습식 식각 또는 식각 가스, 플라즈마, 이온빔을 사용하는 건식 식각 중 어느 하나의 방식을 이용할 수 있다. In the etching step, dip etching in which the substrate 20 having the photoresist film fine pattern 32 is immersed in an etchant 40 for a certain period of time, wet etching using chemicals in a spray method or etching gas, plasma, Any one of dry etching using an ion beam may be used.

상기 식각액(40)은 예를 들어, Buffered Oxide Etching Solution 등의 유리 식각액이 사용될 수 있으며, 상기와 같은 유리 식각액에 일정 시간 담근 후에 증류수로 세척한다. 이와 같이 식각액에 담그는 식각단계를 통해 상기 기판(20)의 표면에 미세 패턴(22)을 규칙적으로 전사할 수 있는 것이다. As the etchant 40, for example, a glass etchant such as Buffered Oxide Etching Solution may be used, and washed with distilled water after being immersed in the glass etchant for a certain period of time. As such, through the etching step of immersing in an etching solution, the fine pattern 22 can be regularly transferred to the surface of the substrate 20 .

상기 미세 패턴이 전사된 기판(20)에 남아 있는 감광막을 아세톤을 이용하여 제거한 후, 감광막이 제거된 기판을 증류수로 세정한다. After the photoresist film remaining on the substrate 20 on which the fine pattern is transferred is removed using acetone, the substrate from which the photoresist film is removed is washed with distilled water.

이 각각의 공정을 순서대로 거치게 되면 최종적으로 스크린 메쉬가 가지고 있는 일정한 미세 패턴이 유리 기판 표면에 식각을 통해 만들어진다. 이때 만들어지는 패턴의 크기나 모양을 제어함으로서 다양한 광학적 특성을 가지는 난반사 유리를 편리하게 제조할 수 있다. When each of these processes is performed in order, a certain fine pattern of the screen mesh is finally formed through etching on the surface of the glass substrate. At this time, by controlling the size or shape of the pattern made, it is possible to conveniently manufacture diffuse reflection glass having various optical characteristics.

본 발명을 통해 개발된 공정 기술에서 사용하는 유리 식각액은 종래의 불규칙적인 바운더리 식각에 의한 난반사 유리 제조 기술에서 사용하는 혼합 식각액 보다 더욱 안전하며, 환경 친화적이다. 또한, 제조된 난반사 유리 기판도 매우 규칙적인 패턴을 가지고 있어, 난반사 불량 검사 장비의 자동화가 가능하며 품질 제어에 더욱 효율적으로 대처할 수 있다.The glass etchant used in the process technology developed through the present invention is safer and more environmentally friendly than the mixed etchant used in the conventional diffuse reflection glass manufacturing technology by irregular boundary etching. In addition, the manufactured diffuse reflection glass substrate also has a very regular pattern, so that it is possible to automate the diffuse reflection defect inspection equipment and more efficiently cope with quality control.

이와 같은 제조방법에 의해 제조된 난반사 기판은 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(20)의 표면에 모양, 크기 또는 배열이 규칙적으로 나타나는 난반사 패턴(22)이 형성된다. 상기 패턴(22)은 상기 기판의 일면 또는 양면에 양각 또는 음각으로 형성될 수 있다. As shown in FIG. 4 , a diffuse reflection pattern 22 having a regular shape, size, or arrangement is formed on the surface of the diffuse reflection substrate manufactured by this manufacturing method. The pattern 22 may be formed in an embossed or intaglio pattern on one or both surfaces of the substrate.

여기서, 상기 난반사 패턴(22)은 다각형의 조합으로 이루어질 수 있다. Here, the diffuse reflection pattern 22 may be formed of a polygonal combination.

도 4에서 보는 바와 같이, 상기 유리 위의 난반사 패턴(22)은 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성될 수 있다. As shown in FIG. 4 , the diffuse reflection pattern 22 on the glass may be continuously and repeatedly formed with polygons of a certain shape around the center pattern formed at the center of the unit cell.

상기 난반사 유리 패턴은 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양이나 크기를 제어함으로써, 조절이 가능하다. 즉, 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양을 정사각형으로 하는 경우, 상기 난반사 패턴의 중심패턴이 정사각형으로 형성되며, 그 주변으로 작은 형태의 다각형이 연속적이면서 규칙적으로 배열될 수 있다. The diffuse reflection glass pattern can be adjusted by controlling the shape or size of the fine mesh pattern of the mask. That is, when the shape of the fine mesh pattern of the mask is a square, the central pattern of the diffuse reflection pattern is formed in a square, and small polygons may be continuously and regularly arranged around it.

따라서, 본 발명에서는 상기 패턴의 모양이나 크기 등을 제어함으로써, 다양한 광학적 특성을 가지는 난반사 유리 기판을 제조할 수 있다.Accordingly, in the present invention, a diffuse reflection glass substrate having various optical characteristics can be manufactured by controlling the shape or size of the pattern.

[실시예] [Example]

본 발명에 의한 규칙적 마스크 패턴에 의한 난반사 유리 제조공정은 도 1에 도시한 바와 같이, 미세 메쉬 패턴(12)이 형성된 마스크(10)를 준비한다. 본 실시예에서는 250 또는 300 목의 실크 스크린을 100x100㎟의 크기로 재단하여 마스크로 준비하였다.As shown in FIG. 1, in the process of manufacturing diffuse reflection glass using a regular mask pattern according to the present invention, a mask 10 having a fine mesh pattern 12 is prepared. In this embodiment, a silk screen of 250 or 300 necks was cut into a size of 100x100 mm 2 to prepare a mask.

이후, 소다 라임 기판에 감광제(제품 명: QX601)을 스핀코팅을 통해 3,000 rpm에서 1㎛ 두께로 증착하였다. 이후 실크 스크린 마스크를 감광제가 도포된 기판에 올려, 접촉한 후 자외선을 5분간 수직으로 조사하였다. 이후, 처리된 기판을 감광제 현상액(제품 명: AZ 400)에 15초간 담그어 노광된 감광제 박막 부분을 제거하여 감광제 미세 패턴을 유리 위에 제작하였다. Thereafter, a photoresist (product name: QX601) was deposited on the soda lime substrate to a thickness of 1 μm at 3,000 rpm through spin coating. Thereafter, the silk screen mask was placed on the substrate coated with the photoresist, and after contact, ultraviolet rays were vertically irradiated for 5 minutes. Thereafter, the treated substrate was immersed in a photoresist developing solution (product name: AZ 400) for 15 seconds to remove the exposed portion of the photoresist thin film, and a photoresist fine pattern was fabricated on the glass.

이 기판을 식각 용액(Buffered Oxide Etching Solution)에 약 10초간 담그어 유리 표면 식각을 통해 미세 패턴을 제작하였다. 유리 식각 후에 증류수로 세정한 후 아세톤으로 남아 있는 감광제 박막을 제거하였다. The substrate was immersed in an etching solution (Buffered Oxide Etching Solution) for about 10 seconds, and a fine pattern was produced by etching the glass surface. After glass etching, it was washed with distilled water, and then the remaining photoresist thin film was removed with acetone.

최종적으로 증류수로 마지막 세정을 하여 난반사 유리 기판 제작을 완료 하였다. Finally, the final cleaning was performed with distilled water to complete the fabrication of the diffuse reflection glass substrate.

<결과 분석><Result analysis>

도 3은 종래의 바운더리 식각 기술을 이용하여 제작한 난반사 유리 표면의 사진이고, 도 4는 본 발명에 의해 실크 스크린 마스크 미세 패턴의 식각 전사 기술을 이용하여 제조된 난반사 유리의 표면 사진이다(250목 스크린 마스크 사용)3 is a photograph of the surface of the diffuse reflection glass manufactured using the conventional boundary etching technique, and FIG. 4 is a photograph of the surface of the diffuse reflection glass manufactured using the etching transfer technique of the silk screen mask fine pattern according to the present invention (250 items). use screen mask)

이를 비교하면, 두 개의 공정 결과 차이를 확실하게 이해할 수 있다. By comparing them, the difference between the two process results can be clearly understood.

본 발명을 통해 제작된 실크 스크린 미세 패턴 난반사 유리의 특성의 한 예를 표 1에 정리하였다.Table 1 shows an example of the characteristics of the silk screen micro-patterned diffuse reflection glass manufactured through the present invention.

[표 1] 본 발명을 통해 제작된 실크 스크린 미세 패턴 난반사 유리의 특성[Table 1] Characteristics of silk screen micro-patterned diffuse reflection glass manufactured through the present invention

샘플번호sample number 스크린 크기(목)screen size (th) 틴트tint 투과율
(400-700 nm) (%)
transmittance
(400-700 nm) (%)
Gloss (60도 기준)Gloss (at 60 degrees)
1One 110110 89.589.5 86.6886.68 149.0149.0 22 180180 78.878.8 80.0780.07 91.291.2 33 250250 77.777.7 72.6072.60 71.771.7 44 300300 93.593.5 85.6985.69 33.433.4

본 발명에 의해 개발된 난반사 유리 표면에서는 원하는 다양한 규칙적인 패터닝에 의한 난반사 기능을 구현할 수 있어 종래의 크기가 매우 불규칙적으로 존재하는 바운더리 식각 공정 기반의 난반사 유리 제조 기법과는 확연히 구별할 수 있으며, 본 발명을 통해 앞으로는 더욱 다양한 종류의 패턴을 가지는 난반사 기판 뿐만 아니라 다양한 난반사 기판들을 편리하게 만들 수 있어 난반사 기판 제조 산업 발전에 크게 기여할 수 있을 것으로 예상한다. The surface of the diffuse reflection glass developed according to the present invention can realize the diffuse reflection function by various regular patterning, which can be clearly distinguished from the conventional boundary etching process-based diffuse reflection glass manufacturing technique in which the size is very irregular. Through the invention, it is expected that various diffuse reflection substrates as well as diffuse reflection substrates having more diverse types of patterns can be conveniently made in the future, greatly contributing to the development of the diffuse reflection substrate manufacturing industry.

10: 마스크 12: 미세 메쉬 패턴
20: 기판 22: 난반사 패턴
30: 감광제 박막 32: 감광막 미세 패턴
40: 식각액
10: mask 12: fine mesh pattern
20: substrate 22: diffuse reflection pattern
30: photoresist thin film 32: photoresist fine pattern
40: etchant

Claims (7)

외부로부터 입사하는 빛의 난반사를 위한 유리 기판에 있어서,
30 내지 600목의 크기를 가진 메쉬 패턴이 형성된 실크 스크린 마스크를 사용하여 상기 기판의 일면 또는 양면에 모양, 크기 또는 배열이 규칙적으로 나타나는 난반사 패턴이 형성되며,
상기 난반사 패턴은 상기 마스크의 미세 메쉬 패턴의 모양이나 크기를 제어, 전사함으로써, 다양한 광학적 특성을 가지며,
상기 난반사 패턴은 상기 기판의 일면 또는 양면에 양각 또는 음각으로 형성되고,
상기 난반사 패턴은 다각형의 조합으로 이루어지며, 단위 셀의 중앙부에 형성되는 중심패턴을 중심으로 그 주변에 일정한 형태의 다각형이 연속적으로 반복되게 형성되고,
상기 중심패턴은 가로와 세로가 각각 25.89㎛, 27.68㎛인 것을 특징으로 하고, 상기 다각형의 가로와 세로가 각각 14.64㎛, 5.24㎛인 것을 특징으로 하는 난반사 유리 기판.
In the glass substrate for diffuse reflection of light incident from the outside,
A diffuse reflection pattern having a regular shape, size or arrangement is formed on one or both sides of the substrate using a silk screen mask formed with a mesh pattern having a size of 30 to 600 necks,
The diffuse reflection pattern has various optical characteristics by controlling and transferring the shape or size of the fine mesh pattern of the mask,
The diffuse reflection pattern is formed in an embossed or intaglio pattern on one or both surfaces of the substrate,
The diffuse reflection pattern is composed of a combination of polygons, and polygons of a certain shape are continuously and repeatedly formed around the center pattern formed at the center of the unit cell,
The diffuse reflection glass substrate, characterized in that the width and length of the center pattern are 25.89 μm and 27.68 μm, respectively, and the width and length of the polygon are 14.64 μm and 5.24 μm, respectively.
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